JP2005279781A - Machining system, machining method and part assembling method - Google Patents

Machining system, machining method and part assembling method Download PDF

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Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a machining system and a machining method, realizing the most efficient machining in spite of variation in size and weight of works. <P>SOLUTION: In this machining system, while a work and a tool are relatively moved, the work is machined with the tool. The system includes: a table means 60 and a three-dimensional moving mechanism 10 for moving a Z-axis slider 11 with respect to the table means. The three-dimensional moving mechanism is provided with a first holder means 30 for selectively and replaceably fitting the work and the tool. The table means 60 is provided with a second holder means 62 for selectively and replaceably holding the tool or work corresponding to one of the work and the tool fitted to the first holder means. <P>COPYRIGHT: (C)2006,JPO&NCIPI

Description

本発明は、ワークと工具とを相対移動させながら、ワークを工具により加工する加工システムおよび加工方法に関する。たとえば、ワークに対して、旋削、穴あけ、断続加工、研削加工などの加工を行う加工システム、加工方法および部品組付方法に関する。   The present invention relates to a machining system and a machining method for machining a workpiece with a tool while relatively moving the workpiece and the tool. For example, the present invention relates to a processing system, a processing method, and a part assembling method for performing processing such as turning, drilling, intermittent processing, and grinding processing on a workpiece.

従来、ワークを工具により加工する加工機械の場合、ワークをテーブルなどに固定し、工具を移動自在に構成した工具移動型加工機械と、工具の移動軸の一部についてワークが移動できるように構成したワーク・工具移動型加工機械とに大別できる。
前者の工具移動型加工機械は、たとえば、ワークを載置するテーブルに対して、工具を保持した主軸側が三次元方向、つまり、テーブルに対して横方向(X軸方向)、前後方向(Y軸方向)および上下方向(Z軸方向)へ移動可能に構成されている。
後者のワーク・工具移動型加工機械は、たとえば、ワークを載置するテーブルが前後方向(Y軸方向)へ移動可能に構成され、工具を保持した主軸側がテーブルに対して横方向(X軸方向)および上下方向(Z軸方向)へ移動可能に構成されている(例えば、特許文献1参照)。
Conventionally, in the case of a processing machine that processes a workpiece with a tool, it is configured so that the workpiece can be moved about a part of the movement axis of the tool and a tool moving type processing machine that is configured so that the workpiece is fixed to a table and the tool is movable. It can be roughly divided into the machined and tool moving type processing machines.
In the former tool movement type processing machine, for example, the spindle side holding the tool is in a three-dimensional direction with respect to the table on which the workpiece is placed, that is, the lateral direction (X-axis direction), the longitudinal direction (Y-axis) Direction) and the vertical direction (Z-axis direction).
In the latter work / tool moving type processing machine, for example, a table on which a work is placed is configured to be movable in the front-rear direction (Y-axis direction), and the spindle side holding the tool is transverse to the table (X-axis direction). ) And the vertical direction (Z-axis direction) (see, for example, Patent Document 1).

特開平11−70428号公報JP-A-11-70428

従来の加工機械では、前述した工具移動型加工機械あるいはワーク・工具移動型加工機械のいずれでも、テーブル側にワークを、主軸側に工具を保持(固定)するものであるため、ワークの大きさや加工内容によっては、不利な場合がある。
たとえば、ワークが大重量で大きい場合、ワークを載置したテーブルが固定で、工具を保持した主軸がテーブルに対して移動する方が、両者の相対移動速度を早くでき、かつ、停止時の慣性力も小さく抑えることができるため、加工効率や加工精度の点で有利である。しかし、ワークが微細・軽量な場合、微細・軽量なワークに対して工具を保持した主軸側が重くなるため、これとは逆の場合に比べて、相対移動速度や慣性力などの点から不利な場合が生じる。
In conventional processing machines, the tool moving type processing machine or the workpiece / tool moving type processing machine described above holds (fixes) the work on the table side and the tool on the spindle side. Depending on the processing content, it may be disadvantageous.
For example, if the workpiece is large and heavy, the table on which the workpiece is placed is fixed, and the spindle holding the tool moves relative to the table can increase the relative movement speed between the two, and the inertia at the time of stopping Since the force can be kept small, it is advantageous in terms of processing efficiency and processing accuracy. However, when the workpiece is fine and lightweight, the spindle side holding the tool becomes heavy against the fine and lightweight workpiece, which is disadvantageous in terms of relative movement speed and inertial force compared to the opposite case. Cases arise.

本発明の目的は、ワークの大きさや重量が変わっても、最も効率的な加工を実現できる加工システムおよび加工方法、さらには、加工システムを用いた部品組付方法を提供することにある。   An object of the present invention is to provide a machining system and a machining method capable of realizing the most efficient machining even when the size and weight of a workpiece are changed, and further provide a component assembling method using the machining system.

本発明の加工システムおよび加工方法は、ワークと工具とを相対移動させながら、ワークを工具によって加工する際、ワークと工具とのいずれかを他に対して移動させるかを選択できるようにした点に特徴がある。   The machining system and the machining method of the present invention can select whether to move either the workpiece or the tool relative to the other when machining the workpiece with the tool while relatively moving the workpiece and the tool. There is a feature.

本発明の加工システムは、ワークと工具とを相対移動させながら、ワークを工具によって加工する加工システムであって、テーブル手段と、このテーブル手段に対して可動部材を移動させる移動手段とを備え、前記移動手段の可動部材には、ワークおよび工具を選択的にかつ交換可能に取り付けるための第1のホルダ手段が設けられ、前記テーブル手段には、前記第1のホルダ手段に取り付けられたワークおよび工具のいずれかに対応する工具およびワークを選択的かつ交換可能に取り付けるための第2のホルダ手段が設けられていることを特徴とする。   The machining system of the present invention is a machining system for machining a workpiece with a tool while relatively moving the workpiece and the tool, and includes table means and moving means for moving a movable member relative to the table means, The movable member of the moving means is provided with first holder means for selectively and replaceably attaching a work and a tool, and the table means includes a work attached to the first holder means and A second holder means for selectively and replaceably attaching a tool and a workpiece corresponding to any of the tools is provided.

この構成によれば、第1のホルダ手段にワークおよび工具のいずれかを選択して取り付けるとともに、この第1のホルダ手段に取り付けられたワークおよび工具のいずれかに対応する工具またはワークを選択して第2のホルダ手段に取り付ける。たとえば、第1のホルダ手段に工具を取り付けるとともに、第2のホルダ手段にワークを取り付ける。この状態において、移動手段を動作させ、第1のホルダ手段に取り付けられた工具を、第のホルダ手段に取り付けられたワークに対して移動させながら、ワークを工具によって加工する。   According to this configuration, either the workpiece or the tool is selected and attached to the first holder means, and the tool or the workpiece corresponding to either the workpiece or the tool attached to the first holder means is selected. Are attached to the second holder means. For example, a tool is attached to the first holder means and a workpiece is attached to the second holder means. In this state, the moving means is operated to move the tool attached to the first holder means with respect to the work attached to the first holder means, and the work is processed by the tool.

本発明では、第1および第2のホルダ手段には、ワークおよび工具が選択的に取り付けできるようになっているから、ワークの大きさや重量が変わっても、最も効率的な加工を実現できる。つまり、ワークが大重量などの場合では、ワークを第2のホルダ手段(テーブル手段)側に取り付けるとともに、工具を第1のホルダ手段(移動手段)側に取り付け、この状態において、工具を移動手段によって移動させながら加工を行う。一方、ワークが微細、軽量などの場合では、ワークを第1のホルダ手段(移動手段)側に取り付けるとともに、工具を第2のホルダ手段(テーブル手段)側に取り付け、この状態において、ワークを移動手段によって移動させながら加工を行う。従って、ワークの大きさや重量が変わっても、相対移動速度や慣性力の点から、最も効率的かつ高精度な加工を実現できる。   In the present invention, since the workpiece and the tool can be selectively attached to the first and second holder means, the most efficient machining can be realized even if the size or weight of the workpiece changes. That is, when the workpiece is heavy, the workpiece is attached to the second holder means (table means) side and the tool is attached to the first holder means (moving means) side. In this state, the tool is moved to the moving means. Machining while moving by. On the other hand, when the workpiece is fine or lightweight, the workpiece is attached to the first holder means (moving means) side and the tool is attached to the second holder means (table means) side, and the workpiece is moved in this state. Processing is performed while moving by means. Therefore, even if the size and weight of the workpiece change, the most efficient and highly accurate machining can be realized in terms of relative movement speed and inertial force.

本発明の加工システムは、さらに、前記第1および第2のホルダ手段に取り付けられるワークおよび工具の少なくとも一方をストックしておくためのストッカ手段と、このストッカ手段にストックされたワーク、工具を取り出して前記第1のホルダ手段および前記第2のホルダ手段に取り付けるために、これらを搬送する搬送手段と、前記移動手段および前記搬送手段を制御する制御手段とを備えていることが好ましい。
この構成によれば、さらに、ストッカ手段、搬送手段および制御手段を備えているから、制御手段によって搬送手段を制御しながら、ストッカ手段にストックされたワークおよび工具の中からいずれかを選択して搬送し、第1および第2のホルダ手段に保持させることができる。従って、第1および第2のホルダ手段に対する工具およびワークの交換作業を自動的にかつ能率的に行うことができる。また、制御手段によって移動手段の移動を制御しながら、加工を行うことができるから、予め移動手段の移動経路をプログラムしておけば、予め設定した経路に従って自動的に運転することができる。
The processing system of the present invention further includes stocker means for stocking at least one of a work and a tool attached to the first and second holder means, and taking out the work and tool stocked in the stocker means. In order to attach to the first holder means and the second holder means, it is preferable to include transport means for transporting them, and control means for controlling the moving means and the transport means.
According to this configuration, since the stocker means, the transport means and the control means are further provided, any one of the workpieces and tools stocked in the stocker means can be selected while controlling the transport means by the control means. It can be transported and held by the first and second holder means. Accordingly, it is possible to automatically and efficiently perform the work of exchanging tools and workpieces with respect to the first and second holder means. Further, since the processing can be performed while the movement of the moving means is controlled by the control means, if the moving path of the moving means is programmed in advance, it is possible to automatically operate according to the preset path.

本発明の加工システムにおいて、前記ストッカ手段は、加工前または加工後の前記ワークを測定する測定機器を含んで前記ワークおよび工具を格納しているとともに、前記制御手段は、さらに、前記測定機器により測定された測定結果を表示する表示手段および前記測定結果と予め設定記憶された設定値とを比較しながら次の加工時に修正動作を実行する修正動作演算手段を有することが好ましい。
この構成によれば、ストッカ手段の中から測定機器を選択し、この測定機器を工具が取り付けられていた側のホルダ手段に装着すれば、測定機器を使って加工されたワークの形状や寸法などを測定することができる。しかも、その測定結果は表示手段に表示されるとともに、その測定結果と予め設定記憶された設定値とが比較されながら次の加工時に修正動作が実行されるから、同じワークを連続的に加工する場合でも、一定の精度を確保しながら加工することができる。
In the machining system of the present invention, the stocker means stores the workpiece and the tool including the measurement device that measures the workpiece before or after machining, and the control means further includes the measurement device. It is preferable to have display means for displaying the measured measurement results, and corrective operation calculating means for executing the corrective action at the next machining while comparing the measurement results with preset setting values.
According to this configuration, if a measuring device is selected from the stocker means and this measuring device is mounted on the holder means on which the tool is attached, the shape and dimensions of the workpiece processed using the measuring device, etc. Can be measured. In addition, the measurement result is displayed on the display means, and the correction operation is executed at the next machining while the measurement result is compared with the set value stored in advance, so that the same workpiece is continuously machined. Even in this case, it can be processed while ensuring a certain accuracy.

