JP2005316591A - 電源装置 - Google Patents
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Abstract
【課題】負荷変動が生じた場合の、電源電圧の変動を低減することができる電源装置を提供する。
【解決手段】電子デバイスを試験する試験装置に設けられ、電子デバイスを駆動する電源電力を供給する電源装置であって、ソース端子が電子デバイスに接続され、ソース電圧を電源電圧として電子デバイスに印加し、ソース電流の一部を電源電流として電子デバイスに供給するMOSトランジスタと、MOSトランジスタのゲート端子に、電子デバイスに供給するべき電源電圧に応じた制御電圧を供給する電圧源と、MOSトランジスタのドレイン端子に接続され、MOSトランジスタに流れるドレイン電流を生成する電源回路と、MOSトランジスタのソース端子に接続され、MOSトランジスタをアイドリングする電流を流す定電流源とを備える電源装置を提供する。
【選択図】図3
【解決手段】電子デバイスを試験する試験装置に設けられ、電子デバイスを駆動する電源電力を供給する電源装置であって、ソース端子が電子デバイスに接続され、ソース電圧を電源電圧として電子デバイスに印加し、ソース電流の一部を電源電流として電子デバイスに供給するMOSトランジスタと、MOSトランジスタのゲート端子に、電子デバイスに供給するべき電源電圧に応じた制御電圧を供給する電圧源と、MOSトランジスタのドレイン端子に接続され、MOSトランジスタに流れるドレイン電流を生成する電源回路と、MOSトランジスタのソース端子に接続され、MOSトランジスタをアイドリングする電流を流す定電流源とを備える電源装置を提供する。
【選択図】図3
Description
本発明は、半導体回路等の電子デバイスを試験する試験装置に設けられ、電子デバイスを駆動する電源電力を供給する電源装置に関する。
従来、電子デバイス等を駆動する電源電力を供給する場合、試験装置に設けられた一又は複数の電源回路を用いて電源電力を供給している。それぞれの電源回路は、与えられる電圧に応じた電流を生成するパワーアンプと、パワーアンプに与える電圧を出力するレギュレーションアンプとを有しており、パワーアンプの出力をレギュレーションアンプにフィードバックすることにより、パワーアンプの出力電圧を所定の値に制御している。このような構成により、電子デバイスに定電圧を印加し、そのときに電子デバイスに供給される電源電流を測定することで電子デバイスの良否を判定する。
現在関連する特許文献等は認識していないため、その記載を省略する。
このような場合において、電源回路に接続されている電子デバイスの負荷が急激に変動変動したとき、電源回路はこれに伴う電源電圧の変動を補償しようとするが、従来の電源回路は応答特性が悪く、電源電圧が大きく変動してしまう。
上記課題を解決するために、本発明の第1の形態においては、電子デバイスを試験する試験装置に設けられ、電子デバイスを駆動する電源電力を供給する電源装置であって、ソース端子が電子デバイスに接続され、ソース電圧を電源電圧として電子デバイスに印加し、ソース電流の一部を電源電流として電子デバイスに供給するMOSトランジスタと、MOSトランジスタのゲート端子に、電子デバイスに供給するべき電源電圧に応じた制御電圧を供給する電圧源と、MOSトランジスタのドレイン端子に接続され、MOSトランジスタに流れるドレイン電流を生成する電源回路と、MOSトランジスタのソース端子に接続され、MOSトランジスタをアイドリングする電流を流す定電流源とを備える電源装置を提供する。
試験装置は、電子デバイスを載置するソケットが設けられたパフォーマンスボードを備えており、電圧源及びMOSトランジスタは、パフォーマンスボードに設けられることが好ましい。
電圧源は、与えられる電圧に応じて制御電圧を生成してMOSトランジスタのゲート端子に供給するゲート制御用増幅器と、電源電圧に応じた電圧をゲート制御用増幅器の正入力端子に供給する基準電圧源と、MOSトランジスタのソース電圧を、ゲート制御用増幅器の負入力端子にフィードバックするフィードバック部とを有してよい。
電源装置は、それぞれが電子デバイスの電源として機能することができ、略同一の構成を有する複数の電源回路を備えており、複数の電源回路のうち、一の電源回路が定電流源として機能してよい。
それぞれの電源回路は、与えられる電圧に応じた電流を生成するパワーアンプと、パワーアンプに与える電圧を出力するレギュレーションアンプとを有しており、定電流源として機能する電源回路は、パワーアンプが出力する電流に基づいて、レギュレーションアンプが出力する電圧を制限するクランプ回路を更に有してよい。
本発明の第2の形態においては、電子デバイスを試験する試験装置に設けられ、電子デバイスを駆動する電源電力を供給する電源装置であって、ドレイン端子が電子デバイスに接続され、ドレイン電圧を電源電圧として電子デバイスに印加するMOSトランジスタと、MOSトランジスタのゲート端子に、電子デバイスに供給するべき電源電圧に応じた制御電圧を供給する電圧源と、MOSトランジスタのドレイン端子に接続され、MOSトランジスタをアイドリングする電流と、電子デバイスに供給する電源電流を生成する定電流源と、MOSトランジスタのソース端子に接続され、MOSトランジスタに流れるソース電流を引き込む電源回路とを備える電源装置を提供する。
