JP2005335039A - Sucking/retaining device for panel transfer - Google Patents

Sucking/retaining device for panel transfer Download PDF

Info

Publication number
JP2005335039A
JP2005335039A JP2004160590A JP2004160590A JP2005335039A JP 2005335039 A JP2005335039 A JP 2005335039A JP 2004160590 A JP2004160590 A JP 2004160590A JP 2004160590 A JP2004160590 A JP 2004160590A JP 2005335039 A JP2005335039 A JP 2005335039A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
suction
panel
support arm
negative pressure
holder
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Withdrawn
Application number
JP2004160590A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
Chikara Maruyama
主税 丸山
Yuji Kaizu
雄二 海津
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Nippon Seiki Co Ltd
Kyocera Display Corp
Original Assignee
Nippon Seiki Co Ltd
Kyocera Display Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Nippon Seiki Co Ltd, Kyocera Display Corp filed Critical Nippon Seiki Co Ltd
Priority to JP2004160590A priority Critical patent/JP2005335039A/en
Publication of JP2005335039A publication Critical patent/JP2005335039A/en
Withdrawn legal-status Critical Current

Links

Images

Landscapes

  • Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
  • Liquid Crystal (AREA)
  • Manipulator (AREA)

Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a panel transporting sucking/retaining device transporting a plurality of panels (liquid crystal indication panel, for instance) through their simultaneous suction, which allows suitable adjustment of the distance between panels even during their transport. <P>SOLUTION: The panel transport-use sucking/retaining device 100 comprises: a support arm 120 having a grip 110; a plurality of suction heads 130a-130f held by the support arm 120 and connected with negative pressure sources through pipes 141 and 142; and a selector valve 151 designed to selectively shift the pressure within the suction head to the negative pressure source-based negative pressure and an atmospheric pressure. The device 100 simultaneously sucks and transports a plurality of panels arranged at least in a single row on a tray. The individual suction heads 130a-130f are supported by the support arm 120 through transport means for controlling the distance between the individual suction heads. <P>COPYRIGHT: (C)2006,JPO&NCIPI

Description

本発明はパネル搬送用吸着保持具に関し、さらに詳しく言えば、液晶表示パネルなどの平らな面を有する複数枚のパネルを一度に吸着して搬送するためのパネル搬送用吸着保持具に関するものである。   The present invention relates to a suction holder for panel transportation, and more particularly to a suction holder for panel transportation for sucking and transporting a plurality of panels having a flat surface such as a liquid crystal display panel at a time. .

被搬送パネルが例えば液晶表示パネルであるとして説明すると、その製造工程のひとつとして、液晶表示パネルにCOF(chip on film)などのフレキシブル基板を接続するため、パネル端子部にあらかじめ異方性導電フィルム(ACF)を貼着する工程がある。   If the transported panel is described as, for example, a liquid crystal display panel, an anisotropic conductive film is preliminarily attached to the panel terminal portion in order to connect a flexible substrate such as a COF (chip on film) to the liquid crystal display panel as one of the manufacturing processes. There is a step of attaching (ACF).

通常、異方性導電フィルムはメーカからリールに巻かれたテープ状として供給されるため、量産工程においては図5に示すように複数枚の液晶表示パネル1をそのパネル端子部1a側を揃えて一列状態に並べたうえで、その各パネル端子部1aに対し一括して異方性導電フィルムを貼り付けるようにしている。   Normally, anisotropic conductive films are supplied as tapes wound on reels from manufacturers, so in the mass production process, a plurality of liquid crystal display panels 1 are arranged with their panel terminal portions 1a side aligned as shown in FIG. After arranging them in a line, an anisotropic conductive film is pasted together on each panel terminal portion 1a.

ところで、液晶表示パネル1は図6に示すようにその多数枚がトレイTに収納された状態でこのACF貼着工程に運ばれてくる。トレイT内は液晶表示パネル1同士が接触して破損しないように縦・横の各中仕切Tsによって格子状に区画されているため、このままでは異方性導電フィルムを貼着できない。   By the way, the liquid crystal display panel 1 is carried to the ACF adhering step in a state where a large number of the liquid crystal display panels 1 are stored in the tray T as shown in FIG. Since the inside of the tray T is partitioned in a lattice pattern by the vertical and horizontal middle partitions Ts so that the liquid crystal display panels 1 are not in contact with each other and damaged, the anisotropic conductive film cannot be pasted as it is.

そこで、トレイTの各収納区画内から液晶表示パネル1を取り出して図7に示すように作業テーブルWT上に一列状態に並べてその各パネル端子部1aにテープ状とした異方性導電フィルム1bを一括して貼り付けるようにしているが、トレイTから液晶表示パネル1を1枚ずつ取り出していたのでは作業効率が悪い。   Accordingly, the anisotropic conductive film 1b which is taken out from each storage section of the tray T and arranged in a line on the work table WT as shown in FIG. Although the attachment is performed in a lump, if the liquid crystal display panels 1 are taken out from the tray T one by one, the work efficiency is poor.

