JP2005250187A - 多層膜ミラー及びeuv露光装置 - Google Patents
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Abstract
【課題】 スパッタ法で形成した多層膜ミラーであって、反射率の低下が小さい多層膜ミラーを提供する。
【解決手段】 スパッタ法で形成した多層膜ミラーであって、前記多層膜ミラーの多層膜中に含まれるスパッタ(プロセス)ガスの含有量が0.005atm%未満であることを特徴とする多層膜ミラー。多層膜ミラーの多層膜中に含まれるスパッタ(プロセス)ガスの含有量が0.005atm%未満となった場合に、反射率の低下が臨界的に変化して小さくなる。
【選択図】 図1
【解決手段】 スパッタ法で形成した多層膜ミラーであって、前記多層膜ミラーの多層膜中に含まれるスパッタ(プロセス)ガスの含有量が0.005atm%未満であることを特徴とする多層膜ミラー。多層膜ミラーの多層膜中に含まれるスパッタ(プロセス)ガスの含有量が0.005atm%未満となった場合に、反射率の低下が臨界的に変化して小さくなる。
【選択図】 図1
Description
本発明は、主としてEUV光学系、X線光学系に使用される多層膜ミラー、及びこの多層膜ミラーを光学系に使用したEUV露光装置に関するものである。
近年、半導体集積回路の微細化に伴い、光の回折限界によって制限される光学系の解像力を向上させるために、従来の紫外線に代えてこれより短い波長(数nm〜数十nm)のEUV光を使用した投影リソグラフィ技術が開発されている(例えば、D. Tichenor, et al.、「SPIE」、1995年、第2437巻、p.292参照)。このEUVリソグラフィ技術は、従来の波長190nm程度の光線を用いた光リソグラフィでは実現不可能な、70nm以下の解像力を得られる技術として期待されている。
EUV光の波長領域での物質の複素屈折率nは、n=1−δ−ik(δ、k:実数、iは複素記号)で表わされる。この屈折率の虚部kはEUV光の吸収を表す。δ、kは1に比べて非常に小さいため、この領域での屈折率は1に非常に近い。したがって従来のレンズのような透過屈折型の光学素子を使用できない。屈折率が1よりも僅かに小さいことによる全反射を利用した斜入射ミラーや、界面での微弱な反射光を位相を合わせて多数重畳させて全体として高い反射率が得られる多層膜反射鏡等が使用される。
13.4nm付近の波長域では、モリブデン(Mo)層とシリコン(Si)層を交互に積層したMo/Si多層膜を用いると垂直入射で67.5%の反射率を得ることができ、波長11.3nm付近の波長域では、Mo層とベリリウム(Be)層を交互に積層したMo/Be多層膜を用いると垂直入射で70.2%の反射率を得ることができる(例えば、C. Montcalm、「Proceedings of SPIE」、1998年、第3331巻、p.42参照)。
薄膜の形成方法はさまざまあるが、EUV光用の多層膜ミラーは一層当たりの膜厚が薄く、多層膜界面および多層膜表面粗さが小さいことを要求されるため、通常スパッタ法が用いられる。
D. Tichenor, et al.、「SPIE」、1995年、第2437巻、p.292
C. Montcalm、「Proceedings of SPIE」、1998年、第3331巻、p.42
しかしながら、スパッタ法を用いて成膜を行った場合、多層膜中にスパッタ(プロセス)ガスが混入することが避けられず、これにより、反射率が低下することが知られている。多層膜中に含まれるスパッタガスの含有率と反射率の関係は計算により求めることができる。
その一例を図2に示す。図2は、多層膜中のスパッタガスの含有率と反射率の変化量の関係を示すもので、Ar、Kr、Xeのスパッタガスについて、その含有量が0の場合の反射率からの、反射率の低下量を示したものである。このデータは、50層のMo/Si多層膜についてのもので、波長13.5nmのEUV光に対するものである。
図2は、スパッタガス含有率が0.1atm%、1atm%、5atm%について計算した結果をプロットしたものであるが、この結果を見ると、スパッタガス含有率と反射率低下量の関係は、ほぼ直線的に変化することが分かる。
