JP2005224726A - Liquid droplet discharge apparatus, maintenance method of liquid droplet discharge apparatus, electrooptical apparatus and electronic appliance - Google Patents

Liquid droplet discharge apparatus, maintenance method of liquid droplet discharge apparatus, electrooptical apparatus and electronic appliance Download PDF

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JP2005224726A JP2004037269A JP2004037269A JP2005224726A JP 2005224726 A JP2005224726 A JP 2005224726A JP 2004037269 A JP2004037269 A JP 2004037269A JP 2004037269 A JP2004037269 A JP 2004037269A JP 2005224726 A JP2005224726 A JP 2005224726A
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洋一 宮阪
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Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a liquid droplet discharge apparatus which can be wiped efficiently and a maintenance method of the apparatus. <P>SOLUTION: Wiping is carried out using a usable region 130 which is a region existing in the direction reverse to the moving direction of a wiping sheet 92 from a position 100 opposite to a liquid droplet discharge head and which is parted from a region 110 contacting the liquid droplet discharge head at a length L of the liquid droplet discharge head or wider. <P>COPYRIGHT: (C)2005,JPO&NCIPI

Description

本発明は、液滴吐出装置、液滴吐出装置の整備方法、電気光学装置および電子機器に関するものである。   The present invention relates to a droplet discharge device, a maintenance method for the droplet discharge device, an electro-optical device, and an electronic apparatus.

近年、コンピュータディスプレイや大型テレビジョン等の電子機器の発達に伴い、液晶表示装置、特にカラー液晶表示装置の使用が増加している。この種の液晶表示装置には、通常、表示画像をカラー化するためにカラーフィルタが用いられている。カラーフィルタには、例えばガラス基板に対してR(赤)、G(緑)、B(青)のインクを所定のパターンで吐出させ、このインクを基板上で乾燥させることで着色層を形成するものがある。このような基板に対してインクを吐出する方式として、例えばインクジェット方式の描画装置(液滴吐出装置)が採用されている。   In recent years, with the development of electronic devices such as computer displays and large televisions, the use of liquid crystal display devices, particularly color liquid crystal display devices, has increased. In this type of liquid crystal display device, a color filter is usually used to color a display image. For the color filter, for example, R (red), G (green), and B (blue) inks are ejected in a predetermined pattern onto a glass substrate, and the ink is dried on the substrate to form a colored layer. There is something. As a method for ejecting ink onto such a substrate, for example, an ink jet drawing device (droplet ejection device) is employed.

液滴吐出装置を採用した場合、インクジェットヘッドからガラス基板に対して所定量のインクを吐出して着弾させる。この場合、直交する2方向(X方向、Y方向)のうち、例えばX方向にインクジェットヘッドを移動可能とし、Y方向に移動可能とされたテーブルにガラス基板を搭載するタイプの装置を用いることができる。このタイプの装置は、インクジェットヘッドおよび/またはテーブルの移動により両者を相対的に位置決めした後、インクジェットヘッドおよび/またはテーブルを走査しながらガラス基板に対してインクを吐出することで、ガラス基板全体の所定の位置にインクを着弾させる構成となっている。   When the droplet discharge device is employed, a predetermined amount of ink is discharged from the inkjet head onto the glass substrate and landed. In this case, among the two orthogonal directions (X direction and Y direction), for example, an inkjet head can be moved in the X direction, and an apparatus of a type in which a glass substrate is mounted on a table that is movable in the Y direction is used. it can. In this type of apparatus, after the ink jet head and / or the table are relatively positioned by moving the ink jet head and / or the table, ink is ejected onto the glass substrate while scanning the ink jet head and / or the table. The ink is landed at a predetermined position.

上述したインクジェットヘッドは、所定量の液滴を所定位置に正確に吐出するものであり、定期的にまたは随時に整備を行う必要がある。具体的には、インクジェットヘッドのキャッピングやノズルの吸引、インク吐出面のワイピングなどを行う必要がある。そこで液滴吐出装置は、キャッピングユニットやクリーニングユニット(ワイプユニット)などを備えている(例えば、特許文献1参照)。
図7に示すように、ワイプユニット90は、織布等からなるワイピングシート92と、ワイピングシート92の巻き取りローラ96とを備えている。そして、ワイピングシート92を所定方向に巻き取りながら、ワイピングシート92にヘッド34を当接させることにより、ヘッド34のインク吐出面12aをワイピングするようになっている。
The above-described inkjet head accurately ejects a predetermined amount of droplets to a predetermined position, and needs to be serviced regularly or as needed. Specifically, it is necessary to perform capping of the ink jet head, suction of the nozzle, wiping of the ink discharge surface, and the like. Therefore, the droplet discharge device includes a capping unit, a cleaning unit (wipe unit), and the like (see, for example, Patent Document 1).
As shown in FIG. 7, the wipe unit 90 includes a wiping sheet 92 made of a woven fabric or the like, and a winding roller 96 for the wiping sheet 92. The ink ejection surface 12a of the head 34 is wiped by bringing the head 34 into contact with the wiping sheet 92 while winding the wiping sheet 92 in a predetermined direction.

図18は、ワイピングシートの展開図である。なお、ワイピングシート592の巻き取り方向は図18の下方向であり、破線500はワイピングシート592におけるヘッドとの対向位置を示している。ワイピングシート592の使用済み部分(破線500の下側)におけるヘッドとの当接領域511には、ヘッドのインク吐出面に付着していたインクが吸着されている。そこで、新たにワイピングを行う場合には、ワイピングシート592の未使用部分(破線500の上側)を使用している。
特開平11−248926号公報
FIG. 18 is a development view of the wiping sheet. Note that the winding direction of the wiping sheet 592 is the downward direction in FIG. 18, and the broken line 500 indicates the position of the wiping sheet 592 facing the head. Ink adhering to the ink ejection surface of the head is adsorbed in the contact area 511 with the head in the used portion of the wiping sheet 592 (below the broken line 500). Therefore, when wiping is newly performed, an unused portion of the wiping sheet 592 (above the broken line 500) is used.
Japanese Patent Laid-Open No. 11-248926

しかしながら、異常と判断された一部のヘッドのワイピングを行う場合であっても、ワイピングシート592の未使用部分を使用することになる。この場合、幅方向全体が未使用のワイピングシート592の一部のみをヘッドとの当接領域513として使用するので、ワイピングシートの消費量が多くなり、製造コストが増加するという問題があった。   However, even when wiping a part of the heads determined to be abnormal, the unused portion of the wiping sheet 592 is used. In this case, since only a part of the wiping sheet 592 that is not used in the entire width direction is used as the contact area 513 with the head, there is a problem that the amount of consumption of the wiping sheet increases and the manufacturing cost increases.

