JP2005340196A - アーク放電管およびアーク放電管を製造する方法 - Google Patents
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Abstract
【課題】全透過率の高いアーク放電管ならびにその製造方法を提供する。
【解決手段】セラミックボディが400nmから700nmの波長領域で92%よりも高い全透過率を有する。焼結された窒化アルミニウムのセラミックボディを形成し、セラミックボディの全透過率を400nmから700nmの波長領域で92%よりも高くさせる温度および時間で窒素雰囲気においてセラミックボディをアニールする。
【選択図】なし
【解決手段】セラミックボディが400nmから700nmの波長領域で92%よりも高い全透過率を有する。焼結された窒化アルミニウムのセラミックボディを形成し、セラミックボディの全透過率を400nmから700nmの波長領域で92%よりも高くさせる温度および時間で窒素雰囲気においてセラミックボディをアニールする。
【選択図】なし
Description
本発明は、アーク放電管およびアーク放電管を製造する方法に関する。
半透明な多結晶アルミナ(PCA)セラミックは今日に高圧ナトリウム(HPS)ランプおよびセラミックメタルハライドランプを実現した。HPSランプでは典型的な壁温はアーク放電管の中央部において1250℃であり、またコールドエンドにおいて800℃である。典型的にはHPSランプの動作寿命は5年を上回る。これとは対照的に、セラミックメタルハライドランプ8におけるアーク放電管の壁温(1000〜1150℃)はHPSランプにおける壁温よりも幾分低くなる傾向があるにもかかわらず、ランプの動作寿命は典型的には1年未満である。この原因はPCAがメタルハライドランプの希土類ハライド封入物によって腐食されることにある。したがって、そのようなランプの耐久性および寿命はHPS PCAランプよりも遙かに短い。
セラミックメタルハライドランプのためのPCA放電管の構造は円柱状の形状からバルジ状の形状にわたる。この種のアーク放電ランプは公知である(例えば特許文献1および特許文献2を参照されたい)。バルジ状の形状はより均一な温度分布をもたらし、その結果ランプ封入物によるPCAの腐食は低減される。しかしながら腐食が低減されるとしても、バルジ状に形成されているPCA放電管を有するメタルハライドランプの動作寿命は2年になると報告されており、これは依然としてHPSランプにおけるPCAアーク放電管の5年という動作寿命に比べて遙かに短いものである。
窒化アルミニウム(AlN)は希土類メタルハライド封入物の腐食作用に対してより耐性があることを示した。セラミックメタルハライドランプに対してAlNアーク放電管を使用することが公知である(例えば特許文献3および特許文献4を参照されたい)。しかしながらランプの用途に関する要求を満たすために、AlNを完全に密で高透過性の成形品にすることは困難である。AlNは六方晶系のウルツ鉱型構造を有する。AlN粒子の異方性、焼結助剤(カルシア、CaO)から派生する粒界相(Ca−Al−O相、窒素を含有するカルシウムアルミン酸塩相、およびAl−O相、例えばAl2O3およびAl2CO)およびAlN粉末における表面酸化物に基づき、完全に密に焼結されたAlNセラミックは半透明であるだけであって透明ではない。焼結されたままのAlNアーク放電管の全透過率および直線透過率(in-line transmittance)の値(それぞれ〜75%および0.2%)は一般的にPCA発光管の値(それぞれ〜98から99%および8%)よりも低い。直線透過率は屋外照明または屋内照明、広域照明のような広汎照明には関係ない。しかしながら全透過率が低いということは大きな関心事である。何故ならば、それはルーメン出力に多大な影響を及ぼすからである。アーク放電管では典型的に、商用的な照明の用途に使用できるようにするために、約400nmから約700nmの可視波長で92%よりも高い全透過率が要求される。
EP0587238A1
US5,936,351
EP0371315A1
WO03/060952
