JP2005273744A - バルブ駆動用アクチュエータ - Google Patents

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Abstract

【課題】バルブ駆動用アクチュエータの動作状態に関する情報を表示する動作状態表示手段を,ユーザが必要とするときに予め定められた時間だけオン状態(即ち点灯)にするバルブ駆動用アクチュエータを提供する。
【解決手段】ハンチングが発生すると,制御部は記憶部にハンチング状態であることを示すLED表示フラグ=1を記憶させる。そして利用者により登録スイッチ或いは切換スイッチが操作されると,制御部は上記LED表示フラグを取得すると共に,その取得した上記LED表示フラグに基づいて,多色表示回路へLED点灯信号を送信する。その後,タイマーを用いて経過時間を計測を開始する。該経過時間がタイマーにより計測された規定時間に達すると,制御部は多色表示回路へLED消灯信号を送信する。
【選択図】図2

Description

本発明は,バタフライバルブ,ボールバルブ等のバルブを制御するためのバルブ駆動用アクチュエータにかかり,特に,該バルブ駆動用アクチュエータの動作状態に関する情報を表示する動作状態表示手段を,動作状態を表示するに適切な時期に予め定められた時間だけオン状態(即ち点灯)にするバルブ駆動用アクチュエータに関するものである。
上記したようなバルブを制御するためのバルブ駆動用アクチュエータにおける動作状態の異常の一例にハンチングが挙げられる。このハンチングを自動的に検出すると共に,危険防止のために警報を発する技術については,例えば特許文献1或いは特許文献2に開示されるようなものがある。また,バルブ駆動用アクチュエータが備えるバルブポジショナのケーシング内の温度を検出し,この温度が予め設定された温度の範囲にあるか否かを判定すると共に,該温度の範囲内にない場合には,その旨を外部装置へ告知する技術もある(特許文献3参照)。このように,従来から,ハンチングに関する警報や温度に関する外部への告知をはじめとする,バルブ駆動用アクチュエータにおける種々の動作状態を表示する機能が求められている。
ここで,上記したような動作状態の表示及び確認のために,従来は外部通信機器を設置しこれに専用の状態表示用機器(専用のソフトウェアをインストールしたパーソナルコンピュータ等)を接続する必要があった。しかしながら,状態表示専用機器を接続する作業は煩わしさを伴い,また上記外部通信機器および状態表示専用機器を設置するためのスペースを必要とするという問題があった。
そこで本出願人は,特願2004−04320にて,運転状態をはじめとするバルブ駆動用アクチュエータの動作状態を表示する状態表示灯(上記動作状態表示手段の一例)を備えたバルブ駆動用アクチュエータを提案することにより,上記した問題を解消している。
特許第3007587号公報 特許第2977505号公報 特許第3004937号公報
ところで,バルブ駆動用アクチュエータの動作状態は,当然ながら,バルブ駆動用アクチュエータの稼働中に時々刻々と変化している。従って,ユーザが常にバルブ駆動用アクチュエータを監視しているような環境のもとでは,上記状態表示灯を常時発光させておくことが有効であるが,実際にはユーザが常時監視しているようなことは少なく,バルブ駆動用アクチュエータ全体のメンテナンスに適当な時に,状態が分かれば済む場合も少なくない。そこで,上記状態表示灯を常時点灯させるのではなく,ユーザが所望する時に点灯させれば,特願2004−04320に示されているような省スペース化,構造の簡素化及び省コスト化等の効果に加えて,上記状態表示灯にて消費される電力量の削減という効果も得ることができる。
従って,本発明は上記事情に鑑みてなされたものであり,その目的とするところは,バルブ駆動用アクチュエータの動作状態に関する情報を表示する動作状態表示手段を,ユーザが必要とするときに予め定められた時間だけオン状態(即ち点灯)にするバルブ駆動用アクチュエータを提供することにある。
