JP2005243571A - Manufacturing methods of substrate for organic el display element and organic el display element - Google Patents
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Abstract
Description
本発明は、有機EL(Electro Luminescence)表示素子用基板及び有機EL表示素子の製造方法に関し、特に、効率的なエージング処理を行うことができる有機EL表示素子用基板及び有機EL表示素子の製造方法に関する。 The present invention relates to an organic EL (Electro Luminescence) display element substrate and an organic EL display element manufacturing method, and more particularly to an organic EL display element substrate and an organic EL display element manufacturing method capable of performing efficient aging treatment. About.
有機EL発光素子を使用した有機EL表示装置は、液晶表示装置と比較して視野角が広く、また、応答速度も速く、有機物が有する発光性の多様性から、次世代の表示装置として期待されている。有機EL表示装置を構成する有機EL表示素子は、基板上に陽極が形成され、陽極の上に発光層を含む薄膜状の有機化合物(有機EL層)が積層され、さらに、有機EL層の上に、基板上に形成された陽極に対向するように陰極が形成された構造を有する。有機EL表示素子は、対向して設けられた陽極と陰極との間に配置された有機EL層に電流が供給されると自発光する電流駆動型の表示素子である。有機EL表示素子は半導体発光ダイオードに似た特性を有しているので有機LEDと呼ばれることもある。 An organic EL display device using an organic EL light emitting element has a wider viewing angle than a liquid crystal display device, and has a high response speed. ing. The organic EL display element constituting the organic EL display device has an anode formed on a substrate, a thin-film organic compound (organic EL layer) including a light emitting layer is laminated on the anode, and further on the organic EL layer. Further, a cathode is formed so as to face the anode formed on the substrate. The organic EL display element is a current-driven display element that emits light when a current is supplied to an organic EL layer disposed between an anode and a cathode that are provided to face each other. Since the organic EL display element has characteristics similar to those of a semiconductor light emitting diode, it is sometimes called an organic LED.
有機EL表示素子の陽極側を高電圧側にし、所定の電圧を両電極間に印加し有機EL層に電流を供給すると発光する。逆に、陰極側を高電位にした場合には電流はほとんど流れず発光しない。有機EL表示素子の有機EL層に定電圧を印加した場合には発光輝度は温度変化や経時変化によって大きく変動するが、電流値に対する有機EL表示素子の発光輝度の変動は小さい。従って、有機EL表示素子を駆動する場合には、一般に定電流駆動法が用いられる。すなわち、所定の発光輝度を得るために、定電流回路を備えた駆動回路を用い有機EL表示素子に定電流を供給する。 The organic EL display element emits light when the anode side is set to the high voltage side, a predetermined voltage is applied between both electrodes, and a current is supplied to the organic EL layer. Conversely, when the cathode side is set to a high potential, no current flows and no light is emitted. When a constant voltage is applied to the organic EL layer of the organic EL display element, the light emission luminance greatly varies depending on a change in temperature or a change with time. Therefore, when driving an organic EL display element, a constant current driving method is generally used. That is, in order to obtain a predetermined light emission luminance, a constant current is supplied to the organic EL display element using a drive circuit having a constant current circuit.
ガラス基板上に陽極に接続されるかまたは陽極そのものを形成する複数の陽極配線が平行して配置され、陽極配線と直交する方向に、陰極に接続されるかまたは陰極そのものを形成する複数の陰極配線が平行して配置され、両電極間に有機EL層が扶持された構造の有機EL表示素子が実現されている。陽極配線と陰極配線とがマトリクス状に配置された有機EL表示素子において、陽極配線と陰極配線との交点が画素となる。すなわち、画素がマトリクス状に配置されている。一般に、陰極配線は金属で形成され、陽極配線はITO(インジウム・錫・酸化物)などの透明導電膜で形成される。 A plurality of anode wirings connected to the anode on the glass substrate or forming the anode itself in parallel, and connected to the cathode or forming the cathode itself in a direction perpendicular to the anode wiring An organic EL display element having a structure in which wirings are arranged in parallel and an organic EL layer is held between both electrodes is realized. In the organic EL display element in which the anode wiring and the cathode wiring are arranged in a matrix, the intersection of the anode wiring and the cathode wiring is a pixel. That is, the pixels are arranged in a matrix. In general, the cathode wiring is formed of metal, and the anode wiring is formed of a transparent conductive film such as ITO (indium / tin / oxide).
陽極配線と陰極配線とがマトリクス状に配置された有機EL表示素子を単純マトリクス駆動法によって駆動する場合、陽極配線と陰極配線とのうちのいずれか一方を走査電極とし、他方をデータ電極とする。そして、定電圧回路を備えた走査電極駆動回路を走査電極に接続し、走査電極を定電圧駆動する。そして、走査電極のうちの1本を所定の期間毎に順次に走査して選択状態とし、他の走査電極を非選択状態にする。一般に、平行して配置されている複数の走査電極のうちの一方の端に位置する走査電極から他方の端に位置する走査電極に向かって走査を行い、一定の期間の間にすべての走査電極を順次選択状態にする。 When an organic EL display element in which anode wiring and cathode wiring are arranged in a matrix is driven by a simple matrix driving method, one of anode wiring and cathode wiring is used as a scanning electrode, and the other is used as a data electrode. . Then, a scan electrode driving circuit including a constant voltage circuit is connected to the scan electrode, and the scan electrode is driven at a constant voltage. Then, one of the scan electrodes is sequentially scanned every predetermined period to be in a selected state, and the other scan electrodes are in a non-selected state. In general, scanning is performed from a scanning electrode located at one end of a plurality of scanning electrodes arranged in parallel toward a scanning electrode located at the other end, and all the scanning electrodes are performed during a certain period. Are sequentially selected.
