JP2005300276A - 薄板の非破壊欠陥検出装置 - Google Patents
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Abstract
【課題】 薄板に発生した欠陥を短時間で検出することができるとともに、薄板に発生している微細な欠陥までも検出することが可能な薄板の非破壊欠陥検出装置を提供する。
【解決手段】 薄板Wの外縁の一部を保持手段1の固定部1cでチャッキングして該薄板Wを略鉛直状態で保持し、前記保持された薄板Wの予め定められた加振部位A〜Dを加振ユニット2のハンマー2a〜2dが時分割的に加振する。そして、前記各ハンマー2a〜2dが前記薄板Wを加振したときに発生した振動音を、前記薄板Wの加振部位A〜Dに対応して設けられたコンデンサーマイク3a〜3dで集音し、前記集音された振動音を周波数分析して前記薄板Wの加振部位A〜Dにおける欠陥の有無を演算するようにした。
【選択図】 図1
【解決手段】 薄板Wの外縁の一部を保持手段1の固定部1cでチャッキングして該薄板Wを略鉛直状態で保持し、前記保持された薄板Wの予め定められた加振部位A〜Dを加振ユニット2のハンマー2a〜2dが時分割的に加振する。そして、前記各ハンマー2a〜2dが前記薄板Wを加振したときに発生した振動音を、前記薄板Wの加振部位A〜Dに対応して設けられたコンデンサーマイク3a〜3dで集音し、前記集音された振動音を周波数分析して前記薄板Wの加振部位A〜Dにおける欠陥の有無を演算するようにした。
【選択図】 図1
Description
本発明は、薄板に発生した割れ、あるいは内部クラック等の欠陥を非破壊で検出する装置に関するものである。
従来、薄板に発生した欠陥を非破壊で検出する装置としては、試料(本明細書の薄板に相当する。)を取り付ける試料取り付け部、試料を加振させる振り子状の振動子、前記振動子により試料を加振したときの振動音を収集する音収集器からなる検査冶具と、前記音収集器により収集された振動音を周波数分析する音検知機とから構成された試料の欠陥測定装置が公知である(例えば、特許文献1参照。)。
前記特許文献1に記載の試料の欠陥測定装置は、前記試料取り付け部を、検査冶具内の固定側の軸にベアリングを介して装着することにより、該試料取り付け部を加振方向に対して可動式にしたことを特徴としている。これにより、前記振り子状の振動子が、試料を加振したときに該試料全体が加振方向に揺動する結果、試料を加振したときの衝撃を最小限に抑えることができる。
また、前記試料の欠陥測定装置は、前記振り子状の振動子を試料の所定の打点(試料中央部)に衝突させて試料の欠陥を検出する構成となっている。これにより、試料を均等に振動させることができる結果、当該試料の欠陥検出の精度が向上する。
しかしながら、前記試料の欠陥測定装置は、試料を加振したときに該試料全体が加振方向に対して揺動するので、同じ試料を繰り返し加振して欠陥を検査する場合、この揺動が収束するまで次の加振動作を行なうことができず、結果的に当該試料の欠陥検出を短時間で行なうことが困難である。
また、試料の所定の打点(試料中央部)のみを加振するだけでは、大きな欠陥を検出することはできても、前記所定の打点から離れた位置に発生している微細な欠陥を検出することは困難である。
したがって、本発明は、前記問題点を解決することを課題としてなされたものであり、薄板に発生した欠陥を短時間で検出することができるとともに、薄板に発生している微細な欠陥までも検出することが可能な薄板の非破壊欠陥検出装置を提供するものである。
前記目的を達成するために、請求項1に記載の薄板の非破壊欠陥検出装置の発明では、保持手段は、薄板の外縁の一部を掴んで該薄板を略鉛直状態で保持し、加振手段は、薄板の予め定められた複数部位を時分割的に加振することを特徴としたものである。
請求項2に記載の発明では、請求項1に記載の発明において、前記保持手段は、緩衝材を介して薄板を保持する構成としたものである。
請求項3に記載の発明では、請求項1または請求項2に記載の発明において、前記加振手段は、薄板と接触する部分を弾性体で形成されていることを特徴とする。
請求項4に記載の発明では、請求項1から請求項3のいずれかに記載の発明において、前記加振手段は、複数設けられていることを特徴とする。
請求項5に記載の発明では、請求項1から請求項4のいずれかに記載の発明において、振動音検出手段を薄板の近傍に配置したものである。
請求項6に記載の発明では、請求項1から請求項5のいずれかに記載の発明において、前記振動音検出手段は、前記薄板の予め定められた複数部位に対応して複数設けられているものである。
