JP2005508520A - Tilt adjustment mirror - Google Patents
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Abstract
反射鏡面５とベアリング装置が設けられた傾斜調節ミラー、それも特に、この傾斜調節ミラー２を複数備えたファセットミラー１において反射鏡切子面２となる傾斜調節ミラーを提供する。反射鏡面５は、球状構成部材３における凹部４内の表面として構成され、球状構成部材３は、ベアリング装置内に設けられている。ベアリング装置は、プレート７内に少なくとも一つの円錐形穴部６を有し、該円錐形穴部６の中には、一つの穴部に対してそれぞれ一つの球状構成部材３が配設されている。Provided is a tilt adjusting mirror provided with a reflecting mirror surface 5 and a bearing device, and in particular, a tilt adjusting mirror serving as a reflecting mirror facet 2 in a facet mirror 1 having a plurality of tilt adjusting mirrors 2. The reflecting mirror surface 5 is configured as a surface in the concave portion 4 in the spherical component member 3, and the spherical component member 3 is provided in the bearing device. The bearing device has at least one conical hole 6 in the plate 7, in which one spherical component 3 is arranged for each hole. Yes.
Description
【技術分野】
【０００１】
本発明は、反射鏡面とベアリング装置を有する傾斜調節ミラー、それも斯かる傾斜調節ミラーを複数備えてなるファセットミラー（多面複合鏡）において反射鏡切子面部（ミラーファセット）となる傾斜調節ミラー、そして、斯かる傾斜調節ミラーを調節する方法ならびに斯かる傾斜調節ミラーの使用方法を提供する。
【背景技術】
【０００２】
傾斜調節ミラー、それも特に、複数の反射鏡切子面（ミラーファセット）を備えたファセットミラー（多面複合鏡）における反射鏡切子面としての傾斜調節ミラーが従来技術より周知である。
【０００３】
そこで、例えば、英国特許出願公開第２２５５１９５号明細書（特許文献１）は、上記のようなファセットミラーについて記載している。ファセットミラーは、該ファセットミラー用の相応の支持部材（ベアリング部材）と、独立した個々の傾斜調節ミラーとを有している。このファセットミラーは、特に太陽エネルギー技術の分野での使用を目的とするものである。
【０００４】
一つ一つ独立したそれぞれの傾斜調節ミラーは、この従来例の場合、該傾斜調節ミラーが反射鏡面を備え、相応の支持装置ないしベアリング装置に固定された球体に、前記反射鏡がロッドを介して接続されるようにして構成されている。この従来例において、上記のような配置構成の精度は、傾斜調節ミラーを調節したりする等といった性能に関し、著しく制限を受ける。それは、個々の傾斜調節ミラーが比較的緩い状態で保持されており、極めて容易かつあっという間に調整が狂う可能性があるためである。
【０００５】
そのため、こういった構造設計では、上述の発明を半導体リソグラフィー、それも特に、極短紫外線領域の光線とともに使用する場合のリソグラフィーのレンズに応用するという好適な場合に必要な精度、そして調整に要求される精度を達成するということは、明らかに無理である。しかも、調整している間、反射鏡表面の側からしか個々の反射鏡切子面にアクセスできず、そのために、反射鏡切子面が照明されると個々の反射鏡をアライメントすることがかなり複雑で難しい。
【０００６】
また、欧州特許出願公開第０７２６４７９号明細書（特許文献２）は、少なくとも一つの傾斜調節ミラー、基体、及び少なくとも一つの反射鏡ベアリング／支持部を有してなり、かつ前記反射鏡ベアリングが前記傾斜調節ミラーと前記基体との間に少なくとも事実上固定されたてこまくらを有しているような傾斜調節ミラーの配置構成を開示している。さらに、反射鏡面が４０ｍｍよりも短い代表長さを有している場合には、傾斜調節ミラーベアリング／支持部と傾斜調節ミラーハウジングとを合わせた構成全体の大きさが前記反射鏡面の下側に置かれて、反射鏡平面上に投射がなされる場合、全体の大きさが反射鏡平面を超えて突出することはなく、あるいはそうなることがあっても、傾斜調節ミラーの向きが変えられるときにほんの僅かに突出する程度である。このような傾斜調節ミラーは、例えば、レーザ技術の分野で用いられている。
【０００７】
このような反射鏡は、照明されているときも調整することが可能である。これは、もし上手く出来れば、前記基体を然るべく反射鏡ベアリング／支持部を介して取り付けることができ、この基体を再調整することができるためである。しかしながら、この設計構造は極めて複雑で、そのために、斯かる傾斜調節ミラーから作れるであろうファセットミラーの場合、スペース、調整部材、コスト等、全てにわたって高額な支出が予想されるのである。
