JP2005313261A - 円弧状電極、これを用いたスリーブ部材の溝加工方法及びその装置 - Google Patents

Abstract

【課題】スリーブ部材と加工電極とがショートすること無く、スラッジを良好に排出でき、かつ１加工電極であっても、動圧流体溝数、その溝幅を変更できるスリーブ部材の溝加工装置を提供する。
【解決手段】スリーブ部材Ｐを保持するチャック１０と、断面が扇形で、スリーブ部材Ｐの中空円の中心を共有する円周の部分円周面に形成された加工電極２３が、少なくとも１個形成されている円弧状電極２０Ａと、その円弧状電極２０Ａをスリーブ部材Ｐの内部の軸方向の所定位置に移動させるＺ軸駆動装置４と、その所定位置からスリーブ部材Ｐの内周面に近接した位置へ、そしてその逆方向に円弧状電極２０Ａを移動させるＸＹステージ３と、円弧状電極２０Ａを所定の角度回動させるＣ軸回動装置７と、チャック１０と円弧状電極２０Ａとの間に所定の電圧を印加できる電源１５とを備えている。
【選択図】図１

Description

本発明は、モータの軸受けなどに用いられるスリーブ部材の中空内周面に動圧流体溝などの溝を形成するための円弧状電極、これを用いたスリーブ部材の溝加工方法及びその装置に関するものである。

通常、マイクロコンピュータのハードディスク駆動装置用のＤＣブラシレスモータ、ＣＤ−ＲＯＭ駆動装置用のＤＣモータなどでは、ハードディスク、ＣＤ−ＲＯＭなどの記録媒体を安定して高速回転させるために、軸受けとして動圧流体軸受が用いられている。動圧流体軸受は、一般的に、相対回転されるスリーブ状の軸受け部材（以下、スリーブ部材と記す）と軸部材とから構成され、スリープ部材の内周面及び／または軸部材の外周面に動圧流体溝が形成されている。

スリープ部材の内周面に動圧流体溝を形成する一加工方法として、例えば、下記の［特許文献１］に開示されたものが知られている。先ず、このスリーブ部材の溝加工方法を、図８及び図９を参照しながら説明する。

図８は従来技術の加工電極の拡大図であって、同図Ａはその斜視図、同図Ｂは同図ＡのＢ−Ｂ線上の断面図、そして図９は図８に示した加工電極を用いたスリーブ部材の溝加工工程図である。

先ず、図８を参照しながら、この従来技術のスリーブ部材の溝加工方法に用いられる加工電極８６を説明する。この加工電極８６は略円筒状の電極本体９２を備えており、電極本体９２は前加工用電極部９４、溝加工用電極部９６及び仕上げ加工用電極部９８を備えている。前加工用電極部９４は電極本体９２の上端部に設けられ、仕上げ加工用電極部９８は電極本体９２の下端部に設けられ、また溝加工用電極部９６は電極本体９２の軸線方向における中間部に設けられている。このように加工の際にスリーブ部材５２に作用し始める上端部から下端部に向けて前加工用電極部９４、溝加工用電極部９６及び仕上げ加工用電極部９８をこの順序で配置していて、加工電極８６を上方へ移動することにより、後記するように、スリーブ部材５２の中空内周面に前加工用電極部９４によって前加工を施し、次いで前加工後の前記内周面に溝加工用電極部９６によって溝加工を施し、その後、溝加工後の前記内周面の仕上げ加工が行えるように出来ている。

加工電極８６の溝加工電極部９６は、図８Ｂに示したように、電解加工を行うための複数個の電極片１００を備え、これら電極片１００が電極本体９２の周表面に周方向に間隔を置いて配設され、電極本体９２の周表面を規定している。各電極片１００は小さい矩形状に形成されており、電圧を印加するためのリード線１０２が電気的に接続され、これらリード線１０２は電極本体８６に連結された連結ロツド１０４（図８Ａ）の内部空間を通して外部に導出されている。前加工用電極部９４及び仕上げ加工用電極部９８は、溝加工用電極部９６と同一の構成であり、周方向に間隔を置いて設けられた複数個の電極片１０６、１０８をそれぞれ備えている。

前加工用電極部９４はスリーブ部材５２の内周面を所定の大きさとなるように前加工するためのものであり、この電極部９４における電極片１０６の間隔は小さく設定されている。また、溝加工用電極部９６はへリングボーン形状の動圧発生溝を形成するためのものであり、それ故に、この電極部９６における電極片１００の幅は形成される溝の幅に対応し、それらの間隔は、形成される溝の間隔に対応した間隔に設定されている。そして仕上げ加工用電極部９８は溝が形成されたスリ−ブ部材５２の内周面を所定の大きさに仕上げ加工するためのものであり、この電極部９８における電極片１０８の間隔は小さく設定されている。

加工電極８６の各電極片１００、１０６、１０８と加工するスリーブ部材５２（図９）には直流電源（不図示）が電気的に接続されている。

この従来技術の動圧流体溝の加工方法は、このような加工電極８６を用いてスリーブ加工を行っている。以下、図９を参照しながら従来技術の動圧流体溝の加工方法を説明する。

スリーブ部材５２の加工前は、図９Ａに示したように、シリンダ機構が収縮状態にあることから調芯部材７０は上昇位置に、保持スリーブ７２は下降位置に、また加工電極８６は非加工位置に保持される。このような状態においては、調芯部材７０は保持部材６６の上方に後退し、保持部材６６と調芯部材７０との間には、加工すべきスリーブ部材５２を保持部材６６に載置し、また保持部材６６から取除くための充分なスペースを取っている。また、保持スリーブ７２は保持部材６６の下方に後退している。加工電極８６は保持部材６６の下方に位置し、前記下降位置にある保持スリーブ７２内に収容された状態となっている。

加工に際しては、先ず、スリーブ部材５２を保持部材６６の保持凹部６８に収容し、仮載置する（図９Ａ）。これによってスリーブ部材５２を所定の加工位置に仮保持する。

次に、シリンダ機構を伸張して調芯部材７０を下降させて図９Ｂに示す保持位置に位置付ける。このようにすることにより、調芯部材７０の調芯部８２が保持部材６６に仮保持されたスリーブ部材５２の上端部の内周縁部に作用し、スリーブ部材５２は保持部材６６に載置された状態で所定の加工位置に位置付けられる。その後、また別のシリンダ機構を伸張して保持スリーブ７２を上昇させて図９Ｂに示す位置決め保持位置に位置付ける。このように位置決め保持位置に位置付けると、保持スリーブ７２の位置決め保持部９０の先端部が保持部材６６に載置されたスリ−ブ部材５２の下端部の内周縁部に作用し、このようにしてスリーブ部材５２を、所定の加工位置に正確に位置決めされて調芯部材７０の調芯部８２と保持スリーブ７２の位置決め保持部９０との間に保持する。

