JP2005313601A - Mold releasing film - Google Patents

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Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a mold releasing film enabling effective manufacture of a ceramic green sheet, a not more than 3 μm thick ceramic green sheet in particular and showing excellent adhesion between a base film and the mold releasing film even without an anchor coat layer. <P>SOLUTION: The mold releasing film has a silicone-based resin film on at least one surface of the base film, and the film contains a silicone compound obtained by reacting a silicone oil having a hydroxyl group with an isocyanate compound represented by formula (1) wherein n is an integer of 1 to 3, and R is an alkyl group or an ester group and/or a ketone group and/or an alkyl group having a hydroxyl group or an aralkyl group or an alkenyl group. The mold releasing film satisfies peeling strength of 0.1 to 8 g/50 mm and remaining adhesion of not less than 80%. <P>COPYRIGHT: (C)2006,JPO&NCIPI

Description

本発明は、セラミックグリーンシート製造の際に用いられる離型フィルムに関し、更に詳しくは剥離強度に優れ、離型層のシリコーンが他の層に転写される量が極めて少なく、かつアンカーコート層なしでも基材フィルムと離形層の接着性が優れる離型フィルムに関するものである。   The present invention relates to a release film used in the production of ceramic green sheets. More specifically, the release film is excellent in peel strength, the amount of the release layer silicone transferred to another layer is extremely small, and even without an anchor coat layer. The present invention relates to a release film having excellent adhesion between a base film and a release layer.

近年、セラミックスコンデンサ等用セラミックグリーンシートを製造する際の工程用キャリアフィルムとしては、プラスチックフィルムに熱あるいは紫外線硬化性のシリコーン系樹脂皮膜を離型層として設けた離型フィルムが一般的に用いられている。   In recent years, a release film in which a heat or ultraviolet curable silicone resin film is provided as a release layer on a plastic film is generally used as a process carrier film when manufacturing ceramic green sheets for ceramic capacitors and the like. ing.

前記セラミックグリーンシートは、チタン酸バリウム、アルミナ等のセラミック粉末を分散させた水系ないし有機系溶媒にポリメチルメタクリレート、ポリビニルアセタール、ポリビニルブチラール、ポリビニルアルコール等の高分子バインダと可塑剤、分散剤とを加えたものを高速ミキサーやボールミルにより混合分散し、得られたセラミックスラリーを離型フィルム上にドクターブレード法により塗布し、これを乾燥させて巻き取ることにより一般に製造されている。   The ceramic green sheet comprises a polymer binder such as polymethyl methacrylate, polyvinyl acetal, polyvinyl butyral, polyvinyl alcohol, a plasticizer, and a dispersant in an aqueous or organic solvent in which ceramic powder such as barium titanate or alumina is dispersed. It is generally manufactured by mixing and dispersing the added material with a high-speed mixer or a ball mill, applying the obtained ceramic slurry onto a release film by a doctor blade method, drying it and winding it.

近年、積層セラミックチップコンデンサの小型高容量化実現のため、セラミック層の1層の厚さをより薄膜化し、かつ多層積層する事が要望されており、このためには、3μm以下の非常に薄いセラミックコンデンサフィルムを前記離型フィルムから精度よく、また欠落の無いように離型させるとともに、該離型フィルムからセラミックグリーンシートへの異物の転写を極力少なくし、該シートの積層密着度を向上させることが、多層積層型セラミックコンデンサの容量を安定化し、かつ多層積層型セラミックコンデンサの耐電圧不良率を低下するために必要となってくる。   In recent years, in order to realize a small and high capacity multilayer ceramic chip capacitor, it has been demanded that the thickness of one ceramic layer be made thinner and multilayered, and for this purpose, it is very thin of 3 μm or less. The ceramic capacitor film is released from the release film accurately and without missing, and the transfer of foreign matter from the release film to the ceramic green sheet is reduced as much as possible to improve the lamination adhesion of the sheet. This is necessary to stabilize the capacitance of the multilayer multilayer ceramic capacitor and to reduce the withstand voltage failure rate of the multilayer multilayer ceramic capacitor.

このためには、該離型フィルムに用いられているプラスチックフィルムの厚みの均一性と表面平滑性、離型面の軽剥離性および耐久性、基材フィルムと離型層の接着性が重要となってくる。   For this purpose, the thickness uniformity and surface smoothness of the plastic film used in the release film, light release and durability of the release surface, and adhesion between the base film and the release layer are important. It becomes.

離型面の軽剥離性の向上のため、架橋反応が付加反応で行われるシリコーン系樹脂を用いる方法(例えば、特許文献1)や、イソシアネートシラン化合物を造膜形成主要素として用いる方法(例えば、特許文献2)がある。また、基材フィルムと離型層の接着性の向上のため、基材フィルムと離型層の間に接着層を設ける方法がある(例えば、特許文献3)。
特開平11−300719号公報([0008]〜[0058]段落) 特開平9−141799号公報([0006]〜[0048]段落) 特開平5−194768号公報([0008]〜[0042]段落)
In order to improve the light release property of the release surface, a method using a silicone resin in which a crosslinking reaction is performed by an addition reaction (for example, Patent Document 1) or a method using an isocyanate silane compound as a main element for film formation (for example, There is a patent document 2). Moreover, there exists a method of providing an adhesive layer between a base film and a mold release layer for the improvement of the adhesiveness of a base film and a mold release layer (for example, patent document 3).
JP 11-300719 A (paragraphs [0008] to [0058]) JP-A-9-141799 (paragraphs [0006] to [0048]) JP-A-5-194768 (paragraphs [0008] to [0042])

しかしながら、セラミックグリーンシートの薄膜化に伴い、上述のように、離形面の軽剥離性の向上のため該離型フィルムの剥離処理を変更すると、セラミックグリーンシート面への離型処理剤すなわちシリコーン系樹脂皮膜の一部が移行し、これにより該セラミックグリーンシートの積層時におけるシート間の密着強度が不足したり、あるいは、前記のように転移したシリコーン系樹脂皮膜の一部がセラミックグリーンシート積層後の焼成工程でセラミックコンデンサ内部に気泡を生じさせるため積層型セラミックコンデンサの耐電圧不良率が大幅に上昇し好ましくない。さらに、イソシアネートシラン化合物を造膜形成主要素として用いた場合、塗液が劣化し易いという問題もある。また、基材フィルムと離型層の接着性を向上させるため両層の間にアンカーコート層を設ける場合があるが、生産性が低く、コストが高くなるという問題がある。   However, with the thinning of the ceramic green sheet, as described above, when the release treatment of the release film is changed in order to improve the light release property of the release surface, the release agent for the ceramic green sheet surface, that is, silicone Part of the resin-based resin film is transferred, so that the adhesion strength between the sheets at the time of lamination of the ceramic green sheet is insufficient, or a part of the silicone-based resin film transferred as described above is laminated on the ceramic green sheet. Since bubbles are generated inside the ceramic capacitor in the subsequent firing step, the withstand voltage failure rate of the multilayer ceramic capacitor is significantly increased, which is not preferable. Furthermore, when an isocyanate silane compound is used as a main element for film formation, there is also a problem that the coating liquid is easily deteriorated. Moreover, in order to improve the adhesiveness of a base film and a release layer, an anchor coat layer may be provided between both layers, but there exists a problem that productivity is low and cost becomes high.

本発明は上述の問題点を解決し、セラミックグリーンシート、特に、3μm以下の薄いセラミックグリーンシートを効率良く製造することができ、かつアンカーコート層なしでも基材フィルムと離形層の接着性が優れるセラミックグリーンシート製造用離型フィルムを提供することを目的とする。   The present invention solves the above-mentioned problems, and can efficiently produce a ceramic green sheet, particularly a thin ceramic green sheet of 3 μm or less, and the adhesion between the base film and the release layer can be achieved without an anchor coat layer. An object is to provide an excellent release film for producing a ceramic green sheet.

