JP2005340753A - Packaging method of video image sensor and adhesive tape used for it - Google Patents
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Abstract
Description
本発明は、固体撮像デバイスを用いた映像センサの実装工程に関するものである。 The present invention relates to a mounting process of a video sensor using a solid-state imaging device.
固体撮像デバイスを用いた映像センサは、近年デジタルカメラやビデオカメラ等に広く用いられている。これら映像センサの基板側実装をはじめとした製造工程において、映像センサ表面の傷つきやゴミの付着は撮像に直接影響する可能性が高い。そこで、粘着テープを表面保護テープとして用い、映像センサの受光部側に貼り合せることで、実装および製造工程における傷つきやゴミの付着を避ける手法が採られる。 In recent years, image sensors using solid-state imaging devices have been widely used in digital cameras, video cameras, and the like. In the manufacturing process including mounting of the image sensor on the substrate side, scratches on the surface of the image sensor and adhesion of dust are highly likely to directly affect imaging. In view of this, a technique is adopted in which an adhesive tape is used as a surface protection tape and is attached to the light receiving portion side of the image sensor to avoid scratches and dust from being attached in the mounting and manufacturing process.
一方、映像センサを基板などに実装する場合、これまでは半田ゴテを用いてその端子部を一箇所ずつ半田接続実装する手法が用いられてきた。近年、映像センサの高画質および高機能化に伴い、端子数も飛躍的に増えてきたため、端子一箇所ずつ半田ゴテを用いて半田接続実装していくことは、時間も著しく要することになり現実的でない。そこで、映像センサの端子部と実装基板を位置あわせした状態で半田リフロー炉へ投入することで一度に接続実装する方法が用いられることが多くなった。 On the other hand, when mounting an image sensor on a substrate or the like, a technique has been used so far in which a terminal portion is soldered and mounted using a soldering iron. In recent years, with the increase in image quality and functionality of video sensors, the number of terminals has also increased dramatically. Therefore, soldering and mounting each terminal using a soldering iron requires a considerable amount of time and is a reality. Not right. In view of this, a method of connecting and mounting at a time by putting the terminal portion of the image sensor and the mounting substrate into a solder reflow furnace in an aligned state is often used.
しかしながら、半田リフロー炉は少なくとも半田の融点以上の高温に加熱する必要がある。上記の保護を目的とした粘着テープを貼り合せたまま加熱リフローを実施すると、粘着テープ基材の熱変形収縮による位置ズレや剥れ、あるいは粘着テープ材料の熱劣化による劣化物が映像センサの表面を逆に汚染する原因にさえなりうる。また、固体撮像デバイスの内部で用いられているカラーフィルタは熱により変性あるいは破損の可能性もあるため、特に170℃以上の高温でのリフロー処理そのものが困難である。 However, the solder reflow furnace needs to be heated to a high temperature at least equal to or higher than the melting point of the solder. If the heat reflow is performed with the adhesive tape for the above protection attached, the displacement of the adhesive tape base material due to thermal deformation and shrinkage, or degradation due to the thermal deterioration of the adhesive tape material may appear on the surface of the image sensor. Conversely, it can cause contamination. In addition, since the color filter used inside the solid-state imaging device may be denatured or damaged by heat, the reflow process itself at a high temperature of 170 ° C. or higher is particularly difficult.
従って、従来は、半田リフロー炉へ投入する直前に一旦保護テープを剥離し、160℃程度で半田リフローを実施し、終了後にあらためて保護テープを貼り直していた。このように、粘着テープを貼りあわせたままの状態で半田リフローのための高い加熱工程を経ることは困難であった。 Therefore, conventionally, the protective tape was once peeled off immediately before being put into the solder reflow furnace, the solder reflow was performed at about 160 ° C., and the protective tape was reapplied after the completion. Thus, it has been difficult to go through a high heating process for solder reflow with the adhesive tape still attached.
従って、本発明の目的は、固体撮像デバイスを用いた映像センサの実装工程において、映像センサの受光側に粘着テープを貼り合せたままの状態で半田リフローを可能とし、かつ半田リフロー中も映像センサの受光側を保護しておくことが可能となる映像センサの実装方法およびそれに用いる保護用粘着テープを提供することにある。併せて、こうした映像センサの実装時において、熱収縮性が小さく、適正な粘着力を有するとともに、テープ全体が優れた剥離性を有する保護用粘着テープを提供することを目的とする。 Accordingly, an object of the present invention is to enable solder reflow in a mounting process of a video sensor using a solid-state imaging device while the adhesive tape is stuck on the light receiving side of the video sensor, and also during the solder reflow. It is in providing the mounting method of the image sensor which can protect the light-receiving side, and the protective adhesive tape used therefor. In addition, an object of the present invention is to provide a protective pressure-sensitive adhesive tape having a small heat shrinkability, an appropriate adhesive strength, and an excellent peelability when the video sensor is mounted.
本発明者らは、前記課題を解決すべく鋭意検討を重ねた結果、以下に示す実装方法あるいは粘着テープの使用により前記目的を達成することができることを見出し、本発明を完成するに至った。 As a result of intensive studies to solve the above problems, the present inventors have found that the object can be achieved by using a mounting method or an adhesive tape described below, and have completed the present invention.
本発明は、映像センサの実装方法であって、固体撮像デバイスを用いた映像センサの実装工程において、ポリイミドフィルムを基材とし、その外周の少なくとも一部に剥離用の突起部を有し、かつ、少なくとも片面に粘着層を有する粘着テープを、前記映像センサの受光部に貼りあわせた状態で、170℃以上に加熱することで映像センサの端子部を基板側と半田接続リフローすることを特徴とする。 The present invention is a video sensor mounting method, in the video sensor mounting process using a solid-state imaging device, using a polyimide film as a base material, and having a peeling protrusion on at least a part of the outer periphery thereof, and The adhesive tape having an adhesive layer on at least one surface is bonded to the light receiving portion of the video sensor, and the terminal portion of the video sensor is solder-reflowed to the substrate side by heating to 170 ° C. or higher. To do.
