JP2005353449A - ダイヤモンドの微細加工方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 ダイヤモンド基板上に柱状体を形成し、該形成された柱状体を、垂直方向と水平方向のエッチング速度の異なるエッチングを組合せてエッチングすることにより、柱状体を任意の形状に加工することを特徴とするダイヤモンドの微細加工方法及びダイヤモンド基板上に柱状体を形成し、該形成された柱状体を、等方性エッチングと異方性エッチングを組合せてエッチングすることにより、柱状体を任意の形状に加工することを特徴とするダイヤモンドの微細加工方法。
【選択図】 図3
Description
これは、電子の偏向や収束が殆んど不要となるので、従来のディスプレーと比べてより薄型化又は平板化が可能となるという特徴を有する。また、ダイヤモンドは電子親和力が負であるという電子放出素子として非常に有利な特性を有しているために注目されている。
このようなことから、ダイヤモンドの先端を錐のように尖鋭化する加工方法がいくつか提案されている。例えば、ダイヤモンドの基板にマスク・エッチング法により、多数の整列したダイヤモンドの隆起部分を形成し、この隆起部分に気相成長法により尖鋭な先端部を有するダイヤモンドを形成する提案がある(特許文献1参照)。
ダイヤモンド(数十ナノオーダー)を気相成長させるに際しては、各ダイヤモンド結晶の隆起部分の上に、さらにダイヤモンドの微細な結晶方位を調整することは、実際には極めて難しいという問題がある。
この技術では、第2ステップで使用する反応性イオンエッチングを、第1ステップで使用したエッチングと異なるエッチング方法を採用する、すなわち横方向のエッチング速度の割合が高いエッチングとし、これによって柱状体の先端に尖鋭部を形成するというものである。しかし、横方向のエッチングを優先し、より細くするというエッチングに限定されているので、そのエッチングには自ずと限界があるという問題が存在する。
1)ダイヤモンド基板上に柱状体を形成し、該形成された柱状体を、垂直方向と水平方向のエッチング速度の異なるエッチングを組合せてエッチングすることにより、柱状体を任意の形状に加工することを特徴とするダイヤモンドの微細加工方法
2)垂直方向と水平方向のエッチング速度の異なるエッチングを連続して行うことを特徴とする上記1記載のダイヤモンドの微細加工方法
3)ダイヤモンド基板上に柱状体を形成し、該形成された柱状体を、等方性エッチングと異方性エッチングを組合せてエッチングすることにより、柱状体を任意の形状に加工することを特徴とするダイヤモンドの微細加工方法
4)等方性エッチングと異方性エッチングを連続して行うことを特徴とする上記3記載のダイヤモンドの微細加工方法
5)エッチング後のダイヤモンドが、尖鋭化した先端部を備えていることを特徴とする上記1〜4のいずれかに記載のダイヤモンドの微細加工方法
6)エッチング後のダイヤモンドが、截頭錐体の形状を備えていることを特徴とする上記1〜4のいずれかに記載のダイヤモンドの微細加工方法
7)エッチング後のダイヤモンドが、紡錘形を備えていることを特徴とする上記1〜4のいずれかに記載のダイヤモンドの微細加工方法
8)エッチング後のダイヤモンドの形状が紡錘形を呈し、かつ先端部のみが截頭錐形状を備えていることを特徴とする上記1〜4のいずれかに記載のダイヤモンドの微細加工方法
9)微細加工をドライエッチングにより行うことを特徴とする上記1〜8のいずれかに記載のダイヤモンドの微細加工方法、を提供する。
該形成された柱状体を、垂直方向と水平方向のエッチング速度の異なるエッチングを組合せてエッチングすることにより、柱状体を任意の形状に加工する。
このエッチングは、柱状体を形成した後の工程であり、この垂直方向と水平方向のエッチング速度の異なるエッチングを連続して行うことによって、数十ナノメートルサイズの自由な三次元形状のダイヤモンド微細構造を形成することができる。
等方性エッチングには、例えば、平行平板を利用したRFプラズマエッチングに代表されるようなドライエッチング、また、結晶の面方位依存性がない溶液によるエッチングも明確な等方性エッチングとして挙げることができる。
また、異方性エッチングとしては、例えば、本発明に挙げるプラズマの励起場とそこで励起されたガス種を基板に対して高バイアスで基板に入射させる手法等を挙げることができる。この等方性エッチングと異方性エッチングを連続して行う。
エッチング後のダイヤモンドは、尖鋭化した先端部、截頭錐体の形状、紡錘形、さらにはほぼ全体が紡錘形を呈し、かつ先端部のみが截頭錐形状を備えているダイヤモンド等の任意の形状に微細加工することができる。
これによって、電子放出素子用ダイヤモンド部材として、例えばフィールド・エミッション・ディスプレーあるいは電界放射顕微鏡等の部材として使用することができる。また、ダイヤモンドの先端上部にも、コンタクトを形成することが可能であるという優れた特徴を備えている。
ダイヤモンド基板上に、一般的なフォトリソグラフィプロセスにより円形のマスクを形成し、次に、このダイヤモンド基板上に形成された柱状体を等方性エッチングである表1(b)の条件で30分間実施し、次に引き続いて(連続的に)異方性エッチングである表1(a)の条件で5分実施した。さらに、この後アルミマスク除去のために、フッ化水素処理を行った。
これによって、エッチング後のダイヤモンドは、尖鋭化した先端部を備えた底面の平均直径が約1μmのダイヤモンド微細構造を得ることができる。この尖鋭化した先端部を持つダイヤモンド微細構造体を得るための途中の工程を図1に示す。図1では、まだ充分に尖鋭化していないが、最初の等方性エッチングの時間を延長することにより先鋭化が出来る。すなわち、エッチングの時間の制御で尖鋭化の形状を任意に制御可能である。
ダイヤモンド基板上に、一般的なフォトリソグラフィプロセスにより円形のマスクを形成し、反応性イオンエッチングを行って柱状体を形成した。次に、このダイヤモンド基板上に形成された柱状体を異方性エッチングである表1(a)の条件で5分実施し、次に連続して等方性エッチングである表1(b)の条件で20分間実施した。
