JP2005286013A - 太陽電池セルの製造方法及び太陽電池セル - Google Patents
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- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims abstract description 33
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims abstract description 67
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 claims abstract description 8
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 34
- 238000000227 grinding Methods 0.000 claims description 10
- 238000000605 extraction Methods 0.000 claims description 5
- 230000000717 retained effect Effects 0.000 abstract 1
- 235000012431 wafers Nutrition 0.000 description 44
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 10
- 238000009792 diffusion process Methods 0.000 description 7
- KFZMGEQAYNKOFK-UHFFFAOYSA-N Isopropanol Chemical compound CC(C)O KFZMGEQAYNKOFK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 6
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 6
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 description 5
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 5
- 238000005336 cracking Methods 0.000 description 5
- 238000003825 pressing Methods 0.000 description 5
- 238000001771 vacuum deposition Methods 0.000 description 5
- KWYUFKZDYYNOTN-UHFFFAOYSA-M Potassium hydroxide Chemical compound [OH-].[K+] KWYUFKZDYYNOTN-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 4
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 230000000052 comparative effect Effects 0.000 description 4
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 4
- 238000007650 screen-printing Methods 0.000 description 4
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 4
- 239000010703 silicon Substances 0.000 description 4
- 238000004544 sputter deposition Methods 0.000 description 4
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 3
- 238000001816 cooling Methods 0.000 description 3
- 239000013078 crystal Substances 0.000 description 3
- XKRFYHLGVUSROY-UHFFFAOYSA-N Argon Chemical compound [Ar] XKRFYHLGVUSROY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- CURLTUGMZLYLDI-UHFFFAOYSA-N Carbon dioxide Chemical compound O=C=O CURLTUGMZLYLDI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- KRHYYFGTRYWZRS-UHFFFAOYSA-N Fluorane Chemical compound F KRHYYFGTRYWZRS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- OAICVXFJPJFONN-UHFFFAOYSA-N Phosphorus Chemical compound [P] OAICVXFJPJFONN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910052581 Si3N4 Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000007864 aqueous solution Substances 0.000 description 2
- 239000012535 impurity Substances 0.000 description 2
- 229910052698 phosphorus Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000011574 phosphorus Substances 0.000 description 2
- 238000005240 physical vapour deposition Methods 0.000 description 2
- 238000005268 plasma chemical vapour deposition Methods 0.000 description 2