したがって本発明の課題は、上記の要求を満たすべく全透過率の高いアーク放電管ならびにその製造方法を提供することである。
請求項1にかかる発明の課題は、セラミックボディが400nmから700nmの波長領域で92%よりも高い全透過率を有することによって解決される。請求項6にかかる発明の課題は、焼結された窒化アルミニウムのセラミックボディを形成し、セラミックボディの全透過率を400nmから700nmの波長領域で92%よりも高くさせる温度および時間で窒素雰囲気においてセラミックボディをアニールすることによって解決される。請求項11にかかる発明の課題は、焼結された窒化アルミニウムのセラミックボディを形成し、セラミックボディを窒素雰囲気において少なくとも1850℃で少なくとも50時間にわたりアニールすることによって解決される。請求項19にかかる発明の課題は、カルシア焼結助剤を包含する窒化アルミニウム粉末を焼結してセラミックボディを形成し、セラミックボディを窒素雰囲気において少なくとも1850℃で少なくとも60時間にわたりアニールすることによって解決される。
焼結されたままのAlN放電管を窒素においてアニールすることによって、全透過率が高いAlNアーク放電管を形成できることが分かった。殊に、窒素における二次焼結高温アニールは焼結されたAlN放電管の全透過率をランプの使用に適したレベルの92%より高く効果的に上昇させることができる。さらに有利には、本発明のアーク放電管の全透過率は少なくとも約95%であり、より有利には少なくとも約98%である。
アニールの間に、焼結されたAlNの粒子サイズは僅かに大きくなり、また全てのAlNセラミクスにおける主要な不純物である酸素不純物は外方拡散されて効果的に除去される。このことは焼結されたAlNの典型的な茶色変色が消えることによって証明される。アニール雰囲気の温度、時間および酸素の部分圧は全透過率が改善されるように制御される。有利には、焼結されたAlNは流動する高純度の窒化ガス内でアニールされる。全透過率の値が高い(92%より大きい)アニールされたAlN放電管は例えばメタルハライドランプのような用途に有用であり、またPCAを上回る改善された耐久性および寿命を提供する。
AlNアーク放電管はスリップ鋳込み、射出成形、押出しブロー成形、ゲル鋳込みまたはAlN粉末または顆粒の圧縮/機械加工成形によって形成することができる。図1は本発明によるアーク放電管の断面図を示す。アーク放電管21はセラミックボディ23を有し、このセラミックボディ23は焼結されたAlNから構成されている。セラミックボディ23は、約400nm〜約700nmの波長領域において92%よりも高い全過率を有する。セラミックボディ23はアーク放電キャビティ25を規定し、またこのアーク放電キャビティ25から反対方向で外側に向かって延びる2つの細管27を有する。細管27は放電キャビティ内でアークを発生させ、それを維持するために放電管に電力を供給する導電路を提供する電極装置(図示せず)を収容し、内部でシールすることに適している。図1に示した実施形態はバルジ状の形状を有するアーク放電管であるが、本発明のアーク放電管のための他の適切な形状にはHPS発光管に類似する管状のアーク放電管が含まれる。
細かく分割されたAlN粉末、例えば商用AlNセラミックにおいて使用されているような粉末(FグレードおよびHグレード)は株式会社トクヤマ(東京、日本)から入手可能である。焼結は典型的には窒素のもとで1時間から5時間にわたり1700℃から1900℃の温度で達成される。有利には、約0.2重量パーセントから約5重量パーセントのカルシアの焼結助剤が未加工の成形体を形成する前にAlN粉末に加えられる。例えばN. Kuramoto, H. TaniguchiおよびI. Asoによる「Development of translucent AlN ceramics」Cer. Bull. 68[4], 1989年 の883〜887頁には、焼結助剤として2.1重量パーセントの3CaO・Al2O3(または1.3重量パーセントのCaO)を使用することが記載されている。