上記課題を解決するために,本発明は,バルブを駆動制御するバルブ駆動用アクチュエータの動作状態を検知する動作状態検知手段と,該動作状態検知手段により検知された動作状態に関する情報を表示する動作状態表示手段とを具備するバルブ駆動用アクチュエータにおいて,上記動作状態表示手段のオン状態・オフ状態を切り換えるスイッチ手段と,上記スイッチ手段により切り換えられる上記動作状態表示手段のオン状態を予め設定された時間だけ維持させるタイマー手段とを具備してなることを特徴とするバルブ駆動用アクチュエータとして構成される。ここで,上記動作状態検知手段により検知される動作状態の一例としてはハンチングが考えられる。
また上記スイッチ手段については,上記バルブ駆動用アクチュエータのメンテナンス時に操作されるスイッチなどが考えられる。また別のスイッチについては,例えば,運転モードの切り換え及び/若しくは上記バルブの全開時と全閉時の電流値の調整を行うための切換スイッチや,運転上の諸設定値を書き換えるための登録スイッチが考えられる。
更に,上記タイマー手段により上記動作状態表示手段のオン状態が維持される時間については,上記スイッチ手段の種類,運転モード,或いは上記バルブ駆動用アクチュエータへの操作の種類に応じて異なるようにすることが出来る。また,上記タイマー手段により上記動作状態表示手段のオン状態が維持される時間については,上記動作状態表示手段に表示される上記動作状態に関する情報に応じて異なるものであってもよい。
上記タイマー手段により上記動作状態表示手段のオン状態が維持される時間については,ユーザにより任意に設定されてもよい。
尚,上記動作状態表示手段については,例えば,複数の発光ダイオードからなる発光ダイオード群を組み合わせたものが考えられる。
以上のように本発明によれば,上記バルブ駆動用アクチュエータでは,上記タイマー手段が,上記スイッチ手段により切り換えられた上記動作状態表示手段のオン状態を予め設定された時間だけ維持させている。即ち,上記バルブ駆動用アクチュエータは,例えば上記動作状態検知手段によりハンチングが検知されたことによって,ユーザが上記バルブ駆動用アクチュエータのメンテナンスを行う場合に,上記切換スイッチや上記登録スイッチ等が操作されると,上記動作状態表示手段が上記予め定められた時間だけオン状態(即ち点灯する)になる構成をとっている。このことから,本発明にかかる上記バルブ駆動用アクチュエータにおいて,上記動作状態表示手段は常時オン状態にあるのではなく,例えば上記バルブ駆動用アクチュエータのメンテナンス等の,ユーザが上記バルブ駆動用アクチュエータに対して適宜の作業を行う一定時間の間だけオン状態になるので,上記動作状態表示手段にて消費される電力量が削減されると共に,それに伴って上記バルブ駆動用アクチュエータの運転コストをも削減することができる。
また,本発明にかかる上記バルブ駆動用アクチュエータでは,上記動作状態表示手段のオン状態を維持する時間が,上記スイッチ手段の種類,上記バルブ駆動用アクチュエータの運転モード,上記バルブ駆動用アクチュエータへの操作の種類や,上記動作状態表示手段に表示される上記動作状態に関する情報といった種々の状況に応じて異なることによって,上記動作状態表示手段をユーザが所望する時間内でオン状態にすることを可能にしている。
更に,上記タイマー手段により上記動作状態表示手段のオン状態が維持される時間については,ユーザが任意に設定することができるので,ユーザにとってより使用しやすい上記バルブ駆動用アクチュエータを提供することができる。
以下添付図面を参照しながら,本発明の実施の形態について説明し,本発明の理解に供する。尚,以下の実施の形態は,本発明を具体化した一例であって,本発明の技術的範囲を限定する性格のものではない。
ここに,図1は本発明の一実施形態(以下,本実施形態例という)に係るバルブ駆動用アクチュエータXに内蔵された該バルブ駆動用アクチュエータの制御装置であるバルブポジショナAの制御ブロック図,図2は上記バルブポジショナAが備える制御部1にて実施される,ハンチングが発生した際に,ユーザが登録スイッチM或いは切換スイッチNを操作した時の処理を示したフローチャート,図3は上記バルブ駆動用アクチュエータXが備える状態表示灯Lの点灯時間をユーザが操作するスイッチの種類毎に設定したテーブル図,図4は上記バルブ駆動用アクチュエータXが備える状態表示灯Lの点灯時間を運転モード毎に設定したテーブル図,図5は上記バルブ駆動用アクチュエータXが備える状態表示灯Lの点灯時間をメンテナンス時等に行われる操作の種類毎に設定したテーブル図,図6は上記バルブ駆動用アクチュエータXが備える状態表示灯Lの点灯時間をバルブ駆動用アクチュエータXにおける動作状態毎に設定したテーブル図である。
