JP2005285870A - エピタキシャル基板 - Google Patents
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Abstract
【課題】従来の窒化物系半導体を用いた電界効果トランジスタ製造用のエピタキシャル基板は、まだ、十分な電子移動度を有しているとは言えず、さらなる電子移動度向上が必要であった。
【解決手段】窒化物系半導体により構成された、電子走行層及び障壁層を順次積層してなるヘテロ構造を含む電界効果トランジスタ製造用のエピタキシャル基板において、上記障壁層が、AlxGa1−xN(0<x≦1)で表される窒化アルミニウムガリウムからなる第1の層と窒化ガリウムからなる第2の層を、交互に周期的に積層してなる超格子構造であり、上記第1の層の膜厚t1と第2の層の膜厚t2が、0.9<t1/t2<1.1を満たし、かつ、周期数Nが、3<N<10を満たすものとする。
【選択図】図1
【解決手段】窒化物系半導体により構成された、電子走行層及び障壁層を順次積層してなるヘテロ構造を含む電界効果トランジスタ製造用のエピタキシャル基板において、上記障壁層が、AlxGa1−xN(0<x≦1)で表される窒化アルミニウムガリウムからなる第1の層と窒化ガリウムからなる第2の層を、交互に周期的に積層してなる超格子構造であり、上記第1の層の膜厚t1と第2の層の膜厚t2が、0.9<t1/t2<1.1を満たし、かつ、周期数Nが、3<N<10を満たすものとする。
【選択図】図1
Description
本発明は、超格子構造を用いたエピタキシャル基板に関するものである。
窒化アルミニウム(以下、AlNという。)、窒化ガリウム(以下、GaNという。)、窒化インジウム(以下、InNという。)、あるいは、それらの混晶である窒化アルミニウムガリウムインジウム(以下、AlxGa1−x−yInyN(0<x<1, 0<y<1, x+y<1)という。)などの窒化物系半導体は受発光素子や電子走行素子に用いることができるため、近年、その結晶成長や半導体装置への応用について、幅広く研究がなされている。窒化物系半導体は大型のバルク単結晶が成長できないため、一般的には、サファイアなどの異種基板を半導体成長用基板に用いてヘテロエピタキシャル成長させている。エピタキシャル成長の方法としては、有機金属気相成長(MOVPE) 法、分子線エピタキシー(MBE)法、ハライド気相成長(HVPE)法などがあるが、実用化の面で最も一般的なのはMOVPE法である。
また、上記のような半導体素子を用いた半導体装置は、窒化物系半導体層を積層してなる構造をサファイア基板の全面にエピタキシャル成長した後、所望のデバイス形状に加工し、電極を形成している。
禁制帯幅の広い窒化物系半導体材料は、絶縁破壊電圧高いという特性を有し、高電界下でも破壊することなく動作できることから、高出力通信用の半導体装置への応用が期待されている。
例えば、Phys. Stat. Sol.(a)200, No.1,161−167(2003)によると、図2のようにして、高密度の2次元電子ガスを誘起するヘテロ接合によって、電界効果トランジスタ(以下、FETという)を形成している。
まず、半導体成長用基板21上に、AlNからなるバッファ層22を介してアンドープGaN層23を成長させ、その後、アンドープAl0.25Ga0.75Nからなる障壁層24を積層し、エピタキシャル基板2としている。
そして、エピタキシャル基板2上にソース電極25、ドレイン電極26、ゲート電極27をそれぞれ形成して、FETが得られている。
その他、多くの報告例があるが、上記の例が最も基本的な窒化物系半導体によるFET製造用のエピタキシャル基板の構造である。
このように、FET製造用のエピタキシャル基板は、障壁層として、AlGaNの単層を用いることが一般的である。
一方、発光素子にも上記のような窒化物系半導体は用いられる。
活性層を超格子構造として輝度を向上させたり、n型、または、p型、または、それらの両方のクラッド層を超格子構造として、発光素子の動作電圧を低減する試みが既に成されている。
特許文献1は、p型クラッド層として超格子構造を用いた例であり、その模式的な断面図を図3に示す。
まず、サファイアよりなる半導体成長用基板31の上に、GaNよりなるバッファ層32、Siドープn型GaNよりなるn側コンタクト層33、単一量子井戸構造のGaInNよりなる活性層34、互いに組成の異なる第1の層と第2の層とが積層された超格子層よりなるp側クラッド層35、MgドープGaNよりなるp側コンタクト層36とが順に積層されている青色発光ダイオード構造である。p電極37、pパッド電極38、n電極39を形成して発光素子を得ている。
特開平10−335757号公報
FETをより高周波で動作させるためには、エピタキシャル基板において、遮断周波数を律則している電子移動度が高いことが望まれる。
従来の窒化物系半導体を用いた電界効果トランジスタ製造用のエピタキシャル基板は、まだ、十分な電子移動度を有しているとは言えず、さらなる電子移動度向上が必要であった。