次いで焼結されたままのAlN放電管は、約400nmから約700nmの可視波長領域で全透過率を92%より高くするには十分な温度および時間で窒素雰囲気においてアニールされる。有利には、焼結されたままのAlN放電管は少なくとも約1850℃の温度でアニールされる。さらに有利には、アニール温度は約1850℃から約1950℃である。約1950℃を上回る温度ではAlNが気化し始めて放電管を損傷させる。約1850℃を下回る温度では、たとえアニール時間を長くしたとしても高い全透過率値を得ることは困難である。例えば実験によって、高い全透過率を得るために60時間にわたる1800℃でのアニールは十分ではないが、これに対し60時間にわたる1850℃でのアニールは十分であることが証明された。有利には、焼結されたままのAlN放電管は少なくとも約50時間、さらに有利には少なくとも約60時間、より有利には少なくとも約100時間にわたりアニールされる。
本発明をより完全に説明すると、一連の焼結されたAlN管区間はカルシア焼結助剤を包含するAlN粉末から形成された。AlN管区間の大部分は8.6mmOD(8mmID)×12mm長であり、また0.3mmの壁厚を有する。AlN管区間の一部は0.5mmまたは0.8mmの壁厚を有する。焼結されたままのAlN管は一般に薄い茶色変色を有することが観察された。直線透過率の測定は光ビームが管試料(両壁)を通過することによって行われるか、また正透過光(specular, transmitted light)を測定することにより行われる。そのようにして測定された、焼結されたままのAlN管区間の直線透過率値(0.1から0.2%)は一般的なPCA発光管の直線透過率値(4から10%)よりも明らかに低いが、一般的な照明の用途にとってはクリティカルではないと考えられる。さらに直線透過率は粒子サイズの拡大、第二相の低減、および表面平滑性の改善によって改善することができる。焼結されたままのAlN管に関する主な問題は約67%〜84%の範囲にある全透過率の低さであった。前述したように、全透過率はランプの用途に適するために92%よりも高いことが必要とされる。
AlN管区間の全透過率は直径の小さい(0.5mm)のプラスチック光ファイバの端部を管内に配置して、試料を通過した光の総積分フラックスを測定することによって測定される。全透過率を測定するための装置の概略図が図2に示されている。発光管試料11は支持体9を介して積分球3の中央領域に配置されており、この支持体9は端部において試料を保持する。バッフル13が試料11と光検出器15との間に設けられている。光ファイバ7が支持体9の一方を介して試料11の中央部に挿入されている。光はタングステンハロゲンランプ5から光ファイバ7を介して誘導される。図3に示されているように、試料の内部に位置している光ファイバ7の光放出端部17は、放出される光を散乱させほぼ点源である光源を生じさせるためにファイバの円柱状の軸について20°の傾斜を有する。試料壁を通過する光ファイバの端部からの放出光は積分球によって収集され、総積分フラックスが光検出器、有利には未濾シリコン検出器によって測定される。(光ファイバのみによって放出される総積分フラックスに対して)試料を通過して放出される総積分フラックスの百分率は試料の全透過率を表す。プラスチック光ファイバの透過率は可視スペクトルのいずれかの限界において、すなわち400nmよりも低いスペクトルおよび700nmよりも大きいスペクトルにおいては低下するので、全透過率は約400nmから約700nmの波長領域において効果的に測定される。装置のための適切な構成素子はNorth Sutton, NHのLabsphere, Inc.から入手可能である。
AlNにおける酸素溶解度の限界は非常に高いと報告されており(窒素部分格子で〜4.2 at. %):例えば2×1021酸素原子/cm3であり、他方AlNにおける窒素原子の密度は4.8×1022原子/cm3であった。AlNに溶解している酸素は〜430nmでの吸収につながり、また274nmおよび258nmでも同様である。酸素不純物は焼結されたままのAlN管の光吸収において重要な役割を担っていると考えられている。AlNの非科学量論に基づく窒素空格子点は233nmから345nmの広範な吸収をもたらすことも知られている。
