JP2005298582A - Interlayer insulation sheet - Google Patents

Interlayer insulation sheet Download PDF

Info

Publication number
JP2005298582A
JP2005298582A JP2004113693A JP2004113693A JP2005298582A JP 2005298582 A JP2005298582 A JP 2005298582A JP 2004113693 A JP2004113693 A JP 2004113693A JP 2004113693 A JP2004113693 A JP 2004113693A JP 2005298582 A JP2005298582 A JP 2005298582A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
resin
sheet
interlayer insulation
resin composition
insulation sheet
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP2004113693A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
Kosuke Hirota
晃輔 廣田
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Mitsui Chemicals Inc
Original Assignee
Mitsui Chemicals Inc
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Mitsui Chemicals Inc filed Critical Mitsui Chemicals Inc
Priority to JP2004113693A priority Critical patent/JP2005298582A/en
Publication of JP2005298582A publication Critical patent/JP2005298582A/en
Pending legal-status Critical Current

Links

Landscapes

  • Manufacture Of Macromolecular Shaped Articles (AREA)
  • Compositions Of Macromolecular Compounds (AREA)
  • Production Of Multi-Layered Print Wiring Board (AREA)

Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide an interlayer insulation sheet which contains no halogen nor phosphorus, but has sufficient flame retardancy and improved chemical resistance capable of forming circuits under severe chemical conditions such as electroless plating. <P>SOLUTION: The interlayer insulation sheet for obtaining a circuit board is formed from a resin composition comprising (A) a compound having two or more maleimide groups and (B) aluminum hydroxide, and comprising no halogen element. There is provided a circuit board using the interlayer insulation sheet. <P>COPYRIGHT: (C)2006,JPO&NCIPI

Description

本発明は、電子・電気部品、プリント配線板、半導体基板、IC封止材等の電子材料分野に用いられる、ハロゲン含有難燃剤、リン含有難燃剤を含まずとも十分な難燃性を有し、かつ耐薬品性が良好であり層間絶縁シートおよびそれを用いた回路基板に関するものである。   The present invention has sufficient flame retardancy without including halogen-containing flame retardants and phosphorus-containing flame retardants used in the field of electronic materials such as electronic / electric parts, printed wiring boards, semiconductor substrates, and IC encapsulants. In addition, the present invention relates to an interlayer insulating sheet having good chemical resistance and a circuit board using the same.

電子材料分野では、火災に対する安全性を確保するために難燃性が要求されている。プリント配線板用、半導体基板用の積層板材料に関しては、その代表的な規格としてUnderwritersLaboratories Inc.のUL94規格があり、垂直燃焼試験で好ましくはV−1、より好ましくはV−0の条件に合格することが求められる。これまでに当該分野で使用されている樹脂はいずれもこの条件に合格するために、含臭素化合物などの含ハロゲン化合物を難燃剤として含有している。これら含ハロゲン化合物は高度な難燃性を有するが、例えば芳香族臭素化合物は熱分解により腐食性を有する臭素、臭化水素を発生するだけでなく、酸素存在下では毒性の高い化合物を形成する可能性がある(非特許文献1参照)。   In the field of electronic materials, flame retardancy is required to ensure fire safety. As for typical laminated board materials for printed wiring boards and semiconductor substrates, Underwriters Laboratories Inc. UL94 standard is required, and it is required to pass the condition of V-1, more preferably V-0, in the vertical combustion test. All the resins used in the field so far contain a halogen-containing compound such as a bromine-containing compound as a flame retardant in order to pass this condition. These halogen-containing compounds have high flame retardancy. For example, aromatic bromine compounds not only generate corrosive bromine and hydrogen bromide by thermal decomposition, but also form highly toxic compounds in the presence of oxygen. There is a possibility (see Non-Patent Document 1).

このような理由から、ハロゲン化合物を含まない材料、所謂「ハロゲンフリー」の材料が研究開発されている(例えば特許文献1等参照)。その中で含ハロゲン化合物に替わる難燃剤として、赤リン等の含リン化合物が中心的に検討されてきた。しかしながら、含リン難燃剤は燃焼時にホスフィンなどの有毒リン化合物を発生する恐れがある上、含リン化合物難燃剤として代表的なリン酸エステルを使用した場合、組成物の耐湿性が著しく損なわれるという欠点がある。   For these reasons, materials that do not contain halogen compounds, so-called “halogen-free” materials, have been researched and developed (see, for example, Patent Document 1). Among them, phosphorus-containing compounds such as red phosphorus have been mainly studied as flame retardants replacing halogen-containing compounds. However, phosphorus-containing flame retardants may generate toxic phosphorus compounds such as phosphine during combustion, and when a typical phosphate ester is used as a phosphorus-containing compound flame retardant, the moisture resistance of the composition is significantly impaired. There are drawbacks.

一方、他の難燃剤として金属水酸化物が知られており、例えば水酸化アルミニウムは、加熱時に結晶水を放出する以下のような反応により難燃剤としての効果があることが知られている。   On the other hand, metal hydroxides are known as other flame retardants. For example, aluminum hydroxide is known to have an effect as a flame retardant by the following reaction that releases crystal water when heated.

2Al(OH)3 → Al2O3+ 3H2O
しかしながら、水酸化アルミニウム等の金属水酸化物を単独で難燃剤として使用する場合、求められる難燃性能を得るためには多量の添加が必要である。一般的なエポキシ樹脂を使用し、水酸化アルミニウムを難燃剤として添加した積層板の場合では、UL94規格のV−0レベルを達成するのに必要な水酸化アルミニウムの添加量は、樹脂組成物の70wt%〜75wt%程度、燃焼しにくい骨格の樹脂を使用した場合でも50wt%程度の水酸化アルミニウムの添加が必要となる(非特許文献2参照)。水酸化アルミニウムの添加量が多い場合、樹脂組成物およびその樹脂により形成される絶縁層を持つ回路基板の性能、特に酸・アルカリに対する耐薬品性が著しく低下するエッチング、メッキ処理などの回路加工は過酷な酸性、アルカリ性条件の下で行われることから、これら耐薬品性の劣る絶縁層を持つ回路基板の信頼性は十分でなく、改善が要求されている。
2Al (OH) 3 → Al 2 O 3 + 3H 2 O
However, when a metal hydroxide such as aluminum hydroxide is used alone as a flame retardant, a large amount of addition is necessary to obtain the required flame retardant performance. In the case of a laminate using a general epoxy resin and aluminum hydroxide added as a flame retardant, the amount of aluminum hydroxide required to achieve the UL94 standard V-0 level is Even in the case of using a resin having a skeleton that hardly burns, such as about 70 wt% to 75 wt%, it is necessary to add about 50 wt% of aluminum hydroxide (see Non-Patent Document 2). When the amount of aluminum hydroxide added is large, circuit processing such as etching and plating processing that significantly lowers the chemical composition resistance to acid and alkali, especially the performance of the circuit board having an insulating layer formed of the resin composition and the resin, Since it is carried out under severe acidic and alkaline conditions, the reliability of the circuit board having an insulating layer with poor chemical resistance is not sufficient, and improvement is required.