この点を解決するため、本出願人はトレイTから複数枚の液晶表示パネル1を例えば一列単位で取り出すことができるようにしたパネル搬送用吸着保持具を特許文献1として提案している。その構成を図8により説明する。   In order to solve this point, the present applicant has proposed, as Patent Document 1, a panel transporting suction holder that allows a plurality of liquid crystal display panels 1 to be taken out from the tray T, for example, in units of one row. The configuration will be described with reference to FIG.

このパネル搬送用吸着保持具10は所定長さのグリップ11を有し、グリップ11の一端には支持アーム12がほぼT字状となるように取り付けられている。支持アーム12にはトレイTの各収納区画に対応する間隔をもって複数(この例では6つ)の吸着ヘッド13が支持されている。   The panel transport suction holder 10 has a grip 11 having a predetermined length, and a support arm 12 is attached to one end of the grip 11 so as to be substantially T-shaped. A plurality of (six in this example) suction heads 13 are supported on the support arm 12 at intervals corresponding to the storage sections of the tray T.

各吸着ヘッド13はパイプ材を介して図示しない真空ポンプなどの負圧源に接続されるが、この例ではそのパイプ材として1本の幹パイプ14と2本の枝パイプ15a,15bとが用いられている。   Each suction head 13 is connected to a negative pressure source such as a vacuum pump (not shown) via a pipe material. In this example, one trunk pipe 14 and two branch pipes 15a and 15b are used as the pipe material. It has been.

すなわち、幹パイプ14はグリップ11に沿って配管されその一端は上記負圧源に接続され、幹パイプ14の他端側から枝パイプ15a,15bが2股に分岐され、その一方の枝パイプ15aは図8において左側の3つの吸着ヘッド13に接続され、他方の枝パイプ15aは右側の3つの吸着ヘッド13に接続されている。   That is, the trunk pipe 14 is piped along the grip 11, one end of which is connected to the negative pressure source, the branch pipes 15a and 15b are branched into two branches from the other end of the trunk pipe 14, and one of the branch pipes 15a. 8 is connected to the three suction heads 13 on the left side, and the other branch pipe 15a is connected to the three suction heads 13 on the right side.

幹パイプ14には負圧ボタン16aと脱圧ボタン16bとを有する切換弁16が設けられている。負圧ボタン16aを押すと各吸着ヘッド13が負圧源と接続され、脱圧ボタン16bを押すと各吸着ヘッド13が負圧源と切り離されて大気圧となる。   The trunk pipe 14 is provided with a switching valve 16 having a negative pressure button 16a and a decompression button 16b. Each suction head 13 is connected to a negative pressure source when the negative pressure button 16a is pressed, and each suction head 13 is disconnected from the negative pressure source to atmospheric pressure when the pressure release button 16b is pressed.

したがって、このパネル搬送用吸着保持具10によれば、負圧ボタン16aを押すことによりトレイTからその一列に含まれる例えば6枚の液晶表示パネル1を同時に吸着保持することができ、作業テーブルWT上にまで運んだのち脱圧ボタン16bを押すことにより作業テーブルWT上に6枚の液晶表示パネル1を並べて載置することができる。   Therefore, according to this panel transporting suction holding tool 10, by pressing the negative pressure button 16a, for example, six liquid crystal display panels 1 included in the same row from the tray T can be sucked and held at the same time, and the work table WT. The six liquid crystal display panels 1 can be placed side by side on the work table WT by pushing the depressurization button 16b after being carried up.

特開2000−108066号公報JP 2000-108066 A

上記したように、特許文献1に記載の発明によれば、確かにトレイTから複数枚の液晶表示パネル1を同時に取り出して作業テーブルWT上に移し替えることができるため、その取り出し作業性は大幅に改善されるが、なおも解決すべき余地が残されている。   As described above, according to the invention described in Patent Document 1, it is possible to surely take out a plurality of liquid crystal display panels 1 from the tray T at the same time and transfer them onto the work table WT. However, there is still room for resolution.

すなわち、各液晶表示パネル1はトレイTの各収納区画内に収納されていたそのままの間隔で作業テーブルWT上に移し替えられるため、この状態で異方性導電フィルム1bを貼り付けるとその間隔分が無駄になる。   That is, since each liquid crystal display panel 1 is transferred onto the work table WT at the same interval stored in each storage section of the tray T, when the anisotropic conductive film 1b is pasted in this state, the amount corresponding to the interval is obtained. Is wasted.

そこで、各液晶表示パネル1を作業テーブルWT上に移し替えたのち、その間の隙間を埋めるように各液晶表示パネル1を詰めて並べるようにしているが、さらなる生産コストを削減するうえでこの点の作業改善が求められている。   Therefore, after the liquid crystal display panels 1 are transferred onto the work table WT, the liquid crystal display panels 1 are arranged so as to fill the gaps between them. Work improvement is required.

したがって、本発明が解決しようとする課題は、トレイ内に少なくとも一列状態に並べられている液晶表示パネルなどの平らな面を有する複数枚のパネルを一度に吸着して搬送し得るパネル搬送用吸着保持具において、パネル搬送中に各パネルの間隔を適宜調整できるようにすることにある。   Therefore, the problem to be solved by the present invention is a panel transport suction capable of sucking and transporting a plurality of panels having a flat surface such as a liquid crystal display panel arranged in at least one row in a tray at a time. In the holder, the interval between the panels can be appropriately adjusted during panel conveyance.