尚,本実施形態例では,状態表示灯Lに表示されるバルブ駆動用アクチュエータXの動作状態の一例にハンチングを挙げている。しかし,状態表示灯Lに表示される動作状態については,これに限定されず,前記したようなバルブポジショナのケーシング内の温度異常等の異常な動作状態であってもよいし,正常な動作状態であってもよい。
まず図1を用いて,本実施形態例に係るバルブ駆動用アクチュエータXが備えるバルブポジショナAの構成の概略について説明する。
図1に示されるように,バルブ駆動用アクチュエータXに内蔵されたバルブポジショナAは,バルブポジショナAを制御する制御部1を中心に構成されている。
図外の目標値設定部から送信されるバルブ開度設定値の信号については,設定値入力I/F2を介してポジショナAに入力されて,第1のA/D変換器3でデジタル信号(以下,第1のデジタル信号という)に変換された後,制御部1に入力される。一方,不図示のバルブを駆動するモータMの出力軸に取り付けられた動作角度フィードバック信号発生器13により検出されたバルブの回転角度に関する信号(以下,バルブ回転角度信号という)については,動作角度フィードバック信号発生器13からフィードバック入力I/F12に入力された後,第2のA/D変換器10でデジタル信号(以下,第2のデジタル信号という)に変換された後,制御部1に入力される。
また上記した制御部1では,入力された上記第1のデジタル信号及び第2のデジタル信号に基づいて,それらのデジタル信号の差分が算出される。その算出した差分のデジタル信号についてはモータ駆動回路9に送出される。またモータ駆動回路9は,入力された上記差分のデジタル信号をアナログ信号に変換すると共に,そのアナログ信号に従ってモータMを駆動する。このとき,モータMは上記差分が小さくなるように駆動される。即ち,バルブ駆動用アクチュエータXを介して目標開度に近づくように不図示のバルブが駆動される。このとき,バルブの目標開度に対する実際のバルブの開度に差異が生じた時,その差異を抑制するための制御信号が制御部1から出力される。
上述したような差異の検出から上記差異をなくす方向へとバルブ駆動用アクチュエータを実際に作動させる相対的な差の値を,一般に,制御感度と言っている。この制御感度については高いほど俊敏な制御が達成される。しかしながら,制御感度が機械の条件に対して適切に設定されていないと,オーバーシュートによるハンチングが生じてしまう問題がある。そこで,ハンチングを生じさせないために,上記した制御感度を敢えて低くする(即ち制御を鈍くする)設定が,従来から行われている。一般に,この設定をヒステリシス設定と言っており,また,この設定された上記制御の鈍さの割合(通常は百分率で表される)をヒステリシス値と言っている。
一方,上記したようなオーバーシュートによって生じるハンチングについては,上記バルブがハンチングを起こしているか否かを判断するハンチング判断回路11に,前記バルブ回転角度信号が繰り返して入力されることで判断される。この時,ハンチング判断回路11によって,上記バルブがハンチングを起こしていると判断されると,ハンチング判定回路10から制御部1に,上記バルブがハンチングを起こしている旨(以下,ハンチング発生信号という)の信号が入力される。このハンチング判断回路11の具体的な構成については,上記特許文献1或いは特許文献2において開示されている構成であっても良いし,それ以外の構成であっても良いので,ここでは説明を省略する。
また,上記バルブ回転角度信号が繰り返して入力される,動作角度フィードバック信号発生器13,第2のA/D変換器10,及びハンチング判断回路11が本発明における動作状態検知手段の一例である。
制御部1には多色表示回路8が接続され,多色表示回路8は状態表示灯L(本発明における動作状態表示手段の一例)と接続されている。この状態表示灯Lには,異なるカラーを発光する1又は複数の発光ダイオード(以下,LEDという)が設けられており,この1又は複数のLEDが点灯することによって,前記したようなバルブ駆動用アクチュエータXの動作状態がユーザに認識される。尚,上記1又は複数のLEDの点灯或いは消灯については,多色表示回路8から入力される信号に基づいて行われている。