その後、回転機構（不図示）を下側から見て時計方向に回動しながら更に他のシリンダ機構（不図示）を伸張して図９Ｃに示すように加工電極８６の電極本体９２をスリーブ部材５２の内部に挿入する。そして、この挿入時、電解液を加工領域に供給すると共に、直流電源からの電圧をスリーブ部材５２と各電極片１００、１０６、１０８との間に印加する。電解液の供給は、供給ポンプ（不図示）を作動させることによって行われており、供給ポンプからの電解液は調芯部材７０の液注入孔８４を通して加工領域、即ち、スリーブ部材５２の内周面と加工電極８６の電極本体９２の外周面との間に供給され、電解加工を行う際に前記加工領域に電解液が介在するようになされている。加工領域への電解液の保持を確実に行うために、スリーブ部材５２の内周面と電極本体９２の外周面との間隔を、０．２ｍｍ以下に設定しており、このように設定することによって、電解液は毛細管現象によって電極本体９２とスリーブ部材５２の間隙に保持されるようになされている。

加工電極８６によるスリーブ部材５２の内周面の加工は、電極本体９２の先端部がスリーブ部材５２内に挿入されると、前加工用電極部９４の各電極片１０６（図８）に直流電源からの電圧が印加され、直流電源からの電流が、各電極片１０６から電解液を通してスリ−ブ部材５２の対向する部位に流れ、これによってスリーブ部材５２の内周面に前加工が施される。電極本体９２が前記したように回動しながら更に溝加工用電極部９６が所定位置まで挿入されると、溝加工用電極部９６の各電極片１００（図８）にも直流電源からの電圧が印加され、直流電源からの電流が、各電極片１００から電解液を通してスリーブ部材５２の対向する部位に流れ、これによってスリーブ部材５２の前加工された内周面に溝形成加工が施される。このようにして電極本体９２が回動しながら更に仕上げ加工用電極部９８がスリーブ部材５２に挿入されると、仕上げ加工用電極部９８の各電極片１０８（図８）にも直流電源からの電圧が印加され、直流電源からの電流が、各電極片１０８から電解液を通してスリーブ部材５２の対向する部位に流れ、これによってスリーブ部材５２の溝形成加工された内周面に仕上げ加工が施される。そして、溝加工用電極部９６がスリーブ部材５２の所定位置まで挿入されると、各電極片１００、１０６、１０８に電圧を印加した状態において回転機構１１４の回動方向が図において下側から見て反時計方向に切り換えられ、加工電極８６は前記した方向とは反対方向に回動しながら上昇される。このように加工電極８６を移動させることにより、スリーブ部材５２の内周面にへリングボーン状の複数個の溝を形成している。

以上記したように、この従来技術のスリーブ部材の溝加工方法は、加工電極８６を回動しながら上方に移動させ、このように上方に移動させることによって、前加工用電極部９４によりスリーブ部材５２の内周面に前加工を行い、溝形成電極部９６により前加工後の前記内周面に溝形成加工を行い、更に、仕上げ加工用電極部９８により溝形成加工後の前記内周面に仕上げ加工を行い、このようにして一加工工程で前加工、溝形成加工及び仕上げ加工を行う方法を採っている。
特許第３４５５４１０号第２頁、図２

前記のような従来技術の動圧流体溝の加工方法によれば、スリーブ部材と電極の隙間が非常に狭いため、スリーブ部材５２と加工電極８６とが接触してショートしないよう調芯する必要がある。

また、溝仕様が変更されると、その都度、加工電極８６を変更する必要がある。

更にまた、加工電極８６とスリーブ部材５２の間隔が狭いため、発生したスラッジが加工電極８６またはスリーブ部材５２付着し、良好な加工が出来ないこともある。

本発明は、これらの課題を解決しようとするものであって、スリーブ部材と加工電極とが接触することによるショートの心配が無く、スラッジを良好に流出させることができ、かつ１加工電極であっても、溝数、溝幅を変更できる円弧状電極、これを用いたスリーブ部材の溝加工方法及びその装置を得ることを目的とする。

それ故、前記課題を解決するため、本発明の円弧状電極は、断面が扇形の部分円周面で形成された電極本体のその部分円周面に、その部分円周面と同一の部分円周面の加工電極が少なくとも１個形成されていることを特徴とする。

前記円弧状電極は前記加工電極が複数個、前記電極本体の前記部分円周面の円周方向及び又は軸線方向に所定の間隔を開けて形成してもよく、また、前記電極本体の前記部分円周面及び前記加工電極の前記部分円周面はほぼ１２０度の角範囲にわたって形成されている。

更に、前記円弧状電極は、前記加工電極を除く前記電極本体の内周部から前記部分円周面に貫通する貫通孔或いは切り欠きが形成されていることが望ましい。

また、前記課題を解決するため、本発明のスリーブ部材の溝加工方法は、スリーブ部材の中空円内の軸線方向の所定の位置に、その中空円の直径より小で、前記中空円の内周面の曲率と同一の曲率の部分円周面で形成され、断面が扇形の電極本体のその部分円周面に、その部分円周面と同一の部分円周面の加工電極が少なくとも１個形成されている円弧状電極を、前記スリーブ部材の内周面から後退した位置に配置する第１ステップと、前記後退した位置から前記スリーブ部材の中空内周面に前記円弧状電極の前記加工電極を近接させた時に、前記中空内周面に溝を加工する第２ステップとを含む方法を採っている。

具体的には、このスリーブ部材の溝加工方法は、スリーブ部材の中空円内の軸線方向の所定の位置に、その中空円の直径より小で、前記中空円の内周面の曲率と同一の曲率の部分円周面で形成され、断面が扇形の電極本体のその部分円周面に、その部分円周面と同一の部分円周面の加工電極が少なくとも１個形成されている円弧状電極を、前記スリーブ部材の内周面から後退した状態で挿入する第１ステップと、その後、その円弧状電極の前記加工電極を前記スリーブ部材の前記内周面に近接させる第２ステップと、前記スリーブ部材及び前記円弧状電極に所定の電圧を印加して前記スリーブ部材の内周面に前記円弧状電極の前記加工電極の形状に対応した所定の深さの最初の溝を形成する第３ステップと、その後、前記円弧状電極を前記スリーブ部材の前記中空円の前記内周面から前記第１ステップの挿入位置まで後退させる第４ステップと、更にその後、前記円弧状電極を所定の角度回動する第５ステップと、前記円弧状電極が前記第５ステップにより回動した回動位置で前記円弧状電極を前記スリーブ部材の内周面に近接させ、前記第３ステップにより形成された前記最初の溝と同様の後続の溝を形成する第６ステップと、その後、前記第４ステップ乃至第６ステップを所定回数繰り返し行い、前記最初及び後続の溝と同一の更に後続の溝を形成して前記スリーブ部材の前記中空円の内周面全周に均一な間隔で溝を形成し終える第７ステップと、その後、前記円弧状電極を前記スリーブ部材の前記中空円の前記内周面から前記第１ステップの挿入位置まで後退させる第８ステップと、その後、前記円弧状電極を溝加工済みの前記スリーブ部材から抜き出す第９ステップとを含む方法を採っている。

