JP2005327835A - 固体撮像装置および固体撮像装置の製造方法 - Google Patents
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Abstract
【課題】通常の基板表面に形成されるセンサ部よりも深い位置に別のセンサ部を設けることで、固体撮像装置の画素面積を増大させずにダイナミックレンジの拡大を可能とする。
【解決手段】入射光を光電変換する第1センサ部21と、第1センサ部21から読み出された信号電荷の転送を行う電荷転送部24とを基板(半導体基板11)に備えた固体撮像装置1であって、少なくとも第1センサ部21の一部下方に形成した第2センサ部26と、半導体基板11内であり、少なくとも第1センサ部21と第2センサ部26との間に形成した深部チャネルストップ32とを備えたものである。
【選択図】図1
【解決手段】入射光を光電変換する第1センサ部21と、第1センサ部21から読み出された信号電荷の転送を行う電荷転送部24とを基板(半導体基板11)に備えた固体撮像装置1であって、少なくとも第1センサ部21の一部下方に形成した第2センサ部26と、半導体基板11内であり、少なくとも第1センサ部21と第2センサ部26との間に形成した深部チャネルストップ32とを備えたものである。
【選択図】図1
Description
本発明は、ダイナミックレンジの拡大が容易な電荷結合デバイス(CCD)型の固体撮像装置およびその固体撮像装置の製造方法に関するものである。
従来のCCD型固体撮像装置の基本的な構成の一例を図13および図14によって説明する。図13はシリコン基板中の構成を示すものであり、図14はシリコン基板上の構成を示すものである。
図13および図14に示すように、シリコン基板111中には、電荷蓄積部となる複数のセンサ部121が基板表面に対して図面x方向および図面y方向に等間隔に配列されている。上記列方向に配列されたセンサ部121の一方側には読み出し部123が形成され、この読み出し部123を介して垂直電荷転送部124が形成されている。また、上記列方向に配列されたセンサ部121の他方側にはチャネルストップ131が形成され、このチャネルストップ131に連続して、上記各センサ部121、121間の図面x方向にチャネルストップ131が延長形成されている。すなわち、チャネルストップ131は画素領域間を分離する。
シリコン基板111上には絶縁膜(図示せず)を介して4相駆動の転送電極151、152、153、154が形成されている。これらのうち、転送電極151、153は同一層のポリシリコンで形成され、転送電極152、154は同一層でかつ上記転送電極151、153とは異なる層のポリシリコン層で形成されている。したがって、転送電極151〜154は2層のポリシリコン層で形成されていることになる。各転送電極151〜154間は絶縁膜(図示せず)で電気的に分離されている。さらに転送電極151〜154およびセンサ部121上の一部は金属遮光膜(図示せず)で覆われており、センサ部(電荷蓄積部)121上に開口部122が設けられている。
上記固体撮像装置100に入射した光は上記センサ部121上の開口部122からシリコン基板111中に入り、センサ部121で光電変換され、一時的にセンサ部121の電荷蓄積部に電荷として蓄えられる。このとき、強い光の当たっているセンサ部121では、電荷蓄積部から垂直電荷転送部124へ電荷があふれないための対応として、一定以上に溜まった電荷をセンサ部121の深層方向に設けたオーバーフローバリア(図示せず)を介してシリコン基板111側へ捨てている。このため、強い光同士の入射光量の差は撮像することが困難となっている。上記蓄積電荷部124に蓄えられた電荷は、転送電極151〜154に読みだし電圧を加えることで、読みだしゲート123を通って垂直電荷転送部124に読み出される。
従来のCCD型固体撮像装置は、発生した電荷が有効に蓄積されるのは、垂直電荷転送部(CCD)に到達する光量が標準光量の3倍程度までで、それ以上の光量については、上記説明したように基板側に電荷を捨てている。
このため、被写体のハイライト部においては入射光量に応じた電荷の蓄積ができず、ほぼ同じ量の電荷が蓄積される。この結果、出力画像にコントラストがつかず、白く一様な画像となってしまう。また、その逆に、ハイライト部分に光量を合わせると、その他の部分での光量が不足して黒く潰れた画像となってしまう。
このため、被写体のハイライト部においては入射光量に応じた電荷の蓄積ができず、ほぼ同じ量の電荷が蓄積される。この結果、出力画像にコントラストがつかず、白く一様な画像となってしまう。また、その逆に、ハイライト部分に光量を合わせると、その他の部分での光量が不足して黒く潰れた画像となってしまう。
以上のように、従来構造のCCD型の固体撮像装置では、被写体のダイナミックレンジに対してCCD撮像素子のダイナミックレンジが不足しており、CCD撮像素子のダイナミックレンジの拡大方法が求められていた。