上記課題を解決するため、本発明は、グリップを有する支持アームと、上記支持アームに支持されその各々がパイプを介して負圧源に接続される複数の吸着ヘッドと、上記各吸着ヘッド内の圧力を上記負圧源による負圧と大気圧とに選択的に切り換える切換弁とを含み、トレイ内に少なくとも一列状態に並べられている複数枚のパネルを一度に吸着して搬送するためのパネル搬送用吸着保持具において、上記各吸着ヘッドが移動手段を介して上記支持アームにそれらの間の間隔を調整し得るように移動可能に支持されていることを特徴としている。   In order to solve the above problems, the present invention provides a support arm having a grip, a plurality of suction heads supported by the support arm, each of which is connected to a negative pressure source via a pipe, A switching valve for selectively switching the pressure between the negative pressure by the negative pressure source and the atmospheric pressure, and a panel for adsorbing and transporting a plurality of panels arranged in at least one row in the tray at a time In the transport suction holder, the suction heads are supported by the support arm so as to be movable through the moving means so that the distance between them can be adjusted.

本発明において、上記移動手段は付け替え位置が数箇所に決められている移動手段であってもよいが、リニア的な微調整を可能とするうえで、上記移動手段が上記トレイ内に収納されている上記各パネルの配列方向と平行に上記支持アーム側に設けられたガイド手段と、上記各吸着ヘッド側に設けられ上記ガイド手段に沿って摺動可能な移動台とを備えていることが好ましい。上記ガイド手段にはガイドレールもしくはガイド溝のいずれも含まれる。   In the present invention, the moving means may be a moving means whose replacement positions are determined at several locations. However, in order to enable linear fine adjustment, the moving means is accommodated in the tray. It is preferable to include guide means provided on the support arm side in parallel with the arrangement direction of the panels, and a movable table provided on the suction head side and slidable along the guide means. . The guide means includes either a guide rail or a guide groove.

上記パネル間の間隔が調整可能であるにしても、上記パネル同士の衝撃的なぶつかりによる破損などを防止するうえで、上記各吸着ヘッドの間にはそれらの最小間隔を規定するストッパ手段が設けられていることが好ましい。   Even if the interval between the panels can be adjusted, a stopper means for defining the minimum interval between the suction heads is provided between the suction heads in order to prevent damage due to impact collision between the panels. It is preferable that

本発明において、上記ストッパ手段は隣接する2つの上記吸着ヘッドのうちの少なくとも一方の吸着ヘッド側において他方の吸着ヘッドに当接するように突出量可変に螺着されたボルトからなることが好ましく、この構成によれば特殊部品を必要としないため安価に済ませることができる。   In the present invention, it is preferable that the stopper means comprises a bolt screwed in a variable amount of protrusion so as to come into contact with the other suction head on the side of at least one of the two adjacent suction heads. According to the configuration, no special parts are required, so that the cost can be reduced.

また、上記各吸着ヘッドを初期間隔(初期位置)に容易に戻すことができるようにするため、上記支持アームと上記各吸着ヘッドとの間には、上記各吸着ヘッドを上記トレイ内に配列されている上記各パネルと対応する吸着位置に位置決めする位置決め手段が設けられていることが好ましい。   In addition, the suction heads are arranged in the tray between the support arm and the suction heads so that the suction heads can be easily returned to the initial interval (initial position). It is preferable that positioning means for positioning at a suction position corresponding to each of the panels is provided.

本発明において、上記各吸着ヘッドを容易に移動可能とするため、上記位置決め手段が上記支持アームと上記吸着ヘッドのいずれか一方に形成された係合溝と、そのいずれか他方にバネ付勢された状態で設けられ所定のクリック力にて上記係合溝に離脱可能に係合する係合凸部とを含むクリック係合手段からなることか好ましい。   In the present invention, in order to easily move each of the suction heads, the positioning means is spring-biased by an engagement groove formed in one of the support arm and the suction head and the other. It is preferable that it comprises a click engaging means including an engaging convex portion that is provided in a closed state and is detachably engaged with the engaging groove with a predetermined click force.

本発明によれば、各吸着ヘッドが移動手段を介して支持アームにそれらの間の間隔を調整可能であるため、トレイ内に少なくとも一列状態に並べられている複数枚のパネルを一度に吸着して搬送する際に各パネルの間隔を適宜調整することができる。   According to the present invention, since each suction head can adjust the distance between them to the support arm via the moving means, a plurality of panels arranged in at least one row in the tray are sucked at a time. The interval between the panels can be adjusted as appropriate when transporting.

特に、搬送するパネルが液晶表示パネルである場合には、その各パネル端子部に異方性導電フィルムを無駄なく一括して貼り付けできるように、作業テーブル上に降ろす前に液晶表示パネルの間隔を詰めることができるため作業性がさらに向上する。   In particular, if the panel to be transported is a liquid crystal display panel, the distance between the liquid crystal display panels before lowering it on the work table so that the anisotropic conductive film can be stuck together without waste on each panel terminal. Workability is further improved.

