JP2005294269A - イオン打込み製品の制御電荷中和 - Google Patents
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Abstract
【手段】イオン注入に起因する半導体ウェーハ等のワークピース上の過剰電荷を中和させるための手段であって、ワークピース表面の小さい領域上の過剰な正電荷を局所的に検出し、それに応答して、適切なドーズ量の電荷補償電子を電子放射源からワークピース上の上記過剰電荷領域に付加する。電荷検知プローブと電圧制御電子発生器アレーとを閉フィードバックループ内で配列的にも機能的にも結合させて、ワークピースの表面に近づけるが接触させることなく、ワークピースの表面を走査させる。電荷検知プローブのアレー及び電子発生器アレーは、ワークピースのイオン打込み領域を瞬時に覆うことができるように構成することができる。
【選択図】図2
Description
図1は、イオン注入器の簡略化した配列を示したものである。市販のイオン注入器は幾分より複雑であるが、イオン注入に付随する現象,本発明をイオン注入システムに適用する態様及び本発明によって電荷中和を実施するための手段については、図1に示した簡単なイオン注入器によって説明することができる。然しながら、本発明は、特定の構造や特定タイプのイオン注入器に限定されるものではなく、また、特定のターゲット材料又は特定のタイプのワークピースに限定されるものでもなく、従って、本発明がイオン注入技術に広く適用可能であることが銘記されるであろう。
本発明に依れば、イオン注入によって齎される過剰な正電荷を呈しているウェーハ上の所定位置に、平行にされたビーム状の正確なドーズ量の電子が向けられる。補償電子ビームが電子発生器アレー(EGA)によって作り出される。電子発生器アレーは、特別に処理されたガラス又はガラスのような材料から成るシートに微視的チャネル(microscopic channel)のアレー(allay)を形成することにより作られた電圧制御電子放射・乗算源である。電子発生器アレーの構成及び動作特性については、特に本発明におけるその電子発生アレーの使用に関連して、下記に詳述する。電子発生器アレーは、付加された電圧によって誘導されコントロールされる電子フラックスを生じさせる。電子のドーズ量は、プログラムされた態様でウェーハを走査する電荷検知プローブによって表示された過剰電荷に対応して計測される。本発明の操作モードは、そのモードの応用においてウェーハ又はワークピースに局所的に行われず又ウェーハ上の過剰電荷のリアルタイムでのサンプリング及び測定によって可能である補償電荷ドーズ量の釣り合わせがなされない従来の電荷中和方法とは対照的である。
Q=K1×Vs
ここで、K1は電荷検知ローブに関係する比例定数である。フラックスΦは、電子発生器アレーに付加され且つパワーサプライによって提供される電圧VAによってコントロールされるので、ΦとVAとの間の比例関係(linearrelationship)を仮定すると、電子の補償ドーズ量は次の式で与えられる。
D=K2・VA
ここで、V2は、電子発生器アレーに対するウェーハの相対速度Sと、ビームエリアAを含む電子発生器アレーの特性とに関連する比例定数である。打ち込まれた電荷の中和ためには、D=Qであり、これは制御電子回路構成要素のための特定の閉ループ電圧利得Gを意味する。
G=VA/VS=K1/K2
更に、時間遅れを考慮し、電荷検知プローブと電子発生器アレーとの間のラグタイムを補うために含められる。
本発明は、茲で全文を参照文献として引用する米国特許第6,239,549号に記載されている電子発生器アレーと呼ばれる装置を用いている。その電子発生器アレーは、電子放射ソースと乗算器とが組み合わさったもので、狭い平行な電子ビーム又は広い領域の電子フラックスを提供するように寸法付けすることができる。電子発生器アレーは、平らなシート又は板に約10ミクロンの直径を有する微視的チャネルを形成することにより作られる。その電子発生器アレーは、均質で機械的に剛性な構造体を提供するよう一体に溶融した無数の精密ガラスチューブから構成されている。そのガラスの表面に化学処理を施して、そのアレーの厚みを横切って電圧を付加した時に各微視的チャネルが電子の流れを放出するように、ガラスの電子放射特性を変化させる。電子を発生させる無数のチャネルの各々では、電子フラックスは非常に均質で濃密である。電子発生器アレーの平面図が、図5に示されている。チャネル502の対称的な配列が、これら装置の特徴を示している。電子発生器アレーは、数mmから100mm以上の範囲の寸法で様々な形状に形成することができる。