本発明は、次のような効果を奏する。
請求項1および請求項4に記載の発明によれば、薄板の複数部位にわたって欠陥検出を短時間で行なうことができるとともに、微細な欠陥をも検出することができる。
請求項2に記載の発明によれば、薄板を加振したときの衝撃を最小限に抑制できる結果、薄板を損傷させることなく繰り返し当該薄板の欠陥検出を行なうことができる。
請求項3に記載の発明によれば、薄板を加振したときに加振手段が薄板に一定時間接触する結果、該薄板に加わる外力は瞬間的でない力、すなわち、インパルス的ではない外力となるため、亀裂等の欠陥部分が擦れ合って生じる軋み音等の特徴的な音の抽出が容易となり、薄板の欠陥検出の精度が向上する。
請求項5および請求項6に記載の発明によれば、薄板から発生する振動音を確実に収集することができる。
つぎに、本発明にかかる薄板の非破壊欠陥検出装置の実施形態を添付図面に従って説明する。
図1は、本発明の第1実施形態にかかる薄板の非破壊欠陥検出装置Tを示し、この薄板の非破壊欠陥検出装置Tは、大略、薄板Wを保持する保持手段1と、薄板Wを加振する加振ユニット2と、薄板Wを加振したときに発生する振動音を検出する振動音検出手段3と、前記振動音検出手段3により検出された振動音を周波数分析し、当該薄板Wの割れ、あるいは内部クラック等の欠陥の有無を演算する演算手段4と、前記演算手段4にて演算された演算結果を出力するモニター5とから構成されている。
前記保持手段1は、図示のとおり、固定部1cにより薄板Wの外縁の一部をチャッキングし、該薄板Wを略鉛直状態で保持する構成となっている。そして、前記保持手段1の固定部1cの内側には、例えば、スポンジ、スポンジゴム、羊毛フェルト等の緩衝材1dが貼り付けてあり、前記薄板Wは、緩衝材1dを介して固定部1cにより保持される。
また、前記固定部1cは、ボルト1fにて軸1bと固定する構成となっている。したがって、前記薄板Wは先行技術と異なり、固定状態で保持されることになるが、後述する加振ユニット2のハンマー2a〜2dにて加振したときの衝撃を前記緩衝材1dで吸収するようにしているので薄板Wが加振により損傷することはない。
前記加振ユニット2は、薄板Wを加振する複数のハンマー2a〜2dと、前記ハンマー2a〜2dを加振動作させる図示しないエアシリンダや電磁石等の駆動機構と、前記それぞれのハンマー2a〜2dの加振動作を制御する図示しない制御部とから構成されている。
前記加振ユニット2のハンマー2a〜2dは、薄板Wの加振部位A〜Dを加振するよう配置されている。詳述すると、ハンマー2aが前記薄板Wの加振部位Aを加振し、ハンマー2bが前記薄板Wの加振部位Bを加振し、ハンマー2cが前記薄板Wの加振部位Cを加振し、ハンマー2dが前記薄板Wの加振部位Dを加振する構成となっている。
また、前記加振ユニット2は、前記それぞれのハンマー2a〜2dの加振動作を例えば、ハンマー2a(薄板Wの加振部位A)→ハンマー2d(薄板Wの加振部位D)→ハンマー2b(薄板Wの加振部位B)→ハンマー2c(薄板Wの加振部位C)の順序で時分割的に行なわれるよう前記制御部が制御する構成となっている。
したがって、この加振ユニット2の構成により、薄板Wの各加振部位A〜Dを短時間で多点加振することができる。
図2は、前記加振ユニット2に備えられているハンマー(本説明のみ符号を省略する。)の詳細図である。図示のとおり、このハンマーは、例えば、ステンレス製の棒Sの先端部にプラスチック樹脂製の硬質の部材で形成された芯Pが取り付けられ、前記芯Pの外側を天然ゴムやシリコンゴム等からなる弾性体Gで被われた構成となっている。
前記ハンマーを上記構成としたことにより、次のような作用効果を得ることができた。先ず、前記構成のハンマーで薄板Wを加振したとき、該ハンマーの薄板Wと接触する部分が適度に変形する。したがって、ハンマーが薄板Wに一定時間接触する結果、該薄板Wに加わる外力は瞬間的でない力、すなわち、インパルス的ではない外力となる。
一方、前記ハンマーの弾性体Gの内側には芯Pが形成されているので、薄板Wを加振したとき、前記薄板Wと接触する部分(弾性体G)に加振力をほとんど吸収されることなく該ハンマーからの加振力を薄板Wに伝達することができる。
したがって、上記構成のハンマーで薄板Wの欠陥部分を加振すると、亀裂部分が擦れ合って生じる軋み音等の特徴的な音の抽出が容易となる。
なお、加振ユニット2に備えられるハンマーの数や、ハンマーにて薄板Wを加振する部位、各ハンマーの加振動作の順序については、薄板Wの材質や形状、大きさ等によって適宣変更可能であることはいうまでもない。