- 238000001020 plasma etching Methods 0.000 description 2
- HQVNEWCFYHHQES-UHFFFAOYSA-N silicon nitride Chemical compound N12[Si]34N5[Si]62N3[Si]51N64 HQVNEWCFYHHQES-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- GYHNNYVSQQEPJS-UHFFFAOYSA-N Gallium Chemical compound [Ga] GYHNNYVSQQEPJS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052786 argon Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000005422 blasting Methods 0.000 description 1
- 239000001569 carbon dioxide Substances 0.000 description 1
- 229910002092 carbon dioxide Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000005229 chemical vapour deposition Methods 0.000 description 1
- 238000003776 cleavage reaction Methods 0.000 description 1
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 description 1
- 238000000576 coating method Methods 0.000 description 1
- 230000003247 decreasing effect Effects 0.000 description 1
- 230000005611 electricity Effects 0.000 description 1
- 239000007772 electrode material Substances 0.000 description 1
- 238000010894 electron beam technology Methods 0.000 description 1
- 238000005530 etching Methods 0.000 description 1
- 238000010304 firing Methods 0.000 description 1
- 229910052733 gallium Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910021478 group 5 element Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000005468 ion implantation Methods 0.000 description 1
- 230000001678 irradiating effect Effects 0.000 description 1
- 239000007788 liquid Substances 0.000 description 1
- 239000002923 metal particle Substances 0.000 description 1
- 150000004767 nitrides Chemical class 0.000 description 1
- 230000003647 oxidation Effects 0.000 description 1
- 238000007254 oxidation reaction Methods 0.000 description 1
- RLOWWWKZYUNIDI-UHFFFAOYSA-N phosphinic chloride Chemical compound ClP=O RLOWWWKZYUNIDI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000005096 rolling process Methods 0.000 description 1
- 230000007017 scission Effects 0.000 description 1
- 229910052709 silver Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000004332 silver Substances 0.000 description 1
- 238000001228 spectrum Methods 0.000 description 1
- 238000007738 vacuum evaporation Methods 0.000 description 1
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Abstract
【解決手段】半導体基板から太陽電池セルを製造する方法であって、少なくとも、前記基板の表面に光を受光するためのpn接合を形成し、裏面に電力取出し用の裏面電極を形成した後、前記太陽電池セル基板に生じた反りを打消すように該太陽電池セル基板を支持台に保持し、前記裏面電極に複数の溝を形成することを特徴とする太陽電池セルの製造方法、及び少なくとも半導体基板の表面に光を受光するためのpn接合が形成され、裏面に電力取出し用の裏面電極が形成された太陽電池セルであって、前記裏面電極は複数の溝が形成されたものであり、該溝は、長手方向が前記太陽電池セルの反りの曲率が最大である方向に対して70〜110度の角度をなすように形成されたものであることを特徴とする太陽電池セル。
【選択図】なし
Description
1)真空蒸着、スパッタ
2)スクリーン印刷
真空蒸着やスパッタでは、真空雰囲気中で金属粒子を基板に付着させ金属膜を作製する。また、スクリーン印刷では、導電性ペーストを基板に印刷し、その後の焼成によって導電性ペーストを固化、接着させる。
すなわち、前記の方法により作製された裏面電極と基板との間の熱収縮率の違いから、裏面電極作製工程後に裏面電極内に残留応力が生じ、太陽電池セル基板に反りが発生する。この反りは、電極材料の方が成膜後の冷却過程で基板よりも大きな収縮をすることから、裏面が凹形状になるように発生する。さらに、この反りは、基板厚が薄い場合や大面積の基板を用いた場合により大きく現れる。この基板の反りの出現により、太陽電池セルの製造工程において太陽電池セル基板のハンドリング作業が困難となるため、太陽電池セル基板の割れが誘発され、太陽電池セルの歩留まりが低下する。