炭素はAlNにおいて酸素に次ぐ重要な不純物であると考えられている。酸素と同様に、AlNにおけるCの溶解度の限界は高い。AlNにおける酸素と共に炭素は第二相、Al2COを形成し、これは焼結されたままのAlN管内に存在すると考えられる。炭素はAlNにおいてAlに代替されやすいものであり、これによりAl空格子点が生じる。CはOまたはN(O−2またはN−3)よりも小さいので、AlNにおいて炭素は酸素または窒素よりも速く拡散するはずである。酸素不純物および炭素不純物が外方拡散されると、これらの不純物は空格子点を残すので、この空孔子点は窒素またはアルミニウムで満たされるべきである。このことはOおよびAlが去るとNおよびAlはそこに移動できることを意味している。C,N,OおよびAlの間ではまず間違いなくNが最も遅い速度で拡散するので、したがってNはAl:N比の不純物外方拡散または調節に関して速度制限的な化学種である(化学量論性)。焼結されたままのAlN管の比較的高いUV遮断は部分的に炭素不純物に起因するとも考えられる。
本発明の方法によれば、焼結されたままのAlN管の全透過率は、窒素雰囲気における二次焼結アニールを実施することによって92%よりも高くすることができる。1つの実施形態において二次焼結アニールは、焼結されたままのAlNアーク管を黒鉛エレメントの炉において窒素を流しながら約72時間にわたり約1850℃で加熱することを含む。二次焼結アニールの間に、不純物溶質(OおよびC)、不純物または第二相、例えばAL2O3およびAL2CO,Ca−Al−OおよびCa−Al−O−N固相または液相は(例えばAl2Oガスの発生によって)AlNから蒸留または清浄される。アニール雰囲気の温度、時間および酸素の部分圧は光吸収点欠陥および不純物(例えば酸素および炭素)が除去されるように制御される。有利には窒素雰囲気は、酸素が約1ppmよりも少ない流動する高純度の窒素ガスである。
種々の焼結されたままAlN管試料が、全透過率でのアニール温度、時間および雰囲気の効果を求めるために種々の二次焼結アニール条件に晒された。表1に示されているように、AlN管試料の全透過率は二次焼結アニール前に67〜84%であったが、二次焼結アニール後に91〜99%に上昇した。アニール後ではこれらのAlN管区間は焼結されたままのAlNの薄い茶色変色をもはや有していない。これらの試料に対して達成される全透過率のレベル(91〜99%)は同一の装置において測定された同一の長さのPCA管区間のレベル(95〜97%)に近づいた。粒子サイズは黒鉛成分の炉の黒鉛ボートにおいてN2を流しながら72時間にわたり1850℃でアニールした後に僅かに大きくなった。さらにアニールすると(1850℃で延べ60時間から132時間)、AlN管試料1から5の全透過率は95%から99%に達し、一方〜1885℃から1900℃で60時間から180時間にわたりアニールした試料6から15の全透過率は91%から95%に達した。実験によって、60時間にわたる1850℃でのアニールは全透過率を92%よりも高くするには十分であることが証明されたので、アニール時間は少なくとも約50時間であることが好ましい。
1850℃以上の温度では焼結助剤から派生するCa−Al−OおよびCa−Al−O−Nの第二相は、焼結されたAlNにおける酸素の優先的な減少と共にAlNから蒸発する。第二相の変化はAlN粒子内に溶解している酸素不純物および炭素不純物を結晶粒界相へと外方拡散させることができ、これらの不純物はその後AlN管から蒸発することになる。1850℃よりも低い温度でアニールを行うと液相のレベルは比較的小さくなり、粒子は著しく大きくはならなかった。1850℃よりも低い温度での緩慢な動力学に基づき、仮に炭素不純物および酸素不純物の外方拡散を完遂するならば、それにはより長い時間を必要とすることが予想される。例えば別の実験では、60時間にわたる1800℃でのアニールは全透過率を効果的に高めるためには十分ではなく、一方60時間にわたる1850℃でのアニールは十分であることが証明された。