【特許文献１】
英国特許出願公開第２２５５１９５号明細書
【特許文献２】
欧州特許出願公開第０７２６４７９号明細書
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
従って、本発明の課題は、従来技術の上述の欠点を回避し、傾斜調節ミラー、それも特に、ファセットミラーが斯かる傾斜調節ミラーを複数備えてなる場合に、ミラーのファセットとなる傾斜調節ミラーであって、極めて簡易な構造とされた傾斜調節ミラーを提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
この課題は、本発明によれば、球状構成部材における凹部の表面とされた反射鏡面が形成され、前記球状構成部材がベアリング装置内に装着されるという長所により達成される。
【００１０】
上記反射鏡面は、上記傾斜調節ミラーをベアリング装置内に組み付ける際に同時にベアリング構成部材としても使われる球状構成部材内に形成されている。これにより、傾斜調節ミラーを自由に調整ないし調節でき、さらには、ファセットミラーにおいて部分に分かれていない反射鏡切子面部分（反射鏡切子面）に傾斜調節ミラーが用いられる場合には、他の反射鏡切子面部分とは独立に上記傾斜調節ミラーを調整ないし調節できる構造が実現される。反射鏡構成部材とベアリング構成部材としての一つの球体からなるこの設計構造は、このとき極めて簡単でコスト効果的である。
【００１１】
これとは異なる実施形態は、球状構成部材における凹部の中に反射鏡面を配置するというもので、前記球状構成部材は、ベアリング装置内に装着されている。
【００１２】
さらに別の利点は、球状構成部材を実際の反射鏡面とは別に製造して、それから反射鏡を、例えば接着、はんだ付け、リンギング、ピン留め、螺合等、接合方法自身は良く知られている方法を用いて接続できることに由来する。特に、ＥＵＶリソグラフィー、すなわち約１３ｎｍの領域における波長でのリソグラフィーの分野で用いられる場合、反射鏡面は、表面品質に関して設定される極めて厳しい要求仕様を満たさなければならない。反射鏡面が直に球状構成部材に形成されない実施形態では、その結果、反射鏡面の部分に異なる材料を用いたり、あるいは、同じ材料であっても異なる処理を相応に行なうといったことが可能になる。そのため、反射鏡面の部分に対しては要求される表面品質を実現しながら、その一方で、球状構成部材の全てに対して然るべく高価な方法で処理しなければならないといったような必要性、あるいは、そのように処理される材料から球状構成部材全体を構成しなければならないといったような必要性を無くすことができる。
【００１３】
特に好ましい本発明の改良点において、上記ベアリング装置は、プレートにおける円錐形穴部として構成され、この穴部の中に球状構成部材が配置されている。これにより、ミラーが簡単に取り付けられるようにしながら、非常に簡単な設計構造が生み出され、その結果、ベアリング装置内の球体を極めて容易に回転させることによってミラーを調整できるようになる。特に、反射鏡面の面の法線方向は、このように調整する場合に、所望の方法で適切に傾けられる。
【００１４】
斯かる傾斜調節ミラーを調整する方法は、請求項１３の特徴部分から得られるもので、本発明の幾つかの有利な発展形態に従い、それによれば、球状構成部材用の円錐形穴部をそれぞれ有している２枚のプレートの間に球状構成部材を組み込む。球状構成部材は、さらに、調整のために、レバー部材を有している。このレバー部材は、球状構成部材の反射鏡面から遠く離れた方の側に設けられている。
【００１５】
このような方法の場合には、傾斜調節ミラーの反射鏡面の調整は、レバー部材に働かせる作用によって行なうことができ、その後、上記第１のプレートおよび第２のプレートを互いに押し付けあわせるようにして押さえることで傾斜調節ミラーの位置ないし姿勢を固定する。
【００１６】
このようにして、傾斜調節ミラー、あるいは、複数の球状構成部材を用いる場合にはファセットミラーが実現され、このミラーでは、高い精度の調整が可能で、しかも調整後には反射鏡面の位置ないし姿勢を確実に固定することが可能である。間に一つ一つの球状構成部材が装着された上記２枚のプレートを一体に押さえ付けることで、振動や衝撃等がある場合でも、上記球状構成部材が予め調整された位置ないし姿勢に該球状構成部材が保たれるような構造が得られる。
【００１７】
この方法の特に有利な発展態様において、照明しながらの調整が可能で、その結果、実際に生じる例えば熱の類の条件が、まさに調整しているときにそのまま反射鏡切子面に実在していることになる。反射鏡面から離れた方の反射鏡切子面の側から調整できるために、調整の際、照明を妨げることがなく、そのため、調整操作により条件を乱すこともない。その上、照明そのものの結果を利用しながら調整を行なうことができるので、その後の実際の使用条件において達成されるべき精度の改善を図ることができる。
【００１８】
このような傾斜調節ミラーは、特に好ましくは、半導体リソグラフィー用、本明細書では特に極短紫外線（ＥＵＶ）を光線として用いて動作するリソグラフィー用のレンズにおけるファセットミラーのための反射鏡切子面として使用できる。
【００１９】