しかしながら、実際に製造される多層膜ミラーにおいては、図2に示したようなデータより大きく反射率が低下するという問題があった。
本発明はこのような事情に鑑みてなされたものであり、スパッタ法で形成した多層膜ミラーであって、反射率の低下が小さい多層膜ミラー、及びこの多層膜ミラーを光学系に使用したEUV露光装置を提供することを課題とする。
前記課題を解決するための第1の手段は、スパッタ法で形成した多層膜ミラーであって、前記多層膜ミラーの多層膜中に含まれるスパッタ(プロセス)ガスの含有量が0.005atm%未満であることを特徴とする多層膜ミラー(請求項1)である。
発明者は、多層膜ミラーにおいて、スパッタガスの含有による反射率の低下を低減する方法について鋭意研究を行った結果、多層膜ミラーの多層膜中に含まれるスパッタ(プロセス)ガスの含有量が0.005atm%未満となった場合に、反射率の低下が臨界的に変化して小さくなると言う、予想できない結果を見いだした。この結果は、後に実施例において詳しく説明する。よって、本手段においては、従来予想されなかったような、反射率の低下が小さい多層膜ミラーを得ることができる。
前記課題を解決するための第2の手段は、スパッタ法で形成した多層膜ミラーであって、前記多層膜ミラーの多層膜中に含まれるスパッタ(プロセス)ガスの含有量が0.003atm%以下であることを特徴とする多層膜ミラー(請求項2)である。
スパッタプロセスガスの含有量を0.003atm%以下とすることにより、より確実に反射率の低下が小さい多層膜ミラーを得ることができる。
前記課題を解決するための第3の手段は、前記第1の手段又は第2の手段であって、分光反射率のピークが20nm以下にあることを特徴とするもの(請求項3)である。
前記第1の手段、第2の手段は、分光反射率のピークが20nm以下にある多層膜ミラーにおいて、特に有効である。
前記課題を解決するための第4の手段は、前記第1の手段から第3の手段のいずれかであって、前記スパッタガスがHe、Ar、Kr、Xe、又はこれらのうち2種以上の混合ガスであることを特徴とするもの(請求項4)である。
これらのガスは、プラズマ放電を起こしやすく、多層膜ミラーを形成するためのスパッタ法に用いるのに適当である。
前記課題を解決するための第5の手段は、前記第1の手段から第4の手段であって、前記多層膜が金属もしくは半導体からなることを特徴とするもの(請求項5)である。
多層膜ミラーが用いられるのは、特にEUV光学系、X線光学系においてであり、これらの波長で反射特性を得るためには、多層膜が金属もしくは半導体からなることが好ましい。
前記課題を解決するための第6の手段は、前記第3の手段であって、前記多層膜がシリコンとモリブデンからなることを特徴とするもの(請求項6)である。
シリコンとモリブデンからなる多層膜は、波長13.5nm近傍の光の反射膜として特に好ましい。
前記課題を解決するための第7の手段は、前記第1の手段から第6の手段のいずれかであって、前記スパッタ法がイオンビームスパッタ法であることを特徴とするもの(請求項7)である。
イオンビームスパッタ法は、特に多層膜界面及び多層膜表面粗さを小さくするために好ましい。
前記課題を解決するための第8の手段は、前記第1の手段から第7の手段のいずれかである多層膜ミラーを光学系中に有することを特徴とするEUV露光装置(請求項8)である。
本手段においては、前記第1の手段から第7の手段のいずれかである多層膜ミラーを光学系中に使用しているので、ミラーによる反射の際に失われる光量を少なくすることができ、高い照明光率を得ることができる。
本発明によれば、スパッタ法で形成した多層膜ミラーであって、反射率の低下が小さい多層膜ミラー、及びこの多層膜ミラーを光学系に使用したEUV露光装置を提供することができる。
発明者は、多層膜中に含まれるスパッタガスによる反射率の低下について、理論計算と実験値との差を調査した。その結果を、図1に示す。図1は、シリコン上に成膜した50層のMo(2.45nm)/Si(4.45nm)多層膜についてのもので、波長13.5nmのEUV光に対するものである。計算値は、多層膜中のスパッタガス(Kr)の含有率に対する、理想状態(スパッタガスが含まれていない状態)からの反射率の低下量の計算値を示しており、実測値は、実際に計測された反射率の理想状態からの低下量を示している。プロットされているスパッタガス含有量は、0.003atm%、0.005atm%、1.0atm%,2.8atm%である。