例えば、感光部のダイナミックレンジを大きくする固体撮像装置として、1画素を構成するセル中に面積の大きな主感光部と面積の小さな補助感光部との二つの感光部を基板表面に形成し、かつ補助感光部上に直接入射光を遮光する遮光膜を設けた固体撮像装置が開示されている(例えば、特許文献1参照)。
また、入射光が色分解フィルタを介して色分解された透過光をハニカム配置された二つの感度を有する各受光素子で光電変換し、隣接する受光素子の間に2列分の垂直転送路を配設し、この垂直転送路と各受光素子の間の信号読み出しゲートを介して受光素子から垂直転送路に得られた信号電荷を読み出し、さらに水平転送路を介して垂直転送路からの出力を水平方向に転送する固体撮像装置が開示されている(例えば、特許文献2参照)。この固体撮像装置では、受光素子に、第1の所定の感度の受光素子と、第1の所定の感度の受光素子よりも低い感度を持つ第2の所定の感度の受光素子とを、平面的にレイアウトして用いている。
しかし、上記特許文献4、5に開示された固体撮像装置のいずれも、感度の異なる二つの感光部を平面的にレイアウトしているため、画素面積の増大をもたらし、画素数の拡大化、画素の高集積化を阻害することになっていた。
解決しようとする問題点は、従来の画素面積を維持してダイナミックレンジを拡大することができない点である。
本発明の固体撮像装置は、入射光を光電変換する第1センサ部と、前記第1センサ部から読み出された信号電荷の転送を行う電荷転送部とを基板に備えた固体撮像装置であって、前記基板内であり、少なくとも前記第1センサ部の一部下方に形成した第2センサ部と、少なくとも前記第1センサ部と前記第2センサ部との間に形成した深部チャネルストップとを備えたことを最も主要な特徴とする。
本発明の固体撮像装置の製造方法は、入射光を光電変換する第1センサ部と、前記第1センサ部から読み出された信号電荷の転送を行う電荷転送部とを基板に備えた固体撮像装置の製造方法であって、前記基板内に、少なくとも前記第1センサ部を形成する領域の一部下方に第2センサ部を形成する工程と、少なくとも前記第1センサ部を形成する領域と前記第2センサ部との間に深部チャネルストップを形成する工程とを備えたことを最も主要な特徴とする。
本発明の固体撮像装置は、少なくとも前記第1センサ部の一部下方に形成した第2センサ部と、少なくとも前記第1センサ部と前記第2センサ部との間に形成した深部チャネルストップとを備えているため、固体撮像装置に入射した光は第1センサ部を通り、基板内部で光電変換される。
例えば、適正量の光が入射した画素では第1センサ部において光電変換され、強い光が入射した画素では第1センサ部がオーバーフローしても、基板深部に到達した強い光の一部が第2センサ部において光電変換され、第1センサ部に蓄積された電荷は主に電荷転送部の側面から読み出され、第2センサ部に蓄積された電荷は主に電荷転送部の底面側から読み出される。このように、両方の画素を同時に読み出す。
これにより、強い入射光が入った画素においても、入射光の強度を指数的に圧縮した形で蓄積電荷量の違いに置き換えることができる。したがって、ハイライト部においても入射光量の違いを濃淡のついた画像として出力することができるので、ダイナッミレンジを指数的に拡大することができる
という利点がある。また、第2センサ部は第1センサ部および電荷転送部の一部下方に形成されているため、画素面積を拡大させることなく、上記ダイナミックレンジの拡大を図ることができるという利点がある。
例えば、適正量の光が入射した画素では第1センサ部において光電変換され、強い光が入射した画素では第1センサ部がオーバーフローしても、基板深部に到達した強い光の一部が第2センサ部において光電変換され、第1センサ部に蓄積された電荷は主に電荷転送部の側面から読み出され、第2センサ部に蓄積された電荷は主に電荷転送部の底面側から読み出される。このように、両方の画素を同時に読み出す。
これにより、強い入射光が入った画素においても、入射光の強度を指数的に圧縮した形で蓄積電荷量の違いに置き換えることができる。したがって、ハイライト部においても入射光量の違いを濃淡のついた画像として出力することができるので、ダイナッミレンジを指数的に拡大することができる
という利点がある。また、第2センサ部は第1センサ部および電荷転送部の一部下方に形成されているため、画素面積を拡大させることなく、上記ダイナミックレンジの拡大を図ることができるという利点がある。
本発明の固体撮像装置の製造方法は、基板内に、少なくとも第1センサ部を形成する領域の一部下方に第2センサ部を形成する工程と、少なくとも第1センサ部を形成する領域と前記第2センサ部との間に深部チャネルストップを形成する工程とを備えたため、少なくとも第1センサ部の一部下方に第2センサ部と、少なくとも第1センサ部と第2センサ部との間に深部チャネルストップとを形成することができる。これによって、固体撮像装置に入射した光は第1センサ部を通り、基板内部で光電変換される。