本発明によれば、ポリイミドの高い耐熱性により、半田リフローでの高温工程における粘着テープの著しい熱変形や収縮を抑えることが可能となるばかりでなく、ポリイミドフィルム特有の高い遮光性と低い熱伝導度により、固体撮像デバイス中に用いられているカラーフィルタへの熱の伝導を抑制することが可能となる。従って、ポリイミド基材による単なる耐熱保護テープとしての作用効果だけでなく、固体撮像デバイス内部のカラーフィルタの熱劣化を抑制する特定の作用効果も合わせ持つため、170℃以上の十分な高温での加熱工程を実施することが可能となる。また、その外周の少なくとも一部に剥離用の突起部を有することによって、検査などの製作工程終了後あるいは使用直前において、非常に容易にテープを剥すことができる。このとき、映像センサの実装状態において、粘着テープが隣接する部品の実装あるいは半田付けなどに支障とならないことが好ましい。 According to the present invention, the high heat resistance of polyimide makes it possible not only to suppress significant thermal deformation and shrinkage of the adhesive tape in the high temperature process during solder reflow, but also to provide high light shielding and low thermal conductivity specific to polyimide films. Depending on the degree, it is possible to suppress the conduction of heat to the color filter used in the solid-state imaging device. Therefore, since it has not only a function and effect as a simple heat-resistant protective tape by the polyimide base material but also a specific function and effect for suppressing the thermal deterioration of the color filter inside the solid-state imaging device, heating at a sufficiently high temperature of 170 ° C. or higher. The process can be performed. Further, by having a peeling projection on at least a part of the outer periphery, the tape can be peeled off very easily after the production process such as inspection or just before use. At this time, it is preferable that the adhesive tape does not interfere with the mounting or soldering of adjacent components in the mounted state of the video sensor.
本発明は、上記映像センサの実装方法であって、前記粘着テープが、映像センサの受光部全体を被覆するとともに、その外周部の少なくとも一部が映像センサの端面から中心側に所定の距離を有するように、前記受光部に貼り合せることを特徴とする。 The present invention is the mounting method of the video sensor, wherein the adhesive tape covers the entire light receiving portion of the video sensor, and at least a part of the outer peripheral portion has a predetermined distance from the end surface of the video sensor to the center side. It is characterized by being bonded to the light receiving part.
映像センサの保護には、受光部を全面的に覆うテープの形状であることが必要である一方、テープの外周部が映像センサの端面を大きくはみ出る場合には粘着テープが隣接する部品の実装あるいは半田付けなどに支障となる。つまり、粘着テープは受光部を全面的に覆う必要があるとともに、極力最小であることが好ましい。従って、上記突起部以外の粘着テープの外周部は、少なくともその一部、好ましくはその多くの部分が映像センサの端面から中心側に所定の距離を有するように、前記受光部に貼り合せることが好ましい。 In order to protect the image sensor, it is necessary to have the shape of a tape that covers the entire surface of the light receiving unit. On the other hand, when the outer periphery of the tape protrudes greatly from the end surface of the image sensor, the adhesive tape is mounted on the adjacent component or This will hinder soldering. That is, the adhesive tape needs to cover the entire light receiving portion and is preferably as small as possible. Therefore, the outer peripheral portion of the adhesive tape other than the protrusions may be bonded to the light receiving portion so that at least a part thereof, preferably a large portion thereof, has a predetermined distance from the end face of the image sensor to the center side. preferable.
本発明は、上記映像センサの実装方法であって、前記粘着テープが、映像センサの端面と平行し、前記突起部の末底と繋がる辺部を有するとともに、突起部の先端から末底に繋がる側部が、斜線状、折れ線状、曲線状あるいはこれらの組み合わせのいずれかの形状を有することを特徴とする。 The present invention is the mounting method of the video sensor, wherein the adhesive tape has a side parallel to the end face of the video sensor and connected to the terminal bottom of the protrusion, and is connected from the tip of the protrusion to the terminal bottom. The side portion has a shape of one of a diagonal line shape, a polygonal line shape, a curved line shape, or a combination thereof.
上記のように、粘着テープは、検査などの製作工程終了後あるいは使用直前において容易に剥離できることが好ましい。しかしながら、粘着テープの固定には、所定の粘着力を必要とする一方、あまりに粘着力が強いと粘着テープを剥離するときに粘着剤の残留のおそれがあることから、粘着力の条件は特定の範囲に限定される。特に、突起部を設けた粘着テープの剥離においては、突起部を挟み引き上げることとなり、その際に粘着テープの亀裂が生じやすくなることから、本発明においては、突起部の先端から末底に繋がる側部が、斜線状、折れ線状、曲線状あるいはこれらの組み合わせのいずれかの形状を有することによって、映像センサからの円滑なテープの剥離が可能となることを見出したものである。 As described above, it is preferable that the adhesive tape can be easily peeled off after the production process such as inspection or just before use. However, fixing the adhesive tape requires a predetermined adhesive strength, but if the adhesive strength is too strong, the adhesive may remain when the adhesive tape is peeled off. Limited to range. In particular, in the peeling of the adhesive tape provided with the protruding portion, the protruding portion is sandwiched and pulled up, and the adhesive tape is liable to crack at that time, and in the present invention, the leading end of the protruding portion is connected to the bottom. It has been found that the tape can be smoothly peeled off from the image sensor by having the side portion having any one of a diagonal line shape, a broken line shape, a curved line shape, or a combination thereof.
また、映像センサの端面と受光部の外周部との間は、通常非常に短い距離となることから、映像センサの実装においては、粘着テープの貼り付け位置が重要となり、自動的に貼り付けられた場合であっても、貼り付け位置の確認は必要となる。従って、映像センサの端面と平行し前記突起部の末底と繋がる辺部を有する粘着テープによって、テープの貼り付け位置を明確にすることができることから、正確かつ効率的な映像センサの実装を確保することができる。 Also, since the distance between the end face of the image sensor and the outer periphery of the light receiving unit is usually a very short distance, the mounting position of the adhesive tape is important in mounting the image sensor and is automatically applied. Even in such a case, it is necessary to confirm the pasting position. Therefore, the tape attachment position can be clarified by an adhesive tape having a side part that is parallel to the end face of the image sensor and connected to the bottom of the projection, thus ensuring accurate and efficient image sensor mounting. can do.
また、本発明において、前記粘着テープの粘着剤構成材として、少なくともシリコーン系材料を用いることを特徴とする。 In the present invention, at least a silicone-based material is used as the pressure-sensitive adhesive constituent material of the pressure-sensitive adhesive tape.
こうした構成によって、耐熱性を高めるとともに、剥離粘着力のコントロールを施しやすくすることができる。 With such a configuration, it is possible to increase heat resistance and to easily control the peel adhesive strength.