本発明の加工システムにおいて、前記第1のホルダ手段は、互いに結合可能かつ分離可能な一対の結合・分離要素を含んで構成され、前記一対の結合・分離要素のうちの一方の結合・分離要素が前記可動部材に取り付けられ、他方の結合・分離要素には、前記ワークおよび工具のいずれかを保持する保持機構が設けられているが好ましい。
この構成によれば、移動機構の可動部材に取り付けられた一方の結合・分離要素と、ワークおよび工具のいずれかを保持した他方の結合・分離要素とが、互いに結合可能かつ分離可能であるから、両者の結合・分離機能により、移動機構の可動部材に対して、ワークおよび工具のいずれかを装着、取外しできる。従って、第1のホルダ手段に対するワークおよび工具の交換作業を容易にかつ迅速に行うことができる。
In the processing system of the present invention, the first holder means includes a pair of coupling / separating elements that can be coupled and separated from each other, and one coupling / separating element of the pair of coupling / separating elements. Is attached to the movable member, and the other coupling / separating element is preferably provided with a holding mechanism for holding either the workpiece or the tool.
According to this configuration, one coupling / separation element attached to the movable member of the moving mechanism and the other coupling / separation element holding either the workpiece or the tool can be coupled to each other and separable. Both the work and the tool can be attached to and detached from the movable member of the moving mechanism by the coupling / separating function of both. Therefore, the work and tool replacement work for the first holder means can be easily and quickly performed.

本発明の加工システムにおいて、前記他方の結合・分離要素は、前記一方の結合・分離要素と結合可能かつ分離可能な連結プレートと、この連結プレートに設けられ前記ワークおよび工具のいずれかを保持する保持機構とを含んで構成されていることが好ましい。
この構成によれば、他方の結合・分離要素が、一方の結合・分離要素と結合可能かつ分離可能な連結プレートと、ワークおよび工具のいずれかを保持した保持機構とを含んで構成されているから、保持機構について、ワークや工具毎にこれらを保持する最適な形状に形成しておけば、連結プレートについては共通使用できる。
In the processing system of the present invention, the other coupling / separation element is a coupling plate that can be coupled to and separable from the one coupling / separation element, and holds either the workpiece or the tool provided on the coupling plate. A holding mechanism is preferably included.
According to this configuration, the other coupling / separation element includes the connection plate that can be coupled to and separable from the one coupling / separation element, and the holding mechanism that holds either the workpiece or the tool. Therefore, if the holding mechanism is formed in an optimum shape for holding each workpiece or tool, the connection plate can be used in common.

本発明の加工システムにおいて、前記保持機構には、前記工具およびワークのいずれかを回転可能に支持した主軸ユニットが保持されていることが好ましい。
この構成によれば、保持部材には工具およびワークのいずれかを回転可能に支持する主軸ユニットが保持されているから、工具としてドリル、エンドミル、フライスなどの回転工具を用いて、ワークを加工することができる。
In the machining system of the present invention, it is preferable that the holding mechanism holds a spindle unit that rotatably supports either the tool or the workpiece.
According to this configuration, since the spindle unit that rotatably supports either the tool or the workpiece is held by the holding member, the workpiece is processed using a rotary tool such as a drill, an end mill, or a milling cutter as the tool. be able to.

本発明の加工システムにおいて、前記主軸ユニットは、ユニット本体と、このユニット本体に回転可能に支持された主軸と、この主軸に前記工具およびワークのいずれかを保持するチャック機構と、前記主軸を回転させるエアータービンとを備えて構成され、前記一対の結合・分離要素間には、他方の結合・分離要素が一方の結合・分離要素に結合された際、エアーが、一方の結合・分離要素から他方の結合・分離要素を通じて前記エアータービンに供給されるエアー流路が形成されていることが好ましい。(請求項7)
この構成によれば、他方の結合・分離要素を一方の結合・分離要素に結合すると、エアーが、一方の結合・分離要素から他方の結合・分離要素を通じて、主軸ユニットのエアータービンに供給されるエアー流路が形成される。この状態において、エアーを供給すれば、エアータービンの回転によって主軸を回転させることができる。従って、他方の結合・分離要素を一方の結合・分離要素に結合するだけで、主軸ユニットの主軸(工具またはワーク)を回転させることができるから、工具およびワークの交換も容易に行うことができる。
In the machining system of the present invention, the spindle unit includes a unit main body, a main spindle rotatably supported by the unit main body, a chuck mechanism that holds either the tool or the workpiece on the main spindle, and the spindle. Between the pair of coupling / separating elements, when the other coupling / separating element is coupled to one coupling / separating element, the air is separated from the one coupling / separating element. It is preferable that an air flow path to be supplied to the air turbine through the other coupling / separation element is formed. (Claim 7)
According to this configuration, when the other coupling / separation element is coupled to one coupling / separation element, air is supplied from the one coupling / separation element to the air turbine of the main shaft unit through the other coupling / separation element. An air flow path is formed. If air is supplied in this state, the main shaft can be rotated by the rotation of the air turbine. Therefore, since the spindle (tool or workpiece) of the spindle unit can be rotated simply by coupling the other coupling / separating element to one coupling / separating element, the tool and workpiece can be easily replaced. .

本発明の加工システムにおいて、前記一対の結合・分離要素のうち、片方の結合・分離要素には前記エアー流路を形成するエアー配管が突出形成され、他の片方の結合・分離要素には前記エアー配管が挿入される係合孔が形成され、このエアー配管と係合孔とによって前記一対の結合・分離要素が結合可能かつ分離可能に構成されていることが好ましい。
この構成によれば、エアー流路を構成するエアー配管が片方の結合・分離要素に突出形成され、このエアー配管が挿入される係合孔が他の片方の結合・分離要素に形成されているから、一対の結合・分離要素が結合されると、エアー流路が形成されるとともに、エアー配管と係合孔との嵌合によって、一対の結合・分離要素を結合可能かつ分離可能にできる。
In the processing system of the present invention, of the pair of coupling / separation elements, one of the coupling / separation elements is formed with an air pipe that protrudes from the air flow path, and the other one of the coupling / separation elements has the above-mentioned It is preferable that an engagement hole into which the air pipe is inserted is formed, and the pair of coupling / separating elements are configured to be connectable and separable by the air pipe and the engagement hole.
According to this configuration, the air pipe constituting the air flow path is formed to protrude from one coupling / separation element, and the engagement hole into which the air pipe is inserted is formed in the other coupling / separation element. Thus, when the pair of coupling / separating elements are coupled, an air flow path is formed, and the pair of coupling / separating elements can be coupled and separable by fitting the air pipe and the engagement hole.

本発明の加工システムにおいて、前記第2のホルダ手段は、互いに結合可能かつ分離可能な一対の結合・分離要素を含んで構成され、前記一対の結合・分離要素のうちの一方の結合・分離要素が前記テーブル手段に取り付けられ、他方の結合・分離要素には、前記ワークおよび工具のいずれかを保持する保持機構が設けられていることが好ましい。
この構成によれば、テーブル手段に取り付けられた一方の結合・分離要素と、ワークおよび工具のいずれかを保持した他方の結合・分離要素とが、互いに結合可能かつ分離可能であるから、両者の結合・分離機能により、テーブル手段に対して、ワークおよび工具のいずれかを装着、取外しできる。従って、第2のホルダ手段に対するワークおよび工具の交換作業を容易にかつ迅速に行うことができる。
In the processing system of the present invention, the second holder means includes a pair of coupling / separating elements that can be coupled and separated from each other, and one coupling / separating element of the pair of coupling / separating elements. Is attached to the table means, and the other coupling / separating element is preferably provided with a holding mechanism for holding either the workpiece or the tool.
According to this configuration, one coupling / separation element attached to the table means and the other coupling / separation element holding either the workpiece or the tool can be coupled and separable from each other. With the coupling / separation function, either the workpiece or the tool can be attached to or detached from the table means. Therefore, the work and tool exchange operation for the second holder means can be performed easily and quickly.

本発明の加工システムにおいて、前記第2のホルダ手段は、前記テーブル手段に固定されたベースプレートと、このベースプレートに取り付けられ前記ワークおよび工具のいずれかを保持する保持機構とを含んで構成されていることが好ましい。
この構成によれば、第2のホルダ手段が、テーブル手段に固定されたベースプレートと、ワークおよび工具のいずれかを保持した保持機構とを含んで構成されているから、保持機構について、ワークや工具毎にこれらを保持する最適な形状に形成しておけば、ベースプレートについては共通使用できる。
In the processing system of the present invention, the second holder means includes a base plate fixed to the table means, and a holding mechanism that is attached to the base plate and holds either the workpiece or the tool. It is preferable.
According to this configuration, the second holder means includes the base plate fixed to the table means and the holding mechanism that holds either the workpiece or the tool. The base plate can be used in common if it is formed in an optimal shape for holding them each time.

本発明の加工システムにおいて、前記保持機構を回転駆動させる回転駆動手段を備えていることが好ましい。
この構成によれば、テーブル手段側に設けられる保持機構を回転駆動させる回転駆動手段が設けられているから、テーブル手段側に取り付けられるワークを回転させながら、あるいは、工具としてドリル、エンドミル、フライスなどの回転工具を用いながら、ワークを加工することができる。
In the processing system of the present invention, it is preferable that the processing system further includes a rotation driving unit that rotationally drives the holding mechanism.
According to this configuration, since the rotation driving means for rotating the holding mechanism provided on the table means side is provided, the work attached to the table means side is rotated, or as a tool, a drill, an end mill, a milling cutter, etc. The workpiece can be machined using the rotary tool.

本発明の加工システムにおいて、前記移動手段は、前記可動部材を、互いに直交する三軸方向へ移動させる3つの軸駆動機構を備え、各軸駆動機構はリニアモータで駆動されることが好ましい。
この構成によれば、移動機構が3つの軸駆動機構によって互いに直交する三軸方向へ移動できるとともに、各軸駆動機構はリニアモータで駆動されるから、高速かつ高精度な加工が実現できる。
In the processing system of the present invention, it is preferable that the moving means includes three shaft drive mechanisms for moving the movable member in three axial directions orthogonal to each other, and each shaft drive mechanism is driven by a linear motor.
According to this configuration, the moving mechanism can be moved in three axial directions orthogonal to each other by the three shaft driving mechanisms, and each shaft driving mechanism is driven by the linear motor, so that high-speed and high-precision machining can be realized.

本発明の加工方法は、ワークと工具とを相対移動させながら、ワークを工具によって加工する加工方法であって、テーブル手段と、このテーブル手段に対して可動部材を移動させる移動手段と、前記移動手段の可動部材に設けられ前記ワークおよび工具を選択的にかつ交換可能に取り付けるための第1のホルダ手段と、前記テーブル手段に設けられ前記移動手段に取り付けられたワークおよび工具のいずれかに対応する工具またはワークを選択的かつ交換可能に保持する第2のホルダ手段とを用意する準備工程と、前記第1のホルダ手段にワークおよび工具のいずれかを選択して保持するとともに、この第1のホルダ手段に保持されたワークおよび工具と対応する工具またはワークを前記第2のホルダ手段に保持する装着工程と、前記移動手段を移動させながら、前記第1のホルダ手段に保持されたワークおよび工具のいずれかと、これに対応して第2のホルダ手段に保持された工具またはワークとでワークを加工する加工工程とを備えることを特徴とする。   The machining method of the present invention is a machining method for machining a workpiece with a tool while relatively moving the workpiece and the tool, the table means, a moving means for moving a movable member relative to the table means, and the movement Corresponding to any one of the first holder means provided on the movable member of the means for selectively and replaceably attaching the workpiece and tool, and the workpiece and tool provided on the table means and attached to the moving means A preparation step of preparing a second holder means for selectively and replaceably holding a tool or a work to be performed, and selecting and holding either the work or the tool in the first holder means, A mounting step of holding the tool or workpiece corresponding to the workpiece and the tool held by the holder means on the second holder means, and the moving hand And a machining step of machining the workpiece with either the workpiece or the tool held by the first holder means and the tool or the workpiece held by the second holder means corresponding to the workpiece. It is characterized by that.