例えば、適正量の光が入射した画素では第1センサ部において光電変換され、強い光が入射した画素では第1センサ部がオーバーフローしても、基板深部に到達した強い光の一部が第2センサ部において光電変換され、第1センサ部に蓄積された電荷は主に電荷転送部の側面から読み出され、第2センサ部に蓄積された電荷は主に電荷転送部の底面側から読み出される。このように、両方の画素を同時に読み出す。
これにより、強い入射光が入った画素においても、入射光の強度を指数的に圧縮した形で蓄積電荷量の違いに置き換えることができる。したがって、ハイライト部においても入射光量の違いを濃淡のついた画像として出力することができるので、ダイナッミレンジを指数的に拡大することができる
という利点がある。また、第2センサ部は第1センサ部および電荷転送部の一部下方に形成されているため、画素面積を拡大させることなく、上記ダイナミックレンジの拡大を図ることができるという利点がある。
例えば、適正量の光が入射した画素では第1センサ部において光電変換され、強い光が入射した画素では第1センサ部がオーバーフローしても、基板深部に到達した強い光の一部が第2センサ部において光電変換され、第1センサ部に蓄積された電荷は主に電荷転送部の側面から読み出され、第2センサ部に蓄積された電荷は主に電荷転送部の底面側から読み出される。このように、両方の画素を同時に読み出す。
これにより、強い入射光が入った画素においても、入射光の強度を指数的に圧縮した形で蓄積電荷量の違いに置き換えることができる。したがって、ハイライト部においても入射光量の違いを濃淡のついた画像として出力することができるので、ダイナッミレンジを指数的に拡大することができる
という利点がある。また、第2センサ部は第1センサ部および電荷転送部の一部下方に形成されているため、画素面積を拡大させることなく、上記ダイナミックレンジの拡大を図ることができるという利点がある。
固体撮像装置のダイナミックレンジの拡大という目的を、少なくとも第1センサ部の一部下方に第2センサ部を形成するとともに、少なくとも第1センサ部と第2センサ部との間に深部チャネルストップを形成することで、画素面積を増大させずに実現した。
本発明の固体撮像装置に係る一実施例を、図1の概略構成断面図および図2および図3の平面レイアウト図によって説明する。図1(1)は図2、図3のA−A’線(垂直方向)断面を示す図面であり、図1(2)の半導体基板上は図2のB−B’線(垂直方向)断面を示し、同図1(2)の半導体基板中は図3のB−B’線(垂直方向)断面を示す図面であり、図2は半導体基板上に形成される構成部品の位置関係を示す図面であり、図3は半導体基板中に形成される構成部品の位置関係を示す図面である。
図1〜図3に示すように、固体撮像装置1は、複数の画素領域2が半導体基板11表面に対して図面x方向および図面y方向に等間隔に配列するように形成されているもので、隣接する画素領域2はチャネルストップ31によって分離されている。上記半導体基板11は例えばシリコン基板が用いられている。
まず、半導体基板11上の構成を説明する。上記半導体基板11上には絶縁膜61を介して4相駆動の転送電極51、52、53、54が形成されている。これらのうち、転送電極51、53は同一層のポリシリコンで形成され、転送電極52、54は同一層でかつ上記転送電極51、53とは異なる層のポリシリコン層で形成されている。したがって、転送電極51〜54は2層のポリシリコン層で形成されていることになる。各転送電極51〜54間は絶縁膜62で電気的に分離されている。さらに転送電極51〜54および第1センサ部21上の一部は遮光膜71で覆われており、その遮光膜の第1センサ部(電荷蓄積部)21上に開口部22が設けられている。
次に半導体基板11中の構成を説明する。上記半導体基板11中には、電荷蓄積部となる複数の第1センサ部21が半導体基板11表面に対して図面x方向および図面y方向に等間隔に配列するように形成されている。上記第1センサ部21は、入射光を光電変換するとともに光電変換された電荷の蓄積を行うものであり、上層にP型層211が形成され、その下層にN型層212が形成されてなる。
上記列方向に配列された第1センサ部21の一方側には読み出し部23が形成され、この読み出し部23を介して垂直方向に電荷を転送する垂直電荷転送部(垂直CCD)24が形成される。この垂直電荷転送部24は下層に形成されたP型層とその上層に形成されたN型層とからなる。また、上記列方向に配列された第1センサ部21の他方側の側部にはチャネルストップ31が形成され、このチャネルストップ31に連続して、上記各第1センサ部21、21間の図面x方向における各第1センサ部21側部にチャネルストップ31が延長形成されている。したがって、チャネルストップ31は画素間を分離する。
また、少なくとも上記第1センサ部21の一部下方に第2センサ部26が形成されているとともに、少なくとも上記第1センサ部21と第2センサ部26との間に深部チャネルストップ32が形成されている。具体的には、上記垂直電荷転送部24