本発明は、上記映像センサの実装方法であって、前記粘着テープにおいて、前記映像センサの受光部に掛かる部分に粘着層を設けないことを特徴とする。 The present invention is the above video sensor mounting method, wherein an adhesive layer is not provided on a portion of the adhesive tape that covers a light receiving portion of the video sensor.
本発明においては、映像センサの保護用粘着テープに関し、基材および粘着層を工夫することで粘着テープを貼り合わせた状態での一貫工程を図るものであり、さらに、当該粘着テープの受光部に対応する部分に粘着層を設けないことにより、部品実装後のテープ剥離の際に被着体表面に粘着剤を残存することがなく作業効率が上昇することを案出したものである。つまり、映像センサの実装工程において、映像センサの受光部側に少なくとも耐熱性のあるフィルムを基材構成材料として用い、かつ受光部分には粘着層を設けない構成の粘着テープを貼りあわせた状態で、170℃以上の加熱工程を経ることによって、作業性、安全性、生産性の高い映像センサの実装方法を提供することが可能となる。 In the present invention, the adhesive tape for protecting the image sensor is intended to perform an integrated process in a state in which the adhesive tape is bonded by devising the base material and the adhesive layer, and further to the light receiving portion of the adhesive tape. By not providing the adhesive layer in the corresponding part, it has been devised that the working efficiency is increased without the adhesive remaining on the surface of the adherend when the tape is peeled after the component mounting. In other words, in the mounting process of the image sensor, at least a heat-resistant film is used as the base material constituting the light receiving part side of the image sensor, and an adhesive tape having a structure in which an adhesive layer is not provided on the light receiving part is attached. By passing through a heating process at 170 ° C. or higher, it is possible to provide a mounting method of a video sensor with high workability, safety, and productivity.
さらに、上記映像センサの実装方法であって、170℃における前記基材の熱伝導率が、5×10-4cal/cm・sec・℃以下であることを特徴とする。 Furthermore, in the mounting method of the image sensor, the thermal conductivity of the base material at 170 ° C. is 5 × 10 −4 cal / cm · sec · ° C. or less.
固体撮像デバイスとして使用される映像センサにはカラーフィルタを内蔵しているものも多く、実装時の高温に耐えられない場合も多い。本発明の粘着テープの基材を構成するポリイミドフィルムは耐熱性とともに熱伝導率も低く、熱伝導抑制効果を有することから、映像センサ自体の物理的な保護だけではなく、カラーフィルタの保護にも有用である。 Many image sensors used as solid-state imaging devices have a built-in color filter, and often cannot withstand high temperatures during mounting. The polyimide film constituting the substrate of the pressure-sensitive adhesive tape of the present invention has low heat conductivity as well as heat resistance, and has a heat conduction suppressing effect, so that not only physical protection of the image sensor itself but also protection of the color filter Useful.
本発明は、上記映像センサの実装方法であって、180℃の加熱を1時間実施した後の前記粘着テープの熱収縮率が、1.0%以下であることを特徴とする。 The present invention is the above video sensor mounting method, characterized in that the heat shrinkage rate of the adhesive tape after heating at 180 ° C. for 1 hour is 1.0% or less.
つまり、上記のように、映像センサの実装においては基材の収縮率が小さいことが好ましく、特に半田付け等の高温領域での工程を含むことから、高温条件下での基材の収縮率を上記の範囲にすることが好適であるとの知見を得たもので、こうした付加的条件を明確にすることで、さらに作業効率が上昇する。 In other words, as described above, in the mounting of the image sensor, it is preferable that the shrinkage rate of the base material is small, and in particular, since it includes a process in a high temperature region such as soldering, the shrinkage rate of the base material under high temperature conditions is reduced. The knowledge that it is suitable to be in the above range has been obtained, and by clarifying such additional conditions, the working efficiency is further increased.
本発明は、上記映像センサの実装方法であって、180℃の加熱を1時間実施した後の前記粘着テープの粘着力が、0.1〜8.0N/19mm幅であることを特徴とする。 The present invention is the mounting method of the image sensor, wherein the adhesive strength of the adhesive tape after heating at 180 ° C. for 1 hour is 0.1 to 8.0 N / 19 mm width. .
つまり、粘着テープの剥離を防ぐには、所定以上の粘着力が必要である一方、被着体からテープを剥離した後の粘着層の残存を防ぐには、所定以下の粘着力とする必要がある。特に、高温領域での実装工程を含む場合にあっては、加熱条件下での粘着テープの粘着力を上記の範囲にすることが好適であるとの知見を得たもので、これによって、粘着テープの機能を損なわず、かつ、部品実装後のテープの剥離の際に、被着体表面に粘着剤を残存させることがなく作業効率が上昇する。 That is, in order to prevent peeling of the adhesive tape, an adhesive force of a predetermined level or more is required. On the other hand, in order to prevent the adhesive layer from remaining after the tape is peeled from the adherend, it is necessary to have an adhesive force of a predetermined level or less. is there. In particular, in the case of including a mounting process in a high temperature region, it has been found that the adhesive strength of the adhesive tape under heating conditions is preferably within the above range. The work efficiency is increased without deteriorating the function of the tape and without leaving the adhesive on the surface of the adherend when the tape is peeled off after mounting the components.
本発明は、ポリイミドフィルムを基材の構成材料に用いた粘着テープであって、上記のいずれかの映像センサの実装方法に用いることを特徴とする。 The present invention is an adhesive tape using a polyimide film as a constituent material of a base material, and is characterized by being used in any one of the above-described video sensor mounting methods.
上記の実装方法には、映像センサ表面を異物による汚染、傷つきから保護するとともに、半田付け等の加熱条件下での部品実装工程においてもテープの剥離を行わずに作業が可能な粘着テープが要求される。本発明では、ポリイミドフィルムを基材とする、優れた耐熱性、熱収縮性、および粘着性を有する表面保護用の粘着テープを提供することによって、こうした要求を満たすことが可能となる。 The mounting method described above requires an adhesive tape that protects the surface of the image sensor from contamination and scratches due to foreign matter, and that can be used without removing the tape in the component mounting process under heating conditions such as soldering. Is done. In this invention, it becomes possible to satisfy | fill such a request | requirement by providing the adhesive tape for surface protection which has the outstanding heat resistance, heat shrinkability, and adhesiveness which uses a polyimide film as a base material.