データ電極には、出力段に定電流回路が備えられたデータ電極駆動回路を接続する。そして、選択状態にある走査電極に対応する行の表示データに応じた電流を、走査に同期して各データ電極に供給する。定電流回路からデータ電極に供給された電流は、選択状態にある走査電極とデータ電極との交点に位置する有機EL層を通して、選択状態にある走査電極に流れる。有機EL表示素子における画素は、その画素を形成する走査電極が選択状態にあり、かつ、データ電極から電流が供給されている期間において発光する。また、データ電極からの電流の供給が停止すると発光も停止する。なお、駆動を行う際に、有機EL表示素子の陽極配線を走査電極にしてもよいしデータ電極にしてもよい。 A data electrode driving circuit having a constant current circuit at the output stage is connected to the data electrode. Then, a current corresponding to the display data of the row corresponding to the scan electrode in the selected state is supplied to each data electrode in synchronization with the scan. The current supplied from the constant current circuit to the data electrode flows to the scan electrode in the selected state through the organic EL layer located at the intersection of the scan electrode and the data electrode in the selected state. A pixel in the organic EL display element emits light in a period in which a scan electrode forming the pixel is in a selected state and a current is supplied from the data electrode. Further, when the supply of current from the data electrode is stopped, the light emission is also stopped. When driving, the anode wiring of the organic EL display element may be a scanning electrode or a data electrode.
有機EL表示素子を定電流で駆動していると、時間が経つにしたがって輝度が低下していく。初期輝度が高いほど輝度低下の割合は大きく、例えば、初期輝度が倍になれば、輝度が半減するまでの時間はおおよそ半分程度になる。有機EL表示素子の輝度の低下は、有機EL表示素子に駆動回路等を組み込むことによって形成される有機EL表示装置において輝度の低下につながる。さらに、発光していた時間が長い画素ほど暗くなるので、画素によって輝度が異なるという現象を引き起こす。この現象を「焼き付き」と呼ぶ。隣接している画素であれば3〜5%程度の輝度差があれば、輝度差があることが視認されてしまう。 When the organic EL display element is driven with a constant current, the luminance decreases with time. The higher the initial luminance, the larger the rate of luminance decrease. For example, if the initial luminance is doubled, the time until the luminance is halved is approximately half. The reduction in luminance of the organic EL display element leads to reduction in luminance in an organic EL display device formed by incorporating a drive circuit or the like into the organic EL display element. Furthermore, the longer the pixel that has been emitting light, the darker it is, which causes a phenomenon that the luminance varies depending on the pixel. This phenomenon is called “burn-in”. If adjacent pixels have a luminance difference of about 3 to 5%, it is visually recognized that there is a luminance difference.
技術開発によって、有機EL表示素子の輝度半減寿命は、初期輝度100cd/m2程度で数万時間まで達している、しかし、焼き付きは3〜5%程度の輝度低下で起こるため、数十〜数百時間で発生してしまう。このことは、液晶表示装置などの他のフラットパネル型の表示装置に対する短所になっている。 Due to technological development, the luminance half-life of the organic EL display element reaches several tens of thousands of hours at an initial luminance of about 100 cd / m 2 , but burn-in occurs with a luminance drop of about 3 to 5%. It will occur in a hundred hours. This is a disadvantage with respect to other flat panel type display devices such as a liquid crystal display device.
通電によって、有機EL表示素子の輝度は、初期に大きく低下し、その後は緩やかに低下することが多い。輝度がそのように低下する場合には、有機EL表示素子をしばらく駆動して輝度低下したものを新たに初期状態とすると、その後の低下の仕方が緩やかになる。有機EL表示素子を用いた有機EL表示装置が実際の使用に供される前に、有機EL表示素子をしばらく駆動して輝度低下させる処理をエージング処理と呼ぶ。 In many cases, the luminance of the organic EL display element is greatly reduced in the initial stage due to energization, and then gradually decreases. In the case where the luminance is so reduced, if the organic EL display element is driven for a while to reduce the luminance to a new initial state, the subsequent reduction method becomes gentle. The process of driving the organic EL display element for a while and reducing the luminance before the organic EL display device using the organic EL display element is actually used is called an aging process.
エージング処理として、例えば、有機EL表示素子の陽極配線同士をリード線で短絡して電圧印加装置に接続し、かつ、陰極配線同士をリード線で短絡して電圧印加装置に接続する。そして、電圧印加装置から、陽極電配線士を接続するリード線と陰極配線同士を接続するリード線との間に電圧パルスを印加する。 As the aging treatment, for example, the anode wirings of the organic EL display element are short-circuited with a lead wire and connected to the voltage application device, and the cathode wirings are short-circuited with a lead wire and connected to the voltage application device. Then, a voltage pulse is applied from the voltage application device between the lead wire connecting the anode wiring person and the lead wire connecting the cathode wirings.
