JP2005319369A - アンモニア分解除去装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】(1) NH3 含有排水中のNH3 成分をストリッピング法により気相中に分離させる放散塔7 と、該放散塔7 で分離されたNH3 を分解する触媒分解塔24とを備えたNH3 分解除去装置において、前記放散塔7 の前段に、性状の異なるNH3 含有排水を別々に貯留する複数の調整タンク3A,3B と、各調整タンクに貯留されたNH3 含有排水量をそれぞれ検知する排水量検知手段9A,9B と、前記一の貯留タンク内のNH3 含有排水量が所定値以下となったときに該貯留タンク内の排水の放散塔への供給を停止して他の貯留タンクに貯留されたNH3 含有排水を該放散塔に供給する排水切替手段5A,5B とを設け、性状の異なるNH3 含有排水を別々にかつ連続的に処理するようにしたNH3 分解除去装置。
【選択図】 図1
Description
図3は、従来のアンモニアストリッピング法によるアンモニア分解除去装置の説明図である。この装置は、処理対象のアンモニア含有排水のpHを調整する調整タンク3と、pHが調整された排水中のアンモニアを遊離させる放散塔7と、該放散塔7で遊離したアンモニアを触媒に接触させて無害なN2 とH2 Oに分解する触媒分解塔24とを備える。
このような装置において、アンモニア含有排水1は、一旦、調整タンク3に供給され、アルカリ供給ライン2により供給されるアルカリによりpHが調整された後、排水加熱器5により70〜80℃に加熱されて放散塔7の上部に供給される。供給されるアンモニア含有排水1の流量は、排水流量発信器10からの信号に基づいて排水流量指示調節計9により排水流量調節弁11の開度を調節することにより行われる。放散塔7の内部には充填材8が充填され、また放散塔7の底部からは蒸気14と空気15がそれぞれのラインから吹き込まれ、該放散塔を落下するアンモニア含有排水1は、充填材8を落下する途中で上昇する蒸気14および空気15と効率よく接触してアンモニアを遊離させる。アンモニア含有ガスは、放散塔7上部から抜き出され、触媒分解塔24に供給される。なお、放散塔7の底部に供給する蒸気14と空気15はいずれか一を供給してもよい。
アンモニア分解触媒21は、アンモニアの酸化作用とNOxの脱硝作用とを合わせ持ち、下記の反応により、アンモニア酸化触媒上でアンモニアを酸化してNOが発生させ、さらに該NOをその近傍に存在するNH3 と反応させてN2 とH2 Oを生成させるため、NO生成率を低く抑えることが可能となる。
<アンモニア酸化触媒成分>
NH2 +5/4 O2 →NO+3/2 H2 O
<脱硝触媒成分>
NH3 +NO+1/4 O2 →N2 +3/2 H2 O
例えば、半導体製造設備から排出されるアンモニア含有排水には、アンモニアとともに過酸化水素が多く含まれている。この過酸化水素を含むアンモニア含有排水が、放散塔上部に供給されると、発泡して水酸化ナトリウムを含んだミストを発生させる。このミスト中の水酸化ナトリウムは、空気中のCO2 と反応してNa2 CO3 となって固体粒子を形成し、触媒上に堆積するため、調整タンクにおける水酸化ナトリム添加量を最小に抑えることが必要となる。
このような性状の異なるアンモニア含有排水を一括して処理した場合、pH調整のために多量の水酸化ナトリウムを添加する必要があるが、同時に過酸化水素の発泡により生じるミスト成分によってアンモニア含有ガス中に多量のNa2 CO3 を生じ、これが後流のアンモニア分解触媒上に堆積して触媒性能を低下させ、連続運転ができなくなるという問題を発生させる。