以上のように、本発明によれば、固体撮像デバイスの部品などの実装工程あるいは検査工程などにおいて、粘着テープを貼り合わせた状態で一貫工程が可能となることで、映像センサ表面を保護しつつ、作業性および生産性の高い映像センサの実装方法を提供することが可能となる。併せて、こうした映像センサの実装時に使用が可能な、熱収縮性が小さく、適正な粘着力を有するとともに、テープ全体が優れた視認性、かつ剥離性を有する保護用粘着テープを提供することが可能となる。 As described above, according to the present invention, in the mounting process or the inspection process of the components of the solid-state imaging device, the integrated process can be performed in a state where the adhesive tape is bonded, thereby protecting the surface of the video sensor. Therefore, it is possible to provide a method for mounting a video sensor with high workability and high productivity. In addition, it is possible to provide a protective pressure-sensitive adhesive tape that can be used when mounting such a video sensor, has low heat shrinkability, has an appropriate adhesive force, and has excellent visibility and peelability as a whole. It becomes possible.
以下、本発明の実施の形態について説明する。 Hereinafter, embodiments of the present invention will be described.
本発明の映像センサの実装方法は、固体撮像デバイスを用いた映像センサの実装工程において、映像センサの受光部側に、ポリイミドフィルムを基材の構成材料に用いた粘着テープを貼りあわせた状態で、映像センサの端子部を基板側と半田接続リフローする。ここでいう固体撮像デバイスを用いた映像センサとは、一般的にCCD(Charge Coupled Device)あるいはCMOS(Complementary MOS)と呼ばれる固体撮像デバイスを透明樹脂やガラス材料などを用いてパッケージ化した映像センサである。 The mounting method of the image sensor of the present invention is a state in which an adhesive tape using a polyimide film as a constituent material of the base material is bonded to the light receiving part side of the image sensor in the mounting process of the image sensor using the solid-state imaging device. Then, the terminal portion of the video sensor is reflowed by solder connection with the substrate side. The image sensor using the solid-state imaging device here is an image sensor obtained by packaging a solid-state imaging device generally called CCD (Charge Coupled Device) or CMOS (Complementary MOS) using a transparent resin or a glass material. is there.
また、この映像センサの受光部側とは、映像を受光するセンサの表面側を意味し、一般的な映像センサは撮像デバイスを保護するために透明樹脂やガラスカバーなどがかけられている場合がほとんどであることから、実質的これらの透明樹脂あるいはカバーガラスの表面に粘着テープが貼りあわせられることを含む。また面としては少なくとも受光部に相当する部分が保護されていればよいが、保護のためそれ以外の部分を覆ってもよい。 The light receiving part side of the image sensor means the surface side of the sensor that receives the image, and a general image sensor may be covered with a transparent resin or a glass cover to protect the imaging device. Since it is almost all, it includes substantially adhering an adhesive tape to the surface of these transparent resins or cover glass. Moreover, as for the surface, at least a portion corresponding to the light receiving portion may be protected, but other portions may be covered for protection.
本発明の粘着テープは、基本的に、テープ基材および基材の片面に設けられた粘着層から形成されるが、粘着テープの基材に対し離型フィルムを貼り合わせていてもよい。つまり、少なくとも1つの面に離型処理を施した離型フィルムを、粘着層を介して粘着テープの基材に貼りつけることで、粘着層を保護し映像センサ表面の保護を図ることができる。なお、このようにして実装された映像センサから、粘着テープは任意の段階で剥がして用いられることが望ましい。 The pressure-sensitive adhesive tape of the present invention is basically formed from a tape base material and a pressure-sensitive adhesive layer provided on one side of the base material, but a release film may be bonded to the base material of the pressure-sensitive adhesive tape. That is, by attaching a release film having a release treatment on at least one surface to a base material of an adhesive tape via an adhesive layer, the adhesive layer can be protected and the image sensor surface can be protected. It is desirable that the adhesive tape is peeled off at any stage from the video sensor mounted in this way.
このとき、粘着テープの外周の少なくとも一部に剥離用の突起部を有することが好ましい。具体的には、図1に例示するように映像センサ1の受光部2に粘着テープ3が貼り合された状態において、粘着テープ3の一部を形成する突起部3aが映像センサ1の端面1aをはみ出すような形態となっている。こうした形態で、映像センサ1が基板に取り付けられ、高温の半田リフローを通過して実装処理した後、映像センサ1の動作あるいは実装基板の機能を検査される。製作工程終了後あるいは使用直前において、自動的にあるいは手動によって非常に容易に粘着テープ3を剥すことができる。
At this time, it is preferable to have a protrusion for peeling on at least a part of the outer periphery of the adhesive tape. Specifically, as illustrated in FIG. 1, in a state where the
粘着テープ3の貼り付け位置は、その外周部の一部が映像センサ1の端面と受光部2の中間にあることが好ましい。つまり、粘着テープ3の幅が受光部2の幅よりも大きく、かつ映像センサ1の幅よりも小さいことが好ましい。さらには、図1に示すように、突起部3aが覆う映像センサ1の辺部1bを除く粘着テープ3の全ての外周部において、映像センサ1の端面と受光部2の中間にあることが好ましい。粘着テープ3によって受光部2を全面的に覆うことができるとともに、映像センサ1実装時に、周辺の部材への粘着テープのカバーを防止することができる。ただし、映像センサ1の基板などの実装状態において、基板周囲に他の実装部分がなく半田付けを必要としない空間がある場合には、その外周部の一部が映像センサ1の端面と受光部2の中間にあれば十分であり、必ずしも全周に要求されるものではない。
It is preferable that a part of the outer peripheral part of the
また、粘着テープ3の形状を図2に例示する。上記のような条件から、基本的には、映像センサ1あるいは受光部2と略相似形のテープの主要部分に突起部3aを付加した形状や、映像センサ1あるいは受光部2を包含するテープの主要部分に突起部3aを付加した形状であれば特に限定されないが、例えば、図2(A)のような略正方形や図2(B)のような略長方形などの一辺に突起部3aが設けた形状などが挙げられる。また、円や楕円状のテープの主要部分の一部に突起部3aを設けた形状など、映像センサ1あるいは受光部2の形状にあった形状を適用することができる。