そして、本発明のスリーブ部材の溝加工方法は、前記円弧状電極が前記スリーブ部材の前記内周面に近接した時に、前記円弧状電極と前記スリーブ部材との間に電圧を印加することを特徴とする。

また、本発明のスリーブ部材の溝加工方法においては、前記円弧状電極が前記スリーブ部材の前記内周面に近接した状態の時に、前記円弧状電極を、その軸線方向に僅かに揺動させるか、その円周方向に僅かに揺動させるか、或いは前記スリーブ部材の直径方向に僅かに揺動させることが望ましい。

前記溝の形成は電解加工で行ってもよく、放電加工で行ってもよい。電解加工で前記溝の形成を行っている間は電解液を前記円弧状電極の上から下に、或いは前記円弧状電極の下方から上方に一方向に循環させ、或いは前記円弧状電極の上方及び下方から交互に供給させながら行う。

更に、本発明のスリーブ部材の溝加工装置は、スリーブ部材を垂直に保持し、一方の電極となるチャックと、前記スリーブ部材の上方開口部から挿入され、断面が扇形で、前記スリーブ部材の内周面の曲率と同一の曲率の部分円周面で形成された電極本体のその部分円周面に、その部分円周面と同一の部分円周面の加工電極が少なくとも１個形成されている円弧状電極と、その円弧状電極を前記チャックに保持されたスリーブ部材の内部の軸方向の所定位置に移動させるＺ軸方向駆動手段と、前記スリーブ部材の内部の軸方向の前記所定位置において、その所定位置から前記スリーブ部材の内周面に近接した位置へ、そしてその逆方向に前記円弧状電極を移動させるＸ軸及び或いはＹ軸方向駆動手段と、前記円弧状電極を所定の角度回動させる回動手段と、前記円弧状電極が前記スリーブ部材の内周面に近接した時に、前記チャックと前記円弧状電極との間に所定の電圧を印加できる電源装置とを備えて構成されている。

前記Ｚ軸駆動手段には、必要に応じて、前記円弧状電極が前記スリーブ部材の中空内周面に近接した時に、その円弧状電極を前記スリーブ部材の軸方向に微細に揺動させる第１揺動手段を具備せしめることが望ましい。

また、前記回動手段には、必要に応じて、前記円弧状電極が前記スリーブ部材の中空内周面に近接した時に、その円弧状電極を前記スリーブ部材の内周方向に微細に揺動させる第２揺動手段を具備せしめることが望ましい。

更に、前記Ｘ軸及び或いはＹ軸方向駆動手段には、前記円弧状電極が前記スリーブ部材の中空内周面に近接した時に、その円弧状電極を前記スリーブ部材の直径方向に微細に揺動させる第３揺動手段を具備せしめることが望ましい。

前記スリーブ部材の溝加工装置は、加工が電解加工で行われる場合、前記チャックとそのチャックに保持された前記スリーブ部材とを電解液中に浸すための電解液糟を備え、そして前記電解液を前記スリーブ部材の中空円内を循環させ、発生するスラッジを除去する電解液循環手段を備えていることが望ましい。

従って、本発明の円弧状電極、スリーブ部材の溝加工方法及びその装置によれば、スリーブ部材の内周面との間に大きな空間を設けることができ、また、スリーブ部材の内周面に１本づつの溝を、或いは一度に複数本の溝を、或いは一度に複数本の溝を並列に形成することができ、そして、円弧状電極を用いることから、たとえスリーブ部材の内径が微小なものでも、そのスリーブ部材の内周面に溝を容易に形成でき、更に、その溝の加工時に発生するスラッジを容易に流出でき、スラッジが加工電極またはスリーブ部材の内周面に付着することがない。

本発明の円弧状電極によれば、
１．スリーブ部材との空間を十分に開けることができるので、スラッジを容易に流出させ ることができる。
２．スリーブ部材の内周面に１本づつ全周にわたって溝を順次形成でき、或いはスリーブ 部材の内周面に一度に複数本づつ全周にわたって溝を順次形成でき、或いはまたスリー ブ部材の内周面に一度に複数本づつ並列に全周にわたって溝を形成することができる。
３．円弧状電極の電極本体に孔、或いは切り欠きを設けることにより、スリーブ部材の内 周面へクリーンな電解液を流入させることができ、そしてその部分に発生するスラッジ を流れ出させる効果を更に持たせることができる。

また、本発明のスリーブ部材の溝加工方法によれば、
１．スリーブ部材と円弧状電極の隙間はその円弧状電極が所定の位置に設定後、スリーブ 部材の内周面の方へ向かって前記隙間を詰めて行く方法を採っていることから、スリー ブ部材と円弧状電極とがショートする心配が無い。
２．スリーブ部材と円弧状電極の隙間は十分に取れることから、発生したスラッジを流出 させることができる。
３．１加工電極の円弧状電極で溝数、溝幅が変更できる。
４．また、１円弧状電極に複数の加工電極を形成しておけば、複数の溝を同時に形成する ことができる。
５．更に、スリーブ部材の内周面に対して円弧状電極を揺動させることにより、電解液を 攪拌することができ、電解液を加工面に供給できる。
６．この加工法は放電加工にも適用できる。

更にまた、本発明のスリーブ部材の溝加工装置によれば、
１．構成が簡単でありながら、内径が極めて微小なスリーブ部材であっても、その円形内 周面にモータ用の動圧流体溝などの溝を容易に形成することができる。
２．ＸＹステージ、Ｚ軸駆動装置、Ｃ軸回動装置など既存の装置を用いていることから比 較的安価である。
３．円弧状電極の上または下に電解液を噴射するポンプなど、または吸い込むポンプなど を装備することにより、電解液をシャッフル状態にでき、円弧状電極またはスリーブ部 材へのスラッジの付着を防止することができ、良好な溝加工を行うことができる。

以上のように、本発明は数々の優れた効果が得られる。

先ず、本発明のスリーブ部材の溝加工装置であるが、このスリーブ部材の溝加工装置は、スリーブ部材を垂直に保持し、一方の電極となるチャックと、前記スリーブ部材の上方開口部から挿入され、断面が扇形で、前記スリーブ部材の中空内周面の曲率と同一の曲率の部分円周面で形成された電極本体のその部分円周面に、その部分円周面と同一の部分円周面の加工電極が少なくとも１個形成されている円弧状電極と、その円弧状電極を前記チャックに保持されたスリーブ部材の内部の軸方向の所定位置に移動させるＺ軸方向駆動手段と、前記スリーブ部材の内部の軸方向の前記所定位置において、その所定位置から前記スリーブ部材の内周面に近接した位置へ、そしてその逆方向に前記円弧状電極を移動させるＸ軸及び或いはＹ軸方向駆動手段と、前記円弧状電極を所定の角度回動させる回動手段と、前記円弧状電極が前記スリーブ部材の内周面に近接した時に、前記チャックと前記円弧状電極との間に所定の電圧を印加できる電源装置とを備えて構成されている。

