JP2005291655A - ファンフィルタユニット - Google Patents
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Abstract
【解決手段】ファン1とモーター2と天板3の一体化したファンユニット天板部4とケミカルフィルタ5を内蔵するチャンバー6と、前記チャンバー6の下流側に塵埃除去フィルタ7を配設したファンフィルタ空気清浄ユニット8とからなり、前記ファンユニット天板部4は、前記ケミカルフィルタ5を内蔵するチャンバー6と分離可能な手段で前記チャンバー6に固定されている。
上記構成において、前記チャンバー6の上面からファンユニット天板部4を外しケミカルフィルタ5を前記チャンバー6の上面より取り出すことができるケミカルフィルタ内包形のファンフィルタユニットが得られる。
【選択図】図1
Description
図1に示すように、ファン1とモーター2と天板3の一体化したファンユニット天板部4と、ファンユニット天板部4の下流側に設けたケミカルフィルタ5と、ファンユニット天板部4とケミカルフィルタ5を内蔵するチャンバー6と、チャンバー6の下流側に塵埃除去フィルタ7を配設したファンフィルタ空気清浄ユニット8とからなり、ファンユニット天板部4は、ケミカルフィルタ5を内蔵するチャンバー6から分離することができ、着脱可能になっている。またケミカルフィルタ5には保持手段9と固定手段が設けられ、固定手段の固定金具10は、チャンバー6の内部に配置した固定金具10を受ける固定金具受け11により前記チャンバー6の内部に固定される構成となっている。
図1に示すように、ファンユニット天板部4の構成部材である天板3の周辺には、立上がり部分13を設けてあり、天板3の強度を増すとともに天板3の変形を抑制することができる。
図1に示すように、ファンユニット天板部4の構成部材である天板3に取っ手14を設け、チャンバー6の上面からファンユニット天板部4を外してケミカルフィルタ5をチャンバー6の上面より取り出す時に持ちやすくするとともに、取っ手14の数に応じて取っ手14にかかる力を分散できる。
図2に示すように、ファン1とモーター2と円形天板15から構成したファンユニット円形天板部16と、ファンユニット円形天板部16の下流側に設けた円形ケミカルフィルタ17と、ファンユニット円形天板部16と円形ケミカルフィルタ17を内蔵した円形チャンバー18と、円形チャンバー18の下流側に塵埃除去フィルタ19を配設したファンフィルタユニットであって、ファンユニット円形天板部16を円形チャンバー18から外して円形ケミカルフィルタ17を円形チャンバー18の上面より取り出すことができる。
図3に示すように、ファンユニット円形天板部16の構成部材である円形天板15の周辺には、立上がり部分20を設けてあり、円形天板15の強度を増すとともに円形天板15の変形を抑制することができる。
図3に示すように、ファンユニット円形天板部16の構成部材である円形天板15に取っ手21を設け、円形チャンバー18の上面からファンユニット円形天板部16を外して円形ケミカルフィルタ17を円形チャンバー18の上面より取り出す時に持ちやすくするとともに取っ手21の数に応じて取っ手21にかかる力を分散できる。
図4に示すように、ファン1とモーター2と天板3から構成したファンユニット天板部4と、ファンユニット天板部4の下流側に設けたケミカルフィルタ22と、ファンユニット天板部4とケミカルフィルタ22を内蔵したチャンバー6と、チャンバー6の下流側に塵埃除去フィルタ7を配設して、ケミカルフィルタ22を少なくとも2枚以上に分割したファンフィルタユニットである。
図4に示すように、ケミカルフィルタ22は、2枚以上に分割され、チャンバー6の内部に保持する保持手段23と固定手段が設けられ、固定手段の固定金具24は、チャンバー6の内部に配置した固定金具を受ける固定金具受け25により前記チャンバー6の内部に固定される構成となっている。
また、チャンバー6には、ファンフィルタユニットを取り付けるためのボルトとナットの連結部12がある。
図4に示すように、ケミカルフィルタ22の下流側には緩衝材26を設け、ケミカルフィルタ22と塵埃除去フィルタ7の密閉度が緩衝材26により保っている。