Moreover, the shape of the
突起部3aの形状は、特に限定されるものではないが、自動あるいは手動を問わず挟持可能な形状が好ましい。また、加工が容易な形状が好ましい。例えば、図2(A)や(B)のような方形を挙げることができるが、半円状あるいは図2(C)のような台形状や、図2(D)のような方形と台形の組み合わせなどの形状も可能である。
The shape of the
このとき、突起部3aの近傍は、図1に示すような映像センサ1の端面1a、より正確には端面1aを構成する辺部1b、と平行するように、突起部3aの末底に繋がる辺部3bを有することが好ましい。明確な貼り付け位置の確保が可能となり粘着の確認が容易となる。また、映像センサ1が図1に例示するような方形でなく、角部のない方形状あるいは長円状や楕円状の場合にあっては、その端面を構成する辺部と平行する相似形状の辺部を有することが好ましい。
At this time, the vicinity of the protruding
さらに、突起部3aにおいて、その先端3dから末底に繋がる側部3cが、斜線状、折れ線状、曲線状あるいはこれらの組み合わせのいずれかの形状を有することが好ましい。粘着テープ3を剥離するときに、突起部3aの中心線に対し最も強い力が働くことから、図2(A)の破線に示すような形状3eでは、粘着テープ3の亀裂あるいはそれに伴う受光部2への粘着剤の残存を生じるおそれがある。従って、側部3cは剥離時の力の分散を図ることができる形状であることが好適である。
Furthermore, in the
具体的な形状は力の分散機能を有していれば特に限定する必要はないが、例えば、図2(A)〜(D)に示すような側部3cの形状を挙げることができる。つまり、側部3cの形状を、斜線状(図2(C))、折れ線状(図2(D))、曲線状(図2(A)および(B))あるいはこれらの組み合わせ(図示せず)とすることで、粘着テープ3の剥離時に、側部3cを円滑に剥がすことができ、次に、突起部3a全体を略均等な力で剥がすことができる。さらに受光部2を被覆しているテープの主要部分を、剥離方向Xの面内垂直方向に略均等な力で剥がすことができる。なお、斜線や折れ線の傾斜角や、曲線の曲率などは、映像センサ1の形状、粘着テープ3全体や突起部3aの形状などによって任意に設定することができる。
The specific shape is not particularly limited as long as it has a force distribution function, and examples thereof include the shape of the
また、粘着テープ3は、映像センサ1の受光部2に掛かる部分に粘着層を設けないことが好ましい。部品実装後のテープ剥離の際に被着体表面に粘着剤を残存することがなく作業効率が上昇するためである。
Moreover, it is preferable that the
具体的には、図3に例示するように、粘着層5を基材4上に形成するに際し、粘着テープの中央の映像センサの受光部に掛かる部分に、幅aの未塗布部分ができるように、両端に幅bの粘着層5を形成し、粘着テープを作製する方法などを挙げることができる。ただし、粘着層5の形状は、基本的に映像センサの受光部に掛かる部分に未塗布部分ができるようになれば、特に限定されるものではなく、例えば、図4に例示するように、(A)円形状、(B)角状、など任意の形状の刳り抜きを設ける方法や、(C)基材4の四隅に粘着層5の形成する方法、(D)所定幅の傾斜状の未塗布部分を形成する方法、など種々の方法を適用することが可能である。図4斜線部は、粘着剤塗布部分を示している。
Specifically, as illustrated in FIG. 3, when the
以上の方法によって、粘着層2を映像センサ表面に対し偏りなく、かつ被着面積を確保するように形成することによって、映像センサ表面への貼り付け強度を十分確保しながら受光部への影響を防止することができる。
By the above method, the
これらに貼り合せられる粘着テープとしては、ポリイミドフィルムを基材の構成材料に用いていることが必要である。優れた耐熱性、熱収縮性、および粘着性を有する表面保護用の粘着テープを形成することで、加熱条件下での部品実装工程においてもテープの剥離を行わずに作業が可能となるためである。 As an adhesive tape to be bonded to these, it is necessary to use a polyimide film as a constituent material of the substrate. By forming an adhesive tape for surface protection that has excellent heat resistance, heat shrinkability, and adhesiveness, it is possible to work without peeling the tape in the component mounting process under heating conditions. is there.
ここでいうポリイミドフィルムは、特に限定されないが、テープとしての剛性やポリイミドフィルムが有する褐色の遮光効果を十分に発揮するためには、ある程度の厚さを有することが望ましい。具体的には、厚さ10μm以上、より好ましくは20μm以上の厚さを有していることがよい。 The polyimide film here is not particularly limited, but it is desirable that the polyimide film has a certain thickness in order to sufficiently exhibit the rigidity as a tape and the brown shading effect of the polyimide film. Specifically, the thickness may be 10 μm or more, more preferably 20 μm or more.
また、基材はポリイミドフィルム単独でもよいが、少なくともポリイミドフィルム層を1層以上有して積層した基材や、原材料としてポリイミド材料を含有したフィルムであってもよい。また、任意の表面処理、延伸処理、あるいは可塑剤、添加剤を含有するものであってもよい。 The base material may be a polyimide film alone, but may be a base material having at least one polyimide film layer and laminated, or a film containing a polyimide material as a raw material. Moreover, arbitrary surface treatment, extending | stretching treatment, or a plasticizer and an additive may be contained.
ただし、カラーフィルタへの熱伝導抑制の効果を十分に有するためには、基材として例えば170℃における熱伝導率が5×10-4cal/cm・sec・℃以下であることが望ましい。ポリイミドフィルムは耐熱性とともに熱伝導率も低く、映像センサ自体の物理的な保護に加え、実装時の高温に対しカラーフィルタを保護することが可能となる。 However, in order to have a sufficient effect of suppressing heat conduction to the color filter, it is desirable that the substrate has a heat conductivity of, for example, 170 ° C. of 5 × 10 −4 cal / cm · sec · ° C. or less. Polyimide film has low heat conductivity as well as heat resistance, and in addition to physical protection of the image sensor itself, it is possible to protect the color filter against high temperatures during mounting.
なお、粘着剤の材質などは特に限定されないが、具体的にはアクリル系粘着剤、あるいはシリコーン系粘着剤などが挙げられる。特に、シリコーン系粘着剤は耐熱性に優れるばかりでなく、粘着力の調整も容易であることから、最終的に実装が完了した後にテープを剥離する際の粘着力を任意に調整することで、ハンドリングに優れた粘着テープの設計が可能となり、特に適した粘着材料であるといえる。 In addition, although the material of an adhesive etc. is not specifically limited, Acrylic adhesive or a silicone adhesive etc. are mentioned specifically ,. In particular, silicone adhesives are not only excellent in heat resistance, but also easy to adjust the adhesive strength, so by arbitrarily adjusting the adhesive strength when peeling the tape after the mounting is finally completed, It is possible to design an adhesive tape excellent in handling, and it can be said that it is a particularly suitable adhesive material.
