JP2005265792A - 膜厚測定装置 - Google Patents
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Abstract
【課題】測定対象物の反射光を検出する測定系をそのままリファレンスサンプルの測定に適用してリファレンスサンプリングを人手を介すること無く自動で行うことができ、光源を含む測定系に経時変化があっても所望の測定精度下での連続測定を長期間行うことができる膜厚測定装置を提供する。
【解決手段】CPU1が予め設定した間隔時間の経過時にリニアスライダ5を制御して測定プローブ8をリファレンスサンプル20aの測定位置に移動させて、前記分光器が出力した分光データをRAM2に記憶させるリファレンスサンプリングを行う。CPU1はRAM2に蓄積されたリファレンスサンプルの分光データの変化分に基づき較正した上で膜厚測定を行う。間隔時間はユーザが入力した間隔時間又は測定精度に基づきCPU1が決定する。
【選択図】図1
【解決手段】CPU1が予め設定した間隔時間の経過時にリニアスライダ5を制御して測定プローブ8をリファレンスサンプル20aの測定位置に移動させて、前記分光器が出力した分光データをRAM2に記憶させるリファレンスサンプリングを行う。CPU1はRAM2に蓄積されたリファレンスサンプルの分光データの変化分に基づき較正した上で膜厚測定を行う。間隔時間はユーザが入力した間隔時間又は測定精度に基づきCPU1が決定する。
【選択図】図1
Description
本発明は、較正機能を有した膜厚測定装置に関する。
特定光源の光を測定対象の膜に照射し、その反射光を解析することにより膜厚を算出する膜厚測定装置が利用されている。
従来、このような膜厚測定装置の中には、リファレンスサンプルのデータを保存して繰り返し利用する記憶手段を有したものがある(例えば、特許文献1段落0051)。
しかし通常は、光源の経時変化による狂いを直すため、リファレンスサンプルを再測定し、データを取る必要がある。
特許文献1記載の膜厚測定装置は、測定対象物の反射光を検出するための測定光学系とは別に、アッテネータ(同文献中符号:10)、光ファイバ(同文献中符号:2´)及び第2のCCD(同文献中符号:56)を設け、これらを用いて光源の光量変化を測定して光源の較正を行うことにより(同文献段落0055、ステップS4、図6フローチャート参照)、リファレンスサンプルの再測定を不要とした。
また、特許文献1記載の膜厚測定装置は、ステップS4の較正を較正完了から1時間が経過した後に較正開始命令を受信した時に、自動的に実行している(同文献段落0061)。
特開2002−328009号公報
従来、このような膜厚測定装置の中には、リファレンスサンプルのデータを保存して繰り返し利用する記憶手段を有したものがある(例えば、特許文献1段落0051)。
しかし通常は、光源の経時変化による狂いを直すため、リファレンスサンプルを再測定し、データを取る必要がある。
特許文献1記載の膜厚測定装置は、測定対象物の反射光を検出するための測定光学系とは別に、アッテネータ(同文献中符号:10)、光ファイバ(同文献中符号:2´)及び第2のCCD(同文献中符号:56)を設け、これらを用いて光源の光量変化を測定して光源の較正を行うことにより(同文献段落0055、ステップS4、図6フローチャート参照)、リファレンスサンプルの再測定を不要とした。
また、特許文献1記載の膜厚測定装置は、ステップS4の較正を較正完了から1時間が経過した後に較正開始命令を受信した時に、自動的に実行している(同文献段落0061)。
しかし、特許文献1記載の膜厚測定装置にあっては、測定対象物の反射光を検出するための測定光学系とは別に光源光量検出のための光学系が必要となるとともに、これら2つの光学系の特性が同じになるように調整することが不可欠になる(同文献0050)。また、特許文献1記載の膜厚測定装置にあっては、較正の対象が光源のみとなり、光源、受光素子等の光学部品すべてを含む測定系全体の較正を直接行えない。
そこで、本発明としては、測定対象の反射光を検出する測定系をそのままリファレンスサンプルの測定に適用して、光源を含む測定系の経時変化を検出することとする。