レンズ内でＥＵＶ光を導くために個々に独立して自由に調整することができるファセット（切子面部）を複数用いるファセットミラーは、このようなレンズにおいてとりわけ好ましいことが分かっており、そのため、このような用い方は、確かに、本発明に係る傾斜調節ミラーを使用する分野の一つとして見なされるべきであろう。
【００２０】
本発明のさらなる有利な改善点は、残りの下位請求項、ならびに以下に図面を参照して示される代表的な実施形態から浮き彫りとなろう。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２１】
添付された唯一の図面は、発明に係る傾斜調節ミラーを用いたファセットミラー（多面複合鏡）の一つの可能な構成を原理的に示す断面図である。
【００２２】
添付された唯一の図に示されているのは、ファセットミラー１の一部である。このファセットミラーの一部は、ここで図示された代表的な実施形態においては、３つの傾斜調節ミラー、言い換えれば３つの反射鏡切子面２（反射鏡切子面部）を有している。これら反射鏡切子面２のそれぞれは、本実施形態では、球状構成部材３として構成されている。各球状構成部材３内には凹部４が設けられている。この凹部４は、球の断面形状をなすように破線が補足された複数の球状構成部材３のうちの一つの球状構成部材３にしか参照符号が付されていない。この凹部４の部分における球状構成部材３の残りの表面が、かくして反射鏡面５を形成する。この反射鏡面５は、添付された唯一の図面において、いずれも当該反射鏡面の面の法線方向ｎによって補足的に符号で表されている。
【００２３】
各反射鏡切子面２は、ベアリング装置（支持装置）内に取り付けられている。本実施形態においては、ベアリング装置は、円錐形穴部６を備えている。この円錐形穴部６は、プレート７（以下、下部保持プレート７と称する）内に形成されている。球状構成部材３は、この円錐形穴部６の中に載置されている。円錐形穴部６の大きい方の開口径は、球状構成部材３が円錐形穴部６内に載置されても該穴部を通り抜けて落ちることはないようにして設けられている。
【００２４】
さらに、ベアリング装置は、球状構成部材３を確実に留め押さえて保持するための装置を有している。ここで図示された代表的な実施形態によれば、保持するための装置は、第２のプレート９に設けられたさらにもう一つの円錐形穴部８として構成されている。この第２のプレート９は、より理解しやすいように、本実施形態において以下に上部保持プレート９と称することにする。このもう一つの円錐形穴部８の大きい方の開口角は、下部保持プレート７に臨むようにして配置されている。
【００２５】
上部保持プレート９を用いた確実に保持するための上記装置の他にも、例えば、バネ、磁力等による様々なタイプの装置構成も考えられる。
【００２６】
最適な態様での動作に特に好ましいのは、反射鏡切子面２のそれぞれに、反射鏡面５から遠く離れた方の側に調整装置が取り付けられている場合である。この調整装置は、例えば、球状構成部材３に接続されたレバー部材１０として構成することができる。下部保持プレート７の円錐形穴部６を突き抜けて突出した斯かるレバー部材１０を用いる事で、かくしてファセットミラー１は、照明された状態で、これは、正規の動作に使われる状態で、ということであるが、後ろ側から、つまり、照明される側とは反対の側から、調整することができる。反射鏡面５の動き、すなわち反射鏡面の面の法線方向ｎの動きと、レバー部材１０の偏向との間の変速比は、本実施形態においては、レバー部材１０の長さによって設定することができる。レバー部材１０が反射鏡面５の面の法線方向ｎに揃えられるように設けられる本実施形態では、この比は有理数である。
【００２７】
とりわけ好ましいのは、レバー部材１０の球状構成部材３から離れた側での相応の力によって反射鏡面５の位置ないし姿勢が調整される場合である。上記の力は、例えば、ここでは矢印Ａによって原理的に示されている駆動装置を介して、レバー部材１０に加えることができる。駆動装置としてここで考えられるのは、ありとあらゆる周知の形態の駆動装置であり、それは、例えば、圧縮気体による力、圧縮液体による力、圧電的な力、磁気的な力、又は機械的な力である。
【００２８】
例えば、ＥＵＶリソグラフィーのためのレンズ内のファセットミラー１として利用できる上記のようなファセットミラー１を調整する手順は、次のようなもので、それは、反射鏡切子面２を下部保持プレート７の円錐形穴部６の中に挿入する。そしてその後、プレートの円錐形穴部８を有する上部保持プレート９を、反射鏡切子面２の上方に配置して降ろす。これらの２つのプレート７，９を、次に反射鏡切子面２の位置ないし姿勢がまだレバー部材１０によって変えられるようにして互いに緩く重ね合わせる。続いて、ファセットミラー１全体を照明しながら、相応の力をレバー部材１０上に作用させることで、個々の反射鏡切子面２の各々の反射鏡面５を独立に調整する。全ての反射鏡切子面２の位置ないし姿勢が要求されている通りに調整されたら直ちに、第１及び第２のプレートが互いに押し合うように圧力を加えてその位置ないし姿勢を固定する。本実施形態においてとりわけ好ましいのは、下部保持プレート７が球状構成部材３の材料よりも遥かに軟らかい材料から構成されているときである。ここで考えられるのは、例えば、球状構成部材３のためのセラミックないし結晶性材料と、下部保持プレート７のための、真鍮、銅、又はアルミニウムといったような軟金属との材料の組み合わせであろう。これに対して、上部保持プレート９は、下部保持プレート７の材料よりは若干硬いが、同時に球状構成部材３の材料よりは遥かに軟らかい材料から構成されていなけらばならない。これにより確実になるのは、２つのプレート７，９が互いに押されると、球状構成部材３が容易に下部保持プレート７内へと押し込まれて、球状構成部材の位置ないし姿勢が摩擦力によって（振動や衝撃等々がある場合でさえも）確保されるということである。