一方、電極や有機EL層の薄膜形成の際に発生するゴミやチリ等が原因となり、電極や有機EL層に欠陥部が生じることがある。有機EL表示素子は、電極間の有機EL層が極めて薄いことから、この欠陥部が微小なものであっても容易に電流が集中して、陽極配線と陰極配線とが短絡し、素子特性の劣化や非発光にいたるという問題がある。 On the other hand, due to dust, dust or the like generated when forming a thin film of an electrode or an organic EL layer, a defective portion may occur in the electrode or the organic EL layer. In the organic EL display element, since the organic EL layer between the electrodes is extremely thin, even if the defective portion is minute, current is easily concentrated, and the anode wiring and the cathode wiring are short-circuited. There is a problem that it leads to deterioration and non-light emission.
上述のエージング処理を用いることにより、このような欠陥部を除去することもできる(例えば、特許文献1参照)。エージング処理の際に生じるジュール熱によって当該欠陥部の短絡部分を破壊する。この破壊された欠陥部は局所的な非発光部となるが、もともと欠陥部は視認できない程度の微小なものであり、表示品質には影響しない。
一般に、有機EL表示素子は、一枚のガラス基板上に複数形成し、これらを個々に分断することによって、複数個同時に形成している。このとき、有機EL表示素子の陽極配線同士を接続するリード線や陰極配線同士を接続するリード線は、分断される有機EL表示素子の間の領域に、即ち、分断後の有機EL表示素子(セル)の外側に形成される。 Generally, a plurality of organic EL display elements are formed simultaneously on a single glass substrate by dividing them individually. At this time, the lead wire for connecting the anode wirings of the organic EL display elements and the lead wire for connecting the cathode wirings are located in a region between the divided organic EL display elements, that is, the divided organic EL display elements ( Cell).
このため、分断前のガラス基板上で各有機EL表示素子の間に当該リード線を形成するために一定の領域を設ける必要があり、面積効率の低下を招くという問題点があった。 For this reason, it is necessary to provide a certain region in order to form the lead wire between the organic EL display elements on the glass substrate before division, and there is a problem in that the area efficiency is lowered.
また、ガラス基板を分断するためには、その位置合わせの必要性から、ガラス基板上に分断の位置決めマークを形成する必要がある。 In addition, in order to divide the glass substrate, it is necessary to form a dividing positioning mark on the glass substrate because of the necessity of alignment.
本発明は、このような問題点を解決するためになされたもので、本発明の一つの目的は、不要領域を少なくすることが可能な有機EL表示素子用基板及び有機EL表示素子の製造方法を提供することである。本発明の他の目的は、位置合わせを行うための位置決めマークを不要領域を発生させることなく形成することが可能な有機EL表示素子用基板及び有機EL表示素子の製造方法を提供することである。 The present invention has been made to solve such problems, and one object of the present invention is to provide an organic EL display element substrate and an organic EL display element manufacturing method capable of reducing unnecessary regions. Is to provide. Another object of the present invention is to provide an organic EL display element substrate and an organic EL display element manufacturing method capable of forming a positioning mark for alignment without generating an unnecessary region. .
本発明にかかる有機EL表示素子用基板は、陽極配線と有機EL層と陰極配線とを有する複数の有機EL表示素子と、前記複数の有機EL表示素子における陽極配線と陽極用接続配線を介して接続された陽極用共通配線と、前記複数の有機EL表示素子における陰極配線と陰極用接続配線を介して接続された陰極用共通配線とが形成された有機EL表示素子用基板であって、前記陽極用共通配線及び/又は前記陰極用共通配線に、複数の有機EL表示素子を分断するための位置決めマークを形成したものである。このような構成によれば、位置決めマークに基いて有機EL表示素子を正確に分断することができる。特に、当該位置決めマークを陽極用共通配線及び/又は前記陰極用共通配線に形成したため、位置決めマークを形成するための専用の領域を設ける必要がないため、面積効率を向上させることができる。 An organic EL display element substrate according to the present invention includes a plurality of organic EL display elements having an anode wiring, an organic EL layer, and a cathode wiring, and the anode wiring and anode connection wiring in the plurality of organic EL display elements. A substrate for an organic EL display element, comprising: a connected anode common line; a cathode line in the plurality of organic EL display elements; and a cathode common line connected via the cathode connection line. Positioning marks for dividing a plurality of organic EL display elements are formed on the anode common wiring and / or the cathode common wiring. According to such a configuration, the organic EL display element can be accurately divided based on the positioning mark. In particular, since the positioning marks are formed on the anode common wiring and / or the cathode common wiring, it is not necessary to provide a dedicated area for forming the positioning marks, so that the area efficiency can be improved.
ここで、前記位置決めマークは、配線中の開口により形成していることが望ましい。 Here, the positioning mark is preferably formed by an opening in the wiring.