一方、軽薄短小を要求される電子部品分野においては、ますます高密度化、薄型化、微細配線化が求められている。そこで絶縁層と導電層を繰り返し積層するビルドアップ方式のプリント配線板がそれら要求に対して供されている。中でも、セミアディティブ、フルアディティブと言われるアディティブ方式の、メッキを用いた回路形成は導電層の厚みを薄くすること、また微細配線加工がしやすいことなどから利用されている。特に層間絶縁シートを用いて絶縁層を形成しメッキを使用した導電層形成は、プリプレグによるビルドアップ方式などと異なり、ガラスクロスのような基材を含まないため、XY方向の耐マイグレーション性が優れることから多く検討がなされている(特許文献2、3)。ところで難燃性の観点から見た場合、こういった層間絶縁シートでは臭素化エポキシ等の含ハロゲン化合物が使用されている。しかしながら、前述のように含ハロゲン化合物には環境汚染などの懸念があり、またこれらの点に配慮がされた場合の例としては、特許文献3にあるように含リン化合物が利用されているものである。しかしながら実際に要求される難燃性を達成するためにはかなりのリン含有量が求められるため、層間絶縁シートとして使用される場合のシートの吸湿性が問題になる場合があった。またこれらの層間絶縁シートで使用される樹脂中には比較的難燃性の低い樹脂が用いられていることから、ハロゲン難燃剤などに変えて水酸化アルミニウムを使用すると、多くの添加が必要となり、結果耐薬品性が低下し、アディティブ方式で回路形成を行う際にメッキ液に対して侵食されて発生した絶縁層中の成分がメッキ液を汚染したり、メッキされた導体層と絶縁層の間の接着強度が弱かったり、形成された回路基板の耐熱性が不十分であったりした。
西沢仁、”ハロゲン系難燃剤”、ポリマーの難燃化、大成社、pp.69〜79(1992) 特開2003−231762号公報 木内幸浩、位地正年、エレクトロニクス実装学会誌 5(2)pp.159〜165(2003) 特開2003−283143号公報 特開2002−069270号公報
On the other hand, in the field of electronic components that are required to be light, thin, and small, higher density, thinner thickness, and finer wiring are required. Therefore, a build-up type printed wiring board in which an insulating layer and a conductive layer are repeatedly laminated is provided for these requirements. Above all, the additive type circuit formation using plating called semi-additive and full additive is utilized because the thickness of the conductive layer is reduced and the fine wiring processing is easy. In particular, the formation of an insulating layer using an interlayer insulating sheet and the formation of a conductive layer using plating, unlike the prepreg build-up method, does not include a substrate such as a glass cloth, so it has excellent migration resistance in the XY direction. Therefore, many studies have been made (Patent Documents 2 and 3). By the way, from the viewpoint of flame retardancy, halogen-containing compounds such as brominated epoxy are used in such an interlayer insulating sheet. However, as described above, there are concerns about environmental pollution and the like for halogen-containing compounds, and examples in which these points are taken into consideration include those in which phosphorus-containing compounds are used as described in Patent Document 3. It is. However, since a considerable phosphorus content is required to achieve the flame retardance that is actually required, the hygroscopicity of the sheet when used as an interlayer insulating sheet may be a problem. In addition, since resins with relatively low flame retardancy are used in the resins used in these interlayer insulation sheets, many additions are required when aluminum hydroxide is used instead of halogen flame retardants. As a result, the chemical resistance is reduced, and the components in the insulating layer generated by erosion of the plating solution during circuit formation by the additive method contaminate the plating solution, or between the plated conductor layer and the insulating layer. The adhesive strength between them was weak, or the heat resistance of the formed circuit board was insufficient.
Hitoshi Nishizawa, “Halogen Flame Retardant”, Flame Retardant Polymer, Taiseisha, pp. 69-79 (1992) JP 2003-231762 A Yukihiro Kiuchi, Masatoshi Doichi, Journal of Japan Institute of Electronics Packaging 5 (2) pp. 159-165 (2003) JP 2003-283143 A JP 2002-069270 A

本発明の目的は、ハロゲンフリー・リンフリーで十分な難燃性を有し、かつ無電解メッキなど厳しい化学的条件下で回路形成を行うことができる耐薬品性を向上した層間絶縁シートを得ることである。   It is an object of the present invention to obtain an interlayer insulating sheet having improved chemical resistance capable of forming a circuit under severe chemical conditions such as electroless plating, which is halogen-free and phosphorus-free and has sufficient flame retardancy. That is.

本発明は、上記課題を解決するために鋭意検討した結果、層間絶縁シートを形成する樹脂組成物として、マレイミド基を含む化合物と水酸化アルミニウムを含有する場合に、十分な難燃性を有し、耐薬品性に優れた層間絶縁シートを得ることができることを見出し、本発明を完成した。   As a result of intensive studies to solve the above problems, the present invention has sufficient flame retardancy when a compound containing a maleimide group and aluminum hydroxide are contained as a resin composition for forming an interlayer insulating sheet. The inventors have found that an interlayer insulating sheet excellent in chemical resistance can be obtained, and completed the present invention.

即ち、本発明は、以下に関するものである。
1)回路基板作成用の層間絶縁シートであって、シートを形成する樹脂組成物が、(A)少なくとも二つ以上のマレイミド基を含む化合物、(B)水酸化アルミニウムを含有するものであり、かつハロゲン元素を含まないことを特徴とする層間絶縁シート。
2)シートを形成する樹脂組成物が、更にリン元素を含まないものである請求項1記載の層間絶縁シート。
3)層間絶縁シートを50℃以上90℃以下のアルカリ性水溶液中に2時間以上浸漬した場合、重量変化が3%以内である1)または2)の層間絶縁シート。
4)シートを形成する樹脂組成物が、樹脂成分の質量の合計に対し(A)のマレイミド化合物を窒素換算で2.0%以上含有するものである1)〜3)の層間絶縁シート。
5)1)〜4)のいずれかに記載の層間絶縁シートであって、樹脂組成物を離型フィルム上に塗布、乾燥されてなる層間絶縁シート。
6)1)〜5)のいずれかに記載の層間絶縁シートを用いて製造された回路基板。
That is, the present invention relates to the following.
1) An interlayer insulating sheet for making a circuit board, wherein the resin composition forming the sheet is (A) a compound containing at least two maleimide groups, and (B) aluminum hydroxide. An interlayer insulation sheet characterized by not containing a halogen element.
2) The interlayer insulation sheet according to claim 1, wherein the resin composition forming the sheet further does not contain a phosphorus element.
3) The interlayer insulation sheet according to 1) or 2), wherein the weight change is 3% or less when the interlayer insulation sheet is immersed in an alkaline aqueous solution at 50 ° C. or more and 90 ° C. or less for 2 hours or more.
4) The interlayer insulating sheet of 1) to 3), wherein the resin composition forming the sheet contains 2.0% or more of the maleimide compound (A) in terms of nitrogen with respect to the total mass of the resin components.
5) The interlayer insulating sheet according to any one of 1) to 4), wherein the resin composition is applied on a release film and dried.
6) A circuit board manufactured using the interlayer insulating sheet according to any one of 1) to 5).

本発明の層間絶縁シートはハロゲンフリー、リンフリーでありながら難燃性の要求に応えることができ、かつ高い耐薬品性を持つ。そのため高温・高アルカリ性の過酷な条件が必要な無電解めっきによる回路形成時にめっき液を汚染することがなく、また形成される回路基板の耐熱性も十分である。   The interlayer insulation sheet of the present invention can meet the demand for flame retardancy while being halogen-free and phosphorus-free, and has high chemical resistance. Therefore, the plating solution is not contaminated during circuit formation by electroless plating that requires severe conditions of high temperature and high alkalinity, and the heat resistance of the circuit board to be formed is sufficient.

以下、本発明を詳細に説明する。
本発明の層間絶縁シートは、樹脂組成物をシート状に成形された物であればその成形方法は特に制限を受けないが、樹脂組成物が離型フィルム上に塗布・乾燥されたものが好ましく用いられる。
Hereinafter, the present invention will be described in detail.
The interlayer insulating sheet of the present invention is not particularly limited as long as the resin composition is formed into a sheet shape, but the resin composition is preferably applied and dried on a release film. Used.

本発明の層間絶縁シートはハロゲン元素を含まないことを特徴としている。本発明においてハロゲン元素を含まない、ということは日本プリント回路工業会によるハロゲンフリーの定義に準じ、ハロゲン元素のシート中の含有量が0.09重量%以下であることを意味する。また本発明の層間絶縁シートは、更にリン元素を含まないことが好ましい。リン元素を含まない、ということについても上述のハロゲンフリーの定義に準じ、リン元素の樹脂シート中の含有量が0.09重量%以下であることを意味する。   The interlayer insulating sheet of the present invention is characterized by not containing a halogen element. In the present invention, the absence of a halogen element means that the content of the halogen element in the sheet is 0.09% by weight or less in accordance with the definition of halogen-free by the Japan Printed Circuit Industry Association. Moreover, it is preferable that the interlayer insulation sheet of this invention does not contain a phosphorus element further. Containing no phosphorus element also means that the content of phosphorus element in the resin sheet is 0.09% by weight or less in accordance with the above-mentioned definition of halogen-free.

本発明の層間絶縁シートを形成する樹脂組成物は、
(A)少なくとも二つ以上のマレイミド基を含む化合物、
(B)水酸化アルミニウム
を必須成分として含有するものである。
まず、本発明のシートを形成する樹脂組成物を構成する各成分について説明する。
The resin composition forming the interlayer insulating sheet of the present invention is
(A) a compound containing at least two maleimide groups,
(B) It contains aluminum hydroxide as an essential component.
First, each component which comprises the resin composition which forms the sheet | seat of this invention is demonstrated.

(A)少なくとも二つ以上のマレイミド基を含む化合物
本発明で用いられる少なくとも二つ以上のマレイミド基を含む化合物は、少なくとも二つ以上のマレイミド基を有する化合物であれば特に限定されないが、好ましくは下記一般式(1)で表される化合物である。
(A) Compound containing at least two maleimide groups The compound containing at least two maleimide groups used in the present invention is not particularly limited as long as it is a compound having at least two maleimide groups, preferably It is a compound represented by the following general formula (1).