【００２９】
例えば、２つのプレート７，９を一体にネジ止めすると起こり得るようなことであるが、プレート７，９を一体に押したときにどうしても最終調整がくるってしまうようなら、ネジ止めされた接合を解除し、２つのプレート間に圧縮空気を送り込むことで、２つのプレート７，９に圧力をかけて離し、これにより、新規の調整が可能となる程度まで下部保持プレート７と球状構成部材３との間の摩擦力が低減された状態が得られるようにし、再度調整を行なってから、その後２つのプレート７，９を再び互いに押し合わせればよい。
【００３０】
個々の反射鏡切子面の位置ないし姿勢の最終設定を確保するために、反射鏡切子面をプレート７，９の少なくとも一つに接着したりはんだ付したりすることも同じように可能である。
【図面の簡単な説明】
【００３１】
【図１】発明に係る傾斜調節ミラーを用いたファセットミラーの一つの可能な構成を原理的に示す断面図である。
【符号の説明】
【００３２】
１ ファセットミラー
２ 反射鏡切子面（傾斜調節ミラー）
３ 球状構成部材
４ 凹部
５ 反射鏡面
６，８ 円錐形穴部
７ 下部保持プレート（第１のプレート）
９ 上部保持プレート（第２のプレート）
１０ レバー部材（調整装置）【Technical field】
[0001]
The present invention relates to a tilt adjusting mirror having a reflecting mirror surface and a bearing device, and a tilt adjusting mirror serving as a reflecting mirror facet (mirror facet) in a facet mirror (multi-faceted composite mirror) comprising a plurality of such tilt adjusting mirrors, and A method for adjusting such a tilt adjusting mirror and a method for using such a tilt adjusting mirror are provided.
[Background]
[0002]
Tilt adjusting mirrors, and in particular, tilt adjusting mirrors as reflecting mirror facets in facet mirrors (multi-faceted composite mirrors) having a plurality of reflecting facets (mirror facets) are well known from the prior art.
[0003]
Thus, for example, British Patent Application Publication No. 2255195 (Patent Document 1) describes the facet mirror as described above. The facet mirror has a corresponding support member (bearing member) for the facet mirror and independent individual tilt adjustment mirrors. This facet mirror is intended especially for use in the field of solar energy technology.
[0004]
In the case of this conventional example, each of the independent tilt adjusting mirrors has a reflecting mirror surface, and the reflecting mirror is connected to a sphere fixed to a corresponding support device or bearing device via a rod. Connected to each other. In this conventional example, the accuracy of the arrangement configuration as described above is remarkably limited with respect to performance such as adjusting the tilt adjusting mirror. This is because the individual tilt adjustment mirrors are held in a relatively loose state, and the adjustment can be very easily and quickly.