上記課題を解決するために、本発明は以下の構成からなる。すなわち、
[1]基材フィルムの少なくとも片面にシリコーン系樹脂皮膜からなる離型層を有し、該シリコーン系樹脂皮膜が、水酸基を有するシリコーンオイルと下記(1)式のイソシアネート化合物を反応させて得られるシリコーン化合物を含有してなる離型フィルムであって、該離型フィルムの剥離強度が0.1〜8g/50mm、残留接着率が80%以上の特性範囲を満足することを特徴とする離型フィルム。
In order to solve the above problems, the present invention has the following configuration. That is,
[1] A release layer composed of a silicone resin film is provided on at least one surface of a base film, and the silicone resin film is obtained by reacting a silicone oil having a hydroxyl group with an isocyanate compound of the following formula (1). A release film comprising a silicone compound, wherein the release film satisfies a characteristic range in which a peel strength of the release film is 0.1 to 8 g / 50 mm and a residual adhesion rate is 80% or more. the film.

Figure 2005313601
Figure 2005313601

(ただし式中、nは1〜3の整数、Rはアルキル基、またはエステル基及び/又はケトン基及び/又は水酸基を有するアルキル基、またはアラルキル基またはアルケニル基を示す)。
[2]シリコーン系樹脂皮膜中にウレタン構造を有することを特徴とする上記[1]に記載の離型フィルム。
[3]シリコーン系樹脂皮膜面における中心線平均表面粗さ(Ra)が5〜60nmであることを特徴とする上記[1]または[2]に記載の離型フィルム。
[4]シリコーン系樹脂皮膜の蛍光X線法によるケイ素元素強度A(単位:kcps)が下記(2)式を満足することを特徴とする上記[1]〜[3]のいずれかに記載の離型フィルム。
(In the formula, n represents an integer of 1 to 3, R represents an alkyl group, an ester group and / or a ketone group and / or a hydroxyl group having a hydroxyl group, an aralkyl group or an alkenyl group).
[2] The release film as described in [1] above, wherein the silicone resin film has a urethane structure.
[3] The release film as described in [1] or [2] above, wherein the center line average surface roughness (Ra) on the silicone resin film surface is 5 to 60 nm.
[4] The silicon element strength A (unit: kcps) measured by the fluorescent X-ray method of the silicone-based resin film satisfies the following formula (2), according to any one of the above [1] to [3] Release film.

5≦A≦40・・・(2)式
[5]基材フィルムがポリエステルフィルム、ポリオレフィンフィルム、ポリフェニレンサルファイドフィルム、 ナイロンフィルムの何れかであることを特徴とする上記[1]〜[4]のいずれかに記載の離型フィルム。
[6]ポリエステルフィルムがポリエチレンテレフタレートフィルム、ポリエチレン−2,6−ナフタレートフィルム、ポリエチレン−α,β−ビス(2−クロルフェノキシ)エタン−4,4’−ジカルボキシレートフィルムの何れかであることを特徴とする上記[5]に記載の離型フィルム。
により構成される。
5 ≦ A ≦ 40 (2) Formula [5] In the above [1] to [4], the base film is any one of a polyester film, a polyolefin film, a polyphenylene sulfide film, and a nylon film. The release film in any one.
[6] The polyester film is any one of a polyethylene terephthalate film, a polyethylene-2,6-naphthalate film, and a polyethylene-α, β-bis (2-chlorophenoxy) ethane-4,4′-dicarboxylate film. The release film as described in [5] above, wherein
Consists of.

本発明の離型フィルムを用いることで、セラミックグリーンシートの剥離性を満足しつつ、かつ、該セラミックグリーンシートへのシリコーン系樹脂皮膜の移行、すなわち、該離型フィルムをロール状に巻いて保管する際に、シリコーン系樹脂皮膜の一部が該離型フィルムの背面側に移行することを極めて少なく出来る、という相反する特性を満足させることが出来る。特に3μm以下の薄いセラミックグリーンシートを積層後、焼成する工程でセラミックコンデンサ内部での気泡の発生を極めて少なくすることが可能となり、積層型セラミックコンデンサの耐電圧不良率を大幅に改善することが出来る。   By using the release film of the present invention, while satisfying the peelability of the ceramic green sheet, the silicone-based resin film is transferred to the ceramic green sheet, that is, the release film is rolled and stored. In this case, it is possible to satisfy the conflicting property that a part of the silicone-based resin film can be very little transferred to the back side of the release film. In particular, it is possible to extremely reduce the generation of bubbles in the ceramic capacitor in the process of firing after laminating a thin ceramic green sheet of 3 μm or less, and the breakdown voltage failure rate of the multilayer ceramic capacitor can be greatly improved. .

さらに、本発明により、基材フィルムと離型層の接着性を向上させるため両層の間にアンカーコート層を設ける必要がなくなり、該離型フィルムの生産性を向上させることが出来る。   Furthermore, according to the present invention, it is not necessary to provide an anchor coat layer between both layers in order to improve the adhesion between the base film and the release layer, and the productivity of the release film can be improved.

さらに、本発明のより好ましい態様の離型フィルムを用いることで、セラミックコンデンサを構成するセラミックグリーンシートと内部電極との密着性不良がなくなり、また、当該シートを積層する際に位置ずれを生じず、さらに、その後の加圧工程において局所的な応力集中による静電容量の不均一を無くすことが出来る。   Furthermore, by using the release film of a more preferable aspect of the present invention, there is no poor adhesion between the ceramic green sheet constituting the ceramic capacitor and the internal electrode, and no misalignment occurs when the sheets are laminated. Furthermore, it is possible to eliminate non-uniformity in capacitance due to local stress concentration in the subsequent pressurizing step.

本発明の基材フィルムとしては、例えばポリエステルフィルム、ポリオレフィンフィルム、ポリフェニレンサルファイドフィルム、ナイロンフィルム等の合成高分子フィルム(シートも含む)を挙げることができる。このうち、ポリエステルであることが好ましく、その中でさらに、耐熱性、表面特性等に優れているポリエチレンテレフタレートフィルム、ポリエチレン2,6−ナフタレートフィルム、およびポリエチレン−α、β−ビス(2−クロルフェノキシ)エタン−4,4’−ジカルボキシレートフィルムが好ましく、特には、機械的強度、寸法安定性に優れる二軸配向ポリエチレンテレフタレートフィルム、二軸配向ポリエチレン2,6−ナフタレートフィルム、および二軸配向ポリエチレン−α、β−ビス(2−クロルフェノキシ)エタン−4,4’−ジカルボキシレートフィルムが好ましい。   Examples of the base film of the present invention include synthetic polymer films (including sheets) such as polyester films, polyolefin films, polyphenylene sulfide films, and nylon films. Of these, polyester is preferable, and among them, polyethylene terephthalate film, polyethylene 2,6-naphthalate film, and polyethylene-α, β-bis (2-chloro), which are excellent in heat resistance, surface characteristics, and the like. Phenoxy) ethane-4,4′-dicarboxylate film is preferred, in particular, biaxially oriented polyethylene terephthalate film, biaxially oriented polyethylene 2,6-naphthalate film, and biaxially excellent in mechanical strength and dimensional stability. An oriented polyethylene- [alpha], [beta] -bis (2-chlorophenoxy) ethane-4,4'-dicarboxylate film is preferred.

本発明を構成する基材フィルムは、常法により製造されたものであり、特に二軸配向ポリエチレンテレフタレートフィルム、二軸配向ポリエチレン2,6−ナフタレートフィルム、および二軸配向ポリエチレン−α、β−ビス(2−クロルフェノキシ)エタン−4,4’−ジカルボキシレートフィルムにおけるフィルム厚みは15〜350μm、好ましくは20〜100μmの範囲のものが機械特性、寸法安定性、耐熱性、価格等の点から好ましく適用される。   The base film constituting the present invention is produced by a conventional method, and in particular, biaxially oriented polyethylene terephthalate film, biaxially oriented polyethylene 2,6-naphthalate film, and biaxially oriented polyethylene-α, β- The film thickness of the bis (2-chlorophenoxy) ethane-4,4′-dicarboxylate film is in the range of 15 to 350 μm, preferably 20 to 100 μm in terms of mechanical properties, dimensional stability, heat resistance, price, etc. Preferably applied.