より高い遮断周波数を得るためには、1000cm2/V・秒以上の電子移動度が必要であるが、様々な電子の散乱要因により、電子移動度向上は困難であった。
上記に鑑みて本発明は、基板上に窒化物系半導体により構成された電子走行層及び障壁層を順次積層してなるヘテロ構造を含む電界効果トランジスタ製造用のエピタキシャル基板において、上記障壁層が、AlxGa1−xN(0<x≦1)で表される窒化アルミニウムガリウムからなる第1の層と窒化ガリウムからなる第2の層を、交互に周期的に積層してなる超格子構造であり、上記第1の層の膜厚t1と第2の層の膜厚t2が、0.9<t1/t2<1.1を満たし、かつ周期数Nが、3<N<10を満たすことを特徴とするものである。
また、上記障壁層の膜厚が、10nmより大きく、100nm以下であることを特徴とするものである。
窒化物系半導体により構成される電界効果トランジスタ製造用のエピタキシャル基板において、障壁層として超格子構造を用いることにより、電子移動度を向上でき、より高周波動作が可能な電界効果トランジスタ製造用のエピタキシャル基板を提供できた。
以下に、本発明の実施形態について説明する。
図1は、本発明のエピタキシャル基板1を示す断面図である。
半導体成長用基板11上に低温バッファ層12を介して、アンドープGaNからなる電子走行層13を積層し、その上に障壁層14を構成する超格子構造を形成する。
上記超格子構造は、AlxGa1−xN(0<x≦1)で表される窒化アルミニウムガリウムからなる第1の層141と窒化ガリウムからなる第2の層142を、交互に、かつ、周期的に積層してなる。
AlxGa1−xN(0<x≦1)は、GaNよりもバンドギャップが大きいため、超格子構造14内では、第1の層141は電子に対するポテンシャル障壁として、また、第2の層142は、ポテンシャル井戸として機能する。両者の膜厚t1、t2の組み合わせは、障壁層14中や、電子走行層13と障壁層14の界面付近を動く電子の挙動に大きく影響を及ぼすので、そのバランスが重要である。第1の層141、及び、第2の層142の界面には、窒化物系半導体特有のピエゾ効果の影響により、高密度の2次元電子ガスが形成されるので、超格子構造を用いてそれを周期的に配置することにより、電子移動度を一層高める効果があるものと考えられる。
本発明者らが誠意研究を行った結果、上記第1の層141の膜厚t1と第2の層142の膜厚t2が0.9<t1/t2<1.1を満たす場合に電子移動度を高めることが好ましいことを見出した。これは、t1、及び、t2が同程度であることが相応しいことを示している。
t1/t2が上記範囲外の場合、電子移動度が悪くなるという不具合が発生する。
また、超格子構造の周期数Nは整数であるが、周期数Nが大きい方が電子移動度を高めることができ望ましい。
格子定数の異なるAlxGa1−xN(0<x≦1)とGaNを交互に積層していることから、周期数N>10の場合は、超格子構造中に応力を蓄積し、これに起因して電子移動度が低下する問題がある。
逆に、周期数N<3の場合は、超格子構造による電子移動度向上の効果が不充分であり、適さない。
従って、実用的な電界効果トランジスタを製造可能な1000cm2/V・秒以上の電子移動度を示すエピタキシャル基板とするには、周期数Nが3<N<10を満たすようにするのが良く、好ましくは、4<N<8であるのが良い。
また、超格子構造の全体としての膜厚は、10nmより大きく、100nm以下となるようにすれば良い。10nm未満であると、第1の層141、及び、第2の層142がそれぞれ薄すぎるため、一様で平坦に成長させることが困難であり、十分な2次元電子ガスを形成できない問題がある。
また、100nm以上の場合は、内部応力に起因して超格子構造にクラックを生じる問題がある。
また、周期数Nは、上記第1の層141の膜厚t1、及び、第2の層142膜厚t2の組み合わせを選んで設定しなければ、超格子構造14の膜厚が大きくなり、クラックを生じてしまうため、FET製造用のエピタキシャル基板として適さない。
また、電子移動度を向上するためには、超格子構造を構成する第1の層141、及び、第2の層142は、電子の散乱を低減するため、アンドープとするのが良い。そのとき、第1の層、及び、第2の層のキャリア密度は、ともに1.0×1017cm−3未満となる。
上記の従来技術で述べたように、発光素子においても超格子構造が用いられているが、発光素子が電子やホールの再結合により発光を得る縦型伝導素子であるのに対し、本発明は、電子の流れによってのみ動作する横型伝導素子である点で異なっている。
また、FETのソース電極、ドレイン電極のオーム性を容易に得ることを目的に、ソース電極、ドレイン電極が接する部分だけを超格子構造にすることがあるが、障壁層14全体を超格子構造にする点でも、本発明は異なっている。
なお、本発明で重要な指標となるエピタキシャル基板1の電子移動度は、ホール効果測定により求めることができる。
また、エピタキシャル基板1を構成する半導体成長用基板11は、サファイア、炭化珪素などの六方晶材料の他、シリコン、ガリウム砒素など、GaNを成長可能な材料を用いればよく、本発明はその材料を限定しない。
