JP2000167683A - Device for adjusting optical path by reflection mirror - Google Patents
Device for adjusting optical path by reflection mirrorInfo
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Abstract
Description
【０００１】[0001]
【発明の属する技術分野】この発明は、レーザ加工装置
等に用いられる反射鏡による光路調整装置に関するもの
である。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to an optical path adjusting device using a reflecting mirror used in a laser processing device or the like.
【０００２】[0002]
【従来の技術】レーザ加工装置等のレーザビームを作業
点まで導く必要がある装置において、反射鏡によりレー
ザビームを反射させてレーザビームを伝送する構成のも
のが広く用いられている。このような反射鏡によりレー
ザビームを正確に伝送するためには、寸法誤差及び組立
誤差等の存在から、組立時あるいはメンテナンス時に、
反射鏡の角度調整によりレーザビームの光路調整を行う
必要がある。2. Description of the Related Art In a device such as a laser processing device which needs to guide a laser beam to a working point, a device in which a laser beam is reflected by a reflecting mirror and transmitted is widely used. In order to accurately transmit a laser beam by such a reflecting mirror, due to the presence of dimensional errors and assembly errors, during assembly or maintenance,
It is necessary to adjust the optical path of the laser beam by adjusting the angle of the reflecting mirror.
【０００３】図９は、実開昭６０−５１５２６号公報に
開示された、従来の反射鏡による光路調整装置を示す図
である。図において、１１は外周面が凸球面状に成形さ
れた略円板状の反射鏡受け、１２は反射鏡受け１１の中
央部の反射鏡取付け穴、１３は反射鏡、１４は内周面が
凹球面状に成形されたフレーム、１５、１６は反射鏡受
け１１に設けられたアーム、１７、１８は調整ネジであ
り、反射鏡受け１１の凸球面状の外周面とフレーム１４
の凹球面状の内周面が摺動し、反射鏡受け１１をフレー
ム１４に対して回転可能に支持する球面支持部（図中
ａ）を構成している。FIG. 9 is a view showing a conventional optical path adjusting device using a reflecting mirror disclosed in Japanese Utility Model Application Laid-Open No. 60-51526. In the drawing, reference numeral 11 denotes a substantially disk-shaped reflecting mirror receiver having an outer peripheral surface formed into a convex spherical shape, 12 denotes a reflecting mirror mounting hole at the center of the reflecting mirror receiver 11, 13 denotes a reflecting mirror, and 14 denotes an inner peripheral surface. Frames 15 and 16 are provided on the reflector receiver 11, and 17 and 18 are adjusting screws. The convex outer peripheral surface of the reflector receiver 11 and the frame 14
The inner peripheral surface of the concave spherical surface slides, and forms a spherical support portion (a in the figure) that rotatably supports the reflecting mirror receiver 11 with respect to the frame 14.
【０００４】反射鏡受け１１はフレーム１４に対して自
由に回転するが、その回転中心は常に外周凸球面の中心
となっている。また、反射鏡１３はその反射面１３ａの
中心が反射鏡受け１１の外周凸球面の中心と一致するよ
うに反射鏡受け１１に取付けられているため、反射鏡１
３はその反射面１３ａの中心まわりに回転する。アーム
１５、１６は反射鏡１３の中心に対し直交して設けられ
ており、調整ネジ１７、１８はフレーム１４を押圧する
ように先端がフレームに当接して設けられている（図中
ｂ）。このように、調整ネジ１７、１８を調整すること
により、反射鏡１３の反射面の角度を変えることができ
る構成となっている。The reflecting mirror receiver 11 rotates freely with respect to the frame 14, but its center of rotation is always the center of the outer convex sphere. Further, since the reflecting mirror 13 is mounted on the reflecting mirror receiver 11 such that the center of the reflecting surface 13a coincides with the center of the outer peripheral convex spherical surface of the reflecting mirror receiver 11, the reflecting mirror 1
3 rotates around the center of the reflection surface 13a. The arms 15 and 16 are provided orthogonal to the center of the reflecting mirror 13, and the adjusting screws 17 and 18 are provided such that the ends thereof abut the frame 14 so as to press the frame 14 (b in the figure). Thus, by adjusting the adjusting screws 17 and 18, the angle of the reflecting surface of the reflecting mirror 13 can be changed.
【０００５】[0005]
【発明が解決しようとする課題】以上説明したような従
来の反射鏡による光路調整装置においては、反射鏡受け
に取付けられているアームに設けられている調整ネジに
より、フレームに対して反射鏡受けを押圧して、反射鏡
受けに取付けられている反射鏡の角度調整を行ってい
た。このような場合、調整ネジの推力により球面支持部
に掛かる力が不均一になり、球面支持部の摩擦抵抗が大
きくなるため、反射鏡受けの円滑な回転ができず、した
がって、反射鏡の角度調整を高精度に行うことができな
いという問題点があった。In the conventional optical path adjusting device using a reflecting mirror as described above, an adjusting screw provided on an arm mounted on the reflecting mirror receiver is used to adjust the reflecting mirror receiver to the frame. Was pressed to adjust the angle of the reflector mounted on the reflector receiver. In such a case, the force applied to the spherical support by the thrust of the adjusting screw becomes non-uniform, and the frictional resistance of the spherical support increases, so that the reflector receiver cannot rotate smoothly, and therefore, the angle of the reflector can be reduced. There is a problem that adjustment cannot be performed with high accuracy.