[0005]
Therefore, in such a structural design, the above-described invention is required for the accuracy and adjustment necessary for semiconductor lithography, particularly when it is applied to a lithographic lens especially when used with light in the ultra-short ultraviolet region. It is clearly impossible to achieve the accuracy achieved. Moreover, during the adjustment, the individual facets can only be accessed from the side of the reflector surface, which makes it very complicated to align the individual reflectors when the reflector face is illuminated. difficult.
[0006]
In addition, European Patent Application No. 0726479 (Patent Document 2) includes at least one tilt adjusting mirror, a base body, and at least one reflector bearing / support portion, and the reflector bearing includes the above-described reflector bearing. An arrangement of the tilt adjusting mirror is disclosed which has at least a substantially fixed lever between the tilt adjusting mirror and the substrate. Further, in the case where the reflecting mirror surface has a representative length shorter than 40 mm, the size of the entire configuration including the tilt adjusting mirror bearing / support portion and the tilt adjusting mirror housing is below the reflecting mirror surface. When placed and projected onto the reflector plane, the overall size does not protrude beyond the reflector plane, or the tilt adjustment mirror can be reoriented Only slightly protruding. Such tilt adjusting mirrors are used in the field of laser technology, for example.
[0007]
Such a reflector can be adjusted even when illuminated. This is because, if successful, the substrate can be mounted accordingly via a reflector bearing / support and the substrate can be readjusted. However, this design structure is extremely complicated, and therefore, in the case of a facet mirror that could be made from such a tilt adjusting mirror, a high expenditure is expected over all of the space, adjusting members, costs, etc.
[Patent Document 1]
British Patent Application No. 2255195 [Patent Document 2]
European Patent Application No. 0726479 [Disclosure of the Invention]
[Problems to be solved by the invention]
[0008]
Therefore, the object of the present invention is to avoid the above-mentioned drawbacks of the prior art, and to provide a tilt adjusting mirror, and in particular, a tilt adjusting mirror which is a facet of a mirror when the facet mirror comprises a plurality of such tilt adjusting mirrors. An object of the present invention is to provide a tilt adjusting mirror having a very simple structure.
[Means for Solving the Problems]
[0009]
According to the present invention, this object is achieved by the advantage that the reflecting mirror surface formed as the surface of the concave portion of the spherical component member is formed, and the spherical component member is mounted in the bearing device.
[0010]
The reflecting mirror surface is formed in a spherical component that is also used as a bearing component when the tilt adjusting mirror is assembled in the bearing device. As a result, the tilt adjusting mirror can be freely adjusted or adjusted. Furthermore, when the tilt adjusting mirror is used on a facet mirror surface portion (reflector facet) that is not divided into parts, other reflection mirrors are used. A structure in which the tilt adjusting mirror can be adjusted or adjusted independently of the mirror facet portion is realized. This design structure consisting of a single sphere as a reflector component and a bearing component is then very simple and cost effective.
[0011]
In another embodiment, the reflecting mirror surface is disposed in the concave portion of the spherical component member, and the spherical component member is mounted in the bearing device.
[0012]
Yet another advantage is that the spherical component is manufactured separately from the actual reflector surface, and then the reflector is well known for joining methods such as bonding, soldering, ringing, pinning, screwing, etc. It comes from being able to connect using the method. In particular, when used in the field of EUV lithography, ie lithography at wavelengths in the region of about 13 nm, the reflector surface must meet the very stringent requirements set for surface quality. In an embodiment in which the reflecting mirror surface is not formed directly on the spherical component member, as a result, it is possible to use a different material for the portion of the reflecting mirror surface, or to perform different treatments correspondingly even with the same material. Therefore, while realizing the required surface quality for the part of the reflecting mirror surface, on the other hand, the necessity that all the spherical components must be processed in a reasonably expensive manner, Alternatively, it is possible to eliminate the need for the entire spherical component to be constructed from the material so treated.
[0013]
In a particularly preferred refinement of the invention, the bearing device is configured as a conical hole in the plate, in which a spherical component is arranged. This creates a very simple design structure, while allowing the mirror to be easily mounted, so that the mirror can be adjusted by very easily rotating the sphere in the bearing device. In particular, the normal direction of the surface of the reflecting mirror surface is appropriately tilted by a desired method when adjusted in this way.
[0014]
A method for adjusting such a tilt adjusting mirror is obtained from the characterizing part of claim 13 and according to several advantageous developments of the invention, according to which a conical hole for a spherical component is respectively provided. A spherical component is incorporated between the two plates it has. The spherical component further has a lever member for adjustment. This lever member is provided on the side farther from the reflecting mirror surface of the spherical component member.