しかし、初期設定時やその後の較正命令の受信時に較正処理を行っていては、較正処理が長期間実施されずに許容できない測定誤差が発生することを防ぎきれない。
そこで、本発明としては、測定対象の反射光を検出する測定系をそのままリファレンスサンプルの測定に適用して、光源を含む測定系の経時変化を検出することとする。
しかし、初期設定時やその後の較正命令の受信時に較正処理を行っていては、較正処理が長期間実施されずに許容できない測定誤差が発生することを防ぎきれない。
本発明は以上の従来技術における問題に鑑みてなされたものであって、特定光源の光を測定対象の膜に照射し、その反射光を解析することにより膜厚を算出する膜厚測定装置において、測定対象物の反射光を検出する測定系をそのままリファレンスサンプルの測定に適用してリファレンスサンプリングを人手を介すること無く自動で行うことができ、光源を含む測定系に経時変化があっても所望の測定精度下での連続測定を長期間行うことができる膜厚測定装置を提供することを課題とする。
以上の課題を解決するための請求項1記載の発明は、光源と、
前記光源の光を対象物に投光する投光部と、
前記対象物からの反射光を受光する受光部と、
前記受光部が受光した反射光を分光して分光データを出力する分光器と、
前記投光部及び前記受光部を測定対象膜の測定位置とリファレンスサンプルの測定位置とに移動させる移動装置と、
前記リファレンスサンプルの分光データを記憶する記憶装置と、
ユーザの要求に基づき間隔時間を設定する間隔時間設定手段と、
前記間隔時間設定手段が設定した間隔時間の経過時に前記移動装置を制御して前記投光部及び前記受光部を前記リファレンスサンプルの測定位置に移動させて前記リファレンスサンプルを前記対象物とし、前記分光器が出力した分光データを前記記憶装置に記憶させるリファレンス制御手段と、
前記間隔時間設定手段が設定した間隔時間の非経過時に前記測定対象膜を前記対象物とすべく前記移動装置を制御して前記投光部及び前記受光部を前記測定対象膜の測定位置に移動させる測定位置制御手段と、
前記記憶装置に蓄積されたリファレンスサンプルの分光データの変化分に基づき較正し、前記測定対象膜を前記対象物として前記分光器が出力した分光データに基づき前記測定対象膜の膜厚を演算する膜厚演算手段とを備えることを特徴とする膜厚測定装置である。
前記光源の光を対象物に投光する投光部と、
前記対象物からの反射光を受光する受光部と、
前記受光部が受光した反射光を分光して分光データを出力する分光器と、
前記投光部及び前記受光部を測定対象膜の測定位置とリファレンスサンプルの測定位置とに移動させる移動装置と、
前記リファレンスサンプルの分光データを記憶する記憶装置と、
ユーザの要求に基づき間隔時間を設定する間隔時間設定手段と、
前記間隔時間設定手段が設定した間隔時間の経過時に前記移動装置を制御して前記投光部及び前記受光部を前記リファレンスサンプルの測定位置に移動させて前記リファレンスサンプルを前記対象物とし、前記分光器が出力した分光データを前記記憶装置に記憶させるリファレンス制御手段と、
前記間隔時間設定手段が設定した間隔時間の非経過時に前記測定対象膜を前記対象物とすべく前記移動装置を制御して前記投光部及び前記受光部を前記測定対象膜の測定位置に移動させる測定位置制御手段と、
前記記憶装置に蓄積されたリファレンスサンプルの分光データの変化分に基づき較正し、前記測定対象膜を前記対象物として前記分光器が出力した分光データに基づき前記測定対象膜の膜厚を演算する膜厚演算手段とを備えることを特徴とする膜厚測定装置である。
したがって請求項1記載の発明によれば、予め設定された時間間隔で投光部及び受光部をリファレンスサンプルの測定位置に移動させてサンプリングを行うので、測定対象の反射光を検出する測定光学系をそのままリファレンスサンプルの測定に適用してリファレンスサンプリングを人手を介すること無く自動で行うことができる。
また、ユーザの要求に基づき間隔時間を設定し、記憶装置に蓄積されたリファレンスサンプルの分光データの変化分に基づき較正して膜厚を演算するので、光源を含む測定系に経時変化があっても所望の測定精度下での連続測定を長期間行うことができる。