式中、R1はm価の有機基を示す。mは2以上の整数であり、好ましくは2〜10である。R1が示す有機基としては、下記一般式(2−1)ないし(2−3)からなる群より選ばれるものが好ましく例示される。 In the formula, R1 represents an m-valent organic group. m is an integer greater than or equal to 2, Preferably it is 2-10. Preferred examples of the organic group represented by R1 include those selected from the group consisting of the following general formulas (2-1) to (2-3).

(式中、Xは互いに同一でも異なっていてもよく、−CH−、−C(CH−、−C(C−、−CO−、−O−、−(単結合)、−S−または−SO2−を示す。Yは互いに同一でも異なっていてもよく、−CH3、−CH2CH3、または水素原子を示す。)
本発明で用いることのできる少なくとも二つ以上のマレイミド基を含む化合物として具体的には、例えば、N,N’−(1,3−フェニレン)ビスマレイミド、N,N’−[1,3−(2−メチルフェニレン)]ビスマレイミド、N,N’−(1,4−フェニレン)ビスマレイミド、ビス(4−マレイミドフェニル)メタン、ビス(3−メチル−4−マレイミドフェニル)メタン、ビス(4−マレイミドフェニル)エーテル、ビス(4−マレイミドフェニル)スルホン、ビス(4−マレイミドフェニル)スルフィド、ビス(4−マレイミドフェニル)ケトン、1,4−ビス(マレイミドメチル)ベンゼン、1,3−ビス(3−マレイミドフェノキシ)ベンゼン、ビス[4−(4−マレイミドフェノキシ)フェニル]メタン、1,1−ビス[4−(3−マレイミドフェノキシ)フェニル]エタン、1,1−ビス[4−(4−マレイミドフェノキシ)フェニル]エタン、1,2−ビス[4−(3−マレイミドフェノキシ)フェニル]エタン、1,2−ビス[4−(4−マレイミドフェノキシ)フェニル]エタン等が挙げられる。
(In the formula, Xs may be the same or different from each other, and —CH 2 —, —C (CH 3 ) 2 —, —C (C 2 H 5 ) 2 —, —CO—, —O—, — ( Single bond), —S— or —SO 2 —, Y may be the same or different from each other, and represents —CH 3 , —CH 2 CH 3 , or a hydrogen atom.
Specific examples of the compound containing at least two or more maleimide groups that can be used in the present invention include, for example, N, N ′-(1,3-phenylene) bismaleimide, N, N ′-[1,3- (2-Methylphenylene)] bismaleimide, N, N ′-(1,4-phenylene) bismaleimide, bis (4-maleimidophenyl) methane, bis (3-methyl-4-maleimidophenyl) methane, bis (4 -Maleimidophenyl) ether, bis (4-maleimidophenyl) sulfone, bis (4-maleimidophenyl) sulfide, bis (4-maleimidophenyl) ketone, 1,4-bis (maleimidomethyl) benzene, 1,3-bis ( 3-maleimidophenoxy) benzene, bis [4- (4-maleimidophenoxy) phenyl] methane, 1,1-bis [4- (3 Maleimidophenoxy) phenyl] ethane, 1,1-bis [4- (4-maleimidophenoxy) phenyl] ethane, 1,2-bis [4- (3-maleimidophenoxy) phenyl] ethane, 1,2-bis [4 -(4-maleimidophenoxy) phenyl] ethane and the like.

また本発明で用いられる少なくとも二つ以上のマレイミド基を含む化合物として、下記一般式(3)   Moreover, as a compound containing the at least 2 or more maleimide group used by this invention, following General formula (3)

(式中、nは平均値で0〜10である。)で表されるマレイミド基を含む化合物、および下記一般式(4) (Wherein n is an average value of 0 to 10), a compound containing a maleimide group, and the following general formula (4)

(式中、pは平均値で0〜10である。)で表されるマレイミド基を含む化合物なども挙げられる。これらのマレイミド基を含む化合物(A)は、1種単独でまたは2種以上組み合わせて用いることができる。 (Wherein, p is an average value of 0 to 10), and a compound containing a maleimide group. These maleimide group-containing compounds (A) can be used alone or in combination of two or more.

少なくとも二つ以上のマレイミド基を含む化合物(A)の含有量は、樹脂組成物中の無機成分を除いた樹脂成分の質量の合計に対して、マレイミド基を含む化合物(A)中の窒素原子含有量として好ましくは2.0質量%以上10質量%以下、より好ましくは3.0質量%以上7.5質量%以下の量で含有することが望ましい。   The content of the compound (A) containing at least two or more maleimide groups is a nitrogen atom in the compound (A) containing maleimide groups with respect to the total mass of the resin components excluding the inorganic components in the resin composition. The content is preferably 2.0% by mass or more and 10% by mass or less, and more preferably 3.0% by mass or more and 7.5% by mass or less.

樹脂組成物中の少なくとも二つ以上のマレイミド基を含む化合物(A)の含有量が上記範囲内にある方が、得られる層間絶縁シートは十分な難燃性を有する。マレイミド基を含む化合物(A)中の窒素原子含有量は最大で約14%程度であるため、他の樹脂成分の合計量は最大で約80質量%程度である。   When the content of the compound (A) containing at least two maleimide groups in the resin composition is within the above range, the obtained interlayer insulating sheet has sufficient flame retardancy. Since the nitrogen atom content in the compound (A) containing a maleimide group is about 14% at the maximum, the total amount of other resin components is about 80% by mass at the maximum.

(B)水酸化アルミニウム
本発明で用いられる水酸化アルミニウムは、一般的に用いられる水酸化アルミニウム、または水和アルミナであれば特に制限を受けない。これら水酸化アルミニウムの化学式はAl(OH)3、またはAl2O3・3H2Oで示される。水酸化アルミニウムは、加熱時に結晶水を放出し、難燃剤として機能するのみでなく、酸、酸化剤の溶液中で比較的可溶性が高いため、後述するような粗化用可溶性成分としても機能する。
(B) Aluminum hydroxide The aluminum hydroxide used in the present invention is not particularly limited as long as it is generally used aluminum hydroxide or hydrated alumina. The chemical formula of these aluminum hydroxides is represented by Al (OH) 3 or Al 2 O 3 .3H 2 O. Aluminum hydroxide releases crystal water when heated and functions not only as a flame retardant, but also as a soluble component for roughening as described later because it is relatively highly soluble in acid and oxidizer solutions. .

水酸化アルミニウムとしては、不純物として含まれるNa2Oの含有量が低いことが好ましい。Na2Oの含有量としては好ましくは0.3%未満、より好ましくは0.2%以下、特に好ましくは0.1%以下である。水酸化アルミニウム中に不純物として含まれるNa2O量が多い場合は洗浄を行う方法、特開平8−325011号公報などに記載されているような方法などにより、含有するNa2O量を0.3%未満に低減した上で用いることが好ましい。 As aluminum hydroxide, the content of Na 2 O contained as impurities is preferably low. The content of Na 2 O is preferably less than 0.3%, more preferably 0.2% or less, and particularly preferably 0.1% or less. METHOD If Na 2 O content contained as an impurity in the aluminum hydroxide is large for cleaning, by a method such as is described, for example, in JP-A-8-325011 discloses a Na 2 O content contained 0. It is preferable to use after reducing to less than 3%.

水酸化アルミニウム中のNa2O含有量が上記範囲内にあると、該水酸化アルミニウムを含む樹脂組成物は耐熱性が高い。耐熱性が高いことの理由は、水酸化アルミニウム中のNa2Oが遊離したNaが樹脂組成物の硬化反応を阻害または急激に促進することにより樹脂組成物の硬化状態が異常になることがないためであると考えられる。さらに、Na2O含有量の低い水酸化アルミニウムは結晶水放出の最低温度が比較的高いということも耐熱性が高いことの理由の一つであると思われる。また、水酸化アルミニウム中のNa2O含有量が上記範囲内にあると回路基板として使用された場合にイオンマイグレーションによる信頼性劣化を引き起こしにくく好ましい。本発明で用いられる水酸化アルミニウムの粒径は特に限定されないが、通常平均粒径が0.1〜10μmのものが用いられる。これら水酸化アルミニウムは、1種単独または2種以上組み合わせて用いることができる。 When the Na 2 O content in aluminum hydroxide is within the above range, the resin composition containing aluminum hydroxide has high heat resistance. The reason why the heat resistance is high is that the cured state of the resin composition does not become abnormal because Na released from Na 2 O in aluminum hydroxide inhibits or rapidly accelerates the curing reaction of the resin composition. This is probably because of this. Furthermore, aluminum hydroxide having a low Na 2 O content is considered to be one of the reasons that the lowest temperature for releasing crystal water is relatively high, which is high in heat resistance. Moreover, when the Na 2 O content in aluminum hydroxide is within the above range, it is preferable that reliability deterioration due to ion migration hardly occurs when used as a circuit board. The particle size of the aluminum hydroxide used in the present invention is not particularly limited, but those having an average particle size of 0.1 to 10 μm are usually used. These aluminum hydroxides can be used alone or in combination of two or more.