[0015]
In the case of such a method, the adjustment of the reflecting mirror surface of the tilt adjusting mirror can be performed by the action of acting on the lever member, and then the first plate and the second plate are pressed against each other. This fixes the position or posture of the tilt adjustment mirror.
[0016]
In this way, a facet mirror is realized when a tilt adjusting mirror or a plurality of spherical components are used, and this mirror can be adjusted with high accuracy, and after adjustment, the position or posture of the reflecting mirror surface can be adjusted. It can be securely fixed. By pressing together the two plates, each having a spherical component between them, the spherical component can be placed in a pre-adjusted position or posture even when there is vibration or impact. A structure in which the constituent members are maintained is obtained.
[0017]
In a particularly advantageous development of this method, it is possible to make adjustments while illuminating, so that the actual conditions, such as heat, that actually occur are directly present on the reflector facets when they are being adjusted. It will be. Since the adjustment can be made from the side of the reflecting mirror facet away from the reflecting mirror surface, the illumination is not hindered during the adjustment, and therefore the condition is not disturbed by the adjusting operation. In addition, since the adjustment can be performed using the result of the illumination itself, it is possible to improve the accuracy to be achieved under the actual use conditions thereafter.
[0018]
Such tilting mirrors are particularly preferably used as reflector facets for facet mirrors in semiconductor lithography, in particular in lithographic lenses operating here with extreme short ultraviolet (EUV) rays. it can.
[0019]
Facet mirrors that use multiple facets that can be individually and freely adjusted to guide EUV light within the lens have been found to be particularly preferred in such lenses, and as such Such a usage should certainly be regarded as one of the fields in which the tilt adjusting mirror according to the present invention is used.
[0020]
Further advantageous improvements of the invention will emerge from the remaining subclaims, as well as from the exemplary embodiments shown below with reference to the drawings.
BEST MODE FOR CARRYING OUT THE INVENTION
[0021]
The only drawing attached is a cross-sectional view showing in principle one possible configuration of a facet mirror (polyhedral composite mirror) using a tilt adjusting mirror according to the invention.
[0022]
Only a part of the facet mirror 1 is shown in the attached figure. A part of this facet mirror has three tilt adjusting mirrors, in other words, three reflector facets 2 (reflector facets) in the representative embodiment shown here. Each of these reflecting facets 2 is configured as a spherical component 3 in this embodiment. A concave portion 4 is provided in each spherical component 3. In this recess 4, only one spherical component member 3 among the plurality of spherical component members 3 supplemented by broken lines so as to form a spherical cross-sectional shape is provided with a reference symbol. The remaining surface of the spherical component 3 in this recess 4 thus forms the reflecting mirror surface 5. Each of the reflecting mirror surfaces 5 is supplementarily represented by a symbol in the normal direction n of the surface of the reflecting mirror surface in the attached single drawing.
[0023]
Each reflecting mirror facet 2 is mounted in a bearing device (support device). In the present embodiment, the bearing device includes a conical hole 6. The conical hole 6 is formed in a plate 7 (hereinafter referred to as a lower holding plate 7). The spherical component 3 is placed in the conical hole 6. The larger opening diameter of the conical hole 6 is provided so that the spherical component 3 does not fall through the hole even if the spherical component 3 is placed in the conical hole 6.
[0024]
Furthermore, the bearing device has a device for securely holding and holding the spherical component 3. According to the exemplary embodiment shown here, the device for holding is configured as yet another conical hole 8 provided in the second plate 9. The second plate 9 is hereinafter referred to as an upper holding plate 9 in the present embodiment for easier understanding. The larger opening angle of the other conical hole 8 is arranged so as to face the lower holding plate 7.
[0025]
In addition to the above-described device for securely holding the upper holding plate 9, various types of device configurations using, for example, a spring, a magnetic force, and the like are also conceivable.
[0026]
Particularly preferred for operation in an optimal manner is when each of the reflector facets 2 is fitted with an adjusting device on the side farther away from the reflector face 5. The adjusting device can be configured as a lever member 10 connected to the spherical component member 3, for example. By using such a lever member 10 that protrudes through the conical hole 6 of the lower holding plate 7, the facet mirror 1 is thus in an illuminated state, which is used for normal operation. Of course, the adjustment can be made from the rear side, that is, from the side opposite to the illuminated side. In this embodiment, the speed ratio between the movement of the reflecting mirror surface 5, that is, the movement of the reflecting mirror surface in the normal direction n and the deflection of the lever member 10 can be set by the length of the lever member 10. it can. In the present embodiment in which the lever member 10 is provided so as to be aligned with the normal direction n of the surface of the reflecting mirror surface 5, this ratio is a rational number.