この構成によれば、準備工程において、テーブル手段、移動手段、第1のホルダ手段、および、第2のホルダ手段を用意したのち、装着工程において、第1のホルダ手段にワークおよび工具のいずれかを選択して保持させるとともに、この第1のホルダ手段に保持されたワークおよび工具と対応する工具またはワークを第2のホルダ手段に保持させる。こののち、加工工程において、移動手段を移動させながら、第1のホルダ手段に保持されたワークおよび工具のいずれかと、これに対応して第2のホルダ手段に保持された工具またはワークとでワークを加工する。
本発明では、第1および第2のホルダ手段には、ワークおよび工具が選択的に取り付けできるようになっているから、ワークの大きさや重量が変わっても、前述と同様な作用によって、最も効率的な加工を実現できる。
According to this configuration, after preparing the table means, the moving means, the first holder means, and the second holder means in the preparation step, either the workpiece or the tool is placed on the first holder means in the mounting step. Is selected and held, and the tool and workpiece corresponding to the workpiece and the tool held by the first holder means are held by the second holder means. After that, in the machining step, the workpiece is moved by either the workpiece or tool held by the first holder means while moving the moving means, and the tool or workpiece held by the second holder means corresponding to the workpiece. Is processed.
In the present invention, since the workpiece and the tool can be selectively attached to the first and second holder means, even if the size and weight of the workpiece are changed, the most efficient operation is achieved by the same action as described above. Can be realized.

本発明の加工方法において、前記準備工程は、さらに、前記第1および第2のホルダ手段に取り付けられるワークおよび工具の少なくとも一方をストックしておくためのストッカ手段と、このストッカ手段にストックされたワーク、工具を取り出して前記第1のホルダ手段および前記第2のホルダ手段に取り付けるために、これらを搬送する搬送手段とを用意する工程を含み、前記装着工程は、前記ストッカ手段にストックされたワークおよび工具を前記搬送手段によって搬送し、前記第1のホルダ手段にワークおよび工具のいずれかを選択して保持させるとともに、この第1のホルダ手段に保持されたワークおよび工具と対応する工具またはワークを前記第2のホルダ手段に保持させることが好ましい。
この構成によれば、さらに、ストッカ手段および搬送手段を備えているから、搬送手段によって、ストッカ手段にストックされたワークおよび工具の中からいずれかを選択して搬送し、第1および第2のホルダ手段に保持させることができる。従って、第1および第2のホルダ手段に対する工具およびワークの交換作業を自動的にかつ能率的に行うことができる。
In the processing method of the present invention, the preparation step is further stocked in stocker means for stocking at least one of a work and a tool attached to the first and second holder means, and the stocker means. A step of preparing a conveying means for conveying the workpiece and tool to take them out and attach them to the first holder means and the second holder means, and the mounting step is stocked in the stocker means A workpiece and a tool are conveyed by the conveying means, and the first holder means selects and holds either the workpiece or the tool, and a tool or tool corresponding to the workpiece and the tool held by the first holder means or It is preferable that the work is held by the second holder means.
According to this configuration, since the stocker unit and the transport unit are further provided, the transport unit selects and transports either the workpiece or the tool stocked in the stocker unit, and the first and second It can be held by the holder means. Accordingly, it is possible to automatically and efficiently perform the work of exchanging tools and workpieces with respect to the first and second holder means.

本発明の加工方法は、さらに、加工されたワークを測定する測定工程を備えることが好ましい。
この構成によれば、加工前または加工後のワークを測定する測定工程を備えているから、加工されたワークの形状や寸法などを測定することができる。
It is preferable that the processing method of the present invention further includes a measurement step for measuring the processed workpiece.
According to this structure, since the measurement process which measures the workpiece | work before a process or after a process is provided, the shape of a processed workpiece, a dimension, etc. can be measured.

本発明の加工方法は、さらに、前記加工工程または測定工程よりも前に、前記テーブル手段に二次元位置検出スケールを配置するとともに、第1のホルダ手段に前記二次元位置検出スケールに対して光を照射しその二次元位置検出スケールからの反射光を受光して前記二次元位置検出スケール上の座標位置を検出するセンサを取り付け、前記テーブル手段に対して前記移動手段を移動させた際、移動位置指令値と前記センサによって検出された二次元位置検出スケール上の座標位置との誤差を記憶する誤差記憶工程を備え、この誤差記憶工程で記憶された誤差を前記加工工程または測定工程の動作から修正することが好ましい。
この構成によれば、移動手段に移動誤差を加工工程や測定工程の動作から補正できるから、より高精度な加工や測定が期待できる。
In the processing method of the present invention, a two-dimensional position detection scale is arranged on the table means before the processing step or the measurement step, and light is applied to the two-dimensional position detection scale on the first holder means. Is attached to a sensor that detects the coordinate position on the two-dimensional position detection scale by receiving reflected light from the two-dimensional position detection scale, and moves when the moving means is moved with respect to the table means. An error storage step for storing an error between the position command value and the coordinate position on the two-dimensional position detection scale detected by the sensor, and the error stored in the error storage step is obtained from the operation of the processing step or the measurement step. It is preferable to correct.
According to this configuration, since the movement error can be corrected in the moving means from the operations of the machining process and the measurement process, higher-precision machining and measurement can be expected.

本発明の加工方法において、前記測定工程によって測定された測定結果と予め設定記憶された設定値とを比較しながら次の加工時に修正動作を実行する修正動作実行工程を備えることが好ましい。
この構成によれば、測定工程によって測定された測定結果と予め設定記憶された設定値とが比較されながら次の加工時に修正動作が実行されるから、同じワークを連続的に加工する場合でも、一定の精度を確保しながら加工することができる。
The processing method of the present invention preferably includes a correction operation execution step of executing a correction operation at the next processing while comparing the measurement result measured in the measurement step with a preset value stored in advance.
According to this configuration, since the correction operation is performed at the next machining while the measurement result measured by the measurement process is compared with the set value stored in advance, even when machining the same workpiece continuously, Processing can be performed while ensuring a certain accuracy.

本発明の部品組付方法は、基板に部品を組み付ける部品組付方法であって、前記第2のホルダ手段に前記基板を保持するとともに、前記移動手段を動作させて第1のホルダ手段に前記部品を保持させたのち、前記移動手段を動作させて第1のホルダ手段に保持した部品を第2のホルダ手段に保持された基板に組み付けることを特徴とする。
この構成によれば、第2のホルダ手段に基板を保持するとともに、移動手段を動作させて第1のホルダ手段に部品を保持させたのち、移動手段を動作させて第1のホルダ手段に保持した部品を基板に組み付けることにより、部品を基板に組み付ける機能を持たせることができる。従って、加工のみならず、組立も可能であるから、使用用途の拡大が期待できる。
The component assembling method of the present invention is a component assembling method for assembling a component on a substrate, wherein the substrate is held by the second holder means, and the moving means is operated to cause the first holder means to move to the first holder means. After the component is held, the moving means is operated to assemble the component held by the first holder means to the substrate held by the second holder means.
According to this configuration, the substrate is held by the second holder means, the moving means is operated and the first holder means is held, and then the moving means is operated and held by the first holder means. By assembling the parts to the board, it is possible to provide a function for assembling the parts to the board. Therefore, not only processing but also assembly is possible, so that it is expected to expand the usage.

以下、本発明の実施形態を図面に基づいて説明する。
図1には本実施形態の加工システムが示されている。本実施形態の加工システムは、ワークと工具とを相対移動させながら、ワークを工具によって加工するシステムであって、移動手段としての三次元移動機構10と、テーブル手段60と、ストッカ手段80と、搬送手段90と、制御手段100とを備える。
Hereinafter, embodiments of the present invention will be described with reference to the drawings.
FIG. 1 shows a machining system according to this embodiment. The machining system of the present embodiment is a system for machining a workpiece with a tool while relatively moving the workpiece and the tool, and includes a three-dimensional movement mechanism 10 as a moving means, a table means 60, a stocker means 80, Conveying means 90 and control means 100 are provided.

三次元移動機構10は、図2に示すように、テーブル手段60に対して、可動部材であるZ軸スライダ11を互いに直交する三軸方向(X軸方向、Y軸方向およびZ軸方向)へ移動させる3つの軸駆動機構を備えて構成されている。つまり、X軸駆動機構12X、Y軸駆動機構12YおよびZ軸駆動機構12Zを備えて構成されている。   As shown in FIG. 2, the three-dimensional moving mechanism 10 moves the Z-axis slider 11, which is a movable member, with respect to the table unit 60 in three axial directions (X-axis direction, Y-axis direction, and Z-axis direction) orthogonal to each other. It is configured with three shaft drive mechanisms to be moved. That is, the X-axis drive mechanism 12X, the Y-axis drive mechanism 12Y, and the Z-axis drive mechanism 12Z are provided.

Y軸駆動機構12Yは、前後方向に沿って配置された左右一対のガイドレール13と、このガイドレール13間に掛け渡されたY軸ビーム14と、このY軸ビーム14をガイドレール13に沿って前後方向(Y軸方向)へ移動させるリニアモータ15とから構成されている。一方のガイドレール13とY軸ビーム14の一端側との間には、Y軸ビーム14のY軸方向の位置(移動変位量)を検出する変位検出器16が設けられている。変位検出器16は、一方のガイドレール13に沿って配設されたスケール17と、Y軸ビーム14の一端側にスケール17に対して僅かなギャップを介して対向配置された検出ヘッド18とから構成されている。   The Y-axis drive mechanism 12Y includes a pair of left and right guide rails 13 disposed along the front-rear direction, a Y-axis beam 14 spanned between the guide rails 13, and the Y-axis beam 14 along the guide rail 13. And a linear motor 15 that moves in the front-rear direction (Y-axis direction). A displacement detector 16 is provided between one guide rail 13 and one end side of the Y-axis beam 14 to detect the position (movement displacement amount) of the Y-axis beam 14 in the Y-axis direction. The displacement detector 16 includes a scale 17 disposed along one guide rail 13 and a detection head 18 disposed on one end side of the Y-axis beam 14 so as to face the scale 17 with a slight gap. It is configured.

X軸駆動機構12Xは、Y軸ビーム14上に移動可能に設けられたX軸スライダ19と、このX軸スライダ19をY軸ビーム14に沿って左右方向(X軸方向)へ移動させるリニアモータ20とから構成されている。X軸スライダ19とY軸ビーム14との間には、X軸スライダ19のX軸方向の位置(移動変位量)を検出する変位検出器(図示省略)が設けられている。この変位検出器は、変位検出器16と同じ構成であるため、説明を省略する。   The X-axis drive mechanism 12X includes an X-axis slider 19 that is movably provided on the Y-axis beam 14, and a linear motor that moves the X-axis slider 19 in the left-right direction (X-axis direction) along the Y-axis beam 14. 20. Between the X-axis slider 19 and the Y-axis beam 14, a displacement detector (not shown) that detects the position (movement displacement amount) of the X-axis slider 19 in the X-axis direction is provided. Since this displacement detector has the same configuration as the displacement detector 16, description thereof is omitted.

Z軸駆動機構12Zは、X軸スライダ19に取り付けられ上下方向に沿って伸びるZ軸ガイドプレート21と、このZ軸ガイドプレート21に沿って移動可能に設けられたZ軸スライダ(可動部材)11と、このZ軸スライダ11をZ軸ガイドプレート21に沿って上下方向へ移動させるリニアモータ22とから構成されている。Z軸スライダ11とZ軸ガイドプレート21との間には、Z軸スライダ11のZ軸方向の位置(移動変位量)を検出する変位検出器(図示省略)が設けられている。この変位検出器も、変位検出器16と同じ構成であるため、説明を省略する。   The Z-axis drive mechanism 12Z is attached to the X-axis slider 19 and extends along the vertical direction, and a Z-axis slider (movable member) 11 provided to be movable along the Z-axis guide plate 21. And a linear motor 22 that moves the Z-axis slider 11 in the vertical direction along the Z-axis guide plate 21. Between the Z-axis slider 11 and the Z-axis guide plate 21, a displacement detector (not shown) that detects the position (movement displacement amount) of the Z-axis slider 11 in the Z-axis direction is provided. Since this displacement detector also has the same configuration as the displacement detector 16, description thereof is omitted.

