JP2005501400A5 - - Google Patents

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Families Citing this family (14)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
NO321337B1 (no) * 2003-07-31 2006-05-02 Roto Internat As Anordning for a oppna sirkulasjon av et fluid, fremgangsmate for a montere anordningen og anvendelse av denne.
JP4266878B2 (ja) 2004-04-22 2009-05-20 Ｎｅｃディスプレイソリューションズ株式会社 映像表示装置
US7471708B2 (en) * 2005-03-31 2008-12-30 Cymer, Inc. Gas discharge laser output light beam parameter control
JP4899026B2 (ja) * 2006-02-20 2012-03-21 株式会社小松製作所 レーザ装置
US8814522B2 (en) * 2007-06-15 2014-08-26 Cymer, Llc Cross-flow fan impeller for a transversley excited, pulsed, gas discharge laser
CN102777416B (zh) * 2011-10-20 2014-10-22 中国科学院光电研究院 一种准分子激光器用贯流风机叶轮
RU2541417C1 (ru) * 2013-11-05 2015-02-10 Федеральное государственное бюджетное учреждение науки Физический институт им. П.Н. Лебедева Российской академии наук(ФИАН) Фоконный полупроводниковый электроразрядный лазер
CN104747493B (zh) * 2013-12-26 2018-01-02 珠海格力电器股份有限公司 空调器及其贯流风叶
JP7370220B2 (ja) * 2017-09-27 2023-10-27 ダイキン工業株式会社 空気調和機
JP6843721B2 (ja) 2017-09-27 2021-03-17 ダイキン工業株式会社 空気調和機
JP7813665B2 (ja) * 2019-10-30 2026-02-13 ダイキン工業株式会社 空気調和機
JP2024500674A (ja) 2020-12-22 2024-01-10 サイマー リミテッド ライアビリティ カンパニー ガス放電チャンバブロワのエネルギー消費量を低減すること
US20260018846A1 (en) 2022-09-29 2026-01-15 Cymer, Llc Reducing energy consumption of a gas discharge chamber blower
WO2025093992A1 (en) 2023-11-01 2025-05-08 Cymer, Llc Gas discharge chamber blower fan with a textured surface

Family Cites Families (12)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4686680A (en) * 1985-06-25 1987-08-11 Laser Corporation Of America Gas laser having improved crossflow blower arrangement
US4923364A (en) 1987-03-20 1990-05-08 Prc Corporation Gas laser apparatus, method and turbine compressor therefor
US4975925A (en) 1989-11-01 1990-12-04 The Spectranetics Corporation Unlubricated bearings for gas lasers
JP3107711B2 (ja) * 1994-08-09 2000-11-13 株式会社東芝 横流ファン
JPH0972297A (ja) * 1995-06-30 1997-03-18 Daikin Ind Ltd クロスフローファン及び空気調和装置
CA2190697C (en) * 1996-01-31 2000-07-25 Donald Glenn Larson Blower motor with adjustable timing
JP3653144B2 (ja) * 1996-06-28 2005-05-25 東芝キヤリア株式会社 横流ファン、ファンコマ成形型及びファンコマ成形型製造方法
US5848089A (en) * 1997-07-11 1998-12-08 Cymer, Inc. Excimer laser with magnetic bearings supporting fan
US5870420A (en) * 1997-08-18 1999-02-09 Cymer, Inc. Cross-flow blower with braces
US6034984A (en) * 1998-08-28 2000-03-07 Cymer, Inc. Tangential fan with cutoff assembly and vibration control for electric discharge laser
US6026103A (en) * 1999-04-13 2000-02-15 Cymer, Inc. Gas discharge laser with roller bearings and stable magnetic axial positioning
JP3106130B1 (ja) * 1999-07-23 2000-11-06 株式会社東芝 タービンノズルの製造方法

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