[0027]
Particularly preferred is the case where the position or posture of the reflecting mirror surface 5 is adjusted by a corresponding force on the side of the lever member 10 away from the spherical component 3. Said force can be applied to the lever member 10, for example, via a drive device which is shown here in principle by the arrow A. What is considered here as a drive device is any and all known forms of drive devices, for example, a force by a compressed gas, a force by a compressed liquid, a piezoelectric force, a magnetic force, or a mechanical force. is there.
[0028]
For example, the procedure for adjusting a facet mirror 1 as described above that can be used as a facet mirror 1 in a lens for EUV lithography is as follows. Insert into the shaped hole 6. After that, the upper holding plate 9 having the conical hole 8 of the plate is disposed above the reflecting facet 2 and lowered. These two plates 7, 9 are then loosely superimposed on each other so that the position or orientation of the reflector facets 2 can still be changed by the lever member 10. Subsequently, each of the reflecting mirror surfaces 5 of the individual reflecting mirror facets 2 is independently adjusted by applying an appropriate force on the lever member 10 while illuminating the entire facet mirror 1. As soon as the positions or postures of all the reflector facets 2 have been adjusted as required, pressure is applied so that the first and second plates are pressed against each other to fix their positions or postures. Particularly preferred in the present embodiment is when the lower holding plate 7 is made of a material that is much softer than the material of the spherical component 3. What could be considered here would be, for example, a combination of a ceramic or crystalline material for the spherical component 3 and a soft metal such as brass, copper or aluminum for the lower holding plate 7. . On the other hand, the upper holding plate 9 must be made of a material that is slightly harder than the material of the lower holding plate 7 but at the same time much softer than the material of the spherical component 3. This ensures that when the two plates 7 and 9 are pushed together, the spherical component 3 is easily pushed into the lower holding plate 7 and the position or posture of the spherical component is caused by the frictional force ( Even if there are vibrations, shocks, etc.).
[0029]
For example, if two plates 7 and 9 are screwed together, this can happen, but if the final adjustment is unavoidable when the plates 7 and 9 are pushed together, screwed joints can be used. By releasing compressed air between the two plates and applying pressure to the two plates 7 and 9 so that a new adjustment can be made. After the adjustment is performed again so that the frictional force between the two plates 7 and 9 is reduced, the two plates 7 and 9 may be pressed together again.
[0030]
It is equally possible to glue or solder the reflector face to at least one of the plates 7, 9 in order to ensure the final setting of the position or orientation of the individual facets.
[Brief description of the drawings]
[0031]
FIG. 1 is a sectional view showing in principle one possible configuration of a facet mirror using a tilt adjusting mirror according to the invention.
[Explanation of symbols]
[0032]
1 Facet mirror 2 Reflector facet (tilt adjustment mirror)
3 Spherical component 4 Recess 5 Reflective mirror surface 6, 8 Conical hole 7 Lower holding plate (first plate)
9 Upper holding plate (second plate)
10 Lever member (adjustment device)
Claims (16)
前記反射鏡面（５）は、球状構成部材（３）における凹部（４）の表面として構成され、前記球状構成部材（３）は、前記ベアリング装置内に取り付けられていることを特徴とする傾斜調節ミラー。Inclination adjusting mirror having a reflecting mirror surface and a bearing device, in particular, an inclination adjusting mirror which is a reflecting facet for a facet mirror including a plurality of the inclination adjusting mirrors,
The reflecting mirror surface (5) is configured as a surface of the recess (4) in the spherical component member (3), and the spherical component member (3) is mounted in the bearing device. mirror.
前記反射鏡面（５）は、球状構成部材（３）における凹部（４）内に配設され、前記球状構成部材（３）は、前記ベアリング装置内に取り付けられていることを特徴とする傾斜調節ミラー。Inclination adjusting mirror having a reflecting mirror surface and a bearing device, in particular, an inclination adjusting mirror which is a reflecting facet for a facet mirror including a plurality of the inclination adjusting mirrors,
Tilt adjustment characterized in that the reflecting mirror surface (5) is disposed in a recess (4) in a spherical component (3), and the spherical component (3) is mounted in the bearing device. mirror.
前記ベアリング装置は、プレート（７）内に少なくとも一つの円錐形穴部（６）を有し、該円錐形穴部（６）の中には、一つの穴部に対してそれぞれ一つの前記球状構成部材（３）が配設されていることを特徴とする傾斜調節ミラー。The tilt adjustment mirror according to claim 1 or 2,
The bearing device has at least one conical hole (6) in the plate (7), and each of the conical holes (6) has one spherical shape for each hole. A tilt adjusting mirror, wherein the constituent member (3) is disposed.
