JP2005314184A - ガラス部材の加熱装置及び加熱方法 - Google Patents
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Abstract
【課題】炉心管の分割部にOリング等のシール部材により密封可能とするガラス部材の加熱装置を提供する。
【解決手段】石英製の炉心管11の外周部に加熱部材13を配して炉体壁14で取り囲み、炉心管11内に収納されたガラス部材を熱処理する加熱装置であって、炉体壁14から外部に露出する炉心管の少なくとも一方の端部に設けたフランジ部11aの近傍に、屈曲形状で形成された光の伝搬を遮蔽する部分16を設け、フランジ部11aに耐熱樹脂系のリング等のシール部材17を介して蓋部材12を連結するようにしたものである。光の伝搬を遮蔽する部分は、不透明石英15で形成してもよい。また、フランジ部11aの近傍に放熱フィン或いは冷媒による冷却手段を追加的に設けるようにしてもよい。
【選択図】図1
【解決手段】石英製の炉心管11の外周部に加熱部材13を配して炉体壁14で取り囲み、炉心管11内に収納されたガラス部材を熱処理する加熱装置であって、炉体壁14から外部に露出する炉心管の少なくとも一方の端部に設けたフランジ部11aの近傍に、屈曲形状で形成された光の伝搬を遮蔽する部分16を設け、フランジ部11aに耐熱樹脂系のリング等のシール部材17を介して蓋部材12を連結するようにしたものである。光の伝搬を遮蔽する部分は、不透明石英15で形成してもよい。また、フランジ部11aの近傍に放熱フィン或いは冷媒による冷却手段を追加的に設けるようにしてもよい。
【選択図】図1
Description
本発明は、光ファイバ母材等のガラス部材の脱水・焼結等の熱処理を行なうのに用いられるガラス部材の加熱装置及び光ファイバ母材の加熱方法に関する。
光ファイバの製造に用いる光ファイバ母材は、通常、ガラス微粒子を堆積させて多孔質のガラス部材を製造した後、このガラス部材を脱水・焼結等の加熱処理を行なって透明ガラス化して作製される。また、透明ガラス化されたガラス部材をさらに加熱軟化させて、所定の外径となるように延伸する場合もある。このようなガラス部材等の加熱処理では、ガラス部材を気密性のよい石英製の炉心管内に入れ、炉心管内にヘリウムや塩素ガスを入れて1000℃以上の高温の加熱処理が行なわれる。
炉心管内にガラス部材を収納し取出すためには、少なとも炉心管の一方の端部にガラス部材の出入口となる部分が必要とされる。この出入口としては、通常、炉心管の端部を分離可能な部材で閉じるようにし、両者の接合部にフランジを一体に設けて、このフランジを固定部材で互いに接合する構成が知られている(例えば、特許文献1参照)。図4は、前記特許文献1に開示の炉心管の構成を示す図で、図4(A)は反応管の断面図、図4(B)はフランジ部分の拡大図である。図中、1は反応管、2aは反応管中央部、2bは反応管上部、2cは反応管下部、3,4はフランジ、5aはガス排出口、5bはガス導入口、6は加熱ヒータ、7はシールガス通路、8はフランジ固定部材を示す。
反応管1は、上下端部に分割部を設け、反応管中央部2aの上下端に反応管上部2bと反応管下部2cを分離可能に接合するように構成されている。反応管上部2bには上端壁部に光ファイバ母材Gを吊下げ支持するガラスロッドを挿通させる貫通孔を有し、側壁には反応管内に導入されたガスを排出するガス排出口5aを有している。また、反応管下部2cも反応管上部2bと同じような形状で、ガス導入口5bを有している。
反応管1の分割部である反応管中央部2aの両端には、フランジ3が一体に設けられ、反応管上部2b及び反応管下部2cにも、フランジ4が一体に設けられる。通常、フランジ3と4を高精度に研磨し、研磨されたフランジ面を互いに接合して、フランジ固定部材8で反応管中央部2aと反応管上下部2b,2cを固定している。しかし、単にフランジ面を物理的に接合させるだけでは十分な気密性は得られず、或いは、フランジ4が熱により変形して接合面に隙間が生じて、反応管内にヘリウムガスや塩素ガスを導入して熱処理を行なう場合は反応管内の圧力により導入ガスが外部に漏出したり、また大気が反応管内に侵入することがある。