また、SI−BPM法による基材フィルムのフィッシュアイ値が0〜20個/1000cmであると、該フィルムを用いた離型フィルムから3μm以下の薄いセラミックグリーンシートを剥離させる際の該シートの破れが極めて少なくなり望ましい。尚、SI−BPM法とはフィルムを重ねて光を当てた時にフィッシュアイが存在することによる反射光の干渉を利用した測定方法である。 Moreover, when the fish eye value of the base film by the SI-BPM method is 0 to 20 pieces / 1000 cm 2 , the sheet when the thin ceramic green sheet of 3 μm or less is peeled from the release film using the film is used. It is desirable because tears are extremely low. The SI-BPM method is a measurement method that utilizes interference of reflected light due to the presence of fish eyes when the film is overlaid and exposed to light.

本発明におけるシリコーン系樹脂皮膜とは、下記(3)式の構造を有するポリオルガノシロキサンを主成分としており、かつ水酸基を有するシリコーンオイルとイソシアネート化合物を反応させたシリコーン化合物を含むものであり、さらに、該ポリオルガノシロキサン、該シリコーンオイル、該イソシアネート化合物が架橋されて皮膜を形成したものをいう。特に、前記架橋反応が付加反応型で行われたシリコーン系樹脂皮膜が本発明の目的、効果をより明確にするため好ましい。   The silicone-based resin film in the present invention includes a polyorganosiloxane having a structure represented by the following formula (3) as a main component, and includes a silicone compound obtained by reacting a silicone oil having a hydroxyl group with an isocyanate compound, The polyorganosiloxane, the silicone oil, and the isocyanate compound are crosslinked to form a film. In particular, a silicone-based resin film in which the cross-linking reaction is performed in an addition reaction type is preferable in order to clarify the objects and effects of the present invention.

Figure 2005313601
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(ただし式中、R1はメチル基およびフェニル基、V1はヘキセニル基およびビニル基を示す)。 (In the formula, R1 represents a methyl group and a phenyl group, and V1 represents a hexenyl group and a vinyl group).

該シリコーン系樹脂皮膜における水酸基を有するシリコーンオイルとしては、例えば東レ・ダウコーニング・シリコーン(株)製の商品名がBY16−201、BY16−848、BY16−005、BY16−007、SF8427、SF8428、あるいは、信越化学工業(株)製の商品名がX−22−160AS、KF−6001、KF−6002、KF−6003、X−22−4015のオイルなどを挙げることができる。   As the silicone oil having a hydroxyl group in the silicone resin film, for example, trade names of BY16-201, BY16-848, BY16-005, BY16-007, SF8427, SF8428, manufactured by Toray Dow Corning Silicone Co., Ltd., or , Shin-Etsu Chemical Co., Ltd. trade names are X-22-160AS, KF-6001, KF-6002, KF-6003, X-22-4015 oils, and the like.

該シリコーン系樹脂皮膜におけるイソシアネート化合物とは、下記(1)式で示される一般構造式を有する化合物、或いはブロックされている又はブロックされていないイソシアネート基を有するポリイソシアネート化合物である。   The isocyanate compound in the silicone resin film is a compound having a general structural formula represented by the following formula (1), or a polyisocyanate compound having a blocked or unblocked isocyanate group.

Figure 2005313601
Figure 2005313601

(ただし式中、nは1〜3の整数、Rはアルキル基、またはエステル基及び/又はケトン基及び/又は水酸基を有するアルキル基、またはアラルキル基、またはアルケニル基を示す)。 (In the formula, n represents an integer of 1 to 3, and R represents an alkyl group, an ester group and / or a ketone group, and / or an alkyl group having a hydroxyl group, an aralkyl group, or an alkenyl group).

該シリコーン系樹脂皮膜において、水酸基を有するシリコーンオイルとイソシアネート化合物とを反応させることでウレタン構造を有する化合物が得られるが、該シリコーン系樹脂皮膜に含まれる好ましい態様であるウレタン構造とは、例えば下記(4)式で示される構造である。   In the silicone resin film, a compound having a urethane structure is obtained by reacting a silicone oil having a hydroxyl group with an isocyanate compound. The urethane structure which is a preferable embodiment included in the silicone resin film is, for example, It is a structure shown by (4) Formula.

Figure 2005313601
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(ただし式中、R並びにR’はアルキル基、またはエステル基及び/又はケトン基及び/又は水酸基を有するアルキル基、またはアラルキル基、またはアルケニル基を示す)。 (In the formula, R and R 'each represents an alkyl group, an alkyl group having an ester group and / or a ketone group and / or a hydroxyl group, an aralkyl group or an alkenyl group).

該シリコーン系樹脂被膜の乾燥および硬化(熱硬化、紫外線硬化、等)は、それぞれ個別または同時に行うことができる。同時に行うときには、基材フィルムの耐熱性(熱的寸法安定性)にも左右されるが、80℃〜200℃、好ましくは120℃〜180℃の温度範囲で15秒以上加熱することが好ましい。   Drying and curing (thermal curing, ultraviolet curing, etc.) of the silicone resin coating can be performed individually or simultaneously. When performing simultaneously, although depending also on the heat resistance (thermal dimensional stability) of a base film, it is preferable to heat for 15 seconds or more in the temperature range of 80 to 200 degreeC, Preferably it is 120 to 180 degreeC.

また、本発明において、シリコーン系樹脂皮膜面の蛍光X線法によるケイ素元素強度A(単位:kcps)が下記(2)式を満足せしめることが好ましい。
5≦A≦40・・・(2)式。
Moreover, in this invention, it is preferable that the silicon element intensity | strength A (unit: kcps) by the fluorescent X ray method of a silicone type resin membrane | film | coat surface satisfies the following (2) Formula.
5 ≦ A ≦ 40 (2) formula.

該ケイ素元素強度A(単位:kcps)が5≦A≦40であると、剥離後のセラミックグリーンシート離型面側へのシリコーン系樹脂皮膜の移行量が少なくなり、該セラミックグリーンシートを積層後のセラミックグリーンシート層間での密着性が低下しないので好ましく、また、セラミックグリーンシート剥離時にセラミックグリーンシートにピンホールが生じず、セラミックグリーンシートが破れ難くなるため好ましい。   When the silicon element strength A (unit: kcps) is 5 ≦ A ≦ 40, the amount of migration of the silicone-based resin film to the release side of the ceramic green sheet after peeling is reduced, and after the ceramic green sheets are laminated This is preferable because the adhesion between the ceramic green sheets is not lowered, and pinholes are not generated in the ceramic green sheets when the ceramic green sheets are peeled off, and the ceramic green sheets are hardly broken.

さらに、該ケイ素元素強度が、上記範囲内の離型フィルムを用いて作製したセラミックグリーンシートから得られる積層型セラミックコンデンサは、積層セラミックシートの内部電極がショートし難くなり、該コンデンサに通電直後の初期不良が発生し難くなるため耐電不良率が大幅に減少する。   Furthermore, in the multilayer ceramic capacitor obtained from the ceramic green sheet produced using the release film having the silicon element strength within the above range, the internal electrode of the multilayer ceramic sheet is not easily short-circuited, Since the initial failure is less likely to occur, the withstand voltage failure rate is greatly reduced.