また、ユーザの要求に基づき間隔時間を設定し、記憶装置に蓄積されたリファレンスサンプルの分光データの変化分に基づき較正して膜厚を演算するので、光源を含む測定系に経時変化があっても所望の測定精度下での連続測定を長期間行うことができる。
請求項2記載の発明は、ユーザからのデータ入力を受けるデータ入力装置を備え、
前記間隔時間設定手段は、前記データ入力装置によりユーザから入力された時間データを前記間隔時間として設定することを特徴とする請求項1記載の膜厚測定装置である。
前記間隔時間設定手段は、前記データ入力装置によりユーザから入力された時間データを前記間隔時間として設定することを特徴とする請求項1記載の膜厚測定装置である。
したがって請求項2記載の発明によれば、ユーザの要求を間隔時間そのままの形式で受け付けることができる。
請求項3記載の発明は、前記記憶装置に蓄積されたリファレンスサンプルの分光データの変化を表示する表示手段を備えた請求項2記載の膜厚測定装置である。
したがって請求項3記載の発明によれば、記憶装置に蓄積されたリファレンスサンプルの分光データの変化を表示する表示手段を備えるので、ユーザが所望の測定精度を維持するために必要十分なリファレンスサンプリングの間隔時間を計算するに有用な情報をユーザに提供することができる。
表示手段としては、モニタへの画面表示、紙等への印刷が挙げられる。表示形式は、グラフ、数値の羅列、変化量の表示などのいずれでも良い。表示パラメータとしては、光量、色度などが挙げられる。
表示手段としては、モニタへの画面表示、紙等への印刷が挙げられる。表示形式は、グラフ、数値の羅列、変化量の表示などのいずれでも良い。表示パラメータとしては、光量、色度などが挙げられる。
請求項4記載の発明は、ユーザからのデータ入力を受けるデータ入力装置を備え、
前記間隔時間設定手段は、前記データ入力装置によりユーザから入力された測定精度と、前記記憶装置に蓄積されたリファレンスサンプルの分光データとに基づき前記測定精度を維持するために必要な間隔時間を前記間隔時間として設定することを特徴とする請求項1記載の膜厚測定装置である。
前記間隔時間設定手段は、前記データ入力装置によりユーザから入力された測定精度と、前記記憶装置に蓄積されたリファレンスサンプルの分光データとに基づき前記測定精度を維持するために必要な間隔時間を前記間隔時間として設定することを特徴とする請求項1記載の膜厚測定装置である。
したがって請求項4記載の発明によれば、ユーザは所望の測定精度を維持するために必要十分なリファレンスサンプリングの間隔時間を計算する必要は無く、測定精度を直接入力すればよい。入力する測定精度は、許容誤差や基準誤差と安全率などどのような形式でも良い。
請求項5記載の発明は、前記測定対象膜を搬送する搬送装置を備えることを特徴とする請求項1〜請求項4のいずれか一に記載の膜厚測定装置である。
したがって請求項5記載の発明によれば、測定対象膜を搬送する人手も要らないので、無人化された膜厚測定を長期間行うことができる。
上述したように本発明によれば、測定対象物の反射光を検出する測定系をそのままリファレンスサンプルの測定に適用してリファレンスサンプリングを人手を介すること無く自動で行うことができ、光源を含む測定系に経時変化があっても所望の測定精度下での連続測定を長期間行うことができるという効果がある。
以下に本発明の一実施の形態につき図面を参照して説明する。以下は本発明の一実施形態であって本発明を限定するものではない。
図1は本発明一実施形態のオンライン膜厚測定装置の構成図である。
図1に示すように、本実施形態のオンライン膜厚測定装置は、CPU1と、RAM2と、キーボード3と、画像表示装置4と、リニアスライダ5と、プローブ支持アーム6と、集光レンズ支持アーム7と、測定プローブ8と、集光レンズ9と、キャリブレーション架台10と、検出ロール11と、投光用光ファイバーケーブル12と、受光用光ファイバーケーブル13と、光源14と、分光器15と、スライダ駆動回路16とを有する。