また、前記ハンマーの弾性体Gの材質は、薄板Wを加振したときに適度に変形するものであれば、天然ゴム以外にシリコンゴムやウレタンゴム、フッ素ゴム等であってもよい。また、芯Pの材質もプラスチック樹脂に代えて金属製の部材にしてもよい。
前記振動音検出手段3は、図1に示すように、薄板Wを介して加振ユニット2に対向して配置された複数のコンデンサーマイク3a〜3dで構成され、前記加振ユニット2のハンマー2a〜2dが薄板Wを加振したときに発生する振動音を集音してこれを電気信号に変換し、後述する演算手段4に出力するものである。
そして、前記それぞれのコンデンサーマイク3a〜3dは、薄板Wの各加振部位A〜Dに対応して該薄板Wの近傍に配置されている。すなわち、コンデンサーマイク3aが薄板Wの加振部位Aの振動音を集音し、コンデンサーマイク3bが薄板Wの加振部位Bの振動音を集音し、コンデンサーマイク3cが薄板Wの加振部位Cの振動音を集音し、コンデンサーマイク3dが薄板Wの加振部位Dの振動音を集音する構成となっている。
前記演算手段4は、前記加振ユニット2のハンマー2a〜2dが薄板Wの各加振部位A〜Dを加振したときに発生した振動音を、前記振動音検出手段3のコンデンサーマイク3a〜3dが集音して電気信号に変換し、該信号をFFT(高速フーリエ変換)処理を行なって分析し、薄板Wの各加振部位A〜Dにおける欠陥の有無を演算する構成となっている。
そして、前記演算手段4で演算された演算結果は、モニター5に出力される構成となっている。
以上の構成から明らかなように、本発明の薄板の非破壊欠陥検出装置は、一度の検査で薄板の複数部位にわたって欠陥検出を短時間で行なうことができるとともに、微細な欠陥をも検出することが可能になる。
なお、前記保持手段1で保持されている薄板Wの外縁を欠陥検出するに際しては、1回目の検査が終了した後、いったん薄板Wを保持手段1から取り外し、該薄板Wを時計方向または半時計方向に90度反転させ、再び該薄板Wを保持手段1に取り付けた後、再度欠陥検出作業を行なうようにすればよい。
図6は、本発明の第1実施形態の変形例を説明する概略図である。なお、本変形例において、第1実施形態と同一構成部分については同一符号を付して詳細な説明を省略する。
図6に示すように、加振ユニット2は、薄板Wを加振する単数のハンマー2aが備えられている。また、前記加振ユニット2本体は、例えば、モータが取り付けられたボールネジ等の駆動機構により薄板Wに沿ってY−Y′方向に移動自在に構成されている。
そして、前記加振ユニット2は、次のような動作を時分割的に行なう。すなわち、図示しない制御部から出力された信号に基づいて薄板Wの加振部位Aに対応する位置に移動し、前記単数のハンマー2aが前記薄板Wの加振部位Aを加振する。続いて、前記加振ユニット2が前記薄板Wの加振部位Bに対応する位置に移動し、前記単数のハンマー2aが前記薄板Wの加振部位Bを加振する。同様に、前記薄板Wの加振部位Cを加振する。なお、薄板Wの加振部位A〜Cを加振する順序や、薄板Wの材質や形状、大きさ等によって適宣変更可能であることはいうまでもない。
つぎに、本発明の薄板の非破壊欠陥検出装置Tで薄板Wを欠陥検出した実験例を説明する。実験条件については次のとおりである。
(a)薄板Wの材質:太陽電池セル(多結晶シリコン系)
(b)薄板Wのサイズ:□155mm×t250μm
(c)ハンマーの弾性体Gの詳細:硬度がショアA値40度の天然ゴム
(a)薄板Wの材質:太陽電池セル(多結晶シリコン系)
(b)薄板Wのサイズ:□155mm×t250μm
(c)ハンマーの弾性体Gの詳細:硬度がショアA値40度の天然ゴム
図3および図4は、モニター5に出力された波形から薄板Wの欠陥を判定する図である。図の縦軸はスペクトル強度、横軸は薄板Wの振動周波数を示す。図3は、欠陥の存在しない良品の薄板Wの振動波形を示し、図示のとおり、良品の薄板Wを加振したときには、0〜2KHz付近の振動周波数以外にピークは存在しない。図4は、欠陥の存在する不良品の薄板Wの振動波形を示し、図3と図4とを比較すれば明らかなように、不良品の薄板Wを加振したときには、0〜2KHz付近の振動周波数以外、すなわち、4〜7KHz付近にもピークが存在することが分かる。
本発明の第2実施形態を図面に従って説明する。
図5は、本発明の薄板の非破壊欠陥検出装置における第2実施形態を説明する概略図である。なお、本第2実施形態において、第1実施形態と同一構成部分については同一符号を付して詳細な説明を省略する。
