JP2005240952A5 - - Google Patents

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JP2008157439A (ja) * 2006-11-28 2008-07-10 Jtekt Corp 磁気軸受装置及び燃料電池用コンプレッサ
JP5054578B2 (ja) * 2008-03-06 2012-10-24 株式会社リコー トナー搬送装置及び画像形成装置
JP5047026B2 (ja) * 2008-03-26 2012-10-10 株式会社荏原製作所 ターボ型真空ポンプ
JP6171375B2 (ja) * 2013-02-06 2017-08-02 株式会社島津製作所 磁気軸受装置および真空ポンプ
EP3361102B1 (de) * 2017-02-09 2019-08-07 Pfeiffer Vacuum Gmbh Positionserfassungsvorrichtung
JP2018141708A (ja) * 2017-02-28 2018-09-13 三菱重工サーマルシステムズ株式会社 温度予測装置、磁気軸受搭載圧縮機、温度予測方法及びプログラム
GB201715151D0 (en) 2017-09-20 2017-11-01 Edwards Ltd A drag pump and a set of vacuum pumps including a drag pump
CN108869541B (zh) * 2018-01-12 2024-04-02 刘慕华 一种径向轴承、转子系统及径向轴承的控制方法
CN108757732B (zh) * 2018-08-06 2023-10-03 珠海格力电器股份有限公司 磁悬浮轴承控制设备、方法和存储介质
CN112780584B (zh) * 2021-02-22 2025-04-01 珠海格力电器股份有限公司 磁悬浮压缩机
CN115217844A (zh) * 2021-04-19 2022-10-21 青岛海特生物医疗有限公司 一种离心机
CN115388087B (zh) * 2022-08-15 2025-07-22 江苏明磁动力科技有限公司 基于轴向磁轴承电流的磁悬浮电机轴向悬浮位置控制方法
CN118622730A (zh) * 2024-08-12 2024-09-10 中磁(浙江)工业科技有限公司 磁悬浮真空泵及控制方法

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