さらに本発明では、170℃以上に加熱することで映像センサの端子部を基板側と半田接続リフローすることを特徴としている。これはリフロー炉を用いた半田接合による実装を示し、具体的にはリフロー炉での処理中の最高温度が170℃を超えていればよい。 Further, the present invention is characterized in that the terminal portion of the image sensor is soldered and reflowed to the substrate side by heating to 170 ° C. or higher. This indicates mounting by solder bonding using a reflow furnace. Specifically, it is only necessary that the maximum temperature during processing in the reflow furnace exceeds 170 ° C.
粘着テープの粘着層の厚さは、1μm以上100μm以下、好ましくは3μm以上50μm以下、さらに好ましくは5μm以上30μm以下であることが望ましい。粘着層の確保には、基材表面に対して少しでも段差を生じれば有効であるが、1μm未満の場合、表面保護テープの撓みによって受光部分へ接触して傷付ける可能性があり、貼付け性も低下する。また、加熱中のフィルムの熱収縮により粘着テープの剥離を生じる可能性がある。100μmを超える場合には、テープのスリット加工及び打ち抜き加工時の粘着剤の変形、または、デ一プ貼付け時の加圧、輸送時等のテープへの圧力及び実装時の加熱による粘着剤の変形により受光部分に粘着剤が掛かる可能性がある。 The thickness of the adhesive layer of the adhesive tape is 1 μm or more and 100 μm or less, preferably 3 μm or more and 50 μm or less, more preferably 5 μm or more and 30 μm or less. In order to secure the adhesive layer, it is effective if even a slight level difference is generated on the surface of the base material. Also decreases. Further, the adhesive tape may be peeled off due to heat shrinkage of the film being heated. If the thickness exceeds 100 μm, the adhesive will be deformed during slitting and punching of the tape, or the adhesive will be deformed by pressure applied to the tape, pressure applied to the tape during transportation, and heating during mounting. This may cause the adhesive to be applied to the light receiving portion.
つまり、映像センサの保護のためには、粘着テープとして所定の実装上の強度が要求されるとともに、映像センサとの調和した貼り合せ状態を保持する必要があり、また加工性も需要である。従って、本発明における粘着テープは、実測の結果、上記範囲が最適範囲であることを見出したものである。従って、こうした粘着層の厚みを有する粘着テープによって、作業性、安全性、生産性の高い映像センサの実装方法を提供することが可能となる。 In other words, in order to protect the image sensor, it is necessary to have a predetermined mounting strength as an adhesive tape, and it is necessary to maintain a bonded state in harmony with the image sensor, and workability is also in demand. Accordingly, the pressure-sensitive adhesive tape of the present invention has been found that the above range is the optimum range as a result of actual measurement. Therefore, it is possible to provide a video sensor mounting method with high workability, safety, and productivity by using an adhesive tape having such a thickness of the adhesive layer.
さらに、本発明では、180℃の加熱を1時間実施した後の粘着テープの熱収縮率が、1.0%以下、より好ましくは0.5%以下、さらに好ましくは0.3%以下であることが望まれる。高温条件下での基材の収縮率について付加的条件を明確にすることで、さらに作業効率を上げるためである。ここでいう熱収縮率は、粘着テープ形態にて、BA板に貼り合せ、180℃の温度条件下にて1時間放置した後の値が基準となる。具体的な熱収縮率の測定方法は、粘着テープを20mm角にカットし、BA板に貼付け、180℃の温度条件下で加熱し、その加熱前後のテープのサイズを、投影機(ミツトヨ製:PROFILE PROJECTOR PJ−H3000F)を用いてMD方向およびTD方向のいずれもについて測定した。なお、BA板とは、JIS「BA仕上げ」に準じ、BA5号に表面仕上げしたSUS304板(日本金属(株)製BA5号仕上げSUS304)をいう。 Furthermore, in the present invention, the heat shrinkage rate of the adhesive tape after heating at 180 ° C. for 1 hour is 1.0% or less, more preferably 0.5% or less, and further preferably 0.3% or less. It is desirable. This is to further improve the working efficiency by clarifying additional conditions regarding the shrinkage ratio of the base material under high temperature conditions. The heat shrinkage referred to here is based on the value after bonding to a BA plate in the form of an adhesive tape and leaving it at 180 ° C. for 1 hour. Specifically, the heat shrinkage rate is measured by cutting an adhesive tape into 20 mm square, sticking it to a BA plate, heating it at a temperature of 180 ° C., and measuring the size of the tape before and after the heating by a projector (Mitutoyo: Both MD direction and TD direction were measured using PROFILE PROJECTOR PJ-H3000F). The BA plate refers to a SUS304 plate (BA5 finish SUS304 manufactured by Nippon Metal Co., Ltd.) surface-finished to BA5 in accordance with JIS “BA finish”.
また、本発明においては、180℃の加熱を1時間実施した後の粘着テープの粘着力が、0.1〜8.0N/19mm幅であることが好ましく、また0.2N〜5.0N/19mm幅がより好ましく、さらに0.3N〜4.0N/19mm幅がより一層好ましい。8.0N/19mm幅を超える粘着力では被着体からのテープ剥離が工程上困難かつ、被着体表面に粘着層を残存させる可能性があり、0.1N/19mm幅を下回る加熱中のフィルムの熱収縮により粘着テープの剥離を生じる可能性があるからである。ここでいう粘着力は、JIS Z0237に準じて測定した値が基準となる。 Moreover, in this invention, it is preferable that the adhesive force of the adhesive tape after implementing a heating at 180 degreeC for 1 hour is 0.1-8.0N / 19mm width, Moreover, 0.2N-5.0N / A width of 19 mm is more preferable, and a width of 0.3 N to 4.0 N / 19 mm is even more preferable. With an adhesive strength exceeding 8.0 N / 19 mm width, tape peeling from the adherend is difficult in the process, and the adhesive layer may remain on the adherend surface. During heating below 0.1 N / 19 mm width, This is because the adhesive tape may peel off due to the heat shrinkage of the film. The adhesive force here is based on a value measured according to JIS Z0237.