の下部および上記第1センサ部21の一部下方には第2電荷蓄積層となるものでN型層からなる第2センサ部26が形成されている。また上記第1センサ部21と上記第2センサ部26との間および第2センサ部26の側部には連続した状態に深部チャネルストップ32が形成されている。そして、深部チャネルストップ32は、上記チャネルストップ31下部に接続されている。さらに、上記半導体基板11の最深部、すなわち、上記第2センサ部26および上記深部チャネルストップ32よりも深い位置における半導体基板11には、オーバーフローバリア層41が形成されている。
の下部および上記第1センサ部21の一部下方には第2電荷蓄積層となるものでN型層からなる第2センサ部26が形成されている。また上記第1センサ部21と上記第2センサ部26との間および第2センサ部26の側部には連続した状態に深部チャネルストップ32が形成されている。そして、深部チャネルストップ32は、上記チャネルストップ31下部に接続されている。さらに、上記半導体基板11の最深部、すなわち、上記第2センサ部26および上記深部チャネルストップ32よりも深い位置における半導体基板11には、オーバーフローバリア層41が形成されている。
次に、本発明の固体撮像装置1の動作を説明する。固体撮像装置1
に入射した光は開口部22を通り第1センサ部21に入射されて、第1センサ部21のシリコン内部で光電変換され、電子とホールが形成される。このとき、電子は第1センサ部21のN型層212に蓄積され、ホールは第1センサ部のP型層211から画素間のチャネルストップ31を通して排出される。
に入射した光は開口部22を通り第1センサ部21に入射されて、第1センサ部21のシリコン内部で光電変換され、電子とホールが形成される。このとき、電子は第1センサ部21のN型層212に蓄積され、ホールは第1センサ部のP型層211から画素間のチャネルストップ31を通して排出される。
上記固体撮像装置1では、第1センサ部21のN型層212の下部にN型層からなる第2センサ部26を設けており、第1センサ部21に入射した光の一部が第2センサ部26のN型層(電荷蓄積層)において光電変換される。この光電変換される電子の数は、入射した光の波長などによって異なるが、第1センサ部21のN型層212で光電変換される電子数の1/10〜1/1000程度となる。
電荷の読み出しは、通常のCCDでの読み出し動作と同様に、垂直電荷転送部24の転送電極51〜54に読み出しパルスを印加することで行われる。第1センサ部21からの読み出しパスと同等な不純物プロファイルを、第2センサ部26からの読み出しパスに形成することは、なんら問題なく形成できるため、通常の転送電圧ではパスが開かず、読み出しパルスでパスが開くように設計することができる。したがって、読み出しは、読み出しパスでの電位変動量だけの制御なので、縦、横、深さ方向などに関係なく制御することが可能となる。
例えば、
第2センサ部26からの読み出しにおいては、転送電極51〜54に読み出しパルスを印加することにより、垂直電荷転送部24の側面からは第1センサ部21のN型層212に蓄積された電荷を読み出し、垂直電荷転送部24の底面からは第2センサ部26に蓄積された電荷を読み出す。
第2センサ部26からの読み出しにおいては、転送電極51〜54に読み出しパルスを印加することにより、垂直電荷転送部24の側面からは第1センサ部21のN型層212に蓄積された電荷を読み出し、垂直電荷転送部24の底面からは第2センサ部26に蓄積された電荷を読み出す。
よって、本発明の固体撮像装置1は、
例えば、適正量の光が入射した画素では第1センサ部21において光電変換され、強い光が入射した画素では第1センサ部21がオーバーフローしても、半導体基板11の深部に到達した強い光の一部が第2センサ部26において光電変換され、第1センサ部21に蓄積された電荷は主に垂直電荷転送部24の側面から読み出され、第2センサ部26に蓄積された電荷は主に電荷転送部24の底面側から読み出される。このように、適正量の光が入射した画素と強い光が入射した画素の両方の画素を同時に読み出す。
例えば、適正量の光が入射した画素では第1センサ部21において光電変換され、強い光が入射した画素では第1センサ部21がオーバーフローしても、半導体基板11の深部に到達した強い光の一部が第2センサ部26において光電変換され、第1センサ部21に蓄積された電荷は主に垂直電荷転送部24の側面から読み出され、第2センサ部26に蓄積された電荷は主に電荷転送部24の底面側から読み出される。このように、適正量の光が入射した画素と強い光が入射した画素の両方の画素を同時に読み出す。
これにより、強い入射光が入った画素においても、入射光の強度を指数的に圧縮した形で蓄積電荷量の違いに置き換えることができる。したがって、ハイライト部においても入射光量の違いを濃淡のついた画像として出力することができるので、ダイナッミレンジを指数的に拡大することができる