反応管1から有害な塩素ガス等が外部に漏出すると人体等に悪影響を及ぼし、反応管1内に大気が流れ込むと大気に混入された金属イオン等が光ファイバ母材内に侵入して光ファイバの伝送特性に悪影響を及ぼす。上記特許文献1では、例えば、フランジ3又は4のいずれかに環状の溝を形成して、フランジ接合面にシールガス通路7を周回するように設けている。このシールガス通路7に不活性ガス等のシールガスを封入又は流すことにより、反応管内部の雰囲気ガスがフランジ3,4の接合面から外部に漏れたり、外部の大気がフランジ3,4の接合面から反応管内に侵入するのを防止している。
特開2002−211943号公報
しかしながら、フランジ接合面をシールガスで封止するとしても、シールガス自体が反応管(以下、炉心管という)内に侵入したり、外部に漏出しないようにする必要がある。炉心管内にヘリウムガスを導入する場合には、シールガスにヘリウムを用いれば、炉心管内への侵入は問題ないとしても、ヘリウムは価格的に高価であるので、シールガスとして多量のヘリウムガスが必要となりランニングコストがかさんでしまう。したがって、シールガスを用いたシールでは、接合面の研磨は依然として高精度仕上げを要する上に、完全な密閉構造とはならず、また、シールガスの供給によるコスト増が生じるという問題がある。
一般に、管状体の接合部の密封には、ゴムや合成樹脂からなるOリング等のシール部材を用いることで高度な気密封止を得ている。しかし、上述のような用途の炉心管においては、加熱作用部の加熱温度が1000℃を越える高温となり、シール部材使用可能な温度(例えば、250℃以下)とするには、炉心管の分割部を加熱部から相当離れた位置に形成しなければならず、実質的に不可能である。
本発明は、上述した実情に鑑みてなされたもので、炉心管の分割部にOリング等のシール部材により密封可能とするガラス部材の加熱装置及び光ファイバ母材の加熱方法の提供を課題とする。
本発明は、上述した実情に鑑みてなされたもので、炉心管の分割部にOリング等のシール部材により密封可能とするガラス部材の加熱装置及び光ファイバ母材の加熱方法の提供を課題とする。
本発明によるガラス部材の加熱装置は、石英製の炉心管の外周部に加熱部材を配して炉体壁で取り囲み、炉心管内に収納されたガラス部材を熱処理する加熱装置であって、炉体壁から外部に露出する炉心管の少なくとも一方の端部に設けたフランジ部の近傍に、屈曲形状で形成された光の伝搬を遮蔽する部分を設け、フランジ部に耐熱樹脂系のリング等のシール部材を介して蓋部材を連結するようにしたものである。光の伝搬を遮蔽する部分は、不透明石英で形成してもよい。また、フランジ部の近傍に放熱フィン或いは冷媒による冷却手段を追加的に設けるようにしてもよい。
本発明によれば、加熱装置の炉体壁から外部に突き出る炉心管端部の温度を、250℃以下とすることができ、炉心管端部にOリング等のシール部材を用いて蓋部材を連結することが可能となる。この結果、炉心管と蓋部材の連結部分から有害ガスが漏出するのを確実に防止し、また、連結部分から大気が炉心管内に侵入するのを確実に防止することができる。また、そのコストも低廉である。
図1により本発明の実施の形態を説明する。図1(A)は炉心管のフランジ部近傍を屈曲形状とした例を示す図、図1(B)は炉心管のフランジ部近傍を不透明石英で屈曲形状とした例を示す図である。図中、10は加熱装置、11は炉心管、11a,11bはフランジ、12は蓋部材、12aはフランジ、13は加熱ヒータ、14は炉体壁、15は不透明石英、16は屈曲形状部、17はシール部材を示す。
加熱装置10は、石英製の炉心管11の少なくとも一方の端部(例えば、上部側)を分離可能な蓋部材12で閉塞し、炉心管11の外周部に加熱部材としての加熱ヒータを配し、炉体壁14で取り囲んで構成される。また、炉心管11の上端部は、炉体壁14の上壁面から外部に露出されていて、分離可能な蓋部材12を介して、炉心管内へ光ファイバ母材等のガラス部材を収納し、取出せるようにされる。
炉体壁14から露出された炉心管11の上端部には、蓋部材12を連結固定するためのフランジ11a及び炉体壁14への取付固定を行なうためのフランジ11bが一体に設けられる。蓋部材12は、炉心管11と同様な石英で形成されているのが望ましいが、必ずしも同じ材質の石英である必要はなく、また、耐熱性のある他の材料で形成されていてもよい。また、蓋部材12には、図1では省略しているが図4で示したような光ファイバ母材を移動可能に挿通させる貫通孔及び炉心管内のガスを排出するガス排出口が設けられている。なお、炉心管11の下端側については図示を省略しているが、分離しない閉塞構造としてもよく、図4で示されるのと同様に分離可能な下部蓋部材を用いた開放構造とするようにしてもよい。