本発明は、表面電荷を検出する装置を用いている。本発明に関してより詳述すると、本発明の構成要素はプローブであり、そのプローブは、プローブに近いワークピースの領域におけるワークピースの表面又は表面近くの部分での局在電荷不均衡に応答して電気的信号を記録する。
本発明は、イオン注入によって齎される半導体ウェーハ及びその他のワークピース上に蓄積した電荷を中和させるための一般的に利用可能な装置及び方法の改良を提供するものである。本発明の利点は、個々のワークピース上の空間的に変化する過剰表面電荷のリアルタイム測定に基づいて過剰電荷を補償することができることに関連する。従って、本発明においては、他の方法と対照的に、電荷補償は、ワークピースの荷電特性の空間的な従属相違(spatially−dependent difference)とランダムな処理変更から齎されるウェーハのバラ付きとに起因するワークピースの表面上の電荷を変化させるのに適している。
204 ウェーハの小区分
206 ウェーハ
208 シールド
210 電荷検知素子
212,314,412,804 電子発生器アレー
214 パワーサプライ
302 電荷検知プローブ
304 ワークピース
306 局在過剰正電荷
308 差動増幅器
310 基準電圧源
312 増幅器の出力信号
316,604 電子フラックス
318 パワーサプライ
320 遅延回路
402 半導体ウェーハ
404 イオンビーム
406 チューブ
410 線形アレー
414 サブユニット
502,602 マイクロチャネル
802 フィラメント
Claims (21)
- イオンが打ち込まれたワークピースに近づけて位置決めされるようになっている電荷検知電極と、
前記電荷検知電極とは離間して前記イオン打込みワークピースに近づけて位置決めされるようになっている荷電粒子発生器と、
前記荷電粒子発生器と作動的に接続される高電圧パワーサプライと、
前記電荷検知電極と前記高電圧パワーサプライに作動的に接続され、前記電荷検知電極からの電荷検知信号に応答して制御信号を発生させて、その制御信号を前記高電圧パワーサプライに付加してその高電圧パワーサプライの出力を調整し、それにより、前記荷電粒子発生器の荷電粒子出力を調整させる制御手段とを有する、イオン打込みワークピース上の過剰電荷を中和させるための装置。 - 前記荷電粒子発生器が電子発生器である、請求項1に記載の装置。
- 前記電子発生器が、平行に整列配置された複数の電子発生マイクロチャネルを有している、請求項2に記載の装置。
- 前記電荷検知電極が複数の電荷検知素子を有し、前記荷電粒子発生器が複数の荷電粒子発生サブユニットを含み、前記サブユニットの各々が各電荷検知素子に作動的に接続されている、請求項1に記載の装置。
- 前記荷電粒子発生サブユニットの各々が電子発生ユニットを有している、請求項4に記載の装置。
- 前記電子発生ユニットの各々が、平行に整列配置された複数の電子発生マイクロチャネルを有している、請求項5に記載の装置。
- 前記高電圧パワーサプライが、前記複数の荷電粒子発生サブユニットの各々に個別の電圧を提供する複数の出力チャネルを有し、前記複数の荷電粒子発生サブユニットの各々に適切な電圧が付加されるように、前記複数の荷電粒子発生サブユニットの一つに関連する単一のアドレスを前記高電圧パワーサプライに提供して、それにより、前記複数の荷電粒子発生サブユニットの各々の電荷粒子出力を個別に調整することのできるアドレス手段を前記制御手段が有している、請求項4に記載の装置。
- 前記複数の電荷検知素子が第一の線形アレー中に配列され、前記複数の電荷粒子発生サブユニットが前記第一の線形アレーから離間した第二の線形アレー中に配列されている、請求項4に記載の装置。
- 前記制御手段が、前記電荷検知電極による電荷の検知と前記電荷粒子発生器による電荷粒子の発生との間のタイムラグを補正するための制御信号をタイムシフトするよう構成された時間遅れ回路を有している、請求項1に記載の装置。
- 前記電荷検知電極からの出力信号をデジタル的にサンプリングしてデジタル信号を提供する手段と、
前記デジタルサンプリング手段と作動的に接続されてデジタル信号出力を受けるマイクロプロセッサとを有し、