近年では、30〜60インチといった大型の液晶テレビジョンが市場に提供されつつある。これに適応するような大型のカラーフィルタを製造するため、ガラス基板の搬送方向と直交する方向に複数のヘッドが配列されたヘッドユニットを備える液滴吐出装置が開発されている。このような液滴吐出装置を用いれば、大型のガラス基板の搬送中に、ガラス基板の全面に対して一気にインクの吐出を行うことができる。これにより、1枚のガラス基板を処理するのに必要なタクトタイムを短縮することができる。   In recent years, large liquid crystal televisions of 30 to 60 inches are being offered to the market. In order to manufacture a large color filter that can be adapted to this, a droplet discharge device including a head unit in which a plurality of heads are arranged in a direction orthogonal to the conveyance direction of the glass substrate has been developed. By using such a droplet discharge device, it is possible to discharge ink to the entire surface of the glass substrate at a stretch during conveyance of a large glass substrate. Thereby, the tact time required for processing one glass substrate can be shortened.

しかしながら、複数のヘッドが整列配置された大型のヘッドユニットに対して前記ワイピングを行うには、大型のワイプユニットが必要になる。この場合に、異常と判断された一のヘッドのワイピングを行うため、幅方向全体が未使用のワイピングシートを使用すると、ワイピングシートや洗浄液等の消費量が極めて多くなり、製造コストが大幅に増加するという問題がある。   However, in order to perform the wiping with respect to a large head unit in which a plurality of heads are arranged and arranged, a large wipe unit is required. In this case, if a wiping sheet that is unused in the entire width direction is used for wiping one head that has been determined to be abnormal, the consumption of the wiping sheet, cleaning liquid, etc. will be extremely large, resulting in a significant increase in manufacturing costs. There is a problem of doing.

本発明は、上記の課題を解決するためになされたものであって、効率的なワイピングが可能な、液滴吐出装置およびその整備方法の提供を目的とする。
また、低コストの電気光学装置および電子機器の提供を目的とする。
SUMMARY An advantage of some aspects of the invention is to provide a droplet discharge device capable of efficient wiping and a maintenance method thereof.
Another object is to provide a low-cost electro-optical device and electronic equipment.

上記目的を達成するため、本発明の液滴吐出装置の整備方法は、液滴吐出装置の液滴吐出ヘッドにワイピングシートを当接させつつ、前記液滴吐出ヘッドと前記ワイピングシートとを相対移動させて、前記液滴吐出ヘッドをワイピングすることにより、前記液滴吐出装置の整備を行う方法であって、前記ワイピングシートにおける前記液滴吐出ヘッドとの対向位置から前記移動方向とは逆方向に存在する領域であって、前記液滴が付着していない未使用領域を使用して、前記ワイピングを行うことを特徴とする。
この構成によれば、一部のヘッドのみをワイピングする場合でも、幅方向全体が未使用の新たなワイピングシートを使用する必要がないので、ワイピングシートの消費量を低減することが可能になる。したがって、効率的なワイピングを行うことができる。
In order to achieve the above object, according to the method for preparing a droplet discharge device of the present invention, the droplet discharge head and the wiping sheet are relatively moved while the wiping sheet is brought into contact with the droplet discharge head of the droplet discharge device. And wiping the droplet discharge head to prepare the droplet discharge device, wherein the wiping sheet has a direction opposite to the moving direction from a position facing the droplet discharge head. The wiping is performed using an unused area which is an existing area where the droplets are not attached.
According to this configuration, even when only a part of the heads is wiped, it is not necessary to use a new wiping sheet that is not used in the entire width direction, so that the consumption of the wiping sheet can be reduced. Therefore, efficient wiping can be performed.

また、前記未使用領域は、前記液滴吐出ヘッドに当接した領域から前記液滴吐出ヘッドの長さ以上に離間した領域であることが望ましい。
一般に、液滴吐出ヘッドに当接した領域から前記液滴吐出ヘッドの長さ以上に離間した領域には、液滴が付着していない。したがって、液滴が付着していない領域を簡易的に設定することができる。
Further, the unused area is preferably an area separated from the area in contact with the droplet discharge head by more than the length of the droplet discharge head.
In general, no droplets are attached to a region that is separated from the region in contact with the droplet discharge head by more than the length of the droplet discharge head. Therefore, it is possible to easily set a region where no droplet is attached.

また、前記ワイピングは、前記ワイピングシートにおける前記各液滴吐出ヘッドとの当接領域に対して選択的に、前記液滴吐出ヘッドの洗浄液を塗布することによって行うことが望ましい。
この構成によれば、洗浄液の消費量を低減することが可能になり、効率的なワイピングを行うことができる。
Further, it is desirable that the wiping is performed by selectively applying a cleaning liquid for the droplet discharge head to a contact area of the wiping sheet with each droplet discharge head.
According to this configuration, it becomes possible to reduce the consumption of the cleaning liquid, and efficient wiping can be performed.

一方、本発明の液滴吐出装置は、液滴吐出ヘッドにワイピングシートを当接させつつ、前記液滴吐出ヘッドと前記ワイピングシートとを相対移動させて、前記液滴吐出ヘッドをワイピングする液滴吐出装置であって、前記ワイピングシートは、前記移動方向と逆方向に移動可能とされていることを特徴とする。
この構成によれば、幅方向全体が未使用の新たなワイピングシートを使用することなく、効率的なワイピングを行うことができる。
On the other hand, the droplet discharge device of the present invention is a droplet for wiping the droplet discharge head by moving the droplet discharge head and the wiping sheet relative to each other while the wiping sheet is in contact with the droplet discharge head. In the discharge device, the wiping sheet is movable in a direction opposite to the moving direction.
According to this configuration, efficient wiping can be performed without using a new wiping sheet that is unused in the entire width direction.