【０００６】また、球面支持部にはバックラッシがあ
り、反射鏡受けの外周凸球面とフレームの内周凹球面か
らなる球面支持部のバックラッシをなるべく減少させな
ければ、反射鏡の角度調整を高精度に行うことができな
い。しかし、従来の技術で説明した反射鏡による光路調
整装置では、反射鏡受けとフレームの組み付け方法等が
何ら開示されていないため、実際の使用に当たって反射
鏡の角度調整が高精度にできないという問題点があっ
た。Also, the spherical support has backlash, and unless the backlash of the spherical support consisting of the outer convex sphere of the reflector receiver and the inner concave sphere of the frame is reduced as much as possible, the angle adjustment of the reflector can be performed with high precision. Can not be done. However, in the optical path adjusting device using a reflecting mirror described in the related art, the method of assembling the reflecting mirror receiver and the frame is not disclosed at all, so that the angle adjustment of the reflecting mirror cannot be performed with high accuracy in actual use. was there.
【０００７】さらに、従来の技術で説明した反射鏡によ
る光路調整装置では、調整後の反射鏡受けの固定方法が
開示されておらず、通常用いられるネジにより固定した
場合には、支持剛性が低いため、長期間の使用により位
置ずれが発生する可能性が高く、長期間に亘りレーザビ
ームの光路の安定性及び信頼性を維持することができな
いという問題点があった。Further, in the optical path adjusting device using a reflecting mirror described in the prior art, a method of fixing the reflecting mirror receiver after the adjustment is not disclosed. Therefore, there is a high possibility that displacement will occur due to long-term use, and there has been a problem that stability and reliability of the optical path of the laser beam cannot be maintained for a long term.
【０００８】この発明は前記の課題を解決するためにな
されたものであり、反射鏡の角度調整を高精度に行うこ
とができる反射鏡による光路調整装置を得ることを目的
とする。SUMMARY OF THE INVENTION The present invention has been made to solve the above-described problems, and has as its object to provide an optical path adjusting device using a reflecting mirror capable of adjusting the angle of the reflecting mirror with high accuracy.
【０００９】また、反射鏡の角度調整後の固定を確実に
行うことができ、長期間に亘りレーザビームの光路の安
定性及び信頼性を維持することができる反射鏡による光
路調整装置を得ることを目的とする。Further, it is possible to obtain an optical path adjusting device using a reflecting mirror which can surely fix the reflecting mirror after the angle adjustment and maintain the stability and reliability of the optical path of the laser beam for a long period of time. With the goal.
【００１０】さらに、コスト低減を図ることができる反
射鏡による光路調整装置を得ることを目的とする。It is another object of the present invention to provide an optical path adjusting device using a reflecting mirror which can reduce the cost.
【００１１】さらにまた、反射鏡による光路調整装置を
含む装置全体の機構の簡素化及びコンパクト化が図れる
反射鏡による光路調整装置を得ることを目的とする。Still another object of the present invention is to provide an optical path adjusting device using a reflecting mirror, which can simplify and reduce the size of the entire device including an optical path adjusting device using a reflecting mirror.
【００１２】[0012]
【課題を解決するための手段】第１の発明に係る反射鏡
による光路調整装置は、フレームを一体で成形し、反射
鏡押えが組み込み可能な切り欠きを前記フレームに形成
するものである。According to a first aspect of the present invention, there is provided an optical path adjusting apparatus using a reflector, wherein a frame is integrally formed, and a notch into which a reflector holder can be incorporated is formed in the frame.
【００１３】第２の発明に係る反射鏡による光路調整装
置は、フレームを一体で成形し、前記フレームに反射鏡
受け及び反射鏡が組み込まれた状態を基準にして、前記
反射鏡の反射面に平行な面への前記フレームの開口部の
投影形状が、前記反射鏡の反射面に直交する面への前記
反射鏡受けの投影形状を包含するように、前記フレーム
の一部に切り欠きを形成するものである。According to a second aspect of the present invention, there is provided an optical path adjusting device using a reflecting mirror, wherein a frame is integrally formed, and a reflecting surface of the reflecting mirror is provided on the basis of a state in which the reflecting mirror receiver and the reflecting mirror are incorporated in the frame. A notch is formed in a part of the frame so that a projection shape of the opening of the frame on a parallel surface includes a projection shape of the reflection mirror receiver on a surface orthogonal to a reflection surface of the reflection mirror. Is what you do.
【００１４】第３の発明に係る反射鏡による光路調整装
置は、フレームの凹球面状の内周面の一部にスリットを
設け、前記スリット近傍の前記フレームの弾性変形によ
り前記フレームに対して反射鏡受けを固定する固定手段
を備えるものである。According to a third aspect of the present invention, there is provided an optical path adjusting apparatus using a reflecting mirror, wherein a slit is provided in a part of a concave spherical inner peripheral surface of a frame, and the frame is reflected on the frame by elastic deformation of the frame near the slit. It is provided with fixing means for fixing the mirror receiver.
