JP2005242310A - Liquid crystal display device and method of fabricating same - Google Patents

Liquid crystal display device and method of fabricating same Download PDF

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Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a liquid crystal display device whose defects are improved by providing column spacers at different parts of a step of a TFT substrate, and a fabricating method therefor. <P>SOLUTION: The liquid crystal display includes a first substrate having first and second regions thereon, the first region having a step coverage higher than a step coverage of the second region, a second substrate bonded to the first substrate, the second substrate having a first column spacer corresponding to the first region of the first substrate and a second column spacer corresponding to the second region of the first substrate, and a liquid crystal layer formed between the first and second substrates. <P>COPYRIGHT: (C)2005,JPO&NCIPI

Description

本発明は、液晶表示装置に関し、特にTFT基板の段差の異なる部分にカラムスペーサーを備えて不良を改善した液晶表示装置及びその製造方法に関する。 The present invention relates to a liquid crystal display device, and more particularly to a liquid crystal display device in which defects are improved by providing column spacers at different portions of a TFT substrate and a method for manufacturing the same.

情報化社会の発達と共に、表示装置に対する要求も多様な形態で求められており、これに応じて最近、LCD(Liquid Crystal Display Device)、PDP(Plasma Display Panel)、ELD(Electro Luminescent Display)、VFD(Vacuum Fluorescent Display)など様々な平板表示装置が研究され、一部は、既に各種装備の表示装置に活用されている。 With the development of the information society, demands for display devices are also demanded in various forms. Recently, LCD (Liquid Crystal Display Device), PDP (Plasma Display Panel), ELD (Electro Luminescent Display), VF Various flat panel display devices such as (Vacuum Fluorescent Display) have been studied, and some of them have already been utilized in various types of display devices.

その中で、現在、画質が優れており、軽量薄型、低消費電力の特徴及び長所を有することから、移動型画像表示装置の用途でCRT(Cathode Ray Tube)に替わってLCDが最も多用されており、ノ−トブックコンピューターのモニターのような移動型の用途以外にも、放送信号を受信してディスプレイするテレビ及びコンピューターのモニターなどで多様に開発されている。 Among them, at present, LCDs are used most frequently in place of CRT (Cathode Ray Tube) in applications of mobile image display devices because of their excellent image quality, light weight and thinness, and low power consumption. In addition to mobile applications such as notebook computer monitors, various developments have been made in televisions and computer monitors that receive and display broadcast signals.

このような液晶表示装置が一般の画面表示装置として多様な所で使用されるには、軽量薄型、低消費電力の特長を維持しながらも、大型画面において高精細、高輝度を有する高品質な画像をどれだけ実現できるかにかかっているといっても過言ではない。 In order to use such a liquid crystal display device in various places as a general screen display device, while maintaining the features of light weight, thinness, and low power consumption, it has high quality with high definition and high brightness on a large screen. It is no exaggeration to say that it depends on how much the image can be realized.

以下、添付した図面を参照して、従来の液晶表示装置及び液晶表示装置のセルギャップを維持するスペーサーについて説明する。 Hereinafter, a conventional liquid crystal display device and a spacer for maintaining a cell gap of the liquid crystal display device will be described with reference to the accompanying drawings.

図1は、一般的な液晶表示装置を示す拡大斜視図である。 液晶表示装置は、図1に示したように、一定の空間を有して貼り合せられた第1基板1及び第2基板2と、前記第1基板1及び第2基板2の間に注入された液晶層3とで構成されている。 FIG. 1 is an enlarged perspective view showing a general liquid crystal display device. As shown in FIG. 1, the liquid crystal display device is injected between the first substrate 1 and the second substrate 2 bonded together with a certain space, and the first substrate 1 and the second substrate 2. And the liquid crystal layer 3.

より具体的に説明すると、前記第1基板1には、画素領域Pを定義するために、一定の間隔を有して一方向に複数個のゲートライン4と、前記ゲートライン4と垂直方向に一定の間隔を有して複数個のデータライン5とが配列されている。そして、前記各画素領域Pには画素電極6が形成され、前記各ゲートライン4と各データライン5が交差する部分に薄膜トランジスターTが形成され、前記薄膜トランジスターが前記ゲートラインの信号に従って前記データラインのデータ信号を前記各画素電極に印加する。 More specifically, in order to define the pixel region P, the first substrate 1 includes a plurality of gate lines 4 in one direction at a predetermined interval and a direction perpendicular to the gate lines 4. A plurality of data lines 5 are arranged at regular intervals. A pixel electrode 6 is formed in each pixel region P, and a thin film transistor T is formed at a portion where each gate line 4 and each data line 5 intersect, and the thin film transistor receives the data according to the signal of the gate line. A line data signal is applied to each pixel electrode.

そして、前記第2基板2には前記画素領域Pを除いた部分の光を遮断するためのブラックマトリックス層7が形成され、前記各画素領域に対応する部分には色相を表現するためのR、G、Bカラーフィルター層8が形成され、前記カラーフィルター層8上には画像を具現するための共通電極9が形成されている。 A black matrix layer 7 is formed on the second substrate 2 to block light except for the pixel region P, and R for expressing a hue in a portion corresponding to each pixel region. G and B color filter layers 8 are formed, and a common electrode 9 for forming an image is formed on the color filter layer 8.

上記のような液晶表示装置は、前記画素電極6と共通電極9の間の電界によって、前記第1基板1と第2基板2との間に形成された液晶層3が配向され、前記液晶層3の配向程度によって液晶層3を透過する光の量を調節して画像を表現できる。 In the liquid crystal display device as described above, the liquid crystal layer 3 formed between the first substrate 1 and the second substrate 2 is aligned by the electric field between the pixel electrode 6 and the common electrode 9, and the liquid crystal layer An image can be expressed by adjusting the amount of light transmitted through the liquid crystal layer 3 according to the degree of orientation of 3.

このような液晶表示装置をTNモード液晶表示装置と言い、前記TNモード液晶表示装置は、視野角が狭いという短所を有しており、このようなTNモードの短所を克服するためにIPS(in-plane switching)モード液晶表示装置が開発された。 Such a liquid crystal display device is called a TN mode liquid crystal display device, and the TN mode liquid crystal display device has a disadvantage that the viewing angle is narrow. In order to overcome such a disadvantage of the TN mode, an IPS (in. -plane switching) mode liquid crystal display device was developed.

前記IPSモード液晶表示装置は、第1基板の画素領域に画素電極と共通電極を一定の距離を有して互いに平行に形成し、前記画素電極と共通電極との間で基板と平行に電界が発生するようにし、この電界によって液晶層が配向されるようにしたものである。 In the IPS mode liquid crystal display device, a pixel electrode and a common electrode are formed in parallel to each other at a certain distance in a pixel region of a first substrate, and an electric field is parallel to the substrate between the pixel electrode and the common electrode. The liquid crystal layer is aligned by this electric field.

以下、従来のIPSモードの液晶表示装置の製造方法について説明する。 Hereinafter, a method of manufacturing a conventional IPS mode liquid crystal display device will be described.

一般的な液晶表示装置の製造方法は、第1基板と第2基板との間に液晶層を形成する方法による液晶注入方式製造方法と、液晶滴下方式製造方法とに区分できる。 まず、液晶注入方式の液晶表示装置の製造方法は次の通りである。 A general method for manufacturing a liquid crystal display device can be classified into a liquid crystal injection method manufacturing method by a method of forming a liquid crystal layer between a first substrate and a second substrate, and a liquid crystal dropping method manufacturing method. First, a method for manufacturing a liquid crystal injection type liquid crystal display device is as follows.

図2は一般的な液晶注入方式の液晶表示装置の製造方法を示したフローチャートである。 液晶表示装置は、大きく、アレイ工程、セル工程、モジュール工程などに区分される。 アレイ工程は、前述したように、前記TFT基板に互いに垂直となる方向に形成されたゲートライン及びデータラインと、前記ゲートラインに平行に形成された共通ラインと、前記ゲートラインとデータラインが交差する部分に形成された薄膜トランジスターと、前記共通ラインから画素領域に延長される共通電極と、前記薄膜トランジスターのドレイン電極に連結され、前記共通電極の間に前記共通電極と平行に形成された画素電極などを備えているTFTアレイを形成し、カラーフィルター基板にブラックマトリックス層、カラーフィルター層、及びオーバーコート層などを備えたカラーフィルターアレイを形成する工程である。 FIG. 2 is a flowchart showing a method of manufacturing a general liquid crystal injection type liquid crystal display device. A liquid crystal display device is roughly classified into an array process, a cell process, a module process, and the like. As described above, in the array process, the gate line and the data line formed in the direction perpendicular to the TFT substrate, the common line formed in parallel to the gate line, and the gate line and the data line intersect. A thin film transistor formed in a portion, a common electrode extending from the common line to a pixel region, a drain electrode of the thin film transistor, and a pixel formed in parallel with the common electrode between the common electrodes This is a step of forming a TFT array including electrodes and forming a color filter array including a black matrix layer, a color filter layer, an overcoat layer, and the like on a color filter substrate.

この時、前記アレイ工程は、一つの基板に一つの液晶パネルを形成するのではなく、一つの大型ガラス基板に複数個の液晶パネルを設計して、各液晶パネル領域にそれぞれTFTアレイ、及びカラーフィルターアレイを形成する。このように、TFTアレイが形成されたTFT基板と、カラーフィルターアレイが形成されたカラーフィルター基板とはセル工程ラインに移動する。 At this time, the array process does not form one liquid crystal panel on one substrate, but designs a plurality of liquid crystal panels on one large glass substrate, and a TFT array and a color in each liquid crystal panel region. A filter array is formed. As described above, the TFT substrate on which the TFT array is formed and the color filter substrate on which the color filter array is formed move to the cell process line.

次に、前記TFT基板とカラーフィルター基板上に配向物質を塗布し、液晶分子が均一な方向性を有するようにするための配向工程(ラビング工程)(S10)をそれぞれ進める。ここで、前記配向工程S10は、配向膜塗布前の洗浄、配向膜印刷、配向膜塑性、配向膜検査、ラビング工程の順に進められる。 Next, an alignment material is applied on the TFT substrate and the color filter substrate, and an alignment process (rubbing process) (S10) is performed to make liquid crystal molecules have a uniform direction. Here, the alignment process S10 is performed in the order of cleaning before alignment film application, alignment film printing, alignment film plasticity, alignment film inspection, and rubbing process.

次に、前記TFT基板及びカラーフィルター基板をそれぞれ洗浄(S20)する。そして、前記TFT基板又はカラーフィルター基板上にセルギャップを一定に維持するためのボールスペーサーを散布(30)し、前記各液晶パネル領域の外郭部に両基板を貼り合わせるためのシールパターンを形成する(S40)。この時、シールパターンは、液晶を注入するための液晶注入口パターンを有するように形成される。 Next, the TFT substrate and the color filter substrate are respectively cleaned (S20). Then, a ball spacer for maintaining a constant cell gap is sprayed on the TFT substrate or the color filter substrate (30), and a seal pattern for bonding both substrates to the outer portion of each liquid crystal panel region is formed. (S40). At this time, the seal pattern is formed to have a liquid crystal inlet pattern for injecting liquid crystal.

ここで、ボールスペーサーは、プラスチックボールや弾性体プラスチック微粒子で形成されたものである。前記シールパターンが間に位置するように、前記TFT基板とカラーフィルター基板とを向き合わせて両基板を貼り合わせ、前記シールパターンを硬化させる(S50)。その後、前記貼り合せ及び硬化されたTFT基板、及びカラーフィルター基板を各単位液晶パネル領域別に切断し、加工(S60)して、一定のサイズの単位液晶パネルを製作する。 Here, the ball spacer is formed of a plastic ball or elastic plastic fine particles. The TFT substrate and the color filter substrate are faced to each other so that the seal pattern is located between them, and the two substrates are bonded together, and the seal pattern is cured (S50). Thereafter, the bonded and cured TFT substrate and color filter substrate are cut for each unit liquid crystal panel region and processed (S60) to manufacture a unit liquid crystal panel of a certain size.

その後、それぞれの単位液晶パネルの液晶注入口を介して液晶を注入し、注入完了後に前記液晶注入口をシーリング(S70)して液晶層を形成する。そして、各単位液晶パネルの外観及び電気的な不良検査(S80)を進め、液晶表示装置を製作する。 Thereafter, liquid crystal is injected through the liquid crystal injection port of each unit liquid crystal panel, and after the injection is completed, the liquid crystal injection port is sealed (S70) to form a liquid crystal layer. Then, the appearance and electrical defect inspection (S80) of each unit liquid crystal panel is advanced to manufacture a liquid crystal display device.

ここで、前記液晶注入工程について簡略に説明する。まず、注入する液晶物質を入れてある容器と、液晶を注入する液晶パネルとをチャンバー内部に位置させ、前記チャンバーの圧力を真空状態に維持することで、液晶物質の中や容器の内側に付いている水分を除去し、気泡を脱泡すると同時に前記液晶パネルの内部空間を真空状態にする。 Here, the liquid crystal injection process will be briefly described. First, a container in which liquid crystal material to be injected is placed and a liquid crystal panel to inject liquid crystal are positioned inside the chamber, and the pressure in the chamber is maintained in a vacuum state so that the liquid crystal material is attached inside or inside the container. Moisture is removed and bubbles are removed, and at the same time, the internal space of the liquid crystal panel is evacuated.

そして、所望の真空状態で前記液晶パネルの液晶注入口を、液晶物質を入れてある容器に浸す、あるいは接触させた後に、前記チャンバー内部の圧力を真空状態から大気圧状態にし、前記液晶パネル内部の圧力と、チャンバーの圧力との差によって液晶注入口を介して液晶物質が前記液晶パネルの内部に注入されるようにする。 Then, after the liquid crystal inlet of the liquid crystal panel is immersed or brought into contact with a container containing a liquid crystal substance in a desired vacuum state, the pressure inside the chamber is changed from a vacuum state to an atmospheric pressure state, The liquid crystal material is injected into the liquid crystal panel through the liquid crystal injection port according to the difference between the pressure in the chamber and the pressure in the chamber.

しかしながら、かかる液晶注入方式の液晶表示装置の製造方法においては次のような問題点がある。 However, the manufacturing method of such a liquid crystal injection type liquid crystal display device has the following problems.

第一に、単位パネルにカッティングした後、両基板の間を真空状態に維持して液晶注入口を液晶液に浸して液晶を注入するため、液晶注入に多くの時間が必要とされ、生産性が低下する。 First, after cutting the unit panel, maintaining a vacuum between the two substrates and immersing the liquid crystal injection port in the liquid crystal solution to inject the liquid crystal requires a lot of time for liquid crystal injection, and productivity Decreases.

第二に、大面積の液晶表示装置を製造する場合、液晶注入式で液晶を注入すると、パネル内に液晶が完全に注入されず不良の原因となる。 Second, when manufacturing a large-area liquid crystal display device, if the liquid crystal is injected by the liquid crystal injection method, the liquid crystal is not completely injected into the panel, which causes a defect.

第三に、上記のように工程が複雑で、多くの時間を要するので、複数個の液晶注入装備が要求され、たくさんの空間が必要とされる。したがって、このような液晶注入方式の問題点を克服するために、両基板のうち一方の基板に液晶を滴下させた後、両基板を貼り合せる液晶滴下型液晶表示装置の製造方法が開発された。 Third, since the process is complicated and requires a lot of time as described above, a plurality of liquid crystal injection equipment is required and a lot of space is required. Therefore, in order to overcome such problems of the liquid crystal injection method, a method of manufacturing a liquid crystal dropping type liquid crystal display device in which liquid crystal is dropped on one of the two substrates and then bonded to each other has been developed. .

図3は、液晶滴下型液晶表示装置の製造方法を示したフローチャートである。即ち、液晶滴下方式の液晶表示装置の製造方法は、両基板を貼り合わせる前に両基板のうち何れか一方の基板に適当量の液晶を滴下した後、両基板を貼り合わせる方法である。従って、液晶注入方式と同様にセルギャップ維持のためにボールスペーサーを使用する場合は、滴下した液晶が広がる時に前記ボールスペーサーが液晶の拡散方向に移動して、スペーサーが一方に片寄るので、正確なセルギャップの維持が不可能となる。それゆえ、液晶滴下方式では、ボールスペーサーを使用せず、スペーサーが基板に固定される固定スペーサー(カラムスペーサー、又はパターンドスペーサー)を使用しなければならない。 FIG. 3 is a flowchart showing a manufacturing method of the liquid crystal dropping type liquid crystal display device. In other words, the liquid crystal dropping type liquid crystal display device manufacturing method is a method in which an appropriate amount of liquid crystal is dropped onto one of the two substrates before the two substrates are bonded together, and then the two substrates are bonded together. Therefore, when using a ball spacer to maintain the cell gap as in the liquid crystal injection method, the ball spacer moves in the liquid crystal diffusion direction when the dropped liquid crystal spreads, and the spacer is shifted to one side. It becomes impossible to maintain the cell gap. Therefore, in the liquid crystal dropping method, a ball spacer is not used, but a fixed spacer (column spacer or patterned spacer) in which the spacer is fixed to the substrate must be used.

即ち、図3に示したように、アレイ工程において、カラーフィルター基板にブラックマトリックス層、カラーフィルター層、及び共通電極を形成し、前記共通電極上に感光性樹脂を形成し、選択的に除去して前記ブラックマトリックス層上にカラムスペーサーを形成する。勿論、前記カラムスペーサーは、フォト工程、又はインクジェット工程によって形成できる。そして、前記カラムスペーサーを含むTFT基板、及びカラーフィルター基板の全面に配向膜を塗布し、その配向膜をラビング処理する。 That is, as shown in FIG. 3, in the array process, a black matrix layer, a color filter layer, and a common electrode are formed on a color filter substrate, a photosensitive resin is formed on the common electrode, and selectively removed. A column spacer is formed on the black matrix layer. Of course, the column spacer can be formed by a photo process or an inkjet process. Then, an alignment film is applied to the entire surface of the TFT substrate including the column spacer and the color filter substrate, and the alignment film is rubbed.

