JP2005294409A - コヒーレント光結合装置 - Google Patents
コヒーレント光結合装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2005294409A JP2005294409A JP2004105003A JP2004105003A JP2005294409A JP 2005294409 A JP2005294409 A JP 2005294409A JP 2004105003 A JP2004105003 A JP 2004105003A JP 2004105003 A JP2004105003 A JP 2004105003A JP 2005294409 A JP2005294409 A JP 2005294409A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- laser beams
- unit
- light intensity
- laser
- intensity distribution
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Images
Landscapes
- Lasers (AREA)
Abstract
【解決手段】 コヒーレント光結合装置において、レーザ光源から出力されたレーザビームを複数のレーザビームに分配する分配部と、前記分配部で分配された複数のレーザビームをそれぞれ増幅する増幅部と、前記増幅部で増幅された複数のレーザビームを集光する集光部と、前記集光部で集光された複数のレーザビームにおける光強度分布の観測結果に基づいて、前記集光部で集光される複数のレーザビームにおける光強度分布を制御する光強度分布制御部と、を備える。
【選択図】 図1
Description
従来、このような高強度のレーザビームを得るために、レーザ光源から発せられたレーザ光をレンズ系や集光鏡を用いて集光するようにしている(例えば特許文献1参照)。
この発明の実施の形態1によるコヒーレント光結合装置は、レーザ光源から出力されたレーザ光を複数のレーザビームに分配してからそれぞれ増幅した後、各レーザビーム間の位相差の時間変動が低減されるように位相差を制御し、さらに、所望の光強度分布が得られるように位相差を制御して集光することにより、レーザビームの高強度化を実現することができるものである。
図1において、1はレーザ光源、2は分配部、3は第1の位相制御器、4は増幅部、5は第1の分離部、6は第2の位相制御器、7は集光部、8は第2の分離部、9は位相観測部、10は光強度分布観測部である。
なお、第1の位相制御器3と第1の分離部5と位相観測部9とで位相制御部を構成する
。第2の位相制御器6と第2の分離部8と光強度分布観測部10とで光強度分布制御部を構成する。
図1においては、一例として分配部2が4つのレーザビームに分配する場合について示しているが、分配数はこれに限られるものではない。
なお、第1の位相制御器3および第2の位相制御器6は、図中分配部2と集光部7の間であれば、それぞれどこに設置されても良い。
図1において、レーザ光源1から出力されたパルスレーザビームは、分配部2において4つのレーザビームに分配され、増幅部4においてそれぞれ増幅され、集光部7により所定の集光点に集光されてコヒーレント光結合される。なお、コヒーレント光結合とは、複数のコヒーレント光が位相整合されて結合されることを言う。
ここで、レーザビームを分配してそれぞれ増幅してから集光しているので、レーザ光源1の高出力化の限界や、集光部7のレンズ系や集光鏡を初めとする光路における光学部品の光耐性等による制限を超え、分配数に応じて高強度化できるのである。この実施の形態1においては、4分配しているので電界において約4倍、すなわち光強度において約16倍の高強度化が可能となる。
なお、レーザビームがパルスの場合を示すが連続波であっても同様の効果を奏する。
第1の分離部5においては、4つのレーザビームの一部がそれぞれ分離され、位相観測部9において、この分離された各レーザビーム間の位相差が観測される。そして、第1の位相制御器3は、この観測された位相差の時間変動が低減されるように、4つのレーザビーム間の位相差をそれぞれ制御する。
なお、各レーザビームの位相差の時間変動は、それぞれの光路における光部品の機械的振動や周囲温度変動等に起因して常に発生しているので、この場合の位相差制御は時間変動よりも高速に常に行う必要がある。ただし、光部品の機械的振動や周囲温度変動の低減対策等により位相差の時間変動を問題としない場合には、前記位相制御部を省略する構成も考えられる。
なお、各レーザビーム間の位相差の時間変動が第1の位相制御器3により低減されているので、この場合の位相差制御は、通常は初期設定時等に必要に応じて行えば良い。
これにより、分配され、それぞれ増幅された各レーザビーム間に残っている静的な位相差を低減し、この位相差に起因する光強度分布の変形を修正して、例えば単峰でピーク強度が高いといった所望の光強度分布をもつ高強度レーザビームとして集光することができるのである。
レーザ光源1は、例えばネオジウムイオンの添加された固体レーザまたは光ファイバレーザであり、レーザ波長は、約1μmである。
同様に、増幅部4は、ネオジウムイオンの添加された固体レーザ増幅器または光ファイバレーザ増幅器であり、増幅波長は、約1μmである。
なお、レーザおよび増幅器の種別や、動作波長が上記に限られるものでないことは言うまでもない。
また、光路中に電気光学結晶を設置し、結晶に印加する電圧で屈折率を変化させることにより、通過するレーザビームの光路長を変えることで位相差制御を行うようにしても良い。
等位相面の傾きセンサは、例えば、レーザビームをマイクロレンズアレーで分割して集光し、その集光位置から等位相面の傾きを検出するシャックハルトマンセンサや、4象限のシリコン光センサである。
等位相面の傾き制御器は、光路中に設置された光学ミラーの傾きをアクチュエータで動かすことにより等位相面の傾き制御を行う。