図5に示すように、ファン1とモーター2と円形天板27から構成したファンユニット円形天板部28と、ファンユニット天板部4の下流側に設けた円形ケミカルフィルタ29と、ファンユニット円形天板部28と円形ケミカルフィルタ29を内蔵した円形チャンバー30と、円形チャンバー30の下流側に塵埃除去フィルタ7を配設して、円形ケミカルフィルタ29を少なくとも2枚以上に分割したファンフィルタユニットである。
図5に示すように、円形ケミカルフィルタ29は、2枚以上に分割され、円形チャンバー30の内部に保持する保持手段31と固定手段が設けられ、固定手段の固定金具32は、円形チャンバー30の内部に配置した固定金具32を受ける固定金具受け33により円形チャンバー30の内部に固定される構成となっている。
図5に示すように、円形ケミカルフィルタ29の下流側には緩衝材34を設け、円形ケミカルフィルタ29と塵埃除去フィルタ7の密閉度が緩衝材34により保つという作用を有する.。
チャンバー内部に分割可能なケミカルフィルタの固定手段を有したチャンバーすることにより、メンテナンス省力化、ファンフィルタユニット省施工性の向上が実現でき、クリーンルーム内で用いられるケミカルフィルタ内包のファンフィルタユニットの取付けの用途に適用できる。
2 モーター
3 天板
4 ファンユニット天板部
5 ケミカルフィルタ
6 チャンバー
7 塵埃除去フィルタ
8 ファンフィルタ空気清浄ユニット
9 保持手段
10 固定金具
11 固定金具受け
12 連結部
13 立上がり部分
14 取っ手
15 円形天板
16 ファンユニット円形天板部
17 円形ケミカルフィルタ
18 円形チャンバー
19 塵埃除去フィルタ
20 立上がり部分
21 取っ手
22 ケミカルフィルタ
23 保持手段
24 固定金具
25 固定金具受け
26 緩衝材
27 円形天板
28 ファンユニット円形天板部
29 円形ケミカルフィルタ
30 円形チャンバー
31 保持手段
32 固定金具
33 固定金具受け
34 緩衝材
Claims (12)
- ファンとモーターと天板から構成したファンユニット天板部と、前記ファンユニット天板部の下流側に設けたケミカルフィルタと、前記ファンユニット天板部と前記ケミカルフィルタを内蔵したチャンバーと、前記チャンバーの下流側に塵埃除去フィルタを配設したファンフィルタユニットであって、前記ファンユニット天板部を前記チャンバーから分離可能な構成としたファンフィルタユニット。
- 天板の周辺に立上がり部分を設けた請求項1記載のファンフィルタユニット。
- 天板に取っ手を設けた請求項1記載のファンフィルタユニット。
- ファンとモーターと円形天板から構成したファンユニット円形天板部と、前記ファンユニット円形天板部の下流側に設けた円形ケミカルフィルタと、前記ファンユニット円形天板部と前記円形ケミカルフィルタを内蔵した円形チャンバーと、前記円形チャンバーの下流側に塵埃除去フィルタを配設したファンフィルタユニットであって、前記ファンユニット円形天板部を前記円形チャンバーから分離可能な構成としたファンフィルタユニット。
- 円形天板の周辺に立上がり部分を設けた請求項4記載のファンフィルタユニット。
- 円形天板に取っ手を設けた請求項4記載のファンフィルタユニット。
- ファンとモーターと天板から構成したファンユニット天板部と、前記ファンユニット天板部の下流側に設けたケミカルフィルタと、前記ファンユニット天板部と前記ケミカルフィルタを内蔵したチャンバーと、前記チャンバーの下流側に塵埃除去フィルタを配設したファンフィルタユニットであって、前記ケミカルフィルタを少なくとも2枚以上に分割したファンフィルタユニット。
- ケミカルフィルタの保持手段を設けた請求項7記載のファンフィルタユニット。
- ケミカルフィルタの下流側に緩衝材を設けた請求項7記載のファンフィルタユニット。
- ファンとモーターと円形天板から構成したファンユニット円形天板部と、前記ファンユニット円形天板部の下流側に設けた円形ケミカルフィルタと、前記ファンユニット円形天板部と前記円形ケミカルフィルタを内蔵した円形チャンバーと、前記円形チャンバーの下流側に塵埃除去フィルタを配設したファンフィルタユニットであって、前記円形ケミカルフィルタを少なくとも2枚以上に分割したファンフィルタユニット。
- 円形ケミカルフィルタの保持手段を設けた請求項7記載のファンフィルタユニット。
- 円形ケミカルフィルタの下流側に緩衝材を設けた請求項7記載のファンフィルタユニット。
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