次に、図1ないし図4により本発明の実施形態について説明するが、本発明はこれに限定されるものではない。図1は本発明によるパネル搬送用吸着保持具を示す平面図,図2は図1のA−A線断面図,図3は好ましい実施形態を示す要部拡大平面図,図4は図3のB−B線断面図である。   Next, an embodiment of the present invention will be described with reference to FIGS. 1 to 4, but the present invention is not limited to this. 1 is a plan view showing a suction holder for transporting a panel according to the present invention, FIG. 2 is a cross-sectional view taken along line AA of FIG. 1, FIG. 3 is an enlarged plan view of a main part showing a preferred embodiment, and FIG. It is a BB sectional view.

図1を参照して、このパネル搬送用吸着保持具100はグリップ110と、グリップ110の一端に取り付けられた支持アーム120とを備えている。この例において、グリップ110は先の図8で説明した従来例と同じく板材が用いられているが円筒体や角柱体であってもよい。支持アーム120は使い勝手上グリップ110に対してT字状に取り付けられることが好ましい。グリップ110および支持アーム120は容易に変形しないならばその材質は任意に選択されてよい。   With reference to FIG. 1, this panel transporting suction holder 100 includes a grip 110 and a support arm 120 attached to one end of the grip 110. In this example, the grip 110 is made of a plate material as in the conventional example described with reference to FIG. 8, but may be a cylindrical body or a prismatic body. The support arm 120 is preferably attached to the grip 110 for ease of use in a T shape. The material of the grip 110 and the support arm 120 may be arbitrarily selected as long as they are not easily deformed.

この例でのパネル搬送用吸着保持具100は、先の図6で説明したトレイTに収納されている液晶表示パネル1を横一例単位で取り出すことを意図しており、それゆえ支持アーム120はトレイTの横幅に対応する長さを有している。なお、トレイT内の横一列には6枚の液晶表示パネル1が含まれており、各液晶表示パネル1はパネル端子部1aの方向を揃えて各収納区画に収納されている。   The panel conveyance suction holder 100 in this example is intended to take out the liquid crystal display panel 1 accommodated in the tray T described in FIG. 6 in units of horizontal examples. It has a length corresponding to the horizontal width of the tray T. Note that six horizontal liquid crystal display panels 1 are included in one horizontal row in the tray T, and each liquid crystal display panel 1 is stored in each storage section with the direction of the panel terminal portion 1a aligned.

支持アーム120には6つの吸着ヘッド130a〜130fが設けられている。各吸着ヘッド130a〜130fは同一構成であるため、特に個別的に説明する必要がない場合には吸着ヘッドの総称として参照符号130を用いる。   The support arm 120 is provided with six suction heads 130a to 130f. Since each of the suction heads 130a to 130f has the same configuration, the reference numeral 130 is used as a generic name of the suction head when there is no need to describe them individually.

各吸着ヘッド130は支持アーム120の長さ方向に沿って横一例に並べられているが、各吸着ヘッド130を移動可能とするため、支持アーム120はそのガイド手段としてのガイドレール121を備えている。この例において、支持アーム120にはガイドレール121と平行に矩形状の開口部122が形成されており、開口部122内に各吸着ヘッド130が配置されているが開口部122は任意的な構成要素である。   The suction heads 130 are arranged side by side along the length direction of the support arm 120. In order to make the suction heads 130 movable, the support arms 120 include guide rails 121 as the guide means. Yes. In this example, a rectangular opening 122 is formed in the support arm 120 in parallel with the guide rail 121, and each suction head 130 is disposed in the opening 122, but the opening 122 has an arbitrary configuration. Is an element.

図2を参照して、吸着ヘッド130はガイドレール121に沿って摺動する移動台131を備えている。移動台131にはガイドレール121に嵌合するガイド溝131aが形成されているが、容易に脱落しないようにガイドレール121の側面とガイド溝131aの内側面とを逆テーパ面とすることが好ましい。変形例として、支持アーム120側にガイド溝を形成し、移動台131側にそのガイド溝内を摺動するガイド突起を形成するようにしてもよい。   Referring to FIG. 2, the suction head 130 includes a moving base 131 that slides along the guide rail 121. A guide groove 131a that fits into the guide rail 121 is formed on the movable base 131. However, it is preferable that the side surface of the guide rail 121 and the inner surface of the guide groove 131a have reverse taper surfaces so that they do not easily fall off. . As a modified example, a guide groove may be formed on the support arm 120 side, and a guide protrusion that slides in the guide groove may be formed on the moving base 131 side.

移動台131にはステー132を介して継ぎ手管133が上記開口部122を貫通するように保持されている。継ぎ手管133の下端には吸着カップ134が支持されている。吸着カップ134は好ましくはゴム弾性体からなり、液晶表示パネル1の表示部上に気密的に接触する。   A joint pipe 133 is held on the moving table 131 through a stay 132 so as to penetrate the opening 122. A suction cup 134 is supported at the lower end of the joint pipe 133. The suction cup 134 is preferably made of a rubber elastic body and comes into airtight contact with the display unit of the liquid crystal display panel 1.