実施の形態1では、光強度分布観測部10によって光強度分布を観測し、第2の位相制御器6によって所望の光強度分布が得られるように4つのレーザビーム間の位相差を制御するようにしたが、実施の形態2は、第2の位相制御器6の代わりに、位相差制御器、等位相面の傾き制御器、等位相面の形状制御器、集光位置制御器、偏光回転制御器の少なくとも1つを配置し、所望の光強度分布が得られるように4つのレーザビームの位相差、等位相面の傾き、等位相面の形状、集光位置、偏光状態の少なくとも1つを制御するようにしたものである。
ただし、例えば第2の位相制御器6に、等位相面の傾き制御器が配置された場合には、光路中に設置された光学ミラーの傾きをアクチュエータで動かすことにより等位相面の傾き制御を行う。
等位相面の形状制御器は、光学ミラーの背面に複数のアクチュエータを設置し、アクチュエータでミラーを押す事でミラーの形状を変形させる能動支持機構により等位相面の形状制御を行う。
集光位置制御器は、集光部7と前記所定の集光点の間の距離をかえることで集光位置制御を行う。
偏光回転制御器は、光路中に配置された偏光回転子により4つのレーザビームの偏光面が揃うように偏光状態制御を行う。なお、偏光回転子としては例えば光学ミラー等を用いて構成する。
ここで、等位相面の傾きおよび等位相面の形状センサは、レーザビームをマイクロレンズアレーで分割して集光し、その集光位置から等位相面の傾きを検出するシャックハルトマンセンサである。
2 分配部
3 第1の位相制御器
4 増幅部
5 第1の分離部
6 第2の位相制御器
7 集光部
8 第2の分離部
9 位相観測部
10 光強度分布観測部
Claims (8)
- レーザ光源から出力されたレーザビームを複数のレーザビームに分配する分配部と、
前記分配部で分配された複数のレーザビームをそれぞれ増幅する増幅部と、
前記増幅部で増幅された複数のレーザビームを集光する集光部と、
前記集光部で集光された複数のレーザビームにおける光強度分布の観測結果に基づいて、前記集光部で集光される複数のレーザビームにおける光強度分布を制御する光強度分布制御部と、
を備えることを特徴とするコヒーレント光結合装置。 - 前記増幅部で増幅された複数のレーザビームにおける位相の観測結果に基づいて、前記増幅部で増幅される複数のレーザビームにおける位相の時間変動を低減する位相制御部と、
を備えることを特徴とする請求項1に記載のコヒーレント光結合装置。 - 前記位相制御部は、前記増幅部で増幅された複数のレーザビームにおける位相差の観測結果に基づいて、前記増幅部で増幅される複数のレーザビームにおける位相差の時間変動を低減し、前記増幅部で増幅された複数のレーザビームにおける等位相面の傾きの観測結果に基づいて、前記増幅部で増幅される複数のレーザビームにおける等位相面の傾きの時間変動を低減することを特徴とする請求項2に記載のコヒーレント光結合装置。
- 参照レーザビームを出力する参照レーザ光源を備え、
前記位相制御部は、前記分配部で分配され、かつ前記増幅部で増幅された各レーザビームと各参照レーザビームにおける位相の観測結果の比較に基づいて、前記増幅部で増幅される複数のレーザビームにおける位相の時間変動を低減することを特徴とする請求項2に記載のコヒーレント光結合装置。 - 前記光強度分布制御部は、前記集光部で集光された複数のレーザビームにおける光強度分布の観測結果に基づいて、所望の光強度分布が得られるように、前記集光部で集光される複数のレーザビームにおける光強度分布を制御することを特徴とする請求項1、請求項2に記載のコヒーレント光結合装置。
- 前記光強度分布制御部は、前記集光部で集光される複数のレーザビームの一部を、集光される途中で分離し、この分離され、集光された複数のレーザビームの一部における光強度分布の観測結果に基づいて、前記集光部で集光される複数のレーザビームにおける光強度分布を制御することを特徴とする請求項1、請求項2に記載のコヒーレント光結合装置。
- 前記光強度分布制御部は、前記集光部で集光された複数のレーザビームにおける光強度分布の観測結果に基づいて、位相差、等位相面の傾き、等位相面の形状、集光位置、偏光状態の少なくとも1つを制御することにより、前記集光部で集光される複数のレーザビームにおける光強度分布を制御することを特徴とする請求項1、請求項2に記載のコヒーレント光結合装置。
- 前記光強度分布制御部は、前記増幅部で増幅された複数のレーザビームにおける位相の観測結果および前記集光部で集光された複数のレーザビームにおける光強度分布の観測結果に基づいて、前記集光部で集光される複数のレーザビームにおける光強度分布を制御することを特徴とする請求項2に記載のコヒーレント光結合装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2004105003A JP4525140B2 (ja) | 2004-03-31 | 2004-03-31 | コヒーレント光結合装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2004105003A JP4525140B2 (ja) | 2004-03-31 | 2004-03-31 | コヒーレント光結合装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2005294409A true JP2005294409A (ja) | 2005-10-20 |
JP4525140B2 JP4525140B2 (ja) | 2010-08-18 |
Family
ID=35327028
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2004105003A Expired - Lifetime JP4525140B2 (ja) | 2004-03-31 | 2004-03-31 | コヒーレント光結合装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP4525140B2 (ja) |