前記マイクロプロセッサが前記高電圧パワーサプライに対してインプット用の制御信号を発生するようになっている、請求項1に記載の装置。 - イオンが打ち込まれたワークピースに近づけて位置決めされるようになっている電荷検知電極と、
前記電荷検知電極とは離間して前記イオン打込みワークピースに近づけて位置決めされるようになっている電子発生器アレーと、
前記電子発生器アレーと作動的に接続されてバイアス電圧を前記電子発生器に付加する高電圧パワーサプライと、
前記電荷検知電極と前記高電圧パワーサプライに作動的に接続され、前記電荷検知電極からの電荷検知信号に応答して制御信号を発生させて、その制御信号を前記高電圧パワーサプライに付加してその高電圧パワーサプライの出力を調整し、それにより、前記電子発生器アレーの電子出力を調整する制御手段とを有する、イオン打込みワークピース上の過剰電荷を中和させるための装置。 - 前記電子発生器アレーが平行に整列配置された複数の電子発生マイクロチャネルを含んでいる、請求項11に記載の装置。
- 前記複数のマイクロチャネルが互いに固定されて一つのシート又はプレートを構成している、請求項12に記載の装置。
- 前記電荷検知電極が複数の電荷検知素子を含み、前記電子発生器アレーが複数の電子発生サブアレーを含み、前記サブアレーの各々が各電荷検知素子に作動的に接続される、請求項11に記載の装置。
- 前記高電圧パワーサプライが、前記複数の電子発生サブアレーの各々に個別の電圧を提供するための複数の出力チャネルを有し、前記複数の電子発生サブアレーの各々に適切な電圧が付加されるように、前記複数の電子発生サブアレーの各々に関連する単一のアドレスを前記高電圧パワーサプライに提供して、それにより、前記複数の電子発生サブアレーの各々の電子放射を個別に調整することができるようにするアドレス手段を前記制御手段が有している、請求項14に記載の装置。
- 前記複数の電荷検知素子が第一の線形アレー中に配列され、前記複数の電子発生サブアレーが前記第一の線形アレーから離間した第二の線形アレー中に配列されている、請求項14に記載の装置。
- 前記制御手段が、前記電荷検知電極による電荷の検知と前記電子発生器アレーによる電子の発生との間のタイムラグを補正するための制御信号をタイムシフトするよう構成された時間遅れ回路を有している、請求項11に記載の装置。
- 前記電荷検知電極からの出力信号をデジタル的にサンプリングしてデジタル信号を提供する手段と、
前記デジタルサンプリング手段と作動的に接続されてデジタル信号出力を受けるマイクロプロセッサとを有し、
前記マイクロプロセッサが前記高電圧パワーサプライに対してインプット用の制御信号を発生するようになっている、請求項11に記載の装置。 - 前記電荷検知電極が複数の電荷検知素子を有し、前記電子発生器アレーが複数の電子発生サブアレーを有し、前記サブアレーの各々が作動的に各電荷検知素子と接続されるようになっている、請求項18に記載の装置。
- 前記高電圧パワーサプライが前記複数の電子発生サブアレーの各々に個別の電圧を提供する複数の出力チャネルを有し、前記マイクロプロセッサが、前記複数の電子発生サブアレーの各々に適切な電圧が付加されるように、前記複数の電子発生サブアレーの各々に関連する単一のアドレスを前記高電圧パワーサプライに提供して、それにより、前記複数の電子発生サブアレーの各々の電子放射を個別に調整することができるようにプログラミングされている、請求項19に記載の装置。
- イオンが打ち込まれた半導体ウェーハに近づけて位置決めされるようになっている電荷検知電極と、
前記電荷検知電極とは離間して前記イオン打込み半導体ウェーハに近づけて位置決めされるようになっている電子発生器アレーと、
前記電子発生器アレーと作動的に接続されてバイアス電圧を前記電子発生器アレーに提供する高電圧パワーサプライと、
前記電荷検知電極及び前記高電圧パワーサプライと作動的に接続され、前記電荷検知電極からの電荷検知信号に応答して制御信号を発生させて、その制御信号を前記高電圧パワーサプライに付加してその高電圧パワーサプライの出力を調整し、それにより、前記電子発生器アレーの電子出力を調整させることのできる制御手段と、
前記電荷検知電極と前記電子発生器アレーとが前記半導体ウェーハの表面を走査することができるように、前記電荷検知電極及び前記電子発生器アレーと前記半導体ウェーハとの間の相対移動を可能にさせる手段とを有している、イオン打込み半導体ウェーハ上の過剰電荷を中和させるための装置。
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