再び図1を参照して、グリップ110には幹パイプ141が配管されており、その一端は図示いない真空ポンプなどの負圧源に接続される。幹パイプ141の他端は切換弁151を介して分配器152に至り、分配器152から6本の枝パイプ142が分岐されている。各枝パイプ142は各吸着ヘッド130の継ぎ手管133に連結される。各吸着ヘッド130が移動可能であるため、その動きに追随し得るように枝パイプ142は蛇腹管などの軟質で可撓性を有するパイプ材であることが好ましい。   Referring again to FIG. 1, a stem pipe 141 is provided on the grip 110, and one end thereof is connected to a negative pressure source such as a vacuum pump (not shown). The other end of the trunk pipe 141 reaches the distributor 152 via the switching valve 151, and six branch pipes 142 are branched from the distributor 152. Each branch pipe 142 is connected to a joint pipe 133 of each suction head 130. Since each suction head 130 is movable, the branch pipe 142 is preferably a soft and flexible pipe material such as a bellows tube so that it can follow its movement.

切換弁151は上記従来例で用いられている切換弁と同じであってよい。すなわち、切換弁151は連通ステージを選択する負圧ボタン151aと遮断ステージを選択する脱圧ボタン151bとを備え、負圧ボタン151aを押すことにより各吸着ヘッド130が負圧源と連通され、脱圧ボタン151bを押すことにより各吸着ヘッド130が負圧源と遮断され大気に開放される。   The switching valve 151 may be the same as the switching valve used in the conventional example. That is, the switching valve 151 includes a negative pressure button 151a for selecting a communication stage and a pressure release button 151b for selecting a shut-off stage. By pressing the negative pressure button 151a, each suction head 130 is communicated with a negative pressure source, and is released. By pressing the pressure button 151b, each suction head 130 is disconnected from the negative pressure source and released to the atmosphere.

次に図6,図7を併せて参照して、このパネル搬送用吸着保持具100の使用例について説明する。各吸着ヘッド130の間隔をトレイTの各収納区画の間隔(初期間隔)に合わせたうえで、各吸着ヘッド130の吸着カップ134を各収納区画内の液晶表示パネル1の表示部上に接触させ負圧ボタン151aを押す。これにより、トレイT内の横一列分の6枚の液晶表示パネル1が同時に各吸着ヘッド130に吸い付けられる。   Next, with reference to FIGS. 6 and 7, an example of use of the panel carrying suction holder 100 will be described. After adjusting the interval between the suction heads 130 to the interval (initial interval) between the storage sections of the tray T, the suction cup 134 of each suction head 130 is brought into contact with the display unit of the liquid crystal display panel 1 in each storage section. Press the negative pressure button 151a. As a result, the six liquid crystal display panels 1 for one horizontal row in the tray T are simultaneously sucked by the suction heads 130.

そして、トレイTからパネル搬送用吸着保持具100を持ち上げ、各液晶表示パネル1がほぼ隙間なく並ぶように各吸着ヘッド130の間隔を調整したのち、図7に示す作業テーブルWTに搬送し脱圧ボタン151bを押して各液晶表示パネル1を作業テーブルWT上にリリースする。   Then, the panel holding suction holder 100 is lifted from the tray T, and the intervals between the suction heads 130 are adjusted so that the liquid crystal display panels 1 are arranged almost without gaps. Then, the suction heads 130 are transferred to the work table WT shown in FIG. The button 151b is pressed to release each liquid crystal display panel 1 on the work table WT.

これによれば、従来のように作業テーブルWT上で各液晶表示パネル1の間隔を詰める作業を行うことなく、リリースされた状態のまま各パネル端子部1aに対して異方性導電フィルム1bを一括して貼り付けることができる。   According to this, the anisotropic conductive film 1b is applied to each panel terminal portion 1a in the released state without performing the work of reducing the interval between the liquid crystal display panels 1 on the work table WT as in the prior art. Can be pasted together.

なお、各吸着ヘッド130の間隔を調整する際、いずれかひとつの吸着ヘッド130を基準にして間隔調整することが好ましい。例えば、図1において右端に配置されている吸着ヘッド130aを基準にして他の吸着ヘッド130b〜130fを順次吸着ヘッド130a側に寄せるようにする。この場合、基準となる吸着ヘッド130aは支持アーム120に対して固定であってもよい。   In addition, when adjusting the space | interval of each suction head 130, it is preferable to adjust a space | interval on the basis of any one suction head 130. FIG. For example, the other suction heads 130b to 130f are sequentially moved toward the suction head 130a with reference to the suction head 130a disposed at the right end in FIG. In this case, the reference suction head 130 a may be fixed to the support arm 120.

本発明によれば、上記したように各吸着ヘッド130の間隔を任意に調整することができるが、注意を怠ると液晶表示パネル1同士が衝撃的にぶつかり合って最悪の場合破損してしまう懸念がある。   According to the present invention, the interval between the suction heads 130 can be arbitrarily adjusted as described above. However, if care is not taken, the liquid crystal display panels 1 may collide with each other shockingly and be damaged in the worst case. There is.