これによって、エッチング後のダイヤモンドは、先端部は截頭円錐形状であり、その下が紡錘形状(ビール瓶を逆さにしたような形状)のダイヤモンド微細構造が得られた。平均直径は、約0.1〜0.2umのダイヤモンド微細構造であった。この截頭円錐形状先端部を持つダイヤモンド微細構造体を図2に示す。
なお、図3の等方性エッチング条件は、図2のそれと異なるエッチング条件を用いている。表1に示す(c)の条件は、(b)の条件と異なる等方性エッチング条件の一例を示す。
このように、柱状体を垂直方向と水平方向のエッチング速度の異なるエッチングを組合せてエッチングすること、あるいは柱状体を等方性エッチングと異方性エッチングを組合せてエッチングすることは極めて重要である。
これによって数十ナノメートルサイズの任意構造、すなわち自由な三次元形状のダイヤモンド微細構造を形成することができ、また、ダイヤモンドの先端上部にも、コンタクトを形成することが可能である。
Claims (9)
- ダイヤモンド基板上に柱状体を形成し、該形成された柱状体を、垂直方向と水平方向のエッチング速度の異なるエッチングを組合せてエッチングすることにより、柱状体を任意の形状に加工することを特徴とするダイヤモンドの微細加工方法。
- 垂直方向と水平方向のエッチング速度の異なるエッチングを連続して行うことを特徴とする請求項1記載のダイヤモンドの微細加工方法。
- ダイヤモンド基板上に柱状体を形成し、該形成された柱状体を、等方性エッチングと異方性エッチングを組合せてエッチングすることにより、柱状体を任意の形状に加工することを特徴とするダイヤモンドの微細加工方法。
- 等方性エッチングと異方性エッチングを連続して行うことを特徴とする請求項3記載のダイヤモンドの微細加工方法。
- エッチング後のダイヤモンドが、尖鋭化した先端部を備えていることを特徴とする請求項1〜4のいずれかに記載のダイヤモンドの微細加工方法。
- エッチング後のダイヤモンドが、截頭錐体の形状を備えていることを特徴とする請求項1〜4のいずれかに記載のダイヤモンドの微細加工方法。
- エッチング後のダイヤモンドが、紡錘形を備えていることを特徴とする請求項1〜4のいずれかに記載のダイヤモンドの微細加工方法。
- エッチング後のダイヤモンドの形状が紡錘形を呈し、かつ先端部のみが截頭錐形状を備えていることを特徴とする請求項1〜4のいずれかに記載のダイヤモンドの微細加工方法。
- 微細加工をドライエッチングにより行うことを特徴とする請求項1〜8のいずれかに記載のダイヤモンドの微細加工方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2004173731A JP4336818B2 (ja) | 2004-06-11 | 2004-06-11 | ダイヤモンドの微細加工方法 |
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Publication Number | Publication Date |
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JP2005353449A true JP2005353449A (ja) | 2005-12-22 |
JP4336818B2 JP4336818B2 (ja) | 2009-09-30 |
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Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
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JP (1) | JP4336818B2 (ja) |
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---|---|---|---|---|
WO2008035662A1 (en) | 2006-09-19 | 2008-03-27 | Sumitomo Electric Industries, Ltd. | Diamond electron source and method for manufacturing the same |
JP2009283575A (ja) * | 2008-05-20 | 2009-12-03 | National Institute Of Advanced Industrial & Technology | ダイヤモンド基板の表面処理方法及びそれにより得られるダイヤモンド基板 |
US9469526B2 (en) | 2009-12-23 | 2016-10-18 | Max-Planck-Gesellschaft Zur Foerderung Der Wissenschaften E.V. | Method for the production of conical nanostructures on substrate surfaces |
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US9469526B2 (en) | 2009-12-23 | 2016-10-18 | Max-Planck-Gesellschaft Zur Foerderung Der Wissenschaften E.V. | Method for the production of conical nanostructures on substrate surfaces |
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JP4336818B2 (ja) | 2009-09-30 |
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