という利点がある。言い換えると、第2センサ部26を設ける必要性は、半導体基板11の深くは入射した光の一部だけが到達するため、この段階で指数的に少ない光量の光が第2センサ部26に入り、高ダイナミックレンジのための指数的な圧縮がすでに行われていることである。その電荷を第1センサ部21とは別の第2センサ部26で蓄積することで初めて高ダイナミックレンジとなる。そして、線形な部分を受け持っている第1センサ部21の電荷と、すでに入射光量を圧縮した形で光電変換された第2センサ部26の電荷を足すことで、明るい部分の中にさらに階調を表現できるようになる。
という利点がある。言い換えると、第2センサ部26を設ける必要性は、半導体基板11の深くは入射した光の一部だけが到達するため、この段階で指数的に少ない光量の光が第2センサ部26に入り、高ダイナミックレンジのための指数的な圧縮がすでに行われていることである。その電荷を第1センサ部21とは別の第2センサ部26で蓄積することで初めて高ダイナミックレンジとなる。そして、線形な部分を受け持っている第1センサ部21の電荷と、すでに入射光量を圧縮した形で光電変換された第2センサ部26の電荷を足すことで、明るい部分の中にさらに階調を表現できるようになる。
また、第2センサ部26は第1センサ部21および電荷転送部の一部下方に形成されているため、画素面積を拡大させることなく、上記ダイナミックレンジの拡大を図ることができるという利点がある。このように、本発明の固体撮像装置では、従来のダイナミックレンジの不足により、被写体のハイライト部分にコントラストが付かず、白く一様な画面になってしまうという問題を解決することができる。
さらに、上記固体撮像装置1において、
第1センサ部21、第2センサ部26ともにオーバーフローバリアとして機能しているのはP型層で形成されているオーバーフローバリア層41である。2次元的には、チャネルストップ31、深部チャネルストップ32で囲まれている領域面積が異なるため、オーバーフローバリアが開く電圧には第1センサ部21と第2センサ部26とでは差異があるが、基本的には、同じバリア(電位)となっている。電子シャッター動作はP型層を潰すことで行うため、第1センサ部21および第2センサ部26ともに電子シャッター動作による電荷の掃き捨てが可能となっている。
第1センサ部21、第2センサ部26ともにオーバーフローバリアとして機能しているのはP型層で形成されているオーバーフローバリア層41である。2次元的には、チャネルストップ31、深部チャネルストップ32で囲まれている領域面積が異なるため、オーバーフローバリアが開く電圧には第1センサ部21と第2センサ部26とでは差異があるが、基本的には、同じバリア(電位)となっている。電子シャッター動作はP型層を潰すことで行うため、第1センサ部21および第2センサ部26ともに電子シャッター動作による電荷の掃き捨てが可能となっている。
次に、本発明の固体撮像装置の製造方法に係る一実施例を、図4〜図12の製造工程断面図によって説明する。図4〜図12では、図面上段の(1)図に垂直方向の断面を示し、図面下段の(2)図に水平方向の断面を示す。以下に説明する固体撮像装置の製造方法は、上記実施例1で説明した固体撮像装置1を製造することができる。
図4に示すように、半導体基板(シリコン基板)11の深部、例えば深さが3μm〜4μmの位置にP型不純物層からなるオーバーフローバリア層41を形成する。このオーバーフローバリア層41は、例えばイオン注入法によって形成することができ、例えば1MeV以上のエネルギーでホウ素イオンを注入することにより形成される。なお、イオン注入の際には、半導体基板11上犠牲膜81を形成しておくことが好ましい。
次に、図5に示すように、半導体基板11中にN型不純物を導入することで、N型層からなる電荷蓄積部となる第2センサ部26を形成する。この第2センサ部26は、半導体基板11中、深さ1μm程度の位置に形成され、その形成方法は、例えばイオン注入法による。このイオン注入は、N型不純物として例えばリン(P)もしくはヒ素(As)を用い、1MeV以上の注入エネルギーで、マスクを変えて、複数回に分けて行う。それにより、後に形成される第1センサ部の一部下方および垂直電荷転送部の一部下方の領域に第2センサ下部261が形成され、垂直電荷転送部の一部下方となる領域に上記第2センサ下部261上に連続するように第2センサ上部262が形成され、これにより、少なくとも上記第1センサ部21の一部下方に第2センサ部26が形成される。
具体的には、半導体基板11上に、上記第2センサ下部261を形成するためのイオン注入マスク(図示せず)を形成した後、イオン注入法により、半導体基板11中の例えば深さが1μm程度の位置に、第2センサ下部261を形成する。その後、上記イオン注入マスクを除去した後、新たに上記第2センサ上部262を形成するためのイオン注入マスク(図示せず)を形成した後、イオン注入法により、半導体基板11中に、上記第2センサ下部上に連続した第2センサ上部262を形成する。なお、先に第2センサ上部262を形成し、その後、第2センサ下部261を形成してもよい。また、上記イオン注入マスクには通常のレジストマスクを用いることができる。なお、上記イオン注入において、1回のイオン注入で深さ方向に所定の長さのイオン注入領域が形成できない場合には、注入エネルギーを複数回変えてイオン注入を行うことにより、深さ方向に所定の長さのイオン注入領域を形成することができる。