また、複数の前記有機EL表示素子を分断するための分断線は、前記陽極用共通配線及び/又は前記陰極用共通配線上に設けられているとよい。このような構成により、さらに面積効率を高めることができる。 Further, it is preferable that a dividing line for dividing the plurality of organic EL display elements is provided on the anode common wiring and / or the cathode common wiring. With such a configuration, the area efficiency can be further increased.
本発明にかかる有機EL表示素子の製造方法は、基板上に、陽極配線と有機EL層と陰極配線とを有する複数の有機EL表示素子を形成するステップと、複数の前記有機EL表示素子における陽極配線と接続された陽極用接続配線と、当該陽極用接続配線と接続された陽極用共通配線と、複数の前記有機EL表示素子における陰極配線と接続された陰極用接続配線と、当該陰極用接続配線と接続された陰極用共通配線とを形成するステップと、前記陽極用共通配線及び前記陰極用接続配線に対してエージングのための電圧を印加するステップと、電圧印加後に個々の有機EL表示素子を分離するために、前記陽極用共通配線及び前記陰極用共通配線の全部又は一部が当該有機EL表示素子内に残存するように分断するステップとを備えたものである。このような方法によれば、不要部分の発生を抑制できるため、面積効率を高めることができる。 The organic EL display element manufacturing method according to the present invention includes a step of forming a plurality of organic EL display elements having an anode wiring, an organic EL layer, and a cathode wiring on a substrate, and an anode in the plurality of organic EL display elements. The anode connection wiring connected to the wiring, the anode common wiring connected to the anode connection wiring, the cathode connection wiring connected to the cathode wiring in the plurality of organic EL display elements, and the cathode connection Forming a cathode common wiring connected to the wiring, applying an aging voltage to the anode common wiring and the cathode connection wiring, and each organic EL display element after applying the voltage To separate all or part of the common wiring for anode and the common wiring for cathode to remain in the organic EL display element. A. According to such a method, generation of unnecessary portions can be suppressed, so that area efficiency can be improved.
ここで、前記有機EL表示素子を分断するステップでは、前記陽極用共通配線及び/又は陰極用共通配線上を分断することが好ましい。 Here, in the step of dividing the organic EL display element, it is preferable to divide the anode common wiring and / or the cathode common wiring.
本発明にかかる他の有機EL表示素子の製造方法は、基板上に、陽極配線と有機EL層と陰極配線とを有する複数の有機EL表示素子を形成するステップと、複数の前記有機EL表示素子における陽極配線と接続された陽極用接続配線と、当該陽極用接続配線と接続され、分断の位置決めマークが形成された陽極用共通配線と、複数の前記有機EL表示素子における陰極配線と接続された陰極用接続配線と、当該陰極用接続配線と接続された陰極用共通配線とを形成するステップと、前記陽極用共通配線及び前記陰極用接続配線に対してエージングのための電圧を印加するステップと、電圧印加後に前記有機EL表示素子を少なくとも前記位置決めマークに基づいて分断するステップとを備えたものである。 Another method of manufacturing an organic EL display element according to the present invention includes a step of forming a plurality of organic EL display elements having an anode wiring, an organic EL layer, and a cathode wiring on a substrate, and the plurality of the organic EL display elements. The anode connection wiring connected to the anode wiring, the anode connection wiring connected to the anode connection wiring and having the dividing positioning mark formed thereon, and the cathode wiring in the plurality of organic EL display elements Forming a cathode connection wiring and a cathode common wiring connected to the cathode connection wiring; applying an aging voltage to the anode common wiring and the cathode connection wiring; And a step of dividing the organic EL display element based on at least the positioning mark after voltage application.
本発明にかかる他の有機EL表示素子の製造方法は、基板上に、陽極配線と有機EL層と陰極配線とを有する複数の有機EL表示素子を形成するステップと、複数の前記有機EL表示素子における陽極配線と接続された陽極用接続配線と、当該陽極用接続配線と接続され、分断のための第1の位置決めマークが形成された陽極用共通配線と、複数の前記有機EL表示素子における陰極配線と接続された陰極用接続配線と、当該陰極用接続配線と接続され、分断のための第2の位置決めマークが形成された陰極用共通配線とを形成するステップと、前記陽極用共通配線及び前記陰極用接続配線に対してエージングのための電圧を印加するステップと、電圧印加後に前記有機EL表示素子を前記第1の位置決めマーク及び前記第2の位置決めマークに基づいて分断するステップとを備えたものである。 Another method of manufacturing an organic EL display element according to the present invention includes a step of forming a plurality of organic EL display elements having an anode wiring, an organic EL layer, and a cathode wiring on a substrate, and the plurality of the organic EL display elements. Anode connection wiring connected to the anode wiring, a common wiring for anode connected to the anode connection wiring and having a first positioning mark formed thereon, and cathodes in the plurality of organic EL display elements Forming a cathode connection wiring connected to the wiring, a cathode common wiring connected to the cathode connection wiring and having a second positioning mark for separation, and the anode common wiring; Applying a voltage for aging to the cathode connection wiring; and, after applying the voltage, the organic EL display element is connected to the first positioning mark and the second positioning mark. It is obtained by a step of dividing based on.