本発明の特徴であるシリコーン系樹脂皮膜のセラミックグリーンシートへの移行を少なくするためには、ポリオルガノシロキサン中のヘキセニル基又はビニル基のモル量とオルガノハイドロジエンポリシロキサンの量を調整して、シリコーン系樹脂皮膜のゴム硬度を20°以下、好ましくは、15°以下とすることが好ましい。この際のシリコーン系樹脂皮膜のゴム硬度は、前記所定量のポリオルガノシロキサンとオルガノハイドロジエンポリシロキサンに、ポリオルガノシロキサンオイルと反応させた塩化白金酸を所定量混合し、真空下で溶剤を除去した後、120℃で10分間加熱し、約10mmの厚みのシート状のシリコーン系樹脂皮膜を作製し、これをJISゴム硬度計で測定することによって得られるものである。   In order to reduce the migration of the silicone-based resin film, which is a feature of the present invention, to the ceramic green sheet, the molar amount of hexenyl group or vinyl group in the polyorganosiloxane and the amount of the organohydropolyene polysiloxane are adjusted, The rubber hardness of the silicone resin film is 20 ° or less, preferably 15 ° or less. At this time, the rubber hardness of the silicone resin film is determined by mixing a predetermined amount of chloroplatinic acid reacted with polyorganosiloxane oil into the predetermined amount of polyorganosiloxane and organohydropolysiloxane, and removing the solvent under vacuum. Then, it is heated at 120 ° C. for 10 minutes to produce a sheet-like silicone resin film having a thickness of about 10 mm, and this is obtained by measuring with a JIS rubber hardness meter.

本発明において、シリコーン系樹脂被膜の形成する際の塗布方法は特に限定されないが、通常、ベンゼン、トルエン、キシレン等の芳香族炭化水素、シクロヘキサン、n−ヘキサン、n−ヘプタン等の脂肪酸炭化水素、パークロロエチレン等のハロゲン化炭化水素、酢酸エチル、およびメチルビニルケトン等の有機溶媒にシリコーン系樹脂を1〜30質量%の濃度で溶解した塗剤を用い、ダイレクトグラビアコーター、マイクログラビアコーター、リバースグラビアコーター、ダイレクトキスコーター、リバースキスコーター、コンマコーター、ダイコーター、バー・ロットタイプの塗布装置等によって塗布することによって得られる。   In the present invention, the coating method when forming the silicone resin film is not particularly limited, but usually, aromatic hydrocarbons such as benzene, toluene, xylene, fatty acid hydrocarbons such as cyclohexane, n-hexane, n-heptane, Direct gravure coater, micro gravure coater, reverse using coating agent in which silicone resin is dissolved in organic solvent such as halogenated hydrocarbons such as perchloroethylene, ethyl acetate, and methyl vinyl ketone. It can be obtained by coating with a gravure coater, direct kiss coater, reverse kiss coater, comma coater, die coater, bar / lot type coating apparatus or the like.

この中でも、マイクログラビアコーター、ダイレクトキスコーター、リバースキスコーターを用いると、シリコーン系樹脂被膜の厚みの均一性が良好となり塗布ムラの発生が少ないので好ましい。   Among these, the use of a micro gravure coater, a direct kiss coater, or a reverse kiss coater is preferable because the uniformity of the thickness of the silicone resin film is good and the occurrence of coating unevenness is small.

本発明の離型フィルムの離型面側の中心線平均表面粗さ(Ra)がカットオフ値0.25mmで5〜60nmであることが好ましく、より好ましくは10〜40nmである。中心線平均表面粗さが前記範囲内であると、離型フィルムから剥離して得られたセラミックグリーンシートが平滑となり該セラミックグリーンシートを積層した際のセラミックグリーンシート間の密着性を向上せしめることで、最終製品である積層型セラミックコンデンサの容量バラツキを減少せしめることができる。   The centerline average surface roughness (Ra) on the release surface side of the release film of the present invention is preferably 5 to 60 nm with a cut-off value of 0.25 mm, more preferably 10 to 40 nm. When the center line average surface roughness is within the above range, the ceramic green sheet obtained by peeling from the release film becomes smooth and improves the adhesion between the ceramic green sheets when the ceramic green sheets are laminated. Thus, it is possible to reduce the capacitance variation of the multilayer ceramic capacitor as the final product.

また、基材フィルムの表面の該シリコーン系樹脂被膜面の400nm以上の突起の個数が0.1mmあたり5個以下、好ましくは0個であると、セラミックグリーンシートを作製する際に該シートのピンホールが減少し積層型セラミックコンデンサの耐電圧不良率が減少するため望ましい。 Further, when the number of protrusions of 400 nm or more on the surface of the base resin film on the surface of the silicone-based resin coating is 5 or less per 0.1 mm 2 , preferably 0, when the ceramic green sheet is produced, This is desirable because pinholes are reduced and the withstand voltage failure rate of multilayer ceramic capacitors is reduced.

なお、本発明の離型フィルムの剥離強度は0.1〜8g/50mmであることが必要であり、好ましくは1〜4g/50mmである。0.1g/50mm未満であると、該離型フィルムにセラミックシート等を積層した積層シートを巻き取る際に、セラミックシート等が該離型フィルムから剥離してしまうことがあり、一方、剥離強度が8g/50mmを越えると、積層シートからセラミックシート等を剥離する際に剥離が困難となることがあるためである。
さらに、本発明の離型フィルムの残留接着率は80%以上であることが必要であり、90%以上であることがより好ましい。80%未満であると、例えば該離型フィルムをロール状に巻いて保管する際に、シリコーン系樹脂皮膜成分が隣接するフィルムの表面に転写し、シリコーン系樹脂皮膜の特性が不良となったり、隣接フィルム表面の接着性などの特性が不良となることがあるためである。
また、剥離強度0.1〜8g/50mm、残留接着率80%以上の特性範囲を満足する本発明の離型フィルムを作製するためのシリコーン系樹脂の成分割合は、前記(3)式の構造を有するポリオルガノシロキサン100質量部、該ポリオルガノシロキサン100質量部に対して水酸基を有するシリコーンオイルを0.1〜3.0質量部、該シリコーンオイル100質量部に対して前記(1)式の構造を有するイソシアネート化合物を5〜70質量部の範囲とすることが好ましい。
In addition, the peeling strength of the release film of this invention needs to be 0.1-8g / 50mm, Preferably it is 1-4g / 50mm. When it is less than 0.1 g / 50 mm, the ceramic sheet or the like may be peeled off from the release film when the laminated sheet obtained by laminating the ceramic sheet or the like on the release film is taken up. If the thickness exceeds 8 g / 50 mm, peeling may be difficult when the ceramic sheet or the like is peeled from the laminated sheet.
Furthermore, the residual adhesive rate of the release film of the present invention needs to be 80% or more, and more preferably 90% or more. When the release film is less than 80%, for example, when the release film is rolled and stored, the silicone resin film component is transferred to the surface of the adjacent film, and the characteristics of the silicone resin film become poor, This is because properties such as adhesion on the surface of the adjacent film may be defective.
Moreover, the component ratio of the silicone resin for producing the release film of the present invention satisfying the characteristic range of peel strength of 0.1 to 8 g / 50 mm and residual adhesion rate of 80% or more is the structure of the above formula (3). 100 parts by mass of the polyorganosiloxane, 0.1 to 3.0 parts by mass of the silicone oil having a hydroxyl group with respect to 100 parts by mass of the polyorganosiloxane, and 100 parts by mass of the silicone oil. It is preferable to make the isocyanate compound which has a structure into the range of 5-70 mass parts.

本発明を実施例にて具体的に説明するが、本発明はそれらに限定されるものではない。
なお、離型フィルム並びに離型フィルムを用いて作製したセラミックグリーンシートの特性評価は下記の方法にて行った。
The present invention will be specifically described with reference to examples, but the present invention is not limited thereto.
In addition, the characteristic evaluation of the ceramic green sheet produced using the release film and the release film was performed by the following method.