また、液滴吐出ヘッドにワイピングシートを当接させつつ、前記液滴吐出ヘッドと前記ワイピングシートとを相対移動させて、前記液滴吐出ヘッドをワイピングする液滴吐出装置であって、前記ワイピングシートにおける前記各液滴吐出ヘッドとの当接領域を記憶する記憶部と、前記ワイピングシートにおける前記液滴吐出ヘッドとの対向位置から前記移動方向とは逆方向に存在する領域であって、前記液滴が付着していない未使用領域を求める演算部と、前記未使用領域の端部を前記液滴吐出ヘッドに対向配置させるべく、前記ワイピングシートを移動させる駆動手段と、を有することを特徴とする。
この構成によれば、ワイピングシートの未使用領域を使用したワイピングを自動的に行うことが可能になる。したがって、効率的なワイピングを行うことができる。
Further, the liquid droplet ejection apparatus wipes the liquid droplet ejection head by causing the liquid droplet ejection head and the wiping sheet to move relative to each other while bringing the wiping sheet into contact with the liquid droplet ejection head, the wiping sheet A region that exists in a direction opposite to the moving direction from a position facing the droplet discharge head in the wiping sheet; A calculation unit that obtains an unused area to which no droplet is attached; and a driving unit that moves the wiping sheet so that an end of the unused area is opposed to the droplet discharge head. To do.
According to this configuration, it is possible to automatically perform wiping using an unused area of the wiping sheet. Therefore, efficient wiping can be performed.

一方、本発明の電気光学装置は、上述した液滴吐出装置を使用して製造したことを特徴とする。
この構成によれば、効率的にワイピングされた液滴吐出装置を使用して製造されるので、低コストの電気光学装置を提供することができる。
On the other hand, the electro-optical device of the present invention is manufactured using the above-described droplet discharge device.
According to this configuration, since it is manufactured using a droplet discharge device that is efficiently wiped, a low-cost electro-optical device can be provided.

一方、本発明の電子機器は、上述した電気光学装置を備えたことを特徴とする。
この構成によれば、低コストの電子機器を提供することができる。
On the other hand, an electronic apparatus according to the present invention includes the above-described electro-optical device.
According to this configuration, a low-cost electronic device can be provided.

さらに、本発明の他の液滴吐出装置の整備方法は、液滴吐出装置の液滴吐出ヘッドにワイピングシートを当接させつつ、前記液滴吐出ヘッドと前記ワイピングシートとを相対移動させて、前記液滴吐出ヘッドをワイピングすることにより、前記液滴吐出装置の整備を行う方法であって、前記ワイピングシートにおける液滴が付着した使用領域近傍の前記液滴が付着していない未使用領域を使用して、前記ワイピングを行うことを特徴とする。
この構成によれば、ワイピングシートにおける使用領域近傍の未使用領域を使用するので、ワイピングシートの消費量を低減することが可能になる。したがって、効率的なワイピングを行うことができる。
Furthermore, another method for maintaining a droplet discharge device of the present invention is to move the droplet discharge head and the wiping sheet relative to each other while bringing the wiping sheet into contact with the droplet discharge head of the droplet discharge device, A method of servicing the droplet discharge device by wiping the droplet discharge head, wherein an unused region in the vicinity of a use region where the droplets are attached in the wiping sheet is not attached. And performing the wiping.
According to this configuration, since the unused area in the vicinity of the used area in the wiping sheet is used, the consumption of the wiping sheet can be reduced. Therefore, efficient wiping can be performed.

また、前記使用領域は、前記液滴吐出ヘッドと対向した前記ワイピングシートにおける幅方向の一部であってもよい。
この構成によれば、ワイピングシートにおける使用領域近傍の未使用領域を使用することが可能になり、効率的なワイピングを行うことができる。
Further, the use area may be a part in the width direction of the wiping sheet facing the droplet discharge head.
According to this configuration, it is possible to use an unused area near the used area in the wiping sheet, and efficient wiping can be performed.

以下、本発明に係る液状体の塗布方法およびその装置の実施形態につき、図面を参照して説明する。なお、以下の説明に用いる各図面では、各部材を認識可能な大きさとするため、各部材の縮尺を適宜変更している。
[第1実施形態]
最初に、本発明の第1実施形態につき、図1ないし図8を用いて説明する。
DESCRIPTION OF EMBODIMENTS Hereinafter, embodiments of a liquid material coating method and apparatus according to the present invention will be described with reference to the drawings. In each drawing used for the following description, the scale of each member is appropriately changed to make each member a recognizable size.
[First Embodiment]
First, a first embodiment of the present invention will be described with reference to FIGS.