このように、配向工程が完了したTFT基板と、カラーフィルター基板をそれぞれ洗浄(S101)した後、前記TFT基板とカラーフィルター基板のうち一方の基板上の一定の領域に液晶を滴下し(S102)、他方の基板の各液晶パネル領域の外郭部にディスペンシング装置を用いてシールパターンを形成する(S103)。この時、前記両基板のうち一方の基板に液晶を滴下し、且つシールパターンをも形成しても良い。 As described above, after the alignment process is completed and the TFT substrate and the color filter substrate are respectively cleaned (S101), the liquid crystal is dropped onto a certain region on one of the TFT substrate and the color filter substrate (S102). Then, a seal pattern is formed on the outer portion of each liquid crystal panel region of the other substrate using a dispensing device (S103). At this time, liquid crystal may be dropped on one of the two substrates and a seal pattern may be formed.

そして、前記液晶が滴下されていない基板を反転(裏返して向き合うようにする)し(S104)、前記TFT基板とカラーフィルター基板とを押圧して貼り合せ、前記シールパターンを硬化させる(S105)。 Then, the substrate on which the liquid crystal is not dropped is reversed (turned over so as to face each other) (S104), the TFT substrate and the color filter substrate are pressed and bonded together, and the seal pattern is cured (S105).

次に、単位液晶パネル別に前記
した貼り合せ基板を切断及び加工する(S106)。そして、前記加工された単位液晶パネルの外観及び電気的な不良検査(S107)を進めることで、液晶表示素子を製作する。
Next, the bonded substrate described above is cut and processed for each unit liquid crystal panel (S106). Then, by proceeding with the appearance and electrical defect inspection (S107) of the processed unit liquid crystal panel, a liquid crystal display element is manufactured.

かかる液晶滴下方式の製造方法においては、カラーフィルター基板上にカラムスペーサーを形成し、TFT基板に液晶を滴下して両基板を貼り合せてパネルを形成する。この際、前記カラムスペーサーは、カラーフィルター基板に固定されており、TFT基板と接触する。そして、前記TFT基板と接触する部位は、ゲートライン又はデータラインの何れか一方の単一配線に対応して、カラーフィルター基板上で一定の高さを与えて形成される。 In such a liquid crystal dropping method, a column spacer is formed on a color filter substrate, a liquid crystal is dropped on the TFT substrate, and the two substrates are bonded to form a panel. At this time, the column spacer is fixed to the color filter substrate and is in contact with the TFT substrate. The portion in contact with the TFT substrate is formed with a certain height on the color filter substrate corresponding to either the single wiring of the gate line or the data line.

しかしながら、以下ではこのような液晶滴下方式で形成された液晶表示素子のカラムスペーサーと、貼り合せ時に前記カラムスペーサーによってパネルに生じる問題点を考察してみる。 However, in the following, the column spacer of the liquid crystal display element formed by such a liquid crystal dropping method and the problems caused on the panel by the column spacer at the time of bonding will be considered.

第一に、従来の液晶滴下方式で形成された液晶表示装置の場合、カラムスペーサーは、ゲートライン又はデータラインに対応してカラーフィルター基板に形成される。この場合、カラムスペーサーは、段差のない単一の配線領域(ゲートライン又はデータライン)に同一の高さに形成する。 First, in the case of a liquid crystal display device formed by a conventional liquid crystal dropping method, the column spacer is formed on the color filter substrate corresponding to the gate line or the data line. In this case, the column spacers are formed at the same height in a single wiring region (gate line or data line) having no step.

従来の液晶表示装置の場合、同一の高さに該当するTFT基板に対応してカラムスペーサーが貼り合せられた時、カラムスペーサーが両基板間を支持する支持力が低いため重力不良を引き起こした。一般的に、液晶表示装置を高温状態に放置し続けると、液晶が高温で膨張する性質によって膨らむ現象が発生する。特に、パネルを立てていた場合には、このような現象は、地面に近いパネルの角側でより深刻化する。このような現象を重力不良という。 In the case of the conventional liquid crystal display device, when the column spacer is bonded to the TFT substrate corresponding to the same height, the column spacer has a low supporting force to support the two substrates, thereby causing a gravity defect. Generally, when a liquid crystal display device is left in a high temperature state, a phenomenon that the liquid crystal swells due to the property of expanding at a high temperature occurs. In particular, when the panel is erected, such a phenomenon becomes more serious on the corner side of the panel close to the ground. This phenomenon is called poor gravity.

図4Aは、カラムスペーサーが形成されたカラーフィルター基板を示す構造断面図である。図4Bは、TFT基板とカラーフィルター基板との貼り合せ時の形状を示す構造断面図である。 FIG. 4A is a structural cross-sectional view showing a color filter substrate on which column spacers are formed. FIG. 4B is a structural cross-sectional view showing the shape when the TFT substrate and the color filter substrate are bonded together.

図4Aに示したように、複数個のカラムスペーサー20がそれぞれ所定の間隔で離隔して前記カラーフィルター基板2のブラックマトリックス層(図示せず)領域上に対応して形成される。この場合、前記それぞれのカラムスペーサー20は、hの高さに形成される。このように、カラムスペーサー20が形成されたカラーフィルター基板2を図4Bに示したようにTFT基板1と貼り合せると、加圧時の圧力で前記カラムスペーサー20は、セルギャップを表す高さh´で収縮する。 As shown in FIG. 4A, a plurality of column spacers 20 are formed on the black matrix layer (not shown) region of the color filter substrate 2 at a predetermined interval. In this case, each of the column spacers 20 is formed at a height of h. As described above, when the color filter substrate 2 on which the column spacer 20 is formed is bonded to the TFT substrate 1 as shown in FIG. 4B, the column spacer 20 has a height h representing the cell gap by the pressure applied. Shrink with ´.

図4A及び図4Bに示したように、貼り合せ後に前記パネル10内の前記カラムスペーサー20は、セルギャップh´の高さに収縮するが、このように、実際カラムスペーサーの形成高さhと、セルギャップh´との差に当たる厚さ(h−h´)だけ、カラムスペーサー20は、高温時の液晶の膨張力に比べてTFT基板1とカラーフィルター基板2の支持力を有する。ここで、実際のカラムスペーサーの形成高さhと、セルギャップh´との差に該当する厚さ(h−h´)は、重力マージンを意味する。 As shown in FIGS. 4A and 4B, the column spacer 20 in the panel 10 contracts to the height of the cell gap h ′ after bonding, and thus the actual column spacer formation height h and The column spacer 20 has a supporting force for the TFT substrate 1 and the color filter substrate 2 as compared with the expansion force of the liquid crystal at a high temperature by a thickness (h−h ′) corresponding to the difference from the cell gap h ′. Here, the thickness (h−h ′) corresponding to the difference between the actual column spacer formation height h and the cell gap h ′ means a gravity margin.

従来の液晶表示装置の場合、このような同一の段差に対応する単一の配線領域にカラムスペーサーが形成され、前記厚さ(h−h´)が約0.1μm〜0.15μm以内に限定され、重量マージンが非常に低く又、パターニングで形成されるカラムスペーサー間の高さの差のため全体パネルで領域別重力不良の不均一も観察された。 In the case of a conventional liquid crystal display device, a column spacer is formed in a single wiring region corresponding to the same step, and the thickness (hh ′) is limited to about 0.1 μm to 0.15 μm. In addition, the weight margin was very low, and due to the difference in height between the column spacers formed by patterning, nonuniformity of the gravity defect in each region was observed in the entire panel.

第二に、カラムスペーサーは、一方の基板には固定され、他方の基板と接触する面が球状でないため、前記ボールスペーサーに比べて基板に接触する面積が広く、基板との摩擦力が大きい。従って、カラムスペーサーが形成された液晶表示装置の画面を擦る場合、長時間染みが発生する。 Second, since the column spacer is fixed to one substrate and the surface in contact with the other substrate is not spherical, the area contacting the substrate is larger than that of the ball spacer, and the frictional force with the substrate is large. Therefore, when the screen of the liquid crystal display device on which the column spacer is formed is rubbed, a long-time stain occurs.

図5A及び図5Bは、タッチスポットが生じる部位の状態を示した平面図及び断面図である。図5Aに示したように、液晶パネル10を所定の方向に指でタッチした状態でずらすと、図5Bに示したように、液晶パネル10の上部基板2は、指のずれた方向に所定の間隔でシフトする。この時、円柱状のカラムスペーサー20が上下部の基板1、2に触れ、その接触面積が大きくなるため、カラムスペーサー20と対向基板(下部基板1)との間に発生する摩擦力が大きい。よって、カラムスペーサー20の間の液晶3は、元の状態に戻り難くそのまま残っているため、不透明に見える染みが継続的に観察される。 5A and 5B are a plan view and a cross-sectional view showing a state where a touch spot is generated. As shown in FIG. 5A, when the liquid crystal panel 10 is shifted while being touched with a finger in a predetermined direction, as shown in FIG. 5B, the upper substrate 2 of the liquid crystal panel 10 has a predetermined direction in the direction in which the finger is displaced. Shift at intervals. At this time, since the columnar column spacer 20 touches the upper and lower substrates 1 and 2 and the contact area increases, the frictional force generated between the column spacer 20 and the counter substrate (lower substrate 1) is large. Therefore, since the liquid crystal 3 between the column spacers 20 is not easily returned to the original state and remains as it is, a stain that looks opaque is continuously observed.

また、所定の方向に指がタッチされた時、図5Bに示したように、最後の接触部位に液晶3が集まり、その部位が膨らむような形状となる。この場合、前記液晶が集まり、膨らんでいる部位は、カラムスペーサー20の高さに定義される他の部位のセルギャップ(h2)よりセルギャップ(h1)が高くなり、液晶3の配列が不均一となるので光の漏れが生じる。 Further, when the finger is touched in a predetermined direction, as shown in FIG. 5B, the liquid crystal 3 gathers at the last contact portion, and the portion swells. In this case, the portion where the liquid crystal gathers and expands has a cell gap (h1) higher than the cell gap (h2) of the other portion defined by the height of the column spacer 20, and the alignment of the liquid crystal 3 is not uniform. Therefore, light leakage occurs.

また、パネル10面上に指がずれながらタッチされた部位では液晶が散らばるため、その部位に液晶が残らず、ブラック状態で薄っすらとした染みが生じるので、このような染みは、パネル面の輝度が落ちる要因となる。 In addition, since the liquid crystal is scattered at the part touched while the finger is displaced on the panel 10 surface, the liquid crystal does not remain in the part and a thin stain occurs in the black state. This is a factor that decreases the brightness.

第三に、液晶注入方式に用いられるボールスペーサーは、多くの量が散布され、又球状になっており、パネルの所定の領域を押した時、該当部位のボールスペーサーが横に滑り、押圧に対する耐性があるに対し、カラムスペーサーは、画素領域を除いた部分に選択的に形成されるため、カラムスペーサーが形成されない部分を押した場合、基板の撓みが生じ易く、又押した部位のセルギャップが維持されずに崩れる現象である押圧不良も観察される。 Third, the ball spacer used in the liquid crystal injection method is scattered in a large amount and is spherical, and when a predetermined area of the panel is pressed, the ball spacer of the corresponding part slides sideways, Although the column spacer is selectively formed in the portion excluding the pixel area, the substrate is easily bent when the portion where the column spacer is not formed is pushed, and the cell gap of the pushed portion is also formed. A pressing failure, which is a phenomenon of breaking without being maintained, is also observed.

本発明は上記の問題点を解決するために案出されたもので、TFT基板の段差の異なる部分にそれぞれカラムスペーサーを具備して不良を改善した液晶表示装置及びその製造方法を提供することにその目的がある。 The present invention has been devised to solve the above-mentioned problems, and provides a liquid crystal display device in which column spacers are provided at different portions of a TFT substrate to improve defects and a method for manufacturing the same. There is that purpose.

上記目的を達成するための本発明に係る液晶表示装置は、相対的に段差の高い第1領域と相対的に段差の低い第2領域とを有する第1基板と、前記第1基板の前記第1領域に相応した部分に第1カラムスペーサーを備え、前記第2領域に相応する部分に第2カラムスペーサーを備えて前記第1基板と貼り合わされる第2基板と、前記第1基板と前記第2基板との間に形成された液晶層とを含んでなることを特徴とする。 In order to achieve the above object, a liquid crystal display device according to the present invention includes a first substrate having a first region having a relatively high step and a second region having a relatively low step, and the first substrate of the first substrate. The first substrate is provided in a portion corresponding to one region, the second substrate is provided in a portion corresponding to the second region, and the first substrate is bonded to the first substrate. And a liquid crystal layer formed between the two substrates.

前記第1カラムスペーサー及び第2カラムスペーサーの高さは、同一に形成される。 The first column spacer and the second column spacer have the same height.

前記第1カラムスペーサーは、前記第1基板上の対応する表面を押して前記液晶層のセルギャップを維持する。 The first column spacer presses a corresponding surface on the first substrate to maintain a cell gap of the liquid crystal layer.

前記第1カラムスペーサーの高さは、前記第1基板の前記第1領域と前記第2領域との高さの差分だけ収縮する。 The height of the first column spacer contracts by a difference in height between the first region and the second region of the first substrate.

前記第1カラムスペーサーが収縮する厚さは、2000Å乃至6000Åである。 The first column spacer contracts to a thickness of 2000 mm to 6000 mm.

前記第2カラムスペーサーは、前記第1基板に接触する。 The second column spacer contacts the first substrate.

前記第2カラムスペーサーは、前記第1基板と所定の間隔で離隔している。 The second column spacer is separated from the first substrate at a predetermined interval.

前記第2カラムスペーサーの第1高さは、前記第2基板に圧力が加えられる時に第2高さに減る。 The first height of the second column spacer decreases to a second height when pressure is applied to the second substrate.

前記第1基板上にはTFTアレイが形成され、前記第2基板上にはカラーフィルターアレイが形成される。 A TFT array is formed on the first substrate, and a color filter array is formed on the second substrate.

前記TFTアレイは、第1基板上に画素領域を定義し、互いに垂直に交差する複数個のゲートライン及びデータラインと、前記各ゲートライン及びデータラインの交差部に形成された複数個の薄膜トランジスターと、前記各画素領域内に交互に形成された複数個の共通電極及び画素電極とを含んでなる。 The TFT array defines a pixel region on a first substrate, and a plurality of gate lines and data lines intersecting each other vertically, and a plurality of thin film transistors formed at intersections of the gate lines and data lines. And a plurality of common electrodes and pixel electrodes alternately formed in each pixel region.

前記カラーフィルターアレイは、TFTアレイの金属配線及び薄膜トランジスターに対応する第2基板に形成されたブラックマトリックス層と、前記ブラックマトリックス層を含む前記第2基板上に形成されたカラーフィルター層と、前記カラーフィルター層の上部に形成されたオーバーコート層とを含んでなる。 The color filter array includes a black matrix layer formed on a second substrate corresponding to the metal wiring and thin film transistor of the TFT array, a color filter layer formed on the second substrate including the black matrix layer, And an overcoat layer formed on the color filter layer.

前記第1カラムスペーサーは、前記薄膜トランジスターのソース電極に対応して形成される。 The first column spacer is formed corresponding to the source electrode of the thin film transistor.

前記第1カラムスペーサーは、前記薄膜トランジスターのドレイン電極に対応して形成される。 The first column spacer is formed corresponding to the drain electrode of the thin film transistor.

前記第1カラムスペーサーは、前記薄膜トランジスターのゲート電極の上部に対応して形成される。 The first column spacer is formed corresponding to an upper portion of the gate electrode of the thin film transistor.

前記第1カラムスペーサーは、前記薄膜トランジスターと画素電極とのコンタクト領域に対応して形成される。 The first column spacer is formed corresponding to a contact region between the thin film transistor and the pixel electrode.

前記第1基板の背面全面にITO膜を更に含む。 An ITO film is further included on the entire back surface of the first substrate.

前記複数個のカラムスペーサーは、前記カラーフィルターアレイ上に形成される。 The plurality of column spacers are formed on the color filter array.

前記第1カラムスペーサー及び前記第2カラムスペーサーは、前記ブラックマトリック層上に形成される。 The first column spacer and the second column spacer are formed on the black matrix layer.

前記TFTアレイは、画素領域を定義し、互いに垂直に交差する複数個のゲートライン及びデータラインと、前記各ゲートライン及び前記各データラインの交差部に形成された複数個の薄膜トランジスターと、前記各画素領域内に形成された複数個の画素電極とを含んで構成される。 The TFT array defines a pixel region, and a plurality of gate lines and data lines that intersect perpendicularly to each other, a plurality of thin film transistors formed at intersections of the gate lines and the data lines, And a plurality of pixel electrodes formed in each pixel region.

前記カラーフィルターアレイは、前記TFTアレイの金属配線及び薄膜トランジスター形成部に対応して形成されたブラックマトリックス層と、前記ブラックマトリックス層を含む第2基板上に形成されたカラーフィルター層と、前記カラーフィルター層上に形成された共通電極とを含んで構成される。 The color filter array includes a black matrix layer formed corresponding to a metal wiring and a thin film transistor forming part of the TFT array, a color filter layer formed on a second substrate including the black matrix layer, and the color And a common electrode formed on the filter layer.

前記第1カラムスペーサーは、前記薄膜トランジスターのソース電極に対応して形成される。 The first column spacer is formed corresponding to the source electrode of the thin film transistor.

前記第1カラムスペーサーは、前記薄膜トランジスターのドレイン電極に対応して形成される。 The first column spacer is formed corresponding to the drain electrode of the thin film transistor.

前記第1カラムスペーサーは、前記薄膜トランジスターのゲート電極の上部に対応して形成される。 The first column spacer is formed corresponding to an upper portion of the gate electrode of the thin film transistor.

前記第1カラムスペーサーは、前記一つの薄膜トランジスターと前記一つの画素電極とのコンタクトする領域に対応して形成される。 The first column spacer is formed corresponding to a contact area between the one thin film transistor and the one pixel electrode.