本発明によれば、不要領域を少なくすることが可能な有機EL表示素子用基板及び有機EL表示素子の製造方法を提供することができる。さらに、分断を行なうための位置決めマークを不要領域を発生させることなく形成することが可能な有機EL表示素子用基板及び有機EL表示素子の製造方法を提供することができる。 ADVANTAGE OF THE INVENTION According to this invention, the manufacturing method of the organic EL display element substrate which can reduce an unnecessary area | region, and an organic EL display element can be provided. Furthermore, it is possible to provide an organic EL display element substrate and a method for manufacturing the organic EL display element that can form a positioning mark for dividing without generating an unnecessary region.
以下、本発明の実施の形態を図面を参照して説明する。図1は、有機EL表示装置の製造方法の一例を説明するための平面図である。図2は、有機EL表示装置の製造方法の一例を説明するための斜視図である。 Hereinafter, embodiments of the present invention will be described with reference to the drawings. FIG. 1 is a plan view for explaining an example of a method for manufacturing an organic EL display device. FIG. 2 is a perspective view for explaining an example of the manufacturing method of the organic EL display device.
図1および図2に示すように、1枚のガラス基板8に、それぞれが表示領域7を含む多数の有機EL表示素子が形成される。各有機EL表示素子における各陽極配線1は、陽極用接続部材としての陽極接続配線5で、陽極用共通配線としての第1の共通配線3に接続される。従って、すべての有機EL表示素子における各陽極配線1に、第1の共通配線3から同じ信号を供給することができる。
As shown in FIGS. 1 and 2, a large number of organic EL display elements each including a
また、各有機EL表示素子における各陰極配線2は、陰極用接続部材としての陰極接続配線6で、陰極用共通配線としての第2の共通配線4に接続される。従って、すべての有機EL表示素子における各陰極配線2に、第2の共通配線4から同じ信号を供給することができる。なお、図2において、第1の共通配線3を破線で示し、第2の共通配線4を実線で示す。
Each
図3は、陽極配線1と第1の共通配線3との接続部を示す説明図である。図3に示すように、陽極配線1と第1の共通配線3とは、それらよりも線幅が狭い陽極接続配線5によって接続される。なお、同様に、陰極配線2と第2の共通配線4とは、それらよりも線幅が狭い陰極接続配線6によって接続される。
FIG. 3 is an explanatory diagram showing a connection portion between the
図4は、有機EL表示装置の製造方法の一例を説明するための工程図である。図4に示す工程では、各有機EL表示素子は、1枚のガラス基板8上に配線群および有機EL層を形成する有機EL素子形成工程と、有機EL層を水分などから守るためにガラスなどの対向基板で有機EL表示素子ごとに外気から隔離する封止工程と、有機EL表示素子にエージングを施すエージング処理を実行するエージング工程と、ガラス基板8を分断して複数の有機EL表示素子に分離する分断工程と、反射防止のために円偏光板などの光学フイルムを貼り付ける光学フイルム貼付工程を経て作製され、さらに、駆動回路などの周辺回路を実装する実装工程とを経て有機EL表示装置が作製される。
FIG. 4 is a process diagram for explaining an example of a method for manufacturing an organic EL display device. In the process shown in FIG. 4, each organic EL display element includes an organic EL element forming process for forming a wiring group and an organic EL layer on one
有機EL表示素子形成工程では、ガラス基板8上にITOを成膜し、ITOをエッチングして陽極配線1と、陽極接続配線5および陰極接続配線6とを形成する。
In the organic EL display element forming step, ITO is formed on the
次に、金属膜を成膜し、金属膜をエッチングして各有機EL表示素子内の引き回し配線と、第1の共通配線3および第2の共通配線4とを形成する。
Next, a metal film is formed, and the metal film is etched to form the lead wiring, the first
その上に、絶縁膜を塗布し露光現像等を行って各画素の発光部となる開口部を形成する。さらに、その上に、有機EL層としての有機薄膜を積層する。有機薄膜として、順に、第1正孔輸送層、第2正孔輸送層、発光層、陰極界面層を形成する。最後に、陰極配線2として、アルミニウム等の金属で走査電極を形成し、陰極引き回し配線に接続する。
On top of that, an insulating film is applied, and exposure development is performed to form an opening to be a light emitting portion of each pixel. Furthermore, an organic thin film as an organic EL layer is laminated thereon. As the organic thin film, a first hole transport layer, a second hole transport layer, a light emitting layer, and a cathode interface layer are sequentially formed. Finally, as the
図5に、分断前の有機EL表示素子の上面図を示す。図に示されるように、第1の共通配線3が略垂直に延在して、この延在部から複数の陽極接続配線5が隣接する表示領域7に向って略垂直に延在している。かかる複数の陽極接続配線5は、隣接する有機EL表示素子の陽極と接続される。
FIG. 5 shows a top view of the organic EL display element before division. As shown in the figure, the first
また、第2の共通配線4は、第1の共通配線3と平行して配設されている。この第2の共通配線4から略垂直に延在した延在部は、陽極接続配線5の近傍まで引き回されている。第2の共通配線4の延在部の先端近傍より、複数の陰極接続配線6が表示領域7に向って延在している。
Further, the second common wiring 4 is arranged in parallel with the first
この例では、第1の共通配線3上に分断工程において分断の位置合わせのために用いられる分断の位置決めマーク(アライメントマーク)9が設けられている。当該位置決めマークは、第1の共通配線3のネガ形状である。即ち、第1の共通配線3において、配線がない領域(開口)の形状により位置決めマーク9が形成されている。位置決めマーク9は、例えば、分断線を挟むようにして設けられる。位置決めマーク9は、第1の共通配線3上に絶縁膜を塗布し露光現像等を行うことにより形成される。