また上記の水酸化アルミニウムには、カップリング剤を使用することが好ましい。カップリング剤としてはシラン系、チタネート系、アルミネート系およびジルコアルミネート系などのカップリング剤が使用できる。その中でもシラン系カップリング剤が好ましく、特に反応性の官能基をもつシラン系カップリング剤がより好ましい。   Moreover, it is preferable to use a coupling agent for said aluminum hydroxide. As the coupling agent, coupling agents such as silane, titanate, aluminate and zircoaluminate can be used. Among these, a silane coupling agent is preferable, and a silane coupling agent having a reactive functional group is more preferable.

シラン系カップリング剤の例としてはビニルトリメトキシシラン、ビニルトリエトキシシラン、N−(2−アミノエチル)3−アミノプロピルメチルジメトキシシラン、N−(2−アミノエチル)3−アミノプロピルトリメトキシシラン、N−フェニル−γ−アミノプロピルトリメトキシシラン、3−アミノプロピルトリエトキシシラン、3−アニリノプロピルトリメトキシシラン、3−グリシドキシプロピルトリメトキシシラン、3−グリシドキシプロピルメチルジメトキシシラン、2−(3,4−エポキシシクロヘキシル)エチルトリメトキシシラン、3−メタクリロキシプロピルトリメトキシシラン、3−メルカプトプロピルトリメトキシシランなどを挙げることができ、これらの1種類または2種類以上が使用される。これらのシラン系カップリング剤は予め水酸化アルミニウム表面に吸着ないしは反応により固定されていることが好ましい。カップリング剤を用いると、水酸化アルミニウムと樹脂との接着性が向上し、得られる回路基板の機械的強度、耐熱性の向上が期待できる。   Examples of silane coupling agents include vinyltrimethoxysilane, vinyltriethoxysilane, N- (2-aminoethyl) 3-aminopropylmethyldimethoxysilane, N- (2-aminoethyl) 3-aminopropyltrimethoxysilane N-phenyl-γ-aminopropyltrimethoxysilane, 3-aminopropyltriethoxysilane, 3-anilinopropyltrimethoxysilane, 3-glycidoxypropyltrimethoxysilane, 3-glycidoxypropylmethyldimethoxysilane, Examples include 2- (3,4-epoxycyclohexyl) ethyltrimethoxysilane, 3-methacryloxypropyltrimethoxysilane, 3-mercaptopropyltrimethoxysilane, and the like, and one or more of these are used. . These silane coupling agents are preferably fixed to the aluminum hydroxide surface by adsorption or reaction in advance. When a coupling agent is used, the adhesiveness between aluminum hydroxide and the resin is improved, and the mechanical strength and heat resistance of the resulting circuit board can be expected to be improved.

水酸化アルミニウムは、樹脂成分の質量の合計を100質量部に対し、5〜100質量部、好ましくは5〜80質量部含有することが望ましい。水酸化アルミニウムの含有量が上記範囲内にあると、難燃効果が得られワニスにしたときの粘度が適度であり作業性に優れる。また水酸化アルミニウムの含有量が100質量部を超えた場合(樹脂組成物の50wt%を越えた場合)は、耐薬品性に悪影響を与える可能性がある。   Aluminum hydroxide contains 5 to 100 parts by mass, preferably 5 to 80 parts by mass with respect to 100 parts by mass of the total mass of the resin components. When the content of aluminum hydroxide is within the above range, the flame retardancy effect is obtained, the viscosity when it is made into a varnish is appropriate, and the workability is excellent. Moreover, when content of aluminum hydroxide exceeds 100 mass parts (when exceeding 50 wt% of a resin composition), there exists a possibility of having a bad influence on chemical resistance.

本発明の層間絶縁シートは、50℃以上90℃以下のアルカリ性水溶液中に2時間以上浸漬した場合、重量変化が3%以内であることが好ましい。より好ましくは0〜2%である。具体的な測定方法を示すと、絶縁シートを5cm角に切り出し、重量測定をおこない、ついでこのシート片を、例えば70℃で4mol/リットルの水酸化ナトリウム溶液中等に2時間以上、好ましくは2時間から10時間程度放置し、その後取り出したシートを乾燥させ、再度重量測定をおこなう方法を挙げることができる。この範囲にある方が、耐薬品性が良好であるということであり、好ましい。   When the interlayer insulating sheet of the present invention is immersed in an alkaline aqueous solution at 50 ° C. or higher and 90 ° C. or lower for 2 hours or more, the weight change is preferably 3% or less. More preferably, it is 0 to 2%. Specifically, the insulating sheet is cut into 5 cm square and weighed, and then the sheet piece is placed in a 4 mol / liter sodium hydroxide solution at 70 ° C. for 2 hours or more, preferably 2 hours. Then, it is allowed to stand for about 10 hours, and then the taken out sheet is dried and the weight is measured again. It is preferable that it is in this range because chemical resistance is good.

本発明の層間絶縁シートはシートを形成する樹脂組成物中に(A)、(B)成分の他に、
(C)他の樹脂成分、
(D)粗化用可溶性成分、
を含むことができる。以下、(C)、(D)成分について説明する。
In addition to the components (A) and (B) in the resin composition forming the sheet, the interlayer insulating sheet of the present invention includes:
(C) Other resin components,
(D) soluble component for roughening,
Can be included. Hereinafter, the components (C) and (D) will be described.

(C)他の樹脂成分
本発明の層間絶縁シートを形成する樹脂組成物中の他の樹脂成分としては、特に制限を受けないが、熱硬化性樹脂として公知のものを1種あるいは2種以上組み合わせて使用することが好ましい。具体的にはエポキシ樹脂、フェノール樹脂、シアネート樹脂、ポリイミド樹脂、アクリル樹脂、反応性官能基をもつポリフェニレンエーテル樹脂等が挙げられる。エポキシ樹脂、フェノール樹脂、シアネート樹脂を用いると、熱硬化する際に(A)の化合物と相溶性が良く好ましい。
(C) Other resin component Although it does not receive a restriction | limiting in particular as another resin component in the resin composition which forms the interlayer insulation sheet of this invention, 1 type (s) or 2 or more types are known as a thermosetting resin. It is preferable to use in combination. Specific examples include epoxy resins, phenol resins, cyanate resins, polyimide resins, acrylic resins, polyphenylene ether resins having reactive functional groups, and the like. When an epoxy resin, a phenol resin, or a cyanate resin is used, it is preferable because of good compatibility with the compound (A) when thermosetting.

エポキシ樹脂としては特に制限を受けないが、芳香族環を多く含むエポキシ樹脂を使用すると、樹脂組成物の難燃性が向上し、難燃剤として添加する水酸化アルミニウムの量が低下するため、結果耐薬品性が向上し好ましい。芳香族環を多く含むエポキシ樹脂としては、ビスフェノールA型エポキシ、ビスフェノールF型エポキシ、ナフタレン型エポキシ、クレゾールノボラック型エポキシ、ビスフェノールAノボラック型エポキシ、フェノールアラルキル型エポキシ、ナフトールアラルキル型エポキシ、ナフトールノボラック型エポキシなどが挙げられる。好ましくはクレゾールノボラック型エポキシ、ナフトールアラルキル型エポキシなどが用いられる。   The epoxy resin is not particularly limited, but if an epoxy resin containing a large amount of aromatic rings is used, the flame retardancy of the resin composition is improved, and the amount of aluminum hydroxide added as a flame retardant is reduced. The chemical resistance is improved, which is preferable. Epoxy resins containing many aromatic rings include bisphenol A type epoxy, bisphenol F type epoxy, naphthalene type epoxy, cresol novolac type epoxy, bisphenol A novolak type epoxy, phenol aralkyl type epoxy, naphthol aralkyl type epoxy, naphthol novolak type epoxy. Etc. Preferably, cresol novolac type epoxy, naphthol aralkyl type epoxy, or the like is used.

フェノール樹脂としては特に制限を受けないが、芳香族環を多く含むフェノール樹脂を使用すると、樹脂組成物の難燃性が向上し、難燃剤として添加する水酸化アルミニウムの量が低下するため、結果耐薬品性が向上し好ましい。芳香族環を多く含むフェノール樹脂としては、フェノールノボラック樹脂、フェノールアラルキル樹脂、ナフトールノボラック樹脂、ナフトールアラルキル樹脂、ビスフェノールAノボラック樹脂などが挙げられる。好ましくはフェノールアラルキル樹脂、ナフトールアラルキル樹脂などが用いられる。   The phenol resin is not particularly limited, but if a phenol resin containing a large amount of aromatic rings is used, the flame retardancy of the resin composition is improved, and the amount of aluminum hydroxide added as a flame retardant is reduced. The chemical resistance is improved, which is preferable. Examples of the phenol resin containing a large amount of aromatic ring include phenol novolak resin, phenol aralkyl resin, naphthol novolak resin, naphthol aralkyl resin, and bisphenol A novolak resin. Preferably, a phenol aralkyl resin, a naphthol aralkyl resin, or the like is used.