また、粘着テープに離型フィルムを使用する場合、離型フィルムは、公知のいずれのものを使用してもよい。具体的には、離型フィルムの基材の粘着層との接合面に離型コート層、例えばシリコーン層が形成されたものを用いることができる。離型フィルムの基材としては、例えば、グラシン紙のような紙材や、ポリエチレン、ポリプロピレン、ポリエステル等よりなる樹脂フィルムが挙げられる。 Moreover, when using a release film for an adhesive tape, you may use any well-known thing as a release film. Specifically, a release coating layer, for example, a silicone layer formed on the bonding surface of the release film with the adhesive layer of the base material can be used. Examples of the substrate for the release film include paper materials such as glassine paper and resin films made of polyethylene, polypropylene, polyester, and the like.
また、本粘着テープはその用途、例えば対象とする固体撮像デバイスのサイズに応じて加工されていてもよい。加工方法に関しては、均一な形状が保たれ、かつ、加工断面部に粘着剤を残さない方法であれば、特に限定されないが、生産性を鑑みて打ち抜き加工が好ましい。 Moreover, this adhesive tape may be processed according to the use, for example, the size of the target solid-state imaging device. The processing method is not particularly limited as long as it is a method that maintains a uniform shape and does not leave a pressure-sensitive adhesive in the processed cross section, but punching is preferable in view of productivity.
以下、本発明の構成と効果を具体的に示す実施例等について説明する。また、実施例等における評価方法は下記のように行った。なお、本発明がかかる実施例、評価方法に限定されるものでないことはいうまでもない。 Examples and the like specifically showing the configuration and effects of the present invention will be described below. Moreover, the evaluation method in an Example etc. was performed as follows. In addition, it cannot be overemphasized that this invention is not limited to this Example and evaluation method.
<評価方法>
上記条件によって作製したテープについて、下記の項目について評価を行った。
(1)加熱後のテープの形状
ガラス面に上記実施例・比較例のサンプルを貼り合せた後、180℃の温度条件下に一時間放置した後のテープの形状。
(2)テープ剥離後のガラス表面の状態
テープ剥離後のガラス表面の状態を目視にて確認した。
(3)剥離性
CCDパッケージの表面ガラスに下記実施例・比較例のサンプルを貼り合せた後、これを最高温度180℃×5秒(余熱等も含めたリフロー炉の投入時間は約90秒)の半田リフロー炉へ投入して基板へ実装した後の剥離の容易性。
<Evaluation method>
About the tape produced on the said conditions, the following item was evaluated.
(1) Shape of the tape after heating The shape of the tape after the samples of the above-mentioned Examples and Comparative Examples were bonded to the glass surface and left for 1 hour at a temperature of 180 ° C.
(2) The state of the glass surface after tape peeling The state of the glass surface after tape peeling was confirmed visually.
(3) Peelability After pasting samples of the following examples and comparative examples on the surface glass of the CCD package, the maximum temperature was 180 ° C. × 5 seconds (the reflow furnace was charged for about 90 seconds including residual heat) Easiness of peeling after putting it in the solder reflow oven and mounting it on the board.
<実施例1>
ポリイミドフィルム(東レデュポン社製カプトン100H:厚さ25μm、170℃における熱伝導率が約4.1×10-4cal/cm・sec・℃)に、シリコーン系粘着剤(東レダウコーニング社製SD−4580)を厚さ10μmに塗布した粘着テープを作製し、CCDパッケージの表面ガラスに貼り合わせた。これを最高温度180℃×5秒(余熱等も含めたリフロー炉の投入時間は約90秒)の半田リフロー炉へ投入して基板へ実装した。なお実装完了後テープを剥離した。
その結果、テープ剥離後の表面は傷や付着異物など確認されず、またCCDとしての正常動作が確認された。
<Example 1>
Polyimide film (Kapton 100H manufactured by Toray DuPont Co., Ltd .: thickness 25 μm, thermal conductivity at 170 ° C. is about 4.1 × 10 −4 cal / cm · sec · ° C.) and silicone adhesive (SD manufactured by Toray Dow Corning) -4580) was applied to a thickness of 10 μm, and was bonded to the surface glass of the CCD package. This was put into a solder reflow furnace having a maximum temperature of 180 ° C. × 5 seconds (the reflow furnace was charged for about 90 seconds including residual heat) and mounted on the substrate. Note that the tape was peeled off after mounting was completed.
As a result, the surface after peeling the tape was not confirmed such as scratches or adhering foreign matter, and normal operation as a CCD was confirmed.
<実施例2>
上述の図2(A)に示すように、粘着テープを11mm×12mm角の被覆部分から、R=2(mm)の円弧形状の側部を経て、突出長さが4mmの突起部を有するテープ形状とした以外は、実施例1と同様の粘着テープを作製した。このテープをCCDパッケージの表面ガラスに貼り合わせ、実施例1と同様に180℃の半田リフロー炉へ投入して基板へ実装した。
その後、テープの突起部からテープを剥離したところ、テープが切れることなく突起部から容易に剥離することができた。テープ剥離後のCCDパッケージのガラス表面は傷や付着異物など確認されず、またCCDとしての正常動作が確認された。
<Example 2>
As shown in FIG. 2A described above, the adhesive tape is a tape having a protruding portion with a protruding length of 4 mm from a covered portion of 11 mm × 12 mm square, passing through an arc-shaped side portion of R = 2 (mm). An adhesive tape similar to that of Example 1 was produced except that the shape was changed. This tape was attached to the surface glass of the CCD package, and was put into a 180 ° C. solder reflow furnace in the same manner as in Example 1 and mounted on the substrate.
Thereafter, when the tape was peeled off from the protruding portion of the tape, it could be easily peeled off from the protruding portion without breaking the tape. The surface of the CCD package after the tape was peeled was not confirmed to be scratched or adhered foreign matter, and normal operation as a CCD was confirmed.
<実施例3>
上述の図2(C)に示すように、粘着テープを6mm×7mm角の被覆部分から、両端外側に各々1mm(図2(C)の3bおよび3fが1mmとなる)開いたハの字型の傾斜を有する側部を経て、突出長さが2.5mmの突起部を有するテープ形状とした以外は、実施例2と同様の粘着テープを作製した。このテープをCCDパッケージの表面ガラスに貼り合わせ、実施例1と同様に180℃の半田リフロー炉へ投入して基板へ実装した。
その後、テープの突起部からテープを剥離したところ、テープが切れることなく突起部から容易に剥離することができた。テープ剥離後のCCDパッケージのガラス表面は傷や付着異物など確認されず、またCCDとしての正常動作が確認された。
<Example 3>
As shown in FIG. 2 (C) described above, the adhesive tape is opened from the 6 mm × 7 mm square covering portion by 1 mm to the outer sides of both ends (3b and 3f in FIG. 2 (C) are 1 mm). A pressure-sensitive adhesive tape similar to that of Example 2 was produced, except that a tape-like shape having a protruding portion with a protrusion length of 2.5 mm was passed through the inclined side portion. This tape was attached to the surface glass of the CCD package, and was put into a 180 ° C. solder reflow furnace in the same manner as in Example 1 and mounted on the substrate.