In this example, a division positioning mark (alignment mark) 9 is provided on the first
有機EL素子形成工程が終了すると、ガラス基板8上に形成された複数の単純マトリクス型の有機EL表示素子におけるそれぞれの陽極配線1がガラス基板8上で陽極用接続配線5を介して第1の共通配線3に電気的に接続され、複数の有機EL表示素子におけるそれぞれの陰極配線2がガラス基板8上で陰極用接続配線6を介して第2の共通配線4に電気的に接続された構造を有する有機EL表示装置用基板が形成される。
When the organic EL element forming step is completed, each
封止工程では、有機EL素子形成工程でガラス基板8上に形成された有機EL層を水分から守るために、第2の基板としての他のガラス基板1枚を、ガラス基板8に対して対向配置し、間隙材としての周辺シール材によって双方のガラス基板を接合する。そして、2枚のガラス基板と周辺シール材とによって形成された封止空間の内部に乾燥窒素ガスを封入する。
In the sealing step, another glass substrate as the second substrate is opposed to the
次いで、分断工程の前にエージング工程を実施する。エージング工程において実行されるエージング処理では、陽極配線1および陰極配線2にエージングのための通電処理を行うために、第1の共通配線3および第2の共通配線4にエージング用の電圧印加装置を接続する。そして、エージング工程では、複数の有機EL表示素子が形成されているガラス基板8の周囲温度を室温以上、好ましくは80℃以上の高温に設定して通電処理を行う。高温で通電処理を行うことによって、短い時間で所望の輝度低下をさせることができる。通電処理を行う際の温度は、有機EL表示素子が変質しない範囲で、できるだけ高い温度にすることが好ましい。高温にしても、円偏光板などの光学フイルムを貼り付ける光学フイルム貼付工程より前の工程での処理であるから、光学フイルムに熱による悪影響を与えることはない。
Next, an aging process is performed before the dividing process. In the aging process executed in the aging process, an aging voltage application device is applied to the first
また、より短い時間で所望の輝度低下をさせるために、エージング工程での各画素の輝度が、有機EL表示装置として定格の表示動作をしているときの輝度よりも高くなるように通電の条件を設定する。例えば、有機EL表示装置としての輝度仕様が200cd/m2であれば、400cd/m2で発光するように通電する。有機EL表示装置としての輝度仕様に対して2倍の高輝度で発光させることによって、有機EL表示装置としての輝度仕様でエージングを行う場合に比べて、約半分の時間でエージング工程が完了する。 Further, in order to reduce the desired luminance in a shorter time, the energization conditions are set so that the luminance of each pixel in the aging process is higher than the luminance when the rated display operation is performed as the organic EL display device. Set. For example, luminance level of the organic EL display device as long as 200 cd / m 2, is energized to emit light at 400 cd / m 2. By emitting light with a luminance twice as high as the luminance specification as the organic EL display device, the aging process is completed in about half the time compared to when aging is performed with the luminance specification as the organic EL display device.
さらに、エージング工程では、陽極配線1および陰極配線2に対して常時通電するスタティック駆動(1/1デューティ)を行う。この際に、電流密度を、有機EL表示装置として稼働しているときの電流密度よりも高くする必要はない。例えば、1/50デューティでマルチプレクス駆動する有機EL表示装置の電流密度が300mA/cm2であっても、エージングではスタティック駆動で12mA/cm2あれば、時間平均の輝度は2倍になるからである。エージング工程により、陽極配線1と陰極配線2が短絡した欠陥部を、破壊し除去する。
Further, in the aging process, static driving (1/1 duty) is performed in which the
エージング工程が終了すると、分断工程を実施する。分断工程では、表示領域7を囲むように分断線を設定する。図5において、A1−A1’及びA2−A2’が表示面側基板の分断線であり、B1−B1’が背面側基板の分断線である。分断線A1−A1’、A2−A2’、B1−B1’は、それぞれ陽極接続配線5及び陰極接続配線6と交差し、それぞれの配線を分断するように配置されている。
When the aging process is completed, a dividing process is performed. In the dividing step, a dividing line is set so as to surround the
図において、C1−C1’及びC2−C2’は、表示面側基板及び背面側基板の共通の分断線である。図5に示されるように分断線C1−C1’、分断線C2−C2’は、第1の共通配線3上に配置される。
In the figure, C1-C1 'and C2-C2' are common dividing lines of the display surface side substrate and the back surface side substrate. As shown in FIG. 5, the dividing line C <b> 1-C <b> 1 ′ and the dividing line C <b> 2-C <b> 2 ′ are arranged on the first
この分断線に沿って、ガラス基板8を分断して複数の有機EL表示素子に分離する。すなわち、それぞれの陽極配線1とそれぞれの陰極配線2とを、第1の共通配線3および第2の共通配線4から分離する。分断工程後の有機EL表示素子には、第1の共通配線3及び第2の共通配線4が残存する。このように分断線を配置することにより、不要領域の発生を抑制でき、面積効率を高めることが可能となる。また、分断線C1−C1’及びC2−C2’を第1の共通配線3と第2の共通配線4との間に配設し、位置決めマーク9を第1の共通配線3、第2の共通配線4上にそれぞれ形成してもよい。
Along the dividing line, the
次いで、光学フイルム貼付工程で、反射防止のために円偏光板などの光学フイルムを有機EL表示素子に貼り付ける。そして、実装工程で、駆動回路などの周辺回路を各有機EL表示素子に実装して有機EL表示装置を得る。 Next, in the optical film attaching step, an optical film such as a circularly polarizing plate is attached to the organic EL display element to prevent reflection. Then, in the mounting process, peripheral circuits such as a drive circuit are mounted on each organic EL display element to obtain an organic EL display device.