前記の円弧状電極は、断面が扇形の部分円周面で形成された電極本体のその部分円周面に、その部分円周面と同一曲率の部分円周面の加工電極が少なくとも１個形成されているが、この円弧状電極における前記加工電極が複数個、前記電極本体の前記部分円周面の軸線方向に所定の間隔を開けて形成されているものであってもよい。

また、この円弧状電極は、その電極本体の前記部分円周面及び前記加工電極の前記部分円周面がほぼ１２０度の角範囲にわたって形成されていることが望ましい。

更に、前記円弧状電極は、前記加工電極を除く前記電極本体の内周部から前記部分円周面に貫通する貫通孔或いは切り欠きが形成されているものであってもよい。

次に、この円弧状電極及び前記スリーブ部材の溝加工装置を用いてスリーブ部材を加工する本発明のスリーブ部材の溝加工方法は、先ず、前記Ｚ軸方向駆動手段により前記円弧状電極を、前記チャックに垂直に保持された前記スリーブ部材の中空円内の軸線方向の所定の位置に、前記スリーブ部材の円形内周面から後退した状態で挿入する。その後、前記Ｘ軸及び或いはＹ軸方向駆動手段によりその円弧状電極の前記加工電極を前記スリーブ部材の前記内周面に近接させる。続いて前記電源装置から前記スリーブ部材及び前記円弧状電極に所定の電圧を印加して前記スリーブ部材の内周面に前記円弧状電極の前記加工電極の形状に対応した所定の深さの最初の溝を形成する。この最初の溝を形成し終えると、前記Ｘ軸及び或いはＹ軸方向駆動手段により前記円弧状電極をスリーブ部材の内周面から後退させ、そして前記回動手段により所定の角度だけ前記加工電極を回動させ、更に前記Ｘ軸及び或いはＹ軸方向駆動手段により前記スリーブ部材の円形内周面に近接させ、前記電源装置から前記スリーブ部材及び前記円弧状電極に所定の電圧を印加して前記スリーブ部材の内周面に前記円弧状電極の前記加工電極の形状に対応した所定の深さの第２番目の溝を形成する。以下、これらスリーブ部材の内周面に対する円弧状電極の一連の動作を所定回数繰り返し行い、前記スリーブ部材の所定の高さ位置における内周面全周に所定の溝を形成する。その後、前記Ｘ軸及び或いはＹ軸方向駆動手段により前記円弧状電極を前記スリーブ部材の前記円形内周面から前記挿入位置まで後退させ、そしてその後退位置において、前記Ｚ軸方向駆動手段により前記円弧状電極を溝加工済みの前記スリーブ部材から抜き出す。

このような一連の動作を行うことにより所定の高さ位置における内周面全周に所定の溝が形成されたスリーブ部材が得られる。二重の溝を施す場合には、前記Ｚ軸方向駆動手段により前記円弧状電極を、前記スリーブ部材の中空円内の前記第１番目の溝の位置とは異なる高さ位置に移動させて前記と同様の一連の動作を行うことにより第２、第３・・・の一連の溝を形成することができる。

また、前記円弧状電極が前記スリーブ部材の円形内周面に近接した時に、前記第１揺動手段によりその円弧状電極を前記スリーブ部材の軸方向に揺動させて溝幅を広げることもでき、或いは前記第２揺動手段によりその円弧状電極を前記スリーブ部材の内周方向に揺動させて溝幅を広げることもでき、同時に電解液を用いた電解加工を行っている場合には、その電解液を攪拌して電解加工面に電解液を供給することができる。

このスリーブ部材の溝加工方法は、前記のように電解液による電解加工で溝の形成を行ってもよく、また、放電加工によって溝の形成を行ってもよい。

前者の場合、前記電解液循環手段を用いて前記電解液を前記スリーブ部材の中空円内を循環させ、発生するスラッジを除去する方法を採ることが望ましい。この電解液循環手段はポンプ、電解液タンク、スラッジ除去装置からなり、前記円弧状電極と前記チャックとにパイプを介して接続されている。

以下、図を用いて、本発明の円弧状電極、これを用いたスリーブ部材の溝加工方法及びその装置を説明する。なお、以下の実施例においては、スリーブ部材はモータの動圧流体軸受けに加工されるものであり、そのスリーブ部材の内周面にヘリングボーン状の動圧流体溝を形成する例を採り上げて説明する。

図１は本発明の一実施例のスリーブ部材の溝加工装置の構成図、図２は図１に用いて好適な第１実施例の円弧状電極を示していて、同図Ａはその正面図、同図Ｂは同図Ａの上面図、同図Ｃは同図Ｂの矢示Ａから見た展開図、同図Ｄは同図ＣのＢ−Ｂ線上における断面図、図３は図１に示したスリーブ部材の溝加工装置を用いてスリーブ部材を加工する本発明のスリーブ部材の溝加工方法を説明するための工程図であって、各工程図の図ａはスリーブ部材、電極、チャックの関係位置を示した側面図、図ｂは図ａの上面図、図４は図３に続く工程図、図５は本発明のスリーブ部材の溝加工方法によって形成することができる各種の溝の展開パターン図、図６は本発明の第２実施例の円弧状電極を示していて、同図Ａはその正面図、同図Ｂは同図Ａの上面図、同図Ｃは同図Ｂの矢示Ａから見た展開図、同図Ｄは同図ＣのＢ−Ｂ線上における断面図、そして図７は本発明の第３実施例の円弧状電極を示していて、同図Ａはその正面図、同図Ｂは同図Ａの上面図、同図Ｃは同図Ｂの矢示Ａから見た展開図、同図Ｄは同図ＣのＢ−Ｂ線上における断面図である。

先ず、図１を用いて、本発明のスリーブ部材の溝加工装置の構成を説明する。図１において、符号１は全体として本発明のスリーブ部材の溝加工装置を指す。このスリーブ部材の溝加工装置１は、フレーム２、ＸＹステージ３、Ｚ軸駆動装置４、Ｚ軸５、Ｚ軸スライダ６、Ｃ軸回動装置７、回動軸８、電解液糟９、チャック１０、ポンプ１１、電解液タンク１２、スラッジ除去装置１３、パイプ１４、電源１５、コントローラ１６、中継ボックス１７、本発明の第１実施例の円弧状電極２０Ａなどから構成されている。

フレーム２の下端部にはＸＹステージ３が水平に固定されており、そのＸＹステージ３には側面から上面中央部にＪ字状に貫通している貫通孔３ａが形成されている。そしてＸＹステージ３の上面には電解液糟９が固定されている。この電解液糟９の底面中央部には前記貫通孔３ａに合致した貫通孔９ａが形成されている。電解液糟９の内部底面にチャック１０が水平に固定されている。チャック１０は導電性の部材で形成されており、被加工物であり、軸受けとなるスリーブ部材（以下、単に「スリーブ部材」と記す）Ｐが嵌合できる円形凹部１０ａが形成されている容器状のもので、その円形凹部１０ａの底面１０ｂの中央部には前記貫通孔９ａに合致する貫通孔１０ｃが形成されている。貫通孔３ａ、貫通孔９ａ、及び貫通孔１０ｃは１本の貫通孔に接続される。

ＸＹステージ３をＸ軸方向及び又はＹ軸方向に調整することにより電解液糟９共々チャック１０に保持されたスリーブ部材ＰをＸ軸方向及び又はＹ軸方向に移動させ、その中心軸を後記する円弧状電極２０の中心軸に合わせることができる。

フレーム２の上端部にはＺ軸駆動装置４が取り付けられていて、その下方にはＺ軸５がスライドできるように支持するＺ軸スライダ６がフレーム２に固定されている。Ｚ軸５の下端にはＣ軸回動装置７が固定されており、その回動軸８には、後記する円弧状電極２０が取り付けられている。円弧状電極２０はその長軸がＸＹステージ３の水平面に対して垂直になるように取り付けられている。

かくしてコントローラ１６の制御の下に中継ボックス１７を制御することにより、Ｚ軸駆動装置４を作動させることができ、Ｃ軸回動装置７を上下方向にスライドさせることができる。また、コントローラ１６の制御の下に中継ボックス１７を制御することにより、Ｃ軸回動装置７を作動させることができ、円弧状電極２０を所定の角度回動させることができる。

ポンプ１１の出力側のパイプ１４ａは円弧状電極２０の要部分２１ａ（図２Ｂ）の上端に連結されており、ポンプ１１には電解液タンク１２がパイプ１４ｂを介して連結されており、電解液タンク１２にはスラッジ除去装置１３がパイプ１４ｃを介して連結されており、そしてスラッジ除去装置１３の入力側はパイプ１４ｄ、貫通孔３ａ、貫通孔９ａを介してチャック１０の貫通孔１０ｃに連結されている。

かくしてポンプ１１を作動させることにより、電解液糟９中の電解液Ｌはスラッジ除去装置１３に環流し、ここで電解液Ｌ中のスラッジが除去される。スラッジが除去されたクリーンな電解液Ｌは電解液タンク１２に貯蔵され、ポンプ１１で円弧状電極２０の上端からスリーブ部材Ｐの中空円の空間Ｓ内に供給される。スラッジは後記するスリーブ部材Ｐの溝加工により生じる。このようにしてクリーンな電解液Ｌが円弧状電極２０とスリーブ部材Ｐの内周加工面との間に循環し、供給される。

電源１５は、その（＋）電極をチャック１０に接続し、その（−）電極を円弧状電極２０に接続する。円弧状電極２０Ａがスリーブ部材Ｐの内周面に近接している時に、スイッチ１５ａをオンし、チャック１０と円弧状電極２０Ａとの間に所定の電圧を印加し、電解加工を行う。円弧状電極２０Ａがスリーブ部材Ｐの中空内周面から離間する時には、スイッチ１５ａをオフし、チャック１０と円弧状電極２０Ａとの間には電圧を印加しない。この電源１５のオン・オフは円弧状電極２０Ａ及びＸＹステージ３の動きに同期してコントローラ１６の制御下で中継ボックス１７を制御することにより行われる。

かくして円弧状電極２０Ａの加工電極２３が相対しているスリーブ部材Ｐの中空内周面の所定位置に電解加工により後記するような所定の溝を形成することができ、スリーブ部材Ｐの内周面の前記所定位置以外の部分には無用な電解加工が行われないようにすることができる。

次に、図２を用いて、前記の円弧状電極２０の構造を説明する。この円弧状電極２０Ａは本発明の第１実施例の円弧状電極である。この円弧状電極２０Ａは、例えば、銅、タングステンカッパーなどで出来ており、同図Ｂに示したように、円柱の端面を約１２０度の扇形の角範囲でその長軸方向に分割した棒状の電極本体２１からなり、その部分円周面２２には、同図Ｃに展開図で示したように、横たわった状態のＶ字状加工電極２３が形成されている。電極本体２１の部分円周面２２は加工しようとするスリーブ部材Ｐの中空内周面の曲率と同一の曲率なるように形成されている。この円弧状電極２０Ａの扇の要部分２１ａは円弧状に切り掛かれており、この要部分２１ａはパイプ１４ａが連結される部分である。

なお、同図Ｄに示したように、加工電極２３のスリーブ部材Ｐに相対する円周面２４を除いた他の部分の表面は絶縁コーティング層２５で被覆されている。

スリーブ部材Ｐの中空円の直径が１．５ｍｍである場合、この円弧状電極２０Ａの各部の寸法の一例を挙げると、電極本体２１の高さ（長さ）Ｈは２ｍｍ、電極本体２１の中心から部分円周面２２までの半径Ｒａは０．５５ｍｍ、加工電極２３の中心からの円周面２４までの半径Ｒｂは０．７５ｍｍ、加工電極２３のＶ字角度θは４０°、加工電極２３の幅Ｗは０．１３５ｍｍ、加工電極２３の円周面２４の部分円周面２２からの幅方向の半径Ｒｃは０．２５８ｍｍである。

スリーブ部材の溝加工装置１と円弧状電極２０Ａとは以上説明したような構成、構造のものであるが、次に、図３及び図４を参照しながら、このスリーブ部材の溝加工装置１と円弧状電極２０を用いて被加工物であるスリーブ部材Ｐの中空円の内周面に所定の動圧流体溝を加工、形成するスリーブ部材の溝加工方法を説明する。

加工しようとするスリーブ部材Ｐの材質は、例えば、ステンレススチールであって、図３Ａに示したように、その中空円の直径Ｄが、例えば、１．５ｍｍ程度のものである。このスリーブ部材Ｐを、同図Ｂに示したように、チャック１０の円形凹部１０ａ内に嵌め込み、スリーブ部材Ｐの嵌め込まれた部分の外周面と円形凹部１０ａの内周面とを接触させる。チャック１０に固定したスリーブ部材Ｐは完全に電解液面下に配置されるように電解液糟９内に電解液Ｌを満たす。

