JP2005227275A - キセノンエキシマランプの点灯検出装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 本発明に係る点灯検出装置は、波長800nm以下の光を遮断する光学フィルタ31aと、波長800〜1000nmの範囲を光感度とする好適にはフォトダイオードである光電変換素子31と、光電変換素子31の出力と所定の基準電圧とを比較するための比較手段33と、比較手段33の出力を通知するための通知手段34とを備える。
【選択図】図5
Description
(イ)中心波長172nmの光に感度を持つ光電管を使用して検出する。
(ロ)中心波長172nmの光を蛍光材に照射し、それにより可視光に変換させ、これをシリコンフォトダイオード等の可視光に光感度を持つ受光器に入光して検出する(例えば、特許文献1参照)。
前記光電変換素子の出力を所定の基準値と比較して、前記キセノンエキシマランプの点灯又は消灯を判断する比較手段と、
前記比較手段の結果に基づいて前記キセノンエキシマランプの点灯又は消灯を通知する手段と、
を備えて構成される。
10 紫外線照射装置
11 キセノンエキシマランプ
12 ランプハウジング
12a 孔
13 テーブル
14 モータステージ
15 放電ガス
16 冷却媒体
17 金属電極
18 電源
19 エキシマ光
20 窒素ガス
21 合成石英ガラス
22 光強度測定装置
23 フォトダイオード
23a 光学フィルタ
24 増幅回路
25 演算部
26 表示部
30 点灯検出装置
31 フォトダイオード
31a 光学フィルタ
32 増幅回路
33 コンパレータ
34 表示部
Claims (3)
- 中心波長172nmの光を放射するキセノンエキシマランプの点灯又は消灯を検出する点灯検出装置において、
前記キセノンエキシマランプによって放射された光のうち、波長800nm以下の光を遮断する光学フィルタをその受光面に備え、かつ、前記キセノンエキシマランプが中心波長172nmの光と共に発光する波長800〜1000nmの範囲のスペクトル光に光感度を有する光電変換素子と、
前記光電変換素子の出力を所定の基準値と比較して、前記キセノンエキシマランプの点灯又は消灯を判断する比較手段と、
前記比較手段の結果に基づいて前記キセノンエキシマランプの点灯又は消灯を表示する表示手段と、
を備えたキセノンエキシマランプの点灯検出装置。 - 中心波長172nmの光を放射するキセノンエキシマランプの点灯又は消灯を検出する点灯検出装置において、
前記キセノンエキシマランプによって放射された光のうち、波長800nm以下の光を遮断する光学フィルタをその受光面に備え、かつ、前記キセノンエキシマランプが中心波長172nmの光と共に発光する波長800〜1000nmの範囲のスペクトル光に光感度を有する光電変換素子と、
前記光電変換素子の出力を所定の基準値と比較して、前記キセノンエキシマランプの点灯又は消灯を判断する比較手段とを備え、
前記比較手段の結果に基づいて、外部にランプのON・OFFモニター信号を出力するキセノンエキシマランプの点灯検出装置。 - 前記光電変換素子がフォトダイオードである請求項1又は請求項2に記載のキセノンエキシマランプのキセノンエキシマランプの点灯検出装置。
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