前記第1カラムスペーサー及び前記第2カラムスペーサーは、前記ブラックマトリックス層形成部位に対応して形成される。 The first column spacer and the second column spacer are formed corresponding to the black matrix layer forming portion.

前記第1基板と前記第2基板の互いに対向する表面に形成される複数個の配向膜を更に含む。 The image forming apparatus further includes a plurality of alignment films formed on surfaces of the first substrate and the second substrate facing each other.

また、上記目的を達成するための本発明に係る液晶表示装置は、互いに対向する第1基板及び第2基板と、画素領域を定義するために前記第1基板上に互いに交差して形成される複数個のゲートライン及びデータラインと、前記各ゲートラインと前記各データラインの交差部に形成された複数個の薄膜トランジスターと、前記各画素領域に形成された複数個の画素電極及び共通電極と、前記一つの薄膜トランジスターに相応して前記第2基板上に形成される第1カラムスペーサーと、前記一つのゲートライン又は前記一つのデータラインに相応して前記第2基板上に形成される第2カラムスペーサーと、前記第1基板と前記第2基板との間に形成された液晶層とを含んでなることを特徴とする。 In order to achieve the above object, a liquid crystal display device according to the present invention is formed on a first substrate and a second substrate facing each other and on the first substrate to define a pixel region. A plurality of gate lines and data lines; a plurality of thin film transistors formed at intersections of the gate lines and the data lines; a plurality of pixel electrodes and a common electrode formed in each pixel region; A first column spacer formed on the second substrate corresponding to the one thin film transistor, and a first column spacer formed on the second substrate corresponding to the one gate line or the one data line. It comprises a two-column spacer and a liquid crystal layer formed between the first substrate and the second substrate.

前記第1カラムスペーサーの第1厚さは、前記第1基板に圧力が加えられると第2厚さに減り、前記第2カラムスペーサーは前記第1基板に接触する。 The first thickness of the first column spacer decreases to a second thickness when pressure is applied to the first substrate, and the second column spacer contacts the first substrate.

前記第1カラムスペーサー及び前記第2カラムスペーサーは、同一の高さに形成される。 The first column spacer and the second column spacer are formed at the same height.

また、上記目的を達成するための本発明に係る液晶表示装置は、互いに対向する第1基板及び第2基板と、画素領域を定義するために前記第1基板上に互いに交差して形成される複数個のゲートライン及びデータラインと、前記各ゲートラインと前記各データラインとの交差部に形成された複数個の薄膜トランジスターと、前記各画素領域に形成された複数個の画素電極と、前記一つの薄膜トランジスターに相応して前記第2基板上に形成される第1カラムスペーサーと、前記一つのゲートライン又は前記一つのデータラインに相応して前記第2基板上に形成される第2カラムスペーサーと、前記第1基板と前記第2基板との間に形成された液晶層とを含んでなることを特徴とする。 In order to achieve the above object, a liquid crystal display device according to the present invention is formed on a first substrate and a second substrate facing each other and on the first substrate to define a pixel region. A plurality of gate lines and data lines; a plurality of thin film transistors formed at intersections of the gate lines and the data lines; a plurality of pixel electrodes formed in the pixel regions; A first column spacer formed on the second substrate corresponding to one thin film transistor, and a second column formed on the second substrate corresponding to the one gate line or the one data line. It includes a spacer and a liquid crystal layer formed between the first substrate and the second substrate.

前記第1カラムスペーサーの第1厚さは、前記第1基板に圧
力が加えられると第2厚さに減り、前記第2カラムスペーサーは前記第1基板に接触する。
A first thickness of the first column spacer decreases to a second thickness when pressure is applied to the first substrate, and the second column spacer contacts the first substrate.

前記第1カラムスペーサー及び前記第2カラムスペーサーは、同一の高さに形成される。 The first column spacer and the second column spacer are formed at the same height.

また、上記目的を達成するための本発明に係る液晶表示装置は、互いに対向する第1基板及び第2基板と、画素領域を定義するために前記第1基板上に互いに交差して形成される複数個のゲートライン及びデータラインと、前記各ゲートラインと前記各データラインの交差部に形成された複数個の薄膜トランジスターと、前記各画素領域に形成された複数個の画素電極及び共通電極と、前記ゲートラインと前記データラインの交差部に相応して前記第2基板上に形成される第1カラムスペーサーと、前記ゲートラインと前記データラインの交差部を除いたゲートライン又はデータラインに相応して前記第2基板上に形成される第2カラムスペーサーと、前記第1基板と前記第2基板との間に形成された液晶層とを含んでなることを特徴とする。 In order to achieve the above object, a liquid crystal display device according to the present invention is formed on a first substrate and a second substrate facing each other and on the first substrate to define a pixel region. A plurality of gate lines and data lines; a plurality of thin film transistors formed at intersections of the gate lines and the data lines; a plurality of pixel electrodes and a common electrode formed in each pixel region; A first column spacer formed on the second substrate corresponding to an intersection of the gate line and the data line, and a gate line or a data line excluding the intersection of the gate line and the data line. And a second column spacer formed on the second substrate, and a liquid crystal layer formed between the first substrate and the second substrate.

前記第1カラムスペーサーの第1厚さは、前記第1基板に圧力が加えられると第2厚さに減り、前記第2カラムスペーサーは前記第1基板に接触する。 The first thickness of the first column spacer decreases to a second thickness when pressure is applied to the first substrate, and the second column spacer contacts the first substrate.

前記第1カラムスペーサー及び前記第2カラムスペーサーは、同一の高さに形成される。 The first column spacer and the second column spacer are formed at the same height.

また、上記目的を達成するための本発明に係る液晶表示装置は、互いに対向する第1基板及び第2基板と、画素領域を定義するために前記第1基板上に互いに交差して形成される複数個のゲートライン及びデータラインと、前記各ゲートラインと前記各データラインの交差部に形成された複数個の薄膜トランジスターと、前記各画素領域に形成された複数個の画素電極と、前記ゲートラインと前記データラインの交差部に相応して前記第2基板上に形成される第1カラムスペーサーと、前記ゲートラインと前記データラインの交差部を除いたゲートライン又はデータラインに相応して前記第2基板上に形成される第2カラムスペーサーと、前記第1基板と前記第2基板との間に形成された液晶層とを含んでなることを特徴とする。 In order to achieve the above object, a liquid crystal display device according to the present invention is formed on a first substrate and a second substrate facing each other and on the first substrate to define a pixel region. A plurality of gate lines and data lines; a plurality of thin film transistors formed at intersections of the gate lines and the data lines; a plurality of pixel electrodes formed in the pixel regions; A first column spacer formed on the second substrate corresponding to the intersection of the line and the data line, and a gate line or data line corresponding to the gate line or the data line excluding the intersection of the gate line and the data line. A second column spacer formed on the second substrate, and a liquid crystal layer formed between the first substrate and the second substrate.

前記第1カラムスペーサーの第1厚さは、前記第1基板に圧力が加えられると第2厚さに減り、前記第2カラムスペーサーは前記第1基板に接触する。 The first thickness of the first column spacer decreases to a second thickness when pressure is applied to the first substrate, and the second column spacer contacts the first substrate.

前記第1カラムスペーサー及び前記第2カラムスペーサーは、同一の高さに形成される。 The first column spacer and the second column spacer are formed at the same height.

上記目的を達成するための本発明に係る液晶表示装置の製造方法は、TFTアレイが形成された第1基板を準備する段階と、前記第1基板と対向するようにカラーフィルターアレイが形成された第2基板を準備する段階と、相対的に段差の高い第1領域と、相対的に段差の低い第2領域とに相応する前記第2基板上に第1カラムスペーサー及び第2カラムスペーサーを形成する段階と、前記第1基板と前記第2基板との間に液晶層を形成する段階と、前記第1基板と前記第2基板とを貼り合せる段階とを含んでなることを特徴とする。 In order to achieve the above object, a method of manufacturing a liquid crystal display device according to the present invention includes a step of preparing a first substrate on which a TFT array is formed, and a color filter array is formed so as to face the first substrate. A first column spacer and a second column spacer are formed on the second substrate corresponding to the step of preparing the second substrate, the first region having a relatively high step, and the second region having a relatively low step. And a step of forming a liquid crystal layer between the first substrate and the second substrate, and a step of bonding the first substrate and the second substrate together.

前記第1カラムスペーサーは、前記第1基板の薄膜トランジスターアレイの第1領域に相応する第2基板上に形成され、前記第2カラムスペーサーは、前記第1基板の第1領域を除いたゲートライン又はデータライン領域に相応して形成される。 The first column spacer is formed on a second substrate corresponding to a first region of the thin film transistor array of the first substrate, and the second column spacer is a gate line excluding the first region of the first substrate. Alternatively, it is formed corresponding to the data line area.

前記第1基板の前記第1領域は、前記薄膜トランジスターアレイの薄膜トランジスター領域に相応する。 The first region of the first substrate corresponds to a thin film transistor region of the thin film transistor array.

前記第1基板上に形成された薄膜トランジスターアレイの第1領域は、前記ゲートラインと前記データラインの交差部に相応する。 A first region of the thin film transistor array formed on the first substrate corresponds to an intersection of the gate line and the data line.

前記第1カラムスペーサー及び前記第2カラムスペーサーは、同一の高さに形成される。 The first column spacer and the second column spacer are formed at the same height.

本発明の液晶表示装置及びその製造方法には次のような効果がある。 The liquid crystal display device and the manufacturing method thereof according to the present invention have the following effects.

第一に、カラムスペーサーを押圧不良が発生しない程度の適切な密度で形成して、パネルのセルギャップが崩れる押圧不良を防止できる。即ち、一つの画素にセルギャップ維持用カラムスペーサーの外に別途のカラムスペーサーを更に形成して、押圧不良による押圧むらを解決する。 First, the column spacers can be formed with an appropriate density that does not cause a pressing failure, thereby preventing a pressing failure that breaks the cell gap of the panel. That is, a separate column spacer is further formed on one pixel in addition to the cell gap maintaining column spacer to solve pressing unevenness due to pressing failure.

第二に、TFT基板の互いに異なる段差を有する部位に対応して、同一の高さにカラムスペーサーを形成することで、一部のカラムスペーサーは、TFT基板と触れるようにし、一部のカラムスペーサーは、貼り合せ時の圧力でTFT基板に対応して接して押され、前記TFT基板に接して押された高さだけカラムスペーサーが収縮して、その高さだけ重力マージンとして作用できる。 Second, by forming column spacers at the same height corresponding to the portions having different steps on the TFT substrate, some column spacers touch the TFT substrate, and some column spacers Is pressed in contact with the TFT substrate by the pressure at the time of bonding, and the column spacer contracts by the height pressed in contact with the TFT substrate, so that the height can act as a gravity margin.

第三に、段差の低いTFT基板の部位に対応するカラムスペーサーは、実際には、アレイ形成後、貼り合せ時にのみTFT基板と押されずちょうど接触するか、或いは2000Å範囲以内で離隔されたり押されたりするように形成される。即ち、前記カラムスペーサーと対向基板との間の互いに押される力を減らして、TFT基板とカラムスペーサーとの間の摩擦力を低め、これによってパネルタッチ時に発生するタッチむらを改善できる。 Third, the column spacer corresponding to the portion of the TFT substrate having a low step is actually not touched with the TFT substrate only at the time of bonding after the array is formed, or is separated or pushed within the range of 2000 mm. To be formed. That is, the pressing force between the column spacer and the counter substrate can be reduced to reduce the frictional force between the TFT substrate and the column spacer, thereby improving the touch unevenness generated when the panel is touched.

第四に、TFT設計に従いTFT基板の段差によって、段差の相対的に高い部分と相対的に低い部分とが定められ、その部位に対応するようにそれぞれ第1カラムスペーサー及び第2カラムスペーサーを同一の高さに形成するもので、別途のスペーサー形成工程の変更なしにTFT基板の設計構造が有する特性を用いて重力不良が改善される。 Fourth, according to the TFT design, a relatively high portion and a relatively low portion of the step are determined by the step of the TFT substrate, and the first column spacer and the second column spacer are respectively the same so as to correspond to the portion. The gravity defect is improved by using the characteristics of the design structure of the TFT substrate without changing the separate spacer formation process.

第五に、セルギャップを維持するためのカラムスペーサーを段差の高い部位に所定の厚さ以上が押されるように形成することにより、カラーフィルター基板上に形成されるカラムスペーサーのパターニング時にカラムスペーサー間の段差によってパネルに領域別に発生する重力不良の不均一を十分に補うことができる。 Fifth, the column spacers for maintaining the cell gap are formed so that a predetermined thickness or more is pushed to a high stepped portion, so that the column spacers are patterned when the column spacers formed on the color filter substrate are patterned. This step can sufficiently compensate for the non-uniformity of gravity failure that occurs in each panel area.

以下、本発明に係る液晶表示装置及びその製造方法について、添付の図面に基づいて詳細に説明する。 Hereinafter, a liquid crystal display device and a manufacturing method thereof according to the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.

図6は、液晶滴下量及びカラムスペーサーの密度変化に伴うタッチむら及び重力不良を示したグラフである。大面積の液晶表示装置の製造において、工程時間短縮などの利点から液晶滴下方式で製造し、又上下部基板間の支持体でカラムスペーサーを用いるが、図6に示したように、このようなカラムスペーサーの密度は、液晶の滴下量と共に、パネルの不良程度を左右する大きな要因となる。 FIG. 6 is a graph showing touch unevenness and poor gravity due to liquid crystal dripping amount and column spacer density change. In the manufacture of a large area liquid crystal display device, it is manufactured by a liquid crystal dropping method from the advantage of shortening the process time, and a column spacer is used as a support between the upper and lower substrates, but as shown in FIG. The density of the column spacer is a major factor that affects the degree of panel failure as well as the amount of liquid crystal dripped.

大面積液晶表示装置で主に発生する不良として、重力不良、タッチむら、押圧不良などがある。まず、重力不良は、パネルを立てた時に、地面に近い方に液晶が片寄り、その部位が液晶の高温上昇に伴い膨張する性質によって、地面に近いパネルの角側が高温状態で膨らむ現象をいう。 Defects that mainly occur in large-area liquid crystal display devices include poor gravity, uneven touch, and poor press. First, poor gravity refers to a phenomenon in which when the panel is erected, the liquid crystal is shifted to the side closer to the ground, and that part expands as the liquid crystal rises in temperature, causing the corners of the panel near the ground to swell in a hot state. .

タッチむらは、液晶パネル面が手やペンで所定の方向に触れた時、前記手やペンが触れた部分が摩擦力によって復元されず、その触れた部分に液晶が散らばる現状をいう。この時、復元されていない部分は、液晶が集まらず、ブラック状態で光漏れ不良が現れる。これは、触れた時に上下部基板間の所定の方向にシフト現象が起こるが、カラムスペーサーに触れる基板間の摩擦力が大きいために元の状態に戻らないためである。 Touch unevenness refers to a situation in which when a liquid crystal panel surface is touched in a predetermined direction with a hand or a pen, the portion touched by the hand or pen is not restored by frictional force, and the liquid crystal is scattered on the touched portion. At this time, the liquid crystal does not collect in the unrestored portion, and a light leakage defect appears in a black state. This is because a shift phenomenon occurs in a predetermined direction between the upper and lower substrates when touched, but it does not return to the original state because the frictional force between the substrates touching the column spacer is large.

押圧不良は、カラムスペーサーが上下部基板の間で小密度に分布されている場合、前記カラムスペーサーが形成されていない部位を所定の力を加えて押した時、回復されずにセルギャップが崩れる状態をいう。 When the column spacers are distributed at a low density between the upper and lower substrates, the cell gap collapses without being recovered when the portion where the column spacers are not formed is pushed by applying a predetermined force. State.

以上で説明したような不良は、互いに独立的な要素によって存在するものではなく、互いに相間関係をもって発生する。特に、重力不良とタッチむらは、液晶滴下量に対して互いにトレードオフの関係にあって、ある不良だけを改善させる方向に液晶滴下量を合わせるべきではなく、両方の不良が適切な水準に合わせられるように液晶滴下量を決定すべきである。 Defects as described above do not exist due to elements independent of each other, but occur with interrelationships. In particular, gravity failure and touch unevenness are in a trade-off relationship with the liquid crystal dripping amount, and the liquid crystal dripping amount should not be adjusted in a direction to improve only a certain defect. The liquid crystal dripping amount should be determined so that

このように適正量に液晶滴下量が決定された時に、パネル不良を左右するものはカラムスペーサーの密度である。即ち、カラムスペーサーの密度が相対的に低い時には、重力不良やタッチむらが共に改善され得るものの、低密度で分布されているために、カラムスペーサーが形成されていない部位のパネルが押された時に、外圧に対する耐性が弱く、崩れたセルギャップを回復できない押圧不良が発生しやすい。従って、適正水準のカラムスペーサーを上下部基板の間に分布させることが、押圧不良の改善のための重要なポイントである。 Thus, when the liquid crystal dropping amount is determined to be an appropriate amount, it is the density of the column spacer that determines the panel failure. That is, when the density of the column spacer is relatively low, both gravity failure and touch unevenness can be improved. In addition, the resistance to external pressure is weak, and a pressing failure that cannot recover a broken cell gap is likely to occur. Therefore, distributing an appropriate level of column spacers between the upper and lower substrates is an important point for improving the pressing failure.

本発明の液晶表示装置及びその製造方法は、段差のあるTFT基板の互いに異なる段差を有する部位別に相応させ、カラーフィルター基板上にカラムスペーサーを形成することにその特徴があるもので、セルギャップを維持する他に画素内に別途のカラムスペーサーを更に形成して、外圧によってセルギャップが崩れる押圧不良を防止する。 The liquid crystal display device and the manufacturing method thereof according to the present invention is characterized in that a column spacer is formed on a color filter substrate in accordance with each portion having different steps of a TFT substrate having steps, and the cell gap is reduced. In addition to maintaining, a separate column spacer is further formed in the pixel to prevent a pressing failure that causes the cell gap to collapse due to external pressure.