図1に示すように、本実施形態のオンライン膜厚測定装置は、CPU1と、RAM2と、キーボード3と、画像表示装置4と、リニアスライダ5と、プローブ支持アーム6と、集光レンズ支持アーム7と、測定プローブ8と、集光レンズ9と、キャリブレーション架台10と、検出ロール11と、投光用光ファイバーケーブル12と、受光用光ファイバーケーブル13と、光源14と、分光器15と、スライダ駆動回路16とを有する。
光源14に投光用光ファイバーケーブル12の一端が接続されている。分光器15に受光用光ファイバーケーブル13の一端が接続されている。光源14の光は投光用光ファイバーケーブル12によって導かれ、投光用光ファイバーケーブル12の他端から出射する。光源としては、白色光、紫外線等が用いられる。
測定プローブ8は、光源14からの光が出射する投光用光ファイバーケーブル12の端部(投光部)と、受光用光ファイバーケーブル13の反射光を受光する端部(受光部)とを一体に保持している。
投光用光ファイバーケーブル12の端部から出射した光は、集光レンズ9を介して対象物に当たる。対象物に当たって反射された光は、集光レンズ9を介して、測定プローブ8に保持された受光用光ファイバーケーブル13の端部に入射する。
測定プローブ8に保持された受光用光ファイバーケーブル13の端部に入射した光は、受光用光ファイバーケーブル13に導かれ分光器15に入射する。
測定プローブ8は、光源14からの光が出射する投光用光ファイバーケーブル12の端部(投光部)と、受光用光ファイバーケーブル13の反射光を受光する端部(受光部)とを一体に保持している。
投光用光ファイバーケーブル12の端部から出射した光は、集光レンズ9を介して対象物に当たる。対象物に当たって反射された光は、集光レンズ9を介して、測定プローブ8に保持された受光用光ファイバーケーブル13の端部に入射する。
測定プローブ8に保持された受光用光ファイバーケーブル13の端部に入射した光は、受光用光ファイバーケーブル13に導かれ分光器15に入射する。
分光器15は、入射した光を分光して分光データを生成する。生成された分光データは分光器15からケーブル17を介してCPU1へ出力される。CPU1上では、後述する動作を実現するプログラムが実行される。
測定プローブ8及び集光レンズ9はそれぞれ、プローブ支持アーム6、集光レンズ支持アーム7によりリニアスライダ5に支持され、リニアスライダ5は測定プローブ8及び集光レンズ9を1軸方向(図中X軸方向)に移動させる。スライダ駆動回路15はケーブル18を介してCPU1から入力される命令(座標信号)に従ってリニアスライダ5を駆動する。測定プローブ8及び集光レンズ9の移動範囲には、キャリブレーション架台10と、検出ロール11が異なるX座標に配置されている。
キャリブレーション架台10には、数種のリファレンスサンプル20a,b,c・・・が載置されている。リファレンスサンプル20は、SiやSiO2など安定した物性のものが適用される。その他何種類あっても良い。
検出ロール11には、複数の溝部21a,b,c・・・が周設されている。図示しない成膜ライン上に成膜ベース材19を搬送する搬送装置が構成されており、成膜ベース材19上に膜を生成する成膜工程の下流に検出ロール11が配置されている。膜(図示せず)を表面に保持した成膜ベース材19が検出ロール11上に支持され、搬送装置の動作とともに検出ロール11上を通過する。
キャリブレーション架台10には、数種のリファレンスサンプル20a,b,c・・・が載置されている。リファレンスサンプル20は、SiやSiO2など安定した物性のものが適用される。その他何種類あっても良い。
検出ロール11には、複数の溝部21a,b,c・・・が周設されている。図示しない成膜ライン上に成膜ベース材19を搬送する搬送装置が構成されており、成膜ベース材19上に膜を生成する成膜工程の下流に検出ロール11が配置されている。膜(図示せず)を表面に保持した成膜ベース材19が検出ロール11上に支持され、搬送装置の動作とともに検出ロール11上を通過する。
次に、本実施形態の一動作例につき説明する。