試験装置は、電子デバイスを載置するソケットが設けられたパフォーマンスボードを備えており、電圧源及びMOSトランジスタは、パフォーマンスボードに設けられることが好ましい。
なお、上記の発明の概要は、本発明の必要な特徴の全てを列挙したものではなく、これらの特徴群のサブコンビネーションもまた、発明となりうる。
以下、発明の実施の形態を通じて本発明を説明するが、以下の実施形態は特許請求の範囲にかかる発明を限定するものではなく、また実施形態の中で説明されている特徴の組み合わせの全てが発明の解決手段に必須であるとは限らない。
図1は、本発明の実施形態に係る試験装置100の構成の一例を示す図である。試験装置100は、半導体回路等の電子デバイス200の直流試験を行う装置であって、電源装置20、判定部10、及び測定部12を備える。
ここで直流試験とは、電子デバイス200に所定の電源電圧を印加したときに、電子デバイス200に供給される電源電流を測定する電圧印加電流測定試験、及び電子デバイス200に所定の電源電流を供給したときに、電子デバイス200に印加される電源電圧を測定する電流印加電圧測定試験を指す。
電源装置20は、電子デバイス200に供給する電源電圧及び電源電流を生成する。そして測定部12は、電子デバイス200に供給される電源電圧又は電源電流を測定し、判定部10は、測定部12における測定結果に基づいて、電子デバイス200の良否を判定する。
図2は、電源装置20の概略を説明する図である。電源装置20は、nチャネルMOSトランジスタ80、電圧源73、電源回路84、定電流源86、フィードバック部79、コンデンサ76、及び抵抗78を備える。
nチャネルMOSトランジスタ80は、ソース端子が電子デバイス200の電源ピンに接続され、ソース電圧を電源電圧として電子デバイスに印加し、ソース電流の一部を電源電流として電子デバイス200に供給する。
電圧源73は、nチャネルMOSトランジスタ80のゲート端子に、電子デバイスに供給するべき電源電圧に応じた制御電圧を供給する。電圧源73は基準電圧源72及びゲート制御用増幅器74を有する。基準電圧源72は、電子デバイス200に印加するべき電源電圧に応じた電圧を生成し、ゲート制御用増幅器74の正入力端子に供給する。ゲート制御用増幅器74は、与えられる電圧に応じて制御電圧を生成してnチャネルMOSトランジスタ80のゲート端子に供給する。また、nチャネルMOSトランジスタ80のソース電圧、すなわち電子デバイス200に印加される電源電圧を、ゲート制御用増幅器74の負入力端子に、抵抗78を介してフィードバックする。このような構成により、電源電圧の変動に応じてnチャネルMOSトランジスタ80を制御し、電源電圧の変動を低減する。
電源回路84は、nチャネルMOSトランジスタ80のドレイン端子に接続され、nチャネルMOSトランジスタ80に流れるドレイン電流を生成する。また定電流源86は、nチャネルMOSトランジスタ80のソース端子に接続され、nチャネルMOSトランジスタ80をアイドリングする電流を常時流す。nチャネルMOSトランジスタ80にアイドリング電流を流すことにより、電源電圧が変動したときのnチャネルMOSトランジスタ80の応答特性を向上させ、電源電圧の変動を低減することができる。
図3は、電源装置20の詳細な構成の一例を示す図である。電源装置20は、複数の電源回路(22−1、22−2、以下22と総称する)、及びパフォーマンスボード70を備える。パフォーマンスボード70は、電子デバイス200を載置するソケット(図示せず)が設けられ、図2において説明した抵抗78、コンデンサ76、フィードバック部79、電圧源73、及びnチャネルMOSトランジスタ80は、パフォーマンスボード70に設けられる。
複数の電源回路22は、それぞれが電子デバイス200の電源として機能することができ、略同一の構成を有する。それぞれの電源回路22は、従来の試験装置に設けられる、いわゆるマスター回路、スレーブ回路等の電源回路であってよい。複数の電源回路22のうち、いずれかの電源回路22−1は、図2において説明した電源回路84として機能し、他のいずれかの電源回路22−2は、図2において説明した定電流源86として機能する。このような構成により、従来の試験装置の電源回路を用いて、パフォーマンスボードを交換するのみで、応答特性のよい電源装置を実現することができる。
また、それぞれの電源回路22の構成は従来の電源回路と同様であるため、その概要を説明する。それぞれの電源回路22は、与えられる電圧に応じた電流を生成するパワーアンプ46と、パワーアンプ46に与える電圧を出力するレギュレーションアンプ28とを有する。レギュレーションアンプ28には、抵抗26を介して基準電圧源24が生成する基準電圧が与えられる。ここで電源回路84として機能する電源回路22−1の基準電圧源24−1が生成する基準電圧は、基準電圧源72が生成する基準電圧より大きく、定電流源86として機能する電源回路22−2の基準電圧源24−2が生成する基準電圧は、基準電圧源72が生成する基準電圧より小さい。