次に、図6に示すように、半導体基板11中にP型不純物を導入することで、P型層からなる深部チャネルストップ32を形成する。この深部チャネルストップ32は、半導体基板11中、少なくとも上記第1センサ部21と第2センサ部26との間に形成され、具体的には、上記第2センサ下部261の側部領域、その後に形成される画素領域を分離するチャネルストップと接続する領域、その後形成される第1センサ部下面と上記第2センサ部26の第2センサ下部261上面との間の領域、および第2センサ上部262の側部の領域に形成される。その形成方法は、例えばイオン注入法による。このイオン注入は、P型不純物として例えばホウ素(B)を用い、500keV以上の注入エネルギーで、マスクを変えて、複数回に分けて行う。それにより、上記第2センサ下部261の側部領域に深部チャネルストップ部321が形成され、上記深部チャネルストップ部321上でかつ画素領域を分離するチャネルストップと接続する領域に深部チャネルストップ部322が形成され、第1センサ部下面と上記第2センサ下部261上面との間の領域に深部チャネルストップ部323が形成され、第2センサ上部262の側部の領域に深部チャネルストップ部324が形成される。
具体的には、半導体基板11上に、上記深部チャネルストップ部321を形成するためのイオン注入マスク(図示せず)を形成した後、イオン注入法により、半導体基板11中の上記第2センサ下部261の側部領域に深部チャネルストップ部321を形成する。その後、上記イオン注入マスクを除去した後、新たに上記深部チャネルストップ部322を形成するためのイオン注入マスク(図示せず)を形成した後、イオン注入法により、上記深部チャネルストップ部321上に連続するものでその後に形成される画素領域を分離するチャネルストップと接続する領域に深部チャネルストップ部322を形成する。その後、上記イオン注入マスクを除去した後、新たに上記深部チャネルストップ部323を形成するためのイオン注入マスク(図示せず)を形成した後、イオン注入法により、半導体基板11中の第1センサ部下面と上記第2センサ部26の第2センサ下部261上面との間の領域に上記深部チャネルストップ部322に連続するように深部チャネルストップ部323を形成する。その後、上記イオン注入マスクを除去した後、さらに、上記深部チャネルストップ部324を形成するためのイオン注入マスク(図示せず)を形成した後、イオン注入法により、半導体基板11中における第2センサ上部262の側部の領域に上記深部チャネルストップ部323の一端に連続した深部チャネルストップ部324を形成する。なお、深部チャネルストップ部321〜324の形成順序は、上記順序に限定されることはなく、深部チャネルストップ部321〜324のいずれを先に形成しても、2番目に形成しても、3番目に形成しても、最後に形成してもよい。また、上記各イオン注入マスクには通常のレジストマスクを用いることができる。なお、上記各イオン注入において、1回のイオン注入で深さ方向に所定の長さのイオン注入領域が形成できない場合には、注入エネルギーを複数回変えてイオン注入を行うことにより、深さ方向に所定の長さのイオン注入領域を形成することができる。
次に、図7に示すように、上記半導体基板11中にN型不純物を導入することで、第1センサ部21のN型層212を形成する。このN型層212は、半導体基板11表面側の受光領域に形成され、その形成方法は、例えばイオン注入法による。このイオン注入は、N型不純物として例えばリン(P)もしくはヒ素(As)を用い、例えば100keV以上の注入エネルギーで行う。
次に、上記半導体基板11中にP型不純物を導入することで、画素領域間を分離するチャネルストップ31を形成する。このチャネルストップ31は、垂直方向の画素領域間を分離するチャネルストップ部311と水平方向の画素領域間を分離するチャネルストップ部(図示せず)とからなり、上記チャネルストップ部311は上記チャネルストップ部322上端に接続するように形成され、水平方向の画素領域間を分離するチャネルストップ部は上記チャネルストップ部323に接続するように形成され、その形成方法は、例えばイオン注入法による。このイオン注入は、P型不純物として例えば、ホウ素(B)を用い、例えば10keV以上の注入エネルギーで行う。また、必要に応じて、このイオン注入は、イオン注入マスクを変えて複数回に分けて行うこともできる。また、上記イオン注入マスクには通常のレジストマスクを用いることができる。なお、このイオン注入において、1回のイオン注入で深さ方向に所定の長さのイオン注入領域が形成できない場合には、注入エネルギーを複数回変えてイオン注入を行うことにより、深さ方向に所定の長さのイオン注入領域を形成することができる。
