JP2005535100A - マイクロマシンイング型のスイッチ - Google Patents
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Abstract
Description
本発明は、請求項1の上位概念部に記載のマイクロマシニング型のスイッチに関する。一般に、質量体がばねエレメントにより弾性的に保持されるマイクロマシニング型のスイッチが公知である。力、例えば加速力が作用した場合には、前記質量体、ひいてはばねエレメントが変位せしめられる。
従来技術に対して、請求項1に記載の特徴を有する本発明によるマイクロマシニング型のスイッチは次のような利点を有している、すなわち、このマイクロマシニング型のスイッチは、製造プロセスで熟知された、表面マイクロマシニング機構の単純な基本エレメントにより実施されているという利点を有している。さらに本発明によるマイクロマシニング型のスイッチは、公知のスイッチに比べて小型化をもたらし、スイッチはね返りの抑制をもたらすという利点を有している。より小さく実施されていることより、著しいコスト節約が可能である。さらに、本発明によるマイクロマシニング型のスイッチでは、拡張された加速度センサシステムに比べて評価機構の節約がもたらされているという利点も見られる。さらに本発明によるマイクロマシニング型のセンサは、有利には電圧供給なしに運転することがで、これにより、実際にはスイッチエレメントとしてのみ機能する。
次に本発明の実施例を図面につきさらに詳しく説明する。
Claims (7)
- マイクロマシニング型のスイッチ(1)であって、質量体(1)と第1のばねエレメント(2)とが設けられており、前記質量体(1)が、可動であり、かつ前記第1のばねエレメント(2)に結合されている形式のものにおいて、少なくとも1つの接触エレメント(3)が設けられており、質量体(1)の所定の運動時に、第1のばねエレメント(2)の変位がもたらされ、前記質量体(1)と前記少なくとも1つの接触エレメント(3)とが、第1のばねエレメント(2)の規定の変位度までは互いに分離されており、前記第1のばねエレメント(2)の規定の変位度を越えてからは、質量体(1)と少なくとも1つの接触エレメント(3)との接触がもたらされており、第1のばねエレメント(2)の変位が、規定の変位度よりも大きい場合には、前記質量体(1)と少なくとも1つの接触エレメント(3)との一緒の運動がもたらされているようになっていることを特徴とする、マイクロマシニング型のスイッチ。
- 少なくとも1つの接触エレメント(3)が、可動であり、かつ第2のばねエレメント(3)に結合されている、請求項1記載のマイクロマシニング型のスイッチ。
- 第1のばねエレメント(2)及び/又は第2のばねエレメント(30)が、U字形ばねエレメントを有している、請求項1又は2記載のマイクロマシニング型のスイッチ。
- 第2のばねエレメント(30)のばね定数が、第1のばねエレメント(2)のばね定数に比べて著しく小さくなっている、請求項1から3までのいずれか1項記載のマイクロマシニング型のスイッチ。
- 第3のばねエレメント(4)が設けられており、該第3のばねエレメント(4)が、安定化するように質量体(1)の運動に作用する、請求項1から4までのいずれか1項記載のマイクロマシニング型のスイッチ。
- 第3のばねエレメント(4)のばね定数が、第1のばねエレメント(2)のばね定数に比べて著しく小さくなっている、請求項5記載のマイクロマシニング型のスイッチ。
- ストッパ(7)が設けられており、これにより、第1のばねエレメント(2)の、該第1のばねエレメント(2)の規定の最大変位度を越えた変位が阻止されるようになっている、請求項1から6までのいずれか1項記載のマイクロマシニング型のスイッチ。
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