1)蛍光X線法によるケイ素元素強度の測定:
離型フィルムを所定の大きさ(50mmφ)に切り取り、下記条件の蛍光X線装置にてシリコーン系樹脂皮膜面側のケイ素元素強度Aをカウントする。次ぎに表面のシリコーン系樹脂皮膜を塗布する前のプラスチックフィルムを前記と同様の条件方法にてケイ素元素強度Bをカウントする。このようにして得られたケイ素元素強度Aからケイ素元素強度Bを引いた値をシリコーン系樹脂皮膜のケイ素元素強度(単位:kcps)とした。
・装置名:Rigaku製 X線SPECTROMETER RIX1000
・X線管:横型Crターゲット
・元素コード:Si06
・分光結晶:LIF1
・スリット:SOARSE
・一次フィルター :OUT
・ダイアフラム:30mm
・印加電圧,電流(XG):50kV−50mA
・PHA:100−350
・PEAK:2θ/144.520deg,時間/40秒
・BG.1:2θ/143.000deg,時間/10秒
・BG.2 :2θ/146.000deg,時間/10秒。
1) Measurement of silicon element strength by fluorescent X-ray method:
The release film is cut into a predetermined size (50 mmφ), and the silicon element strength A on the silicone resin film surface side is counted with a fluorescent X-ray apparatus under the following conditions. Next, the silicon element strength B is counted on the plastic film before applying the silicone resin film on the surface by the same condition method as described above. The value obtained by subtracting the silicon element strength B from the silicon element strength A thus obtained was defined as the silicon element strength (unit: kcps) of the silicone resin film.
・ Device name: X-ray SPECTROMETER RIX1000 manufactured by Rigaku
・ X-ray tube: Horizontal Cr target ・ Element code: Si06
-Spectral crystal: LIF1
・ Slit: SOARSE
・ Primary filter: OUT
・ Diaphragm: 30mm
・ Applied voltage, current (XG): 50kV-50mA
・ PHA: 100-350
PEAK: 2θ / 144.520 deg, time / 40 seconds BG. 1: 2θ / 143.000 deg, time / 10 seconds · BG. 2: 2θ / 146.000 deg, time / 10 seconds.

2)剥離強度:
長さ200mm幅100mmの離型フィルムとポリエステル粘着フィルム(日東電工製31Bテープ:25μm厚み,50mm幅)を5kgのローラーで圧着させながら貼り合わせ、室温20℃・湿度65%で24時間放置した後、180°剥離強度を引っ張り試験器にて剥離速度300mm/分で測定した。ここで剥離強度が5g/50mm以下であれば良好である。上述の通り、剥離強度が0.1g/50mm未満であると、該離型フィルムにセラミックシート等を積層した積層シートを巻き取る際にセラミックシート等が該離型フィルムから剥離してしまうことがあるため好ましくない。一方、剥離強度が8g/50mmを越えると、積層シートからセラミックシート等を剥離する際に剥離が困難となることがあるため好ましくない。
2) Peel strength:
A 200 mm long 100 mm wide release film and a polyester adhesive film (Nitto Denko 31B tape: 25 μm thickness, 50 mm width) were bonded together while being pressed with a 5 kg roller, and left for 24 hours at 20 ° C. and 65% humidity. The 180 ° peel strength was measured with a tensile tester at a peel rate of 300 mm / min. Here, it is good if the peel strength is 5 g / 50 mm or less. As described above, when the peel strength is less than 0.1 g / 50 mm, the ceramic sheet or the like may be peeled off from the release film when the laminated sheet in which the release sheet is laminated with the ceramic sheet or the like is wound. This is not preferable. On the other hand, if the peel strength exceeds 8 g / 50 mm, it may be difficult to peel the ceramic sheet or the like from the laminated sheet, which is not preferable.

3)残留接着率:
長さ200mm幅100mmの離型フィルムとポリエステル粘着フィルム(日東電工製31Bテープ:25mm幅)を5kgのローラーで圧着させながら貼り合わせた状態で20g/cmの加重下で40℃で24時間放置した。この後、該ポリエステル粘着フィルムを剥離し銅板に5kgのローラーで圧着させながら貼り合わせ、24時間放置した後、180°剥離強度を引っ張り試験器で測定し、残留接着力(f)とした。ブランクとして離型フィルムの代わりにテフロン(登録商標)シートを用いて同様の測定を行い、基礎接着力(f)とし、下記の(5)式にて残留接着率を算出した。残留接着率が80%以上であると良好である。上述の通り、残留接着率が80%未満であると、例えば該離型フィルムをロール状に巻いて保管する際に、シリコーン系樹脂皮膜成分が隣接するフィルムの表面に転写し、シリコーン系樹脂皮膜の特性が不良となったり、隣接フィルム表面の接着性などの特性が不良となることがあるため好ましくない。
・残留接着率(%)=(f/f)×100 (5)式。
3) Residual adhesion rate:
A release film with a length of 200 mm and a width of 100 mm and a polyester adhesive film (31B tape manufactured by Nitto Denko: 25 mm width) are bonded together while being pressed with a 5 kg roller and left at 40 ° C. under a load of 20 g / cm 2 for 24 hours. did. Thereafter, the polyester pressure-sensitive adhesive film was peeled off, bonded to a copper plate while being pressed with a 5 kg roller, and allowed to stand for 24 hours, and then the 180 ° peel strength was measured with a tensile tester to obtain the residual adhesive strength (f). The same measurement was performed using a Teflon (registered trademark) sheet instead of a release film as a blank to obtain a basic adhesive force (f 0 ), and a residual adhesion rate was calculated by the following equation (5). It is favorable that the residual adhesion rate is 80% or more. As described above, when the residual adhesive rate is less than 80%, for example, when the release film is rolled and stored, the silicone resin film component is transferred to the surface of the adjacent film, and the silicone resin film This is not preferable because the above-mentioned characteristics may be poor, or the characteristics such as the adhesiveness of the adjacent film surface may be poor.
- Residual adhesion ratio (%) = (f / f 0) × 100 (5) formula.

4)ラブオフ性:
シリコーン系樹脂皮膜面を指先で5〜6回摩擦し、シリコーン系樹脂皮膜の脱落の具合を下記の評価基準にて判断し、基材フィルムとシリコーン系樹脂皮膜の密着性の目安とした。
○:脱落なし(密着性良好)
△:若干脱落するが、実用上問題ないレベル
×:脱落あり(密着性不良)。
4) Love-off properties:
The silicone resin film surface was rubbed 5 to 6 times with a fingertip, and the degree of dropping of the silicone resin film was judged according to the following evaluation criteria, which was used as a measure of adhesion between the base film and the silicone resin film.
○: No dropout (good adhesion)
Δ: Slightly dropped, but no problem in practical use ×: Dropped (poor adhesion)

5)耐湿性:
離型フィルムを60℃/98%RHの条件下に置き、24時間ごとにシリコーン系樹脂皮膜面を指先で5〜6回摩擦し、シリコーン系樹脂皮膜が脱落するまでの時間を測定した。シリコーン系樹脂皮膜面を指先で5〜6回摩擦し、シリコーン系樹脂皮膜が脱落するまでの時間が300時間を超えるものが良好である。
5) Moisture resistance:
The release film was placed under the condition of 60 ° C./98% RH, and the silicone resin film surface was rubbed with the fingertip 5 to 6 times every 24 hours, and the time until the silicone resin film fell off was measured. It is preferable that the silicone resin film surface is rubbed 5 to 6 times with a fingertip and the time until the silicone resin film falls off exceeds 300 hours.

6)耐溶剤摩耗性:
シリコーン系樹脂皮膜面において、学振式摩耗試験器にて、500g/cmの加重を加えながらトルエン含浸の布で30回往復作動後に該シリコーン系樹脂皮膜面の剥離強度を測定した。該剥離強度がトルエン含浸の布で30回往復作動していない離型フィルムの1〜1.5倍のものが良好である。
6) Solvent wear resistance:
On the silicone resin film surface, the peel strength of the silicone resin film surface was measured after reciprocating 30 times with a cloth impregnated with toluene while applying a load of 500 g / cm 2 with a Gakushin abrasion tester. The peel strength is preferably 1 to 1.5 times that of a release film that has not been reciprocated 30 times with a toluene-impregnated cloth.

7)中心線平均表面粗さ(単位;nm):
JIS−B−0601に基づき、カットオフ値0.25mmで測定した。
7) Centerline average surface roughness (unit: nm):
Based on JIS-B-0601, it was measured with a cut-off value of 0.25 mm.