[カラーフィルタ製造装置]
図1は本実施形態のカラーフィルタ製造装置の概略構成図であり、R、G、Bの3色の着色層を備えたカラーフィルタを製造するための装置である。
本実施形態のカラーフィルタ製造装置1は、図1に示すように、上流側からインク受容層形成装置2、R着色層形成装置3、G着色層形成装置4、B着色層形成装置5、本焼成装置6(加熱装置)が配置され、これらの装置が任意の搬送装置(図示略)を介して連結されたものである。このカラーフィルタ製造装置1には、R、G、Bの各着色層のパターンを区画する隔壁(バンクとも言う)が形成されたガラス、プラスチック等からなる透明基板(基板)が供給される。インク受容層形成装置2は、隔壁で区画された領域内に樹脂組成物からなるインク受容層を下地層として形成するための装置である。R着色層形成装置3、G着色層形成装置4、B着色層形成装置5は、それぞれ後で着色層となるR、G、Bのインクからなる液状体を塗布するための装置である。本焼成装置6は、塗布後のR、G、Bのインクからなる液状体を一括して加熱、焼成するための装置である。
[Color filter manufacturing equipment]
FIG. 1 is a schematic configuration diagram of a color filter manufacturing apparatus according to the present embodiment, which is an apparatus for manufacturing a color filter having three colored layers of R, G, and B.
As shown in FIG. 1, the color filter manufacturing apparatus 1 of the present embodiment includes an ink receiving layer forming apparatus 2, an R colored layer forming apparatus 3, a G colored layer forming apparatus 4, a B colored layer forming apparatus 5, and a book from the upstream side. A firing device 6 (heating device) is arranged, and these devices are connected via an arbitrary conveying device (not shown). The color filter manufacturing apparatus 1 is supplied with a transparent substrate (substrate) made of glass, plastic, or the like on which partition walls (also referred to as banks) for partitioning the patterns of the R, G, and B colored layers are formed. The ink receiving layer forming apparatus 2 is an apparatus for forming an ink receiving layer made of a resin composition as a base layer in a region partitioned by partition walls. The R colored layer forming apparatus 3, the G colored layer forming apparatus 4, and the B colored layer forming apparatus 5 are apparatuses for applying a liquid material composed of R, G, and B inks that will be colored layers later. The main baking apparatus 6 is an apparatus for heating and baking a liquid material composed of R, G, and B inks after coating.

ここでは、R着色層形成装置3を一例として説明する。R着色層形成装置3には、上流側から下流側(図1における右側から左側)に向けて、給材部61、表面改質部62、描画部63、検査部64、仮焼成部65、除材部66が備えられている。大まかな処理の流れとしては、給材部61から供給された描画前の基板に対し、表面改質部62において親液処理、撥液処理が施され、描画部63において隔壁で区画された所定の領域にRのインクが吐出、描画される。次いで、検査部64において描画状態が検査され、仮焼成部65でインクの仮焼成が施された後、描画後の基板が除材部66により排出される。本装置において、これら各部は基板の流れ方向に沿って直線状に配置されている。   Here, the R colored layer forming apparatus 3 will be described as an example. In the R colored layer forming apparatus 3, from the upstream side toward the downstream side (from the right side to the left side in FIG. 1), the material supply unit 61, the surface modification unit 62, the drawing unit 63, the inspection unit 64, the temporary baking unit 65, A material removal portion 66 is provided. As a rough flow of processing, a lyophilic process and a liquid repellent process are performed in the surface modification unit 62 on the undrawn substrate supplied from the material supply unit 61, and a predetermined partition partitioned by a partition in the drawing unit 63. R ink is ejected and drawn in this area. Next, the drawing state is inspected by the inspection unit 64, the ink is temporarily baked by the temporary baking unit 65, and then the substrate after drawing is discharged by the material removal unit 66. In the present apparatus, these units are arranged linearly along the flow direction of the substrate.

[液滴吐出装置]
図2は、描画部63の近傍のみを示す概略構成斜視図である。描画部63においては、基板Sに対して描画を行う液滴吐出装置72が設置されている。液滴吐出装置72は、基板Sに対して液滴(液状体)を吐出することで描画を行う描画装置(液滴吐出装置本体)Bと、描画装置の+Y側に接続される整備ユニット80と、描画装置Bと整備ユニット80との間で後述する液滴吐出ヘッド34を駆動させる(駆動処理する)駆動ユニット172とを主体として構成されている。
[Droplet discharge device]
FIG. 2 is a schematic configuration perspective view showing only the vicinity of the drawing unit 63. In the drawing unit 63, a droplet discharge device 72 that performs drawing on the substrate S is installed. The droplet discharge device 72 includes a drawing device (droplet discharge device main body) B that performs drawing by discharging droplets (liquid material) onto the substrate S, and a maintenance unit 80 connected to the + Y side of the drawing device. And a drive unit 172 that drives (drives) a droplet discharge head 34, which will be described later, between the drawing apparatus B and the maintenance unit 80.

図3は、図2の左側面図である。図3に示すように、描画装置Bは、搬送方向であるX方向に移動可能なベース150と、ベース150上に載置され描画対象となる基板Sを吸着保持するテーブル70と、下面側に複数個の液滴吐出ヘッドを備え、各液滴吐出ヘッドのノズルから下方の基板Sに対してインク滴(液滴)を吐出するY方向(基板Sの搬送方向と垂直方向)に延びるヘッドユニット71とから概略構成されている。ベース150上には、テーブル70をθZ方向(Z軸周りの方向)に駆動するθ駆動装置151と、テーブル70の+X側に位置し液滴吐出ヘッドから予備吐出(フラッシング)が行われるフラッシングユニット152とが設けられている。これら描画装置Bは、基台170上に一体化された状態で設置される。   FIG. 3 is a left side view of FIG. As shown in FIG. 3, the drawing apparatus B includes a base 150 that can move in the X direction that is the transport direction, a table 70 that is placed on the base 150 and holds the substrate S to be drawn, and a lower surface side. A head unit that includes a plurality of droplet discharge heads and extends in the Y direction (a direction perpendicular to the transport direction of the substrate S) to discharge ink droplets (droplets) from the nozzles of each droplet discharge head to the lower substrate S. 71. On the base 150, a θ driving device 151 that drives the table 70 in the θZ direction (direction around the Z axis), and a flushing unit that is located on the + X side of the table 70 and that performs preliminary discharge (flushing) from the droplet discharge head. 152 is provided. These drawing apparatuses B are installed in an integrated state on the base 170.