図5に示すように、多数の保持手段1が備えられた搬送手段6を配置し、前記搬送手段6の搬送方向(X方向)下流側の所定位置に薄板の非破壊欠陥検出装置Tを配置する構成とした。このように構成することで、複数の薄板Wを前記多数の保持手段1に保持させ、搬送手段6を前記所定位置に向けてX方向にタクト搬送させれば複数の薄板Wの欠陥検出を連続的に行なうことができる。
なお、具体的な説明は省略するが、前記搬送手段6の保持手段1に複数の薄板Wを保持させた状態で該搬送手段6を停止させておき、前記薄板の非破壊欠陥検出装置T自体を所定方向に移動させる構成として複数の薄板Wの欠陥検出を連続的に行なってもよい。
本明細書で説明した薄板の非破壊欠陥検出装置の検査対象となる薄板については、例えば、太陽電池セルやシリコンウエハ等が好適である。
1 保持手段
2 加振ユニット
3 振動音検出手段
4 演算手段
5 モニター
A〜D 加振部位
T 薄板の非破壊欠陥検出装置
W 薄板
2 加振ユニット
3 振動音検出手段
4 演算手段
5 モニター
A〜D 加振部位
T 薄板の非破壊欠陥検出装置
W 薄板
Claims (6)
- 薄板を保持する保持手段と、薄板を加振する加振手段と、薄板を加振したときに発生する振動音を検出する振動音検出手段と、前記振動音検出手段により検出された振動音を周波数分析し、該薄板の欠陥の有無を演算する演算手段と、前記演算手段にて演算された演算結果を出力する出力手段とから構成された薄板の非破壊欠陥検出装置において、
前記保持手段は、薄板の外縁の一部を掴んで該薄板を略鉛直状態で保持し、前記加振手段は、薄板の予め定められた複数部位を時分割的に加振することを特徴とする薄板の非破壊欠陥検出装置。 - 前記保持手段は、緩衝材を介して薄板を保持することを特徴とする請求項1に記載の薄板の非破壊欠陥検出装置。
- 前記加振手段は、薄板と接触する部分を弾性体で形成されていることを特徴とする請求項1または請求項2に記載の薄板の非破壊欠陥検出装置。
- 前記加振手段は、複数設けられていることを特徴とする請求項1から請求項3のいずれかに記載の薄板の非破壊欠陥検出装置。
- 前記振動音検出手段を薄板の近傍に配置したことを特徴とする請求項1から請求項4のいずれかに記載の薄板の非破壊欠陥検出装置。
- 前記振動音検出手段は、前記薄板の予め定められた複数部位に対応して複数設けられていることを特徴とする請求項1から請求項5のいずれかに記載の薄板の非破壊欠陥検出装置。
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JP2004114678A JP2005300276A (ja) | 2004-04-08 | 2004-04-08 | 薄板の非破壊欠陥検出装置 |
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Cited By (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2011511298A (ja) * | 2008-02-07 | 2011-04-07 | カリフォルニア インスティチュート オブ テクノロジー | 材料及び構造の非破壊評価及び監視に対する方法及び装置 |
CN102680573A (zh) * | 2012-05-07 | 2012-09-19 | 刘镇波 | 基于均匀力敲击方法的木材振动性能检测装置 |
US9080088B2 (en) | 2008-02-07 | 2015-07-14 | California Institute Of Technology | Granular crystal |
JP2017003547A (ja) * | 2015-06-16 | 2017-01-05 | 株式会社Screenホールディングス | クラック検知方法、クラック検知装置および基板処理装置 |
KR20200040047A (ko) * | 2018-10-08 | 2020-04-17 | 주식회사 포스코 | 마찰음 측정을 통한 선재 결속흠 검출장치 및 검출방법 |
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2004
- 2004-04-08 JP JP2004114678A patent/JP2005300276A/ja active Pending
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