シアネート樹脂としては、多官能シアン酸エステル、またはそれらのプレポリマー、または多官能シアン酸エステルとプレポリマーの混合物等を挙げることができ、特に制限を受けない。多官能性シアン酸エステルとして具体的には、4,4−ジシアナトビフェニル、ビス(4−ジシアナトフェニル)メタン、2,2−ビス(4−シアナトフェニル)プロパン、ビス(4−シアナトフェニル)エーテルなどが挙げられる。   Examples of the cyanate resin include polyfunctional cyanate esters, prepolymers thereof, or mixtures of polyfunctional cyanate esters and prepolymers, and are not particularly limited. Specific examples of the polyfunctional cyanate ester include 4,4-dicyanatobiphenyl, bis (4-dicyanatophenyl) methane, 2,2-bis (4-cyanatophenyl) propane, and bis (4-cyanato). Phenyl) ether and the like.

これらの樹脂成分は、2種以上の成分を組み合わせて用いることができる。好ましい組み合わせとしては、エポキシ樹脂とフェノール樹脂、エポキシ樹脂とシアネート樹脂などである。これらの組み合わせでは特に硬化した際に(A)の化合物と相溶性がよい。   These resin components can be used in combination of two or more components. Preferred combinations include an epoxy resin and a phenol resin, and an epoxy resin and a cyanate resin. These combinations are particularly compatible with the compound (A) when cured.

(C)の成分の含有量は、樹脂組成物中好ましくは10〜90重量%程度、より好ましくは20〜80重量%程度である。   The content of the component (C) is preferably about 10 to 90% by weight, more preferably about 20 to 80% by weight in the resin composition.

また、これらの樹脂成分中には、熱硬化した際に(A)の化合物との相溶性が悪くならない範囲で、熱可塑性の樹脂成分を添加することができる。これら熱可塑性樹脂成分は樹脂組成物がシート成形された際に可とう性を付与したり、電気特性を改良したりすることができる。また、これら熱可塑性樹脂成分は、後述する(D)の成分のように粗化用可溶性成分として機能するものもある。熱可塑性成分として具体的にはポリフェニレンエーテル樹脂、ポリイミド樹脂、ポリブタジエンゴム、アクリロニトリル−ブタジエンゴム、エチレンアクリルゴムなどが挙げられるが、特に制限はない。これら熱可塑性樹脂は一部をエポキシ基、マレイン酸基、イミド基、カルボキシル基、(メタ)アクリル基などで変性してあってもよい。これら熱可塑性樹脂の分子量の範囲は1000〜1000000程度が好ましい。特に好ましくは1000〜10000程度である。分子量の範囲が上記の範囲にある場合、熱硬化に際して(A)の化合物と相溶性が良好であり、好ましい。   Further, a thermoplastic resin component can be added to these resin components as long as the compatibility with the compound (A) does not deteriorate upon thermosetting. These thermoplastic resin components can impart flexibility or improve electrical characteristics when the resin composition is formed into a sheet. Some of these thermoplastic resin components function as a soluble component for roughening as in the component (D) described later. Specific examples of the thermoplastic component include polyphenylene ether resin, polyimide resin, polybutadiene rubber, acrylonitrile-butadiene rubber, and ethylene acrylic rubber, but are not particularly limited. These thermoplastic resins may be partially modified with an epoxy group, a maleic acid group, an imide group, a carboxyl group, a (meth) acryl group, or the like. The range of the molecular weight of these thermoplastic resins is preferably about 1,000 to 1,000,000. Especially preferably, it is about 1000-10000. When the range of molecular weight is in the above range, the compatibility with the compound (A) is good at the time of thermosetting, which is preferable.

(D)粗化用可溶性成分
本発明の層間絶縁シートを形成する樹脂組成物中には、メッキを行った際のメッキの密着強度を向上させるため、樹脂表面を粗化するための成分を添加することができる。この粗化用の成分はすなわち、酸あるいは酸化剤溶液中で溶解速度が他の樹脂成分に比較して高い、可溶性の成分である。これらの粗化用可溶性成分としては、有機フィラー等が挙げられる。フィラーの形状としては球状、破砕形状、針状、顆粒状などがあり、特に制限されず、これらは2種以上の形状を組み合わせて用いることもできる。フィラーの粒径は好ましくは0.1μm〜10μm程度、より好ましくは0.1μm〜5μm程度である。フィラーの粒径の範囲が上記であると、樹脂中で均一に分散しやすいだけでなく、樹脂組成物を塗布・含浸する際に用いるワニス状となったときに沈降・凝集などが起こりにくく、作業性に優れる。またこれらのフィラーは分散性、樹脂との密着性を向上するために公知の技術で表面処理を行ってもよい。
(D) Soluble component for roughening In the resin composition forming the interlayer insulating sheet of the present invention, a component for roughening the resin surface is added in order to improve the adhesion strength of plating when plating is performed. can do. That is, the roughening component is a soluble component having a higher dissolution rate in an acid or oxidizer solution than other resin components. Examples of these soluble components for roughening include organic fillers. The shape of the filler includes a spherical shape, a crushed shape, a needle shape, a granular shape, and the like, and is not particularly limited, and these can be used in combination of two or more types. The particle size of the filler is preferably about 0.1 μm to 10 μm, more preferably about 0.1 μm to 5 μm. When the particle size range of the filler is the above, not only is it easy to uniformly disperse in the resin, but also precipitation and aggregation are less likely to occur when it becomes a varnish used when applying and impregnating the resin composition, Excellent workability. These fillers may be subjected to a surface treatment by a known technique in order to improve dispersibility and adhesion with a resin.

有機フィラーとしては上記の形状を持つ樹脂であれば特に制限はない。樹脂としてはポリブタジエンゴム、アクリロニトリル−ブタジエンゴム、カルボキシル化エチレンアクリルゴムなどのゴム樹脂や、エポキシ樹脂、フェノール樹脂などの熱硬化性樹脂、ポリオレフィン樹脂、シリコン樹脂などの熱可塑性樹脂が使用できる。また、2種類以上の樹脂の多層構造(コア−シェル構造)となっていてもよい。
これら有機フィラーの添加量としては、樹脂組成物中の無機成分を除いた樹脂成分の質量の合計に対して好ましくは1〜20質量%、より好ましくは1〜10質量%の範囲である。(B)の水酸化アルミニウムの添加量が比較的多い場合は、有機フィラーの添加量は非常に少量であっても十分な粗化効果を得ることができる。
If it is resin with said shape as an organic filler, there will be no restriction | limiting in particular. As the resin, rubber resins such as polybutadiene rubber, acrylonitrile-butadiene rubber and carboxylated ethylene acrylic rubber, thermosetting resins such as epoxy resin and phenol resin, thermoplastic resins such as polyolefin resin and silicon resin can be used. Moreover, it may be a multilayer structure (core-shell structure) of two or more kinds of resins.
The addition amount of these organic fillers is preferably in the range of 1 to 20% by mass, more preferably 1 to 10% by mass with respect to the total mass of the resin components excluding the inorganic components in the resin composition. When the addition amount of aluminum hydroxide (B) is relatively large, a sufficient roughening effect can be obtained even if the addition amount of the organic filler is very small.

硬化促進剤
本発明の層間絶縁シートを形成する樹脂組成物は、更に硬化促進剤を含有することが好ましい。硬化促進剤としては例として、2−メチルイミダゾール、2−エチル−4−メチルイミダゾール、2−へプタデシルイミダゾール、2−エチル−4−メチルイミダゾールテトラフェニルボレートなどのイミダゾール類;トリエタノールアミン、トリエチレンジアミン、N−メチルモルホリンなどのアミン類;オクチル酸亜鉛などの金属触媒化合物;テトラフェニルホスホニウムテトラフェニルボレート、トリエチルアンモニウムテトラフェニルボレート等のテトラフェニルボロン塩類;1,8−ジアザ−ビシクロ(5,4,0)ウンデセン−7およびその誘導体等が挙げられる。これらの硬化促進剤は、1種単独または2種以上組み合わせて用いることができる。好ましくは、添加する(C)の他の樹脂成分にもよるが、イミダゾール類、金属触媒化合物などが用いられる。
Curing accelerator It is preferable that the resin composition forming the interlayer insulating sheet of the present invention further contains a curing accelerator. Examples of the curing accelerator include imidazoles such as 2-methylimidazole, 2-ethyl-4-methylimidazole, 2-heptadecylimidazole, 2-ethyl-4-methylimidazole tetraphenylborate; Amines such as ethylenediamine and N-methylmorpholine; metal catalyst compounds such as zinc octylate; tetraphenylboron salts such as tetraphenylphosphonium tetraphenylborate and triethylammonium tetraphenylborate; 1,8-diaza-bicyclo (5,4 , 0) Undecene-7 and its derivatives. These curing accelerators can be used singly or in combination of two or more. Preferably, imidazoles, metal catalyst compounds, and the like are used, although depending on the other resin component (C) to be added.