【００１５】第４の発明に係る反射鏡による光路調整装
置は、第１の発明又は第２の発明に係る反射鏡による光
路調整装置において、前記フレームの凹球面状の内周面
の一部にスリットを設け、前記スリット近傍の前記フレ
ームの弾性変形により前記フレームに対して前記反射鏡
受けを固定する固定手段を備えるものである。According to a fourth aspect of the present invention, there is provided an optical path adjusting device using a reflecting mirror according to the first or second aspect of the present invention, wherein a part of the concave spherical inner peripheral surface of the frame is provided. A slit is provided, and fixing means for fixing the reflection mirror receiver to the frame by elastic deformation of the frame near the slit is provided.
【００１６】第５の発明に係る反射鏡による光路調整装
置は、第３の発明に係る反射鏡による光路調整装置にお
いて、前記フレームを分割して製作し、組み合せて使用
するものである。An optical path adjusting apparatus using a reflecting mirror according to a fifth aspect of the present invention is an optical path adjusting apparatus using a reflecting mirror according to the third aspect of the present invention, wherein the frame is divided and manufactured and used in combination.
【００１７】第６の発明に係る反射鏡による光路調整装
置は、第１の発明〜第５の発明に係る反射鏡による光路
調整装置のいずれかにおいて、前記反射鏡受けに着脱可
能な調整手段を設けて前記光路調整を行うものである。According to a sixth aspect of the present invention, there is provided an optical path adjusting device using a reflecting mirror according to any one of the first to fifth aspects, wherein the adjusting means detachable from the reflecting mirror receiver is provided. To adjust the optical path.
【００１８】第７の発明に係る反射鏡による光路調整装
置は、第１の発明〜第５の発明に係る反射鏡による光路
調整装置のいずれかにおいて、前記反射鏡を前記反射鏡
受けに固定する反射鏡押えを備え、前記反射鏡押えに着
脱可能な調整手段を設けて前記光路調整を行うものであ
る。An optical path adjusting device using a reflecting mirror according to a seventh aspect of the present invention is the optical path adjusting device using a reflecting mirror according to any one of the first to fifth aspects of the present invention, wherein the reflecting mirror is fixed to the reflecting mirror receiver. The optical path adjustment is provided by providing a reflecting mirror retainer and a detachable adjusting means provided on the reflecting mirror retainer.
【００１９】第８の発明に係る反射鏡による光路調整装
置は、第１の発明〜第７の発明に係る反射鏡による光路
調整装置のいずれかにおいて、前記フレームをベンドブ
ロック状の形状とするものである。An optical path adjusting device using a reflecting mirror according to an eighth aspect of the present invention is the optical path adjusting device using a reflecting mirror according to the first to seventh aspects, wherein the frame has a bend block shape. It is.
【００２０】第９の発明に係る反射鏡による光路調整装
置は、第１の発明〜第８の発明に係る反射鏡による光路
調整装置のいずれかにおいて、球面支持部に潤滑被膜を
形成させる表面処理を施すものである。An optical path adjusting device using a reflecting mirror according to a ninth aspect of the present invention is the surface treatment for forming a lubricating film on the spherical support portion in any one of the optical path adjusting devices using the reflecting mirror according to the first to eighth aspects. Is applied.
【００２１】[0021]
【発明の実施の形態】実施の形態１．図１は、この発明
の実施の形態１の反射鏡による光路調整装置を示す図で
あり、図において、１はフレーム、２は反射鏡受け、３
は反射鏡押え、４は切り欠き、５はスリットであり、従
来の技術と同様に、フレーム１の内周凹球面と反射鏡受
け２の外周凸球面は球面支持部（図中ａ）を構成してい
る。また、反射鏡１３はその反射中心が球面支持部の回
転中心と一致するように取付けられており、反射鏡１３
はその反射中心まわりに回転可能な構成となっている。DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS Embodiment 1 FIG. 1 is a diagram showing an optical path adjusting device using a reflecting mirror according to a first embodiment of the present invention. In FIG.
Is a reflector holder, 4 is a notch, and 5 is a slit. As in the prior art, the inner concave spherical surface of the frame 1 and the outer convex spherical surface of the reflector receiver 2 constitute a spherical support portion (a in the figure). are doing. The reflecting mirror 13 is mounted so that its reflection center coincides with the rotation center of the spherical support.
Is configured to be rotatable around its reflection center.
【００２２】図２は、反射鏡の角度調整を行う方法の説
明図である。図において、６は調整棒であり、反射鏡１
３の角度調整を行う場合には、このような調整棒６を反
射鏡押え３に取付け、調整棒６を操作して反射鏡１３の
角度調整を行うことができる。このように、角度調整を
行う場合に調整棒６を取付けるため、装置を簡素化でき
る。また、特に、長い調整棒６を用いれば反射鏡１３の
角度調整の分解能を上げることができ、調整精度を向上
することができる。また、このような調整棒６の他にも
様々な形状の調整用治具を反射鏡受け２又は反射鏡押え
３に取付けて、反射鏡１３の角度調整を行うことができ
る。FIG. 2 is an explanatory diagram of a method for adjusting the angle of the reflecting mirror. In the figure, reference numeral 6 denotes an adjusting rod,
In the case of performing the angle adjustment 3, such an adjustment rod 6 is attached to the reflector holder 3, and the angle of the reflector 13 can be adjusted by operating the adjustment rod 6. As described above, since the adjustment rod 6 is attached when performing the angle adjustment, the apparatus can be simplified. In particular, if the long adjustment rod 6 is used, the resolution of the angle adjustment of the reflecting mirror 13 can be increased, and the adjustment accuracy can be improved. In addition, an adjusting jig of various shapes other than the adjusting rod 6 can be attached to the reflector receiver 2 or the reflector holder 3 to adjust the angle of the reflector 13.