8)セラミックグリーンシートと内部電極との密着性:
離型フィルムの離型層上に下記組成のセラミックスラリーを乾燥後の厚みが8μmとなるようにドクターブレード法にて塗布し、乾燥後、100℃で10分間加熱固化させ、20℃にて1時間放置する。次に、該セラミックグリーンシート上に下記組成の導電性ペーストをスクリーン印刷し、80℃で10分間乾燥させて内部電極を形成した後、20℃にて1時間放置する。次に、該離型フィルムから、内部電極が形成されたセラミックグリーンシートAを剥離する。
さらに、剥離した該セラミックグリーンシートAにおいて、セラミックグリーンシートと内部電極の180°剥離強度を引っ張り試験器にて剥離速度300mm/分で測定した。該剥離強度が1.5kg/15mmφ以上のものを「○」、該剥離強度が0.7kg/15mmφを越え1.5kg/15mmφ未満であれば「△」、該剥離強度が0.7kg/15mmφ以下のものを「×」とした。○と△であればセラミックグリーンシートと内部電極の密着性が良好である。
8) Adhesion between ceramic green sheet and internal electrode:
A ceramic slurry having the following composition was applied onto the release layer of the release film by a doctor blade method so that the thickness after drying was 8 μm, dried, and then heated and solidified at 100 ° C. for 10 minutes, and 1 at 20 ° C. Leave for hours. Next, a conductive paste having the following composition is screen-printed on the ceramic green sheet, dried at 80 ° C. for 10 minutes to form an internal electrode, and then left at 20 ° C. for 1 hour. Next, the ceramic green sheet A on which the internal electrode is formed is peeled from the release film.
Further, in the peeled ceramic green sheet A, the 180 ° peel strength between the ceramic green sheet and the internal electrodes was measured with a tensile tester at a peel rate of 300 mm / min. When the peel strength is 1.5 kg / 15 mmφ or more, “◯”, when the peel strength exceeds 0.7 kg / 15 mmφ and less than 1.5 kg / 15 mmφ, “△”, the peel strength is 0.7 kg / 15 mmφ The following were marked with “x”. If it is (circle) and (triangle | delta), the adhesiveness of a ceramic green sheet and an internal electrode is favorable.

「セラミックスラリーの組成」
アルミナ 53質量部
酸化バリウム 8質量部
酸化ケイ素 36質量部
ポリビニルブチラール 30質量部
ジクロルエタン 80質量部。
「導電性ペースト」
Ni系粉末 90質量部
有機ビヒクル 10質量部
ターピネオール 30質量部。
"Composition of ceramic slurry"
Alumina 53 parts by mass Barium oxide 8 parts by mass Silicon oxide 36 parts by mass Polyvinyl butyral 30 parts by mass Dichloroethane 80 parts by mass
"Conductive paste"
Ni-based powder 90 parts by mass Organic vehicle 10 parts by mass Terpineol 30 parts by mass.

[実施例1]
厚み38μmの二軸配向ポリエステルフィルム「東レ(株)社製“ルミラーR75”」を基材フィルムとし、該基材フィルムの片面に熱硬化性シリコーン系樹脂塗剤として、下記組成Aをグラビアロール(#200,斜線タイプ)を用いて塗工し、130℃のオーブンにて20秒乾燥、熱硬化させ離型フィルムを得た。さらに、得られた離型フィルムを60℃で3日間エージング処理を施した。得られた離型フィルムのシリコーン系樹脂皮膜面の蛍光X線によるケイ素元素強度は20kcpsであった。結果を表1に示したが、離型性、残留接着率、ラブオフ性、耐湿性、耐溶剤摩耗性のいずれも極めて良好であった。
[Example 1]
A biaxially oriented polyester film 38 μm thick “Lumirror R75” manufactured by Toray Industries, Inc. is used as a base film, and a thermosetting silicone-based resin coating is applied to one side of the base film, and the following composition A is a gravure roll ( # 200, slanted line type), dried in a 130 ° C. oven for 20 seconds, and thermally cured to obtain a release film. Further, the obtained release film was subjected to aging treatment at 60 ° C. for 3 days. The silicon element strength by fluorescent X-rays on the silicone resin film surface of the obtained release film was 20 kcps. The results are shown in Table 1, and all of mold release property, residual adhesion rate, rub-off property, moisture resistance, and solvent wear resistance were extremely good.

「熱硬化性シリコーン系樹脂塗剤・組成A」
1)東レ・ダウコーニング・シリコーン製 LTC750A :20質量部
2)東レ・ダウコーニング・シリコーン製 SRX212 :0.12質量部
3)東レ・ダウコーニング・シリコーン製 BY16−201 :0.4質量部
4)日本化工塗料製 TD硬化剤 :0.2質量部
5)トルエン :250質量部
6)メチルエチルケトン :30質量部。
"Thermosetting silicone resin coating composition A"
1) Toray Dow Corning Silicone LTC750A: 20 parts by mass 2) Toray Dow Corning Silicone SRX212: 0.12 parts by mass 3) Toray Dow Corning Silicone BY16-201: 0.4 parts by mass 4) TD curing agent made by NIPPON Kako Co., Ltd .: 0.2 parts by mass 5) Toluene: 250 parts by mass 6) Methyl ethyl ketone: 30 parts by mass.

[実施例2]
基材フィルムを、厚み38μmの二軸配向ポリエステルフィルム「東レ(株)社製“ルミラーS28T”」とする以外は実施例1と同様の方法にて離型フィルムを得た。得られた離型フィルムのシリコーン系樹脂皮膜面の蛍光X線によるケイ素元素強度は20kcpsであった。結果を表1に示したが、剥離強度、残留接着率、ラブオフ性、耐湿性、耐溶剤摩耗性のいずれも極めて良好であった。
[Example 2]
A release film was obtained in the same manner as in Example 1 except that the base film was a biaxially oriented polyester film having a thickness of 38 μm, “Lumirror S28T” manufactured by Toray Industries, Inc. The silicon element strength by fluorescent X-rays on the silicone resin film surface of the obtained release film was 20 kcps. The results are shown in Table 1. All of peel strength, residual adhesion rate, rub-off property, moisture resistance, and solvent wear resistance were extremely good.

[実施例3]
基材フィルムを、厚み38μmの二軸配向ポリエステルフィルム「東レ(株)社製“ルミラーR58”」とする以外は実施例1と同様の方法にて離型フィルムを得た。得られた離型フィルムのシリコーン系樹脂皮膜面の蛍光X線によるケイ素元素強度は20kcpsであった。結果を表1に示したが、剥離強度、残留接着率、ラブオフ性、耐湿性、耐溶剤摩耗性のいずれも極めて良好であった。
[Example 3]
A release film was obtained in the same manner as in Example 1 except that the base film was a biaxially oriented polyester film having a thickness of 38 μm, “Lumirror R58” manufactured by Toray Industries, Inc. The silicon element strength by fluorescent X-rays on the silicone resin film surface of the obtained release film was 20 kcps. The results are shown in Table 1. All of peel strength, residual adhesion rate, rub-off property, moisture resistance, and solvent wear resistance were extremely good.

[比較例1]
シリコーン系樹脂塗剤を、イソシアネート化合物を含まない下記組成Bとする以外は実施例1と同様の方法にて離型フィルムを得た。得られた離型フィルムのシリコーン系樹脂皮膜面の蛍光X線によるケイ素元素強度は20kcpsであった。結果を表1に示したが、残留接着率、ラブオフ性、耐湿性、耐溶剤摩耗性に劣っていた。
[Comparative Example 1]
A release film was obtained in the same manner as in Example 1 except that the silicone-based resin coating was changed to the following composition B containing no isocyanate compound. The silicon element strength by fluorescent X-rays on the silicone resin film surface of the obtained release film was 20 kcps. The results are shown in Table 1, and were inferior in residual adhesion rate, rub-off property, moisture resistance, and solvent wear resistance.