Cited By (15)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2007334225A (ja) * | 2006-06-19 | 2007-12-27 | Mitsubishi Electric Corp | 光パルス幅変換装置および光パルス幅変換方法 |
JP2011203648A (ja) * | 2010-03-26 | 2011-10-13 | Hamamatsu Photonics Kk | レーザ増幅装置及びレーザ増幅方法 |
JP2011254028A (ja) * | 2010-06-04 | 2011-12-15 | Mitsubishi Electric Corp | フェーズドアレーレーザ装置 |
JP2012004311A (ja) * | 2010-06-16 | 2012-01-05 | Mitsubishi Electric Corp | 高出力レーザ装置 |
JP2012119654A (ja) * | 2010-11-10 | 2012-06-21 | Mitsubishi Electric Corp | 光周波数制御装置 |
WO2013108850A1 (ja) | 2012-01-20 | 2013-07-25 | 三菱重工業株式会社 | 複数ビーム結合装置 |
WO2013128780A1 (ja) * | 2012-02-27 | 2013-09-06 | 国立大学法人大阪大学 | レーザ装置 |
JP2013243258A (ja) * | 2012-05-21 | 2013-12-05 | Mitsubishi Electric Corp | 光位相同期レーザ |
JP2015005572A (ja) * | 2013-06-19 | 2015-01-08 | 三菱重工業株式会社 | ビーム結合装置、ビーム結合方法 |
JP2015521386A (ja) * | 2012-05-24 | 2015-07-27 | ノースロップ グラマン システムズ コーポレイションNorthrop Grumman Systems Corporation | コヒーレントレーザアレイ制御システムおよび方法 |
WO2015194056A1 (ja) * | 2014-06-20 | 2015-12-23 | ギガフォトン株式会社 | レーザシステム |
KR101868295B1 (ko) * | 2017-11-16 | 2018-07-17 | 윤태중 | 레이저 최대출력 증폭장치 및 방법 |
WO2019021559A1 (ja) * | 2017-07-27 | 2019-01-31 | 三菱重工業株式会社 | レーザービーム照射装置及びレーザービーム照射システム |
JP2019194699A (ja) * | 2014-08-27 | 2019-11-07 | ヌブル インク | 可視ラマンレーザーを用いた材料加工のための用途、方法、及びシステム |
JP2021502002A (ja) * | 2017-11-07 | 2021-01-21 | シヴァン アドバンスド テクノロジーズ リミテッド | ノイズ補正を有する光フェーズドアレイの動的ビーム成形 |
Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH05104276A (ja) * | 1991-10-16 | 1993-04-27 | Toshiba Corp | レーザ加工装置およびレーザによる加工方法 |
JPH065537A (ja) * | 1992-06-22 | 1994-01-14 | Casio Comput Co Ltd | 半導体層のアニール方法 |
JPH08213716A (ja) * | 1995-02-07 | 1996-08-20 | Toshiba Corp | レーザー装置 |
JPH08261842A (ja) * | 1995-03-24 | 1996-10-11 | Hitachi Ltd | シャックハルトマン波面検出器及び補償光学装置 |
JPH09506473A (ja) * | 1993-12-09 | 1997-06-24 | ユナイテッド テクノロジーズ コーポレイション | 結合された複合出力ファイバーレーザ |
JPH11340555A (ja) * | 1998-04-24 | 1999-12-10 | Trw Inc | 同位相波面制御を備えた高平均パワ―固体レ―ザ―システム |
-
2004
- 2004-03-31 JP JP2004105003A patent/JP4525140B2/ja not_active Expired - Lifetime
Patent Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH05104276A (ja) * | 1991-10-16 | 1993-04-27 | Toshiba Corp | レーザ加工装置およびレーザによる加工方法 |
JPH065537A (ja) * | 1992-06-22 | 1994-01-14 | Casio Comput Co Ltd | 半導体層のアニール方法 |
JPH09506473A (ja) * | 1993-12-09 | 1997-06-24 | ユナイテッド テクノロジーズ コーポレイション | 結合された複合出力ファイバーレーザ |
JPH08213716A (ja) * | 1995-02-07 | 1996-08-20 | Toshiba Corp | レーザー装置 |
JPH08261842A (ja) * | 1995-03-24 | 1996-10-11 | Hitachi Ltd | シャックハルトマン波面検出器及び補償光学装置 |
JPH11340555A (ja) * | 1998-04-24 | 1999-12-10 | Trw Inc | 同位相波面制御を備えた高平均パワ―固体レ―ザ―システム |
