JP2005262327A - 平面研削方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 板状のワークWを保持し、前記ワークWの表面を研削手段により平坦に加工する平面研削方法であって、複数の支持ピン4が上面に設けられたベースプレート10に、前記支持ピン4が埋まる厚さに石膏5を塗布し、前記ワークWの下面全体が前記石膏5に浸された状態で、前記支持ピン4上に前記ワークWを載置し、前記石膏5が硬化した状態で、前記研削手段により前記ワークWの上面を平面研削する。
【選択図】 図1
Description
次いで、平坦度を整えるために研磨剤を用いて表面を研磨するラッピング処理が施される(図4のステップS4)。続いて、さらに高平坦度を得るためにワークの両面に対して平面研削加工が行われる(図4のステップS5)。
その後、前記研削加工により生じた周辺部の欠けを除くため再び面取りが行われ(図4のステップS6)、さらにラッピングにより両面研磨される(図4のステップS7)。そして、最後に両面にポリッシュ加工が施されることにより鏡面仕上げされ(図4のステップS8)、ワークの平面加工が終了する。
このように従来、ワークWの平面研削工程において、強制的に反りを矯正した上で平面研削を行うと、ベースプレート1から引き離した際、反りが元に戻り再びワーク表面が湾曲するという課題があった。
次いで、図6(e)に示すように平面研削していない反対面が平面研削される。そして、このように上下面が平面研削されたワークWを真空チャック装置3から引き離しても、図6(f)に示すように基準面Bは湾曲せずに平坦状態であるため、上下面が湾曲することがなく平面加工されたワークWを得ることができる。
この課題について図6および図7に基づき説明する。図7(a)に示すように、図6に示したよりもワークWが大型化した場合、スライスによる湾曲のみならず、その自重によって周囲が下方に下がり、上下面が湾曲する。このため図6(b)に示したように接着材料2を介してベースプレート1上にワークWを載置した場合、接着材料2により、スライスに起因する湾曲をそのままの状態で保持できても、自重による湾曲は抑制できず、図7(b)に示すように基準面Bが湾曲していた。すなわち、基準面Bが自重により湾曲した状態で平面研削を行うと、ワークWをベースプレート1から引き離した際に、基準面Bが平坦に戻ると共に、自重による反りが元に戻り、表面が湾曲したワークWが生成されていた。また、ベースプレート1に対する平行度を高めることが困難であるため、結果として製造歩留まりが低下する傾向があった。
このようになすことにより、接着材料により表面が湾曲したワークを、そのままの状態で保持することができ、大型のワークであっても支持ピンによって、ワークの自重による変形を抑制することができる。したがって、ベースプレートに対して平行度を高めることができ、平坦基準面が湾曲することなく平面研削できるため、平坦性の高いワークを得ることができ、かつ生産効率を向上することができる。
このようになすことにより、一方の面に関しては、接着材料により表面が湾曲したワークを、そのままの状態で保持することができ、大型のワークであっても支持ピンによって、ワークの自重による変形を抑制することができる。したがって、ベースプレートに対して平行度を高めることができ、平坦基準面が湾曲することなく平面研削ができる。
また、他方の面に関しては、研削加工の際にベースプレートとワークとの間に研削に用いる水、あるいは空気が入り込んでも、ベースプレート上に形成された溝に水、空気が逃げるため、ワークが変形することがない。したがって、ワーク両面の平面研削加工において、平坦性の高いワークを得ることができ、かつ生産効率を向上することができる。
この状態で石膏5が硬化した後、図1(e)に示すように、ワークWの上面が研削手段(図示せず)により平面研削される。
なお、石膏5は、硬化時における膨張率が0.1〜0.3%程度のものが好ましく用いられる。すなわち膨張率が低いことにより、石膏5の硬化時におけるワークWのひずみが抑制される。
さらに、反対面を平面加工する際には、先に平面研削した面を下面とし、ワークWを格子状の溝が複数形成されたベースプレート11上に載置した状態でワーク上面を平面研削するため、研削時の水、あるいは気泡等の空気がワークWとベースプレート11との間に入り込んでも前記溝に水、空気が逃げ、ワークWが変形して基準面Bが湾曲することがない。したがってワークW両面の平面研削において、基準面Bが湾曲することがないため、平坦性の高いワークWを得ることができる。
また、前記実施の形態において、支持ピン4の数は3つとしたが、これに限定せず、複数の支持ピン4によりワークWの自重を受け止めるように構成すればよい。
5 石膏(接着材料)
10 ベースプレート(第一のベースプレート)
11 ベースプレート(第二のベースプレート)
11a 溝
W ワーク
Claims (3)
- 板状のワークを保持し、前記ワークの表面を研削手段により平坦に加工する平面研削方法であって、
複数の支持ピンが上面に設けられたベースプレートに、前記支持ピンが埋まる厚さに接着材料を塗布し、
前記ワークの下面全体が前記接着材料に浸された状態で、前記支持ピン上に前記ワークを載置し、前記接着材料が硬化した状態で、前記研削手段により前記ワークの上面を平面研削することを特徴とする平面研削方法。 - 板状のワークを保持し、前記ワークの表面を研削手段により平坦に加工する平面研削方法であって、
複数の支持ピンが上面に設けられた第一のベースプレートに、前記支持ピンが埋まる厚さに接着材料を塗布し、
前記ワークの下面全体が前記接着材料に浸された状態で、前記支持ピン上に前記ワークを載置し、前記接着材料が硬化した状態で、前記ワークの上面を前記研削手段により平面研削し、
上面に複数の格子状の溝が形成された第二のベースプレート上に、前記平面研削された面を下面にして前記ワークを載置して保持し、前記研削手段により前記ワークの上面を平面研削することを特徴とする平面研削方法。 - 前記接着材料は石膏であることを特徴とする請求項1または請求項2に記載された平面研削方法。
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---|---|---|---|---|
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2004
- 2004-03-16 JP JP2004073722A patent/JP2005262327A/ja active Pending
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