前記プレート（７）は、前記球状構成部材（３）よりも軟らかい材料からなることを特徴とする傾斜調節ミラー。The tilt adjusting mirror according to claim 3,
The tilt adjusting mirror, wherein the plate (7) is made of a material softer than the spherical component (3).
前記ベアリング装置は、前記球状構成部材（３）を確実に保持するための装置を有していることを特徴とする傾斜調節ミラー。The tilt adjustment mirror according to any one of claims 1 to 4,
The tilt adjustment mirror according to claim 1, wherein the bearing device includes a device for securely holding the spherical component (3).
前記保持するための装置は、第２のプレート（９）内のさらにもう一つ他の円錐形穴部（８）として構成され、前記もう一つ他の円錐形穴部（８）の大きい方の開口径が、前記第１のプレート（７）の側に臨んでいることを特徴とする傾斜調節ミラー。The tilt adjusting mirror according to claim 5,
The holding device is configured as a further conical hole (8) in the second plate (9), the larger one of the other conical holes (8). The tilt adjustment mirror is characterized in that the opening diameter of the mirror faces the side of the first plate (7).
前記第２のプレート（９）は、前記球状構成部材（３）の材料より軟らかくかつ前記第１のプレート（７）の材料より硬い材料からなることを特徴とする傾斜調節ミラー。The tilt adjusting mirror according to claim 6,
The tilt adjusting mirror characterized in that the second plate (9) is made of a material softer than the material of the spherical component (3) and harder than the material of the first plate (7).
調整装置（レバー部材１０）が、前記反射鏡面（５）から遠い方の前記球状構成部材（３）の側に配設されていることを特徴とする傾斜調節ミラー。The tilt adjusting mirror according to any one of claims 1 to 7,
The tilt adjusting mirror, wherein the adjusting device (lever member 10) is disposed on the side of the spherical component member (3) far from the reflecting mirror surface (5).
前記調整装置は、前記球状構成部材（３）に接続されたレバー部材（１０）として構成されていることを特徴とする傾斜調節ミラー。The tilt adjusting mirror according to claim 8,
The tilt adjusting mirror, wherein the adjusting device is configured as a lever member (10) connected to the spherical component member (3).
前記レバー部材（１０）は、前記反射鏡面（５）の面の法線方向（ｎ）に合わせられるようにして構成されていることを特徴とする傾斜調節ミラー。The tilt adjusting mirror according to claim 9,
The tilt adjusting mirror according to claim 1, wherein the lever member (10) is configured to be aligned with a normal direction (n) of the surface of the reflecting mirror surface (5).
前記反射鏡面（５）の位置ないし姿勢を調整するための力は、前記球状構成部材（３）から遠い側で前記レバー部材（１０）に加えられるように設けられていることを特徴とする傾斜調節ミラー。The tilt adjustment mirror according to claim 9 or 10,
Inclination characterized in that a force for adjusting the position or posture of the reflecting mirror surface (5) is applied to the lever member (10) on the side far from the spherical component member (3). Adjustment mirror.
前記力は、少なくとも一つの駆動装置によって加えられるように構成されていることを特徴とする傾斜調節ミラー。The tilt adjusting mirror according to claim 11,
The tilt adjusting mirror is configured such that the force is applied by at least one driving device.
前記レバー部材（１０）に力の作用（Ａ）を働かせることで前記傾斜調節ミラーの反射鏡面（５）の調整を行い、その後、前記傾斜調節ミラー（１）の位置ないし姿勢を、前記第１及び第２のプレート（７，９）を互いに押し付け合わせることによって固定することを特徴とする方法。A method for adjusting a spherical component member inserted between two plates of a tilt adjusting mirror according to any one of claims 1 to 12 and provided with a lever member.
The reflection mirror surface (5) of the tilt adjusting mirror is adjusted by applying a force (A) to the lever member (10), and then the position or posture of the tilt adjusting mirror (1) is changed to the first position. And fixing the second plate (7, 9) by pressing them together.
前記反射鏡面（５）を照明した状態で調整を行なうことを特徴とする方法。The method of claim 13, wherein
The adjustment is performed with the reflecting mirror surface (5) illuminated.
前記傾斜調節ミラー（１）を調整する前および／または調整する間に、その都度、前記プレート（７，９）の間に圧縮空気を送り込むことによって圧力を加えて前記２枚のプレート（７，９）を互いに引き離すことを特徴とする方法。15. A method according to claim 13 or claim 14, wherein
Before and / or during the adjustment of the tilt adjustment mirror (1), pressure is applied by sending compressed air between the plates (7, 9) to provide the two plates (7, 7). 9. A method characterized by pulling apart 9) from each other.
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