これら硬化促進剤の含有量は、後述するワニスの所望するゲル化時間が得られるように配合するのが望ましいが、一般的には、樹脂組成物中の無機成分を除いた樹脂成分の質量の合計に対して0.005〜10質量%の範囲で用いられるのが好ましい。   The content of these curing accelerators is preferably blended so that the desired gelation time of the varnish described later can be obtained, but generally the mass of the resin component excluding the inorganic component in the resin composition. It is preferably used in the range of 0.005 to 10% by mass with respect to the total.

添加剤
本発明の樹脂組成物には用途に応じて添加剤を加えることもできる。添加剤の好ましい例としては、染料、顔料、滑剤、沈降防止剤、消泡剤、レベリング剤、表面張力調整剤として一般に使用される添加剤などがあげられる。具体的な例としてはフッ素系、シリコーン系、アクリル系などの消泡剤、レベリング剤が挙げられる。添加剤の含有量は、一般的には樹脂成分の合計量100質量部に対して、0.0005〜10質量部の範囲で用いられることが好ましい。
Additives Additives can also be added to the resin composition of the present invention depending on the application. Preferable examples of the additive include dyes, pigments, lubricants, anti-settling agents, antifoaming agents, leveling agents, additives commonly used as surface tension adjusting agents, and the like. Specific examples include fluorine-based, silicone-based, acrylic-based antifoaming agents, and leveling agents. In general, the content of the additive is preferably used in the range of 0.0005 to 10 parts by mass with respect to 100 parts by mass of the total amount of the resin components.

樹脂組成物の調製方法
本発明の樹脂組成物は、例えば少なくとも二つ以上のマレイミド基を含む化合物(A)と、他の樹脂成分(C)、粗化用可溶性成分(D)とを80〜200℃程度で、約0.1〜10時間加熱混合して均一な混合物とすることができる。水酸化アルミニウム(B)を加える場合は、上記の混合物を常温で粉砕し、粉末状態で混合することもできるし、以下に記述する樹脂ワニス中に水酸化アルミニウムを混合することもできる。
Method for Preparing Resin Composition The resin composition of the present invention comprises, for example, a compound (A) containing at least two maleimide groups, another resin component (C), and a roughening soluble component (D) 80 to 80 A uniform mixture can be obtained by heating and mixing at about 200 ° C. for about 0.1 to 10 hours. When adding aluminum hydroxide (B), said mixture can be grind | pulverized at normal temperature, it can also mix in a powder state, and aluminum hydroxide can also be mixed in the resin varnish described below.

樹脂ワニス
本発明の層間絶縁シートは、その製造に際して上記の樹脂組成物を溶剤に溶解した樹脂ワニスを用いることができる。
Resin Varnish For the interlayer insulating sheet of the present invention, a resin varnish obtained by dissolving the above resin composition in a solvent can be used in the production.

樹脂ワニスに用いられる溶剤としては、エチレングリコールモノエチルエーテル、プロピレングリコールモノメチルエーテル、エチレングリコールモノブチルエーテル、N,N−ジメチルホルムアミド、N,N−ジメチルアセトアミド、ジオキサン、アセトン、N−メチル−2−ピロリドン、ジメチルスルホキシド、メチルエチルケトン、メチルイソブチルケトン、シクロヘキサン、2−へプタノンなどが挙げられる。溶剤としては、比較的沸点が低いものが好ましく、メチルエチルケトン、アセトン、ジオキサンまたはこれらを主成分とする混合物が好ましく用いられる。   Solvents used in the resin varnish include ethylene glycol monoethyl ether, propylene glycol monomethyl ether, ethylene glycol monobutyl ether, N, N-dimethylformamide, N, N-dimethylacetamide, dioxane, acetone, N-methyl-2-pyrrolidone , Dimethyl sulfoxide, methyl ethyl ketone, methyl isobutyl ketone, cyclohexane, 2-heptanone and the like. As the solvent, those having a relatively low boiling point are preferable, and methyl ethyl ketone, acetone, dioxane or a mixture containing these as a main component is preferably used.

本発明の層間絶縁シートの製造に際して用いられる樹脂ワニスは、本発明の目的を損なわない範囲内において、上記(A)、(B)、(C)、(D)以外の他の樹脂成分を含有していてもよい。樹脂ワニス中のマレイミド基を含む化合物(A)、水酸化アルミニウム(B)、他の樹脂成分(C)、粗化用可溶性成分(D)の含有量は上記樹脂組成物と同様である。   The resin varnish used in the production of the interlayer insulating sheet of the present invention contains other resin components other than the above (A), (B), (C), and (D) within the range not impairing the object of the present invention. You may do it. The content of the compound (A) containing a maleimide group in the resin varnish, aluminum hydroxide (B), other resin component (C), and soluble component for roughening (D) is the same as that of the resin composition.

樹脂ワニスは、上記のような硬化促進剤を含有することが好ましく、含有量は上記と同様である。また樹脂ワニスは、上記樹脂組成物が含有していてもよい添加剤その他を含有することができる。樹脂ワニス中には、上記樹脂成分が、合計で通常50〜80質量%、好ましくは55〜75質量%の範囲で含まれることが望ましい。   The resin varnish preferably contains the curing accelerator as described above, and the content is the same as above. Moreover, the resin varnish can contain the additive etc. which the said resin composition may contain. In the resin varnish, it is desirable that the resin components are contained in a range of usually 50 to 80% by mass, preferably 55 to 75% by mass in total.

樹脂ワニスは、例えば、有機溶剤中でマレイミド基を含む化合物(A)、および他の樹脂成分(C)を加熱混合して均一な溶液とすることにより調製し、その後水酸化アルミニウム(B)、粗化用可溶性成分を混合して調整することができる。加熱混合時の温度は、有機溶剤の沸点にもよるが、通常50〜200℃であり、加熱混合時間は、通常0.1〜20時間である。(B)、(D)の混合に際しては二本ロール、三本ロールなどのロール混練機を用いて常温あるいは加熱下で行っても良いし、らいかい機、ボールミル、振とう機などの機器を使用する公知の方法で行うことができる。   The resin varnish is prepared, for example, by heating and mixing the compound (A) containing a maleimide group and another resin component (C) in an organic solvent to obtain a uniform solution, and then aluminum hydroxide (B), The soluble component for roughening can be mixed and adjusted. Although the temperature at the time of heating and mixing depends on the boiling point of the organic solvent, it is usually 50 to 200 ° C., and the heating and mixing time is usually 0.1 to 20 hours. When mixing (B) and (D), a roll kneader such as a two-roll or a three-roll may be used at room temperature or under heating, and equipment such as a rough machine, a ball mill, a shaker, etc. It can carry out by the well-known method used.

離型フィルム
本発明の層間絶縁シートは離型フィルム上に上記樹脂組成物を塗布し、次いで乾燥して溶剤を除去することにより製造することができる。離型フィルムとしては従来離型フィルムとして用いられる公知のフィルムが全て使用できる。具体的には、ポリエチレンテレフタラート(PET)フィルム、ポリプロピレンフィルム、4−メチルペンテン−1フィルム、フッ素樹脂フィルム等である。上記樹脂ワニスを上記離型フィルムに塗布した後、乾燥工程を経てフィルムを製造するが、塗布方法、乾燥方法は従来公知の方法が用いられ特に限定されるものではない。
Release film The interlayer insulation sheet of this invention can be manufactured by apply | coating the said resin composition on a release film, and then drying and removing a solvent. As the release film, all known films conventionally used as release films can be used. Specifically, a polyethylene terephthalate (PET) film, a polypropylene film, a 4-methylpentene-1 film, a fluororesin film, and the like. After the resin varnish is applied to the release film, a film is produced through a drying process. However, the application method and the drying method are not particularly limited and conventionally known methods are used.