また、前記セルギャップの外に形成された別途のカラムスペーサーは、所定の範囲内で対向基板と触れたり、離隔されたり押されたりするように形成することで、前記別途のカラムスペーサーと対向基板との間の接触力を最小化してタッチむらを改善する。 Further, the separate column spacer formed outside the cell gap is formed so as to be in contact with, separated from, or pressed against the counter substrate within a predetermined range. Minimize the contact force between and improve touch unevenness.

また、液晶が高温で膨張する特性から発生する重力不良の場合には、カラムスペーサーの形成時の厚さと、貼り合せ時の厚さとの差の分に当たる厚さに対して、重力マージンがあることに勘案して、一方のカラムスペーサーを貼り合せる時に段差の高い部分に対応して所定の厚さ以上更に押されるように形成して、前記所定の厚さだけの重力マージンを有するように形成する。また、このように一方のカラムスペーサーによって対向基板が所定の厚さ以上更に押された分だけ画素別に十分重力マージンを有することで、パターニングで形成されるカラムスペーサーの高さの差で発生するパネルの領域別重力不良の不均一を改善できる。 In addition, in the case of poor gravity caused by the property that the liquid crystal expands at a high temperature, there should be a gravity margin for the thickness corresponding to the difference between the thickness at the time of forming the column spacer and the thickness at the time of bonding. In consideration of the above, when one of the column spacers is pasted, it is formed so as to be pushed further by a predetermined thickness corresponding to the high stepped portion so as to have a gravity margin of the predetermined thickness. . In addition, the panel generated by the difference in the height of the column spacers formed by patterning has sufficient gravity margin for each pixel as much as the counter substrate is further pushed by a certain thickness by one column spacer. It is possible to improve the non-uniformity of gravity failure by area.

図7A乃至図7Cは、本発明の液晶表示装置を概略的に示す構造断面図である。図7Aにおいて、本発明の液晶表示装置は、段差が互いに異なる領域を具備した第1基板100と、これに対向する第2基板200と、前記第1基板100の段差の高い部分80に形成される第1カラムスペーサー301と、前記第1基板100の段差の低い部分85に形成される第2カラムスペーサー302とを含んでなる。 7A to 7C are structural cross-sectional views schematically showing the liquid crystal display device of the present invention. 7A, the liquid crystal display device of the present invention is formed on a first substrate 100 having regions with different steps, a second substrate 200 facing the first substrate 100, and a high step portion 80 of the first substrate 100. A first column spacer 301 and a second column spacer 302 formed in a low step portion 85 of the first substrate 100.

ここで、前記第カラムスペーサー301及び第2カラムスペーサー302は、ブラックマトリックス層201領域の上部に形成され、その高さは同一にする。 Here, the first column spacer 301 and the second column spacer 302 are formed on the black matrix layer 201 and have the same height.

前記第1基板100は、TFTアレイが形成される下部基板で、ゲートラインとデータラインとの交差部、或いは薄膜トランジスター(TFT)形成部が段差の高い部分80に該当し、ゲートラインあるいはデータラインの単一配線領域が相対的に段差の低い部分85に該当する。 The first substrate 100 is a lower substrate on which a TFT array is formed, and a gate line or a data line is an intersection of gate lines and data lines, or a thin film transistor (TFT) formation part corresponds to a high step 80. This single wiring region corresponds to a portion 85 having a relatively low step.

本発明の液晶表示装置は、それぞれ第1カラムスペーサー301及び第2カラムスペーサー302の位置が前記第1基板100(TFT基板)の設計によって変更可能である。この時、前記第1カラムスペーサー301は、ゲートラインとデータラインとの交差部、或いは薄膜トランジスター形成部のように相対的に段差の高い部分80に形成することで、単一のゲートラインやデータラインのように、段差の低い部分85に対応して形成される第2カラムスペーサー302に比べて、その下部に一層の金属ライン及び、又は半導体層などが更に含まれるので、第1基板100を押しながら収縮する厚さの程度が大きい。この時、収縮する厚さは、重力マージンに作用する。 In the liquid crystal display device of the present invention, the positions of the first column spacer 301 and the second column spacer 302 can be changed depending on the design of the first substrate 100 (TFT substrate). At this time, the first column spacer 301 is formed at the intersection 80 between the gate line and the data line, or at a relatively high step 80 such as a thin film transistor forming portion, thereby forming a single gate line or data. Compared with the second column spacer 302 formed corresponding to the low step portion 85, such as a line, a single metal line and / or semiconductor layer is further included below the second column spacer 302. The thickness that shrinks while pushing is large. At this time, the shrinking thickness acts on the gravity margin.

実験の結果、第1カラムスペーサー301が対応する第1基板100の相対的に段差の高い部分80の段差がおよそ2000Å〜6000Åの範囲にある時、従来に比べて重力不良を改善できる効果があることが分かる。この時、前記第2カラムスペーサー302は、図7Aに示したように、第1基板100と単に接するように形成されるか、図7Bに示したように、所定の範囲以内で離隔して形成されるか、図7Cに示したように、所定の範囲以内に押されるように形成される。 As a result of the experiment, when the level difference of the relatively high level portion 80 of the first substrate 100 corresponding to the first column spacer 301 is in the range of about 2000 mm to 6000 mm, the gravity defect can be improved as compared with the conventional case. I understand that. At this time, the second column spacer 302 is formed so as to be in contact with the first substrate 100 as shown in FIG. 7A or separated within a predetermined range as shown in FIG. 7B. Alternatively, as shown in FIG. 7C, it is formed to be pushed within a predetermined range.

ここで、前記第2カラムスペーサー302が第1基板100を押して離隔した程度は、約±2000Å以内に限
定する。これは、前記第2カラムスペーサー302が2000Å以上で前記第1基板100を更に押した場合にはタッチむらをもたらし、前記第2カラムスペーサー302が2000Å以上第1基板100と離隔した場合には、外圧加圧時にセルギャップが崩れて押圧不良をもたらすためである。
Here, the degree to which the second column spacer 302 pushes the first substrate 100 apart is limited to about ± 2000 mm. This results in touch unevenness when the second column spacer 302 is 2000 mm or more and further presses the first substrate 100, and when the second column spacer 302 is separated from the first substrate 100 by 2000 mm or more, This is because the cell gap collapses when external pressure is applied, resulting in poor pressing.

この場合、前記第1カラムスペーサー301及び前記第2カラムスペーサー302の配置程度は、要求される重力不良補償量によって相対的に段差の差が小さいか大きい部位に変更できる。 In this case, the arrangement degree of the first column spacer 301 and the second column spacer 302 can be changed to a portion where the difference in level difference is relatively small or large depending on the required gravitational defect compensation amount.

即ち、パネルが置かれる環境が安定していれば、図7Bに示したように、第1カラムスペーサー301のみ約2000Å乃至4000Åの厚さで第1基板100を押すように形成し、第2カラムスペーサー302を離隔させて形成しても充分に重力不良に対する耐性を有する。この場合、第2カラムスペーサー302の離隔程度は、2000Å以内にして、外圧に対する耐性を充分に持たせる。 That is, if the environment in which the panel is placed is stable, as shown in FIG. 7B, only the first column spacer 301 is formed to push the first substrate 100 with a thickness of about 2000 mm to 4000 mm, and the second column Even if the spacers 302 are formed apart from each other, they are sufficiently resistant to gravity failure. In this case, the distance between the second column spacers 302 is set to 2000 mm or less so as to have sufficient resistance against external pressure.

反面、パネルが置かれる環境が高低温の激しい変化など劣悪であれば、図7Cに示したように、第1カラムスペーサー301を4000Å乃至6000Åの範囲に重力マージンを有するように形成して、液晶の膨張力に対して十分な重力マージンを有するように形成しなければならない。この場合、第2カラムスペーサー302の第1基板の押圧程度は、2000Å以内にして、前記第2カラムスペーサー302と第1基板100との間の摩擦力の増加を防止しなければならない。これは、タッチむらが発生しないようにするためである。 On the other hand, if the environment in which the panel is placed is inferior, such as a drastic change in high and low temperatures, as shown in FIG. 7C, the first column spacer 301 is formed to have a gravity margin in the range of 4000 mm to 6000 mm, and the liquid crystal It must be formed so as to have a sufficient gravity margin for the expansion force. In this case, the pressing degree of the first substrate of the second column spacer 302 must be within 2000 mm to prevent an increase in frictional force between the second column spacer 302 and the first substrate 100. This is to prevent touch unevenness.

前記第1カラムスペーサー301及び前記第2カラムスペーサー302は、前記第2基板200に形成され、開口率の低下を防ぐために、第1基板100に対しては、ゲートラインやデータラインの配線領域、或いは薄膜トランジスター形成部に対応させ、第2基板200に対しては、ブラックマトリックス層201に対応させて形成される。 The first column spacer 301 and the second column spacer 302 are formed on the second substrate 200. In order to prevent a decrease in the aperture ratio, the first substrate 100 is provided with a wiring region of a gate line or a data line, Alternatively, the second substrate 200 is formed to correspond to the black matrix layer 201 in correspondence with the thin film transistor forming portion.

前記第1カラムスペーサー301及び前記第2カラムスペーサー302は、前記第2基板200上に同一の高さに形成されたとしても、貼り合せ時に第1カラムスペーサー301が相対的に段差の高い領域80に対応するので、第1カラムスペーサー301は、第1カラムスペーサー301及び第2カラムスペーサー302とが対応する部位間の段差の差の分だけ収縮し、貼り合せ後には相対的に、より低い高さに形成されたものとして見える。 Even if the first column spacer 301 and the second column spacer 302 are formed at the same height on the second substrate 200, the first column spacer 301 is a region 80 having a relatively high level difference when bonded. Therefore, the first column spacer 301 contracts by the difference in level difference between the corresponding portions of the first column spacer 301 and the second column spacer 302, and after bonding, the first column spacer 301 has a relatively lower height. It looks as if it was formed.

以上で、それぞれ第2カラムスペーサー302が単に接していたり、所定の間隔で離隔したり、所定の間隔で押されている場合について説明したが、その全てに対して、本発明の液晶表示装置は、重力マージンの改善効果を有する。 The case where the second column spacers 302 are simply in contact with each other, separated at a predetermined interval, or pressed at a predetermined interval has been described above. For all of them, the liquid crystal display device of the present invention is , Has the effect of improving the gravity margin.

前記第2カラムスペーサー302の対応程度は、第1基板100に発生する段差の低い部分85の段差によっても決定されるが、その他にカラムスペーサー形成のためのパターニング時に各カラムスペーサー間の高さの差によっても発生する。 The degree of correspondence of the second column spacer 302 is also determined by the step of the low step portion 85 generated in the first substrate 100. In addition, the height of each column spacer during patterning for forming the column spacer is determined. It also occurs due to differences.

本発明は、このようなパターニング時に高さの差が発生したそれぞれの場合に対応したもので、前記カラムスペーサーのパターニング時に高さの差によって発生するパネル内の重力不良の不均一を補える。 The present invention corresponds to each case where a difference in height occurs during such patterning, and compensates for non-uniform gravity in the panel caused by the difference in height during patterning of the column spacer.

以下では、上述した本発明の具体的な実施形態について説明する。一方、段差を有するTFT基板は、使用されるマスク数によってその構成及び製造工程が変わるので、以下では5マスク、4マスク工程の順に順次に説明する。 Hereinafter, specific embodiments of the present invention described above will be described. On the other hand, since the structure and manufacturing process of a TFT substrate having a step change depending on the number of masks used, the following description will be made sequentially in the order of 5 masks and 4 mask processes.

第1実施形態 図8は、本発明の第1実施形態を具体的にIPSモードで具現した液晶表示装置を示す平面図である。図9は、本発明の第1実施形態に係る液晶表示装置を示す図8のI−I´線上の構造断面図である。図8及び図9に示したように、本発明の第1実施形態に係る液晶表示装置は、一定の空間を有して貼り合せられた第1基板100及び第2基板200と、前記第1基板100と前記第2基板200との間に注入された液晶層250とで構成されている。 First Embodiment FIG. 8 is a plan view showing a liquid crystal display device that specifically embodies the first embodiment of the present invention in the IPS mode. FIG. 9 is a structural cross-sectional view taken along the line II ′ of FIG. 8 showing the liquid crystal display device according to the first embodiment of the present invention. As shown in FIGS. 8 and 9, the liquid crystal display device according to the first embodiment of the present invention includes a first substrate 100 and a second substrate 200 bonded together with a certain space, and the first substrate. The liquid crystal layer 250 is injected between the substrate 100 and the second substrate 200.

前記第1基板100上には、垂直に交差して画素領域を定義する複数個のゲートライン101及びデータライン102と、前記ゲートライン101とデータライン102が交差する各画素領域に交互に形成された画素電極103及び共通電極108と、前記各ゲートライン101とデータライン102が交差する部分に形成された薄膜トランジスターとを含んでなる。そして、前記ゲートライン101と平行するように画素内に配置された共通ライン118と、前記画素電極103から延長され、共通ライン118の上部にオーバーラップしたキャパシター電極113とが更に具備されている。 On the first substrate 100, a plurality of gate lines 101 and data lines 102 that intersect vertically and define pixel regions are alternately formed in each pixel region where the gate lines 101 and data lines 102 intersect. The pixel electrode 103 and the common electrode 108, and the thin film transistor formed at the intersection of the gate line 101 and the data line 102 are included. Further, a common line 118 disposed in the pixel so as to be parallel to the gate line 101 and a capacitor electrode 113 extending from the pixel electrode 103 and overlapping the upper portion of the common line 118 are further provided.

具体的に、前記共通ライン118及び共通電極108は、一体型で形成され、前記ゲートライン101と同時に形成され、Cu、Al、Cr、Mo、Tiなどの低抵抗金属で形成される。 Specifically, the common line 118 and the common electrode 108 are integrally formed, are formed simultaneously with the gate line 101, and are formed of a low resistance metal such as Cu, Al, Cr, Mo, or Ti.

そして、前記画素電極103は、前記共通電極108と交互に形成されるが、これらの電極を前記データライン102と同時に形成することもでき、或いは互いに異なる層に形成することもできる(図面には互いに異なる層に形成された場合を図示している)。この時、前記共通電極108及び前記画素電極103を、交互に一直線状に形成する、あるいは図8の図示したように、ジグザグ状に形成しても構わない。 The pixel electrodes 103 are alternately formed with the common electrodes 108, but these electrodes can be formed at the same time as the data lines 102, or can be formed in different layers (see the drawing). The case where the layers are formed in different layers is illustrated). At this time, the common electrode 108 and the pixel electrode 103 may be alternately formed in a straight line, or may be formed in a zigzag shape as shown in FIG.

前記共通電極108と前記画素電極103との間には、両パターンを分離するために絶縁膜が更に具備されるが、ゲート絶縁膜又は保護膜と同一の成分のシリコン窒化物、又はシリコン酸化物からなる絶縁膜である。 An insulating film is further provided between the common electrode 108 and the pixel electrode 103 in order to separate the two patterns, but silicon nitride or silicon oxide having the same component as the gate insulating film or the protective film. An insulating film made of

前記薄膜トランジスターは、ゲート電極101aと、所定の幅で前記ゲート電極101aの上部を覆う半導体層104と、前記ゲート電極101aの両側に対応して形成されたソース/ドレイン電極102a、102bとからなる。 The thin film transistor includes a gate electrode 101a, a semiconductor layer 104 covering the upper portion of the gate electrode 101a with a predetermined width, and source / drain electrodes 102a and 102b formed on both sides of the gate electrode 101a. .

第1基板100の製造を、図9に示したように5マスク工程法によって詳しく説明すると次の通りである。まず、前記第1基板100上にMo、Al、又はCrなどのような金属物質をスパッタリング方法で全面蒸着した後、第1マスク(図示せず)を介してパターニングして、複数個のゲートライン101及び前記ゲートライン101から突出する形状にゲート電極101aを形成する。これと同一の工程で、前記ゲートライン101と平行に共通ライン118を形成し、前記共通ライン118からジグザグパターンとして突出する共通電極108を形成する。 The manufacture of the first substrate 100 will be described in detail with reference to a five-mask process as shown in FIG. First, a metal material such as Mo, Al, or Cr is deposited on the entire surface of the first substrate 100 by a sputtering method, and then patterned through a first mask (not shown) to form a plurality of gate lines. 101 and a gate electrode 101 a are formed in a shape protruding from the gate line 101. In the same process, a common line 118 is formed in parallel with the gate line 101, and a common electrode 108 protruding from the common line 118 as a zigzag pattern is formed.

次に、前記ゲートライン101を含む第1基板100上にSiNxなどの絶縁物質を全面蒸着してゲート絶縁膜105を形成する。次に、前記ゲート絶縁膜105上に前記ゲート電極101aを覆う形状で半導体層104を形成する。 Next, an insulating material such as SiNx is deposited on the entire surface of the first substrate 100 including the gate line 101 to form a gate insulating layer 105. Next, a semiconductor layer 104 is formed on the gate insulating film 105 so as to cover the gate electrode 101a.

ここで、前記半導体層104は、前記ゲート絶縁膜105上に非晶質シリコン層104a、及び燐(P)が高濃度でドーピングされたn+層104bを連続的に蒸着した後、第2マスク(図示せず)を介して前記n+層104b、非晶質シリコン層104aを同時にパターニングして形成する。 Here, the semiconductor layer 104 is formed by depositing an amorphous silicon layer 104a and an n + layer 104b doped with phosphorus (P) at a high concentration on the gate insulating film 105, and then depositing a second mask ( The n + layer 104b and the amorphous silicon layer 104a are simultaneously patterned through a not-shown).

次に、Mo、Al、又はCrなどのような金属物質をスパッタリング方法で全面蒸着し、第3マスク(図示せず)を用いてパターニングして、データライン102及び前記ゲート電極101aの両側にソース電極102a、ドレイン電極102bを形成する。ここで、前記ソース電極102aは、前記データライン102から突出して形成される。 Next, a metal material such as Mo, Al, or Cr is deposited on the entire surface by a sputtering method, and patterned using a third mask (not shown), and a source is formed on both sides of the data line 102 and the gate electrode 101a. An electrode 102a and a drain electrode 102b are formed. Here, the source electrode 102 a is formed to protrude from the data line 102.