レギュレーションアンプ28が生成した制御電圧は、増幅器36、抵抗38、及びコンデンサ40から構成される反転増幅部を介してパワーアンプ46に供給される。パワーアンプ46が生成した電圧及び電流は、抵抗48等を介してnチャネルMOSトランジスタ80のドレイン端子に供給される。また、パワーアンプ46が生成した電圧を、抵抗54等を介してレギュレーションアンプ28にフィードバックすることにより、パワーアンプ46の出力電圧を所定の値に制御する。
また、定電流源86として機能する電源回路22−2は、上述した構成に加え、パワーアンプが出力する電流に基づいて、レギュレーションアンプが出力する電圧を制限するクランプ回路64−2を更に有する。クランプ回路64−2は、パワーアンプが出力する電流を所定の電流値に制限し、電源回路22−2を定電流源として機能させる。また電源回路22−2は、nチャネルMOSトランジスタ80のソース電流の一部を引き込む方向の電流を生成する。
図4は、パフォーマンスボード70に設けられる素子の構成の他の例を示す図である。本例における電源装置20は、パフォーマンスボード70上に、pチャネルMOSトランジスタ81、電圧源73、フィードバック部79、コンデンサ76、及び抵抗78を備える。
電圧源73、抵抗78、及びコンデンサ76は、図2において説明した電圧源73、抵抗78、及びコンデンサ76と同一である。pチャネルMOSトランジスタ81は、ドレイン端子が電子デバイス200に接続され、ドレイン電圧を電源電圧として電子デバイス200に印加する。
また、電源回路22−1は、pチャネルMOSトランジスタ81のドレイン端子に接続される定電流源として機能する。本例における電源回路22−1は、図3において説明した電源回路22−2と同様に、クランプ回路64を有する。電源回路22−1は、pチャネルMOSトランジスタ81をアイドリングする電流と、電子デバイス200に供給する電源電流との和の電流として定電流を生成する。
また、電源回路22−2は、pチャネルMOSトランジスタ81のソース端子に接続され、pチャネルMOSトランジスタ81に流れるソース電流を引き込む。このような構成によっても、電源電圧の変動を低減することができる。また、nチャネルMOSトランジスタとpチャネルMOSトランジスタの特性の差異により、図3において説明した電源装置20は、電源電圧のアンダーシュートを特に低減することができ、図4において説明した電源装置20は、電源電圧のオーバーシュートを特に低減することができる。
以上、本発明を実施の形態を用いて説明したが、本発明の技術的範囲は上記実施の形態に記載の範囲には限定されない。上記実施の形態に、多様な変更または改良を加えることが可能であることが当業者に明らかである。その様な変更または改良を加えた形態も本発明の技術的範囲に含まれ得ることが、特許請求の範囲の記載から明らかである。
本発明によれば、負荷変動が生じた場合の、電源装置が出力する電源電圧の変動を低減することができる。
10・・・判定部、12・・・測定部、20・・・電源装置、22・・・電源回路、24・・・基準電圧源、26、32、34、38、42、48、54、56、78・・・抵抗、30、40、52、76・・・コンデンサ、72・・・基準電圧源、73・・・電圧源、74・・・ゲート制御用増幅器、80・・・nチャネルMOSトランジスタ、81・・・pチャネルMOSトランジスタ、84・・・電源回路、86・・・定電流源、100・・・試験装置、200・・・電子デバイス
Claims (7)
- 電子デバイスを試験する試験装置に設けられ、前記電子デバイスを駆動する電源電力を供給する電源装置であって、
ソース端子が前記電子デバイスに接続され、ソース電圧を電源電圧として前記電子デバイスに印加し、ソース電流の一部を電源電流として前記電子デバイスに供給するMOSトランジスタと、
前記MOSトランジスタのゲート端子に、前記電子デバイスに供給するべき電源電圧に応じた制御電圧を供給する電圧源と、
前記MOSトランジスタのドレイン端子に接続され、前記MOSトランジスタに流れるドレイン電流を生成する電源回路と、
前記MOSトランジスタのソース端子に接続され、前記MOSトランジスタをアイドリングする電流を流す定電流源と
を備える電源装置。 - 前記試験装置は、前記電子デバイスを載置するソケットが設けられたパフォーマンスボードを備えており、
前記電圧源及び前記MOSトランジスタは、前記パフォーマンスボードに設けられる
請求項1に記載の電源装置。 - 前記電圧源は、
与えられる電圧に応じて前記制御電圧を生成して前記MOSトランジスタのゲート端子に供給するゲート制御用増幅器と、
前記電源電圧に応じた電圧を前記ゲート制御用増幅器の正入力端子に供給する基準電圧源と、