【００２３】また、前記球面支持部に潤滑被膜を形成さ
せる表面処理を施すことにより、球面支持部をより円滑
に動作させることができ、さらに高精度かつ短時間にて
反射鏡の角度調整を行うことができる。また、球面支持
部の磨耗が低減できるため、長期間に亘りレーザビーム
の光路の安定性及び信頼性が向上する。Further, by performing a surface treatment for forming a lubricating film on the spherical support, the spherical support can be operated more smoothly, and the angle of the reflecting mirror can be adjusted with high accuracy and in a short time. be able to. Further, since the wear of the spherical support portion can be reduced, the stability and reliability of the optical path of the laser beam are improved over a long period of time.
【００２４】図３は、フレームに反射鏡受け等を組み込
む方法の説明図であり、フレーム１には切り欠き４が形
成されているため、図３の（ａ）、（ｂ）のようにフレ
ーム１に対して、反射鏡受け２等を配置することがで
き、この状態から、図中のＸ軸まわりに反射鏡受け２等
を回転させることにより、図３の（ｃ）、（ｄ）のよう
にフレーム１の内周凹球面と反射鏡受け２の外周凸球面
を合わせて球面支持部を構成することができる。次に、
フレーム１に形成する切り欠き４の形状について、図４
を用いて説明する。フレーム１に反射鏡受け２等が組み
込まれた状態（たとえば図３の（ｃ）、図４の（ｄ）
等）を基準にして、図４の（ａ）の斜線部１０１は、反
射鏡１３の反射面に平行な面（図４中のＸＹ平面）への
フレーム１の開口部の投影形状を示し、図４の（ｂ）の
斜線部１０２は反射鏡１３の反射面に直交する面（図４
の（ｂ）ではＸＺ平面）への反射鏡受け２の投影形状を
示している。前記フレーム１の開口部の投影形状１０１
を前記反射鏡受け２の投影形状１０２よりも大きくする
ことにより、図３で説明したように、図４の（ｃ）から
図４の（ｄ）のように、反射鏡受け２等をフレーム１に
組み込むことができる。FIG. 3 is an explanatory view of a method of incorporating a reflector receiver or the like into the frame. Since the notch 4 is formed in the frame 1, the frame is formed as shown in FIGS. 3 (a) and 3 (b). 1, the reflector receiver 2 and the like can be arranged, and from this state, by rotating the reflector receiver 2 and the like around the X axis in the figure, the reflector receiver 2 and the like shown in FIGS. As described above, the spherical support portion can be configured by combining the inner concave spherical surface of the frame 1 and the outer convex spherical surface of the reflector receiver 2. next,
Regarding the shape of the notch 4 formed in the frame 1, FIG.
This will be described with reference to FIG. A state in which the reflector receiver 2 and the like are incorporated in the frame 1 (for example, (c) of FIG. 3 and (d) of FIG. 4).
4A, the hatched portion 101 in FIG. 4A indicates the projection shape of the opening of the frame 1 on a plane parallel to the reflecting surface of the reflecting mirror 13 (XY plane in FIG. 4). 4B is a plane orthogonal to the reflecting surface of the reflecting mirror 13 (FIG. 4B).
(B) shows the projection shape of the reflector receiver 2 onto the XZ plane). Projection shape 101 of opening of frame 1
Is made larger than the projection shape 102 of the reflection mirror receiver 2, as described with reference to FIG. 3, the reflection mirror receiver 2 and the like are moved from the frame 1 to the frame 1 as shown in FIGS. Can be incorporated into
【００２５】したがって、一体成形したフレーム１の内
周面と反射鏡受け２の外周面を高精度に仕上げ加工後、
組み付け可能であり、フレーム１への反射鏡押え２の組
み込みが簡単にできると共に、球面支持部のバックラッ
シを減少することができるため、反射鏡１３の角度調整
を高精度に行うことができる。なお、切り欠き４の形状
は、図３及び図４等の形状に限定されるものではなく、
フレーム１に対して反射鏡受け２等を組み付けられる大
きさを備えていればよい。Therefore, after the inner peripheral surface of the integrally molded frame 1 and the outer peripheral surface of the reflector receiver 2 are finished with high precision,
Since it is possible to assemble, the incorporation of the reflector holder 2 into the frame 1 can be simplified, and the backlash of the spherical support can be reduced, so that the angle adjustment of the reflector 13 can be performed with high accuracy. Note that the shape of the notch 4 is not limited to the shapes shown in FIGS.
What is necessary is just to have the size which can mount the reflector receiver 2 etc. with respect to the frame 1.