Cited By (28)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2007334225A (ja) * | 2006-06-19 | 2007-12-27 | Mitsubishi Electric Corp | 光パルス幅変換装置および光パルス幅変換方法 |
JP2011203648A (ja) * | 2010-03-26 | 2011-10-13 | Hamamatsu Photonics Kk | レーザ増幅装置及びレーザ増幅方法 |
JP2011254028A (ja) * | 2010-06-04 | 2011-12-15 | Mitsubishi Electric Corp | フェーズドアレーレーザ装置 |
JP2012004311A (ja) * | 2010-06-16 | 2012-01-05 | Mitsubishi Electric Corp | 高出力レーザ装置 |
JP2012119654A (ja) * | 2010-11-10 | 2012-06-21 | Mitsubishi Electric Corp | 光周波数制御装置 |
US9325149B2 (en) | 2012-01-20 | 2016-04-26 | Mitsubishi Heavy Industries, Ltd. | Multi-beam combining apparatus |
WO2013108850A1 (ja) | 2012-01-20 | 2013-07-25 | 三菱重工業株式会社 | 複数ビーム結合装置 |
WO2013128780A1 (ja) * | 2012-02-27 | 2013-09-06 | 国立大学法人大阪大学 | レーザ装置 |
US9025627B2 (en) | 2012-02-27 | 2015-05-05 | Osaka University | Laser device |
JP2013243258A (ja) * | 2012-05-21 | 2013-12-05 | Mitsubishi Electric Corp | 光位相同期レーザ |
JP2015521386A (ja) * | 2012-05-24 | 2015-07-27 | ノースロップ グラマン システムズ コーポレイションNorthrop Grumman Systems Corporation | コヒーレントレーザアレイ制御システムおよび方法 |
JP2015005572A (ja) * | 2013-06-19 | 2015-01-08 | 三菱重工業株式会社 | ビーム結合装置、ビーム結合方法 |
US20170063025A1 (en) * | 2014-06-20 | 2017-03-02 | Gigaphoton Inc. | Laser system |
KR20170016328A (ko) * | 2014-06-20 | 2017-02-13 | 기가포톤 가부시키가이샤 | 레이저 시스템 |
WO2015194056A1 (ja) * | 2014-06-20 | 2015-12-23 | ギガフォトン株式会社 | レーザシステム |
JPWO2015194056A1 (ja) * | 2014-06-20 | 2017-04-20 | ギガフォトン株式会社 | レーザシステム |
KR102192096B1 (ko) * | 2014-06-20 | 2020-12-16 | 기가포톤 가부시키가이샤 | 레이저 시스템 |
US10074958B2 (en) * | 2014-06-20 | 2018-09-11 | Gigaphoton Inc. | Laser system |
JP2019194699A (ja) * | 2014-08-27 | 2019-11-07 | ヌブル インク | 可視ラマンレーザーを用いた材料加工のための用途、方法、及びシステム |
JP2019029435A (ja) * | 2017-07-27 | 2019-02-21 | 三菱重工業株式会社 | レーザービーム照射装置及びレーザービーム照射システム |
WO2019021559A1 (ja) * | 2017-07-27 | 2019-01-31 | 三菱重工業株式会社 | レーザービーム照射装置及びレーザービーム照射システム |
US11387618B2 (en) | 2017-07-27 | 2022-07-12 | Mitsubishi Heavy Industries, Ltd. | Laser beam irradiation apparatus and laser beam irradiation system |
JP2021502002A (ja) * | 2017-11-07 | 2021-01-21 | シヴァン アドバンスド テクノロジーズ リミテッド | ノイズ補正を有する光フェーズドアレイの動的ビーム成形 |
JP7150358B2 (ja) | 2017-11-07 | 2022-10-11 | シヴァン アドバンスド テクノロジーズ リミテッド | ノイズ補正を有する光フェーズドアレイの動的ビーム成形 |
US11646543B2 (en) | 2017-11-07 | 2023-05-09 | Civan Advanced Technologies Ltd. | Optical phased array dynamic beam shaping with noise correction |
JP7456657B2 (ja) | 2017-11-07 | 2024-03-27 | シヴァン アドバンスド テクノロジーズ リミテッド | ノイズ補正を有する光フェーズドアレイの動的ビーム成形 |
WO2019098579A1 (ko) * | 2017-11-16 | 2019-05-23 | 윤태중 | 레이저 최대출력 증폭장치 및 방법 |