一方、円弧状電極２０ＡをＣ軸回動装置７の回動軸８に垂直に取り付ける。この円弧状電極２０Ａの部分円周面２２は前記のように加工しようとするスリーブ部材Ｐの中空内周面の曲率と同一の曲率の円周の一部分となっている。次に、図１、図３Ａｂに示したように、パイプ１４ａの先端部を円弧状電極２０Ａの要部分２１ａ（図２Ｂ）に取り付ける。

次に、図３Ａに示したように、円弧状電極２０Ａの部分円周面２２の中心がスリーブ部材Ｐの中空内周面の中心より偏芯量εだけ後退した位置関係になるように、ＸＹステージ３を操作してチャック１０に固定されているスリーブ部材Ｐの位置を微調整する。

そして、Ｚ軸駆動装置４を作動し、円弧状電極２０Ａを降下させて、同図Ｃに示したように、円弧状電極２０Ａをスリーブ部材Ｐの中空円内に挿入する。この時の円弧状電極２０Ａの位置は、その中心がスリーブ部材Ｐの中空内周面の中心より偏芯量ε（図Ａｂ）後退した位置である。即ち、円弧状電極２０Ａの加工電極２３は加工しようとするスリーブ部材Ｐの中空内周面から離れた後退位置にある。このスリーブ部材Ｐと円弧状電極２０Ａとの位置関係は図３Ａ及び図３Ｂの場合も同様である。

次に、ポンプ１１を作動してクリーンな電解液Ｌをスリーブ部材Ｐの中空円の空間Ｓ内に噴出、供給し、スリーブ部材Ｐと円弧状電極２０Ａとの間に供給しながら、図３Ｄに示したように、円弧状電極２０Ａの電極本体２１を偏芯量εが零になる位置までスリーブ部材Ｐの加工しようとする中空内周面の方に移動させ、円弧状電極２０Ａの加工電極２３をスリーブ部材Ｐの前記中空内周面に近接させる。そしてチャック１０及び円弧状電極２０Ａに電源１５から所定の直流電圧を印加して、所定の時間、その位置に円弧状電極２０Ａを留める。そうすると電源１５からの直流が加工電極２３から電解液Ｌを通じてスリーブ部材Ｐの中空内周面の相対する部位に流れて電解加工が行われ、加工電極２３の形状に対応した、そして所定の深さの最初のＶ字状溝３０ａ（図５Ａ）を形成する。なお、図３Ｄでは円弧状電極２０Ａの加工電極２３がスリーブ部材Ｐの中空内周面に接触しているように描かれているが、実際には極僅かな間隙、たとえば加工条件によるが、０．１ｍｍ程度の間隙が開いている。

次に、電源１５のスイッチ１５ａを切り、そしてコントローラ１６の制御の下に、ＸＹステージ３をＸ軸方向或いはＹ軸方向に微細に作動させて、スリーブ部材Ｐの加工内周面から直径方向に円弧状電極２０Ａを最大偏芯量ε後退させ、続いてＣ軸回動装置７を作動させて、図３Ｄの状態から円弧状電極２０Ａを、図４Ａに示したように、所定の回動角度αだけ回動させ、その後、再度、ＸＹステージ３を作動させて円弧状電極２０Ａを中空内周面に近接させ、その位置でスリーブ部材Ｐの中空内周面に最初のＶ字状溝３０ａと同様の第２番目のＶ字状溝３０ｂを電解加工で形成する。

以下、このような動作を繰り返し、図５Ａに示したように、スリーブ部材Ｐの中空内周面の一周にわたってＶ字状溝３０が所定の間隔で形成されるまで電解加工を行う。図４Ｂにおける円弧状電極２０Ａの回動角位置は最終のＶ字状溝３０を形成し、その形成位置から円弧状電極２０Ａを偏芯量εだけ後退させた状態を示している。

次に、図４Ｂに示した状態の位置で、図４Ｃに示したように、Ｚ軸駆動装置４を作動させて円弧状電極２０Ａを上昇させ、スリーブ部材Ｐの内周面から引き上げる。そして図４Ｄに示したように、加工されて動圧流体軸受けとなったスリーブ部材Ｐをチャック１０から取り出す。

スリーブ部材Ｐの加工中は、スリーブ部材Ｐと円弧状電極２０Ａとの間にポンプ１１でクリーンな電解液Ｌが噴出、供給され、電解エッチングで発生したスラッジはスリーブ部材Ｐの中空円内の円弧状電極２０Ａが存在しない空間Ｓ内を自在に移動して、チャック１０の底面の貫通孔１０ｃ、電解液糟９の貫通孔９ａ、ＸＹステージ３の貫通孔３ａ及びパイプ１４ｄを経てスラッジ除去装置１３に環流し、そのスラッジ除去装置１３でスラッジが除去され、そのスラッジが除去されたクリーンな電解液Ｌは電解液タンク１２に貯蔵されて、ポンプ１１によりパイプ１４ａを経て円弧状電極２０Ａの上端部から加工されているスリーブ部材Ｐの中空内に噴出、供給されるように構成されている。なお、電解液Ｌの一例としてはＮａＮＯ３（硝酸ナトリウム）を３０重量％含有するものを挙げることができる。

前記の実施例では、一連の動圧流体溝３０は図５Ａに示したようにスリーブ部材Ｐの内周面に１列に形成されたものであるが、必要に応じて図５Ｂに示したように２列にも、図示していないが、３列にも形成できる。

一連の動圧流体溝３０をスリーブ部材Ｐの内周面に２列に形成する場合には、図４Ｂにおいて第１列目の動圧流体溝３０が形成され終わった後で、Ｚ軸駆動装置４を作動して円弧状電極２０Ａを降下させ、そしてＣ軸回動装置７を作動して円弧状電極２０Ａを図３Ｄの角位置まで回動させ、以下、図４の各工程で説明したような加工を行えば、第２列目の一連の動圧流体溝３０を形成することができる。

第３列目の動圧流体溝３０を形成する場合も同様の一連の動作と加工を行えば、形成することができる。

前記の実施例では電極本体２１に１個の加工電極２３が設けられている円弧状電極２０Ａを用いて、動圧流体溝を１本づつ形成する方法を説明したが、電極本体２１の部分円周面２２の円周方向に複数の加工電極２３を設けて、複数の動圧流体溝３０を同時に形成する方法を採ってもよく、また、電極本体２１の部分円周面２２の軸方向に複数の加工電極２３を設けて、図５Ｂに示したように、上下方向に複数の動圧流体溝３０を同時に形成する方法を採っても良い。更に、電極本体２１の部分円周面２２の周方向及び軸方向に複数の加工電極２３を設けて、図５Ｂに示したように、周方向及び上下方向に複数の動圧流体溝３０を同時に形成する方法を採っても良い。