「熱硬化性シリコー」ン系樹脂塗剤・組成B」
1)東レ・ダウコーニング・シリコーン製 LTC750A :20質量部
2)東レ・ダウコーニング・シリコーン製 SRX212 :0.12質量部
3)東レ・ダウコーニング・シリコーン製 BY16−201 :0.4質量部
4)トルエン :250質量部
5)メチルエチルケトン :30質量部。
“Thermosetting silicone” resin coating composition B
1) Toray Dow Corning Silicone LTC750A: 20 parts by mass 2) Toray Dow Corning Silicone SRX212: 0.12 parts by mass 3) Toray Dow Corning Silicone BY16-201: 0.4 parts by mass 4) Toluene: 250 parts by mass 5) Methyl ethyl ketone: 30 parts by mass.

[比較例2]
シリコーン系樹脂塗剤中のシリコーンオイルを、カルボキシ基を有するシリコーンオイルBY16−152を使用した下記組成Cを用いる以外は実施例1と同様の方法にて離型フィルムを得た。得られた離型フィルムのシリコーン系樹脂皮膜面の蛍光X線によるケイ素元素強度は20kcpsであった。結果を表1に示したが、剥離強度は好ましい範囲を外れており、また、耐湿性、耐溶剤摩耗性に劣っていた。
[Comparative Example 2]
A release film was obtained in the same manner as in Example 1 except that the silicone oil in the silicone-based resin coating was used in the following composition C using silicone oil BY16-152 having a carboxy group. The silicon element strength by fluorescent X-rays on the silicone resin film surface of the obtained release film was 20 kcps. The results are shown in Table 1, but the peel strength was out of the preferred range, and the moisture resistance and solvent wear resistance were inferior.

「熱硬化性シリコーン系樹脂塗剤・組成C」
1)東レ・ダウコーニング・シリコーン製 LTC750A :20質量部
2)東レ・ダウコーニング・シリコーン製 SRX212 :0.12質量部
3)東レ・ダウコーニング・シリコーン製 BY16−152 :0.4質量部
4)トルエン :250質量部
5)メチルエチルケトン :30質量部。
"Thermosetting silicone resin coating composition C"
1) Toray Dow Corning Silicone LTC750A: 20 parts by mass 2) Toray Dow Corning Silicone SRX212: 0.12 parts by mass 3) Toray Dow Corning Silicone BY16-152: 0.4 parts by mass 4) Toluene: 250 parts by mass 5) Methyl ethyl ketone: 30 parts by mass.

[比較例3]
シリコーン系樹脂塗剤のシリコーンオイルを、メタクリロキシ基を有するシリコーンオイルBY16−750を使用した下記組成Dを用いる以外は実施例1と同様の方法にて離型フィルムを得た。得られた離型フィルムのシリコーン系樹脂皮膜面の蛍光X線によるケイ素元素強度は20kcpsであった。結果を表1に示したが、剥離強度は好ましい範囲を外れており、また、耐湿性、耐溶剤摩耗性に劣っていた。
[Comparative Example 3]
A release film was obtained in the same manner as in Example 1 except that the silicone oil of the silicone-based resin coating was used in the following composition D using silicone oil BY16-750 having a methacryloxy group. The silicon element strength by fluorescent X-rays on the silicone resin film surface of the obtained release film was 20 kcps. The results are shown in Table 1, but the peel strength was out of the preferred range, and the moisture resistance and solvent wear resistance were inferior.

「熱硬化性シリコーン系樹脂塗剤・組成D」
1)東レ・ダウコーニング・シリコーン製 LTC750A :20質量部
2)東レ・ダウコーニング・シリコーン製 SRX212 :0.12質量部
3)東レ・ダウコーニング・シリコーン製 BY16−750 :0.4質量部
4)トルエン :250質量部
5)メチルエチルケトン :30質量部。
"Thermosetting silicone resin coating composition D"
1) Toray Dow Corning Silicone LTC750A: 20 parts by mass 2) Toray Dow Corning Silicone SRX212: 0.12 parts by mass 3) Toray Dow Corning Silicone BY16-750: 0.4 parts by mass 4) Toluene: 250 parts by mass 5) Methyl ethyl ketone: 30 parts by mass.

[比較例4]
シリコーン系樹脂塗剤を、シリコーンオイル並びにイソシアネート化合物を含まない下記組成Eとする以外は実施例1と同様の方法にて離型フィルムを得た。得られた離型フィルムのシリコーン系樹脂皮膜面の蛍光X線によるケイ素元素強度は20kcpsであった。結果を表1に示したが、剥離強度は好ましい範囲を外れており、また、ラブオフ性、耐湿性、耐溶剤摩耗性に劣っていた。
[Comparative Example 4]
A release film was obtained in the same manner as in Example 1 except that the silicone-based resin coating was changed to the following composition E containing no silicone oil or isocyanate compound. The silicon element strength by fluorescent X-rays on the silicone resin film surface of the obtained release film was 20 kcps. The results are shown in Table 1. The peel strength was out of the preferred range, and the rub-off property, moisture resistance, and solvent wear resistance were inferior.

「熱硬化性シリコーン系樹脂塗剤・組成E」
1)東レ・ダウコーニング・シリコーン製 LTC750A :20質量部
2)東レ・ダウコーニング・シリコーン製 SRX212 :0.12質量部
3)トルエン :250質量部
4)メチルエチルケトン 30質量部。
"Thermosetting silicone resin coating composition E"
1) Toray Dow Corning Silicone LTC750A: 20 parts by mass 2) Toray Dow Corning Silicone SRX212: 0.12 parts by mass 3) Toluene: 250 parts by mass 4) Methyl ethyl ketone 30 parts by mass.

[比較例5]
シリコーン系樹脂塗剤を、下記組成Fとする以外は実施例1と同様の方法にて離型フィルムを得た。得られた離型フィルムのシリコーン系樹脂皮膜面の蛍光X線によるケイ素元素強度は4kcpsであった。結果を表1に示したが、剥離強度が好ましい範囲を外れていた。
[Comparative Example 5]
A release film was obtained in the same manner as in Example 1 except that the silicone resin coating composition was changed to the following composition F. The silicon element strength of the obtained release film on the silicone resin film surface by fluorescent X-rays was 4 kcps. The results are shown in Table 1, but the peel strength was out of the preferred range.

「熱硬化性シリコーン系樹脂塗剤・組成F」
1)東レ・ダウコーニング・シリコーン製 LTC750A :20質量部
2)東レ・ダウコーニング・シリコーン製 SRX212 :0.12質量部
3)東レ・ダウコーニング・シリコーン製 BY16−201 :0.4質量部
4)トルエン :1250質量部
5)メチルエチルケトン :150質量部。
"Thermosetting silicone resin coating composition F"
1) Toray Dow Corning Silicone LTC750A: 20 parts by mass 2) Toray Dow Corning Silicone SRX212: 0.12 parts by mass 3) Toray Dow Corning Silicone BY16-201: 0.4 parts by mass 4) Toluene: 1250 parts by mass 5) Methyl ethyl ketone: 150 parts by mass.

[実施例4]
実施例1で得られた離型フィルムの離型面側を、JIS−B−0601に基づきカットオフ値0.25mmで測定した中心線平均表面粗さ(Ra)は30nmであった。また、該離型フィルムを用いて、上記評価項目8)に基づいて、内部電極を形成したセラミックグリーンシートを作製した。次に、セラミックグリーンシートと内部電極との密着性を測定した。測定した結果を表2に示したが、該密着性は良好であった。
[Example 4]
The centerline average surface roughness (Ra) measured on the release surface side of the release film obtained in Example 1 with a cutoff value of 0.25 mm based on JIS-B-0601 was 30 nm. Further, using the release film, a ceramic green sheet on which internal electrodes were formed was produced based on the evaluation item 8). Next, the adhesion between the ceramic green sheet and the internal electrode was measured. The measured results are shown in Table 2, and the adhesion was good.