図1から分かるように、計算値においては、スパッタガス含有量と理想状態との反射率差は直線的な関係を示しており、スパッタガス含有量が1atm%が増加すると反射率は0.92%低下する。これに対して、実測値は計算値より非常に大きい値を示しているが、スパッタガス含有量が0.005atm%未満になると、臨界的に低下する。図1に示した結果を、表1に併せて示す。
(表1)
(表1)
表1において、理論反射率と実測反射率との差が、図1の実測値に対応し、スパッタガスによる反射率低下量(計算)が図1の計算値に対応する。
なお、この多層膜の成膜方法には、イオンビームスパッタを用い、多層膜中のスパッタガス含有率は、スパッタガスの流量を調整することにより調整した。試料中のスパッタガス含有量はRBS(ラザフォード・バック・スキャッタリング)法を用いて測定した。また、膜中のスパッタガス含有率による多層膜ミラーへの影響は膜中にスパッタガスが均一に混入しているものと仮定して計算を行った。
以下、本発明の実施の形態の1例であるEUV露光装置について、図3を参照して説明する。EUV露光装置は、主にEUV光源1および照明光学系2とマスク4のステージ5、投影光学系3、ウエハ6のステージ7で構成される。マスク4には描画するパターンの等倍あるいは拡大パターンが形成されている。投影光学系3は複数の反射鏡3a〜3d等で構成され、マスク4上のパターンをウエハ6上に結像するようになっている。反射鏡3a〜3dの表面には反射率を高めるための多層光学薄膜が形成されている。
投影光学系3は輪帯状の視野を有し、マスク4の一部をなす輪帯状の領域のパターンを、ウエハ6上に転写する。マスク4も反射型のものが用いられる。露光の際は、EUV光源1よりのEUV光8aを照明光学系2によって照明用EUV光8bとし、マスク4上に照明用EUV光8bを照射し、その反射EUV光8cを、投影光学系3を通してウエハ6上に入射させる。マスク4とウエハ6を一定速度で同期走査させることで、所望の領域(例えば、半導体チップ1個分の領域)を露光するようになっている。
本実施の形態においては、反射鏡3a〜3dとして、本発明の多層膜ミラーを使用しているので、各ミラーにおける反射率を高くすることができ、その分、短い露光時間で露光転写を行うことができるので、スループットを高めることができる。
1…EUV光源、2…照明光学系、3…投影光学系、3a〜3d…反射鏡、4…マスク、5…マスクステージ、6…ウエハ、7…ウエハステージ、8a…EUV光、8b…照明用EUV光、8c…反射EUV光
Claims (8)
- スパッタ法で形成した多層膜ミラーであって、前記多層膜ミラーの多層膜中に含まれるスパッタ(プロセス)ガスの含有量が0.005atm%未満であることを特徴とする多層膜ミラー。
- スパッタ法で形成した多層膜ミラーであって、前記多層膜ミラーの多層膜中に含まれるスパッタ(プロセス)ガスの含有量が0.003atm%以下であることを特徴とする多層膜ミラー。
- 分光反射率のピークが20nm以下にあることを特徴とする請求項1又は請求項2に記載の多層膜ミラー。
- 前記スパッタガスがHe、Ar、Kr、Xe、又はこれらのうち2種以上の混合ガスであることを特徴とする請求項1から請求項3のうちいずれか1項に記載の多層膜ミラー。
- 前記多層膜が金属もしくは半導体からなることを特徴とする請求項1から請求項4のうちいずれか1項に記載の多層膜ミラー。
- 前記多層膜がシリコンとモリブデンからなることを特徴とする請求項5に記載の多層膜ミラー。
- 前記スパッタ法がイオンビームスパッタ法であることを特徴とする請求項1から請求項6のうちいずれか1項に記載の多層膜ミラー。
- 請求項1から請求項7のうちいずれか1項に記載の多層膜ミラーを光学系中に有することを特徴とするEUV露光装置。
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