また,バルブ駆動用アクチュエータXには,登録スイッチM及び切換スイッチN(本発明におけるスイッチ手段の一例)が設けられている。
ここで切換スイッチNとは,一般に動作状態表示手段のオン状態・オフ状態を切り換えるスイッチ手段であり,例えばディップスイッチから構成され,一例としてバルブ駆動用アクチュエータXのメンテナンス時に,バルブ駆動用アクチュエータXの運転モードの切り換えや上記バルブの全開時と全閉時の電流値の調整(即ち,例えば上記バルブ位置のゼロスパン調整やモータMに送信する上記バルブの回転角度に関する信号のゼロスパン調整)を行う際に使用する通常制御とメンテナンス用の制御とを切り替えるスイッチである。また登録スイッチMとは,バルブ駆動用アクチュエータXのメンテナンス時に,バルブ駆動用アクチュエータXにおける運転上の諸設定値(即ち,例えば,バルブ駆動用アクチュエータXに登録された上記したようなゼロスパン調整によって確定された値や前記ヒステリシス値)を書き換えるために使用するスイッチである。
本実施形態例にかかるバルブ駆動用アクチュエータXでは,少なくとも登録スイッチM及び切換スイッチNのどちらかがユーザによって操作された時に,状態表示灯Lを予め設定された時間だけ点灯させる構成になっている。即ち,例えば登録スイッチMがユーザによって操作された場合,登録スイッチMが操作された旨を表す信号(以下,登録スイッチ操作信号という)が,登録スイッチMから登録スイッチ回路4を介して制御部1に入力される。そして上記登録スイッチ操作信号が入力されると,上記1又は複数のLEDを点灯させる旨の信号(以下,LED点灯信号という)が,制御部1から多色表示回路8に出力されることで,上記1又は複数のLEDが点灯する構成になっている。尚,切換スイッチNの場合も同様に,切換スイッチN→切換スイッチ回路7→制御部1→多色表示回路8の順で,上記したような各信号(切換スイッチNが操作された旨を表す信号である切換スイッチ操作信号も含む)が送信されることによって上記1又は複数のLEDが点灯する。
一方,状態表示灯Lを点灯させる時間の計測については,制御部1が表示タイマー回路6へ,記憶部5に予め記憶されている時間分(以下,規定時間という)だけ経過時間の計測を開始させる信号(以下,時間計測開始信号という)を送信することにより開始される。そして,表示タイマー回路6により計測された時間が上記規定時間に達すると,表示タイマー回路6から時間の計測が終了した旨の信号(以下,時間計測終了信号という)が制御部1へと送信される。上記時間計測終了信号の入力を検知すると,制御部1は多色表示回路8へLEDを消灯させる旨の信号(以下,LED消灯信号)を送信して,上記1又は複数のLEDを消灯させる。もちろんながら消灯は点灯信号を停止するだけでも良い。
ここで,上記状態表示灯Lの点灯時間については,例えば図3〜図6に示されるように,ユーザが操作するスイッチの種類(図3参照),バルブ駆動用アクチュエータXにおける運転モード(図4参照),バルブ駆動用アクチュエータXへのメンテナンス時等に行われる操作の種類(図5参照),バルブ駆動用アクチュエータXにおける動作状態(図6参照)等の種々の状況毎に予め決められており,夫々の状況と対応させて上記記憶部5に記憶されている。
このように,バルブ駆動用アクチュエータXでは,上述したような種々の状況毎に上記状態表示灯Lの点灯時間が設定されているので,バルブ駆動用アクチュエータXに対してユーザが操作を行っている間,即ちユーザが上記状態表示灯Lの点灯を所望する間は,上記1又は複数のLEDは消灯されることがない構成になっている。そのため,ユーザは,上記1又は複数のLEDの点灯が示すバルブ駆動用アクチュエータXの動作状態を視認しつつメンテナンス作業等を行うことができる。
また,記憶部5に記憶される上記状態表示灯Lの点灯時間については,上述した種々の状況毎において,更に作業を行うユーザ毎に予め設定されるようにすることが望ましい。これは,ユーザの作業能力の熟練度合いを加味することで,より好適な上記状態表示灯Lの点灯時間を提供することができるからである。