図３Ｄの電解加工工程で、コントローラ１６によりＣ軸回動装置７を作動させて円弧状電極２０Ａを±δαの微細な角度の範囲で揺動させると、図５Ｃに示したような動圧流体溝３１をスリーブ部材Ｐの内周面に形成することができる。このような動圧流体溝３１の幅は動圧流体溝３０の幅より若干広くなる。そればかりか、このように円弧状電極２０Ａを揺動させることにより、電解液Ｌを攪拌することができ、円弧状電極２０Ａとスリーブ部材Ｐとの間の電解液Ｌの流動性が高まり、両者間に発生したスラッジがより良く流れ易くなる。

また、図３Ｄの電解加工工程で、コントローラ１６によりＺ軸駆動装置４を作動させて円弧状電極２０Ａを±δｚの微細な範囲で上下方向に揺動させると、図５Ｄに示したような動圧流体溝３２をスリーブ部材Ｐの内周面に形成することができる。このような動圧流体溝３２の幅も動圧流体溝３０の幅より若干広くすることができる。そしてこの場合も、このように円弧状電極２０Ａを揺動させることにより、円弧状電極２０Ａとスリーブ部材Ｐとの間に発生したスラッジをより良く流すことができる。

更に図３Ｄの電解加工工程で、コントローラ１６によりＸＹステージ３をＸ軸方向或いはＹ軸方向に作動させて円弧状電極２０Ａをスリーブ部材Ｐの直径方向に僅かに揺動させても、電解液Ｌを攪拌することができる。

なお、スラッジを含む電解液Ｌの環流は、前記のように円弧状電極２０Ａの上方からクリーンな電解液Ｌを噴出、供給し、チャック１０の下方からスラッジを含む電解液を排出させる方法に代え、その逆に円弧状電極２０Ａの下方から電解液Ｌを噴出、供給し、その上方から排出、環流させる方法を採ってもよく、或いはそれら双方からの環流方法を採ってもよく、更に、ポンプなどで電解液Ｌを吸い込む方法を採ってもよい。

円弧状電極を改良することでも、電解液Ｌを攪拌し、前記スラッジを流し易くすることができる。その円弧状電極２０Ｂを本発明の第２実施例として図６に示した。この円弧状電極２０Ｂは、同図Ａ及び同図Ｃに示したように、加工電極２３を避けて電極本体２１に複数の貫通孔２６を形成したものである。

このような複数の貫通孔２６を設けることにより、円弧状電極２０Ａとスリーブ部材Ｐとの間に発生したスラッジをより良く流すことができる。

なお、円弧状電極２０Ａと同一の部分には同一の符号を付して、それらの説明を省略する。

図７に本発明の第３実施例の円弧状電極を示した。この円弧状電極２０Ｃは第２実施例の円弧状電極２０Ｂの改良であって、同図Ａ及び同図Ｃに示したように、貫通孔２６の代わり、加工電極２３を外して電極本体２１に複数の切り込み２７を入れたものである。

このような複数の切り込み２７を設けることにより、円弧状電極２０Ａとスリーブ部材Ｐとの間に発生したスラッジをより一層良好に流すことができる。

なお、円弧状電極２０Ａと同一の部分には同一の符号を付して、それらの説明を省略する。

以上、本発明者によってなされた発明の実施例を具体的に説明したが、本発明は前記実施例に限定されるものではなく、その要旨を逸脱しない範囲で種々変形可能であるというのは記すまでもない。

例えば、前記の実施例では、電解液を用いて動圧流体溝を形成するスリーブ部材の溝加工方法を説明したが、本発明はこの方法に限定されるものではなく、放電加工方法によっても動圧流体溝を形成できることを付言しておく。

また、本発明においては、Ｖ字状の動圧流体溝のみならず、あらゆる種類の形状加工に対しても同様に適用することができる。

更に、前記の実施例において、スリーブ部材と円弧状電極との位置合わせはＸＹステージでスリーブ部材の方を微調整することによって行っているが、このスリーブ部材の方を固定し、円弧状電極の方を微調整することによっても位置合わせができる。

本発明の一実施例のスリーブ部材の溝加工装置の構成図である。 図１に用いて好適な第１実施例の円弧状電極を示していて、同図Ａはその正面図、同図Ｂは同図Ａの上面図、同図Ｃは同図Ｂの矢示Ａから見た展開図、同図Ｄは同図ＣのＢ−Ｂ線上における断面図である。 図１に示したスリーブ部材の溝加工装置を用いてスリーブ部材を加工する本発明のスリーブ部材の溝加工方法を説明するための工程図であって、各工程図の図ａはスリーブ部材、電極、チャックの関係位置を示した側面図、図ｂは図ａの上面図である。 図３に続く工程図である。 本発明のスリーブ部材の溝加工方法によって形成することができる各種の溝の展開パターン図である。 本発明の第２実施例の円弧状電極を示していて、同図Ａはその正面図、同図Ｂは同図Ａの上面図、同図Ｃは同図Ｂの矢示Ａから見た展開図、同図Ｄは同図ＣのＢ−Ｂ線上における断面図である。 本発明の第３実施例の円弧状電極を示していて、同図Ａはその正面図、同図Ｂは同図Ａの上面図、同図Ｃは同図Ｂの矢示Ａから見た展開図、同図Ｄは同図ＣのＢ−Ｂ線上における断面図である。 従来技術の加工電極の拡大図であって、同図Ａはその斜視図、同図Ｂは同図ＡのＢ−Ｂ線上の断面図である。 図８に示した加工電極を用いたスリーブ部材の溝加工工程図である。

符号の説明

１…本発明の一実施例のスリーブ部材の溝加工装置、２…フレーム、３…ＸＹステージ、４…Ｚ軸駆動装置、６…Ｚ軸スライダ、７…Ｃ軸回動装置、８…回動軸、９…電解液糟、１０…チャック、１０ａ…円形凹部、１１…ポンプ、１２…電解液タンク、１３…スラッジ除去装置、１４…パイプ、１５…電源、２０Ａ…本発明の第１実施例の円弧状電極、２０Ｂ…本発明の第２実施例の円弧状電極、２０Ｃ…本発明の第３実施例の円弧状電極、２１…電極本体、２２…電極本体２１の部分円周面、２３…加工電極、２４…加工電極２３の円周面、２５…絶縁コーティング層、２６…貫通孔、２７…切り込み、３０，３１，３２…動圧流体溝、Ｐ…スリーブ部材、Ｓ…スリーブ部材Ｐの中空空間

Claims (19)