図4は、ヘッドユニット71の底面図である。ヘッドユニット71は、相互に独立して移動するY方向に配列された複数(例えば7枚)のキャリッジ153を備えている。各キャリッジ153は、X方向に延びる矩形のプレート74と、それぞれが複数(所定個数;ここでは12個)の液滴吐出ヘッド34を保持(支持)するヘッドキャリッジ(サブキャリッジ)73と、ヘッドキャリッジ73をプレート74に対してθZ方向に駆動するθ駆動装置154(図3参照)と、ヘッドキャリッジ73をZ方向に昇降させる昇降装置155(図3参照)とから構成されており、ヘッドキャリッジ153はθ駆動装置154及び昇降装置155を介してプレート74に着脱自在に取り付けられている。   FIG. 4 is a bottom view of the head unit 71. The head unit 71 includes a plurality of (for example, seven) carriages 153 arranged in the Y direction that move independently of each other. Each carriage 153 includes a rectangular plate 74 extending in the X direction, a head carriage (sub-carriage) 73 that holds (supports) a plurality of (predetermined number; here, 12) droplet discharge heads 34, and a head carriage. The head carriage 153 includes a θ driving device 154 (see FIG. 3) that drives the head 73 in the θZ direction with respect to the plate 74, and a lifting device 155 (see FIG. 3) that lifts and lowers the head carriage 73 in the Z direction. Is detachably attached to the plate 74 via a θ drive device 154 and an elevating device 155.

各液滴吐出ヘッド34には、複数の液滴吐出ノズル(以下、単にノズルと呼ぶ)が配列形成されている。なお、そのノズル列の配列方向をY方向に一致させて、各ヘッド34がヘッドキャリッジ73に固定されている。また、各ヘッド34は、Y方向に順次ずれた状態で階段状に配置されている。これにより、ヘッドユニット71の全幅にわたって等ピッチでノズルが配置されている。この構成により、ヘッドユニット71は、基板Sの搬送方向と垂直方向に例えば数mにわたって、所定のピッチでインク滴を吐出可能となっている。そして、ヘッド34の配列方向と直交する方向に基板Sを搬送しつつインク滴を吐出することで、基板Sの全面にわたって所望のパターン形状でRのインクを描画することができる。   Each droplet discharge head 34 has a plurality of droplet discharge nozzles (hereinafter simply referred to as nozzles) arranged in an array. Each head 34 is fixed to the head carriage 73 so that the arrangement direction of the nozzle rows is aligned with the Y direction. Further, each head 34 is arranged in a staircase shape in a state of being sequentially shifted in the Y direction. Thereby, the nozzles are arranged at an equal pitch over the entire width of the head unit 71. With this configuration, the head unit 71 can eject ink droplets at a predetermined pitch over, for example, several meters in the direction perpendicular to the transport direction of the substrate S. Then, by ejecting ink droplets while transporting the substrate S in a direction orthogonal to the arrangement direction of the heads 34, R ink can be drawn in a desired pattern shape over the entire surface of the substrate S.

一方、図3に示す駆動ユニット172は、整備ユニット80を挟んだX方向両側に、Y方向に延在するように平行に配置された架台156に設けられたガイドレール157と、各プレート74(すなわちキャリッジ153)をガイドレール157に沿って駆動するシャフト型リニアモータ158とを主体に構成されており、各架台156上には、液滴吐出ヘッド34に接続されるインクケーブルやリニアモータ158(の可動子)に接続される電力供給線等を収容するためのケース171がY方向に沿って設置されている。   On the other hand, the drive unit 172 shown in FIG. 3 includes guide rails 157 provided on a base 156 arranged in parallel so as to extend in the Y direction on both sides in the X direction across the maintenance unit 80, and each plate 74 ( That is, it is mainly configured by a shaft type linear motor 158 that drives the carriage 153 along the guide rail 157, and an ink cable connected to the droplet discharge head 34 or a linear motor 158 ( A case 171 for accommodating a power supply line or the like connected to the movable element is installed along the Y direction.

プレート74のX方向両側にはリニアガイド75、75が設けられており、ガイドレール157に沿ってY方向に移動自在となっている。リニアモータ158は、各プレート74の両側に設けられた円筒状の可動子159と、描画装置Bと整備ユニット80とに亙ってY方向に沿って配置され各プレート74の可動子159がそれぞれ挿通する固定子160とから構成される。本実施の形態では、可動子159がコイル体で構成され、固定子160が発磁体で構成されるムービングコイル型のリニアモータ158が用いられ、各可動子159に通電する電流を調整することにより、各キャリッジ153の位置を独立して制御できる。   Linear guides 75, 75 are provided on both sides of the plate 74 in the X direction, and are movable in the Y direction along the guide rails 157. The linear motor 158 is arranged along the Y direction across the cylindrical movable element 159 provided on both sides of each plate 74, the drawing apparatus B, and the maintenance unit 80, and the movable element 159 of each plate 74 is respectively connected to the linear motor 158. And a stator 160 to be inserted. In the present embodiment, a moving coil type linear motor 158 in which the mover 159 is formed of a coil body and the stator 160 is formed of a magnet generator is used, and the current supplied to each mover 159 is adjusted. The position of each carriage 153 can be controlled independently.

図3に示す描画装置Bにおいて描画を行うには、まず描画部のアライメント調整を行う必要がある。そのアライメント調整を行うために、まず各ヘッドの各ノズルから描画前フラッシング(液滴の予備吐出)を行う。この描画前フラッシングは、基板Sを載置したテーブル70を移動させる前に、基板S上の液滴吐出領域に対して行う。次に、基板S上に吐出された液滴をCCD78により撮影し、吐出位置および吐出径を算出する。そして、この吐出位置の算出結果に基づいて、描画部のアライメント調整を行う。まずX方向のアライメントは、各ノズルの液滴吐出タイミングを調整することによって行う。またY方向のアライメントは、リニアガイド75により各プレート74の位置を調整することによって行う。ここで本実施形態のヘッドユニット71では、複数のヘッドがグループごとに異なるヘッドキャリッジ73に装着されているので、描画部のアライメント調整を簡単に行うことができる。なお、アライメント以外の描画前フラッシングや描画間フラッシングは、フラッシングユニット152に対して行われる。   In order to perform drawing in the drawing apparatus B shown in FIG. 3, it is first necessary to adjust the alignment of the drawing unit. In order to adjust the alignment, first, pre-drawing flushing (preliminary droplet discharge) is performed from each nozzle of each head. This pre-drawing flushing is performed on the droplet discharge region on the substrate S before the table 70 on which the substrate S is placed is moved. Next, the droplet discharged onto the substrate S is photographed by the CCD 78, and the discharge position and the discharge diameter are calculated. Based on the calculation result of the ejection position, the alignment of the drawing unit is adjusted. First, alignment in the X direction is performed by adjusting the droplet discharge timing of each nozzle. The alignment in the Y direction is performed by adjusting the position of each plate 74 by the linear guide 75. Here, in the head unit 71 of the present embodiment, since a plurality of heads are mounted on different head carriages 73 for each group, the alignment adjustment of the drawing unit can be easily performed. Note that pre-drawing flushing and drawing flushing other than alignment are performed on the flushing unit 152.