これを防止するため、図3に示すように各吸着ヘッド130の間に最小間隔を規定するストッパ手段160を設けることが好ましい。ここで、各吸着ヘッド130の最小間隔とは、吸着保持された液晶表示パネル1の間にほとんど隙間を生じさせないときの間隔である。   In order to prevent this, as shown in FIG. 3, it is preferable to provide stopper means 160 for defining a minimum interval between the suction heads 130. Here, the minimum interval between the suction heads 130 is an interval when almost no gap is generated between the suction-held liquid crystal display panels 1.

上記ストッパ手段160としては、近傍の物体を非接触で検出することができる近接スイッチを用いることができるが、装置の簡素化および入手容易性の観点からしてボルト161を用いることが好ましい。ボルト161は隣接する2つの吸着ヘッドのうちの少なくとも一方の吸着ヘッド側において他方の吸着ヘッドに当接するように突出量可変に螺着される。   As the stopper means 160, a proximity switch capable of detecting a nearby object in a non-contact manner can be used, but a bolt 161 is preferably used from the viewpoint of simplification of the apparatus and availability. The bolt 161 is screwed in a variable amount of protrusion so as to come into contact with the other suction head on the side of at least one of the two adjacent suction heads.

図3の例で言えば、隣接する2つの吸着ヘッド130aと130bのうち、ボルト161はその一方の吸着ヘッド130b側に突出量可変に螺着される。また、隣接する2つの吸着ヘッド130bと130cのうち、ボルト161はその一方の吸着ヘッド130c側に突出量可変に螺着される。他の吸着ヘッド130d〜130fにも同様にしてボルト161が螺着される。   In the example of FIG. 3, among the two adjacent suction heads 130a and 130b, the bolt 161 is screwed to the one suction head 130b side so as to have a variable projection amount. Of the two adjacent suction heads 130b and 130c, the bolt 161 is screwed to one of the suction heads 130c so as to have a variable projection amount. The bolts 161 are similarly screwed to the other suction heads 130d to 130f.

これによれば、ボルト161を回してその突出量を調整することにより各吸着ヘッド130の最小間隔を容易に設定することができる。変形例として、ボルト161は例えば偶数番目の吸着ヘッド130b,130d,130fに設けられてもよい。   According to this, the minimum space | interval of each adsorption | suction head 130 can be easily set by turning the volt | bolt 161 and adjusting the protrusion amount. As a modification, the bolt 161 may be provided in even-numbered suction heads 130b, 130d, and 130f, for example.

その場合、ボルト161は吸着ヘッド130b,130dについてはその両側にそれぞれ設けられ、左端の吸着ヘッド130fにはその右側にのみ設けられる。この例では移動台131にボルト161を設けているがステー132に設けてもよい。   In this case, the bolts 161 are provided on both sides of the suction heads 130b and 130d, and are provided only on the right side of the suction head 130f at the left end. In this example, the bolt 161 is provided on the moving base 131, but it may be provided on the stay 132.

なお、上記ストッパ手段160として近接スイッチを用いる場合、突出量可変のボルト161の先端部に近接スイッチを設置し、ボルト161の先端部に対応する他方にその近接スイッチの感応物質を設置すればよい。   In the case where a proximity switch is used as the stopper means 160, a proximity switch may be installed at the tip of the bolt 161 having a variable protrusion amount, and a sensitive substance of the proximity switch may be installed on the other side corresponding to the tip of the bolt 161. .

各吸着ヘッド130は液晶表示パネル1を作業テーブルWT上にリリースしたのち、トレイT内の次の横一例分の取り出しに備えて上記初期間隔(初期位置)に戻されるが、本発明の好ましい態様によれば、その初期間隔への戻し作業を容易とするため支持アーム20と上記各吸着ヘッド130との間に位置決め手段が設けられる。   Each suction head 130 releases the liquid crystal display panel 1 onto the work table WT and then returns to the initial interval (initial position) in preparation for taking out the next horizontal example in the tray T. Accordingly, positioning means is provided between the support arm 20 and each of the suction heads 130 in order to facilitate the return operation to the initial interval.

図4を参照して、その位置決め手段の一例として好ましく採用されるクリック係合手段170について説明する。このクリック係合手段170を組み込むため、支持アーム120側には係合溝171が形成される。係合溝171は半球凹部であることが好ましいが、円錐状の凹部であってもよい。   With reference to FIG. 4, the click engagement means 170 preferably employed as an example of the positioning means will be described. In order to incorporate the click engagement means 170, an engagement groove 171 is formed on the support arm 120 side. The engagement groove 171 is preferably a hemispherical recess, but may be a conical recess.

これに対して、各吸着ヘッド130の移動台131の底面側には縦穴131bが穿設され、縦穴131b内に係合球172がバネ173にて付勢された状態で収納される。係合球172にはその一部分が係合溝171に係合する大きさの球体が用いられる。係合球172に代えて一部分が係合溝171に係合する係合凸部(例えば爪状のもの)が用いられてもよい。また、係合力はバネ173によってその強弱を調整できる。   On the other hand, a vertical hole 131b is formed on the bottom surface side of the moving table 131 of each suction head 130, and the engagement ball 172 is accommodated in the vertical hole 131b while being biased by a spring 173. As the engagement ball 172, a sphere having a size that a part thereof engages with the engagement groove 171 is used. Instead of the engaging ball 172, an engaging convex portion (for example, a claw-like member) partially engaging with the engaging groove 171 may be used. Further, the strength of the engagement force can be adjusted by the spring 173.