1. 断面が扇形の部分円周面で形成された電極本体の該部分円周面に、該部分円周面と同一の部分円周面の加工電極が少なくとも１個形成されていることを特徴とする円弧状電極。
2. 前記加工電極が複数個、前記電極本体の前記部分円周面の円周方向及び又は軸線方向に所定の間隔を開けて形成されていることを特徴とする請求項１に記載の円弧状電極。
3. 前記電極本体の前記部分円周面及び前記加工電極の前記部分円周面はほぼ１２０度の角範囲にわたって形成されていることを特徴とする請求項１または請求項２に記載の円弧状電極。
4. 前記加工電極を除く前記電極本体の内周部から前記部分円周面に貫通する貫通孔或いは切り欠きが形成されていることを特徴とする請求項１、請求項２または請求項３に記載の円弧状電極。
5. スリーブ部材の中空円内の軸線方向の所定の位置に、該中空円の直径より小で、前記中空円の内周面の曲率と同一の曲率の部分円周面で形成され、断面が扇形の電極本体の該部分円周面に、該部分円周面と同一の部分円周面の加工電極が少なくとも１個形成されている円弧状電極を、前記スリーブ部材の内周面から後退した位置に配置する第１ステップと、
   前記後退した位置から前記スリーブ部材の中空内周面に前記円弧状電極の前記加工電極を近接させた時に、前記中空内周面に溝を加工する第２ステップと
   を含むスリーブ部材の溝加工方法。
6. スリーブ部材の中空円内の軸線方向の所定の位置に、該中空円の直径より小で、前記中空円の内周面の曲率と同一の曲率の部分円周面で形成され、断面が扇形の電極本体の該部分円周面に、該部分円周面と同一の部分円周面の加工電極が少なくとも１個形成されている円弧状電極を、前記スリーブ部材の内周面から後退した状態で挿入する第１ステップと、
   その後、該円弧状電極の前記加工電極を前記スリーブ部材の前記内周面に近接させる第２ステップと、
   前記スリーブ部材及び前記円弧状電極に所定の電圧を印加して前記スリーブ部材の内周面に前記円弧状電極の前記加工電極の形状に対応した所定の深さの最初の溝を形成する第３ステップと、
   その後、前記円弧状電極を前記スリーブ部材の前記中空円の前記内周面から前記第１ステップの挿入位置まで後退させる第４ステップと、
   更にその後、前記円弧状電極を所定の角度回動する第５ステップと、
   前記円弧状電極が前記第５ステップにより回動した回動位置で前記円弧状電極を前記スリーブ部材の内周面に近接させ、前記第３ステップにより形成された前記最初の溝と同様の後続の溝を形成する第６ステップと、
   その後、前記第４ステップ乃至第６ステップを所定回数繰り返し行い、前記最初及び後続の溝と同一の更に後続の溝を形成して前記スリーブ部材の前記中空円の内周面全周に均一な間隔で溝を形成し終える第７ステップと、
   その後、前記円弧状電極を前記スリーブ部材の前記中空円の前記内周面から前記第１ステップの挿入位置まで後退させる第８ステップと、
   その後、前記円弧状電極を溝加工済みの前記スリーブ部材から抜き出す第９ステップと
   を含むスリーブ部材の溝加工方法。
7. 前記円弧状電極が前記スリーブ部材の前記内周面に近接した時に、前記円弧状電極と前記スリーブ部材との間に電圧を印加することを特徴とする請求項６に記載のスリーブ部材の溝加工方法。
8. 前記円弧状電極が前記スリーブ部材の前記内周面に近接した状態の時に、前記円弧状電極を、その軸線方向に僅かに揺動させることを特徴とする請求項６に記載のスリーブ部材の溝加工方法。
9. 前記円弧状電極が前記スリーブ部材の前記内周面に近接した状態の時に、前記円弧状電極を、その円周方向に僅かに揺動させることを特徴とする請求項６に記載のスリーブ部材の溝加工方法。
10. 前記円弧状電極が前記スリーブ部材の前記内周面に近接した状態の時に、前記円弧状電極を、前記スリーブ部材の直径方向に僅かに揺動させることを特徴とする請求項６に記載のスリーブ部材の溝加工方法。
11. 前記溝の形成は電解液中で行われることを特徴とする請求項６、請求項７、請求項８、請求項９または請求項１０に記載のスリーブ部材の溝加工方法。
12. 少なくとも前記溝の形成中は前記電解液を前記円弧状電極の上から下に、或いは前記円弧状電極の下方から上方に一方向に循環させ、或いは前記円弧状電極の上方及び下方から交互に供給させながら行われることを特徴とする請求項１１に記載のスリーブ部材の溝加工方法。
13. 前記溝の形成は放電加工で行われることを特徴とする請求項６、請求項７、請求項８、請求項９または請求項１０に記載のスリーブ部材の溝加工方法。
14. スリーブ部材を垂直に保持し、一方の電極となるチャックと、
    前記スリーブ部材の上方開口部から挿入され、断面が扇形で、前記スリーブ部材の内周面の曲率と同一の曲率の部分円周面で形成された電極本体の該部分円周面に、該部分円周面と同一の部分円周面の加工電極が少なくとも１個形成されている円弧状電極と、
    該円弧状電極を前記チャックに保持されたスリーブ部材の内部の軸方向の所定位置に移動させるＺ軸方向駆動手段と、
    前記スリーブ部材の内部の軸方向の前記所定位置において、該所定位置から前記スリーブ部材の内周面に近接した位置へ、そしてその逆方向に前記円弧状電極を移動させるＸ軸及び或いはＹ軸方向駆動手段と、
    前記円弧状電極を所定の角度回動させる回動手段と、
    前記円弧状電極が前記スリーブ部材の内周面に近接した時に、前記チャックと前記円弧状電極との間に所定の電圧を印加できる電源装置と
    を備えて構成されていることを特徴とするスリーブ部材の溝加工装置。
15. 前記Ｚ軸駆動手段は前記円弧状電極が前記スリーブ部材の中空内周面に近接した時に、その円弧状電極を前記スリーブ部材の軸方向に微細に揺動させる第１揺動手段を備えていることを特徴とする請求項１４に記載のスリーブ部材の溝加工装置。
16. 前記回動手段は前記円弧状電極が前記スリーブ部材の中空内周面に近接した時に、その円弧状電極を前記スリーブ部材の内周方向に微細に揺動させる第２揺動手段を備えていることを特徴とする請求項１４に記載のスリーブ部材の溝加工装置。
17. 前記Ｘ軸及び或いはＹ軸方向駆動手段は前記円弧状電極が前記スリーブ部材の中空内周面に近接した時に、その円弧状電極を前記スリーブ部材の直径方向に微細に揺動させる第３揺動手段を備えていることを特徴とする請求項１４に記載のスリーブ部材の溝加工装置。
18. 前記チャックと該チャックに保持された前記スリーブ部材とを電解液中に浸すための電解液糟を備えていることを特徴とする請求項１４、請求項１５、請求項１６、または請求項１７に記載のスリーブ部材の溝加工装置。
19. 前記電解液を前記スリーブ部材の中空円内を循環させ、発生するスラッジを除去する電解液循環手段を備えていることを特徴とする請求項１８に記載のスリーブ部材の溝加工装置。
    

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