前記MOSトランジスタのソース電圧を、前記ゲート制御用増幅器の負入力端子にフィードバックするフィードバック部と
を有する請求項2に記載の電源装置。 - 前記電源装置は、それぞれが前記電子デバイスの電源として機能することができ、略同一の構成を有する複数の前記電源回路を備えており、
前記複数の電源回路のうち、一の前記電源回路が前記定電流源として機能する
請求項2に記載の電源装置。 - それぞれの前記電源回路は、
与えられる電圧に応じた電流を生成するパワーアンプと、
前記パワーアンプに与える電圧を出力するレギュレーションアンプと
を有しており、
前記定電流源として機能する前記電源回路は、
前記パワーアンプが出力する電流に基づいて、前記レギュレーションアンプが出力する電圧を制限するクランプ回路を更に有する
請求項4に記載の電源装置。 - 電子デバイスを試験する試験装置に設けられ、前記電子デバイスを駆動する電源電力を供給する電源装置であって、
ドレイン端子が前記電子デバイスに接続され、ドレイン電圧を電源電圧として前記電子デバイスに印加するMOSトランジスタと、
前記MOSトランジスタのゲート端子に、前記電子デバイスに供給するべき電源電圧に応じた制御電圧を供給する電圧源と、
前記MOSトランジスタのドレイン端子に接続され、前記MOSトランジスタをアイドリングする電流と、前記電子デバイスに供給する電源電流を生成する定電流源と、
前記MOSトランジスタのソース端子に接続され、前記MOSトランジスタに流れるソース電流を引き込む電源回路と
を備える電源装置。 - 前記試験装置は、前記電子デバイスを載置するソケットが設けられたパフォーマンスボードを備えており、
前記電圧源及び前記MOSトランジスタは、前記パフォーマンスボードに設けられる
請求項1に記載の電源装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2004131497A JP2005316591A (ja) | 2004-04-27 | 2004-04-27 | 電源装置 |
Applications Claiming Priority (1)
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ID=35443976
Family Applications (1)
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JP2004131497A Withdrawn JP2005316591A (ja) | 2004-04-27 | 2004-04-27 | 電源装置 |
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JP (1) | JP2005316591A (ja) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2009033726A (ja) * | 2007-07-29 | 2009-02-12 | Advantest Corp | バッファ回路、増幅回路、および、試験装置 |
CN103324236A (zh) * | 2013-06-13 | 2013-09-25 | 上海安文桥梁检测技术有限公司 | 一种用于电位器位移传感器的信号放大调节装置 |
-
2004
- 2004-04-27 JP JP2004131497A patent/JP2005316591A/ja not_active Withdrawn
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JP2009033726A (ja) * | 2007-07-29 | 2009-02-12 | Advantest Corp | バッファ回路、増幅回路、および、試験装置 |
CN103324236A (zh) * | 2013-06-13 | 2013-09-25 | 上海安文桥梁检测技术有限公司 | 一种用于电位器位移传感器的信号放大调节装置 |
CN103324236B (zh) * | 2013-06-13 | 2015-08-05 | 上海安文桥梁检测技术有限公司 | 一种用于电位器位移传感器的信号放大调节装置 |
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Legal Events
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A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20070223 |
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A761 | Written withdrawal of application |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A761 Effective date: 20081030 |