このような金属パターニング工程で、前記ソース電極102a、ドレイン電極102bの下部にn+層104bまでオーバーエッチングが行われるようにして、前記n+層104bが前記ゲート電極101aの上部から除去されるようにする。従って、前記非晶質シリコン層が前記ゲート電極101aの上部から露出されるが、この露出部位が薄膜トランジスター(TFT)のチャンネル領域に定義される領域である。ここで、前記非晶質シリコン層と、n+層とからなる層が半導体層104である。 In such a metal patterning process, over-etching is performed to the n + layer 104b below the source electrode 102a and the drain electrode 102b so that the n + layer 104b is removed from the top of the gate electrode 101a. . Therefore, the amorphous silicon layer is exposed from the upper part of the gate electrode 101a, and this exposed portion is a region defined as a channel region of a thin film transistor (TFT). Here, the layer composed of the amorphous silicon layer and the n + layer is the semiconductor layer 104.

次に、前記半導体層104を含んでソース電極102aと、ドレイン電極102bなどが形成されたゲート絶縁膜105上に化学気相蒸着(CVD)方式によってSiNx材質の保護膜106を全面蒸着する。このような保護膜106の材料としては、主にSiNxなどの無機物質が適用されており、最近、液晶セルの開口率を向上させるために、BCB(Benzo Cyclo Butene)、SOG(Spin On Glass)、又はアクリルなどの誘電率の低い有機物質が使用されている。 Next, a protective film 106 made of SiNx is deposited on the entire surface of the gate insulating film 105 including the semiconductor layer 104 on which the source electrode 102a and the drain electrode 102b are formed by a chemical vapor deposition (CVD) method. As a material of such a protective film 106, an inorganic substance such as SiNx is mainly applied. Recently, in order to improve the aperture ratio of the liquid crystal cell, BCB (Benzo Cyclo Butene), SOG (Spin On Glass). Organic materials having a low dielectric constant such as acrylic are used.

次に、第4マスク(図示せず)を介して前記ドレイン電極102b上の保護膜106の一部を選択的にエッチングして、ドレイン電極102bの一部を露出させるコンタクトホールを形成する。 Next, a part of the protective film 106 on the drain electrode 102b is selectively etched through a fourth mask (not shown) to form a contact hole exposing a part of the drain electrode 102b.

次に、前記保護膜106上に前記コンタクトホールを十分に埋め込むように透明な電極物質をスパッタリングして蒸着した後、第5マスク(図示せず)を介してパターニングして、前記画素領域内に前記共通電極108と前記画素電極103を交互にジグザグパターンとして形成する。ここで、前記共通ライン118上の前記画素電極103には、キャパシター電極113が接続される。 Next, a transparent electrode material is sputtered and deposited on the protective layer 106 so as to sufficiently fill the contact hole, and then patterned through a fifth mask (not shown) to form the pixel region. The common electrode 108 and the pixel electrode 103 are alternately formed as a zigzag pattern. Here, a capacitor electrode 113 is connected to the pixel electrode 103 on the common line 118.

このように第1基板100が形成される場合、薄膜トランジスターが形成された部位、及びゲートライン101とデータライン102とがオーバーラップした部分が、ゲートライン101又はデータライン102が形成された部分よりも相対的に高い段差を有する。 When the first substrate 100 is formed in this manner, the portion where the thin film transistor is formed and the portion where the gate line 101 and the data line 102 overlap are more than the portion where the gate line 101 or the data line 102 is formed. Has a relatively high step.

前記第1基板100と対向する前記第2基板200上には、画素領域を除いた部分(ゲートライン及びデータライン領域、薄膜トランジスター領域)の光を遮断するためのブラックマトリックス層201を形成し、前記画素領域に対応して色相を表現するためのR、G、Bカラーフィルター層202を形成し、前記ブラックマトリックス層201と、カラーフィルター層202の上部の全面にオーバーコート層203を形成する。 On the second substrate 200 facing the first substrate 100, a black matrix layer 201 is formed to block light in portions other than the pixel region (gate line and data line region, thin film transistor region); An R, G, B color filter layer 202 for expressing a hue corresponding to the pixel region is formed, and an overcoat layer 203 is formed on the entire surface of the black matrix layer 201 and the color filter layer 202.

次に、前記共通電極203の上部の所定の部分、つまり第1基板100上の互いに異なる段差に相応する部位に、同一の高さの複数個のカラムスペーサー301、302を形成する。 Next, a plurality of column spacers 301 and 302 having the same height are formed on a predetermined portion on the common electrode 203, that is, on a portion corresponding to different steps on the first substrate 100.

本発明の第1実施形態では、第1カラムスペーサー301を前記第1基板100の薄膜トランジスターが形成された部分に相応する位置に形成し、第2カラムスペーサー302を、第1基板100のデータライン102が形成された部分に相応する位置に形成する。この時、前記第1カラムスペーサー301及び第2カラムスペーサー302は、同一の高さで形成される。 In the first embodiment of the present invention, the first column spacer 301 is formed at a position corresponding to the portion of the first substrate 100 where the thin film transistor is formed, and the second column spacer 302 is formed on the data line of the first substrate 100. 102 is formed at a position corresponding to the formed portion. At this time, the first column spacer 301 and the second column spacer 302 are formed at the same height.

段差の高い第1基板100に対応して形成された前記第1カラムスペーサー301は、液晶層250のセルギャップを維持する工程後、貼り合せ時の加圧によって第1基板100に対して約2000Å乃至6000Åの厚さに押される。このような第1カラムスペーサー301は、スペーサー固有のセルギャップ維持の機能を担当し、又、前記第1基板100に押された厚さだけの重力マージンを有する。 The first column spacer 301 formed corresponding to the first substrate 100 having a high step is about 2000 mm relative to the first substrate 100 by the pressure applied at the time of bonding after the step of maintaining the cell gap of the liquid crystal layer 250. It is pushed to a thickness of 6000 mm. The first column spacer 301 is responsible for a cell gap maintaining function unique to the spacer, and has a gravity margin corresponding to the thickness pushed by the first substrate 100.

そして、同一の高さに形成される第2カラムスペーサー302は、貼り合せ後に相対的に段差の低い部分の第1基板100に対応するので、第1カラムスペーサー301に比べて第1基板100に対する押圧程度が弱い。図9では、第1基板100と単に接するように図示したが、場合によって2000Å以内の範囲で第1基板100と離隔する(図7Bに相当)、あるいは第1基板100に押されるように(図7Cに相当)形成され得る。 The second column spacers 302 formed at the same height correspond to the first substrate 100 at a portion having a relatively low level after bonding, and therefore, the second column spacer 302 with respect to the first substrate 100 as compared with the first column spacer 301. The degree of pressing is weak. In FIG. 9, the first substrate 100 is illustrated as being simply in contact with the first substrate 100, but in some cases, the first substrate 100 is separated from the first substrate 100 within a range of 2000 mm (corresponding to FIG. 7B) or pushed by the first substrate 100 ( Equivalent to 7C).

前記第2カラムスペーサー302は、セルギャップ維持機能の外に、外部でパネル面を押す外圧に対して耐性を有する用途で形成されたもので、前記第2カラムスペーサー302が対応する第1基板100上の部位は、前記第1カラムスペーサー301に対応する部分と一定の段差以上を確保して、前記第1基板100が2000Å以上の厚さにならないように形成する。これは、セルギャップ維持機能の外に、別途に形成された第2カラムスペーサー302が2000Å以上の厚さで第1基板100に押される場合、前記第2カラムスペーサー302と第
1基板100との間の摩擦力が大きくなり、タッチむらが生じ得るからである。
The second column spacer 302 is formed to have a resistance to an external pressure that pushes the panel surface outside in addition to the cell gap maintaining function. The second column spacer 302 corresponds to the first substrate 100 to which the second column spacer 302 corresponds. The upper part is formed so as to secure a certain level difference or more from the part corresponding to the first column spacer 301 so that the first substrate 100 does not have a thickness of 2000 mm or more. In addition to the cell gap maintaining function, when the separately formed second column spacer 302 is pressed against the first substrate 100 with a thickness of 2000 mm or more, the second column spacer 302 and the first substrate 100 This is because the frictional force between them increases, and touch unevenness can occur.

ここで、前記第1カラムスペーサー301及び前記第2カラムスペーサー302が対応する第1基板100の段差の差によって、相対的に第1カラムスペーサー301が第2カラムスペーサー302に比べ更に凹むように押圧の厚さが決定される。 Here, the first column spacer 301 and the second column spacer 302 are pressed so that the first column spacer 301 is further recessed as compared with the second column spacer 302 due to the difference in level of the first substrate 100 to which the first column spacer 301 and the second column spacer 302 correspond. The thickness of is determined.

一方、第1基板100及び第2基板200のアレイをそれぞれ形成して、これを貼り合せた後、前記第1カラムスペーサー301は、スペーサー固有の機能であるセルギャップを維持し、貼り合せ時の加圧によって前記ドレイン電極102b部位と、前記データライン102の単一の形成部位との段差の差に該当するだけの高さが低まり、その高さだけ第1基板100及び第2基板200を支持するようになり、重力マージンを有する。また、前記第2カラムスペーサー302は、カラムスペーサーの密度を高め、押圧不良によって第2基板200の構造物が変性しないように押圧に対する耐性を向上させる。 On the other hand, after the arrays of the first substrate 100 and the second substrate 200 are formed and bonded together, the first column spacer 301 maintains a cell gap, which is a function unique to the spacer. Pressurization reduces the height corresponding to the difference in level between the drain electrode 102b portion and the single formation portion of the data line 102, and the first substrate 100 and the second substrate 200 are moved by that height. It comes to support and has a gravity margin. Also, the second column spacer 302 increases the density of the column spacers and improves the resistance to pressing so that the structure of the second substrate 200 is not denatured due to pressing failure.

前記第1カラムスペーサー301及び前記第2カラムスペーサー302は、有機絶縁膜、感光性有機樹脂を形成した後、これを選択的に除去して形成できる。このような第1カラムスペーサー301及び第2カラムスペーサー302は、第1基板100に対応するゲートライン又はデータラインなどの金属物質に比べて硬度の低い有機性物質からなり、第1基板100及び第2基板200を貼り合せた後には、段差の高い部分に対応した第1カラムスペーサー301は、先に第1基板100と触れ合い、その部位が弾性体のように押されて高さの変化が生じる。 The first column spacer 301 and the second column spacer 302 may be formed by selectively removing an organic insulating film and a photosensitive organic resin after forming the organic insulating film and the photosensitive organic resin. The first column spacer 301 and the second column spacer 302 are made of an organic material having a lower hardness than a metal material such as a gate line or a data line corresponding to the first substrate 100. After the two substrates 200 are pasted together, the first column spacer 301 corresponding to the high stepped portion first contacts the first substrate 100 and the portion is pushed like an elastic body, resulting in a change in height. .

ここで、貼り合せ時の加圧力は、前記第2カラムスペーサー302が第1基板100に約±2000Å以内に接する程度である。この時、貼り合せ後に相対的に収縮した前記第1カラムスペーサー301の厚さは、重力マージンに作用する。図面によれば、前記第1カラムスペーサー301は、前記単一のデータライン102上に対応して形成された第2カラムスペーサー302に比べて相対的に半導体層(104=104a+104b)とゲート絶縁膜105が更に形成された部位に対応して形成されるので、第1カラムスペーサー301の押圧程度は、半導体層(104=104a+104b)とゲート絶縁膜105の厚さに該当する(図9において、第2カラムスペーサー302は、第1基板100の構造物と押されず接する程度に図示している)。 Here, the applied pressure at the time of bonding is such that the second column spacer 302 contacts the first substrate 100 within about ± 2000 mm. At this time, the thickness of the first column spacer 301 relatively contracted after bonding acts on the gravity margin. According to the drawing, the first column spacer 301 has a semiconductor layer (104 = 104a + 104b) and a gate insulating film relatively to the second column spacer 302 formed corresponding to the single data line 102. Since 105 is formed corresponding to the further formed portion, the pressing degree of the first column spacer 301 corresponds to the thickness of the semiconductor layer (104 = 104a + 104b) and the gate insulating film 105 (in FIG. The two-column spacer 302 is illustrated so as to be in contact with the structure of the first substrate 100 without being pressed).

このように、それぞれTFTアレイが形成された第1基板100と、第1カラムスペーサー301及び第2カラムスペーサー302を含むカラーフィルターアレイが形成された第2基板200との表面には、それぞれ第1配向膜107及び第2配向膜204を形成した後、ラビング処理をする。ここで、ラビング処理とは、布を均一の圧力や速度で第1配向膜107及び第2配向膜204の表面と摩擦させることで、第1配向膜107及び第2配向膜204の表面の高分子チェーンが一定の方向に整列されるようにして液晶の初期配向方向を決定する工程をいう。 As described above, the first substrate 100 on which the TFT array is formed and the surface of the second substrate 200 on which the color filter array including the first column spacer 301 and the second column spacer 302 are formed are respectively formed on the first substrate 100. After the alignment film 107 and the second alignment film 204 are formed, a rubbing process is performed. Here, the rubbing process is a process in which the cloth is rubbed with the surfaces of the first alignment film 107 and the second alignment film 204 at a uniform pressure and speed, thereby increasing the surface height of the first alignment film 107 and the second alignment film 204. The step of determining the initial alignment direction of the liquid crystal so that the molecular chains are aligned in a certain direction.

この際、前記第2カラムスペーサー302の上部に形成された第2配向膜204部位は、貼り合せ後に対向する第1配向膜107と触れる部位で、接触時相対的に第2カラムスペーサー302に比べて配向膜の成分が柔らかい特性によって押される。 At this time, the portion of the second alignment film 204 formed on the second column spacer 302 is a portion that comes into contact with the first alignment film 107 facing after bonding, and is relatively in comparison with the second column spacer 302 at the time of contact. The components of the alignment film are pushed by the soft characteristics.

前記第1カラムスペーサー301及び第2カラムスペーサー302の数は、押圧不良が発生しないように適正な水準に設定する。この時、過度な数のカラムスペーサーがパネル内に分布すると、高温状態時に、地面に近いパネルの角部分が膨らむ重力不良が発生する、あるいは、パネル面を指でタッチした時、カラムスペーサーと対応する第1基板100が触れる面積が大きくなり、摩擦力の上昇によってそのタッチした部分に液晶が再び回復されず、ブラック状態で光漏れを起こすタッチむらが発生する。従って、カラムスペーサーの数を適切に効率よく分布することが重要なポイントである。 The number of the first column spacers 301 and the second column spacers 302 is set to an appropriate level so that a pressing failure does not occur. At this time, if an excessive number of column spacers are distributed in the panel, it will cause a gravity failure that causes the corners of the panel near the ground to swell at high temperatures, or when the panel surface is touched with a finger, it corresponds to the column spacer. The area touched by the first substrate 100 is increased, and the liquid crystal is not recovered again at the touched portion due to the increase of the frictional force, resulting in touch unevenness that causes light leakage in the black state. Therefore, it is important to distribute the number of column spacers appropriately and efficiently.

前記第2カラムスペーサー302は、第1カラムスペーサー301と共に一つの画素内に形成されることで、パネル内に分布される全体カラムスペーサーの密度を高めることができ、押圧不良を予防することができる。又、貼り合せ後に対向する第1基板100を押さずに単に隣接した程度に触れ合っているか、2000Å範囲以内に第1基板100に離隔又は押されるように形成され、第2カラムスペーサー302と、第1基板100との間の摩擦力を減らすことで、タッチむらを緩和することができる。 The second column spacer 302 is formed in one pixel together with the first column spacer 301, so that the density of the entire column spacers distributed in the panel can be increased and a pressing failure can be prevented. . In addition, after the bonding, the first substrate 100 that is opposed to the first substrate 100 is touched to the extent that it is adjacent to the first substrate 100, or the first substrate 100 is separated or pressed within a range of 2000 mm, the second column spacer 302, By reducing the frictional force with the one substrate 100, the touch unevenness can be alleviated.

又、第1カラムスペーサー301及び第2カラムスペーサー302が単一の画素内に共存することでカラムスペーサーの密度を適正な水準に維持させ、又第1カラムスペーサー301を相対的に段差の高い部分に対応させ貼り合せた後、第1基板100に対して押された厚さだけ高さの変化を起こし、その分だけ第1基板100及び第2基板200間の支持力を高めて重力不良を改善させることができる。 Further, the first column spacer 301 and the second column spacer 302 coexist in a single pixel so that the density of the column spacer is maintained at an appropriate level, and the first column spacer 301 is a portion having a relatively high step. After the bonding, the height of the first substrate 100 is changed by the pressed thickness, and the supporting force between the first substrate 100 and the second substrate 200 is increased by that amount to reduce the gravity defect. Can be improved.

本発明は、このように第1基板100の表面が有する段差を用いて、前記段差を有する部位に対応させ、第1カラムスペーサー301及び第2カラムスペーサー302を形成するものであって、第1カラムスペーサー301は、セルギャップを維持し、且つ重力不良を改善する用途として用いられ、第2カラムスペーサー302は、押圧不良、タッチむらなどの不良を改善する用途として用いられる。 In the present invention, the first column spacer 301 and the second column spacer 302 are formed by using the level difference of the surface of the first substrate 100 and corresponding to the part having the level difference. The column spacer 301 is used as an application for maintaining the cell gap and improving poor gravity, and the second column spacer 302 is used as an application for improving defects such as pressing failure and touch unevenness.