表1におけるデータは二次焼結アニールの有益性をランプの用途に必要とされる最小レベルへの全透過率の上昇という形ではっきりと示している。アニールの間に窒素の圧力をより高くすることは、改善された全透過率をもたらすためのアニールに必要とされる時間を短縮させることができる。表1における例はカルシアドープされたAlNに基づく。この方法は他の希土類およびアルカリ土類の酸化物の焼結助剤を用いて形成される焼結されたAlNにも適用できることが予想される。もっとも二次焼結アニールの時間および温度に関する条件は外方拡散プロセスの動力学におけるあらゆる差を考慮して修正する必要はあるであろう。
目下本発明の有利な実施形態と見なされるものを図示して説明したが、付属の特許請求の範囲によって規定されている本発明の範囲から逸脱することなく種々の変更および修正が可能であることは当業者には明らかである。
Claims (21)
- 焼結された窒化アルミニウムからなるセラミックボディを包含するアーク放電管において、
前記セラミックボディは400nmから700nmの波長領域で92%よりも高い全透過率を有することを特徴とする、アーク放電管。 - 前記セラミックボディは少なくとも95%の全透過率を有する、請求項1記載のアーク放電管。
- 前記セラミックボディは少なくとも98%の全透過率を有する、請求項1記載のアーク放電管。
- 前記セラミックボディはバルジ状の形状を有する、請求項1記載のアーク放電管。
- 前記セラミックボディは管状の形状を有する、請求項1記載のアーク放電管。
- セラミックボディを有するアーク放電管を製造する方法において、
焼結された窒化アルミニウムのセラミックボディを形成し、
前記セラミックボディの全透過率を400nmから700nmの波長領域で92%よりも高くさせる温度および時間で窒素雰囲気において、該セラミックボディをアニールすることを特徴とする、アーク放電管を製造する方法。 - 前記全透過率を少なくとも95%に高める、請求項6記載の方法。
- 前記全透過率を少なくとも98%に高める、請求項6記載の方法。
- 焼結された窒化アルミニウムの前記セラミックボディをカルシア焼結助剤を用いて形成する、請求項6記載の方法。
- 前記セラミックボディの形成に先行して前記窒化アルミニウムに加えられる前記カルシア焼結助剤の量は0.2重量パーセントから5重量パーセントである、請求項9記載の方法。
- セラミックボディを有するアーク放電管を製造する方法において、
焼結された窒化アルミニウムのセラミックボディを形成し、
前記セラミックボディを窒素雰囲気において少なくとも1850℃で少なくとも50時間にわたりアニールすることを特徴とする、アーク放電管を製造する方法。 - 前記セラミックボディを少なくとも60時間にわたりアニールする、請求項11記載の方法。
- 前記セラミックボディを少なくとも100時間にわたりアニールする、請求項11記載の方法。
- 前記セラミックボディを1850℃から1950℃でアニールする、請求項11記載の方法。
- 前記セラミックボディを少なくとも60時間にわたりアニールする、請求項14記載の方法。
- 前記セラミックボディを少なくとも100時間にわたりアニールする、請求項14記載の方法。
- 焼結された窒化アルミニウムの前記セラミックボディをカルシア焼結助剤を用いて形成する、請求項11記載の方法。
- 前記セラミックボディの形成に先行して前記窒化アルミニウムに加えられる前記カルシア焼結助剤の量は0.2重量パーセントから5重量パーセントである、請求項17記載の方法。
- セラミックボディを有するアーク放電管を製造する方法において、
カルシア焼結助剤を含有する窒化アルミニウム粉末を焼結して前記セラミックボディを形成し、前記セラミックボディを窒素雰囲気において少なくとも1850℃で少なくとも60時間にわたりアニールすることを特徴とする、アーク放電管を製造する方法。 - 前記セラミックボディを少なくとも100時間にわたりアニールする、請求項19記載の方法。
- 前記窒化アルミニウム粉末内の前記カルシア焼結助剤の量は0.2重量パーセントから5重量パーセントである、請求項19記載の方法。
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