【００２６】図５は、反射鏡の角度調整後の球面支持部
の固定方法の説明図であり、７は固定ネジである。反射
鏡１３の角度調整完了後には、その位置にて、フレーム
１に対して反射鏡１３、すなわち反射鏡受け２を確実に
固定する必要がある。フレーム１はスリット５を有して
いるため、固定ネジ７にてフレーム１を弾性変形させる
ことにより、反射鏡受け２の外周凸球面がフレーム１の
内周凹球面により面接触にて押えられるため、球面支持
部の確実な固定が可能となる。FIG. 5 is an explanatory view of a method of fixing the spherical support portion after the angle adjustment of the reflecting mirror, and 7 is a fixing screw. After the angle adjustment of the reflecting mirror 13 is completed, it is necessary to securely fix the reflecting mirror 13, that is, the reflecting mirror receiver 2 to the frame 1 at that position. Since the frame 1 has the slits 5, the outer convex surface of the reflecting mirror receiver 2 is pressed by the inner concave surface of the frame 1 by surface contact by elastically deforming the frame 1 with the fixing screw 7. Thus, the spherical support portion can be securely fixed.
【００２７】実施の形態２．図６は、この発明の実施の
形態２の反射鏡の角度調整後の球面支持部の固定方法の
説明図である。実施の形態１と基本的な構成、動作等は
同様である。実施の形態１の図５では、１個の固定ネジ
を使用する場合を示したが、図６に示すように、２個あ
るいは３個以上の固定ネジを使用してもよい。また、固
定ネジはボルトに限定されるものではなく、ボルトとナ
ットの組合わせ等スリット５を有するフレーム１を弾性
変形させて固定できるものであればよい。Embodiment 2 FIG. FIG. 6 is an explanatory diagram of a method of fixing the spherical support portion after adjusting the angle of the reflecting mirror according to the second embodiment of the present invention. The basic configuration, operation and the like are the same as those of the first embodiment. Although FIG. 5 of the first embodiment shows a case where one fixing screw is used, as shown in FIG. 6, two or three or more fixing screws may be used. The fixing screw is not limited to a bolt, but may be any screw that can elastically deform and fix the frame 1 having the slit 5 such as a combination of a bolt and a nut.
【００２８】実施の形態３．図７は、この発明の実施の
形態３の反射鏡による光路調整装置を示す図であり、実
施の形態１と基本的な構成、動作等は同様である。この
実施の形態の特徴はフレームを１ａ、１ｂに分割して製
作し、組み合せて使用することにあり、実施の形態１で
示したフレーム１を一体で成形する場合に比べ、フレー
ム１ａ、１ｂの組み付け誤差が若干発生するため、球面
支持部のバックラッシは若干増加するが、フレームの製
作が簡単になるためコスト低減が図れる。また、図７に
は、切り欠き４がある場合を示したが、このようにフレ
ームを分割して製作する場合には、反射鏡受け２の外周
凸球面をフレーム１ａ、１ｂの内周凹球面を組み合わせ
た後にフレーム１ａ、１ｂを固定することにより、切り
欠き４が無くてもフレーム内に反射鏡受け２等を組み込
みむことが可能である。したがって、切り欠きを無くし
た場合には、さらにコスト低減を図ることができる。Embodiment 3 FIG. 7 is a diagram illustrating an optical path adjusting device using a reflecting mirror according to a third embodiment of the present invention. The basic configuration, operation, and the like are the same as those in the first embodiment. The feature of this embodiment resides in that the frame is divided into 1a and 1b and manufactured and used in combination. Compared with the case where the frame 1 shown in the first embodiment is integrally formed, the frame 1a and 1b Although a slight assembling error occurs, the backlash of the spherical support portion slightly increases, but the manufacturing of the frame is simplified and the cost can be reduced. FIG. 7 shows the case where the notch 4 is provided. However, when the frame is divided and manufactured as described above, the outer convex sphere of the reflector receiver 2 is replaced with the inner concave sphere of the frames 1a and 1b. By fixing the frames 1a and 1b after combining the above, it is possible to incorporate the reflector receiver 2 and the like in the frame without the notch 4. Therefore, when the notch is eliminated, the cost can be further reduced.
【００２９】実施の形態４．図８は、この発明の実施の
形態４の反射鏡による光路調整装置を示す図であり、図
において、８はベンドブロックである。実施の形態１と
基本的な構成、動作等は同様である。ベンドブロック８
に直接球面支持部を設け、反射鏡による光路調整装置を
構成することにより、反射鏡による光路調整装置を含む
装置全体の機構の簡素化、コンパクト化を図ることがで
きる。Embodiment 4 FIG. 8 is a diagram showing an optical path adjusting device using a reflecting mirror according to a fourth embodiment of the present invention. In the figure, reference numeral 8 denotes a bend block. The basic configuration, operation and the like are the same as those of the first embodiment. Bend block 8
By directly providing a spherical support portion to the optical path adjusting device using a reflecting mirror, the mechanism of the entire apparatus including the optical path adjusting device using a reflecting mirror can be simplified and downsized.
【００３０】[0030]
【発明の効果】この発明は、以上説明したように構成さ
れているので、以下に示すような効果を奏する。第１の
発明に係る反射鏡による光路調整装置は、フレームを一
体で成形し、反射鏡押えが組み込み可能な切り欠きを前
記フレームに形成するため、前記フレームへの前記反射
鏡押えの組み込みが簡単にできると共に、球面支持部の
バックラッシを減少することができるため、反射鏡の角
度調整を高精度に行うことができる。Since the present invention is configured as described above, it has the following effects. In the optical path adjusting device using the reflector according to the first invention, since the frame is formed integrally and the notch into which the reflector holder can be incorporated is formed in the frame, the reflector holder can be easily incorporated into the frame. And the backlash of the spherical support portion can be reduced, so that the angle adjustment of the reflecting mirror can be performed with high accuracy.