ここで、相対的に段差の高い部分に対応して形成される第1カラムスペーサー301は、セルギャップ維持として機能し、相対的に段差の低い部分に対応して形成される第2カラムスペーサー302と共に構成された液晶表示装置は、第1カラムスペーサー301のみ単独に分布した形態の液晶表示装置に比べて、前記第2カラムスペーサー302が前記第1基板100と触れ合ったり、所定の範囲以内に離隔又は押されたりするように形成され、タッチ時にも両基板の間に摩擦力の発生を緩和させ、元の状態に復元するのに無理がなくなる。 Here, the first column spacer 301 formed corresponding to a portion having a relatively high step functions as a cell gap maintenance, and the second column spacer 302 formed corresponding to a portion having a relatively low step. The liquid crystal display device configured with the second column spacer 302 touches the first substrate 100 or is separated within a predetermined range as compared with a liquid crystal display device in which only the first column spacer 301 is distributed alone. Alternatively, it is formed so as to be pushed, so that the generation of frictional force between the two substrates is eased even at the time of touching, and there is no difficulty in restoring the original state.

前述した第1基板100の段差の最高地点は、TFTアレイ設計によって変更され得るし、ここでは薄膜トランジスターのドレイン電極102b部位に図示して説明した。その他に、ドレイン電極102bと画素電極とのコンタクト領域、又は薄膜トランジスターのソース電極102aなどの部位も設計によって最高地点に用いられ得る。 The highest step of the first substrate 100 can be changed according to the TFT array design. Here, the step is illustrated in the drain electrode 102b portion of the thin film transistor. In addition, a contact region between the drain electrode 102b and the pixel electrode or a portion such as the source electrode 102a of the thin film transistor can be used as the highest point by design.

そして、前記第2基板200の背面には、パネルで発生する静電気を防止するために全面にITO膜を更に含んでなることができる。 The back surface of the second substrate 200 may further include an ITO film on the entire surface to prevent static electricity generated in the panel.

第2実施形態 図10は、本発明の第2実施形態に係る液晶表示装置を示す図8のI−I´線上の構造断面図である。図10に示したように、本発明の第2実施形態に係る液晶表示装置は、第1カラムスペーサー301が前記第1基板100の薄膜トランジスターが形成された部分に相応する位置に形成される。そして、第2カラムスペーサー302は、前記第1基板100に形成されたゲートライン101の相応する部位に形成されるもので、残りの構造は、第1実施形態の構造と一致し、又、このような第1カラムスペーサー303及び第2カラムスペーサー304の機能は、同一である。 Second Embodiment FIG. 10 is a structural cross-sectional view taken along the line II ′ of FIG. 8 showing a liquid crystal display device according to a second embodiment of the present invention. As shown in FIG. 10, in the liquid crystal display device according to the second embodiment of the present invention, the first column spacer 301 is formed at a position corresponding to the portion of the first substrate 100 where the thin film transistor is formed. The second column spacer 302 is formed at a corresponding portion of the gate line 101 formed on the first substrate 100. The remaining structure is the same as the structure of the first embodiment. The functions of the first column spacer 303 and the second column spacer 304 are the same.

第3実施形態 図11は、本発明の第3実施形態に係る液晶表示装置を示す図8のII−II´線上の構造断面図である。図11に示したように、本発明の第3実施形態に係る液晶表示装置は、第1基板100の段差の高い部位をゲートライン101とデータライン102の交差部として、第1カラムスペーサー305をゲートライン101とデータライン102の交差領域に形成し、前記第2カラムスペーサー306を相対的に段差の低いデータライン102上に形成する。 Third Embodiment FIG. 11 is a structural cross-sectional view taken along the line II-II ′ of FIG. 8 showing a liquid crystal display device according to a third embodiment of the present invention. As shown in FIG. 11, in the liquid crystal display device according to the third embodiment of the present invention, the first column spacer 305 is formed by using a high step portion of the first substrate 100 as an intersection of the gate line 101 and the data line 102. The second column spacer 306 is formed on the data line 102 having a relatively low step, and is formed at an intersection region of the gate line 101 and the data line 102.

第1実施形態及び第2実施形態と同様に、前記第1カラムスペーサー305及び第2カラムスペーサー306は、第1基板100の互いに異なる段差を有する部位にそれぞれ対応して形成され、押圧不良、タッチむら、重力不良を最小化する機能を果たす。 Similar to the first embodiment and the second embodiment, the first column spacer 305 and the second column spacer 306 are formed to correspond to portions having different steps of the first substrate 100, respectively, and have poor pressing and touch. Unevenly, it functions to minimize gravity failure.

図示してはいないが、他の実施形態で前記第1カラムスペーサー305は、第3実施形態と同様にゲートライン101とデータライン102の交差部に対応して形成し、前記第2カラムスペーサー306のみゲートライン101に対応するように若干の構造変更をしても、前記ゲートライン101とデータ102の高さが同一であるという仮定下に前述した第3実施形態と同一の効果が得られる。 Although not shown, in another embodiment, the first column spacer 305 is formed corresponding to the intersection of the gate line 101 and the data line 102 as in the third embodiment, and the second column spacer 306 is formed. Even if the structure is slightly changed so as to correspond only to the gate line 101, the same effect as that of the third embodiment described above can be obtained under the assumption that the height of the gate line 101 and the data 102 is the same.

第4実施形態 図12は、本発明の第4実施形態に係る液晶表示装置を示した図8のI−I´線上の構造断面図である。図12に示したように、4マスク製造法で示した第4実施形態に係る本発明の液晶表示装置の製造方法を説明すると次の通りである。 Fourth Embodiment FIG. 12 is a structural cross-sectional view taken along the line II ′ of FIG. 8 showing a liquid crystal display device according to a fourth embodiment of the present invention. As shown in FIG. 12, a manufacturing method of the liquid crystal display device of the present invention according to the fourth embodiment shown by the 4-mask manufacturing method will be described as follows.

図12において、まず、前記第1基板100上にMo、Al、又はCrなどのような金属物質をスパッタリング方法で全面蒸着した後、第1マスク(図示せず)を介してパターニングして、複数個のゲートライン101及び前記ゲートライン101から突出する形状にゲート電極101aを形成する。これと同一の工程で、前記ゲートライン101と平行に共通ライン118を形成し、前記共通ライン118からジグザグパターンとして突出する共通電極108を形成する。 In FIG. 12, first, a metal material such as Mo, Al, or Cr is deposited on the entire surface of the first substrate 100 by a sputtering method, and then patterned through a first mask (not shown). A gate electrode 101 a is formed in a shape protruding from the individual gate lines 101 and the gate lines 101. In the same process, a common line 118 is formed in parallel with the gate line 101, and a common electrode 108 protruding from the common line 118 as a zigzag pattern is formed.

次に、前記ゲートライン101を含む第1基板100の全面にゲート絶縁膜105、非晶質シリコン層104a、n+層104b、ソース/ドレイン電極層(102と同一層)を順に蒸着して形成する。 Next, a gate insulating film 105, an amorphous silicon layer 104a, an n + layer 104b, and a source / drain electrode layer (same layer as 102) are sequentially deposited on the entire surface of the first substrate 100 including the gate line 101. .

次に、第2マスク(図示せず)を用いて、まず始めに、前記ソース/ドレイン電極層、n+層104b、非晶質シリコン層104aを選択的に除去して、データライン102と、前記データライン102からドレイン電極形成部まで突出したパターンを形成する。この時、前記パターニングしたソース/ドレイン電極層の下部には、n+層104b、非晶質シリコン層104aが同一の幅で形成されている。 Next, using a second mask (not shown), first, the source / drain electrode layer, the n + layer 104b, and the amorphous silicon layer 104a are selectively removed, and the data line 102, A pattern protruding from the data line 102 to the drain electrode formation portion is formed. At this time, an n + layer 104b and an amorphous silicon layer 104a having the same width are formed below the patterned source / drain electrode layers.

そして、前記第2マスクを用いて、次に、半導体層のチャンネルの上部に対応する部位のソース/ドレイン金属層及びn+層104を同一の幅で除去して、互いに離隔したソース/ドレイン電極102a、102b及びチャンネルが定義された半導体層104a、104bを形成する。 Then, using the second mask, the source / drain metal layer and the n + layer 104 corresponding to the upper part of the channel of the semiconductor layer are removed with the same width, and the source / drain electrodes 102a separated from each other are removed. , 102b and semiconductor layers 104a and 104b in which channels are defined.

前記第2マスクは、回折マスクで、透過部については、前記感光膜が全部除去されており、前記半透過部については、前記感光膜が所定の厚さに除去されている。この時、前記遮断部は、前記感光膜の初期コーティングの厚さをそのまま維持する。ここで、前記遮断部は、ソース/ドレイン電極105a、105b部位と、データライン形成部位に対応して定義され、前記半透過部は、前記ソース電極105aとドレイン電極105bとの間のチャンネル部位に対応して定義される。 The second mask is a diffractive mask, and the photosensitive film is completely removed from the transmissive part, and the photosensitive film is removed from the semi-transmissive part to a predetermined thickness. At this time, the blocking unit maintains the initial coating thickness of the photosensitive film. Here, the blocking part is defined corresponding to the source / drain electrodes 105a and 105b and the data line forming part, and the semi-transmissive part is formed in a channel part between the source electrode 105a and the drain electrode 105b. Correspondingly defined.

次に、前記半導体層104を含んでソース電極102aと、ドレイン電極102bなどが形成されたゲート絶縁膜105上に化学気相蒸着(CVD)方式によってSiNx材質の保護膜106を全面蒸着する。このような保護膜106の材料としては、主にSiNxなどの無機物質が適用されており、最近、液晶セルの開口率を向上させるために、BCB(Benzo Cyclo Butene)、SOG(Spin On Glass)、又はアクリルなどの誘電率の低い有機物質が使用されている。 Next, a protective film 106 made of SiNx is deposited on the entire surface of the gate insulating film 105 including the semiconductor layer 104 on which the source electrode 102a and the drain electrode 102b are formed by a chemical vapor deposition (CVD) method. As a material of such a protective film 106, an inorganic substance such as SiNx is mainly applied. Recently, in order to improve the aperture ratio of the liquid crystal cell, BCB (Benzo Cyclo Butene), SOG (Spin On Glass). Organic materials having a low dielectric constant such as acrylic are used.

次に、第3マスク(図示せず)を介して前記ドレイン電極102b上の保護膜106の一部を選択的にエッチングして、ドレイン電極102bの一部を露出させるコンタクトホールを形成する。 Next, a part of the protective film 106 on the drain electrode 102b is selectively etched through a third mask (not shown) to form a contact hole exposing a part of the drain electrode 102b.

次に、前記保護膜106上に前記コンタクトホールを十分に埋め込むように透明な電極物質をスパッタリングして蒸着した後、第4マスク(図示せず)を介してパターニングして、前記画素領域内に前記共通電極108と交互に画素電極103を形成する。 Next, a transparent electrode material is sputtered and deposited on the protective layer 106 so as to sufficiently fill the contact hole, and then patterned through a fourth mask (not shown) to form the pixel region. Pixel electrodes 103 are formed alternately with the common electrodes 108.

前記第1基板100と対向する前記第2基板200上には、画素領域を除いた部分(ゲートライン及びデータライン領域、薄膜トランジスター領域)の光を遮断するためのブラックマト
リックス層201を形成し、前記画素領域に対応して色相を表現するためのR、G、Bカラーフィルター層202を形成し、前記ブラックマトリックス層201と、カラーフィルター層202の上部の全面にオーバーコート層203を形成する。
On the second substrate 200 facing the first substrate 100, a black matrix layer 201 is formed to block light in portions other than the pixel region (gate line and data line region, thin film transistor region); An R, G, B color filter layer 202 for expressing a hue corresponding to the pixel region is formed, and an overcoat layer 203 is formed on the entire surface of the black matrix layer 201 and the color filter layer 202.

次に、前記オーバーコート層203の上部の所定の部分、つまり第1基板100上の互いに異なる段差に相応する部位に同一の高さの複数個の第1カラムスペーサー307及び第2カラムスペーサー308を形成する。従って、前記第1カラムスペーサー307は、前記第1基板100上の高い段差を有する薄膜トランジスターと画素電極との接触領域に対応して、第2基板200上に形成される。そして、前記第2カラムスペーサー308は、前記第1基板100上の低い段差を有するゲートライン配線領域に対応して、第2基板200上に形成される。ここで、前記第1カラムスペーサー307は、スペーサー固有の機能のセルギャップ維持の機能をし、前記第2カラムスペーサー308は、カラムスペーサーの密度を高めて押圧不良に対する補償の機能を果たす。 Next, a plurality of first column spacers 307 and second column spacers 308 having the same height are formed at predetermined portions on the overcoat layer 203, that is, at portions corresponding to different steps on the first substrate 100. Form. Accordingly, the first column spacer 307 is formed on the second substrate 200 corresponding to a contact region between the thin film transistor having a high step on the first substrate 100 and the pixel electrode. The second column spacer 308 is formed on the second substrate 200 corresponding to a gate line wiring region having a low step on the first substrate 100. Here, the first column spacer 307 functions to maintain a cell gap, which is a function unique to the spacer, and the second column spacer 308 functions to compensate for a pressing failure by increasing the density of the column spacers.

この時、前記第1カラムスペーサー307及び第2カラムスペーサー308は、薄膜トランジスターのドレイン電極102bと、画素電極103とが接触する部位に相応する第1カラムスペーサー307が前記第1基板100及び第2基板200を支持する程度の高さに同一に形成される。このような高さに第1カラムスペーサー307及び第2カラムスペーサー308が形成されると、貼り合せ後に前記第1カラムスペーサー307は、第1基板100を押し、第1カラムスペーサー307及び第2カラムスペーサー308が対応する第1基板100の段差の差に該当する厚さだけ高さが収縮し、前記第2カラムスペーサー308は、前記第1基板100と触れ合う。 At this time, the first column spacer 307 and the second column spacer 308 correspond to a portion where the drain electrode 102b of the thin film transistor and the pixel electrode 103 are in contact with each other. The same height is formed to support the substrate 200. When the first column spacer 307 and the second column spacer 308 are formed at such a height, after the bonding, the first column spacer 307 pushes the first substrate 100, and the first column spacer 307 and the second column spacer 307 are pressed. The height contracts by a thickness corresponding to the difference in level of the first substrate 100 to which the spacer 308 corresponds, and the second column spacer 308 contacts the first substrate 100.

図示した図面で第1カラムスペーサー307及び第2カラムスペーサー308を、特にそれぞれ薄膜トランジスター形成部位とゲートライン領域に対応して形成した理由は、開口率の損傷を与えないブラックマトリックス層201がこれを遮るためである。 In the drawing, the reason why the first column spacer 307 and the second column spacer 308 are formed corresponding to the thin film transistor formation portion and the gate line region, respectively, is that the black matrix layer 201 that does not damage the aperture ratio is used. It is for shielding.

このように、前記第1カラムスペーサー307及び第2カラムスペーサー308は、前述したカラムスペーサー製造工程で形成される。又、第1カラムスペーサー307及び第2カラムスペーサー308を、第2基板200のブラックマトリックス層201の部位内に形成することで、カラムスペーサーの形成によって開口率が落ちないようにする。 As described above, the first column spacer 307 and the second column spacer 308 are formed in the above-described column spacer manufacturing process. In addition, the first column spacer 307 and the second column spacer 308 are formed in the portion of the black matrix layer 201 of the second substrate 200 so that the aperture ratio does not drop due to the formation of the column spacer.

このようにしてTFTアレイが形成された第1基板100と、カラーフィルターアレイが形成された第2基板200との表面に、それぞれ第1配向膜107及び第2配向膜204を形成した後ラビング処理をする。ここで、ラビング処理とは、布を均一の圧力や速度で第1配向膜107及び第2配向膜204の表面と摩擦させることで、第1配向膜107及び第2配向膜204の表面の高分子チェーンが一定の方向に整列されるようにして液晶の初期配向方向を決定する工程をいう。 The first alignment film 107 and the second alignment film 204 are formed on the surfaces of the first substrate 100 on which the TFT array is formed in this way and the second substrate 200 on which the color filter array is formed, respectively, followed by a rubbing process. do. Here, the rubbing treatment is a process in which the cloth is rubbed with the surfaces of the first alignment film 107 and the second alignment film 204 at a uniform pressure and speed, thereby increasing the height of the surfaces of the first alignment film 107 and the second alignment film 204. The step of determining the initial alignment direction of the liquid crystal so that the molecular chains are aligned in a certain direction.

第5実施形態 図13は、本発明の第5実施形態に係る液晶表示装置を示す図8のII−II´線上の構造断面図である。図13に示したように、本発明の第5実施形態に係る液晶表示装置は、第1カラムスペーサー309がゲートライン101とデータライン102の交差領域に、第2カラムスペーサー310がゲートライン308の上部に対応して形成される点を除いては前記第4実施形態と同一の方法で形成され、同一の効果を持つ。 Fifth Embodiment FIG. 13 is a structural cross-sectional view taken along the line II-II ′ of FIG. 8 showing a liquid crystal display device according to a fifth embodiment of the present invention. As shown in FIG. 13, in the liquid crystal display device according to the fifth embodiment of the present invention, the first column spacer 309 is at the intersection of the gate line 101 and the data line 102, and the second column spacer 310 is at the gate line 308. Except for the point corresponding to the upper part, it is formed by the same method as the fourth embodiment, and has the same effect.

この場合、第5実施形態に係る液晶表示装置は、4マスクで製造されるため、データライン102のパターニングと、n+層102b及び非晶質シリコン層104aのパターニングとが同一のマスクを用いて行われ、前記チャンネルに対応する部位を除いてはデータライン102の金属が残った部位は、前記半導体層104a、104bが共に積層される。 In this case, since the liquid crystal display device according to the fifth embodiment is manufactured with four masks, the patterning of the data line 102 and the patterning of the n + layer 102b and the amorphous silicon layer 104a are performed using the same mask. In addition, the semiconductor layers 104a and 104b are laminated together on the portion of the data line 102 where the metal remains except for the portion corresponding to the channel.