このクリック係合手段170によれば、移動台131に横向きの力を加えることにより係合球172が係合溝171から離脱するため各吸着ヘッド130の間隔を任意に調整することができる。また、その後各吸着ヘッド130を初期間隔にまで戻すには係合球172が係合溝171に係合するまで移動台131をスライドさせればよいため作業性が改善される。なお、係合溝171を移動台131側に形成し、係合球172およびバネ173を支持アーム120側に設けてもよい。   According to the click engaging means 170, since the engaging ball 172 is detached from the engaging groove 171 by applying a lateral force to the moving base 131, the interval between the suction heads 130 can be arbitrarily adjusted. Further, after that, in order to return each suction head 130 to the initial interval, it is only necessary to slide the moving base 131 until the engaging ball 172 engages with the engaging groove 171, so that workability is improved. Note that the engagement groove 171 may be formed on the moving base 131 side, and the engagement ball 172 and the spring 173 may be provided on the support arm 120 side.

本発明のパネル搬送用吸着保持具は液晶表示パネルの搬送に好適であるが、このほかにベアボード回路基板や半導体の製造に用いられるウェハー基板,通常のガラス基板などの搬送にも利用することができる。   The suction holder for transporting a panel of the present invention is suitable for transporting a liquid crystal display panel, but can also be used for transporting a bare board circuit board, a wafer substrate used for manufacturing a semiconductor, a normal glass substrate, and the like. it can.

本発明によるパネル搬送用吸着保持具の一例を示す平面図。The top view which shows an example of the adsorption holder for panel conveyance by this invention. 図1のA−A線断面図。AA sectional view taken on the line AA of FIG. 本発明の好ましい実施形態を示す要部拡大平面図。The principal part enlarged plan view which shows preferable embodiment of this invention. 図3のB−B線断面図。BB sectional drawing of FIG. 複数枚の液晶表示パネルをパネル端子部を揃えて一列に配置する状態を示す斜視図。The perspective view which shows the state which arrange | positions several liquid crystal display panels in a line with a panel terminal part aligned. トレイ内に液晶表示パネルが収納されている状態を示す模式的な平面図。FIG. 3 is a schematic plan view showing a state in which a liquid crystal display panel is stored in a tray. 複数枚の液晶表示パネルを作業テーブルに一列に配置した状態を示す模式的な平面図。FIG. 2 is a schematic plan view showing a state in which a plurality of liquid crystal display panels are arranged in a row on a work table. 従来のパネル搬送用吸着保持具を示す斜視図。The perspective view which shows the conventional adsorption holder for panel conveyance.

符号の説明Explanation of symbols

100 パネル搬送用吸着保持具
110 グリップ
120 支持アーム
121 ガイドレール
130(130a〜130f) 吸着ヘッド
131 移動台
133 継ぎ手管
134 吸着カップ
141 幹パイプ
142 枝パイプ
151 切換弁
152 分配器
160 ストッパ手段
161 ボルト
170 クリック係合手段
171 係合溝
172 係合球
DESCRIPTION OF SYMBOLS 100 Panel conveyance holder 110 Grip 120 Support arm 121 Guide rail 130 (130a-130f) Adsorption head 131 Moving stand 133 Joint pipe 134 Adsorption cup 141 Trunk pipe 142 Branch pipe 151 Switching valve 152 Distributor 160 Stopper means 161 Bolt 170 Click engagement means 171 engagement groove 172 engagement ball

Claims (6)