以上に説明したように、本実施の形態では、エージング工程において、複数の有機EL表示素子に一括して通電することができる。その結果、エージング処理を実行する際の作業の労力が削減される。また、エージング工程が光学フイルム貼付工程の前に実施されるので、エージング処理を高温の環境下で実施することができる。 As described above, in the present embodiment, a plurality of organic EL display elements can be energized at once in the aging process. As a result, the labor for performing the aging process is reduced. Moreover, since an aging process is implemented before an optical film sticking process, an aging process can be implemented in a high temperature environment.
なお、本実施の形態では、有機EL素子形成工程において、ガラス基板8上に透明導電膜のITOが成膜され、ITOをエッチングして陽極配線1と、陽極用接続部材としての陽極接続配線5および陰極用接続部材としての陰極接続配線6とが形成される。次いで、金属膜を成膜し、金属膜をエッチングして陽極用共通配線としての第1の共通配線3および陰極用共通配線としての第2の共通配線4とが形成される。さらに、有機EL層が積層され、最後に、金属の陰極配線2が形成される。陽極用共通配線および陰極用共通配線として金属が用いられ、陽極用接続部材および陰極用接続部材として透明導電膜が用いられているのであるが、陽極用接続部材および陰極用接続部材を、陽極配線1が形成されるときに同時に形成することができる。また、有機EL層が積層される前に、陽極用共通配線および陰極用共通配線を同時に形成することができる。
In the present embodiment, in the organic EL element forming step, ITO of a transparent conductive film is formed on the
第1の共通配線3および第2の共通配線4は、例えば、配線幅が200μm以上であると、低抵抗が得られ好ましい。また、ガラス基板8上の占有面積(切り落とされる部分における占有面積および周辺シール材が設置される部分における占有面積)等を考慮すると3mm以下であることが好ましい。第1の共通配線3および第2の共通配線4は、低抵抗とするため、モリブデン、銀、銅、アルミニウム、クロム等の金属により構成される。
For example, the first
1 陽極配線
2 陰極配線
3 第1の共通配線
4 第2の共通配線
5 陽極接続配線
6 陰極接続配線
7 表示領域
8 ガラス基板
9 位置決めマーク
DESCRIPTION OF
Claims (7)
前記陽極用共通配線及び/又は前記陰極用共通配線に、複数の有機EL表示素子を分断するための位置決めマークを形成した有機EL表示素子用基板。 A plurality of organic EL display elements each having an anode wiring, an organic EL layer, and a cathode wiring; an anode common wiring connected via the anode wiring and the anode connection wiring in the plurality of organic EL display elements; A substrate for an organic EL display element in which a cathode wiring in an organic EL display element and a cathode common wiring connected via a cathode connection wiring are formed,
A substrate for organic EL display elements, wherein a positioning mark for dividing a plurality of organic EL display elements is formed on the common wiring for anode and / or the common wiring for cathode.
複数の前記有機EL表示素子における陽極配線と接続された陽極用接続配線と、当該陽極用接続配線と接続された陽極用共通配線と、複数の前記有機EL表示素子における陰極配線と接続された陰極用接続配線と、当該陰極用接続配線と接続された陰極用共通配線とを形成するステップと、
前記陽極用共通配線及び前記陰極用接続配線に対してエージングのための電圧を印加するステップと、
電圧印加後に個々の有機EL表示素子を分離するために、前記陽極用共通配線及び前記陰極用共通配線の全部又は一部が当該有機EL表示素子内に残存するように分断するステップとを備えた有機EL表示素子の製造方法。 Forming a plurality of organic EL display elements having an anode wiring, an organic EL layer, and a cathode wiring on a substrate;
The anode connection wiring connected to the anode wiring in the plurality of organic EL display elements, the anode common wiring connected to the anode connection wiring, and the cathode connected to the cathode wiring in the plurality of organic EL display elements Forming a connection wiring for the cathode and a common wiring for the cathode connected to the connection wiring for the cathode;
Applying a voltage for aging to the common wiring for anode and the connecting wiring for cathode; and
In order to separate the individual organic EL display elements after voltage application, a step of dividing so that all or part of the common wiring for anode and the common wiring for cathode remains in the organic EL display element is provided. Manufacturing method of organic EL display element.