Z軸スライダ11(三次元移動機構10の可動部材)には、ワークおよび工具を選択的にかつ交換可能に取り付けるための第1のホルダ手段30が設けられている。第1のホルダ手段30は、互いに結合可能かつ分離可能な一対の結合・分離要素31,41を含んで構成されている。   The Z-axis slider 11 (movable member of the three-dimensional moving mechanism 10) is provided with first holder means 30 for selectively and replaceably attaching a workpiece and a tool. The first holder means 30 includes a pair of coupling / separating elements 31 and 41 that can be coupled and separated from each other.

一対の結合・分離要素31,41のうちの一方の結合・分離要素31は、図3に示すように、Z軸スライダ11に取付プレート32を介して取り付けられた連結プレート33と、この連結プレート33の正面中央に配置された位置決めブロック34と、この位置決めブロック34を挟んで連結プレート33の正面両側に配置されたエアー供給ブロック35とから構成されている。
位置決めブロック34には、中央に係合孔34Aが形成されているとともに、この係合孔34Aを中心とする左右上下位置に正方形状の突起部34Bが形成されている。エアー供給ブロック35には、正面中央に係合孔35Aが形成されているとともに、上面に係合孔35Aに連通するエアー配管35Bが突設されている。
As shown in FIG. 3, one coupling / separation element 31 of the pair of coupling / separation elements 31, 41 includes a coupling plate 33 attached to the Z-axis slider 11 via a mounting plate 32, and this coupling plate. The positioning block 34 is arranged at the center of the front surface of 33, and the air supply blocks 35 are arranged on both sides of the front surface of the connecting plate 33 with the positioning block 34 interposed therebetween.
In the positioning block 34, an engagement hole 34A is formed at the center, and square protrusions 34B are formed at left and right and up and down positions around the engagement hole 34A. In the air supply block 35, an engagement hole 35A is formed in the center of the front surface, and an air pipe 35B communicating with the engagement hole 35A is provided on the upper surface.

一対の結合・分離要素31,41のうちの他方の結合・分離要素41は、図4に示すように、一方の結合・分離要素31と結合可能かつ分離可能な連結プレート43と、この連結プレート43の正面中央に設けられワークおよび工具のいずれかを保持した保持機構44と、この保持機構44を挟んで連結プレート43の正面両側に配置されたエアー供給ブロック45とから構成されている。
連結プレート43の裏面には、図5に示すように、一方の結合・分離要素31の位置決めブロック34に形成された係合孔34Aおよび突起部34Bに着脱可能に係合される係合軸部43Aおよび係止部43Bが形成されているとともに、エアー供給ブロック35の係合孔35Aに着脱可能に挿入されるエアー配管43Cが突設されている。
As shown in FIG. 4, the other coupling / separation element 41 of the pair of coupling / separation elements 31, 41 includes a coupling plate 43 that can be coupled to and separable from one coupling / separation element 31, and this coupling plate. 43, a holding mechanism 44 that is provided in the center of the front surface and holds either a workpiece or a tool, and an air supply block 45 that is disposed on both sides of the front surface of the connecting plate 43 with the holding mechanism 44 interposed therebetween.
As shown in FIG. 5, on the back surface of the connecting plate 43, an engagement shaft portion detachably engaged with an engagement hole 34 </ b> A and a projection 34 </ b> B formed in the positioning block 34 of one coupling / separation element 31. 43A and a locking portion 43B are formed, and an air pipe 43C that is detachably inserted into the engagement hole 35A of the air supply block 35 is provided projectingly.

保持機構44は、図6に示すように、工具およびワークのいずれかを回転可能に支持した主軸ユニット51を交換可能に保持している。主軸ユニット51は、ユニット本体52と、このユニット本体52に空気軸受を介して回転可能に支持された主軸53と、この主軸53に設けられを工具およびワークのいずれか保持するチャック機構54と、前記主軸53を回転させるエアータービン(図示省略)とを備えて構成されている。ユニット本体52の上面には、主軸53を回転可能に支持する空気軸受とエアータービンとにエアーを供給するためのエアー配管55が取り付けられている。   As shown in FIG. 6, the holding mechanism 44 holds the spindle unit 51 that supports any one of a tool and a workpiece in a replaceable manner. The main shaft unit 51 includes a unit main body 52, a main shaft 53 rotatably supported on the unit main body 52 via an air bearing, a chuck mechanism 54 provided on the main shaft 53 and holding either a tool or a workpiece, An air turbine (not shown) that rotates the main shaft 53 is provided. An air pipe 55 for supplying air to an air bearing and an air turbine that rotatably supports the main shaft 53 is attached to the upper surface of the unit main body 52.

エアー供給ブロック45には、底面にエアー配管55に連通するエアー配管(図示省略)が設けられている。このエアー配管とユニット本体52に形成されたエアー配管55がエアーチューブ56を介して接続されている。
これにより、他方の結合・分離要素41が一方の結合・分離要素31に結合されると、エアーが、一方の結合・分離要素31から他方の結合・分離要素41を通じてエアータービンに供給されるエアー流路が形成されているとともに、エアー配管43Cと係合孔35Aとによって一対の結合・分離要素31,41が結合可能かつ分離可能に構成されている。
The air supply block 45 is provided with an air pipe (not shown) communicating with the air pipe 55 on the bottom surface. This air pipe and an air pipe 55 formed in the unit main body 52 are connected via an air tube 56.
Thus, when the other coupling / separation element 41 is coupled to one coupling / separation element 31, air is supplied from one coupling / separation element 31 to the air turbine through the other coupling / separation element 41. A flow path is formed, and the pair of coupling / separating elements 31 and 41 are configured to be connectable and separable by the air pipe 43C and the engagement hole 35A.

テーブル手段60は、図7に示すように、ワークおよび工具を選択的に取り付けるためのもので、定盤などのテーブル61を備えている。テーブル61は、三次元移動機構10を載置できる大きさを有するものでもよく、あるいは、三次元移動機構10を載置した台とは別のテーブルでもよい。テーブル61には、第1のホルダ手段30に取り付けられたワークおよび工具のいずれかに対応する工具またはワークを選択的かつ交換可能に保持する第2のホルダ手段62が設けられている。   As shown in FIG. 7, the table means 60 is for selectively attaching a workpiece and a tool, and includes a table 61 such as a surface plate. The table 61 may have a size on which the three-dimensional movement mechanism 10 can be placed, or may be a table different from the table on which the three-dimensional movement mechanism 10 is placed. The table 61 is provided with second holder means 62 for selectively and replaceably holding a tool or a work corresponding to either the work or the tool attached to the first holder means 30.

第2のホルダ手段62は、テーブル手段60のテーブル61に固定されたベースプレート63と、このベースプレート63に取り付けられワークおよび工具のいずれかを保持する保持機構64と、この保持機構64をベースプレート63に対して回転駆動させる回転駆動手段68とを含んで構成されている。保持機構64は、チャック本体65と、このチャック本体65の上面に120度間隔で配置され中心へ向かって同時に進退可能に構成された3つのチャック片66と、これら3つのチャック片66を同時に進退させる開閉用駆動源67とから構成されている。   The second holder means 62 includes a base plate 63 fixed to the table 61 of the table means 60, a holding mechanism 64 that is attached to the base plate 63 and holds either a workpiece or a tool, and the holding mechanism 64 is attached to the base plate 63. The rotary drive means 68 is configured to be driven to rotate. The holding mechanism 64 includes a chuck main body 65, three chuck pieces 66 arranged on the upper surface of the chuck main body 65 at intervals of 120 degrees and configured to be simultaneously advanced and retracted toward the center, and the three chuck pieces 66 are simultaneously advanced and retracted. And an opening / closing drive source 67 to be operated.

ストッカ手段80は、第1のホルダ手段30および第2のホルダ手段62に保持される工具を格納した工具ストッカ81と、第1のホルダ手段30および第2のホルダ手段62に保持されるワークを格納したワークストッカ82とを備えている。なお、これらの工具ストッカ81およびワークストッカ82は、三次元移動機構10の横に配列されている。   The stocker means 80 includes a tool stocker 81 storing the tools held by the first holder means 30 and the second holder means 62, and a workpiece held by the first holder means 30 and the second holder means 62. A stored work stocker 82 is provided. The tool stocker 81 and the work stocker 82 are arranged beside the three-dimensional movement mechanism 10.

工具ストッカ81は、図8に示すように、複数種の工具を格納しておくためのストッカ台83を備えている。ストッカ台83上に格納される工具は、工具のみの状態、あるいは、他方の結合・分離要素41にチャック機構54を介して取り付けられた状態で格納されている。また、ストッカ台83上には、主軸53の先端にチャック機構54を有する他方の結合・分離要素41のみ、あるいは、加工前または加工後のワークを測定する測定機器なども格納されている。   As shown in FIG. 8, the tool stocker 81 includes a stocker base 83 for storing a plurality of types of tools. The tools stored on the stocker table 83 are stored in the state of only the tools or in the state of being attached to the other coupling / separating element 41 via the chuck mechanism 54. On the stocker table 83, only the other coupling / separation element 41 having the chuck mechanism 54 at the tip of the main shaft 53, or a measuring device for measuring a workpiece before or after processing is stored.

工具としては、ドリル、エンドミルなどの回転切削工具、砥石などの回転研削工具、バイトなどの刃具のほか、超音波振動工具なども格納されている。測定機器としては、ワークに接触した際にタッチ信号を発するタッチ信号プローブ84などが格納されている。
ワークストッカ82は、図示省略するが、工具ストッカと同様に、複数のワークをストックしておくためのストッカ台を備えている。
As tools, rotary cutting tools such as drills and end mills, rotary grinding tools such as grindstones, cutting tools such as tools, ultrasonic vibration tools and the like are also stored. As the measuring device, a touch signal probe 84 that emits a touch signal when it touches a workpiece is stored.
Although not shown, the work stocker 82 is provided with a stocker table for stocking a plurality of works in the same manner as the tool stocker.

搬送手段90は、ストッカ手段80に格納されたワーク、工具を取り出して第1のホルダ手段30(三次元移動機構10側のホルダ手段)および第2のホルダ手段62(テーブル手段側のホルダ手段)に取り付けるために、これらを搬送するもので、図9に示すロボット搬送機構91を備えている。ロボット搬送機構91は、三次元移動機構10およびストッカ手段80の並設方向(X軸方向)に沿って配置されたガイドレール92と、このガイドレール92に沿って移動可能に設けられたX軸スライダ93と、このX軸スライダ93に立設されたコラム94と、このコラム94に沿って上下方向(Z軸方向)に昇降可能に設けられたZ軸スライダ95と、このZ軸スライダ95にY軸方向へスライド可能に設けられたY軸アーム96と、このY軸アーム96の先端にX軸と平行な軸を支点として旋回可能に設けられた旋回アーム97と、この旋回アーム97の先端に設けられた把持機構98とから構成されている。   The conveying means 90 takes out the workpiece and tool stored in the stocker means 80 and takes the first holder means 30 (holder means on the three-dimensional movement mechanism 10 side) and the second holder means 62 (holder means on the table means side). These are transported to be attached to a robot, and are provided with a robot transport mechanism 91 shown in FIG. The robot transport mechanism 91 includes a guide rail 92 disposed along the direction in which the three-dimensional movement mechanism 10 and the stocker unit 80 are arranged (X-axis direction), and an X-axis provided to be movable along the guide rail 92. A slider 93, a column 94 erected on the X-axis slider 93, a Z-axis slider 95 that can be moved up and down (Z-axis direction) along the column 94, and the Z-axis slider 95 A Y-axis arm 96 that is slidable in the Y-axis direction, a swivel arm 97 that is slidable around an axis parallel to the X-axis at the tip of the Y-axis arm 96, and a tip of the swivel arm 97 It is comprised from the holding | grip mechanism 98 provided in this.

制御手段100は、三次元移動機構10、テーブル手段60およびロボット搬送機構91を制御するもので、測定機器により測定された測定結果を表示する表示手段101や測定結果と予め設定記憶された設定値とを比較しながら次の加工時に修正動作を実行する修正動作演算手段102などを有する。   The control means 100 controls the three-dimensional movement mechanism 10, the table means 60, and the robot transport mechanism 91. The control means 100 displays the measurement result measured by the measuring device and the measurement result and the preset value stored in advance. And a correction operation calculating means 102 for executing a correction operation at the next machining.

次に、本実施形態の作用を説明する。
三次元移動機構10の第1のホルダ手段30にワークおよび工具のいずれかを選択して取り付けるとともに、この第1のホルダ手段30に取り付けられたワークおよび工具のいずれかに対応する工具またはワークを選択して第2のホルダ手段62に取り付ける。
たとえば、第1のホルダ手段30に工具を取り付けるとともに、第2のホルダ手段62にワークを取り付ける。具体的には、ロボット搬送機構91の動作により、工具ストッカ81の中から加工に必要な工具を選択し、三次元移動機構10の位置まで搬送したのち、第1のホルダ手段30に取り付ける。また、ワークストッカ82の中から加工しようとするワークを選択し、テーブル手段60の位置まで搬送したのち、テーブル手段60の保持機構64に保持させる。
Next, the operation of this embodiment will be described.
Either a workpiece or a tool is selected and attached to the first holder means 30 of the three-dimensional moving mechanism 10, and a tool or workpiece corresponding to any of the workpiece and the tool attached to the first holder means 30 is attached. Select and attach to the second holder means 62.
For example, a tool is attached to the first holder means 30 and a workpiece is attached to the second holder means 62. Specifically, a tool necessary for processing is selected from the tool stocker 81 by the operation of the robot transport mechanism 91, transported to the position of the three-dimensional movement mechanism 10, and then attached to the first holder means 30. Further, a work to be machined is selected from the work stocker 82, transported to the position of the table means 60, and then held by the holding mechanism 64 of the table means 60.

この際、第1のホルダ手段30に工具を取り付けるにあたっては、第1のホルダ手段30を構成する他方の結合・分離要素41を一方に結合・分離要素31から外したのち、工具ストッカ81の中から工具が装着されている他方の結合・分離要素41を選択し、これを三次元移動機構10の位置まで搬送したのち、一方の結合・分離要素31に対して結合させる。すると、他方の結合・分離要素41のエアー配管43Cが一方の結合・分離要素31の係合孔35Aに挿入され、両者が位置決め結合されるとともに、エアーが、一方の結合・分離要素31から他方の結合・分離要素41を通じて、主軸ユニット51のエアータービンに供給されるエアー流路が形成される。この状態において、エアーを供給すれば、エアータービンの回転によって主軸53を回転される。   At this time, when attaching the tool to the first holder means 30, the other coupling / separation element 41 constituting the first holder means 30 is removed from the coupling / separation element 31 to one side, The other coupling / separation element 41 to which the tool is mounted is selected, conveyed to the position of the three-dimensional movement mechanism 10, and then coupled to one coupling / separation element 31. Then, the air pipe 43C of the other coupling / separation element 41 is inserted into the engagement hole 35A of the one coupling / separation element 31, and both are positioned and coupled, and air is supplied from one coupling / separation element 31 to the other. The air flow path supplied to the air turbine of the spindle unit 51 is formed through the coupling / separating element 41. If air is supplied in this state, the main shaft 53 is rotated by the rotation of the air turbine.

逆に、第1のホルダ手段30にワークを取り付けるとともに、第2のホルダ手段62に工具を取り付けるには、ロボット搬送機構91の動作により、ワークストッカ82の中から加工しようとするワークを選択し、三次元移動機構10の位置まで搬送したのち、第1のホルダ手段30に取り付ける。また、工具ストッカ81の中から加工に必要な工具を選択し、テーブル手段60の位置まで搬送したのち、テーブル手段60の保持機構64に保持させる。   Conversely, in order to attach a workpiece to the first holder means 30 and attach a tool to the second holder means 62, the workpiece to be machined is selected from the workpiece stocker 82 by the operation of the robot transport mechanism 91. Then, after transporting to the position of the three-dimensional movement mechanism 10, it is attached to the first holder means 30. Further, a tool necessary for machining is selected from the tool stocker 81, conveyed to the position of the table means 60, and then held by the holding mechanism 64 of the table means 60.

このようにして、第1のホルダ手段30に工具およびワークを選択して取り付けるとともに、これに対応するワークおよび工具のいずれかを第2のホルダ手段62に取り付けたのち、加工を行う。
加工は、三次元移動機構10を三次元方向(X軸、Y軸、Z軸方向)へ移動させながら、第1のホルダ手段30および第2のホルダ手段62に保持された工具およびワークを相対移動させながら、ワークを工具によって加工する。
この際、たとえば、第1のホルダ手段30に工具を、第2のホルダ手段62にワークを取り付けた場合、ワークを静止状態とし、工具を回転させながら、ワークを工具によって加工する。また、第1のホルダ手段30にワークを、第2のホルダ手段62に工具を取り付けた場合、ワークを静止状態とし、工具を回転させながら、ワークを工具によって加工する。
In this way, the tool and workpiece are selected and attached to the first holder means 30 and any one of the corresponding workpiece and tool is attached to the second holder means 62, and then machining is performed.
In the processing, the tool and workpiece held by the first holder means 30 and the second holder means 62 are moved relative to each other while moving the three-dimensional movement mechanism 10 in the three-dimensional directions (X-axis, Y-axis, and Z-axis directions). While moving, the workpiece is machined with a tool.
At this time, for example, when a tool is attached to the first holder means 30 and a work is attached to the second holder means 62, the work is processed by the tool while the work is kept stationary and the tool is rotated. When the work is attached to the first holder means 30 and the tool is attached to the second holder means 62, the work is processed by the tool while the work is kept stationary and the tool is rotated.

加工終了後、必要に応じて、測定を行う。たとえば、第1のホルダ手段30に工具を、第2のホルダ手段62にワークを取り付けた状態で加工を行った場合、測定では、第1のホルダ手段30を構成する他方の結合・分離要素41を一方に結合・分離要素31から外したのち、工具ストッカ81の中から測定機器が装着されている他方の結合・分離要素41を選択し、これを三次元移動機構10の位置まで搬送したのち、一方の結合・分離要素31に対して結合させる。
この状態において、三次元移動機構10を三次元方向(X軸、Y軸、Z軸方向)へ移動させながら、第1のホルダ手段30および第2のホルダ手段62に保持された測定機器およびワークを相対移動させながら、ワークを測定機器によって測定する。
After processing, measure as necessary. For example, when processing is performed with a tool attached to the first holder means 30 and a workpiece attached to the second holder means 62, the other coupling / separation element 41 constituting the first holder means 30 is measured. Is removed from the coupling / separation element 31 on one side, and the other coupling / separation element 41 on which the measuring device is mounted is selected from the tool stocker 81 and conveyed to the position of the three-dimensional movement mechanism 10. , One of the coupling / separation elements 31 is coupled.
In this state, the measuring device and the work held by the first holder means 30 and the second holder means 62 while moving the three-dimensional movement mechanism 10 in the three-dimensional directions (X-axis, Y-axis, Z-axis directions). Measure the workpiece with a measuring instrument while moving the

たとえば、測定機器として、ワークに接触した際にタッチ信号を発するタッチ信号プローブを取り付けて測定を行うと、タッチ信号プローブがワークに接触する毎に、タッチ信号が発せられる。すると、制御手段100の演算手段102において、タッチ信号プローブからタッチ信号が発せられる毎に、X,Y,Z軸における変位検出器の値を読み取り、これらのデータを基にタッチ信号プローブが接触したワークの座標位置を演算し、これを表示手段101に表示する。また、その測定結果と予め設定記憶された設定値とを比較しながら次の加工時に修正動作を実行する。つまり、測定結果が予め設定記憶された設定値に一致するように、三次元移動機構10の移動動作を制御する。従って、同じワークを連続的に加工する場合でも、一定の精度を確保しながら加工することができる。   For example, when a measurement is performed by attaching a touch signal probe that emits a touch signal when it comes into contact with a workpiece, the touch signal is generated each time the touch signal probe contacts the workpiece. Then, every time a touch signal is issued from the touch signal probe, the calculation means 102 of the control means 100 reads the displacement detector values in the X, Y, and Z axes, and the touch signal probe contacts based on these data. The coordinate position of the workpiece is calculated and displayed on the display means 101. Further, the correction operation is executed at the next machining while comparing the measurement result with the set value set and stored in advance. That is, the moving operation of the three-dimensional moving mechanism 10 is controlled so that the measurement result matches the preset value that is set and stored. Therefore, even when processing the same workpiece continuously, it can be processed while ensuring a certain accuracy.

本実施形態によれば、次の作用効果が期待できる。
(1)第1のホルダ手段30および第2のホルダ手段62には、ワークおよび工具が選択的に取り付けできるようになっているから、ワークの大きさや重量が変わっても、最も効率的かつ高精度な加工を実現できる。
According to this embodiment, the following effects can be expected.
(1) Since the workpiece and the tool can be selectively attached to the first holder means 30 and the second holder means 62, even if the size and weight of the workpiece change, the most efficient and high Accurate machining can be realized.

(2)ストッカ手段80、搬送手段90および制御手段100を備えているから、制御手段100によって搬送手段90を制御しながら、ストッカ手段80にストックされたワークおよび工具の中からいずれかを選択して搬送し、第1のホルダ手段30および第2のホルダ手段62に保持させることができる。従って、第1のホルダ手段30および第2のホルダ手段62に対する工具およびワークの交換作業を自動的にかつ能率的に行うことができる。また、制御手段100によって三次元移動機構10の移動を制御しながら、加工を行うことができるから、予め三次元移動機構10の移動経路をプログラムしておけば、予め設定した経路に従って自動運転を行うことができる。   (2) Since the stocker unit 80, the transport unit 90, and the control unit 100 are provided, one of the workpieces and tools stocked in the stocker unit 80 is selected while the transport unit 90 is controlled by the control unit 100. And can be held by the first holder means 30 and the second holder means 62. Accordingly, it is possible to automatically and efficiently replace the tool and the workpiece with respect to the first holder means 30 and the second holder means 62. Further, since the processing can be performed while controlling the movement of the three-dimensional movement mechanism 10 by the control means 100, if the movement route of the three-dimensional movement mechanism 10 is programmed in advance, automatic operation is performed according to the preset route. It can be carried out.

(3)ストッカ手段80の中から測定機器を選択し、この測定機器を工具が取り付けられていた側のホルダ手段に装着すれば、測定機器を使って加工されたワークの形状や寸法などを測定することができる。   (3) If a measuring device is selected from the stocker means 80 and this measuring device is attached to the holder means on which the tool is attached, the shape and dimensions of the workpiece processed using the measuring device can be measured. can do.

(4)三次元移動機構10のZ軸スライダ11(可動部材)に取り付けられた一方の結合・分離要素31と、ワークおよび工具のいずれかを保持した他方の結合・分離要素41とが、互いに結合可能かつ分離可能であるから、両者の結合・分離機能により、三次元移動機構10のZ軸スライダ11(可動部材)に対して、ワークおよび工具のいずれかを装着、取外しできる。従って、第1のホルダ手段30に対するワークおよび工具の交換作業を容易にかつ迅速に行うことができる。   (4) One coupling / separation element 31 attached to the Z-axis slider 11 (movable member) of the three-dimensional movement mechanism 10 and the other coupling / separation element 41 holding either a workpiece or a tool are mutually connected. Since they are connectable and separable, either a workpiece or a tool can be attached to or detached from the Z-axis slider 11 (movable member) of the three-dimensional moving mechanism 10 by the connecting / separating function of both. Therefore, the work and tool replacement work for the first holder means 30 can be performed easily and quickly.

(5)他方の結合・分離要素41が、一方の結合・分離要素31と結合可能かつ分離可能な連結プレート43と、ワークおよび工具のいずれかを保持した保持機構44とを含んで構成されているから、保持機構44について、ワークや工具毎にこれらを保持する最適な形状に形成しておけば、連結プレート43については共通使用できる。   (5) The other coupling / separation element 41 includes a coupling plate 43 that can be coupled to and separable from one coupling / separation element 31 and a holding mechanism 44 that holds either the workpiece or the tool. Therefore, if the holding mechanism 44 is formed in an optimum shape for holding each workpiece or tool, the connection plate 43 can be used in common.

(6)保持機構44には工具およびワークのいずれかを回転可能に支持する主軸ユニット51が保持されているから、工具としてドリル、エンドミル、フライスなどの回転工具を用いて、ワークを加工することができる。   (6) Since the spindle unit 51 that rotatably supports either the tool or the workpiece is held by the holding mechanism 44, the workpiece is processed using a rotary tool such as a drill, an end mill, or a milling cutter as the tool. Can do.

(7)他方の結合・分離要素41を一方の結合・分離要素31に結合すると、エアーが、一方の結合・分離要素31から他方の結合・分離要素41を通じて、主軸ユニット51のエアータービンに供給されるエアー流路が形成される。従って、他方の結合・分離要素41を一方の結合・分離要素31に結合するだけで、主軸ユニット51の主軸53(工具またはワーク)を回転させることができるとともに、工具およびワークの交換も容易に行うことができる。   (7) When the other coupling / separation element 41 is coupled to one coupling / separation element 31, air is supplied from one coupling / separation element 31 to the air turbine of the spindle unit 51 through the other coupling / separation element 41. An air flow path is formed. Therefore, only by coupling the other coupling / separation element 41 to one coupling / separation element 31, the spindle 53 (tool or workpiece) of the spindle unit 51 can be rotated, and the tool and workpiece can be easily replaced. It can be carried out.

(8)エアー流路を構成するエアー配管43Cが他方の結合・分離要素41に突出形成され、このエアー配管43Cが挿入される係合孔34Aが一方の結合・分離要素31に形成されているから、一対の結合・分離要素31,41が結合されると、エアー流路が形成されるとともに、エアー配管43Cと係合孔34Aとの嵌合によって、一対の結合・分離要素31,41を結合可能かつ分離可能にできる。   (8) An air pipe 43C constituting an air flow path is formed to protrude from the other coupling / separation element 41, and an engagement hole 34A into which the air pipe 43C is inserted is formed in one coupling / separation element 31. From the above, when the pair of coupling / separating elements 31, 41 are coupled, an air flow path is formed, and the pair of coupling / separating elements 31, 41 are connected by fitting the air pipe 43C and the engagement hole 34A. Can be combined and separable.

(9)第2のホルダ手段62が、テーブル手段60に固定されたベースプレート63と、ワークおよび工具のいずれかを保持した保持機構64とを含んで構成されているから、保持機構64について、ワークや工具毎にこれらを保持する最適な形状に形成しておけば、ベースプレート63については共通使用できる。   (9) Since the second holder means 62 includes the base plate 63 fixed to the table means 60 and the holding mechanism 64 holding either the workpiece or the tool, the holding mechanism 64 The base plate 63 can be used in common if it is formed in an optimum shape for holding each tool.

(10)第2のホルダ手段62は、保持機構64を回転駆動させる回転駆動手段68を備えているから、ワークを回転させながら、あるいは、工具としてドリル、エンドミル、フライスなどの回転工具を用いながら、ワークを加工することができる。   (10) Since the second holder means 62 is provided with the rotation driving means 68 for rotating the holding mechanism 64, the second holder means 62 is rotated while the work is being rotated, or a rotary tool such as a drill, end mill, or milling cutter is used as a tool. , Can work the workpiece.

(11)三次元移動機構10が3つの軸駆動機構12X,12Y,12Zによって互いに直交する三軸方向へ移動できるとともに、各軸駆動機構12X,12Y,12Zはリニアモータ15で駆動されるから、高速かつ高精度な加工が実現できる。   (11) Since the three-dimensional movement mechanism 10 can be moved in the three axis directions orthogonal to each other by the three axis drive mechanisms 12X, 12Y, and 12Z, and each axis drive mechanism 12X, 12Y, and 12Z is driven by the linear motor 15. High-speed and high-precision machining can be realized.

なお、本発明は、前記実施形態に限定されるものではなく、本発明の目的を達成できる範囲での変形、改良等は本発明に含まれるものである。
前記実施形態では、三次元移動機構10側に主軸ユニット51を有する第1のホルダ手段30を設けるとともに、テーブル手段60側に保持機構64を有する第2のホルダ手段62を設けたが、図10に示すように、第2のホルダ手段62を第1のホルダ手段30と全く同一の構成としてもよい。
この場合、第2のホルダ手段62は、ベースプレート63に固定された一方の結合・分離要素31と、この一方の結合・分離要素31に対して結合可能かつ分離可能で主軸ユニット51を有する他方の結合・分離要素41とから構成されている。従って、第2のホルダ手段62についても、第1のホルダ手段30と同様に、交換可能である。また、第2のホルダ手段62の他方の結合・分離要素41を第1のホルダ手段30の一方の結合・分離要素31に対して着脱可能に構成できるとともに、第1のホルダ手段30の他方の結合・分離要素41を第2のホルダ手段62の一方の結合・分離要素31に対して着脱可能に構成できる。つまり、第1のホルダ手段30および第2のホルダ手段62相互に交換可能に構成できる。
Note that the present invention is not limited to the above-described embodiment, and modifications, improvements, and the like within a scope in which the object of the present invention can be achieved are included in the present invention.
In the above embodiment, the first holder means 30 having the spindle unit 51 is provided on the three-dimensional movement mechanism 10 side, and the second holder means 62 having the holding mechanism 64 is provided on the table means 60 side. As shown in the figure, the second holder means 62 may have the same configuration as that of the first holder means 30.
In this case, the second holder means 62 includes one coupling / separation element 31 fixed to the base plate 63, and the other coupling / separation element 31 that can be coupled to and separable from the other coupling / separation element 31. It is composed of a coupling / separation element 41. Accordingly, the second holder means 62 can also be replaced in the same manner as the first holder means 30. Further, the other coupling / separation element 41 of the second holder means 62 can be configured to be detachable from the one coupling / separation element 31 of the first holder means 30 and the other of the first holder means 30 can be configured to be removable. The coupling / separation element 41 can be configured to be detachable from one coupling / separation element 31 of the second holder means 62. That is, the first holder means 30 and the second holder means 62 can be configured to be interchangeable with each other.

また、図11に示すように、第2のホルダ手段62の一方の結合・分離要素31と、ベースプレート63との間に、二次元移動機構111(X軸駆動機構およびY軸駆動機構)を設ければ、より加工の自由度が高まる。
更に、図12に示すように、テーブル手段60側に設けられた第2のホルダ手段62には、主軸ユニット51に限らず、3つのチャック片66が中心に向かって同時に進退する保持機構64を設けてもよく、あるいは、他の機構でもよい。
Further, as shown in FIG. 11, a two-dimensional movement mechanism 111 (X-axis drive mechanism and Y-axis drive mechanism) is provided between one coupling / separation element 31 of the second holder means 62 and the base plate 63. If so, the degree of freedom of processing increases.
Further, as shown in FIG. 12, the second holder means 62 provided on the table means 60 side includes not only the spindle unit 51 but also a holding mechanism 64 in which three chuck pieces 66 advance and retract simultaneously toward the center. It may be provided, or another mechanism may be used.

前記実施形態では、第1のホルダ手段30および第2のホルダ手段62の両方が、工具またはワークを回転させる機能を備えていたが、第1のホルダ手段30および第2のホルダ手段62の両方が工具またはワークを回転させる機能を備えてなくてもよく、少なくとも片方が回転させる機能を備えていれば充分である。   In the above embodiment, both the first holder means 30 and the second holder means 62 have the function of rotating the tool or the workpiece. However, both the first holder means 30 and the second holder means 62 are provided. May not have a function of rotating a tool or a workpiece, and it is sufficient if at least one of them has a function of rotating.

前記実施形態では、ストッカ手段80および搬送手段90(ロボット搬送機構91)を備え、これらによって工具およびワークの交換が自動的に行えるように構成されていたが、これらを省略して、工具およびワークを手動で、つまり、作業者が第1のホルダ手段30および第2のホルダ手段62に装着したり、取り外したりするようにしてもよい。   In the above embodiment, the stocker unit 80 and the transfer unit 90 (robot transfer mechanism 91) are provided so that the tool and the workpiece can be exchanged automatically. May be attached to or removed from the first holder means 30 and the second holder means 62 manually.

前記実施形態では、制御手段100を備え、この制御装置100によって、三次元移動機構10、テーブル手段60およびロボット搬送機構91の全ての機構や手段を制御するようにしたが、少なくとも、三次元移動機構10の動作のみを制御するようにして、他の動作制御は作業者が自ら行うようにしてもよい。   In the embodiment, the control unit 100 is provided, and the control device 100 controls all the mechanisms and units of the three-dimensional movement mechanism 10, the table unit 60, and the robot transport mechanism 91. However, at least the three-dimensional movement is performed. Only the operation of the mechanism 10 may be controlled, and other operation control may be performed by the worker himself.

前記実施形態では、第1のホルダ手段30を結合分離可能な一対の結合・分離要素31,41を含んで構成したが、可動部材であるZ軸スライダ11にチャック手段(第1のホルダ手段の相当)を設け、このチャック手段に工具およびワークを選択して取り付けるようにしてもよい。この際、Z軸スライダ11に主軸を回転可能に設け、この主軸にチャック手段(第1のホルダ手段の相当)を設けるようにしてもよい。   In the above embodiment, the first holder means 30 is configured to include a pair of coupling / separating elements 31 and 41 that can be coupled and separated. However, the Z-axis slider 11 that is a movable member has a chuck means (of the first holder means). The tool and workpiece may be selected and attached to the chuck means. At this time, the main shaft may be rotatably provided on the Z-axis slider 11, and chuck means (corresponding to the first holder means) may be provided on the main shaft.

前記実施形態では、第2のホルダ手段62を、テーブル61に固定されたベースプレート63と、ワークおよび工具のいずれかを保持する保持機構64と、この保持機構64をベースプレート63に対して回転駆動させる回転駆動手段68とを含んで構成したが、これに限られない。   In the above-described embodiment, the second holder means 62 includes the base plate 63 fixed to the table 61, the holding mechanism 64 that holds either the workpiece or the tool, and the holding mechanism 64 is driven to rotate with respect to the base plate 63. The rotation driving means 68 is included, but the present invention is not limited to this.

例えば、第1のホルダ手段30と同様に、互いに結合可能かつ分離可能な一対の結合・分離要素を含んで構成してもよい。この際、一対の結合・分離要素のうちの一方の結合・分離要素をテーブル手段60のテーブル61に取り付けるとともに、他方の結合・分離要素には、ワークおよび工具のいずれかを保持する保持機構を設ける。更に、他方の結合・分離要素には、保持機構を回転駆動する回転駆動手段を設ければ、第1のホルダ手段30と同様な作用効果が期待できる。
あるいは、テーブル手段60のテーブル61にチャック手段(第2のホルダ手段の相当)を設け、このチャック手段に工具およびワークを選択して取り付けるようにしてもよい。この際、テーブル61に主軸を回転可能に設け、この主軸にチャック手段(第1のホルダ手段の相当)を設けるようにしてもよい。
For example, as with the first holder means 30, a pair of coupling / separating elements that can be coupled and separated from each other may be included. At this time, one of the pair of coupling / separating elements is attached to the table 61 of the table means 60, and the other coupling / separating element has a holding mechanism for holding either the workpiece or the tool. Provide. Furthermore, if the other coupling / separating element is provided with a rotation driving means for rotating the holding mechanism, the same effect as that of the first holder means 30 can be expected.
Alternatively, chuck means (corresponding to the second holder means) may be provided on the table 61 of the table means 60, and a tool and a workpiece may be selected and attached to the chuck means. At this time, the main shaft may be rotatably provided on the table 61, and chuck means (corresponding to the first holder means) may be provided on the main shaft.

前記実施形態では、移動手段として三次元駆動機構10を用い、この三次元駆動手段10によって第1のホルダ手段30を三次元方向へ移動させるようにしたが、移動手段としては、三次元駆動機構10に限られない。たとえば、一次元あるいは二次元移動機構などでもよい。   In the above embodiment, the three-dimensional drive mechanism 10 is used as the moving means, and the first holder means 30 is moved in the three-dimensional direction by the three-dimensional drive means 10, but the three-dimensional drive mechanism is used as the moving means. It is not limited to 10. For example, a one-dimensional or two-dimensional movement mechanism may be used.

前記実施形態では、搬送手段としてロボット搬送機構91を用いたが、これに限らず、ストッカ手段80に格納された工具およびワークを第1および第2のホルダ手段30,62に搬送できる機構であれば、他の構成でもよい。   In the above embodiment, the robot transport mechanism 91 is used as the transport means. However, the present invention is not limited to this, and any mechanism that can transport the tool and workpiece stored in the stocker means 80 to the first and second holder means 30 and 62 is used. Other configurations may be used.

前記実施形態では、ストッカ手段80を、工具ストッカ81とワークストッカ82とを備えて構成し、工具およびワークをこれらに分けて格納するようにしたたが、これら(工具およびワーク)を一緒に格納する1つのストッカであってもよい。   In the above embodiment, the stocker means 80 includes the tool stocker 81 and the work stocker 82, and the tool and the work are stored separately. However, these (tool and work) are stored together. One stocker may be used.

前記実施形態において、加工工程(測定工程)よりも前に、誤差記憶工程を実行し、この誤差記憶工程で記憶された誤差を加工工程または測定工程の動作から修正するようにすれば、三次元移動機構10の移動誤差を加工工程や測定工程の動作から補正できるから、より高精度な加工や測定が期待できる。
具体的には、誤差記憶工程では、まず、テーブル手段60に第2のホルダ手段62を装着する前に、テーブル手段60に二次元位置検出スケールを配置するとともに、第1のホルダ手段30に二次元位置検出スケールに対して光を照射しその二次元位置検出スケールからの反射光を受光して二次元位置検出スケール上の座標位置を検出するセンサを取り付ける。この状態において、テーブル手段60に対して三次元移動機構10を移動させ、その際の移動位置指令値とセンサによって検出された二次元位置検出スケール上の座標位置との誤差を記憶する。これによって記憶された誤差を加工工程または測定工程の動作から修正する。
なお、二次元位置検出スケールは、交差格子スケールとも呼ばれるもので、スケール上に光を当てその反射光の干渉を検出することで、平面上の位置を検出することができる。
In the above embodiment, if the error storage step is executed before the processing step (measurement step) and the error stored in the error storage step is corrected from the operation of the processing step or the measurement step, three-dimensional Since the movement error of the moving mechanism 10 can be corrected from the operations of the machining process and the measurement process, more accurate machining and measurement can be expected.
Specifically, in the error storing step, first, before the second holder means 62 is mounted on the table means 60, a two-dimensional position detection scale is arranged on the table means 60 and the first holder means 30 A sensor for irradiating light to the two-dimensional position detection scale and receiving reflected light from the two-dimensional position detection scale to detect the coordinate position on the two-dimensional position detection scale is attached. In this state, the three-dimensional movement mechanism 10 is moved with respect to the table means 60, and the error between the movement position command value at that time and the coordinate position on the two-dimensional position detection scale detected by the sensor is stored. The stored error is corrected from the operation of the machining process or the measurement process.
The two-dimensional position detection scale is also called a crossed lattice scale, and a position on a plane can be detected by applying light on the scale and detecting interference of reflected light.

前記実施形態では、ワークを工具によって加工する例について説明したが、本発明の加工システムは、基板に部品を組み付ける場合にも適用できる。
たとえば、図13に示すように、テーブル手段60側に設けられる第2のホルダ手段62は、ベースプレート63に固定された一方の結合・分離要素31と、この一方の結合・分離要素31に対して結合可能かつ分離可能な他方の結合・分離要素41とから構成されている。他方の結合・分離要素41は、一方の結合・分離要素31に対して結合可能かつ分離可能な連結プレート43のみによって構成されている。連結プレート43には、基板112を保持する保持手段として真空チャックが設けられている。なお、第1のホルダ手段30には、部品をつかむための把持機構(開閉可能な複数の把持爪)が設けられているが、これに限られない。
In the above-described embodiment, an example in which a workpiece is machined with a tool has been described. However, the machining system of the present invention can also be applied to a case where components are assembled to a substrate.
For example, as shown in FIG. 13, the second holder means 62 provided on the table means 60 side has one coupling / separation element 31 fixed to the base plate 63 and the one coupling / separation element 31. The other connecting / separating element 41 is connectable and separable. The other coupling / separation element 41 is constituted only by a coupling plate 43 that can be coupled to and separable from one coupling / separation element 31. The connection plate 43 is provided with a vacuum chuck as a holding means for holding the substrate 112. The first holder means 30 is provided with a gripping mechanism (a plurality of gripping claws that can be opened and closed) for gripping a component, but is not limited thereto.

組み付けにあたっては、第2のホルダ手段62に基板112を保持するとともに、三次元移動機構10を動作させて第1のホルダ手段30に部品を保持させる。この場合、第1のホルダ手段30の移動範囲内に予め部品がストックされている。こののち、三次元移動機構10を動作させて第1のホルダ手段30に保持した部品を第2のホルダ手段62に保持された基板112に組み付ける。なお、第1のホルダ手段30のチャック機構54に代えて、真空チャックであってもよい。   In assembling, the substrate 112 is held on the second holder means 62 and the three-dimensional moving mechanism 10 is operated to hold the parts on the first holder means 30. In this case, parts are stocked in advance within the movement range of the first holder means 30. After that, the three-dimensional moving mechanism 10 is operated to assemble the component held by the first holder means 30 to the substrate 112 held by the second holder means 62. Instead of the chuck mechanism 54 of the first holder means 30, a vacuum chuck may be used.

本発明は、超小型部品、半導体装置部品、コネクタ部品などの微細ワークの加工に利用できる他、一般的な大きさ、重量のワークの加工にも利用することができる。   The present invention can be used for processing a workpiece having a general size and weight, in addition to being used for processing a fine workpiece such as a micro component, a semiconductor device component, and a connector component.

本発明の一実施形態に係る加工システムを示す平面図。The top view which shows the processing system which concerns on one Embodiment of this invention. 同上実施形態の三次元移動機構およびテーブル手段を示す斜視図。The perspective view which shows the three-dimensional movement mechanism and table means of embodiment same as the above. 同上実施形態の第1のホルダ手段(一方の結合・分離要素)を示す斜視図。The perspective view which shows the 1st holder means (one coupling | bonding / separation element) of embodiment same as the above. 同上実施形態の第1のホルダ手段(他方の結合・分離要素)を示す斜視図。The perspective view which shows the 1st holder means (other coupling | bonding / separation element) of embodiment same as the above. 同上実施形態の第1のホルダ手段(他方の結合・分離要素)の背面を示す図。The figure which shows the back surface of the 1st holder means (other coupling | bonding / separation element) of embodiment same as the above. 同上第1のホルダ手段(他方の結合・分離要素)の保持機構および主軸ユニットを示す分解斜視図。The disassembled perspective view which shows the holding | maintenance mechanism of a 1st holder means (other coupling | bonding / separation element) and a spindle unit same as the above. 同上実施形態の第2のホルダ手段を示す斜視図。The perspective view which shows the 2nd holder means of embodiment same as the above. 同上実施形態の工具ストッカを示す斜視図。The perspective view which shows the tool stocker of embodiment same as the above. 同上実施形態のロボット搬送機構を示す斜視図。The perspective view which shows the robot conveyance mechanism of embodiment same as the above. 本発明の他の実施形態の三次元移動機構およびテーブル手段を示す斜視図。The perspective view which shows the three-dimensional movement mechanism and table means of other embodiment of this invention. 上記他の実施形態の変形例を示す斜視図。The perspective view which shows the modification of the said other embodiment. 上記他の実施形態の更に異なる変形例を示す斜視図。The perspective view which shows the further different modification of the said other embodiment. 本発明の更に他の実施形態の三次元移動機構およびテーブル手段を示す斜視図。The perspective view which shows the three-dimensional movement mechanism and table means of other embodiment of this invention.

符号の説明Explanation of symbols

10…三次元移動機構、
11…X軸スライダ(可動部材)、
12X,12Y,12Z…X,Y,Z軸駆動機構、
30…第1のホルダ手段、
31…結合・分離要素、
35A…係合孔、
41…結合・分離要素、
43…連結プレート、
44…保持機構、
51…主軸ユニット、
52…ユニット本体、
53…主軸、
54…チャック機構、
55…エアー配管、
60…テーブル手段、
62…第2のホルダ手段、
63…ベースプレート、
64…保持機構、
68…回転駆動手段、
80…ストッカ手段、
81…工具ストッカ、
82…ワークストッカ、
90…搬送手段、
91…ロボット搬送機構、
100…制御手段、
101…表示手段、
102…演算手段。
10 ... three-dimensional movement mechanism,
11 ... X-axis slider (movable member),
12X, 12Y, 12Z ... X, Y, Z axis drive mechanism,
30. First holder means,
31... Coupling / separation element,
35A ... engagement hole,
41 ... coupling / separation element,
43 ... connecting plate,
44 ... holding mechanism,
51 ... Spindle unit,
52 ... Unit body,
53 ... Spindle,
54 ... Chuck mechanism,
55 ... Air piping,
60 ... Table means,
62 ... second holder means,
63 ... Base plate,
64 ... holding mechanism,
68. Rotation drive means,
80 ... Stocker means,
81 ... Tool stocker
82 ... Work stocker,
90 ... conveying means,
91 ... Robot transfer mechanism,
100 ... control means,
101 ... display means,
102: Calculation means.