(1)アンモニア含有排水中のアンモニア成分をストリッピング法により気相中に分離する放散塔と、該放散塔で分離されたアンモニアを分解する触媒分解塔とを備えたアンモニア分解除去装置において、前記放散塔の前段に、性状の異なるアンモニア含有排水を別々に貯留する複数の調整タンクと、各調整タンクに貯留されたアンモニア含有排水量をそれぞれ検知する排水量検知手段と、前記一の貯留タンク内のアンモニア含有排水量が所定値以下となったときに該貯留タンク内の排水の放散塔への供給を停止して他の貯留タンクに貯留されたアンモニア含有排水を該放散塔に供給する排水切替手段とを設け、性状の異なるアンモニア含有排水を別々にかつ連続的に処理するようにしたことを特徴とするアンモニア分解除去装置。
(3)前記放散塔底部から排出する処理水に過酸化水素を分解する薬剤を添加して該処理水中の過酸化水素濃度を低減させる手段を設けたことを特徴とする(1)または(2)に記載の装置。
(4)前記過酸化水素を分解する薬剤が、水酸化ナトリウム、過酸化水素分解酵素および活性炭のいずれか一つであることを特徴とする(3)に記載の装置。
図1は、本発明の一実施例を示すアンモニア分解除去装置の説明図である。
図1において、図3の従来装置と異なる点は、過酸化水素を含むアンモニア含有排水1Aと、硫安(硫酸アンモニウム)を含むアンモニア含有排水1Bをそれぞれ貯留する貯留タンク3A、3Bと、貯留タンク3A、3Bにアルカリをそれぞれ供給するアルカリ供給ライン2A、2Bと、貯留タンク3A、3Bに貯留された排水のpHをそれぞれ測定するpH計12A、12Bと、該pH値に基づいてアルカリ供給量をそれぞれ調整するpH指示調節計13A、13Bと、貯留タンク3A、3Bに貯留された排水量をそれぞれ検知する調整タンクレベル発信器4A、4Bと、該発信器の信号に基づいて放散塔7へのアンモニア含有排水1A、1Bの供給をそれぞれ停止または開始する遮断弁5A、5Bと、アンモニア含有排水1A、1Bを放散塔7に供給する配管内を洗浄水により洗浄する洗浄水供給ライン16とを設けた点である。
この装置によれば、過酸化水素を含む排水の処理を行う際に、貯留タンクに供給するアルカリ量を最小限に抑えてアンモニア含有排水のpHを調整することができるため、放散塔上部で発生するミストに同伴して移動するアルカリ成分量を低減することができ、アンモニア分解触媒へのNa2 CO3 の堆積を防止することができる。放散塔底部に供給するアルカリとしては一般的には水酸化ナトリウムが用いられるが、過酸化水素を分解する薬剤、例えば過酸化分解酵素や活性炭を用いることができ、これらを単独でまたは併用して用いることもできる。
Claims (4)
- アンモニア含有排水中のアンモニア成分をストリッピング法により気相中に分離する放散塔と、該放散塔で分離されたアンモニアを分解する触媒分解塔とを備えたアンモニア分解除去装置において、前記放散塔の前段に、性状の異なるアンモニア含有排水を別々に貯留する複数の調整タンクと、各調整タンクに貯留されたアンモニア含有排水量をそれぞれ検知する排水量検知手段と、前記一の貯留タンク内のアンモニア含有排水量が所定値以下となったときに該貯留タンク内の排水の放散塔への供給を停止して他の貯留タンクに貯留されたアンモニア含有排水を該放散塔に供給する排水切替手段とを設け、性状の異なるアンモニア含有排水を別々にかつ連続的に処理するようにしたことを特徴とするアンモニア分解除去装置。
- 前記性状の異なるアンモニア含有排水が、硫酸アンモニウムを含む排水および過酸化水素を含む排水であることを特徴とする請求項1に記載の装置。
- 前記放散塔底部から排出する処理水に過酸化水素を分解する薬剤を添加して該処理水中の過酸化水素濃度を低減させる手段を設けたことを特徴とする請求項1または2に記載の装置。
- 前記過酸化水素を分解する薬剤が、水酸化ナトリウム、過酸化水素分解酵素および活性炭のいずれか一つであることを特徴とする請求項3に記載の装置。
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