JP2005508448A5 - - Google Patents
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- 239000011248 coating agent Substances 0.000 description 12
- 238000000576 coating method Methods 0.000 description 12
- 239000000463 material Substances 0.000 description 6
- 238000000926 separation method Methods 0.000 description 4
- 229910010271 silicon carbide Inorganic materials 0.000 description 3
- 238000005229 chemical vapour deposition Methods 0.000 description 2
- 239000002131 composite material Substances 0.000 description 2
- 238000001764 infiltration Methods 0.000 description 2
- 229910003465 moissanite Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000011819 refractory material Substances 0.000 description 2
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 2
- HBMJWWWQQXIZIP-UHFFFAOYSA-N Silicon carbide Chemical compound [Si+]#[C-] HBMJWWWQQXIZIP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N carbon Chemical compound [C] OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910002804 graphite Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010439 graphite Substances 0.000 description 1
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 1
Description
【請求項１】 １またはそれ以上の支持体上に配置された部品の全表面上に連続コーティングを形成する方法であって、
−各支持体に前記形成されるコーティングの材料より機械的に弱い材料の分離層を設ける工程、
−少なくとも各支持領域において、各支持体と該部品との間に前記形成されるコーティングの成分材料の連続層を介在させる工程、
−化学蒸気浸透または化学蒸着により前記コーティングを形成する工程、および
−続いて、前記分離層内での裂開により前記支持体から前記部品を分離する工程であって、前記支持領域における前記部品上の前記コーティングの連続性が、前記連続層に由来し、かつ前記部品上に残存する前記コーティングの部分により提供される工程
を備えることを特徴とする方法。
−各支持体に前記形成されるコーティングの材料より機械的に弱い材料の分離層を設ける工程、
−少なくとも各支持領域において、各支持体と該部品との間に前記形成されるコーティングの成分材料の連続層を介在させる工程、
−化学蒸気浸透または化学蒸着により前記コーティングを形成する工程、および
−続いて、前記分離層内での裂開により前記支持体から前記部品を分離する工程であって、前記支持領域における前記部品上の前記コーティングの連続性が、前記連続層に由来し、かつ前記部品上に残存する前記コーティングの部分により提供される工程
を備えることを特徴とする方法。
【請求項４】 前記連続層が、前記支持体上の前記分離層上に形成されることを特徴とする請求項１ないし３のいずれか１項記載の方法。
この目的は、
−作られるコーティングの材料より機械的に弱い材料の分離層を支持体に設ける工程、
−少なくとも支持領域において、支持体と部品との間に、作られるコーティングの成分材料の連続層を介在させる工程、
−化学蒸気浸透（ｃｈｅｍｉｃａｌ ｖａｐｏｒ ｉｎｆｉｌｔｒａｔｉｏｎ）または蒸着（ｃｈｅｍｉｃａｌ ｖａｐｏｒ ｄｅｐｏｓｉｔｉｏｎ）によりコーティングを形成する工程、および
−続いて、分離層内での裂開により支持体から部品を分離する工程であって、支持領域における部品上のコーティングの連続性が、連続層に由来し、かつ部品上に残存するコーティングの部分により提供される工程
を含む方法により達成される。
−作られるコーティングの材料より機械的に弱い材料の分離層を支持体に設ける工程、
−少なくとも支持領域において、支持体と部品との間に、作られるコーティングの成分材料の連続層を介在させる工程、
−化学蒸気浸透（ｃｈｅｍｉｃａｌ ｖａｐｏｒ ｉｎｆｉｌｔｒａｔｉｏｎ）または蒸着（ｃｈｅｍｉｃａｌ ｖａｐｏｒ ｄｅｐｏｓｉｔｉｏｎ）によりコーティングを形成する工程、および
−続いて、分離層内での裂開により支持体から部品を分離する工程であって、支持領域における部品上のコーティングの連続性が、連続層に由来し、かつ部品上に残存するコーティングの部分により提供される工程
を含む方法により達成される。
図６においてより詳細に示されているように、それぞれの支持体２０は、例えば、黒鉛のような耐火材料またはＣ／Ｃ複合材料のような耐熱構造複合材料の基材２２および形成されるＳｉＣコーティングの連続層を構成するための炭化ケイ素の外側層２４を備える。層２４のＳｉＣより機械的に弱い耐火材料の分離層２６が基材２２と層２４との間に介在する。
Applications Claiming Priority (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| FR0114313A FR2831892B1 (fr) | 2001-11-06 | 2001-11-06 | Procede de realisation d'un revetement continu a la surface d'une piece |
| PCT/FR2002/003775 WO2003040429A1 (fr) | 2001-11-06 | 2002-11-05 | Procede de realisation d'un revetement continu a la surface d'une piece |
Publications (3)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2005508448A JP2005508448A (ja) | 2005-03-31 |
| JP2005508448A5 true JP2005508448A5 (ja) | 2009-01-22 |
| JP4286142B2 JP4286142B2 (ja) | 2009-06-24 |
Family
ID=8869094
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2003542671A Expired - Fee Related JP4286142B2 (ja) | 2001-11-06 | 2002-11-05 | 部品の表面上に連続被覆を作る方法 |
Country Status (8)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US6926925B2 (ja) |
| EP (1) | EP1442154B1 (ja) |
| JP (1) | JP4286142B2 (ja) |
| CA (1) | CA2433907C (ja) |
| DE (1) | DE60239007D1 (ja) |
| FR (1) | FR2831892B1 (ja) |
| NO (1) | NO20033032D0 (ja) |
| WO (1) | WO2003040429A1 (ja) |