グリップを有する支持アームと、上記支持アームに支持されその各々がパイプを介して負圧源に接続される複数の吸着ヘッドと、上記各吸着ヘッド内の圧力を上記負圧源による負圧と大気圧とに選択的に切り換える切換弁とを含み、トレイ内に少なくとも一列状態に並べられている複数枚のパネルを一度に吸着して搬送するためのパネル搬送用吸着保持具において、
上記各吸着ヘッドが移動手段を介して上記支持アームにそれらの間の間隔を調整し得るように移動可能に支持されていることを特徴とするパネル搬送用吸着保持具。
A support arm having a grip; a plurality of suction heads supported by the support arm, each of which is connected to a negative pressure source via a pipe; and the pressure in each suction head is increased by a negative pressure generated by the negative pressure source. In a panel transport suction holder for sucking and transporting a plurality of panels arranged at least in a line in the tray at a time, including a switching valve that selectively switches to atmospheric pressure,
A suction holder for panel transportation, wherein each of the suction heads is movably supported by the support arm via a moving means so that the distance between them can be adjusted.
上記移動手段が上記トレイ内に収納されている上記各パネルの配列方向と平行に上記支持アーム側に設けられたガイド手段と、上記各吸着ヘッド側に設けられ上記ガイド手段に沿って摺動可能な移動台とを備えている請求項1に記載のパネル搬送用吸着保持具。   The moving means is slidable along the guide means provided on the support arm side and parallel to the arrangement direction of the panels accommodated in the tray, and provided on the suction head side. The suction holder for panel conveyance according to claim 1, further comprising a movable table. 上記各吸着ヘッドの間にはそれらの最小間隔を規定するストッパ手段が設けられている請求項1または2に記載のパネル搬送用吸着保持具。   The panel holding suction holder according to claim 1, wherein stopper means for defining a minimum interval between the suction heads is provided. 上記ストッパ手段は隣接する2つの上記吸着ヘッドのうちの少なくとも一方の吸着ヘッド側において他方の吸着ヘッドに当接するように突出量可変に螺着されたボルトからなる請求項3に記載のパネル搬送用吸着保持具。   4. The panel conveying device according to claim 3, wherein the stopper means comprises a bolt that is screwed in a protruding amount so as to come into contact with the other suction head on at least one of the two adjacent suction heads. Adsorption holder. 上記支持アームと上記各吸着ヘッドとの間には、上記各吸着ヘッドを上記トレイ内に配列されている上記各パネルと対応する吸着位置に位置決めする位置決め手段が設けられている請求項1ないし4のいずれか1項に記載のパネル搬送用吸着保持具。   5. A positioning means is provided between the support arm and each suction head for positioning each suction head at a suction position corresponding to each panel arranged in the tray. The suction holder for panel conveyance according to any one of the above. 上記位置決め手段が上記支持アームと上記吸着ヘッドのいずれか一方に形成された係合溝と、そのいずれか他方にバネ付勢された状態で設けられ所定のクリック力にて上記係合溝に離脱可能に係合する係合凸部とを含むクリック係合手段からなる請求項5に記載のパネル搬送用吸着保持具。   The positioning means is provided in an engagement groove formed in one of the support arm and the suction head and in a state of being spring-biased in the other, and is detached from the engagement groove with a predetermined click force. The panel holding suction holder according to claim 5, comprising click engaging means including an engaging convex portion that can be engaged.
JP2004160590A 2004-05-31 2004-05-31 Sucking/retaining device for panel transfer Withdrawn JP2005335039A (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2004160590A JP2005335039A (en) 2004-05-31 2004-05-31 Sucking/retaining device for panel transfer

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2004160590A JP2005335039A (en) 2004-05-31 2004-05-31 Sucking/retaining device for panel transfer

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JP2005335039A true JP2005335039A (en) 2005-12-08

Family

ID=35489134

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2004160590A Withdrawn JP2005335039A (en) 2004-05-31 2004-05-31 Sucking/retaining device for panel transfer

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP2005335039A (en)

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2008059398A (en) * 2006-08-31 2008-03-13 Brother Ind Ltd Identification information allocation device, information processing method therefor, and program therefor
JP2013055360A (en) * 2012-12-17 2013-03-21 Lintec Corp Support device and support method
CN113296299A (en) * 2021-07-27 2021-08-24 苏州华兴源创科技股份有限公司 Alignment control device, alignment control method, computer device, and storage medium

Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2008059398A (en) * 2006-08-31 2008-03-13 Brother Ind Ltd Identification information allocation device, information processing method therefor, and program therefor
JP2013055360A (en) * 2012-12-17 2013-03-21 Lintec Corp Support device and support method
CN113296299A (en) * 2021-07-27 2021-08-24 苏州华兴源创科技股份有限公司 Alignment control device, alignment control method, computer device, and storage medium
CN113296299B (en) * 2021-07-27 2021-10-01 苏州华兴源创科技股份有限公司 Alignment control device, alignment control method, computer device, and storage medium

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US5823736A (en) Substrate processing device and method for substrate from the substrate processing device
CN110625540B (en) Film-like member supporting apparatus
JP4740414B2 (en) Substrate transfer device
KR101489094B1 (en) Detaching apparatus and detaching method
TWI615905B (en) Magnetizing device and method of manufacturing semiconductor device
JP2010076929A (en) Substrate conveying arm
KR101541643B1 (en) Detaching apparatus
US20150197405A1 (en) Transfer method, holding apparatus, and transfer system
TW201330171A (en) Substrate holding device
KR101245901B1 (en) Bonding apparatus and bonding system provided with same
JP2007112626A (en) Substrate carrying device, substrate inspection device and substrate carrying method
KR20130041583A (en) System for attaching polarizer to panel
JP2005335039A (en) Sucking/retaining device for panel transfer
JP5720201B2 (en) Workpiece transfer device
JP2011082242A (en) Electronic component mounting device and electronic component mounting method
JP5190034B2 (en) Exposure equipment
KR101588979B1 (en) Detaching apparatus and detaching method
KR101233111B1 (en) Aligner for Board and Controlling Method for the Same
JP2017038012A (en) Tray conveyance device and mounting device
KR20200053873A (en) Transfer plate for microchip transfer device
JP4208931B2 (en) Plate body reversal mechanism
JP2002368058A (en) Carrier for display substrate
JP2008304640A (en) Positioning equipment and method, and assembling equipment and method
JP2009066739A (en) Adsorption conveyance method and suction device
JP2010056151A (en) Sticking apparatus of tape-like member and sticking method

Legal Events

Date Code Title Description
A300 Withdrawal of application because of no request for examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300

Effective date: 20070807