まず、測定開始前に、キーボード3を介してユーザからCPU1へ成膜ベース材19上の測定箇所と測定間隔時間等の測定条件が入力される。測定箇所は、通常溝部21a,b,c・・・上とされる。さらに、キーボード3を介してユーザからCPU1へリファレンス間隔時間及びリファレンスサンプル種(例えば、リファレンスサンプル20aとする)が入力される。CPU1はRAM2にユーザからの入力情報を記憶させる。
まず、測定開始前に、キーボード3を介してユーザからCPU1へ成膜ベース材19上の測定箇所と測定間隔時間等の測定条件が入力される。測定箇所は、通常溝部21a,b,c・・・上とされる。さらに、キーボード3を介してユーザからCPU1へリファレンス間隔時間及びリファレンスサンプル種(例えば、リファレンスサンプル20aとする)が入力される。CPU1はRAM2にユーザからの入力情報を記憶させる。
次に、キーボード3を介してユーザからCPU1へ測定開始信号が入力されると、CPU1は、リニアスライダ5を制御して測定プローブ8及び集光レンズ9をリファレンスサンプル20aの測定位置まで移動させ、分光器15が出力する分光データを受け取り、RAM2に記憶させる。これをリファレンスサンプリングと呼ぶ。リファレンスサンプリングれと同時にリファレンス間隔時間のカウントを開始する。
CPU1は、リファレンス間隔時間が経過するまで、ユーザが入力した測定条件に従って成膜ベース材19上の膜の膜厚を測定する。すなわち、CPU1はリニアスライダ5を制御して測定プローブ8及び集光レンズ9を成膜ベース材19上の膜の測定箇所まで移動させては、分光器15が出力する分光データを受け取り、この分光データに基づき膜厚を演算する。CPU1は演算した膜厚を画像表示装置4に出力するとともに、RAM2に記憶させる。
CPU1は、リファレンス間隔時間が経過すると、リファレンスサンプリングを行い、前回のリファレンスサンプルの分光データとの変化分を算出し、その変化分による測定誤差が生じないように較正する。すなわち、CPU1は、分光データとの変化分の影響が生じないように膜厚演算を補正する。その後、次のリファレンスサンプリングまで膜厚測定を行う。次のリファレンスサンプリング以降は、リファレンスサンプリング、較正、膜厚測定の順でこれらを繰り返す。
したがって、膜厚測定が永遠と行われ、その過程で定期的に経時変化による測定値への影響を除去するように較正するので、所望の測定精度下での連続測定を長期間行うことができる。ユーザは、測定精度を上げたい場合は、より短いリファレンス間隔時間を入力すればよい。
したがって、膜厚測定が永遠と行われ、その過程で定期的に経時変化による測定値への影響を除去するように較正するので、所望の測定精度下での連続測定を長期間行うことができる。ユーザは、測定精度を上げたい場合は、より短いリファレンス間隔時間を入力すればよい。
本膜厚測定装置に採用される測定原理においては、光源の光量及び波長シフト量の変化が膜厚測定精度に影響を与える。
CPU1は、RAM2に蓄積されたリファレンスサンプルの分光データに基づき、光源の光量経時変化のグラフと、色度経時変化のグラフを生成して画像表示装置4に表示する。色度値(x値、y値)は色彩計により得る。図2は、画像表示装置4に表示される白色光源の光量経時変化グラフの一例であり、図3は、画像表示装置4に表示される白色光源の色度経時変化グラフの一例である。
CPU1は、RAM2に蓄積されたリファレンスサンプルの分光データに基づき、光源の光量経時変化のグラフと、色度経時変化のグラフを生成して画像表示装置4に表示する。色度値(x値、y値)は色彩計により得る。図2は、画像表示装置4に表示される白色光源の光量経時変化グラフの一例であり、図3は、画像表示装置4に表示される白色光源の色度経時変化グラフの一例である。
図4は、白色光量変化に対する膜厚値の変化を示すグラフである。図4のグラフは、白色光量を変化させて同一測定対象膜の膜厚を測定して得た実測値から近似式を導き、この近似式によってグラフ化したものである。
いま、図4のグラフに示す特性の膜厚測定装置において、ユーザが1nmの測定精度を望むとする。さらに、図2、図3に示すグラフが画像表示装置4に表示されたとする。