従って、ゲートライン101とデータライン102の交差部は、単一のゲートライン101が形成される部位に比べて非晶質シリコン層104a、n+層、データライン102が更に形成されており、相対的にゲートライン101の部位に比べて前述した非晶質シリコン層104a、n+層、データライン102を積層した厚さだけ更に高い段差を有している。 Therefore, the intersection of the gate line 101 and the data line 102 is further formed with the amorphous silicon layer 104a, the n + layer, and the data line 102 as compared with the portion where the single gate line 101 is formed. Compared with the portion of the gate line 101, there is a step that is higher than the thickness of the laminated amorphous silicon layer 104a, n + layer, and data line 102 described above.

従って、第1カラムスペーサー309を前記ゲートライン101とデータライン102の交差部に対応させ形成し、第2カラムスペーサー310を単一のゲートライン101の部位に形成すると、第1カラムスペーサー309は、第2カラムスペーサー310に比べて非晶質シリコン層104a、n+層、データライン102を積層した厚さ分だけ多く押される。 Accordingly, when the first column spacer 309 is formed corresponding to the intersection of the gate line 101 and the data line 102 and the second column spacer 310 is formed at the single gate line 101, the first column spacer 309 is: Compared with the second column spacer 310, it is pushed more by the thickness of the laminated amorphous silicon layer 104 a, n + layer, and data line 102.

第6実施形態 図14は、本発明の液晶表示装置をTNモードで具現する時にこれを示す平面図である。図15は、本発明の第6実施形態に係る図9のIII〜III´線上の構造断面図である。図14及び図15において、第6実施形態に係る液晶表示装置は、一定の空間を有して貼り合せられた第1基板100及び第2基板200と、前記第1基板100と第2基板200との間に注入された液晶層250とで構成されている。 Sixth Embodiment FIG. 14 is a plan view showing a liquid crystal display device according to the present invention when it is implemented in a TN mode. 15 is a structural cross-sectional view taken along line III-III ′ of FIG. 9 according to the sixth embodiment of the present invention. 14 and 15, the liquid crystal display device according to the sixth embodiment includes a first substrate 100 and a second substrate 200 which are bonded to each other with a certain space, and the first substrate 100 and the second substrate 200. And a liquid crystal layer 250 injected between them.

前記第1基板100上には垂直に交差して画素領域を定義する複数個のゲートライン101及びデータライン102と、前記ゲートライン101とデータライン102が交差する各画素領域に形成された画素電極103と、前記各ゲートライン101とデータライン102が交差する部分に形成された薄膜トランジスターとを含んでなる。 A plurality of gate lines 101 and data lines 102 that vertically intersect the first substrate 100 to define pixel areas, and pixel electrodes formed in the pixel areas where the gate lines 101 and data lines 102 intersect. 103 and a thin film transistor formed at a portion where the gate line 101 and the data line 102 intersect.

前記薄膜トランジスターは、ゲート電極101aと、所定の幅で前記ゲート電極101aの上部を覆う半導体層104と、前記ゲート電極101aの両側に対応して形成されたソース/ドレイン電極102a、102bとからなる。 The thin film transistor includes a gate electrode 101a, a semiconductor layer 104 covering the upper portion of the gate electrode 101a with a predetermined width, and source / drain electrodes 102a and 102b formed on both sides of the gate electrode 101a. .

このようなTNモードの液晶表示装置が前述したIPSモードの液晶表示と異なる点は、第1基板100内の画素領域内に画素電極が一つのパターンで形成されることや、前記第2基板100上にオーバーコート層(図9の203参照)の代わりに、共通電極205が全面に形成されることで、その他の構造及び製造方法は、前述した第1実施形態乃至第5実施形態で説明したものと同様である。 Such a TN mode liquid crystal display device is different from the IPS mode liquid crystal display described above in that pixel electrodes are formed in a single pattern in a pixel region in the first substrate 100, and the second substrate 100 Since the common electrode 205 is formed on the entire surface instead of the overcoat layer (see 203 in FIG. 9), other structures and manufacturing methods have been described in the first to fifth embodiments. It is the same as that.

以下、第6実施形態に係る液晶表示装置の製造方法について説明する。 The method for manufacturing the liquid crystal display device according to the sixth embodiment will be described below.

まず、前記第1基板100上にMo、Al、又はCrなどのような金属物質をスパッタリング方法で全面蒸着した後、第1マスク(図示せず)を介してパターニングして、複数個のゲートライン101及び前記ゲートライン101から突出する形状にゲート電極101aを形成する。 First, a metal material such as Mo, Al, or Cr is deposited on the entire surface of the first substrate 100 by a sputtering method, and then patterned through a first mask (not shown) to form a plurality of gate lines. 101 and a gate electrode 101 a are formed in a shape protruding from the gate line 101.

次に、前記ゲートライン101を含む第1基板100上にSiNxなどの絶縁物質を全面蒸着してゲート絶縁膜105を形成する。次に、前記ゲート絶縁膜105上に前記ゲート電極101aを覆う形状で半導体層104を形成する。ここで、前記半導体層104は、前記ゲート絶縁膜105上に非晶質シリコン層104a、及び燐(P)が高濃度でドーピングされたn+層104bを連続的に蒸着した後、第2マスク(図示せず)を介して前記n+層104b、非晶質シリコン層104aを同時にパターニングして形成する。 Next, an insulating material such as SiNx is deposited on the entire surface of the first substrate 100 including the gate line 101 to form a gate insulating layer 105. Next, a semiconductor layer 104 is formed on the gate insulating film 105 so as to cover the gate electrode 101a. Here, the semiconductor layer 104 is formed by depositing an amorphous silicon layer 104a and an n + layer 104b doped with phosphorus (P) at a high concentration on the gate insulating film 105, and then depositing a second mask ( The n + layer 104b and the amorphous silicon layer 104a are simultaneously patterned through a not-shown).

次に、Mo、Al、又はCrなどのような金属物質をスパッタリング方法で全面蒸着した後、第3マスク(図示せず)を用いてパターニングして、データライン102及び前記ゲート電極101aの両側にソース電極102a、ドレイン電極102bを形成する。ここで、前記ソース電極102aは、前記データライン102から突出して形成される。 Next, a metal material such as Mo, Al, or Cr is deposited on the entire surface by a sputtering method, and then patterned using a third mask (not shown) to form both sides of the data line 102 and the gate electrode 101a. A source electrode 102a and a drain electrode 102b are formed. Here, the source electrode 102 a is formed to protrude from the data line 102.

このような金属パターニング工程で、前記ソース電極102a、ドレイン電極102bの下部にn+層104bまでオーバーエッチングが行われるようにして、前記n+層104bが前記ゲート電極101aの上部から除去されるようにする。従って、前記非晶質シリコン層が前記ゲート電極101aの上部から露出されるが、その露出部位が薄膜トランジスター(TFT)のチャンネル領域に定義される領域である。ここで、前記非晶質シリコン層と、n+層とからなるのが半導体層104である。 In such a metal patterning process, over-etching is performed to the n + layer 104b below the source electrode 102a and the drain electrode 102b so that the n + layer 104b is removed from the top of the gate electrode 101a. . Therefore, the amorphous silicon layer is exposed from the top of the gate electrode 101a, and the exposed portion is a region defined as a channel region of a thin film transistor (TFT). Here, the semiconductor layer 104 includes the amorphous silicon layer and the n + layer.

次に、前記半導体層104を含んでソース電極102aと、ドレイン電極102bなどが形成されたゲート絶縁膜105上に化学気相蒸着(CVD)方式によってSiNx材質の保護膜106を全面蒸着する。このような保護膜106の材料としては、主にSiNxなどの無機物質が適用されており、最近、液晶セルの開口率を向上させるために、BCB(Benzo Cyclo Butene)、SOG(Spin On Glass)、又はアクリルなどの誘電率の低い有機物質が使用されている。 Next, a protective film 106 made of SiNx is deposited on the entire surface of the gate insulating film 105 including the semiconductor layer 104 on which the source electrode 102a and the drain electrode 102b are formed by a chemical vapor deposition (CVD) method. As a material of such a protective film 106, an inorganic substance such as SiNx is mainly applied. Recently, in order to improve the aperture ratio of the liquid crystal cell, BCB (Benzo Cyclo Butene), SOG (Spin On Glass). Organic materials having a low dielectric constant such as acrylic are used.

次に、第4マスク(図示せず)を介して前記ドレイン電極102b上の保護膜106の一部を選択的にエッチングして、ドレイン電極102bの一部を露出させるコンタクトホールを形成する。 Next, a part of the protective film 106 on the drain electrode 102b is selectively etched through a fourth mask (not shown) to form a contact hole exposing a part of the drain electrode 102b.

次に、前記保護膜106上に前記コンタクトホールを十分に埋め込むように透明電極物質をスパッタリングして蒸着した後、第5マスク(図示せず)を介してパターニングして、画素領域に画素電極103を形成する。 Next, a transparent electrode material is sputtered and deposited on the protective film 106 so as to sufficiently fill the contact hole, and then patterned through a fifth mask (not shown) to form the pixel electrode 103 in the pixel region. Form.

このように、第1基板100が形成される場合、薄膜トランジスターが形成された部位と、ゲートライン101とデータライン102とがオーバーラップした部分がゲートライン101又はデータライン102が形成された部分より相対的に高い段差を有する。 As described above, when the first substrate 100 is formed, a portion where the thin film transistor is formed and a portion where the gate line 101 and the data line 102 overlap each other than a portion where the gate line 101 or the data line 102 is formed. Has a relatively high step.

前記第1基板100と対向する前記第2基板200上には、画素領域を除いた部分(ゲートライン及びデータライン領域、薄膜トランジスター領域)の光を遮断するためのブラックマトリックス層(図9の201参照)を形成し、前記画素領域に対応して色相を表現するためのR、G、Bカラーフィルター層(図9の202参照)を形成し、前記ブラックマトリックス層201と、カラーフィルター層202の上部の全面に共通電極(図9の203位置に準じる)を形成する。 On the second substrate 200 facing the first substrate 100, a black matrix layer (201 in FIG. 9) for blocking light in portions excluding the pixel region (gate line and data line region, thin film transistor region). R), G, and B color filter layers (see 202 in FIG. 9) for expressing the hue corresponding to the pixel region, and the black matrix layer 201 and the color filter layer 202 are formed. A common electrode (according to position 203 in FIG. 9) is formed on the entire upper surface.

次に、前記共通電極203の上部の所定の部位、つまり第1基板100上の互いに異なる段差に相応する部位に同一の高さの複数個の第1カラムスペーサー311及び第2カラムスペーサー312を形成する。 Next, a plurality of first column spacers 311 and second column spacers 311 having the same height are formed at predetermined positions on the common electrode 203, that is, at positions corresponding to different steps on the first substrate 100. To do.

本発明の第6実施形態では、第1カラムスペーサー311を前記第1基板100の薄膜トランジスターが形成された部分に相応する位置に形成し、第2カラムスペーサー312を、第1基板100のデータライン102が形成された部分に相応する位置に形成する。 In the sixth embodiment of the present invention, the first column spacer 311 is formed at a position corresponding to the portion of the first substrate 100 where the thin film transistor is formed, and the second column spacer 312 is formed on the data line of the first substrate 100. 102 is formed at a position corresponding to the formed portion.

以上では、IPSモードの第1実施形態をTNモードに適用した第6実施形態に係る液晶表示装置の製造方法についてのみ記述したが、同一の方式でIPSモードの第2乃至第5実施形態に係る方法もTNモードに適用できる。 In the above, only the manufacturing method of the liquid crystal display device according to the sixth embodiment in which the first embodiment of the IPS mode is applied to the TN mode has been described, but according to the second to fifth embodiments of the IPS mode in the same manner. The method can also be applied to the TN mode.

以上、これまで説明した本発明の液晶表示装置及びその製造方法は、それぞれ互いに異なる段差を有する第1基板(TFT基板)の地点に相応して同一の高さのカラムスペーサーを形成する点を特徴としており、ここで、互いに異なる段差は、それぞれ第1基板のアレイ形成工程に用いられる製法によって変更されることもある。 As described above, the liquid crystal display device and the manufacturing method thereof according to the present invention are characterized in that column spacers having the same height are formed corresponding to the points of the first substrate (TFT substrate) having different steps. Here, the steps different from each other may be changed depending on the manufacturing method used in the array forming process of the first substrate.

上述した実施形態では、前記互いに異なる段差は、前記第2基板(カラーフィルター基板)のブラックマトリックス層上に第1基板の部位で最も高い地点と、最も低い地点とにそれぞれ相応して第1カラムスペーサー及び第2カラムスペーサーを形成した。このような高さの最高、最低地点は、製造工程法によって変更可能なもので、前記第1カラムスペーサーは、第1基板と接触し、第2カラムスペーサーは、第1基板と所定の間隔で離隔していることを満たせば同一の効果を達成できる。 In the embodiment described above, the different steps are different from each other in the first column on the black matrix layer of the second substrate (color filter substrate) corresponding to the highest point and the lowest point of the first substrate. A spacer and a second column spacer were formed. The highest and lowest points of the height can be changed according to the manufacturing method, and the first column spacer is in contact with the first substrate, and the second column spacer is at a predetermined distance from the first substrate. The same effect can be achieved if the distance is satisfied.

一般的な液晶表示装置を示す拡大斜視図である。It is an expansion perspective view which shows a general liquid crystal display device. 液晶注入型液晶表示装置の製造方法のフローチャートである。It is a flowchart of the manufacturing method of a liquid crystal injection type liquid crystal display device. 液晶滴下型液晶表示装置の製造方法のフローチャートである。It is a flowchart of the manufacturing method of a liquid crystal dropping type liquid crystal display device. カラムスペーサーが形成されたカラーフィルター基板を示す構造断面図である。It is a structural sectional view showing a color filter substrate on which a column spacer is formed. TFT基板とカラーフィルター基板との貼り合せ時の形状を示す構造断面図である。It is structural sectional drawing which shows the shape at the time of bonding of a TFT substrate and a color filter substrate. タッチむらが生じる部位の形状を示す平面図である。It is a top view which shows the shape of the site | part which a touch nonuniformity produces. タッチむらが生じる部位の形状を示す断面図である。It is sectional drawing which shows the shape of the site | part which a touch nonuniformity produces. 液晶滴下量及びカラムスペーサーの密度変化に伴うタッチむら及び重力不良を示すグラフである。It is a graph which shows the touch nonuniformity and gravity defect accompanying the liquid crystal dripping amount and the density change of a column spacer. 本発明の液晶表示装置を概略的に示す構造断面図である。1 is a structural cross-sectional view schematically showing a liquid crystal display device of the present invention. 本発明の液晶表示装置を概略的に示す構造断面図である。1 is a structural cross-sectional view schematically showing a liquid crystal display device of the present invention. 本発明の液晶表示装置を概略的に示す構造断面図である。1 is a structural cross-sectional view schematically showing a liquid crystal display device of the present invention. 本発明の第1実施形態を具体的にIPSモードで具現した液晶表示装置を示す平面図である。1 is a plan view showing a liquid crystal display device that specifically embodies the first embodiment of the present invention in an IPS mode. 本発明の第1実施形態に係る液晶表示装置を示す図8のI−I´線上の構造断面図である。FIG. 9 is a structural cross-sectional view taken along the line II ′ of FIG. 8 illustrating the liquid crystal display device according to the first embodiment of the present invention. 本発明の第2実施形態に係る液晶表示装置を示す図8のI−I´線上の構造断面図である。FIG. 9 is a structural cross-sectional view taken along the line II ′ of FIG. 8 showing a liquid crystal display device according to a second embodiment of the present invention. 本発明の第3実施形態に係る液晶表示装置を示す図8のII−II´線上の構造断面図である。It is a structure sectional view on the II-II 'line of Drawing 8 showing the liquid crystal display concerning a 3rd embodiment of the present invention. 本発明の第4実施形態に係る液晶表示装置を示す図8のI−I´線上の構造断面図である。It is a structure sectional view on the II 'line of Drawing 8 showing the liquid crystal display concerning a 4th embodiment of the present invention. 本発明の第5実施形態に係る液晶表示装置を示す図8のII−II´線上の構造断面図である。FIG. 9 is a structural cross-sectional view taken along the line II-II ′ of FIG. 8 illustrating a liquid crystal display device according to a fifth embodiment of the present invention. 本発明の液晶表示装置をTNモードで具現する時にこれを示す平面図である。1 is a plan view illustrating a liquid crystal display device according to an embodiment of the present invention in a TN mode. 本発明の第6実施形態に係る図9のIII−III´線上の構造断面図である。It is structural sectional drawing on the III-III 'line of FIG. 9 which concerns on 6th Embodiment of this invention.

符号の説明Explanation of symbols

100 第1基板、101 ゲートライン、101a ゲート電極、102 データライン、102a ソース電極、102b ドレイン電極、103 画素電極、104a 非晶質シリコン層、104b n+層、105 ゲート絶縁膜、106 保護膜、107 第1配向膜、200 第2基板、201 ブラックマトリックス層、202 カラーフィルター層、203 共通電極、204 第2配向膜、250 液晶層、301〜312 カラムスペーサー。 100 first substrate, 101 gate line, 101a gate electrode, 102 data line, 102a source electrode, 102b drain electrode, 103 pixel electrode, 104a amorphous silicon layer, 104b n + layer, 105 gate insulating film, 106 protective film, 107 First alignment film, 200 Second substrate, 201 Black matrix layer, 202 Color filter layer, 203 Common electrode, 204 Second alignment film, 250 Liquid crystal layer, 301 to 312 Column spacer.