[実施例5]
実施例2で得られた離型フィルムの離型面側を、JIS−B−0601に基づきカットオフ値0.25mmで測定した中心線平均表面粗さ(Ra)は24nmであった。また、該離型フィルムを用いて、上記評価項目8)に基づいて、内部電極を形成したセラミックグリーンシートを作製した。次に、セラミックグリーンシートと内部電極との密着性を測定した。測定した結果を表2に示したが、該密着性は良好であった。
[Example 5]
The centerline average surface roughness (Ra) measured on the release surface side of the release film obtained in Example 2 with a cutoff value of 0.25 mm based on JIS-B-0601 was 24 nm. Further, using the release film, a ceramic green sheet on which internal electrodes were formed was produced based on the evaluation item 8). Next, the adhesion between the ceramic green sheet and the internal electrode was measured. The measured results are shown in Table 2, and the adhesion was good.

[実施例6]
実施例3で得られた離型フィルムの離型面側を、JIS−B−0601に基づきカットオフ値0.25mmで測定した中心線平均表面粗さ(Ra)は14nmであった。また、該離型フィルムを用いて、上記評価項目8)に基づいて、内部電極を形成したセラミックグリーンシートを作製した。次に、セラミックグリーンシートと内部電極との密着性を測定した。測定した結果を表2に示したが、該密着性は良好であった。
[Example 6]
The centerline average surface roughness (Ra) measured on the release surface side of the release film obtained in Example 3 with a cut-off value of 0.25 mm based on JIS-B-0601 was 14 nm. Moreover, using the release film, a ceramic green sheet on which internal electrodes were formed was produced based on the evaluation item 8). Next, the adhesion between the ceramic green sheet and the internal electrode was measured. The measured results are shown in Table 2, and the adhesion was good.

[実施例7]
基材フィルムを、厚み38μmの二軸配向ポリエステルフィルム「東レ(株)社製“ルミラーE20」とする以外は実施例1と同様の方法にて離型フィルムを得た。得られた該離型フィルムの離型面側を、JIS−B−0601に基づきカットオフ値0.25mmで測定した中心線平均表面粗さ(Ra)は59nmであった。また、該離型フィルムを用いて、上記評価項目8)に基づいて、内部電極を形成したセラミックグリーンシートを作製した。次に、セラミックグリーンシートと内部電極との密着性を測定した。測定した結果を表2に示したが、該密着性は若干劣るものの、実用上問題ないレベルであった。
[Example 7]
A release film was obtained in the same manner as in Example 1 except that the base film was a biaxially oriented polyester film “Lumirror E20” manufactured by Toray Industries, Inc. with a thickness of 38 μm. The centerline average surface roughness (Ra) measured on the release surface side of the obtained release film with a cutoff value of 0.25 mm based on JIS-B-0601 was 59 nm. Further, using the release film, a ceramic green sheet on which internal electrodes were formed was produced based on the evaluation item 8). Next, the adhesion between the ceramic green sheet and the internal electrode was measured. The measured results are shown in Table 2. Although the adhesion was slightly inferior, it was at a level causing no practical problems.

Figure 2005313601
Figure 2005313601

Figure 2005313601
Figure 2005313601

本発明の離型フィルムを使用すれば、シリコーン系樹脂の付着が極めて少ないセラミックグリーンシートを効率良く製造することができ、これにより、該セラミックグリーンシートを積層後、焼成する工程でセラミックコンデンサ内部に気泡が発生し難くなるためセラミックコンデンサの耐電圧不良率が大幅に改善される。さらに、本発明により、基材フィルムと離型層の接着性を向上させるため両層の間にアンカーコート層を設ける必要がなくなり、該離型フィルムの生産性を向上させることが出来る。   If the release film of the present invention is used, it is possible to efficiently produce a ceramic green sheet with very little adhesion of the silicone-based resin. Thereby, the ceramic green sheet is laminated and then fired in the ceramic capacitor. Since bubbles are less likely to occur, the withstand voltage failure rate of ceramic capacitors is greatly improved. Furthermore, according to the present invention, it is not necessary to provide an anchor coat layer between both layers in order to improve the adhesion between the base film and the release layer, and the productivity of the release film can be improved.

また、本発明のより好ましい態様の離型フィルムを用いることで、セラミックコンデンサを構成するセラミックグリーンシートと内部電極との密着性不良がなくなり、また、当該シートを積層する際に位置ずれを生じず、さらに、その後の加圧工程において局所的な応力集中による静電容量の不均一を無くすことが出来る。   Further, by using the release film of a more preferable aspect of the present invention, there is no poor adhesion between the ceramic green sheet and the internal electrode constituting the ceramic capacitor, and no misalignment occurs when the sheets are laminated. Furthermore, it is possible to eliminate non-uniformity in capacitance due to local stress concentration in the subsequent pressurizing step.

Claims (6)

基材フィルムの少なくとも片面にシリコーン系樹脂皮膜からなる離型層を有し、該シリコーン系樹脂皮膜が、水酸基を有するシリコーンオイルと下記(1)式のイソシアネート化合物を反応させて得られるシリコーン化合物を含有してなる離型フィルムであって、該離型フィルムの剥離強度が0.1〜8g/50mm、残留接着率が80%以上の特性範囲を満足することを特徴とする離型フィルム。
Figure 2005313601
(ただし式中、nは1〜3の整数、Rはアルキル基、またはエステル基及び/又はケトン基及び/又は水酸基を有するアルキル基、またはアラルキル基、またはアルケニル基を示す。)
A base material film has a release layer composed of a silicone resin film on at least one surface, and the silicone resin film is obtained by reacting a silicone oil having a hydroxyl group with an isocyanate compound of the following formula (1): A release film comprising the release film, wherein the release film satisfies a characteristic range of a peel strength of 0.1 to 8 g / 50 mm and a residual adhesion rate of 80% or more.
Figure 2005313601
(In the formula, n represents an integer of 1 to 3, R represents an alkyl group, an ester group and / or a ketone group and / or a hydroxyl group having a hydroxyl group, an aralkyl group, or an alkenyl group.)
シリコーン系樹脂皮膜中にウレタン構造を有することを特徴とする請求項1に記載の離型フィルム。   The release film according to claim 1, wherein the silicone resin film has a urethane structure. シリコーン系樹脂皮膜面の中心線平均表面粗さ(Ra)が5〜60nmであることを特徴とする請求項1または2に記載の離型フィルム。   The release film according to claim 1 or 2, wherein the center line average surface roughness (Ra) of the silicone resin film surface is 5 to 60 nm. シリコーン系樹脂皮膜の蛍光X線法によるケイ素元素強度A(単位:kcps)が、下記(2)式を満足することを特徴とする請求項1〜3のいずれかに記載の離型フィルム。
5≦A≦40 (2)式
The release film according to any one of claims 1 to 3, wherein the silicon element strength A (unit: kcps) of the silicone resin film by the fluorescent X-ray method satisfies the following formula (2).
5 ≦ A ≦ 40 (2) Formula
基材フィルムがポリエステルフィルム、ポリオレフィンフィルム、ポリフェニレンサルファイドフィルム、ナイロンフィルムの何れかであることを特徴とする請求項1〜4のいずれかに記載の離型フィルム。   The release film according to any one of claims 1 to 4, wherein the base film is any one of a polyester film, a polyolefin film, a polyphenylene sulfide film, and a nylon film. ポリエステルフィルムがポリエチレンテレフタレートフィルム、ポリエチレン−2,6−ナフタレートフィルム、ポリエチレン−α,β−ビス(2−クロルフェノキシ)エタン−4,4’−ジカルボキシレートフィルムの何れかであることを特徴とする請求項5に記載の離型フィルム。   The polyester film is any one of a polyethylene terephthalate film, a polyethylene-2,6-naphthalate film, and a polyethylene-α, β-bis (2-chlorophenoxy) ethane-4,4′-dicarboxylate film. The release film according to claim 5.
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