乾燥条件については、使用する溶剤の沸点により適宜決められるが、シート中の残存溶剤の量が1質量%以下となるような条件であることが望ましい。具体的な例を挙げると、140℃〜220℃の範囲において5分〜10分程度の滞留時間が好ましいが、連続でシートの乾燥を行うような製造工程においては、温度の最適な範囲は搬送速度に依存して変化するためこの限りではない。   The drying conditions are appropriately determined depending on the boiling point of the solvent to be used, but it is desirable that the amount of the residual solvent in the sheet is 1% by mass or less. As a specific example, a residence time of about 5 minutes to 10 minutes is preferable in the range of 140 ° C. to 220 ° C., but in the manufacturing process in which the sheet is continuously dried, the optimum temperature range is transported. This is not the case because it changes depending on the speed.

層間絶縁シート
本発明の層間絶縁シートは、単独で層間絶縁シートとして用いることも出来るし、他の層間絶縁シートや、プリプレグなどのシートタイプの層間絶縁材と積層して用いることもできる。プリプレグなどの他の層間絶縁材と積層する場合は、層間絶縁材の片面もしくは両面に本発明の層間絶縁シートを公知の方法を用いて積層することができる。具体的にはロールラミネーターなどを用いて加熱・加圧下で積層・圧着などを行うことなどがあげられる。
Interlayer Insulating Sheet The interlayer insulating sheet of the present invention can be used alone as an interlayer insulating sheet, or can be used by being laminated with other interlayer insulating sheets or sheet type interlayer insulating materials such as prepregs. In the case of laminating with another interlayer insulating material such as a prepreg, the interlayer insulating sheet of the present invention can be laminated on one side or both sides of the interlayer insulating material using a known method. Specifically, a laminator or the like is used to perform lamination and pressure bonding under heating and pressure.

回路基板
次に、本発明の層間絶縁シートを用いて製造された回路基板の製造方法について説明する。本発明の回路基板は、まず上記層間絶縁シートを、パターン加工され回路形成された内層基板上に積層し、加熱・加圧条件下において熱プレスにより加熱硬化して絶縁層を形成する。なお内層基板は特に制限されることはなく、ガラスエポキシ基板、ポリイミド基板、ビスマレイミドトリアジン基板、熱硬化性ポリフェニレンエーテル基板など、公知の基板を使用することができる。また、回路基板の導体部分の表面はあらかじめ粗化処理が施されてあってもよい。加熱硬化の条件は150℃以上250℃未満の条件で30分〜2時間の範囲であることが好ましい。次に任意の位置にスルーホール、ビアホールを形成するために、ドリルおよび/またはレーザーにより穴開けを行う。その後過マンガン酸塩、重クロム酸塩、過酸化水素と硫酸の混合液、硝酸などの酸・酸化剤溶液を用いて粗化処理を行う。ついでメッキレジスト層を形成する。メッキレジスト層は感光性ポリイミドなどの永久レジストを用いても良いし、剥離可能なレジスト層を用いても良い。その後無電解メッキおよび/または電解メッキを行うことにより導体層を形成することにより、アディティブもしくはセミアディティブ方式の回路形成を行うことができる。導体層形成後に150℃〜250℃で15分〜90分熱処理することにより、樹脂組成物の硬化を促進し、耐熱性、ピール強度の改善を行うこともできる。
Circuit Board Next, a method for manufacturing a circuit board manufactured using the interlayer insulating sheet of the present invention will be described. In the circuit board of the present invention, first, the interlayer insulating sheet is laminated on an inner layer substrate that has been patterned and formed into a circuit, and is heated and cured by heat pressing under heating and pressing conditions to form an insulating layer. The inner layer substrate is not particularly limited, and a known substrate such as a glass epoxy substrate, a polyimide substrate, a bismaleimide triazine substrate, or a thermosetting polyphenylene ether substrate can be used. Further, the surface of the conductor portion of the circuit board may be previously roughened. The conditions for heat curing are preferably in the range of 30 minutes to 2 hours under conditions of 150 ° C. or more and less than 250 ° C. Next, in order to form a through hole and a via hole at an arbitrary position, drilling and / or laser drilling is performed. After that, roughening treatment is performed using permanganate, dichromate, a mixture of hydrogen peroxide and sulfuric acid, and an acid / oxidizer solution such as nitric acid. Next, a plating resist layer is formed. As the plating resist layer, a permanent resist such as photosensitive polyimide may be used, or a peelable resist layer may be used. Then, by forming a conductor layer by performing electroless plating and / or electrolytic plating, an additive or semi-additive circuit can be formed. By carrying out heat treatment at 150 ° C. to 250 ° C. for 15 minutes to 90 minutes after forming the conductor layer, curing of the resin composition can be promoted, and heat resistance and peel strength can be improved.

以下、実施例に基づいて本発明をさらに具体的に説明するが、本発明はこれら実施例に限定されるものではない。   EXAMPLES Hereinafter, although this invention is demonstrated further more concretely based on an Example, this invention is not limited to these Examples.

実施例1〜4および比較例1〜3
表1に示す組成のうち樹脂成分を、メチルエチルケトン:N−メチル−2−ピロリドンの混合溶媒(混合比はメチルエチルケトン:N−メチル−2−ピロリドン=4:1)中で80℃、6時間溶解し、樹脂ワニスを得た。このようにして得られた樹脂ワニスに水酸化アルミニウム、硬化促進剤、粗化用可溶性成分、添加剤を加え均一に攪拌し、PETフィルム(厚み約25μm)に塗布し、150℃で5分間乾燥して、膜厚約30μm)の層間絶縁シートを得た。これら層間絶縁シートを日本プリント回路工業会の規格JPCA−ES−01に則ってイオンクロマトグラフィーでハロゲンイオン、燐酸イオンの含有量を測定したところ、いずれも0.09wt%以下であった。
(難燃性試験)
これらの絶縁シートを50mm×200mmに切り出し、UL94VTMの方法で接炎した後の残炎時間を測定し、VTM−0、VTM−1、VTM−2の判定を行った。
(耐薬品性試験)
これらの絶縁シートを5cm角に切り出し、PETフィルムを剥離後重量測定を行った。さらにこれらのシート片を4mol/リットルの水酸化ナトリウム溶液(70℃)中で攪拌下2時間放置した。150℃で30分間乾燥を行った後、再度重量測定を行い、重量の減少を初期の重量で除し、重量減少率を得て耐薬品性とした。
Examples 1-4 and Comparative Examples 1-3
Among the compositions shown in Table 1, the resin component was dissolved in a mixed solvent of methyl ethyl ketone: N-methyl-2-pyrrolidone (mixing ratio is methyl ethyl ketone: N-methyl-2-pyrrolidone = 4: 1) at 80 ° C. for 6 hours. A resin varnish was obtained. To the resin varnish thus obtained, aluminum hydroxide, a curing accelerator, a roughening soluble component and an additive were added and stirred uniformly, applied to a PET film (thickness of about 25 μm), and dried at 150 ° C. for 5 minutes. Thus, an interlayer insulating sheet having a film thickness of about 30 μm was obtained. When the content of halogen ions and phosphate ions of these interlayer insulating sheets was measured by ion chromatography in accordance with the standard JPCA-ES-01 of the Japan Printed Circuit Industry Association, both were 0.09 wt% or less.
(Flame retardancy test)
These insulating sheets were cut out to 50 mm × 200 mm, the afterflame time after flame contact by the UL94VTM method was measured, and VTM-0, VTM-1, and VTM-2 were determined.
(Chemical resistance test)
These insulating sheets were cut into 5 cm squares, and the PET film was peeled off and then weighed. Further, these sheet pieces were left in a 4 mol / liter sodium hydroxide solution (70 ° C.) with stirring for 2 hours. After drying at 150 ° C. for 30 minutes, the weight was measured again, and the weight loss was divided by the initial weight to obtain a weight reduction rate to make it chemical resistant.