Claims (43)

相対的に段差の高い第1領域と相対的に段差の低い第2領域とを有する第1基板と、 前記第1基板の前記第1領域に相応した部分に第1カラムスペーサーを備え、前記第2領域に相応する部分に第2カラムスペーサーを備えて前記第1基板と貼り合わされる第2基板と、 前記第1基板と前記第2基板との間に形成された液晶層と を含んでなることを特徴とする液晶表示装置。 A first substrate having a first region having a relatively high step and a second region having a relatively low step; and a first column spacer in a portion corresponding to the first region of the first substrate, A second substrate provided with a second column spacer in a portion corresponding to the two regions and bonded to the first substrate; and a liquid crystal layer formed between the first substrate and the second substrate. A liquid crystal display device characterized by the above. 前記第1カラムスペーサー及び前記第2カラムスペーサーの高さは、同一に形成されることを特徴とする請求項1に記載の液晶表示装置。 The liquid crystal display device of claim 1, wherein the first column spacer and the second column spacer have the same height. 前記第1カラムスペーサーは、前記第1基板上の対応する表面を押して前記液晶層のセルギャップを維持することを特徴とする請求項1に記載の液晶表示装置。 2. The liquid crystal display device according to claim 1, wherein the first column spacer maintains a cell gap of the liquid crystal layer by pressing a corresponding surface on the first substrate. 前記第1カラムスペーサーの高さは、前記第1基板の前記第1領域と前記第2領域との高さの差分だけ収縮することを特徴とする請求項3に記載の液晶表示装置。 4. The liquid crystal display device according to claim 3, wherein the height of the first column spacer contracts by a height difference between the first region and the second region of the first substrate. 前記第1カラムスペーサーが収縮する厚さは、2000Å乃至6000Åであることを特徴とする請求項4に記載の液晶表示装置。 5. The liquid crystal display device according to claim 4, wherein the first column spacer contracts to a thickness of 2000 to 6000 mm. 前記第2カラムスペーサーは、前記第1基板に接触することを特徴とする請求項1に記載の液晶表示装置。 The liquid crystal display device of claim 1, wherein the second column spacer is in contact with the first substrate. 前記第2カラムスペーサーは、前記第1基板と所定の間隔で離隔していることを特徴とする請求項1に記載の液晶表示装置。 The liquid crystal display device according to claim 1, wherein the second column spacer is separated from the first substrate at a predetermined interval. 前記第2カラムスペーサーの第1高さは、前記第2基板に圧力が加えられる時に第2高さに減ることを特徴とする請求項1に記載の液晶表示装置。 The liquid crystal display of claim 1, wherein a first height of the second column spacer is reduced to a second height when pressure is applied to the second substrate. 前記第1基板上にはTFTアレイが形成され、前記第2基板上にはカラーフィルターアレイが形成されることを特徴とする請求項1に記載の液晶表示装置。 2. The liquid crystal display device according to claim 1, wherein a TFT array is formed on the first substrate, and a color filter array is formed on the second substrate. 前記TFTアレイは、 第1基板上に画素領域を定義し、互いに垂直に交差する複数個のゲートライン及びデータラインと、 前記各ゲートライン及びデータラインの交差部に形成された複数個の薄膜トランジスターと、 前記各画素領域内に交互に形成された複数個の共通電極及び画素電極と を含んでなることを特徴とする請求項9に記載の液晶表示装置。 The TFT array defines a pixel region on a first substrate, and includes a plurality of gate lines and data lines that intersect perpendicularly to each other, and a plurality of thin film transistors formed at intersections of the gate lines and data lines. The liquid crystal display device according to claim 9, further comprising: a plurality of common electrodes and pixel electrodes alternately formed in each pixel region. 前記カラーフィルターアレイは、 TFTアレイの金属配線及び薄膜トランジスターに対応する第2基板に形成されたブラックマトリックス層と、 前記ブラックマトリックス層を含む前記第2基板上に形成されたカラーフィルター層と、 前記カラーフィルター層の上部に形成されたオーバーコート層と を含んでなることを特徴とする請求項9に記載の液晶表示装置。 The color filter array comprises: a black matrix layer formed on a second substrate corresponding to the metal wiring and thin film transistor of the TFT array; a color filter layer formed on the second substrate including the black matrix layer; The liquid crystal display device according to claim 9, further comprising an overcoat layer formed on the color filter layer. 前記第1カラムスペーサーは、前記薄膜トランジスターのソース電極に対応して形成されることを特徴とする請求項11に記載の液晶表示装置。 The liquid crystal display of claim 11, wherein the first column spacer is formed corresponding to a source electrode of the thin film transistor. 前記第1カラムスペーサーは、前記薄膜トランジスターのドレイン電極に対応して形成されることを特徴とする請求項11に記載の液晶表示装置。 12. The liquid crystal display device according to claim 11, wherein the first column spacer is formed corresponding to a drain electrode of the thin film transistor. 前記第1カラムスペーサーは、前記薄膜トランジスターのゲート電極の上部に対応して形成されることを特徴とする請求項11に記載の液晶表示装置。 The liquid crystal display device of claim 11, wherein the first column spacer is formed corresponding to an upper portion of the gate electrode of the thin film transistor. 前記第1カラムスペーサーは、前記薄膜トランジスターと画素電極とのコンタクト領域に対応して形成されることを特徴とする請求項11に記載の液晶表示装置。 The liquid crystal display device of claim 11, wherein the first column spacer is formed corresponding to a contact region between the thin film transistor and the pixel electrode. 前記第1基板の背面全面にITO膜を更に含むことを特徴とする請求項11に記載の液晶表示装置。 12. The liquid crystal display device according to claim 11, further comprising an ITO film on the entire back surface of the first substrate. 前記複数個のカラムスペーサーは、前記カラーフィルターアレイ上に形成されることを特徴とする請求項11に記載の液晶表示装置。 12. The liquid crystal display device according to claim 11, wherein the plurality of column spacers are formed on the color filter array. 前記第1カラムスペーサー及び前記第2カラムスペーサーは、前記ブラックマトリック層上に形成されることを特徴とする請求項11に記載の液晶表示装置。 The liquid crystal display device of claim 11, wherein the first column spacer and the second column spacer are formed on the black matrix layer. 前記TFTアレイは、 画素領域を定義し、互いに垂直に交差する複数個のゲートライン及びデータラインと、前記各ゲートライン及び前記各データラインの交差部に形成された複数個の薄膜トランジスターと、 前記各画素領域内に形成された複数個の画素電極と を含んで構成されることを特徴とする請求項9に記載の液晶表示装置。 The TFT array defines a pixel region, and a plurality of gate lines and data lines that intersect perpendicularly to each other, a plurality of thin film transistors formed at intersections of the gate lines and the data lines, The liquid crystal display device according to claim 9, comprising a plurality of pixel electrodes formed in each pixel region. 前記カラーフィルターアレイは、 前記TFTアレイの金属配線及び薄膜トランジスター形成部に対応して形成されたブラックマトリックス層と、 前記ブラックマトリックス層を含む第2基板上に形成されたカラーフィルター層と、 前記カラーフィルター層上に形成された共通電極と を含んで構成されることを特徴とする請求項19に記載の液晶表示装置。 The color filter array includes a black matrix layer formed corresponding to a metal wiring and a thin film transistor forming part of the TFT array, a color filter layer formed on a second substrate including the black matrix layer, and the color The liquid crystal display device according to claim 19, comprising a common electrode formed on the filter layer. 前記第1カラムスペーサーは、前記薄膜トランジスターのソース電極に対応して形成されることを特徴とする請求項20に記載の液晶表示装置。 The liquid crystal display of claim 20, wherein the first column spacer is formed corresponding to a source electrode of the thin film transistor. 前記第1カラムスペーサーは、前記薄膜トランジスターのドレイン電極に対応して形成されることを特徴とする請求項20に記載の液晶表示装置。 The liquid crystal display of claim 20, wherein the first column spacer is formed corresponding to a drain electrode of the thin film transistor. 前記第1カラムスペーサーは、前記薄膜トランジスターのゲート電極の上部に対応して形成されることを特徴とする請求項20に記載の液晶表示装置。 The liquid crystal display of claim 20, wherein the first column spacer is formed corresponding to an upper part of the gate electrode of the thin film transistor. 前記第1カラムスペーサーは、前記一つの薄膜トランジスターと前記一つの画素電極とのコンタクトする領域に対応して形成されることを特徴とする請求項20に記載の液晶表示装置。 21. The liquid crystal display device of claim 20, wherein the first column spacer is formed corresponding to a region where the one thin film transistor and the one pixel electrode are in contact with each other. 前記第1カラムスペーサー及び前記第2カラムスペーサーは、前記ブラックマトリックス層形成部位に対応して形成されることを特徴とする請求項20に記載の液晶表示装置。 21. The liquid crystal display device of claim 20, wherein the first column spacer and the second column spacer are formed corresponding to the black matrix layer forming portion. 前記第1基板及び前記第2基板の互いに対向する表面に形成される複数個の配向膜を更に含むことを特徴とする請求項1に記載の液晶表示装置。 The liquid crystal display device according to claim 1, further comprising a plurality of alignment films formed on surfaces of the first substrate and the second substrate facing each other. 互いに対向する第1基板及び第2基板と、 画素領域を定義するために前記第1基板上に互いに交差して形成される複数個のゲートライン及びデータラインと、 前記各ゲートラインと前記各データラインの交差部に形成された複数個の薄膜トランジスターと、 前記各画素領域に形成された複数個の画素電極及び共通電極と、 前記一つの薄膜トランジスターに相応して前記第2基板上に形成される第1カラムスペーサーと、 前記一つのゲートライン又は前記一つのデータラインに相応して前記第2基板上に形成される第2カラムスペーサーと、 前記第1基板と前記第2基板との間に形成された液晶層と を含んでなることを特徴とする液晶表示装置。 A first substrate and a second substrate facing each other; a plurality of gate lines and data lines formed on the first substrate to define a pixel region; and the gate lines and the data. A plurality of thin film transistors formed at intersections of the lines; a plurality of pixel electrodes and a common electrode formed in each pixel region; and formed on the second substrate corresponding to the one thin film transistor. A first column spacer, a second column spacer formed on the second substrate corresponding to the one gate line or the one data line, and between the first substrate and the second substrate. A liquid crystal display device comprising: a formed liquid crystal layer. 前記第1カラムスペーサーの第1厚さは、前記第1基板に圧力が加えられると第2厚さに減り、前記第2カラムスペーサーは、前記第1基板に接触することを特徴とする請求項27に記載の液晶表示装置。 The first thickness of the first column spacer is reduced to a second thickness when pressure is applied to the first substrate, and the second column spacer contacts the first substrate. 27. A liquid crystal display device according to 27. 前記第1カラムスペーサー及び前記第2カラムスペーサーは、同一の高さに形成されることを特徴とする請求項27に記載の液晶表示装置。 28. The liquid crystal display device of claim 27, wherein the first column spacer and the second column spacer are formed at the same height. 互いに対向する第1基板及び第2基板と、 画素領域を定義するために前記第1基板上に互いに交差して形成される複数個のゲートライン及びデータラインと、 前記各ゲートラインと前記各データラインとの交差部に形成された複数個の薄膜トランジスターと、 前記各画素領域に形成された複数個の画素電極と、 前記一つの薄膜トランジスターに相応して前記第2基板上に形成される第1カラムスペーサーと、 前記一つのゲートライン又は前記一つのデータラインに相応して前記第2基板上に形成される第2カラムスペーサーと、 前記第1基板と前記第2基板との間に形成された液晶層と を含んでなることを特徴とする液晶表示装置。 A first substrate and a second substrate facing each other; a plurality of gate lines and data lines formed on the first substrate to define a pixel region; and the gate lines and the data. A plurality of thin film transistors formed at intersections of the lines, a plurality of pixel electrodes formed in each pixel region, and a second thin film transistor formed on the second substrate corresponding to the one thin film transistor. A column spacer; a second column spacer formed on the second substrate corresponding to the one gate line or the one data line; and formed between the first substrate and the second substrate. A liquid crystal display device comprising: a liquid crystal layer. 前記第1カラムスペーサーの第1厚さは、前記第1基板に圧力が加えられると第2厚さに減り、前記第2カラムスペーサーは、前記第1基板に接触することを特徴とする請求項30に記載の液晶表示装置。 The first thickness of the first column spacer is reduced to a second thickness when pressure is applied to the first substrate, and the second column spacer contacts the first substrate. 30. A liquid crystal display device according to 30. 前記第1カラムスペーサー及び前記第2カラムスペーサーは、同一の高さに形成されることを特徴とする請求項30に記載の液晶表示装置。 The liquid crystal display of claim 30, wherein the first column spacer and the second column spacer are formed at the same height. 互いに対向する第1基板及び第2基板と、 画素領域を定義するために前記第1基板上に互いに交差して形成される複数個のゲートライン及びデータラインと、 前記各ゲートラインと前記各データラインの交差部に形成された複数個の薄膜トランジスターと、 前記各画素領域に形成された複数個の画素電極及び共通電極と、 前記ゲートラインと前記データラインの交差部に相応して前記第2基板上に形成される第1カラムスペーサーと、 前記ゲートラインと前記データラインの交差部を除いたゲートライン又はデータラインに相応して前記第2基板上に形成される第2カラムスペーサーと、 前記第1基板と前記第2基板との間に形成された液晶層と を含んでなることを特徴とする液晶表示装置。 A first substrate and a second substrate facing each other; a plurality of gate lines and data lines formed on the first substrate to define a pixel region; and the gate lines and the data. A plurality of thin film transistors formed at intersections of lines; a plurality of pixel electrodes and common electrodes formed at each pixel region; and the second corresponding to the intersection of the gate lines and the data lines. A first column spacer formed on the substrate; a second column spacer formed on the second substrate corresponding to a gate line or a data line excluding an intersection of the gate line and the data line; A liquid crystal display device comprising: a liquid crystal layer formed between the first substrate and the second substrate. 前記第1カラムスペーサーの第1厚さは、前記第1基板に圧力が加えられると第2厚さに減り、前記第2カラムスペーサーは、前記第1基板に接触することを特徴とする請求項33に記載の液晶表示装置。 The first thickness of the first column spacer is reduced to a second thickness when pressure is applied to the first substrate, and the second column spacer contacts the first substrate. 34. A liquid crystal display device according to 33. 前記第1カラムスペーサー及び前記第2カラムスペーサーは、同一の高さに形成されることを特徴とする請求項33に記載の液晶表示装置。 The liquid crystal display of claim 33, wherein the first column spacer and the second column spacer are formed at the same height. 互いに対向する第1基板及び第2基板と、 画素領域を定義するために前記第1基板上に互いに交差して形成される複数個のゲートライン及びデータラインと、 前記各ゲートラインと前記各データラインの交差部に形成された複数個の薄膜トランジスターと、 前記各画素領域に形成された複数個の画素電極と、 前記ゲートラインと前記データラインの交差部に相応して前記第2基板上に形成される第1カラムスペーサーと、 前記ゲートラインと前記データラインの交差部を除いたゲートライン又はデータラインに相応して前記第2基板上に形成される第2カラムスペーサーと、 前記第1基板と前記第2基板との間に形成された液晶層と を含んでなることを特徴とする液晶表示装置。 A first substrate and a second substrate facing each other; a plurality of gate lines and data lines formed on the first substrate to define a pixel region; and the gate lines and the data. A plurality of thin film transistors formed at intersections of the lines, a plurality of pixel electrodes formed in the pixel regions, and on the second substrate corresponding to the intersections of the gate lines and the data lines. A first column spacer formed; a second column spacer formed on the second substrate corresponding to a gate line or a data line excluding an intersection of the gate line and the data line; and the first substrate. And a liquid crystal layer formed between the second substrate and the liquid crystal display device. 前記第1カラムスペーサーの第1厚さは、前記第1基板に圧力が加えられると第2厚さに減り、前記第2カラムスペーサーは、前記第1基板に接触することを特徴とする請求項36に記載の液晶表示装置。 The first thickness of the first column spacer is reduced to a second thickness when pressure is applied to the first substrate, and the second column spacer contacts the first substrate. 36. A liquid crystal display device according to 36. 前記第1カラムスペーサー及び前記第2カラムスペーサーは、同一の高さに形成されることを特徴とする請求項36に記載の液晶表示装置。 The liquid crystal display device of claim 36, wherein the first column spacer and the second column spacer are formed at the same height. TFTアレイが形成された第1基板を準備する段階と、
前記第1基板と対向するようにカラーフィルターアレイが形成された第2基板を準備する段階と、 相対的に段差の高い第1領域と、相対的に段差の低い第2領域とに相応する前記第2基板上に第1カラムスペーサー及び第2カラムスペーサーを形成する段階と、 前記第1基板と前記第2基板との間に液晶層を形成する段階と、 前記第1基板と前記第2基板とを貼り合せる段階と を含んでなることを特徴とする液晶表示装置の製造方法。
Providing a first substrate on which a TFT array is formed;
Preparing a second substrate having a color filter array formed so as to face the first substrate; a first region having a relatively high step; and a second region having a relatively low step. Forming a first column spacer and a second column spacer on a second substrate; forming a liquid crystal layer between the first substrate and the second substrate; and the first substrate and the second substrate A method for manufacturing a liquid crystal display device comprising the steps of:
前記第1カラムスペーサーは、前記第1基板の薄膜トランジスターアレイの第1領域に相応する第2基板上に形成され、前記第2カラムスペーサーは、前記第1基板の第1領域を除いたゲートライン又はデータライン領域に相応して形成されることを特徴とする請求項39に記載の液晶表示装置の製造方法。 The first column spacer is formed on a second substrate corresponding to a first region of the thin film transistor array of the first substrate, and the second column spacer is a gate line excluding the first region of the first substrate. 40. The method of manufacturing a liquid crystal display device according to claim 39, wherein the liquid crystal display device is formed corresponding to a data line area. 前記第1基板の前記第1領域は、前記薄膜トランジスターアレイの薄膜トランジスター領域に相応することを特徴とする請求項39に記載の液晶表示装置の製造方法。 40. The method of claim 39, wherein the first region of the first substrate corresponds to a thin film transistor region of the thin film transistor array. 前記第1基板上に形成された薄膜トランジスターアレイの第1領域は、前記ゲートラインと前記データラインの交差部に相応することを特徴とする請求項39に記載の液晶表示装置の製造方法。 The method according to claim 39, wherein the first region of the thin film transistor array formed on the first substrate corresponds to an intersection of the gate line and the data line. 前記第1カラムスペーサー及び前記第2カラムスペーサーは、同一の高さに形成されることを特徴とする請求項39に記載の液晶表示装置の製造方法。 The method according to claim 39, wherein the first column spacer and the second column spacer are formed at the same height.
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