【００３１】第２の発明に係る反射鏡による光路調整装
置は、フレームを一体で成形し、フレームに反射鏡受け
及び反射鏡が組み込まれた状態を基準にして、前記反射
鏡の反射面に平行な面への前記フレームの開口部の投影
形状が、前記反射鏡の反射面に直交する面への前記反射
鏡受けの投影形状を包含するように、前記フレームの一
部に切り欠きを形成するため、第１の発明と同様の効果
を奏する。In the optical path adjusting device using a reflecting mirror according to the second invention, the frame is integrally formed, and the reflecting surface of the reflecting mirror is parallel to the reflecting surface of the reflecting mirror with reference to a state in which the reflecting mirror receiver and the reflecting mirror are incorporated in the frame. A notch is formed in a part of the frame such that the shape of the projection of the opening of the frame on a flat surface includes the shape of the projection of the reflection mirror receiver on a surface orthogonal to the reflection surface of the reflection mirror. Therefore, the same effect as that of the first invention is obtained.
【００３２】第３の発明に係る反射鏡による光路調整装
置は、フレームの凹球面状の内周面の一部にスリットを
設け、前記スリット近傍の前記フレームの弾性変形によ
り前記フレームに対して反射鏡受けを固定する固定手段
を備えるため、反射鏡の角度調整後の固定を確実に行う
ことができ、長期間に亘りレーザビームの光路の安定性
及び信頼性を維持することができる。According to a third aspect of the present invention, there is provided an optical path adjusting device using a reflecting mirror, wherein a slit is provided in a part of a concave spherical inner peripheral surface of a frame, and the frame is reflected on the frame by elastic deformation of the frame near the slit. Since the fixing means for fixing the mirror receiver is provided, the fixing of the reflecting mirror after the angle adjustment can be surely performed, and the stability and reliability of the optical path of the laser beam can be maintained for a long period of time.
【００３３】第４の発明に係る反射鏡による光路調整装
置は、第１の発明又は第２の発明に係る反射鏡による光
路調整装置において、前記フレームの凹球面状の内周面
の一部にスリットを設け、前記スリット近傍の前記フレ
ームの弾性変形により前記フレームに対して前記反射鏡
受けを固定する固定手段を備えるため、第１の発明と同
様の効果を奏すると共に、反射鏡の角度調整後の固定を
確実に行うことができ、長期間に亘りレーザビームの光
路の安定性及び信頼性を維持することができる。An optical path adjusting device using a reflecting mirror according to a fourth invention is the optical path adjusting device using a reflecting mirror according to the first or second invention, wherein a part of the concave spherical inner peripheral surface of the frame is provided. A slit is provided, and a fixing means for fixing the reflector receiver to the frame by elastic deformation of the frame near the slit is provided, so that the same effect as that of the first invention is obtained, and the angle of the reflector is adjusted. Can be securely fixed, and the stability and reliability of the optical path of the laser beam can be maintained for a long period of time.
【００３４】第５の発明に係る反射鏡による光路調整装
置は、第３の発明に係る反射鏡による光路調整装置にお
いて、前記フレームを分割して製作し、組み合せて使用
するため、前記フレームの製作が簡単になるため、コス
ト低減を図ることができる。また、切り欠きが不要にな
るため、さらにコスト低減を図ることができる。An optical path adjusting device using a reflecting mirror according to a fifth aspect of the present invention is the optical path adjusting device using a reflecting mirror according to the third aspect of the present invention. , The cost can be reduced. Further, since the notch is not required, the cost can be further reduced.
【００３５】第６の発明に係る反射鏡による光路調整装
置は、第１の発明〜第５の発明に係る反射鏡による光路
調整装置のいずれかにおいて、前記反射鏡受けに着脱可
能な調整手段を設けて前記光路調整を行うため、装置を
簡素化できる。また、調整作業が簡単にできると共に、
調整精度を向上することができる。According to a sixth aspect of the present invention, there is provided an optical path adjusting device using a reflecting mirror according to any one of the first to fifth aspects, wherein the adjusting means detachable from the reflecting mirror receiver is provided. Since the optical path adjustment is performed by providing the device, the device can be simplified. In addition, adjustment work can be done easily,
Adjustment accuracy can be improved.
【００３６】第７の発明に係る反射鏡による光路調整装
置は、第１の発明〜第５の発明に係る反射鏡による光路
調整装置のいずれかにおいて、前記反射鏡を前記反射鏡
受けに固定する反射鏡押えを備え、前記反射鏡押えに着
脱可能な調整手段を設けて前記光路調整を行うため、第
５の発明と同様の効果を奏する。An optical path adjusting device using a reflecting mirror according to a seventh aspect of the present invention is the optical path adjusting device using a reflecting mirror according to the first to fifth aspects of the present invention, wherein the reflecting mirror is fixed to the reflecting mirror receiver. Since the optical path adjustment is performed by providing the reflecting mirror retainer with the detachable adjusting means provided on the reflecting mirror retainer, the same effect as in the fifth invention can be obtained.