実施例および比較例では、以下の原料を使用した。
(A)マレイミド基を含む化合物;
BMI−S(商品名、窒素原子含有量:約8%、三井化学(株)社製)
BMI−MP(商品名、窒素原子含有量:約10%、三井化学(株)社製)
(B)水酸化アルミニウム;
水酸化アルミニウム;HS−330(商品名、平均粒子径;7μm、Na2O量;0.04%、昭和電工(株)社製)
CL−303(商品名、中心粒径;2.5μm、Na2O量;0.21%、住友化学工業(株)社製)
(C)他の樹脂成分;
ナフタレン型エポキシ樹脂、エピクロンHP4032(商品名、エポキシ当量150、大日本インキ化学工業(株)社製)
ナフトールアラルキル樹脂、SN485(商品名、OH当量215、新日鐵化学(株)社製)
シアネート樹脂、AROCY B10(商品名、旭チバエポキシ(株)社製)
(D)粗化用可溶性成分;
エポキシ化ポリブタジエン、E−1000(商品名、日本石油化学(株)社製)
エポキシ化ポリブタジエン、エポリードPB−3600(商品名、ダイセル化学工業(株)社製)
硬化促進剤;
2−エチル−4−メチルイミダゾール(2E4MZ(商品名)、四国化成工業(株)社製)
オクチル酸亜鉛
In the examples and comparative examples, the following raw materials were used.
(A) a compound containing a maleimide group;
BMI-S (trade name, nitrogen atom content: about 8%, manufactured by Mitsui Chemicals, Inc.)
BMI-MP (trade name, nitrogen atom content: about 10%, manufactured by Mitsui Chemicals, Inc.)
(B) aluminum hydroxide;
Aluminum hydroxide; HS-330 (trade name, average particle diameter: 7 μm, Na 2 O amount: 0.04%, manufactured by Showa Denko KK)
CL-303 (trade name, center particle size: 2.5 μm, Na 2 O amount: 0.21%, manufactured by Sumitomo Chemical Co., Ltd.)
(C) Other resin components;
Naphthalene type epoxy resin, Epicron HP4032 (trade name, epoxy equivalent 150, manufactured by Dainippon Ink & Chemicals, Inc.)
Naphthol aralkyl resin, SN485 (trade name, OH equivalent 215, manufactured by Nippon Steel Chemical Co., Ltd.)
Cyanate resin, AROCY B10 (trade name, manufactured by Asahi Ciba Epoxy Co., Ltd.)
(D) soluble component for roughening;
Epoxidized polybutadiene, E-1000 (trade name, manufactured by Nippon Petrochemical Co., Ltd.)
Epoxidized polybutadiene, Epolide PB-3600 (trade name, manufactured by Daicel Chemical Industries, Ltd.)
Curing accelerator;
2-Ethyl-4-methylimidazole (2E4MZ (trade name), manufactured by Shikoku Kasei Kogyo Co., Ltd.)
Zinc octylate

実施例に比較して、比較例1はマレイミド化合物を含有せず、難燃性が十分でない上、耐薬品性も不十分だった。また比較例2は
水酸化アルミニウムを含有していないため難燃性が不十分だった。
Compared with the Examples, Comparative Example 1 did not contain a maleimide compound, had insufficient flame retardancy, and also had insufficient chemical resistance. Moreover, since the comparative example 2 did not contain aluminum hydroxide, the flame retardance was insufficient.

ハロゲン化合物、リン化合物を含まずに難燃性を得ることができるため、電子部品等に使用される回路基板材料としては比較的環境負荷の小さい(環境に悪影響を与え得る化合物を含有していない)ものとして使用され得る。また耐薬品性に優れることから、無電解めっきを使用した回路基板を作成することができ、より微細配線化、易インピーダンス制御化が可能になる。   Since flame retardancy can be obtained without containing halogen compounds and phosphorus compounds, circuit board materials used for electronic components, etc. have relatively low environmental impact (does not contain compounds that can adversely affect the environment) ) Can be used. Moreover, since it is excellent in chemical resistance, a circuit board using electroless plating can be produced, and finer wiring and easier impedance control can be achieved.

Claims (6)

回路基板作成用の層間絶縁シートであって、シートを形成する樹脂組成物が、(A)少なくとも二つ以上のマレイミド基を含む化合物、(B)水酸化アルミニウムを含有するものであり、かつハロゲン元素を含まないことを特徴とする層間絶縁シート。 An interlayer insulating sheet for making a circuit board, wherein the resin composition forming the sheet is (A) a compound containing at least two maleimide groups, (B) aluminum hydroxide, and halogen An interlayer insulating sheet characterized by not containing an element. シートを形成する樹脂組成物が、更にリン元素を含まないものである請求項1記載の層間絶縁シート。 The interlayer insulation sheet according to claim 1, wherein the resin composition forming the sheet further does not contain a phosphorus element. 層間絶縁シートを50℃以上90℃以下のアルカリ性水溶液中に2時間以上浸漬した場合、重量変化が3%以内である請求項1又は2記載の層間絶縁シート。 3. The interlayer insulation sheet according to claim 1, wherein when the interlayer insulation sheet is immersed in an alkaline aqueous solution at 50 ° C. or more and 90 ° C. or less for 2 hours or more, the weight change is 3% or less. シートを形成する樹脂組成物が、樹脂成分の質量の合計に対し(A)のマレイミド化合物を窒素換算で2.0%以上含有するものである請求項1〜3記載の層間絶縁シート。 The interlayer insulation sheet according to claims 1 to 3, wherein the resin composition forming the sheet contains 2.0% or more of the maleimide compound (A) in terms of nitrogen with respect to the total mass of the resin components. 請求項1〜4のいずれか1項に記載の層間絶縁シートであって、樹脂組成物を離型フィルム上に塗布、乾燥されてなる層間絶縁シート。 It is an interlayer insulation sheet of any one of Claims 1-4, Comprising: The interlayer insulation sheet formed by apply | coating and drying a resin composition on a release film. 請求項1〜5のいずれか1項に記載の層間絶縁シートを用いて製造された回路基板。 The circuit board manufactured using the interlayer insulation sheet of any one of Claims 1-5.
JP2004113693A 2004-04-08 2004-04-08 Interlayer insulation sheet Pending JP2005298582A (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2004113693A JP2005298582A (en) 2004-04-08 2004-04-08 Interlayer insulation sheet

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2004113693A JP2005298582A (en) 2004-04-08 2004-04-08 Interlayer insulation sheet

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JP2005298582A true JP2005298582A (en) 2005-10-27

Family

ID=35330527

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2004113693A Pending JP2005298582A (en) 2004-04-08 2004-04-08 Interlayer insulation sheet

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP2005298582A (en)

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2009090946A1 (en) * 2008-01-17 2009-07-23 Nitto Denko Corporation Film for laser processing
JP2014101431A (en) * 2012-11-19 2014-06-05 Nitto Denko Corp Resin sheet

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2009090946A1 (en) * 2008-01-17 2009-07-23 Nitto Denko Corporation Film for laser processing
JP2009167321A (en) * 2008-01-17 2009-07-30 Nitto Denko Corp Film for laser processing
JP2014101431A (en) * 2012-11-19 2014-06-05 Nitto Denko Corp Resin sheet

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP5692201B2 (en) Thermosetting resin composition, and prepreg, laminate and multilayer printed wiring board using the same
JP6769032B2 (en) Thermosetting resin composition, interlayer insulating resin film, interlayer insulating resin film with adhesive auxiliary layer, and printed wiring board
KR101733646B1 (en) Thermosetting resin composition, and prepreg, insulating film with support, laminate plate, and printed wiring board, each obtained using same
JP5363841B2 (en) Epoxy resin composition, prepreg, cured body, sheet-like molded body, laminate and multilayer laminate
KR102325456B1 (en) Resin composition
JP7222414B2 (en) resin composition
JP2002069270A (en) Flame-retardant halogen-free epoxy resin composition and use thereof
CN113637288A (en) Resin composition
JP7287418B2 (en) resin composition
JP2009167396A (en) Adhesive composition, copper-clad laminate plate using the same, cover-lay film and adhesive sheet
JP2003277591A (en) Epoxy resin composition, prepreg and laminate
CN113801406A (en) Resin composition
JP2008231235A (en) Adhesive composition for semiconductor device, adhesive sheet for semiconductor device using the same, cover-lay film and copper-clad laminate
JP7367720B2 (en) Manufacturing method of printed wiring board
JP7494715B2 (en) Resin composition
JP2005298582A (en) Interlayer insulation sheet
JP4500091B2 (en) Circuit board
JP2016069401A (en) Prepreg, resin board, metal-clad laminate, printed wiring board, and semiconductor device
JP2005154739A (en) Resin composition, and prepreg and laminate using the composition
JP2009179774A (en) Flame retardant adhesive composition, adhesive sheet using the same, cover lay film, and copper clad laminate
JP2008214560A (en) Adhesive composition, and adhesive sheet, cover-lay film and copper-clad laminate each using the same
JP2019206624A (en) Resin composition
JP7311064B2 (en) resin composition
JP2024030949A (en) resin composition
WO2023063266A1 (en) Resin composition

Legal Events

Date Code Title Description
A621 Written request for application examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621

Effective date: 20060614

RD02 Notification of acceptance of power of attorney

Effective date: 20080327

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7422

A977 Report on retrieval

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007

Effective date: 20081211

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20081216

A521 Written amendment

Effective date: 20090213

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

A02 Decision of refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02

Effective date: 20090804

A521 Written amendment

Effective date: 20091102

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

A911 Transfer of reconsideration by examiner before appeal (zenchi)

Effective date: 20091113

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A911

A912 Removal of reconsideration by examiner before appeal (zenchi)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A912

Effective date: 20091204