石英製の炉心管を用いた場合、加熱ヒータによる熱はガラス部材の熱処理形態によって異なるが、例えば、光ファイバ母材の焼結には1000℃以上必要とされ、炉心管11の加熱部は赤熱状態となる。このため、通常の構成では、蓋部材12との連結部分で500℃位の高温度となる。熱の伝達は、一般に伝導、輻射、対流によって行なわれるが、石英を用いた炉心管における熱の伝達のメカニズムは、対流によるものは少なく、主として伝導と輻射によるものと考えられる。どちらの熱伝達形態が支配的となっているかは明らかでないが、炉心管11の端部付近の光の伝搬(或いは透過)を遮蔽することで、蓋部材12との連結部分の温度を低減できることが判明した。
本発明では、少なくとも炉心管11が炉体壁14から露出している部分、すなわち、フランジ11aと11bの間に、加熱ヒータ13の加熱による熱線(輻射熱)が蓋部材12側に伝搬するのを遮蔽する遮蔽部分を設けている。この遮蔽部分を設けることにより、炉心管端部のフランジ11aの部分の温度を500℃程度から250℃以下に下げることが可能となった。
炉心管11の上端のフランジ11aの温度を250℃以下とすることで、蓋部材12との連結でフランジ接合面に、例えば、フッ素樹脂、ウレタン樹脂、シリコン樹脂等の耐熱樹脂系のリングやパッキング等のシール部材17の使用が可能となり、確実な気密封止することが可能となる。この結果、炉心管と蓋部材の連結部分から有害ガスが漏出するのを確実に防止し、また、連結部分から大気が炉心管内に侵入するのを確実に防止して、高品質の光ファイバ母材の製造と、製造環境の安全を保障することが可能となった。
光の伝搬・透過を遮蔽する手段として、図1(A)に示すように、例えば、炉心管上端のフランジ11aの近傍の管部分を屈曲形状部16で形成する。具体的には、端部のフランジ11aと炉体壁14に固定されるフランジ11bとの間の管部分を、光の直進を妨げるような光路とする。例えば、管壁の断面がコ字状、U字状、その他の種々の形状に屈曲させて、炉心管壁の長手方向に沿う直線状態を非直線状態とする。この屈曲形状部16の光路の非直線性により、加熱ヒータ13側からの熱線(輻射熱)はその直進を妨げられ、乱反射される形で連結部分のフランジ11aに達するのを遮蔽することができる。
図1(B)は、図1(A)の光の遮蔽部分に不透明石英15を用いる例である。不透明石英15は、石英材料内に微細な気泡を包含させることで得られ、熱源からの赤外線波長1000〜2500nmを反射し輻射熱を遮蔽することが知られている。また、その遮蔽機能は、気泡径が小さく気泡数の密度が高い(気泡の表面積が大)ほど大きいとされている。この不透明石英15としては、例えば、信越石英株式会社製のOM−100、東ソー・クォーツ株式会社製のOP−1,OP−3等を用いることができる。
例えば、図1(B)に示すように、フランジ11aと11bの間の管部分を上述した屈曲形状部16とし、且つ不透明石英15で形成する。これにより、屈曲形状の形状自体で輻射熱を反射させると同時に、不透明石英による遮蔽機能で、輻射熱が連結部分のフランジ11aに達するのをより効果的な遮蔽することができる。なお、図1(B)には、屈曲形状部16を不透明石英15で形成した例を示したが、屈曲形状部16と不透明石英15は別々(位置を異ならせる)であってもよい。
図2及び図3は他の実施形態を説明する図である。図2は図1の輻射熱を遮蔽する構成に加えて冷却フィンを用いる例を示す図、図3は図1の輻射熱を遮蔽する構成に加えて冷媒による冷却手段を用いる例を示す図である。図中、18は放熱フィン、18aは金属円筒体、19は冷媒からなる冷却手段、19aは冷却媒体通路を示し、その他の符号は図1で用いたのと同じ符号を用いることにより説明を省略する。
図2は、図1(A)で示した炉心管上端のフランジ11aの近傍の管部分を、屈曲形状部16で形成することに加えて、その外周に放熱フィン18を取付けた例である。放熱フィン18は、熱伝導性のよい銅やアルミ等の金属フィンを金属円筒体18aにより放射状に配列し、金属円筒体18aを屈曲形状部16の外周或いは近傍を囲むように密着させて取付ける。