【００３７】第８の発明に係る反射鏡による光路調整装
置は、第１の発明〜第７の発明に係る反射鏡による光路
調整装置のいずれかにおいて、前記フレームをベンドブ
ロック状の形状とするため、反射鏡による光路調整装置
を含む装置全体の機構の簡素化、コンパクト化を図るこ
とができる。An optical path adjusting device using a reflecting mirror according to an eighth aspect of the present invention is the optical path adjusting device using a reflecting mirror according to any of the first to seventh aspects of the present invention, wherein the frame has a bend block shape. In addition, the mechanism of the entire device including the optical path adjusting device using the reflecting mirror can be simplified and downsized.
【００３８】第９の発明に係る反射鏡による光路調整装
置は、第１の発明〜第８の発明に係る反射鏡による光路
調整装置のいずれかにおいて、球面支持部に潤滑被膜を
形成させる表面処理を施すため、球面支持部をより円滑
に動作させることができ、さらに高精度かつ短時間にて
反射鏡の角度調整を行うことができる。また、球面支持
部の磨耗が低減できるため、長期間に亘りレーザビーム
の光路の安定性及び信頼性が向上する。An optical path adjusting device using a reflecting mirror according to a ninth aspect of the present invention is the surface treatment for forming a lubricating film on the spherical support portion in any one of the optical path adjusting devices using the reflecting mirror according to the first to eighth aspects. Therefore, the spherical support can be operated more smoothly, and the angle of the reflecting mirror can be adjusted with high accuracy and in a short time. Further, since the wear of the spherical support portion can be reduced, the stability and reliability of the optical path of the laser beam are improved over a long period of time.
【図１】 この発明の実施の形態１の反射鏡による光路
調整装置を示す図である。FIG. 1 is a diagram illustrating an optical path adjusting device using a reflecting mirror according to a first embodiment of the present invention.
【図２】 この発明の実施の形態１の反射鏡の角度調整
を行う方法の説明図である。FIG. 2 is an explanatory diagram of a method for adjusting the angle of the reflecting mirror according to the first embodiment of the present invention.
【図３】 この発明の実施の形態１のフレームに反射鏡
受け等を組み込む方法の説明図である。FIG. 3 is an explanatory diagram of a method of incorporating a reflector receiver or the like into the frame according to the first embodiment of the present invention.
【図４】 この発明の実施の形態１のフレーム１に形成
する切り欠き４の形状の説明図である。FIG. 4 is an explanatory diagram of a shape of a notch 4 formed in the frame 1 according to the first embodiment of the present invention.
【図５】 この発明の実施の形態１の反射鏡の角度調整
後の球面支持部の固定方法の説明図である。FIG. 5 is an explanatory diagram of a method of fixing the spherical support portion after adjusting the angle of the reflecting mirror according to the first embodiment of the present invention.
【図６】 この発明の実施の形態２の反射鏡の角度調整
後の球面支持部の固定方法の説明図である。FIG. 6 is an explanatory diagram of a method of fixing a spherical support portion after adjusting an angle of a reflecting mirror according to a second embodiment of the present invention.
【図７】 この発明の実施の形態３の反射鏡による光路
調整装置を示す図である。FIG. 7 is a diagram illustrating an optical path adjusting device using a reflecting mirror according to a third embodiment of the present invention.
【図８】 この発明の実施の形態４の反射鏡による光路
調整装置を示す図である。FIG. 8 is a diagram showing an optical path adjusting device using a reflecting mirror according to a fourth embodiment of the present invention.
【図９】 従来の反射鏡による光路調整装置を示す図で
ある。FIG. 9 is a diagram showing a conventional optical path adjusting device using a reflecting mirror.
１、１ａ、１ｂ フレーム、２ 反射鏡受け、３ 反射
鏡押え、４ 切り欠き、５ スリット、６ 調整棒、７
固定ネジ、８ ベンドブロック、１３ 反射鏡、１０
１ フレーム１の開口部の投影形状、１０２ 反射鏡受
け２の投影形状。1, 1a, 1b frame, 2 reflector holder, 3 reflector holder, 4 notch, 5 slit, 6 adjustment rod, 7
Fixing screw, 8 bend block, 13 reflector, 10
1 Projection shape of opening of frame 1, 102 Projection shape of reflector receiver 2.
Claims (9)
球面状の外周面を持つ反射鏡受けと、前記反射鏡受けに
固定された反射鏡とを備え、前記凹球面状の内周面と前
記凸球面状の外周面を組み合わせで球面支持部を構成
し、前記反射鏡の反射中心を前記球面支持部の回転中心
と一致させ、前記反射鏡の角度調整によりレーザビーム
の光路調整を行う反射鏡による光路調整装置において、 前記フレームを一体で成形し、 前記反射鏡押えが組み込み可能な切り欠きを前記フレー
ムに形成することを特徴とする反射鏡による光路調整装
置。1. A frame having a concave spherical inner peripheral surface, a reflecting mirror receiver having a convex spherical outer peripheral surface, and a reflecting mirror fixed to the reflecting mirror receiver. A spherical support portion is formed by combining a peripheral surface and the convex spherical outer peripheral surface, a reflection center of the reflecting mirror coincides with a rotation center of the spherical support portion, and an optical path adjustment of a laser beam is performed by adjusting an angle of the reflecting mirror. An optical path adjusting apparatus using a reflecting mirror, wherein the frame is integrally formed, and a cutout in which the reflecting mirror retainer can be incorporated is formed in the frame.