Thereafter, when the tape was peeled off from the protruding portion of the tape, it could be easily peeled off from the protruding portion without breaking the tape. The surface of the CCD package after the tape was peeled was not confirmed to be scratched or adhered foreign matter, and normal operation as a CCD was confirmed.
<比較例1>
厚さが25μmのナイロンフィルム(東レ社製6ナイロン:熱伝導度約5.5×10-4cal/cm・sec・℃)に、貯蔵弾性率が2.0×103N/cm2のゴム系粘着剤を厚さ10μmに塗布した粘着テープを用いた以外は、実施例1と同様に行った。
その結果、テープの熱収縮により貼りあわせ部分に位置ズレが発生し、また剥離した面には熱劣化した粘着剤が表面に残って汚染していた。また、リフローの温度により、CCD内部のカラーフィルタが破損しているためか、CCD自体も正常に作動しなかった。
<Comparative Example 1>
A nylon film having a thickness of 25 μm (6 nylon manufactured by Toray Industries Inc .: thermal conductivity of about 5.5 × 10 −4 cal / cm · sec · ° C.) and a storage elastic modulus of 2.0 × 10 3 N / cm 2 The same procedure as in Example 1 was performed except that a pressure-sensitive adhesive tape coated with a rubber pressure-sensitive adhesive having a thickness of 10 μm was used.
As a result, the positional deviation occurred in the bonded portion due to the thermal contraction of the tape, and the heat-degraded adhesive remained on the surface and was contaminated on the peeled surface. Also, the CCD itself did not operate normally because the color filter inside the CCD was damaged due to the reflow temperature.
<比較例2>
突起部の側部が、直角状の末底形状(図2(A)の破線に示すような形状3e)を有する以外は、実施例4と同様の粘着テープを作製した。このテープをCCDパッケージの表面ガラスに貼り合わせ、実施例1と同様に180℃の半田リフロー炉へ投入して基板へ実装した。
その後、テープの突起部からテープを剥離したところ、突起部末底の角の部分から亀裂が生じテープが切れて、突起部からテープ全体を容易に剥離することができなかった。
<Comparative example 2>
An adhesive tape similar to that of Example 4 was produced, except that the side portion of the protrusion had a right-angled terminal shape (shape 3e as shown by the broken line in FIG. 2A). This tape was attached to the surface glass of the CCD package, and was put into a 180 ° C. solder reflow furnace in the same manner as in Example 1 and mounted on the substrate.
Thereafter, when the tape was peeled off from the protruding portion of the tape, a crack was generated from the corner portion at the bottom of the protruding portion, the tape was cut, and the entire tape could not be easily peeled off from the protruding portion.
<参考例1>
厚さが2μmのポリエチレンナフタレートからなる基材上に、アクリル系粘着剤の溶液を幅10mmの塗布部と幅10mmの未塗布部を交互にストライプ状に塗布、乾燥して、厚さが5μmの粘着層を形成した粘着シートを作製した。この粘着シートを未塗布部分がテープの中央になる様に20mm幅でスリットして粘着テープを得た。図1におけるa=10mm、b=5mmの粘着テープとなる。この粘着テープを180℃の加熱を1時間程実施した後、JIS Z0237に準じて粘着力を測定すると1.0N/19mmであり、熱収縮率は0.15%であった。
加熱後のテープの形状は、テープのガラス面からの浮き・剥離が確認されなかった。
<Reference Example 1>
On a base material made of polyethylene naphthalate having a thickness of 2 μm, an acrylic adhesive solution is applied in a stripe shape alternately with a 10 mm wide coated part and a 10 mm wide uncoated part, and dried to a thickness of 5 μm. A pressure-sensitive adhesive sheet having a pressure-sensitive adhesive layer was prepared. This pressure-sensitive adhesive sheet was slit with a width of 20 mm so that the uncoated portion was at the center of the tape to obtain a pressure-sensitive adhesive tape. The adhesive tape has a = 10 mm and b = 5 mm in FIG. After the adhesive tape was heated at 180 ° C. for about 1 hour, the adhesive strength measured according to JIS Z0237 was 1.0 N / 19 mm and the thermal shrinkage was 0.15%.
The shape of the tape after heating was not confirmed to float or peel from the glass surface of the tape.
<参考例2>
アクリル系粘着剤の溶液をストライプ状に塗布しない以外は、参考例1と同様な方法にて作製した粘着テープを得た。この粘着テープを180℃の加熱を1時間程実施した後、JIS Z0237に準じて粘着力を測定すると2.0N/19mmであり、熱収縮率は0.15%であった。加熱後のテープは、テープ剥離後のガラス表面に粘着剤に由来する異物が確認された。
<Reference Example 2>
An adhesive tape produced in the same manner as in Reference Example 1 was obtained except that the acrylic adhesive solution was not applied in a stripe shape. After the adhesive tape was heated at 180 ° C. for about 1 hour, the adhesive strength measured according to JIS Z0237 was 2.0 N / 19 mm, and the thermal shrinkage was 0.15%. As for the tape after a heating, the foreign material derived from an adhesive was confirmed on the glass surface after tape peeling.
<結果まとめ>
以上の結果より、耐熱性、作業性、かつ剥離性に優れたCCDパッケージ成型時に使用される表面保護粘着テープを提供することができた。
<Summary of results>
From the above results, it was possible to provide a surface protective adhesive tape used in molding a CCD package having excellent heat resistance, workability, and peelability.
1 映像センサ
2 受光部
3 粘着テープ
3a 突起部
3b 辺部
3c 側部
3d 先端
4 基材
5 粘着層
X 中心線
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1
Claims (9)
It is the adhesive tape which used the polyimide film for the constituent material of a base material, Comprising: It uses for the mounting method of the image sensor in any one of Claims 1-8, The adhesive tape characterized by the above-mentioned.
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