図2に示すように光量は16時間で5.8%減少している。図3に示すように色度変化はほとんど見られない。図4に示すように8.3%の光量減少で1nmの膜厚値の変化が生じる。 また図4より、光量が減少するほど一定の光量変化に対する膜厚値の変化は著しくなることがわかる。
以上の状況と安全率を考慮し、ユーザはリファレンス間隔時間として例えば2時間を入力することができる。これにより測定精度の信頼性を確保できるとともに、過度に頻繁なリファレンスサンプリングを防いで効率化を図ることができる。
図2に示すように光量は16時間で5.8%減少している。図3に示すように色度変化はほとんど見られない。図4に示すように8.3%の光量減少で1nmの膜厚値の変化が生じる。 また図4より、光量が減少するほど一定の光量変化に対する膜厚値の変化は著しくなることがわかる。
以上の状況と安全率を考慮し、ユーザはリファレンス間隔時間として例えば2時間を入力することができる。これにより測定精度の信頼性を確保できるとともに、過度に頻繁なリファレンスサンプリングを防いで効率化を図ることができる。
次に、本実施形態の他の動作例につき説明する。
白色光量変化と膜厚値の変化との関係式及び白色光色度変化と膜厚値の変化との関係式をRAM2又は図示しないROMに記憶させ、CPU1での演算に利用できるようにしておく。
ユーザはリファレンス間隔時間の代わりに測定精度、例えば基準誤差1nmと安全数10又は許容誤差0.1nmをキーボード3を介してCPU1へ入力する。
CPU1は、図2、図3に示すような既に蓄積された一定時間分のデータを統計して、許容誤差0.1nmに対応するリファレンス間隔時間として例えば2時間16分を割り出し、リファレンス間隔時間を2時間16分に設定して以後のリファレンスサンプリングを実施する。さらにCPU1は一定の使用時間毎にリファレンス間隔時間を再設定する。再設定を行う時間の単位は、リファレンス間隔時間と等しくすることができる。リファレンスサンプリングによるデータの追加により過去の統計データに変更が生じるからである。したがって、最新のデータに基づき再設定するには、リファレンスサンプル毎にリファレンス間隔時間を再設定する。これにより測定精度を確実に維持する信頼性が向上する。
白色光量変化と膜厚値の変化との関係式及び白色光色度変化と膜厚値の変化との関係式をRAM2又は図示しないROMに記憶させ、CPU1での演算に利用できるようにしておく。
ユーザはリファレンス間隔時間の代わりに測定精度、例えば基準誤差1nmと安全数10又は許容誤差0.1nmをキーボード3を介してCPU1へ入力する。
CPU1は、図2、図3に示すような既に蓄積された一定時間分のデータを統計して、許容誤差0.1nmに対応するリファレンス間隔時間として例えば2時間16分を割り出し、リファレンス間隔時間を2時間16分に設定して以後のリファレンスサンプリングを実施する。さらにCPU1は一定の使用時間毎にリファレンス間隔時間を再設定する。再設定を行う時間の単位は、リファレンス間隔時間と等しくすることができる。リファレンスサンプリングによるデータの追加により過去の統計データに変更が生じるからである。したがって、最新のデータに基づき再設定するには、リファレンスサンプル毎にリファレンス間隔時間を再設定する。これにより測定精度を確実に維持する信頼性が向上する。
また他の形態として、CPU1がユーザに基準誤差と信頼度(例えば99.9%)の入力を要求する構成を採用する。この場合、CPU1が過去のデータと確立統計理論に基づき、測定値が上記信頼度で基準誤差内に収まるようにリファレンス間隔時間を設定する構成とする。
以上の実施形態においては解析する光を反射光としたが本発明はこれに限定されず、解析する光は透過光でも良い。
また、投光部と受光部とが一体化された一体型を用いたが本発明としては投光部と受光部とが分離された分離型でも良い。
また、投光部と受光部とが一体化された一体型を用いたが本発明としては投光部と受光部とが分離された分離型でも良い。