また、使用不可能となったヘッドを交換する場合には、ヘッドキャリッジ73単位で交換すればよい。具体的には、あらかじめ各ヘッドが精度良く配置されたヘッドキャリッジ73を補修用として準備しておく。そして、使用不可能となったヘッドをヘッドキャリッジ73ごとプレート74から取り外す。その際、ヘッドキャリッジ73を図2に示す整備ユニット80に移動させ、キャップキャリッジを下降させて作業エリアを確保した上で、ヘッドキャリッジ73を取り外す。そして図4に示すように、あらかじめ準備しておいたヘッドキャリッジ73をプレート74に取付ける。この作業はロボットにより行ってもよいが、ヘッドキャリッジ73単位であれば人手により行うことも可能である。その後、上記と同様に描画部のアライメントを行えばよい。このように本実施形態のヘッドユニットでは、複数のヘッドがグループごとに異なるヘッドキャリッジに装着されているので、使用不可能となったヘッド34を簡単に交換することができる。   Further, when replacing a head that has become unusable, the head carriage 73 may be replaced. Specifically, a head carriage 73 in which each head is accurately arranged is prepared for repair in advance. Then, the unusable head is removed from the plate 74 together with the head carriage 73. At that time, the head carriage 73 is moved to the maintenance unit 80 shown in FIG. 2, the cap carriage is lowered to secure a work area, and then the head carriage 73 is removed. Then, as shown in FIG. 4, the head carriage 73 prepared in advance is attached to the plate 74. This operation may be performed by a robot, but can also be performed manually if the head carriage is 73 units. Thereafter, the drawing unit may be aligned in the same manner as described above. Thus, in the head unit of this embodiment, since the plurality of heads are mounted on different head carriages for each group, the head 34 that has become unusable can be easily replaced.

[液滴吐出ヘッド]
図5(a)は液滴吐出ヘッドの構造説明図、図5(b)は正面断面図である。ヘッド34は、例えばピエゾ素子によって液室を圧縮してその圧力波で液体を吐出させるもので、上述したように、一列または複数列に配列された複数のノズル18を有している。このヘッド34の構造の一例を説明すると、ヘッド34は、図5(a)に示すように、例えばステンレス製のノズルプレート12と振動板13とを備え、両者を仕切部材(リザーバプレート)14を介して接合したものである。ノズルプレート12と振動板13との間には、仕切部材14によって複数の空間15と液溜まり16とが形成されている。各空間15と液溜まり16の内部はインクで満たされており、各空間15と液溜まり16とは供給口17を介して連通したものとなっている。また、ノズルプレート12には、空間15からインクを噴射するためのノズル18が形成されている。一方、振動板13には、液溜まり16にインクを供給するための孔19が形成されている。
[Droplet ejection head]
FIG. 5A is an explanatory diagram of the structure of the droplet discharge head, and FIG. 5B is a front sectional view. The head 34 compresses the liquid chamber with, for example, a piezo element and discharges the liquid with the pressure wave. As described above, the head 34 includes the plurality of nozzles 18 arranged in one or a plurality of rows. An example of the structure of the head 34 will be described. As shown in FIG. 5A, the head 34 includes a nozzle plate 12 and a diaphragm 13 made of, for example, stainless steel. Are joined together. A plurality of spaces 15 and a liquid reservoir 16 are formed between the nozzle plate 12 and the diaphragm 13 by the partition member 14. Each space 15 and the liquid reservoir 16 are filled with ink, and each space 15 and the liquid reservoir 16 communicate with each other via a supply port 17. The nozzle plate 12 has nozzles 18 for ejecting ink from the space 15. On the other hand, a hole 19 for supplying ink to the liquid reservoir 16 is formed in the vibration plate 13.

また、振動板13の空間15に対向する面と反対側の面上には、図5(b)に示すように、圧電素子(ピエゾ素子)20が接合されている。この圧電素子20は、圧電材料を一対の電極21で挟持したものであり、一対の電極21に通電すると圧電材料が収縮するよう構成されたものである。そして、このような構成のもとに圧電素子20が接合されている振動板13は、圧電素子20と一体になって同時に外側へ撓曲するようになっており、これによって空間15の容積が増大するようになっている。したがって、空間15内に増大した容積分に相当するインクが、液溜まり16から供給口17を介して流入する。また、このような状態から圧電素子20への通電を解除すると、圧電素子20と振動板13はともに元の形状に戻る。したがって、空間15も元の容積に戻ることから、空間15内部のインクの圧力が上昇し、ノズル18から基板に向けてインクの液滴Lが吐出される。   Further, a piezoelectric element (piezo element) 20 is joined to the surface of the diaphragm 13 opposite to the surface facing the space 15 as shown in FIG. The piezoelectric element 20 is configured such that a piezoelectric material is sandwiched between a pair of electrodes 21, and the piezoelectric material contracts when the pair of electrodes 21 are energized. The diaphragm 13 to which the piezoelectric element 20 is bonded in such a configuration is bent integrally with the piezoelectric element 20 at the same time so that the volume of the space 15 is increased. It is going to increase. Therefore, ink corresponding to the increased volume in the space 15 flows from the liquid reservoir 16 through the supply port 17. Further, when energization to the piezoelectric element 20 is released from such a state, both the piezoelectric element 20 and the diaphragm 13 return to their original shapes. Therefore, since the space 15 also returns to the original volume, the pressure of the ink inside the space 15 rises, and the ink droplet L is ejected from the nozzle 18 toward the substrate.