球面状の外周面を持つ反射鏡受けと、前記反射鏡受けに
固定された反射鏡とを備え、前記凹球面状の内周面と前
記凸球面状の外周面を組み合わせで球面支持部を構成
し、前記反射鏡の反射中心を前記球面支持部の回転中心
と一致させ、前記反射鏡の角度調整によりレーザビーム
の光路調整を行う反射鏡による光路調整装置において、 前記フレームを一体で成形し、 前記フレームに前記反射鏡受け及び前記反射鏡が組み込
まれた状態を基準にして、前記反射鏡の反射面に平行な
面への前記フレームの開口部の投影形状が、前記反射鏡
の反射面に直交する面への前記反射鏡受けの投影形状を
包含するように、前記フレームの一部に切り欠きを形成
することを特徴とする反射鏡による光路調整装置。2. A frame having a concave spherical inner peripheral surface, a reflecting mirror receiver having a convex spherical outer peripheral surface, and a reflecting mirror fixed to the reflecting mirror receiver. A spherical support portion is formed by combining a peripheral surface and the convex spherical outer peripheral surface, a reflection center of the reflecting mirror coincides with a rotation center of the spherical support portion, and an optical path adjustment of a laser beam is performed by adjusting an angle of the reflecting mirror. In the optical path adjusting apparatus using a reflecting mirror, the frame is integrally formed, and the reflecting mirror and the reflecting mirror are incorporated in the frame as a reference to a surface parallel to the reflecting surface of the reflecting mirror. The notch is formed in a part of the frame so that the projected shape of the opening of the frame includes the projected shape of the reflector receiver on a plane orthogonal to the reflecting surface of the reflector. Path adjustment by reflector Location.
球面状の外周面を持つ反射鏡受けと、前記反射鏡受けに
固定された反射鏡とを備え、前記凹球面状の内周面と前
記凸球面状の外周面を組み合わせで球面支持部を構成
し、前記反射鏡の反射中心を前記球面支持部の回転中心
と一致させ、前記反射鏡の角度調整によりレーザビーム
の光路調整を行う反射鏡による光路調整装置において、 前記フレームの前記凹球面状の内周面の一部にスリット
を設け、前記スリット近傍の前記フレームの弾性変形に
より前記フレームに対して前記反射鏡受けを固定する固
定手段を備えることを特徴とする反射鏡による光路調整
装置。3. A frame having a concave spherical inner peripheral surface, a reflecting mirror receiver having a convex spherical outer peripheral surface, and a reflecting mirror fixed to the reflecting mirror receiver. A spherical support portion is formed by combining a peripheral surface and the convex spherical outer peripheral surface, a reflection center of the reflecting mirror coincides with a rotation center of the spherical support portion, and an optical path adjustment of a laser beam is performed by adjusting an angle of the reflecting mirror. In the optical path adjusting device using a reflecting mirror, a slit is provided in a part of the concave spherical inner peripheral surface of the frame, and the reflecting mirror receiver is fixed to the frame by elastic deformation of the frame near the slit. An optical path adjusting device using a reflecting mirror, comprising:
一部にスリットを設け、前記スリット近傍の前記フレー
ムの弾性変形により前記フレームに対して前記反射鏡受
けを固定する固定手段を備えることを特徴とする請求項
１又は２記載の反射鏡による光路調整装置。4. A fixing means for providing a slit in a part of the concave spherical inner peripheral surface of the frame, and fixing the reflector receiver to the frame by elastic deformation of the frame near the slit. An optical path adjusting device using a reflecting mirror according to claim 1.
せて使用することを特徴とする請求項３記載の反射鏡に
よる光路調整装置。5. The optical path adjusting device according to claim 3, wherein the frame is divided and manufactured and used in combination.
設けて前記光路調整を行うことを特徴とする請求項１〜
５のいずれかに記載の反射鏡による光路調整装置。6. The optical path adjustment is performed by providing a detachable adjusting means on the reflecting mirror receiver.
5. An optical path adjusting device using the reflecting mirror according to any one of 5.
反射鏡押えを備え、前記反射鏡押えに着脱可能な調整手
段を設けて前記光路調整を行うことを特徴とする請求項
１〜５のいずれかに記載の反射鏡による光路調整装置。7. The optical path adjusting device according to claim 1, further comprising a reflector holder for fixing said reflector to said reflector receiver, wherein said reflector holder is provided with removable adjusting means for adjusting said optical path. An optical path adjusting device using the reflecting mirror according to any one of the above.
とすることを特徴とする請求項１〜７のいずれかに記載
の反射鏡による光路調整装置。8. The optical path adjusting device according to claim 1, wherein the frame has a bend block shape.
表面処理を施すことを特徴とする請求項１〜８のいずれ
かに記載の反射鏡による光路調整装置。9. An optical path adjusting device using a reflecting mirror according to claim 1, wherein a surface treatment for forming a lubricating film is performed on said spherical support portion.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10344220A JP2000167683A (en) | 1998-12-03 | 1998-12-03 | Device for adjusting optical path by reflection mirror |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10344220A JP2000167683A (en) | 1998-12-03 | 1998-12-03 | Device for adjusting optical path by reflection mirror |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2000167683A true JP2000167683A (en) | 2000-06-20 |
Family
ID=18367571
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP10344220A Pending JP2000167683A (en) | 1998-12-03 | 1998-12-03 | Device for adjusting optical path by reflection mirror |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2000167683A (en) |
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