しかし、ブラスト法では基板にダメージを与えるおそれがあり、反応性イオンエッチング法では除去速度が遅く生産コストが高いといった問題点がある。
このように、太陽電池セル基板を、裏面電極が凸となるように支持台に保持すれば、確実に反りを打ち消すように保持でき、溝形成による裏面電極内の残留応力の低減効果をより高いものとできる。
このように、支持台を凸状支持台とすれば、太陽電池セル基板を裏面電極が凸となるように支持台に保持することが容易にできる。また、支持台を少なくとも太陽電池セル基板の中央部と両端部の3ケ所を支持できるローラ群からなるものとすれば、太陽電池セル基板を裏面電極側が凸となった状態で保持し、ローラ群のころがりにより基板を移動させながら溝を形成することができ、また基板の搬送もできるので、溝形成加工の連続処理が可能となり、大量生産に対応することができる。
このように、太陽電池セル基板を真空吸着またはセル両端部の押圧により凸状支持台に保持すれば、太陽電池セル基板を裏面電極側が凸となるように支持台に保持することが容易にでき、効果的に反りを打ち消すことができる。
このように、複数の溝を形成する際に、太陽電池セル基板を50〜500℃に加熱すれば、太陽電池セル基板に生じた反りを打ち消すように太陽電池セル基板を支持台に保持した時に、太陽電池セル基板に応力が掛かって割れが発生するというおそれがないものとできる。
このように、複数の溝を基板に達する深さまで形成すれば、裏面電極内の厚さ方向全体にわたって残留応力の低減効果を高いものとできる。
このように、複数の溝をレーザ加工または研削加工により形成すれば、基板にダメージを与えず、低コストで溝を形成できる。
このように、複数の溝を、該溝の長手方向と太陽電池セル基板の反りの曲率が最大である方向とのなす角度が70〜110度、すなわち90±20度となるように形成すれば、ほぼ反りが最大で残留応力が最も強い方向に垂直に溝を形成することになるので、残留応力の低減効果をより高いものとできる。
まず、太陽電池セル20を製造する半導体基板として、例えばIII族元素のガリウムをp型の不純物元素として所定量ドープした太陽電池用のp型シリコン単結晶ウエハ1(例えば10cm角、面方位{100}、基板厚300μm、抵抗率0.5Ω・cmのものであるが、特にこれに限定されない)を用意し、水酸化カリウム水溶液によりエッチングして表面のダメージ層を取り除く。
さらにIPA(イソプロピルアルコール)を混合した水酸化カリウム水溶液により、反射防止構造であるテクスチャ構造を表面に形成する。
このように、p型ウエハとその上に作製したn拡散層により、ウエハ1の表面に光を受光し起電するためのpn接合を形成する。
そして、裏面に対しアルミニウム等の金属の真空蒸着を施し、例えば厚さ5μmの裏面電極2を裏面のほぼ全面に形成する。この裏面電極2は、スパッタ等の成膜法によって形成されてもよい。また、従来のアルミニウムや銀等を含む導電性ペーストのスクリーン印刷、焼成法により裏面電極2を形成することも可能である。
このように形成された裏面電極2とウエハ1との間の熱収縮率の違いから、裏面電極作製工程後の冷却過程において裏面電極2の内部には残留応力が生じ、ウエハ1には裏面側が凹形状になるように反りが発生している。
なお、太陽電池セルとしてOECO(Obliquely Evaporated Contact)セルを製造する場合は、例えばテクスチャ構造を形成する前にダイサ等により表面に複数の凸条部を互いに平行に形成し、裏面電極形成後、アルミニウム等の金属を、ウエハに対して斜め方向から電子ビーム真空蒸着を行い、凸条部側面に金属を蒸着してフィンガ電極を形成する。
このように、ウエハ1を反りを打ち消すように支持台に保持すると、反りの発生によりある程度緩和していた裏面電極2内の残留応力が再び発現する。この状態で複数の溝を形成すれば、溝によって裏面電極2の残留応力が緩和するので、残留応力が効果的に低減され、ウエハ1を支持台から取り外しても反りが低減された状態となる。
このように、ウエハ1を、裏面電極2の方が凸となるように凸状の太陽電池セル支持台9に保持するので、容易且つ確実に反りを打ち消すように保持することができる。この場合、支持台9に具備した真空吸着装置(不図示)を用いて真空吸着によりウエハ1を保持しているので、ウエハを均一に保持でき、所定の溝を正確に形成することができ、裏面電極内の残留応力の低減効果をより高いものとできる。
押圧は、例えばこのように溝形成のための開口部をもち、支持台9の形状に合うような曲線形状をもつ押さえ板12により施すことができる。この場合も、ウエハを均一に保持できるので所定の溝を正確に形成することができる。研削加工は研削砥石11により行なうことができ、研削砥石11としては、従来の基板加工用のダイサを用いることができ、ウエハにダメージを与えず、生産性高く低コストで溝を形成できる。
この太陽電池セル保持・搬送用ローラ13は、ウエハ1の中央部と両端部を支持するローラ群からなるものであり、ローラにより裏面電極2の方が凸となった状態で保持し、ウエハ1を移動させながら溝を形成し、搬送することができるので、溝加工の連続処理が可能となり、大量生産に対応することができる。
(実施例1、比較例1)
10cm角、面方位{100}、厚さ300μm、抵抗率0.5Ω・cmのガリウム添加p型シリコン単結晶ウエハに、熱拡散によりリンを添加した厚さ0.4μmのn拡散層を形成してpn接合を形成し、裏面にアルミニウムの真空蒸着を施して厚さ5μmの裏面電極を裏面の全面に形成した。そしてアルミニウムの真空蒸着により受光面にフィンガ電極を形成し、この上にさらにプラズマCVDにより膜厚70nmのシリコンナイトライドの反射防止膜を形成し、太陽電池セルを200枚作製した。これらの太陽電池セルには裏面が凹となった反りが発生していた。
そして、YAGレーザを用いたレーザ加工により、裏面電極に連続する長さ10cm程度の溝を、裏面電極の反りの曲率が最大の方向と垂直の方向に20本形成した。
4…酸化膜、 5…n拡散層、
6…酸化膜開口部、 7…表面フィンガ電極、
8…反射防止膜、 9…太陽電池セル支持台、
10…レーザ光、 11…研削砥石、
12…押さえ板、 13…太陽電池セル保持・搬送用ローラ、
20…太陽電池セル。
Claims (10)
- 半導体基板から太陽電池セルを製造する方法であって、少なくとも、前記基板の表面に光を受光するためのpn接合を形成し、裏面に電力取り出し用の裏面電極を形成した後、前記太陽電池セル基板に生じた反りを打ち消すように該太陽電池セル基板を支持台に保持し、前記裏面電極に複数の溝を形成することを特徴とする太陽電池セルの製造方法。