なお、ヘッド34のインクジェット方式としては、前記の圧電素子20を用いたピエゾジェットタイプ以外の方式でもよく、例えば、エネルギー発生素子として電気熱変換体を用いた方式を採用してもよい。   The ink jet system of the head 34 may be a system other than the piezo jet type using the piezoelectric element 20, for example, a system using an electrothermal transducer as an energy generating element.

[整備ユニット]
図2に示すように、ヘッドユニット71におけるプレート74の配列方向(Y方向)の延長線上には、整備ユニット80が設けられている。
図6は、整備ユニット80の平面図である。整備ユニット80には、各ヘッドのインク吐出面を覆うキャップユニット(キャッピング手段)81と、各ヘッドのインク吐出面を拭うワイプユニット(ワイピング手段)90とが、隣接して形成されている。
[Maintenance unit]
As shown in FIG. 2, a maintenance unit 80 is provided on an extension line in the arrangement direction (Y direction) of the plates 74 in the head unit 71.
FIG. 6 is a plan view of the maintenance unit 80. In the maintenance unit 80, a cap unit (capping unit) 81 that covers the ink discharge surface of each head and a wipe unit (wiping unit) 90 that wipes the ink discharge surface of each head are formed adjacent to each other.

キャップユニット81は、前記ヘッドキャリッジに対応して、Y方向に整列配置された複数のキャップキャリッジ83を備えている。なお、各キャップキャリッジ83はZ方向(上下方向)に移動可能とされている。そして、各キャップキャリッジ83には、前記ヘッドに対応して、複数のキャップ82が階段状に配置されている。このキャップ82は、ヘッドのインク吐出面を覆うことにより、ヘッドにおけるノズル内のインクの乾燥を防止する保湿キャップとして機能するものである。   The cap unit 81 includes a plurality of cap carriages 83 arranged in the Y direction corresponding to the head carriage. Each cap carriage 83 is movable in the Z direction (up and down direction). In each cap carriage 83, a plurality of caps 82 are arranged stepwise corresponding to the head. The cap 82 functions as a moisturizing cap that prevents the ink in the nozzles of the head from being dried by covering the ink ejection surface of the head.

図7は、図6のC−C線における正面断面図である。図7に示すように、キャップ82は、その上面をヘッド34のインク吐出面12aに当接させて使用する。そのため、キャップ82の上面には凹部84が形成されている。この凹部84は、ヘッド34に形成されたすべてのノズル18を内包しうる大きさに形成されている。これにより、ヘッド34のノズル18とキャップ82の上面との接触が回避され、各ノズル18の開口部に形成されるインクのメニスカスが維持される。また、凹部84を取り囲むキャップ82の上面は面精度良く形成されている。これにより、ヘッド34のインク吐出面12aに形成された各ノズル18を密閉封止することができるようになっている。   FIG. 7 is a front sectional view taken along the line CC of FIG. As shown in FIG. 7, the cap 82 is used with its upper surface in contact with the ink ejection surface 12 a of the head 34. Therefore, a recess 84 is formed on the upper surface of the cap 82. The concave portion 84 is formed to have a size capable of including all the nozzles 18 formed in the head 34. As a result, contact between the nozzles 18 of the head 34 and the upper surface of the cap 82 is avoided, and the ink meniscus formed at the opening of each nozzle 18 is maintained. Further, the upper surface of the cap 82 surrounding the recess 84 is formed with high surface accuracy. Accordingly, each nozzle 18 formed on the ink discharge surface 12a of the head 34 can be hermetically sealed.

なお、ワイプユニット90寄りのキャップキャリッジ83aに配置されたキャップは、ヘッド34におけるノズル内のインクを吸引可能な吸引キャップ82aとして機能するようになっている。吸引キャップ82aにおいては、凹部84から外部のポンプ86にかけて配管88が形成されている。そして、このポンプ86を運転することにより、凹部84内の空気が吸引されて、各ノズル18内のインクを吸引しうるようになっている。   The cap disposed on the cap carriage 83a near the wipe unit 90 functions as a suction cap 82a capable of sucking ink in the nozzles of the head 34. In the suction cap 82 a, a pipe 88 is formed from the recess 84 to the external pump 86. By operating the pump 86, the air in the recess 84 is sucked so that the ink in each nozzle 18 can be sucked.

一方、ワイプユニット90には、例えばポリエステルの織布等からなるワイピングシート92が配置されている。このワイピングシート92は、図4に示すように、ヘッドキャリッジ73に搭載されたヘッド群と同等以上の幅に形成されている。また図7に示すように、ワイプユニット80には、ワイピングシート92の繰り出しローラ93および巻き取りローラ96が配置されている。なお巻き取りローラ96は、モータ等の駆動手段148により回転駆動されるようになっている。また繰り出しローラ93と巻き取りローラ96との間には、テンションローラ95およびガイドローラ94が配置されている。なお、各ローラ93,95,94,96は平行に配置され、ワイピングシート92は繰り出しローラ93からテンションローラ95およびガイドローラ94を介して巻き取りローラ96に巻き回されている。そして、ガイドローラ94の上端部に配置されたワイピングシート92が、ヘッド34のインク吐出面12aと当接するようになっている。   On the other hand, a wiping sheet 92 made of, for example, a polyester woven fabric or the like is disposed in the wipe unit 90. As shown in FIG. 4, the wiping sheet 92 is formed with a width equal to or greater than that of the head group mounted on the head carriage 73. As shown in FIG. 7, the wiper unit 80 is provided with a feeding roller 93 and a take-up roller 96 for the wiping sheet 92. The take-up roller 96 is rotationally driven by driving means 148 such as a motor. A tension roller 95 and a guide roller 94 are disposed between the feeding roller 93 and the take-up roller 96. The rollers 93, 95, 94, 96 are arranged in parallel, and the wiping sheet 92 is wound around the take-up roller 96 from the feed roller 93 via the tension roller 95 and the guide roller 94. A wiping sheet 92 disposed at the upper end of the guide roller 94 comes into contact with the ink ejection surface 12a of the head 34.