Families Citing this family (12)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| FR2850649B1 (fr) * | 2003-01-30 | 2005-04-29 | Snecma Propulsion Solide | Procede pour le traitement de surface d'une piece en materiau composite thermostructural et application au brasage de pieces en materiau composite thermostructural |
| WO2006076924A1 (en) * | 2005-01-24 | 2006-07-27 | Danfoss A/S | A method for coating an object |
| WO2006113447A2 (en) * | 2005-04-14 | 2006-10-26 | Ted Johnson | Superabrasive coatings |
| US8039050B2 (en) * | 2005-12-21 | 2011-10-18 | Geo2 Technologies, Inc. | Method and apparatus for strengthening a porous substrate |
| US10399907B2 (en) | 2012-03-02 | 2019-09-03 | Dynamic Material Systems, LLC | Ceramic composite structures and processing technologies |
| US20170050890A1 (en) * | 2012-03-02 | 2017-02-23 | Dynamic Material Systems, LLC | Advanced Mirrors Utilizing Polymer-Derived-Ceramic Mirror Substrates |
| US9764987B2 (en) | 2012-03-02 | 2017-09-19 | Dynamic Material Systems, LLC | Composite ceramics and ceramic particles and method for producing ceramic particles and bulk ceramic particles |
| US11326255B2 (en) * | 2013-02-07 | 2022-05-10 | Uchicago Argonne, Llc | ALD reactor for coating porous substrates |
| FR3042993A1 (fr) * | 2015-11-04 | 2017-05-05 | Commissariat Energie Atomique | Matrice et piston d'appareil de sps, appareil de sps les comprenant, et procede de frittage, densification ou assemblage sous une atmosphere oxydante utilisant cet appareil |
| JP7178209B2 (ja) * | 2018-08-22 | 2022-11-25 | 株式会社Uacj | 熱交換器の製造方法 |
| US11111578B1 (en) | 2020-02-13 | 2021-09-07 | Uchicago Argonne, Llc | Atomic layer deposition of fluoride thin films |
| US11901169B2 (en) | 2022-02-14 | 2024-02-13 | Uchicago Argonne, Llc | Barrier coatings |
Family Cites Families (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US4472476A (en) * | 1982-06-24 | 1984-09-18 | United Technologies Corporation | Composite silicon carbide/silicon nitride coatings for carbon-carbon materials |
| FR2567874B1 (fr) * | 1984-07-20 | 1987-01-02 | Europ Propulsion | Procede de fabrication d'un materiau composite a renfort fibreux refractaire et matrice ceramique, et structure telle qu'obtenue par ce procede |
| FR2594119B1 (fr) * | 1986-02-10 | 1988-06-03 | Europ Propulsion | Installation pour l'infiltration chimique en phase vapeur d'un materiau refractaire autre que le carbone |
| CA2065724A1 (en) * | 1991-05-01 | 1992-11-02 | Thomas R. Anthony | Method of producing articles by chemical vapor deposition and the support mandrels used therein |
| US5175929A (en) * | 1992-03-04 | 1993-01-05 | General Electric Company | Method for producing articles by chemical vapor deposition |
| US6231923B1 (en) * | 1998-08-17 | 2001-05-15 | Tevtech Llc | Chemical vapor deposition of near net shape monolithic ceramic parts |
| US6258227B1 (en) * | 1999-03-13 | 2001-07-10 | Applied Materials, Inc. | Method and apparatus for fabricating a wafer spacing mask on a substrate support chuck |
| US6659161B1 (en) * | 2000-10-13 | 2003-12-09 | Chien-Min Sung | Molding process for making diamond tools |
-
2001
- 2001-11-06 FR FR0114313A patent/FR2831892B1/fr not_active Expired - Fee Related
-
2002
- 2002-11-05 EP EP02796837A patent/EP1442154B1/fr not_active Expired - Fee Related
- 2002-11-05 US US10/250,419 patent/US6926925B2/en not_active Expired - Lifetime
- 2002-11-05 JP JP2003542671A patent/JP4286142B2/ja not_active Expired - Fee Related
- 2002-11-05 WO PCT/FR2002/003775 patent/WO2003040429A1/fr active Application Filing
- 2002-11-05 CA CA2433907A patent/CA2433907C/en not_active Expired - Fee Related
- 2002-11-05 DE DE60239007T patent/DE60239007D1/de not_active Expired - Lifetime
-
2003
- 2003-07-02 NO NO20033032A patent/NO20033032D0/no not_active Application Discontinuation
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