複数の前記有機EL表示素子における陽極配線と接続された陽極用接続配線と、当該陽極用接続配線と接続され、分断の位置決めマークが形成された陽極用共通配線と、複数の前記有機EL表示素子における陰極配線と接続された陰極用接続配線と、当該陰極用接続配線と接続された陰極用共通配線とを形成するステップと、
前記陽極用共通配線及び前記陰極用接続配線に対してエージングのための電圧を印加するステップと、
電圧印加後に前記有機EL表示素子を少なくとも前記位置決めマークに基づいて分断するステップとを備えた有機EL表示素子の製造方法。 Forming a plurality of organic EL display elements having an anode wiring, an organic EL layer, and a cathode wiring on a substrate;
The anode connection wiring connected to the anode wiring in the plurality of organic EL display elements, the anode common wiring connected to the anode connection wiring and formed with a dividing positioning mark, and the plurality of the organic EL display elements Forming a cathode connection wiring connected to the cathode wiring and a cathode common wiring connected to the cathode connection wiring;
Applying a voltage for aging to the common wiring for anode and the connecting wiring for cathode; and
And a step of dividing the organic EL display element based on at least the positioning mark after voltage application.
複数の前記有機EL表示素子における陽極配線と接続された陽極用接続配線と、当該陽極用接続配線と接続され、分断のための第1の位置決めマークが形成された陽極用共通配線と、複数の前記有機EL表示素子における陰極配線と接続された陰極用接続配線と、当該陰極用接続配線と接続され、分断のための第2の位置決めマークが形成された陰極用共通配線とを形成するステップと、
前記陽極用共通配線及び前記陰極用接続配線に対してエージングのための電圧を印加するステップと、
電圧印加後に前記有機EL表示素子を前記第1の位置決めマーク及び前記第2の位置決めマークに基づいて分断するステップとを備えた有機EL表示素子の製造方法。
Forming a plurality of organic EL display elements having an anode wiring, an organic EL layer, and a cathode wiring on a substrate;
An anode connection wiring connected to the anode wiring in the plurality of organic EL display elements; an anode common wiring connected to the anode connection wiring and having a first positioning mark for separation; Forming a cathode connection wiring connected to the cathode wiring in the organic EL display element, and a cathode common wiring connected to the cathode connection wiring and having a second positioning mark for separation; ,
Applying a voltage for aging to the common wiring for anode and the connecting wiring for cathode; and
And a step of dividing the organic EL display element based on the first positioning mark and the second positioning mark after voltage application.
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---|---|---|---|---|
JP2011003778A (en) * | 2009-06-19 | 2011-01-06 | Panasonic Liquid Crystal Display Co Ltd | Thin film transistor substrate and method of manufacturing thin film transistor substrate |
Citations (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH04294329A (en) * | 1991-03-22 | 1992-10-19 | G T C:Kk | Liquid crystal display device |
JPH063686A (en) * | 1992-06-18 | 1994-01-14 | Alps Electric Co Ltd | Liquid crystal display device |
JPH0620774A (en) * | 1992-06-30 | 1994-01-28 | Sharp Corp | El panel electrifying device |
JPH0660984A (en) * | 1992-08-06 | 1994-03-04 | Sharp Corp | Electrode structure of thin film electroluminescence element |
JP2001345185A (en) * | 2000-03-27 | 2001-12-14 | Semiconductor Energy Lab Co Ltd | Light emitting device and method of manufacture |
JP2003332063A (en) * | 2002-05-09 | 2003-11-21 | Lg Electronics Inc | Organic el module |
JP2004047222A (en) * | 2002-07-10 | 2004-02-12 | Tdk Corp | Flat panel display and its manufacturing method |
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2004
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Patent Citations (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH04294329A (en) * | 1991-03-22 | 1992-10-19 | G T C:Kk | Liquid crystal display device |
JPH063686A (en) * | 1992-06-18 | 1994-01-14 | Alps Electric Co Ltd | Liquid crystal display device |
JPH0620774A (en) * | 1992-06-30 | 1994-01-28 | Sharp Corp | El panel electrifying device |
JPH0660984A (en) * | 1992-08-06 | 1994-03-04 | Sharp Corp | Electrode structure of thin film electroluminescence element |
JP2001345185A (en) * | 2000-03-27 | 2001-12-14 | Semiconductor Energy Lab Co Ltd | Light emitting device and method of manufacture |
JP2003332063A (en) * | 2002-05-09 | 2003-11-21 | Lg Electronics Inc | Organic el module |
JP2004047222A (en) * | 2002-07-10 | 2004-02-12 | Tdk Corp | Flat panel display and its manufacturing method |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2011003778A (en) * | 2009-06-19 | 2011-01-06 | Panasonic Liquid Crystal Display Co Ltd | Thin film transistor substrate and method of manufacturing thin film transistor substrate |
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