- 前記太陽電池セル基板を、前記裏面電極が凸となるように前記支持台に保持することを特徴とする請求項1に記載の太陽電池セルの製造方法。
- 前記支持台を、凸状支持台、または少なくとも前記太陽電池セル基板の中央部と両端部の3ケ所を支持できるローラ群からなるものとすることを特徴とする請求項1または請求項2に記載の太陽電池セルの製造方法。
- 前記太陽電池セル基板を、真空吸着または前記セル両端部の押圧により前記凸状支持台に保持することを特徴とする請求項3に記載の太陽電池セルの製造方法。
- 前記複数の溝を形成する際に、前記太陽電池セル基板を50〜500℃に加熱することを特徴とする請求項1乃至請求項4のいずれか1項に記載の太陽電池セルの製造方法。
- 前記複数の溝を、前記基板に達する深さまで形成することを特徴とする請求項1乃至請求項5のいずれか1項に記載の太陽電池セルの製造方法。
- 前記複数の溝を、レーザ加工または研削加工により形成することを特徴とする請求項1乃至請求項6のいずれか1項に記載の太陽電池セルの製造方法。
- 前記複数の溝を、該溝の長手方向と前記太陽電池セル基板の反りの曲率が最大である方向とのなす角度が70〜110度となるように形成することを特徴とする請求項1乃至請求項7のいずれか1項に記載の太陽電池セルの製造方法。
- 請求項1乃至請求項8のいずれか1項に記載の方法により製造されたものであることを特徴とする太陽電池セル。
- 少なくとも半導体基板の表面に光を受光するためのpn接合が形成され、裏面に電力取り出し用の裏面電極が形成された太陽電池セルであって、前記裏面電極は複数の溝が形成されたものであり、該溝は、長手方向が前記太陽電池セルの反りの曲率が最大である方向に対して70〜110度の角度をなすように形成されたものであることを特徴とする太陽電池セル。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2004096279A JP4319079B2 (ja) | 2004-03-29 | 2004-03-29 | 太陽電池セルの製造方法及び太陽電池セル |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2004096279A JP4319079B2 (ja) | 2004-03-29 | 2004-03-29 | 太陽電池セルの製造方法及び太陽電池セル |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2005286013A true JP2005286013A (ja) | 2005-10-13 |
JP4319079B2 JP4319079B2 (ja) | 2009-08-26 |
Family
ID=35184078
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2004096279A Expired - Fee Related JP4319079B2 (ja) | 2004-03-29 | 2004-03-29 | 太陽電池セルの製造方法及び太陽電池セル |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP4319079B2 (ja) |
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2008205063A (ja) * | 2007-02-19 | 2008-09-04 | Sanyo Electric Co Ltd | 太陽電池モジュール |
KR20120026777A (ko) * | 2010-09-10 | 2012-03-20 | 엘지전자 주식회사 | 태양 전지 및 그 제조 방법 |
US10121915B2 (en) | 2010-08-27 | 2018-11-06 | Lg Electronics Inc. | Solar cell and manufacturing method thereof |
CN111130457A (zh) * | 2018-10-31 | 2020-05-08 | 深圳市永盛隆科技有限公司 | 柔性光伏组件最小卷曲半径确定方法 |
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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JP2008205063A (ja) * | 2007-02-19 | 2008-09-04 | Sanyo Electric Co Ltd | 太陽電池モジュール |
US10121915B2 (en) | 2010-08-27 | 2018-11-06 | Lg Electronics Inc. | Solar cell and manufacturing method thereof |
KR20120026777A (ko) * | 2010-09-10 | 2012-03-20 | 엘지전자 주식회사 | 태양 전지 및 그 제조 방법 |
KR101699315B1 (ko) | 2010-09-10 | 2017-01-24 | 엘지전자 주식회사 | 태양 전지 및 그 제조 방법 |
CN111130457A (zh) * | 2018-10-31 | 2020-05-08 | 深圳市永盛隆科技有限公司 | 柔性光伏组件最小卷曲半径确定方法 |
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Publication number | Publication date |
---|---|
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FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
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FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
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Free format text: PAYMENT UNTIL: 20150605 Year of fee payment: 6 |
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