次に、図8に示すように、上記半導体基板11中にP型不純物およびN型不純物を別個に導入することで、第1センサ部21の一方側に読み出し部23を介して垂直電荷転送部24のP型層とN型層とを形成する。上記P型層は上記N型層の下側に接合して形成され、その形成方法は、例えばイオン注入法による。このイオン注入は、P型不純物としてホウ素(B)を用い、N型不純物として例えばリン(P)もしくはヒ素(As)を用い、例えば100keV以上の注入エネルギーで行う。
具体的には、半導体基板11上に、上記垂直電荷転送部24のP型層を形成するためのイオン注入マスク(図示せず)を形成した後、イオン注入法により、半導体基板11中に垂直電荷転送部24のP型層を形成する。その後、上記イオン注入マスクを除去した後、新たに上記垂直電荷転送部24のN型層を形成するためのイオン注入マスク(図示せず)を形成した後、イオン注入法により、半導体基板11中に垂直電荷転送部24のN型層を上記N型層の下面に接合するように形成する。なお、先に垂直電荷転送部24のP型層を形成し、その後、垂直電荷転送部24のP型層を形成してもよい。また、上記イオン注入マスクには通常のレジストマスクを用いることができる。なお、上記イオン注入工程において、P型層を形成するイオン注入マスクとP型層を形成するイオン注入マスクとを変える必要がない場合には、最初に形成したイオン注入マスクによって、P型層およびN型層を形成することができる。
次に、図9に示すように、上記半導体基板11上に転送電極下に形成される絶縁膜61を成膜した後、転送電極52、54を形成する。その後、転送電極52、54を被覆する絶縁膜62を形成する。さらに、再度半導体基板11表面に転送電極下に形成される絶縁膜63を形成した後、転送電極51、53を形成する。各転送電極51、53、転送電極52、54は、CVD法によって、電極材料となる例えばポリシリコンを成膜した後、リソグラフィー技術とドライエッチング技術により電極形成膜をパターニングして形成する。
次に、図10に示すように、上記転送電極51〜54をマスクにしたイオン注入法により、上記半導体基板11の第1センサ部21の表層にP型不純物を導入して、N型層212の上層部に電荷蓄積層となるP型層211を形成する。このようにして、P型層211とN型層212とからなる第1センサ部21が形成される。
次に、図11に示すように、上記半導体基板11上に、上記転送電極51〜54を被覆するように、絶縁膜62を完成させる。さらに、絶縁膜62上に遮光膜71を形成する。ついで、通常のリソグラフィー技術とエッチング技術とによって遮光膜71を加工して第1センサ部21上に開口部22を形成する。上記遮光膜71には光を透過しないように金属膜が用いられる。
次に、図12に示すように、上記遮光膜71、第1センサ部21上等を被覆するように、光透過性に優れ、表面が平坦化された絶縁膜65を形成する。この絶縁膜65は、例えば酸化シリコン膜で形成することができる。次いで、通常のカラーフィルタを形成するプロセスにより、R(赤)、G(緑)、B(青)のカラーフィルタ91R、91G、91Bを形成する。その後、各第1センサ部21に光が効率良く入射するように、各第1センサ部21に対応させて、上記カラーフィルタ91R、91G、91上にそれぞれに対応するマイクロレンズ92、93、94を形成する。
上記固体撮像装置の製造方法は、第1センサ部21の一部下方および電荷転送部24の一部下方に連続して形成した第2センサ部26と、第1センサ部21と第2センサ部26との間および第2センサ部26の側部とに形成した深部チャネルストップ32とを形成することができる。これによって、固体撮像装置1に入射した光は第1センサ部21を通り、半導体基板11内部で光電変換される。
例えば、適正量の光が入射した画素では第1センサ部21において光電変換され、強い光が入射した画素では第1センサ部21がオーバーフローしても、半導体基板11深部に到達した強い光の一部が第2センサ部26において光電変換され、第1センサ部21に蓄積された電荷は主に電荷転送部24の側面から読み出され、第2センサ部26に蓄積された電荷は主に電荷転送部24の底面側から読み出される。このように、両方の画素を同時に読み出す。
これにより、強い入射光が入った画素においても、入射光の強度を指数的に圧縮した形で蓄積電荷量の違いに置き換えることができる。したがって、ハイライト部においても入射光量の違いを濃淡のついた画像として出力することができるので、ダイナッミレンジを指数的に拡大することができる
という利点がある。また、第2センサ部26は第1センサ部21および電荷転送部24の一部下方に形成されているため、画素面積を拡大させることなく、上記ダイナミックレンジの拡大を図ることができるという利点がある。
例えば、適正量の光が入射した画素では第1センサ部21において光電変換され、強い光が入射した画素では第1センサ部21がオーバーフローしても、半導体基板11深部に到達した強い光の一部が第2センサ部26において光電変換され、第1センサ部21に蓄積された電荷は主に電荷転送部24の側面から読み出され、第2センサ部26に蓄積された電荷は主に電荷転送部24の底面側から読み出される。このように、両方の画素を同時に読み出す。