即ち,記憶部5に記憶される上記状態表示灯Lの点灯時間(図3〜図6参照)については,バルブ駆動用アクチュエータXが備える適宜の操作部Sや不図示の外部装置等から,ユーザが任意に設定することもできる。また,表示タイマー回路6,制御部1,及び多色表示回路8が本発明におけるタイマー手段の一例である。
次に,図2のフローチャートを用いて,前記制御部1にて実施される,バルブ駆動用アクチュエータXでハンチングが発生した際に,ユーザが登録スイッチMを操作した場合の処理について説明する。
本処理は,バルブ駆動用アクチュエータXでハンチングが発生した際に,ユーザが登録スイッチM或いは切換スイッチNを操作した場合,記憶部5に予め記憶された想定されるハンチング解消に要する時間のあいだ,状態表示灯Lに設けられた上記1又は複数のLEDを点灯させる処理である。
ここで本処理の前提として,記憶部5にハンチング解消に要する想定される上記規定時間(例えば30分(図6参照))が予め記憶されているものとしている。また,後述するステップS2の処理にて用いられるLED表示フラグについては,バルブ駆動用アクチュエータXにおける想定される動作状態毎に予め定まった値が割り振られているものとする(例えばハンチング状態=1,温度異常状態=2,正常動作状態=0等)。尚,上記LED表示フラグのデフォルト値は正常動作状態(上例の場合は0)が設定されている。
尚,本処理は,例えばバルブ駆動用アクチュエータXの起動と共に起動され,バルブ駆動用アクチュエータXの作動が停止するまで繰り返し実施される。
以下の説明中に記載されるS1,S2,…は処理手順(ステップ)の番号を表している。
バルブ駆動用アクチュエータXの稼動中に前記したようなハンチングが生じた場合に,前記ハンチング判断回路11から前記ハンチング御発生信号が制御部1に入力される(S1のYES側)。この前記ハンチング御発生信号の入力を検知すると,制御部1は記憶部5にハンチング状態であることを示すLED表示フラグ=1を記憶させる(S2)。その後,制御部1は,登録スイッチM或いは切換スイッチNからの,前記登録スイッチ操作信号或いは前記切換スイッチ操作信号の入力を監視する。
ここで,上記登録スイッチ操作信号或いは上記切換スイッチ操作信号の入力を検知すると(S3のYES側),制御部1は,記憶部5に記憶された上記LED表示フラグを取得すると共に,その取得した上記LED表示フラグに基づいて,多色表示回路8へ前記LED点灯信号を送信する(S4)。即ち,例えば,状態表示灯LにLEDが複数存在し,ハンチングが生じると全LEDを赤色に点灯させるという規則が予め定められている場合,全LEDを赤色に点灯させるという情報を含むLED点灯信号が制御部1から多色表示回路8へ送信される。このことにより,状態表示灯Lに設けられた全LEDが赤色に点灯するので,ユーザはハンチングが生じていることを認識することができる。尚,上記LED点灯信号に含まれる状態表示灯Lに設けられたLEDの点灯パターンについては,上述したことに限定されない。
また上記ステップS4の処理にて前記LED点灯信号を送信した後に,制御部1は,記憶部5に予め記憶されている上記規定時間(30分)だけ経過時間の計測を開始させる前記時間計測開始信号を表示タイマー回路8へ送信する(S5)。
一方,状態表示灯Lの全LEDが赤色に点灯しているためにハンチング状態であることを知ったユーザは,上記した登録スイッチMや切換スイッチNを操作して,ハンチングを解消する作業をバルブ駆動用アクチュエータXに対して実施する。ここで上記規定時間は30分と予め決められているが,ユーザの経験等の違いからハンチングを解消するのに要する時間に差異があるので,未熟なユーザであると上記規定時間内に作業が終了しない可能性がある。そのため本処理では,ユーザが登録スイッチM或いは切換スイッチNを操作している間(上記登録スイッチ操作信号或いは上記切換スイッチ操作信号の入力を制御部1が検知している間)は,ユーザがハンチングを解消していないものとみなし,上記状態表示灯Lに設けられた上記1又は複数のLEDを点灯させるような制御が行われている。即ち,上記登録スイッチ操作信号或いは上記切換スイッチ操作信号の入力を検知すると(S6のYES側),制御部1は,再度前記時間計測開始信号を表示タイマー回路8へ送信する。このとき,表示タイマー回路8では,今までの計測をリセットして再度計測を開始する(S7)。尚,上記ステップS6,及びステップS7の処理は省略することが出来る。