KR101868295B1 (ko) * | 2017-11-16 | 2018-07-17 | 윤태중 | 레이저 최대출력 증폭장치 및 방법 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP4525140B2 (ja) | 2010-08-18 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP4525140B2 (ja) | コヒーレント光結合装置 | |
JP5917877B2 (ja) | アライメントシステム | |
EP2359108B1 (en) | Mirror structure | |
CN107966280B (zh) | 一种应用于拼接望远镜的光电检测系统及其快速共相调节方法 | |
CN115039017A (zh) | 用于组合相干激光射束的设备、激光系统和方法 | |
EP4038706A1 (en) | Coherently combined fiber laser amplifier system including optically monolithic phased array with compact tiles | |
US20020076136A1 (en) | Control system for optical cross-connect switches | |
WO2021067017A1 (en) | Hybrid spectrally and coherently combined fiber laser amplifier system including coherent optically monolithic phased array with compact tiles | |
WO2021067010A1 (en) | Spectrally combined fiber laser amplifier system including optically monolithic beam shaper array with compact tiles | |
JP2011085916A (ja) | 複数ビーム偏向器、二次元スキャナ及び複数ビーム偏向モジュール | |
JP2011185567A (ja) | 高出力レーザ照射装置 | |
US9642235B2 (en) | EUV radiation generating device including a beam influencing optical unit | |
TW201222051A (en) | Apparatus and system for improving depth of focus | |
JP2005167824A (ja) | 光検出装置及び光空間伝送装置 | |
US20220342201A1 (en) | Micro-electro-mechanical system (mems) micro-mirror array (mma) steered high-power laser transmitter | |
JP4290698B2 (ja) | 誘導ブリルアン散乱位相共役鏡を有する増幅器で位相を自己制御する装置及び方法 | |
JP3286893B2 (ja) | レーザレーダ装置 | |
JP2007101675A (ja) | 可動ミラーを用いた光スイッチの制御装置および制御方法 | |
CN114981710A (zh) | 用于组合相干激光射束的设备、激光系统和方法 | |
JP6144503B2 (ja) | 加工装置 | |
JP5818643B2 (ja) | 波面センサ及び補償光学系 | |
JP6332886B2 (ja) | 加工装置のオフセット量調整方法 | |
JP6232462B2 (ja) | アライメントシステム | |
JP2008046448A (ja) | マイクロミラー装置および光スイッチ | |
JP3870197B2 (ja) | 光空間伝送装置 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20061225 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20090224 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20090224 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20090402 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20091215 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20100128 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20100511 |
|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20100524 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130611 Year of fee payment: 3 |
|
R151 | Written notification of patent or utility model registration |
Ref document number: 4525140 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R151 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130611 Year of fee payment: 3 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |