JP2005276655A - コロナ放電型イオナイザ - Google Patents
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Abstract
エミッタに印加する交流電圧電源の電源周波数の高低に影響されることなく電界ノイズの発生を低減させるコロナ放電型イオナイザを提供する。
【解決手段】
コロナ放電によりプラスイオンまたはマイナスイオンを生成する際に発生する電界を網状体7の静電シールド効果により網状体7までで遮断し、網状体7から被除電物30へはプラスイオンまたはマイナスイオンのみを到達させて、交流電圧電源が低周波(商用電源の50Hz/60Hz)であっても電界ノイズの影響を被除電物30が受けないように配慮したコロナ放電型イオナイザ10Aとした。
【選択図】 図1
Description
この問題は、クリーンルーム内の浮遊物を全て除去できれば解決できるが実際上困難であり、そこで電子デバイスに帯電する静電気を除電することにより解決を図っている。
この点について図を参照しつつ説明する。図5はコロナ放電型イオナイザによる電界ノイズを検出する実験装置の説明図である。
実験装置は、コロナ放電型イオナイザ10およびノイズセンサ20を備え、コロナ放電型イオナイザ10のイオン噴射時に発生する電界ノイズをノイズセンサ20が検出するようにした装置である。コロナ放電型イオナイザ10は、図5で示すように、交流電源1、送風管2、電圧供給線3、送風手段4、エミッタ5、対向リング電極6を備えている。そして、被除電物のあるべき位置にノイズセンサ20を配置している。
送風管2は、送風手段4から加圧送風された圧縮空気を送風口2aから噴射する。この送風管2はグランド接地されてゼロ電位とされており、エミッタ5から発生する電界をシールドしている。
電圧供給線3は交流電源1からの交流電圧をエミッタ5に印加する。
送風手段4は、コンプレッサやファンであり、送風管2内を加圧する。これら送風管2と送風手段4とで、エミッタ5側からノイズセンサ20(被除電物)側へ向けて送風する送風部を形成する。
エミッタ5は先端に針状部が形成されている。
対向リング電極6は対向電極の具体例であり、グランド接地されてゼロ電位とされている。対向リング電極6は高電圧が印加されるエミッタ5との間に高圧電界を形成する。なお、リング状に限定する主旨ではなく、針状・網状等の対向電極としても良い。
送風手段4により送風管2内が加圧されて送風口2aから送風される。送風される気体は非反応性ガスや空気などである。このような状況下、交流電源1から電圧供給線3を介してエミッタ5に交流の高電圧が印加されると、エミッタ5の周辺はコロナ放電によりプラズマ状態となって空気または非反応性ガスの気体分子からプラスイオンと電子が生成され、電子が他の分子に付着してマイナスイオンを生成する(以下プラスイオンまたはマイナスイオンを総称するときは単にイオンという。)。
このような状況に鑑み、本発明者等はコロナ放電型イオナイザの電界ノイズについて鋭意研究実験を行い、この電界ノイズについて考察した論文を非特許文献1として開示している。
しかしながら、交流型のコロナ放電型イオナイザ10では先に説明したように電界ノイズが発生し、この電界ノイズの影響により電子デバイスが影響を受けて誤動作し、検査ができない場合があるという問題があった。特に各種ある電子デバイスの中では、電界を利用するFET(特にMOSFET)の時には誤動作が顕著であった。
また、先に図6を用いて説明したように高周波数ならば電界ノイズの発生が少ないが、逆に高周波数では再結合によりイオン発生量が少なくなるという問題もあった。
コロナ放電により生成したイオンを被除電物へ照射するコロナ放電型イオナイザにおいて、
先端に針状部が形成されるエミッタと、
エミッタに交流電圧を印加する電圧供給部と、
交流電圧が印加されるエミッタとの間に電界を形成する対向電極と、
対向電極と被除電物との間に配置されて接地される網状体と、
を備え、
コロナ放電によりプラスイオンまたはマイナスイオンを生成する際に発生する電界を網状体の静電シールド効果により網状体までで遮断し、網状体から被除電物へはプラスイオンおよびマイナスイオンを到達させることを特徴とする。
請求項1に記載のコロナ放電型イオナイザにおいて、
前記網状体は、板状の網状体であることを特徴とする。
請求項1に記載のコロナ放電型イオナイザにおいて、
前記網状体は、前記エミッタから被除電物までの空間を覆う筒形状または錐形状の網状体であることを特徴とする。
請求項1〜請求項3の何れか一項に記載のコロナ放電型イオナイザにおいて、
エミッタの端部から網状体までの距離をLEとし、また、網状体から被除電物までの距離をLPとしたとき、LE >LP を満たすことを特徴とする。
請求項1〜請求項4の何れか一項に記載のコロナ放電型イオナイザにおいて、
エミッタ側から被除電物側へ向けて送風する送風部を備えることを特徴とする。
請求項5に記載のコロナ放電型イオナイザにおいて、
前記送風部は、
エミッタが突出する送風口以外は外界から覆うような空間を形成するとともに接地される送風管と、
送風管と流路が連通する送風手段とを備え、
送風管は、送風手段により内部が加圧送風されたときに送風口から被除電物に向けて送風し、かつ静電シールド効果によりエミッタから発生する電界を遮蔽することを特徴とする。
本形態のコロナ放電型イオナイザ10Aは、図1で示すように、交流電源1、送風管2、電圧供給線3、送風手段4、エミッタ5、対向リング電極6、網状体7を備えている。そして、コロナ放電型イオナイザ10Aは、被除電物30にイオンを吹き付けて除電する、というものである。
被除電物30は、例えば、電子デバイスの製造工場において、製造ラインを流れる電子デバイスなどであり、正電荷あるいは負電荷の何れか一方に帯電している。この傾向は、例えば製造装置や製造ライン等の機械に起因するものである。ここでは、説明の具体化のため、被除電物30は負電荷が多く帯電しているとして説明する。
また、被除電物30がマイナスに帯電している場合、網状体7は静電誘導によりプラスに帯電するため、網状体7に到達したプラスイオンおよびマイナスイオンのうち、網状体7ではマイナスイオンが優先的に吸引され、また、プラスイオンは網状体7で斥力が加わって吸引されないで通過し、被除電物30に優先的にプラスイオンが到達し、被除電物30が除電される。
また、網状体7を十分広くすることで、電界が確実にシールドされるため、シールド機能も兼ねていた送風管2を取り去り、さらにエミッタ上方に送風手段を配置する構成を採用し、この送風手段が被除電物30に向けて送風するようにしても良い。これら構成は適宜選択されるが、被除電物30の上方を十分広い面積を有する網状体7が覆うようにすれば、電界ノイズを遮断し、本発明の効果を奏しうる。
本形態のコロナ放電型イオナイザ10Bは、図2で示すように、交流電源1、送風管2、電圧供給線3、送風手段4、エミッタ5、対向リング電極6、円錐台形網状体8を備えている。そして、コロナ放電型イオナイザ10Bは、被除電物30にイオンを吹き付けて除電する。被除電物30は、正電荷あるいは負電荷の何れか一方に帯電しているが、説明の具体化のため、被除電物30は負電荷が多く帯電しているものとして説明する。
また、被除電物30がマイナスに帯電している場合、円錐台形網状体8の底面は静電誘導によりプラスに帯電するため、マイナスイオンは円錐台形網状体8に優先的に吸引され、また、プラスイオンは円錐台形網状体8に吸引されないで通過し、被除電物30が除電される。
また、円錐台形網状体8により覆われて電界が確実にシールドされるため、シールド機能も兼ねていた送風管2を取り去り、さらにエミッタ上方に送風手段を配置する構成を採用し、この送風手段が被除電物30に向けて送風するようにしても良い。