これにより、強い入射光が入った画素においても、入射光の強度を指数的に圧縮した形で蓄積電荷量の違いに置き換えることができる。したがって、ハイライト部においても入射光量の違いを濃淡のついた画像として出力することができるので、ダイナッミレンジを指数的に拡大することができる
という利点がある。また、第2センサ部26は第1センサ部21および電荷転送部24の一部下方に形成されているため、画素面積を拡大させることなく、上記ダイナミックレンジの拡大を図ることができるという利点がある。
本発明の固体撮像装置および固体撮像装置の製造方法は、4相駆動の固体撮像装置をはじめとして種々の駆動方式の固体撮像装置および固体撮像装置の製造方法に適用するのに好適である。
1…固体撮像装置、11…半導体基板、21…第1センサ部、24…垂直電荷転送部、26…第2センサ部、32…深部チャネルストップ
Claims (13)
- 入射光を光電変換する第1センサ部と、
前記第1センサ部から読み出された信号電荷の転送を行う電荷転送部とを基板に備えた固体撮像装置であって、
前記基板内であり、少なくとも前記第1センサ部の一部下方に形成した第2センサ部と、
少なくとも前記第1センサ部と前記第2センサ部との間に形成した深部チャネルストップと
を備えたことを特徴とする固体撮像装置。 - 前記第2センサ部は、前記第1センサ部の一部下方および前記電荷転送部の一部下方に形成されている
ことを特徴とする請求項1記載の固体撮像装置。 - 前記第2センサ部は、前記第1センサ部の一部下方および前記電荷転送部の一部下方に連続して形成されている
ことを特徴とする請求項1記載の固体撮像装置。 - 前記深部チャネルストップは、前記第1センサ部と前記第2センサ部との間および前記第2センサ部の側部に形成されている
ことを特徴とする請求項1記載の固体撮像装置。 - 前記第2センサ部は、前記基板の深部の到達した光による光電変換および前記第2センサ部で発生した電子の蓄積を行う
ことを特徴とする請求項1記載の固体撮像装置。 - 前記第1センサ部に蓄積された電荷と前記第2センサ部に蓄積された電荷を同時に読み出す
ことを特徴とする請求項1記載の固体撮像装置。 - 前記第1センサ部に蓄積された電荷は主に前記電荷転送部の側面から読み出し、前記第2センサ部に蓄積された電荷は主に前記電荷転送部の底面側から読み出す
ことを特徴とする請求項1記載の固体撮像装置。 - 入射光を光電変換する第1センサ部と、
前記第1センサ部から読み出された信号電荷の転送を行う電荷転送部とを基板に備えた固体撮像装置の製造方法であって、
前記基板内に、少なくとも前記第1センサ部を形成する領域の一部下方に第2センサ部を形成する工程と、
少なくとも前記第1センサ部を形成する領域と前記第2センサ部との間に深部チャネルストップを形成する工程と
を備えたことを特徴とする固体撮像装置の製造方法。 - 前記第2センサ部は、前記第1センサ部の一部下方および前記電荷転送部の一部下方に形成される
ことを特徴とする請求項8記載の固体撮像装置の製造方法。 - 前記第2センサ部は、前記第1センサ部の一部下方および前記電荷転送部の一部下方に連続して形成される
ことを特徴とする請求項8記載の固体撮像装置の製造方法。 - 前記深部チャネルストップは、前記第1センサ部と前記第2センサ部との間および前記第2センサ部の側部に形成される
ことを特徴とする請求項8記載の固体撮像装置の製造方法。 - 前記第2センサ部はイオン注入法によって形成される
ことを特徴とする請求項8記載の固体撮像装置の製造方法。 - 前記深部チャネルストップはイオン注入法によって形成される
ことを特徴とする請求項8記載の固体撮像装置の製造方法。
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Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2004143103A JP2005327835A (ja) | 2004-05-13 | 2004-05-13 | 固体撮像装置および固体撮像装置の製造方法 |
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2007119264A (ja) * | 2005-10-25 | 2007-05-17 | Idemitsu Kosan Co Ltd | 改質器及び燃料電池システム |
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US8383497B2 (en) | 2010-05-14 | 2013-02-26 | Canon Kabushiki Kaisha | Method for manufacturing solid-state image sensor |
-
2004
- 2004-05-13 JP JP2004143103A patent/JP2005327835A/ja active Pending
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