やがて,ユーザによるハンチングを解消する作業が終了すると,ユーザは上記した登録スイッチMや切換スイッチNを操作しないので,上記規定時間のあいだ(即ち,制御部1が表示タイマー回路8から前記時間計測終了信号の入力を検知するまでのあいだ),制御部1は上記ステップS6のNO側→ステップS8のNO側→ステップS6のNO側の処理を繰り返し行う。そして,タイムアップしたことにより上記時間計測終了信号の入力を検知すると,多色表示回路8へ前記LED消灯信号を送信する(S9)。このことにより,状態表示灯Lに設けられた上記1又は複数のLEDが消灯する。
本発明の一実施形態に係るバルブ駆動用アクチュエータXに内蔵された該バルブ駆動用アクチュエータの制御装置であるバルブポジショナAの制御ブロック図。 上記バルブポジショナAが備える制御部1にて実施される,ハンチングが発生した際に,ユーザが登録スイッチM或いは切換スイッチNを操作した時の処理を示したフローチャート。 上記バルブ駆動用アクチュエータXが備える状態表示灯Lの点灯時間をユーザが操作するスイッチの種類毎に設定したテーブル図。 上記バルブ駆動用アクチュエータXが備える状態表示灯Lの点灯時間を運転モード毎に設定したテーブル図。 上記バルブ駆動用アクチュエータXが備える状態表示灯Lの点灯時間をメンテナンス時等に行われる操作の種類毎に設定したテーブル図。 上記バルブ駆動用アクチュエータXが備える状態表示灯Lの点灯時間をバルブ駆動用アクチュエータXにおける動作状態毎に設定したテーブル図。
符号の説明
1…制御部
2…設定値入力I/F
3…第1のA/D変換器
4…登録スイッチ回路
5…記憶部
6…表示タイマー回路
7…切換スイッチ回路
8…多色表示回路
9…モータ駆動回路
10…第2のA/D変換器
11…ハンチング判断回路
12…フィードバックI/F
13…動作角度フィードバック信号発生器
A…バルブポジショナ
M…モータ
L…状態表示灯
M…登録スイッチ
N…切換スイッチ
S…操作部

Claims (9)

  1. バルブを駆動制御するバルブ駆動用アクチュエータの動作状態を検知する動作状態検知手段と,
    該動作状態検知手段により検知された動作状態に関する情報を表示する動作状態表示手段とを具備するバルブ駆動用アクチュエータにおいて,
    上記動作状態表示手段のオン状態・オフ状態を切り換えるスイッチ手段と,
    上記スイッチ手段により切り換えられる上記動作状態表示手段のオン状態を予め設定された時間だけ維持させるタイマー手段とを具備してなることを特徴とするバルブ駆動用アクチュエータ。
  2. 上記スイッチ手段が,上記バルブ駆動用アクチュエータのメンテナンス時に操作されるスイッチである請求項1に記載のバルブ駆動用アクチュエータ。
  3. 上記スイッチが運転モードの切り換え及び/若しくは上記バルブの全開時と全閉時の電流値の調整を行うための切換スイッチである請求項2に記載のバルブ駆動用アクチュエータ。
  4. 上記スイッチが運転上の諸設定値を書き換えるための登録スイッチである請求項2に記載のバルブ駆動用アクチュエータ。
  5. 上記タイマー手段により上記動作状態表示手段のオン状態が維持される時間が,上記スイッチ手段の種類,運転モード,或いは上記バルブ駆動用アクチュエータへの操作の種類に応じて異なるものである請求項1〜4のいずれかに記載のバルブ駆動用アクチュエータ。
  6. 上記タイマー手段により上記動作状態表示手段のオン状態が維持される時間が,上記動作状態表示手段に表示される上記動作状態に関する情報に応じて異なるものである請求項1〜5のいずれかに記載のバルブ駆動用アクチュエータ。
  7. 上記タイマー手段により上記動作状態表示手段のオン状態が維持される時間が,ユーザにより任意に設定されるものである請求項1〜6のいずれかに記載のバルブ駆動用アクチュエータ。
  8. 上記動作状態検知手段により検知される動作状態がハンチングである請求項1〜7のいずれかに記載のバルブ駆動用アクチュエータ。
  9. 上記動作状態表示手段が複数の発光ダイオードからなる発光ダイオード群を組み合わせたものである請求項1〜8のいずれかに記載のバルブ駆動用アクチュエータ。
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