放熱フィン18を用いることにより、炉心管11の加熱部から炉心管端部のフランジ11aに熱伝導により伝達される熱を効果的に放散させ、また、温度上昇したフランジ11a部分の熱を効果的に放散させることができる。この結果、不透明石英15或いは屈曲形状部16の遮蔽による温度上昇を抑制することに加えて、さらに温度を低下させることが期待でき、連結部分の密封封止により安価なシール部材17の使用が可能となる。
図3は、図1(A)で示した炉心管上端のフランジ11aの近傍の管部分を、屈曲形状部16で形成することに加えて、その外周に冷媒による冷却手段19を配設した例である。冷却手段19の冷却媒体としては、エア、不活性ガス、水等の各種の冷却流体を用いることができ、冷却媒体通路19aを屈曲形状部16の外周或いは近傍に接触するように設ける。
冷媒による冷却手段19を用いることにより、炉心管11の加熱部分から炉心管上端のフランジ11aに熱伝導により伝達される熱を効果的に放散させ、また、温度上昇したフランジ11a部分の熱を効果的に放散させることができる。この結果、不透明石英15或いは屈曲形状部16の遮蔽による温度上昇を抑制することに加えて、さらに温度を低下させることが期待でき、連結部分の密封封止により安価なシール部材17の使用が可能となる。また、この構成は、炉心管11内で熱処理する加熱温度に合わせて、冷媒の種類を選択したり、冷媒の流速を選定することにより、冷却温度を調整することもできる。
以上のように構成された加熱装置を用いて、光ファイバの製造に用いられる光ファイバ母材の脱水・焼結を行ない透明ガラス化する。これには、炉心管を通して光ファイバ母材を1000℃以上に加熱する必要があるが、炉心管の分割部分における温度は、Oリング等のシール部材の使用が可能な250℃以下とされている。このため、炉心管の分割部分は、シール部材を用いた完全な密封構造とされ、炉心管内に分割部分を通しての大気の侵入がなく、所望のガス雰囲気下における熱処理で高品質の光ファイバ母材を製造することができる。
10…加熱装置、11…炉心管、11a,11b…フランジ、12…蓋部材、12a…フランジ、13…加熱ヒータ、14…炉体壁、15…不透明石英、16…屈曲形状部、17…シール部材、18…放熱フィン、18a…金属円筒体、19…冷却手段、19a…冷却媒体通路。
Claims (7)
- 石英製の炉心管の外周部に加熱部材を配して炉体壁で取り囲み、炉心管内に収納されたガラス部材を熱処理する加熱装置であって、
前記炉体壁から外部に露出する少なくとも一方の炉心管端部に設けたフランジ部の近傍に、屈曲形状で形成された光の伝搬を遮蔽する部分を設け、前記フランジ部にシール部材を介して蓋部材を連結したことを特徴とするガラス部材の加熱装置。 - 前記シール部材に耐熱樹脂系のリングを用いることを特徴とする請求項1に記載のガラス部材の加熱装置。
- 前記屈曲形状で形成した部分又はその近傍を不透明石英で形成したことを特徴とする請求項1又は2に記載のガラス部材の加熱装置。
- 前記フランジ部の近傍に放熱フィンを備えていることを特徴とする請求項1〜3のいずれか1項に記載のガラス部材の加熱装置。
- 前記フランジ部の近傍に冷媒による冷却手段を備えていることを特徴とする請求項1〜4のいずれか1項に記載のガラス部材の加熱装置。
- 前記請求項1〜5のいずれか1項に記載のガラス部材の加熱装置を用いて、ガラス部材を熱処理することを特徴とするガラス部材の加熱方法。
- 前記ガラス部材が光ファイバ用のガラス微粒子堆積体またはガラス母材であることを特徴とする請求項6に記載のガラス部材の加熱方法。
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2004
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CN104944758A (zh) * | 2014-03-26 | 2015-09-30 | 信越化学工业株式会社 | 光纤用玻璃预制体的烧结设备及烧结方法 |
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