Claims (18)

ワークと工具とを相対移動させながら、ワークを工具によって加工する加工システムであって、
テーブル手段と、このテーブル手段に対して可動部材を移動させる移動手段とを備え、
前記移動手段の可動部材には、ワークおよび工具を選択的にかつ交換可能に取り付けるための第1のホルダ手段が設けられ、
前記テーブル手段には、前記第1のホルダ手段に取り付けられたワークおよび工具のいずれかに対応する工具およびワークを選択的かつ交換可能に取り付けるための第2のホルダ手段が設けられていることを特徴とする加工システム。
A machining system for machining a workpiece with a tool while relatively moving the workpiece and the tool,
Table means and moving means for moving the movable member relative to the table means;
The movable member of the moving means is provided with a first holder means for selectively and replaceably attaching a workpiece and a tool,
The table means is provided with second holder means for selectively and replaceably attaching a tool and a work corresponding to either the work or the tool attached to the first holder means. A featured processing system.
請求項1に記載の加工システムは、さらに、
前記第1および第2のホルダ手段に取り付けられるワークおよび工具の少なくとも一方をストックしておくためのストッカ手段と、
このストッカ手段にストックされたワーク、工具を取り出して前記第1のホルダ手段および前記第2のホルダ手段に取り付けるために、これらを搬送する搬送手段と、
前記移動手段および前記搬送手段を制御する制御手段とを備えていることを特徴とする加工システム。
The processing system according to claim 1, further comprising:
Stocker means for stocking at least one of a work and a tool attached to the first and second holder means;
In order to take out workpieces and tools stocked in the stocker means and attach them to the first holder means and the second holder means, conveying means for conveying them,
A processing system comprising: a control unit that controls the moving unit and the transport unit.
請求項2に記載の加工システムにおいて、
前記ストッカ手段は、加工前または加工後の前記ワークを測定する測定機器を含んで前記ワークおよび工具を格納しているとともに、
前記制御手段は、さらに、前記測定機器により測定された測定結果を表示する表示手段および前記測定結果と予め設定記憶された設定値とを比較しながら次の加工時に修正動作を実行する修正動作演算手段を有することを特徴とする加工システム。
The processing system according to claim 2,
The stocker means includes a measuring device for measuring the workpiece before processing or after processing, and stores the workpiece and tool,
The control means further includes a display means for displaying a measurement result measured by the measuring device, and a correction operation calculation for executing a correction operation at the next machining while comparing the measurement result with a preset value stored A processing system comprising means.
請求項1〜請求項3のいずれかに記載の加工システムにおいて、
前記第1のホルダ手段は、互いに結合可能かつ分離可能な一対の結合・分離要素を含んで構成され、
前記一対の結合・分離要素のうちの一方の結合・分離要素が前記可動部材に取り付けられ、他方の結合・分離要素には、前記ワークおよび工具のいずれかを保持する保持機構が設けられていることを特徴とする加工システム。
In the processing system according to any one of claims 1 to 3,
The first holder means includes a pair of coupling / separating elements that can be coupled and separated from each other,
One coupling / separation element of the pair of coupling / separation elements is attached to the movable member, and the other coupling / separation element is provided with a holding mechanism for holding either the workpiece or the tool. A processing system characterized by that.
請求項4に記載の加工システムにおいて、
前記他方の結合・分離要素は、前記一方の結合・分離要素と結合可能かつ分離可能な連結プレートと、この連結プレートに設けられ前記ワークおよび工具のいずれかを保持する保持機構とを含んで構成されていることを特徴とする加工システム。
The processing system according to claim 4, wherein
The other coupling / separation element includes a coupling plate that can be coupled to and separable from the one coupling / separation element, and a holding mechanism that is provided on the coupling plate and holds either the workpiece or the tool. Machining system characterized by being.
請求項5に記載の加工システムにおいて、
前記保持機構には、前記工具およびワークのいずれかを回転可能に支持した主軸ユニットが保持されていることを特徴とする加工システム。
The processing system according to claim 5, wherein
A machining system, wherein the holding mechanism holds a spindle unit that rotatably supports either the tool or the workpiece.
請求項6に記載の加工システムにおいて、
前記主軸ユニットは、ユニット本体と、このユニット本体に回転可能に支持された主軸と、この主軸に前記工具およびワークのいずれかを保持するチャック機構と、前記主軸を回転させるエアータービンとを備えて構成され、
前記一対の結合・分離要素間には、他方の結合・分離要素が一方の結合・分離要素に結合された際、エアーが、一方の結合・分離要素から他方の結合・分離要素を通じて前記エアータービンに供給されるエアー流路が形成されていることを特徴とする加工システム。
The processing system according to claim 6, wherein
The main spindle unit includes a unit main body, a main shaft rotatably supported by the unit main body, a chuck mechanism that holds either the tool or the workpiece on the main shaft, and an air turbine that rotates the main shaft. Configured,
Between the pair of coupling / separating elements, when the other coupling / separating element is coupled to one coupling / separating element, air flows from one coupling / separating element to the other coupling / separating element. A processing system characterized in that an air flow path to be supplied is formed.
請求項7に記載の加工システムにおいて、
前記一対の結合・分離要素のうち、片方の結合・分離要素には前記エアー流路を形成するエアー配管が突出形成され、他の片方の結合・分離要素には前記エアー配管が挿入される係合孔が形成され、このエアー配管と係合孔とによって前記一対の結合・分離要素が結合可能かつ分離可能に構成されていることを特徴とする加工システム。
The processing system according to claim 7,
Of the pair of coupling / separating elements, one of the coupling / separating elements has a protruding air pipe forming the air flow path, and the other one of the coupling / separating elements has the air pipe inserted therein. A machining system, wherein a joint hole is formed, and the pair of coupling / separating elements are configured to be coupled and separable by the air pipe and the engagement hole.
請求項1〜8のいずれかに記載の加工システムにおいて、
前記第2のホルダ手段は、互いに結合可能かつ分離可能な一対の結合・分離要素を含んで構成され、
前記一対の結合・分離要素のうちの一方の結合・分離要素が前記テーブル手段に取り付けられ、他方の結合・分離要素には、前記ワークおよび工具のいずれかを保持する保持機構が設けられていることを特徴とする加工システム。
In the processing system according to any one of claims 1 to 8,
The second holder means includes a pair of coupling / separating elements that can be coupled and separated from each other,
One coupling / separation element of the pair of coupling / separation elements is attached to the table means, and the other coupling / separation element is provided with a holding mechanism for holding either the workpiece or the tool. A processing system characterized by that.
請求項1〜8のいずれかに記載の加工システムにおいて、
前記第2のホルダ手段は、前記テーブル手段に固定されたベースプレートと、このベースプレートに取り付けられ前記ワークおよび工具のいずれかを保持する保持機構とを含んで構成されていること特徴とする加工システム。
In the processing system according to any one of claims 1 to 8,
The second holder means includes a base plate fixed to the table means, and a holding mechanism attached to the base plate and holding either the workpiece or the tool.
請求項9または請求項10に記載の加工システムにおいて、
前記保持機構を回転駆動させる回転駆動手段を備えていることを特徴とする加工システム。
In the processing system according to claim 9 or 10,
A machining system comprising a rotation driving means for rotating the holding mechanism.
請求項1〜請求項11のいずれかに記載の加工システムにおいて、
前記移動手段は、前記可動部材を、互いに直交する三軸方向へ移動させる3つの軸駆動機構を備え、各軸駆動機構はリニアモータで駆動されることを特徴とする加工システム。
In the processing system according to any one of claims 1 to 11,
The moving system includes a three-axis drive mechanism that moves the movable member in three axial directions orthogonal to each other, and each axis drive mechanism is driven by a linear motor.
ワークと工具とを相対移動させながら、ワークを工具によって加工する加工方法であって、
テーブル手段と、このテーブル手段に対して可動部材を移動させる移動手段と、前記移動手段の可動部材に設けられ前記ワークおよび工具を選択的にかつ交換可能に取り付けるための第1のホルダ手段と、前記テーブル手段に設けられ前記移動手段に取り付けられたワークおよび工具のいずれかに対応する工具またはワークを選択的かつ交換可能に保持する第2のホルダ手段とを用意する準備工程と、
前記第1のホルダ手段にワークおよび工具のいずれかを選択して保持するとともに、この第1のホルダ手段に保持されたワークおよび工具と対応する工具またはワークを前記第2のホルダ手段に保持する装着工程と、
前記移動手段を移動させながら、前記第1のホルダ手段に保持されたワークおよび工具のいずれかと、これに対応して第2のホルダ手段に保持された工具またはワークとでワークを加工する加工工程とを備えることを特徴とする加工方法。
A machining method for machining a workpiece with a tool while relatively moving the workpiece and the tool,
Table means, moving means for moving the movable member relative to the table means, first holder means provided on the movable member of the moving means for selectively and replaceably attaching the workpiece and the tool, A preparatory step of preparing second holder means for selectively and replaceably holding a tool or a work corresponding to any one of a work and a tool provided on the table means and attached to the moving means;
Either the workpiece or the tool is selected and held in the first holder means, and the tool or workpiece corresponding to the workpiece and the tool held in the first holder means is held in the second holder means. Installation process;
A machining step of machining a workpiece with either the workpiece or tool held by the first holder means and the tool or workpiece held by the second holder means corresponding to the workpiece while moving the moving means. A processing method characterized by comprising:
請求項13に記載の加工方法において、
前記準備工程は、さらに、前記第1および第2のホルダ手段に取り付けられるワークおよび工具の少なくとも一方をストックしておくためのストッカ手段と、このストッカ手段にストックされたワーク、工具を取り出して前記第1のホルダ手段および前記第2のホルダ手段に取り付けるために、これらを搬送する搬送手段とを用意する工程を含み、
前記装着工程は、前記ストッカ手段にストックされたワークおよび工具を前記搬送手段によって搬送し、前記第1のホルダ手段にワークおよび工具のいずれかを選択して保持させるとともに、この第1のホルダ手段に保持されたワークおよび工具と対応する工具またはワークを前記第2のホルダ手段に保持させることを特徴とする加工方法。
The processing method according to claim 13, wherein
The preparation step further includes stocker means for stocking at least one of a work and a tool attached to the first and second holder means, and taking out the work and tool stocked in the stocker means. Preparing a first holder means and a conveying means for conveying them to attach to the second holder means;
In the mounting step, the work and tool stocked in the stocker means are transported by the transport means, and the first holder means selects and holds either the work or the tool, and the first holder means. A tool or a workpiece corresponding to the workpiece and the tool held by the second holder means is held by the second holder means.
請求項13または請求項14に記載の加工方法は、さらに、
加工前または加工後のワークを測定する測定工程を備えることを特徴とする加工方法。
The processing method according to claim 13 or 14, further comprises:
A processing method comprising a measuring step of measuring a workpiece before or after processing.
請求項15に記載の加工方法において、
前記測定工程によって測定された測定結果と予め設定記憶された設定値とを比較しながら次の加工時に修正動作を実行する修正動作実行工程を備えることを特徴とする加工方法。
The processing method according to claim 15, wherein
A processing method comprising: a correction operation executing step of executing a correction operation at the next processing while comparing a measurement result measured in the measurement step with a preset value stored in advance.
請求項15に記載の加工方法は、さらに、
前記加工工程または測定工程よりも前に、前記テーブル手段に二次元位置検出スケールを配置するとともに、第1のホルダ手段に前記二次元位置検出スケールに対して光を照射しその二次元位置検出スケールからの反射光を受光して前記二次元位置検出スケール上の座標位置を検出するセンサを取り付け、前記テーブル手段に対して前記移動手段を移動させた際、移動位置指令値と前記センサによって検出された二次元位置検出スケール上の座標位置との誤差を記憶する誤差記憶工程を備え、
この誤差記憶工程で記憶された誤差を前記加工工程または測定工程の動作から修正することを特徴とする加工方法。
The processing method according to claim 15, further comprising:
Prior to the processing step or the measuring step, a two-dimensional position detection scale is arranged on the table means, and the first holder means is irradiated with light on the two-dimensional position detection scale, and the two-dimensional position detection scale is provided. When a sensor for detecting the coordinate position on the two-dimensional position detection scale is received by receiving reflected light from the two-dimensional position detection scale and the moving means is moved with respect to the table means, it is detected by the moving position command value and the sensor. An error storage step of storing an error with the coordinate position on the two-dimensional position detection scale,
A processing method comprising correcting an error stored in the error storage step from the operation of the processing step or the measurement step.
請求項1に記載の加工システムを用いて、基板に部品を組み付ける部品組付方法であって、
前記第2のホルダ手段に前記基板を保持するとともに、
前記移動手段を動作させて第1のホルダ手段に前記部品を保持させたのち、
前記移動手段を動作させて第1のホルダ手段に保持した部品を第2のホルダ手段に保持された基板に組み付けることを特徴とする部品組付方法。
A component assembling method for assembling a component on a board using the processing system according to claim 1,
Holding the substrate on the second holder means;
After operating the moving means to hold the component in the first holder means,
A component assembling method comprising assembling a component held by the first holder means by operating the moving means to a substrate held by the second holder means.
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