JP2005325198A5 - - Google Patents
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Claims (5)
- 樹脂内にフッ素化フラーレンを含有してなることを特徴とする樹脂組成物。
- 樹脂成分100重量部に対して、フッ素化フラーレンを0.01〜200重量部の割合で配合してなる請求項1に記載の樹脂組成物。
- 前記フッ素化フラーレンは、フッ素系ガスを真空容器に導入してプラズマを発生させることにより、プラズマエッチング又はプラズマクリーニングを行い、該真空容器からの排ガスをフラーレンと反応させることにより得られたフッ素化フラーレンであることを特徴とする請求項1または2に記載の樹脂系組成物。
- 請求項1乃至3のいずれか1項に記載の樹脂組成物を用いた成形体。
- 請求項1乃至3のいずれか1項に記載の樹脂組成物を転写用材料として用いることを特徴とするスタンパー。
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JP2004143394A JP2005325198A (ja) | 2004-05-13 | 2004-05-13 | フッ素化フラーレン含有樹脂組成物及びそれを用いた成形体 |
Applications Claiming Priority (1)
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JP2004143394A JP2005325198A (ja) | 2004-05-13 | 2004-05-13 | フッ素化フラーレン含有樹脂組成物及びそれを用いた成形体 |
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JP2004143394A Pending JP2005325198A (ja) | 2004-05-13 | 2004-05-13 | フッ素化フラーレン含有樹脂組成物及びそれを用いた成形体 |
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2004
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