JP2005539200A - レオメータ用圧力検出装置 - Google Patents
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Abstract
Description
Claims (26)
- 圧力センサの位置においてプレートの測定面に加わる圧力を測定するように、間隔を置いて配置されている複数の圧力センサをその内部に有するプレートであって、
液体が作用し得る測定面を有するプレートと、
該プレート内に設けられた複数の空洞と、
空洞上に延在する該プレートの測定面の変形可能部分であって、そこに加わる圧力に呼応して空洞内に弾性的に撓み得る変形可能部分と、
変形可能部分と連携して変形可能部分の変形が検出可能なセンサとを有し、変形可能部分の変形がその部分に加えられた圧力の指標となるプレート。 - 測定面が基板に固定されたウェハにより形成されている、請求項1に記載の複数の圧力センサを有するプレート。
- 空洞がウェハ内に設けられたウェルにより形成されており、また、このウェルによってウェル上に延在するウェハの薄状部と測定面の変形可能部分とが形成されている、請求項2に記載の複数の圧力センサを有するプレート。
- 空洞が基板内に設けられたウェルにより形成されており、基板内のウェル上に延在するウェハの部分が測定面の変形可能部分を形成している、請求項2に記載の複数の圧力センサを有するプレート。
- 更に、ウェハと基板との間にスペーサを有し、空洞がスペーサ内に延在する開口部により形成されており、スペーサ内の開口部上に延在するウェハの部分が測定面の変形可能部分を形成している、請求項2に記載の複数の圧力センサを有するプレート。
- 測定面の変形可能部分が各空洞の一側面を形成し、基板がそれに対向する側面を形成しており、センサが、各空洞内において測定面の変形可能部分に設けられたコンデンサプレートと該空洞の対向側面の基板に設けられたコンデンサプレートとから形成された容量型センサである、請求項2に記載の複数の圧力センサを有するプレート。
- コンデンサプレートが、空洞の対向する側面に蒸着された導電層により形成されている、請求項6に記載の複数の圧力センサを有するプレート。
- 更に、各コンデンサプレートからセンサ回路接続用接触パッドへ延在する導電性リード線を有する、請求項7に記載の複数の圧力センサを有するプレート。
- 測定面の変形可能部分が各空洞の一側面を形成し、基板がそれに対向する側面を形成しており、センサが、各空洞内で測定面の変形可能部分に設けられた反射鏡と、該空洞の対向側面の基板に設けられた部分的に透明な層と、光の一部が部分的透明層を通過して反射鏡へ向かい、また、光の一部が部分的透明層から反射され、これによって反射鏡に向かって通過した光の少なくとも一部が反射されて部分的透明層を通過し、部分的透明層から反射した光と相互作用して干渉パターンを形成するように、光を部分的透明層へ指向させる光源と、干渉パターン内の一定の位置において光の強度を検出するセンサとから形成される光学センサであり、検出された光の強度が変形可能部分の変形の指標となる、請求項2に記載の複数の圧力センサを有するプレート。
- 更に、測定面上に保護層を有する、請求項1に記載の複数の圧力センサを有するプレート。
- 更に、各空洞から大気につながる空気流路を有する、請求項1に記載の複数の圧力センサを有するプレート。
- 更にその内部に、検出物体の測定面からの距離を測定するための近接センサを有する、請求項1に記載の複数の圧力センサを有するプレート。
- 近接センサが容量型センサである、請求項12に記載の複数の圧力センサを有するプレート。
- 各変形可能部分の長さがプレートの長さの1/4未満である、請求項1に記載の複数の圧力センサを有するプレート。
- 複数のセンサの測定感度がそれぞれ異なっている、請求項1に記載の複数の圧力センサを有するプレート。
- 対向する側面を有し、一方の側面が、液体の圧力が加わる平滑測定面を形成しているウェハと、
測定面に対向する側面からウェハ内に延在する複数のウェルとを有し、前記ウェルによって個々のウェルの端部と平滑測定面との間にウェハの薄状変形可能部分が形成されており、前記薄状変形可能部分は、前記個々のウェル上の平滑測定面に加わる圧力に呼応して個々のウェルに対して変形可能であって、
更に、複数のウェルの個々に接合されており、個々のウェルに対するウェハの薄状部の変形を検出し、薄状部に加わる圧力を示す出力を提供する検出器を有する、圧力センサ。 - 更に、測定面に対向するウェハの側面に取り付けられ複数のウェル上に延在する基板を有し、ウェルにおける検出器が、ウェル内部で薄状部に設けられた導電性材料と、ウェル内部でウェル上に延在する基板に設けられた導電性材料とを有し、ウェル内部のこれらの導電性材料によって、薄状部の変形に応じて静電容量が変化するコンデンサが形成されている、請求項16に記載の圧力センサ。
- ウェハが、その内部に延在する複数の開口部を有するスペーサと、スペーサに接合され開口部上に延在する薄状ウェハとから構成されており、前記薄状ウェハによって、平滑測定面と、スペーサ内の開口部上にウェハが延在する箇所に薄状部とが形成されており、また、スペーサ内の開口部によってウェルが形成されている、請求項16に記載の圧力センサ。
- 基板と、
基板の接合面から基板内に延在する複数のウェルと、
対向する側面を有し、一方の側面が液体の圧力が加わる平滑測定面を形成しており、他方の側面が基板の接合面に接合されているウェハとを有し、ウェハによって、ウェル上にウェハが延在する箇所にウェハの薄状変形可能部分が形成されており、前記薄状変形可能部分は、前記個々のウェル上の平滑測定面に加わる圧力に呼応して個々のウェルに対して変形可能であって、
更に、複数のウェルの個々に接合されており、個々のウェルに対するウェハの薄状部の変形を検出し、薄状部に加わる圧力を示す出力を提供する検出器を有する、圧力センサ。 - ウェルにおける検出器が、ウェル内部でウェル上に延在する薄状部に設けられた導電性材料と、ウェル内部で基板に設けられた導電性材料とを有し、ウェル内部のこれらの導電性材料によって、薄状部の変形に応じて静電容量が変化するコンデンサが形成されている、請求項19に記載の圧力センサ。
- 本体と、
本体内に設けられ、それぞれが異なる寸法を有し、直列に連結一体化されて本体内に流路を形成している、複数の凹部と、
凹部内に流体の流れを発生させるための手段と、
各凹部に接合された複数の圧力センサとを有し、各凹部に接合された圧力センサの各々の位置において、凹部内の液体から凹部に加わる圧力の指標が得られる、スリット式レオメータ。 - 少なくとも2個の凹部を有する、請求項21に記載のスリット式レオメータ。
- 各凹部に少なくとも2個の圧力センサが接合されている、請求項21に記載のスリット式レオメータ。
- 凹部の高さがそれぞれ異なる、請求項21に記載のスリット式レオメータ。
- 凹部の幅がそれぞれ異なる、請求項21に記載のスリット式レオメータ。
- 複数の圧力センサを有するプレートの製造方法であって、
ウェハと基板とを得る工程と、
ウェハ或いは基板の一方に複数のウェルを形成する工程と、
ウェル内にセンサ部品を形成する工程と、
ウェハと基板とを接合してプレートを形成する工程とを含み、ウェルによってプレート内に空洞が形成される際にウェハの薄状変形可能部分が各空洞の一部を形成し、プレートに加わる液体の圧力に呼応してウェハの薄状変形可能部分が空洞に対して変形し、且つ、各薄状部の変形を測定できるようセンサ部品がウェル内に配置されるように、ウェハと基板との接合を行う、製造方法。
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