1…CPU 2…RAM 3…キーボード 4…画像表示装置 5…リニアスライダ 6…プローブ支持アーム 7…集光レンズ支持アーム 8…測定プローブ 9…集光レンズ 10…キャリブレーション架台 11…検出ロール 12…投光用光ファイバーケーブル 13…受光用光ファイバーケーブル 14…光源 15…分光器 16…スライダ駆動回路 17,18…ケーブル 19…成膜ベース材 20a,b…リファレンスサンプル 21a,b…溝部
Claims (5)
- 光源と、
前記光源の光を対象物に投光する投光部と、
前記対象物からの反射光を受光する受光部と、
前記受光部が受光した反射光を分光して分光データを出力する分光器と、
前記投光部及び前記受光部を測定対象膜の測定位置とリファレンスサンプルの測定位置とに移動させる移動装置と、
前記リファレンスサンプルの分光データを記憶する記憶装置と、
ユーザの要求に基づき間隔時間を設定する間隔時間設定手段と、
前記間隔時間設定手段が設定した間隔時間の経過時に前記移動装置を制御して前記投光部及び前記受光部を前記リファレンスサンプルの測定位置に移動させて前記リファレンスサンプルを前記対象物とし、前記分光器が出力した分光データを前記記憶装置に記憶させるリファレンス制御手段と、
前記間隔時間設定手段が設定した間隔時間の非経過時に前記測定対象膜を前記対象物とすべく前記移動装置を制御して前記投光部及び前記受光部を前記測定対象膜の測定位置に移動させる測定位置制御手段と、
前記記憶装置に蓄積されたリファレンスサンプルの分光データの変化分に基づき較正し、前記測定対象膜を前記対象物として前記分光器が出力した分光データに基づき前記測定対象膜の膜厚を演算する膜厚演算手段とを備えることを特徴とする膜厚測定装置。 - ユーザからのデータ入力を受けるデータ入力装置を備え、
前記間隔時間設定手段は、前記データ入力装置によりユーザから入力された時間データを前記間隔時間として設定することを特徴とする請求項1記載の膜厚測定装置。 - 前記記憶装置に蓄積されたリファレンスサンプルの分光データの変化を表示する表示手段を備えた請求項2記載の膜厚測定装置。
- ユーザからのデータ入力を受けるデータ入力装置を備え、
前記間隔時間設定手段は、前記データ入力装置によりユーザから入力された測定精度と、前記記憶装置に蓄積されたリファレンスサンプルの分光データとに基づき前記測定精度を維持するために必要な間隔時間を前記間隔時間として設定することを特徴とする請求項1記載の膜厚測定装置。 - 前記測定対象膜を搬送する搬送装置を備えることを特徴とする請求項1〜請求項4のいずれか一に記載の膜厚測定装置。
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Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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WO2016123934A1 (zh) * | 2015-02-05 | 2016-08-11 | 京东方科技集团股份有限公司 | 靶材厚度测量装置 |
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2004
- 2004-03-22 JP JP2004082855A patent/JP2005265792A/ja active Pending
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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WO2016123934A1 (zh) * | 2015-02-05 | 2016-08-11 | 京东方科技集团股份有限公司 | 靶材厚度测量装置 |
US9778024B2 (en) | 2015-02-05 | 2017-10-03 | Boe Technology Group Co., Ltd. | Target material thickness measuring apparatus |
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