さらにまた、円錐台形網状体8の形状は円錐台形に限定されるものではなく、エミッタ5から被除電物までの空間を覆う筒形状または錐形状の網状体とすれば良い。筒は円筒・多角筒の採用が可能である。錐は円錐・多角錐の採用が可能である。
また、円錐台形網状体8の上側開口部が対向リング電極6と同等の形状であるため、対向リング電極6を省いて、円錐台形網状体8を接地するようにしても良い。
これら構成は適宜選択されるが、エミッタ5を確実に覆うような網状体とすれば、電界ノイズを遮断し、本発明の効果を奏しうる。
また、円錐台形網状体8は基本的にエミッタ5により発生する電界が外部へ漏れないようにシールドして電界が円錐台形網状体8の外側に到達させないようにするため、必要最小限の容積とすれば良く、図1で示した板状の網状体7よりも小型化が可能である。
このコロナ放電型イオナイザ10Aは、図3で示すように、交流電源1、送風管2、電圧供給線3、送風手段4、エミッタ5、対向リング電極6、板状の網状体7を備えている(図1と同一の構成である)。そして、被除電物のあるべき位置にノイズセンサ20を配置している。
このようなコロナ放電型イオナイザ10Aでエミッタ5に印加する交流電圧の周波数を変えて、ノイズセンサ20がどのような電界ノイズ電圧を出力するかを網状体7の有無で比較した。
1:交流電源
2:送風管
2a:送風口
3:電圧供給線
4:送風手段
5:エミッタ
6:対向リング電極
7:網状体
8:円錐台形網状体
20:ノイズセンサ
30:被除電物
Claims (6)
- コロナ放電により生成したイオンを被除電物へ照射するコロナ放電型イオナイザにおいて、
先端に針状部が形成されるエミッタと、
エミッタに交流電圧を印加する電圧供給部と、
交流電圧が印加されるエミッタとの間に電界を形成する対向電極と、
対向電極と被除電物との間に配置されて接地される網状体と、
を備え、
コロナ放電によりプラスイオンまたはマイナスイオンを生成する際に発生する電界を網状体の静電シールド効果により網状体までで遮断し、網状体から被除電物へはプラスイオンおよびマイナスイオンを到達させることを特徴とするコロナ放電型イオナイザ。 - 請求項1に記載のコロナ放電型イオナイザにおいて、
前記網状体は、板状の網状体であることを特徴とするコロナ放電型イオナイザ。 - 請求項1に記載のコロナ放電型イオナイザにおいて、
前記網状体は、前記エミッタから被除電物までの空間を覆う筒形状または錐形状の網状体であることを特徴とするコロナ放電型イオナイザ。 - 請求項1〜請求項3の何れか一項に記載のコロナ放電型イオナイザにおいて、
エミッタの端部から網状体までの距離をLEとし、また、網状体から被除電物までの距離をLPとしたとき、LE >LP を満たすことを特徴とするコロナ放電型イオナイザ。 - 請求項1〜請求項4の何れか一項に記載のコロナ放電型イオナイザにおいて、
エミッタ側から被除電物側へ向けて送風する送風部を備えることを特徴とするコロナ放電型イオナイザ。 - 請求項5に記載のコロナ放電型イオナイザにおいて、
前記送風部は、
エミッタが突出する送風口以外は外界から覆うような空間を形成するとともに接地される送風管と、
送風管と流路が連通する送風手段とを備え、
送風管は、送風手段により内部が加圧送風されたときに送風口から被除電物に向けて送風し、かつ静電シールド効果によりエミッタから発生する電界を遮蔽することを特徴とするコロナ放電型イオナイザ。
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JP2013073886A (ja) * | 2011-09-29 | 2013-04-22 | Yamagata Univ | イオナイザー |
KR102119272B1 (ko) * | 2019-04-09 | 2020-06-04 | (주)동일기연 | 전자파 차단용 전극을 구비한 제전 장치 |
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