また、低温バッファ層12は、AlN、GaN、または、AlGaNなど、この上に成長させる電子走行層13が構成できれば良い。膜厚は、例えば20nm以上100nm以下とすればよいが、低温バッファ層12の材料によってその他の堆積条件が異なる。
また、電子走行層13はアンドープとする必要があり、電子走行層13と障壁層14における不純物散乱による電子移動度の低下を防ぐようにする。電子走行層13は、障壁層14中の第1の層141を構成するAlGaNのAlNモル分率よりも小さい窒化物系半導体を用いれば良く、例えばGaNやGaInNを用いればよい。膜厚は、例えば0.5μm以上5μm以下とすれば良く、好ましくは、2μm以上、3μm以下とすればよい。
上記のエピタキシャル基板1は、既存のエピタキシャル成長法を用いて製造すれば良く、MOVPE法、MBE法、HVPE法などのうちのいずれか、または、それらを組み合わせて用いればよい。
第1の実施例として、以下、図1を用いて、本発明の実施例を説明する。
エピタキシャル基板1は、MOVPE法により、III族原料としてトリメチルガリウム(TMG)、トリメチルアルミニウム(TMA)、V族原料としてアンモニア(NH3)、キャリアガスとして水素(H2)を用いて製造した。
半導体成長用基板11として、サファイア基板を用い、20nmのAlNからなる低温バッファ層12を450℃で堆積した。
その後、アンドープGaNからなる2.5μmの電子走行層13を1050℃で堆積した。
その後、1000℃において、V族原料として流量を調節したTMGとTMAを同時に流し、アンドープAl0.3Ga0.7Nからなる5nmの第1の層141を形成し、次に、TMGのみを流して、アンドープGaNからなる5nmの第2の層142を形成して、障壁層14とする超格子構造の1周期目を構成した。第1の層と第2の層は材料が異なることから、成長レートも異なるので、それぞれの成長時間は予め実験して算出した成長レートを元に設定した。
その後、2周期目以降も同様にして、第1の層141と第2の層142を交互に、かつ、周期的に形成して超格子構造を完成した。
なお、周期数N=1の場合、は超格子構造ではなく、単一ヘテロ構造である。
表1から分かるように、周期数Nが、3<N<10のとき、1000cm2/V・秒の高い電子移動度を示した。※を付した比較例において、N≦3においては電子移動度が不充分であり、また、N≧10ではクラックを生じていた。
また、t1/t2の比較を行うため、t2= 5nmのまま、t1=4.5nm、および、5.5nmとして超格子構造を作製した時の結果も併せて表1に示したが、t1/t2=0.9、及び、1.1の時は、高い電子移動度を得ることが出来なかった。
なお、クラックを生じた場合にはホール効果測定を行わなかった。
次に、第2の実施例として、実施例1と同様にして、エピタキシャル基板1を製造した。
表2から分かるように、t1、及び、t2においてt1/t2が1近傍の場合に高い電子移動度を有し、表2に全てのデータを示してないが、0.9<t1/t2<1.1の範囲であれば、1000cm2/V・秒の高い電子移動度を示すことがわかった。
なお、t1、及び、t2が共に、1nmの場合には電子移動度が低かったが、これは障壁層14の膜厚が10nmと薄いため、十分な2次元電子ガスが形成されなかったためと考えられる。
また、障壁層14の膜厚が100nmを超えるとクラックを生じていた。
※を付した比較例においては、電子移動度が不充分であり、また、(t1,t2)=(10nm,12nm)、(12nm,10nm)、(12nm,12nm)の組み合わせにおいては、障壁層14全体の膜厚が100nmを超えることから、クラックを生じていた。
なお、クラックを生じた場合にはホール効果測定を行わなかった。
1 エピタキシャル基板
11 半導体成長用基板
12 低温バッファ層
13 電子走行層
14 障壁層
141 第1の層
142 第2の層
11 半導体成長用基板
12 低温バッファ層
13 電子走行層
14 障壁層
141 第1の層
142 第2の層
Claims (2)
- 基板上に窒化物系半導体により構成された電子走行層及び障壁層を順次積層してなるヘテロ構造を含む電界効果トランジスタ製造用のエピタキシャル基板において、上記障壁層が、AlxGa1−xN(0<x≦1)で表される窒化アルミニウムガリウムからなる第1の層と窒化ガリウムからなる第2の層を交互に周期的に積層してなる超格子構造であり、上記第1の層の膜厚t1と第2の層の膜厚t2が0.9<t1/t2<1.1を満たし、周期数Nが、3<N<10を満たすことを特徴とするエピタキシャル基板。
- 上記障壁層の膜厚が、10nmより大きく、100nm以下であることを特徴とする請求項1記載のエピタキシャル基板。
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WO2015056797A1 (ja) * | 2013-10-18 | 2015-04-23 | 古河電気工業株式会社 | 窒化物半導体装置およびその製造方法、ならびにダイオードおよび電界効果トランジスタ |
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