また、テンションローラ95とガイドローラ94との間には、ワイピングシート92に対する洗浄液塗布装置98が設けられている。この洗浄液塗布装置98は、ワイピングシート92の全幅にわたって洗浄液を塗布しうるように形成されている。なおワイプユニット90は、洗浄液の塗布されたワイピングシート92によってヘッド34のインク吐出面12aを拭うことにより、インク吐出面12aに付着したインク54aを除去するものである。そこで洗浄液として、インクとの親和性がよく、なおかつインク吐出面12aから揮発し易い物質を使用するのが望ましい。具体的には、ヘッド34により吐出されるインクの溶媒を洗浄液として使用することができる。   A cleaning liquid application device 98 for the wiping sheet 92 is provided between the tension roller 95 and the guide roller 94. The cleaning liquid application device 98 is formed so that the cleaning liquid can be applied over the entire width of the wiping sheet 92. The wipe unit 90 removes the ink 54a adhering to the ink discharge surface 12a by wiping the ink discharge surface 12a of the head 34 with the wiping sheet 92 to which the cleaning liquid is applied. Therefore, it is desirable to use a cleaning liquid that has a good affinity with ink and that easily volatilizes from the ink discharge surface 12a. Specifically, the solvent of the ink ejected by the head 34 can be used as the cleaning liquid.

[描画装置の整備方法]
次に、上述した整備ユニットにおいて、ヘッドユニットを整備する方法につき、図7および図8を用いて説明する。
上述した描画前フラッシングでは、液滴の吐出位置に加えて吐出径を算出するので、各ヘッドにおけるノズル詰まりを検出することが可能である。また、描画状態の検査や定期フラッシング等においても、ノズル詰まりが検出される場合がある。そして、ノズル詰まりが検出された場合には、これを解消する必要がある。ノズル詰まりの解消は、当該ヘッドをキャッピングした上で、ノズルを吸引することによって行う。
[Drawer maintenance method]
Next, a method of maintaining the head unit in the above-described maintenance unit will be described with reference to FIGS.
In the pre-drawing flushing described above, since the ejection diameter is calculated in addition to the droplet ejection position, nozzle clogging in each head can be detected. Also, nozzle clogging may be detected in drawing state inspection, periodic flushing, and the like. And when nozzle clogging is detected, it is necessary to eliminate this. The clogging of the nozzle is eliminated by sucking the nozzle after capping the head.

具体的には、図7の中央に示すように、ノズル詰まりが検出されたヘッド34を、吸引キャップ82aの上方まで移動させる。なお上述したように、各ヘッドキャリッジ73は、独立してY方向に移動させることが可能である。このとき吸引対象となるヘッド34よりも整備ユニット80側に他のヘッド(キャリッジ153)が存在する場合はこれらのキャリッジ153も一体的に移動させる。次に、吸引キャップ82aが搭載されたキャップキャリッジ83を上昇させ、吸引キャップ82aの上面をヘッド34のインク吐出面12aに当接させる。その際、ヘッド34のすべてのノズル18が、吸引キャップ82aの凹部84に内包されるように、あらかじめ両者を位置決めしておく。これにより、ヘッド34のすべてのノズル18が、吸引キャップ82aにより密閉封止される。   Specifically, as shown in the center of FIG. 7, the head 34 in which nozzle clogging is detected is moved to above the suction cap 82a. As described above, each head carriage 73 can be independently moved in the Y direction. At this time, if there is another head (carriage 153) closer to the maintenance unit 80 than the head 34 to be sucked, these carriages 153 are also moved together. Next, the cap carriage 83 on which the suction cap 82 a is mounted is raised, and the upper surface of the suction cap 82 a is brought into contact with the ink ejection surface 12 a of the head 34. At that time, both nozzles 18 of the head 34 are positioned in advance so that all the nozzles 18 are included in the recesses 84 of the suction cap 82a. Thereby, all the nozzles 18 of the head 34 are hermetically sealed by the suction cap 82a.

次に、吸引キャップ82aに接続されたポンプ86を運転する。このポンプ86により、各キャップ82における凹部84内の空気が吸引されて、ヘッド34のノズル18が吸引される。これにより、ヘッド34内のインクが各ノズル18に導入されて、ノズル詰まりが解消される。なお、ヘッド34のノズル18を吸引すると、ノズル18から若干のインクが凹部84内に漏れ出すことになる。この漏れ出したインクは、ポンプ86により図示しない廃液タンクに回収して再利用する。このとき、吸引対象ではない他のヘッドについては、保湿キャップ82で密閉封止することにより、インク溶媒の蒸発を防いで増粘状態となることを回避する。   Next, the pump 86 connected to the suction cap 82a is operated. The pump 86 sucks the air in the recess 84 in each cap 82 and sucks the nozzle 18 of the head 34. Thereby, the ink in the head 34 is introduced into each nozzle 18, and the nozzle clogging is eliminated. Note that when the nozzles 18 of the head 34 are sucked, some ink leaks from the nozzles 18 into the recesses 84. The leaked ink is collected in a waste liquid tank (not shown) by the pump 86 and reused. At this time, other heads that are not suction targets are hermetically sealed with a moisture retention cap 82 to prevent evaporation of the ink solvent and avoid a thickened state.

なお、ヘッド34のノズル18を吸引すると、ノズル18から漏れ出したインクがヘッド34のインク吐出面12aに付着することがある。そして、インク吐出面12aにおけるノズル18の開口部周辺にインク54aが付着した状態でヘッド34からインクを吐出すると、吐出されたインクの飛行曲がりが発生するおそれがある。そこで、ヘッド34のノズル18を吸引した後に、インク吐出面12aに付着したインク54aを除去するため、インク吐出面12aのワイピングを行う。   When the nozzles 18 of the head 34 are sucked, the ink leaking from the nozzles 18 may adhere to the ink ejection surface 12a of the head 34. If ink is ejected from the head 34 with the ink 54a adhering to the vicinity of the opening of the nozzle 18 on the ink ejection surface 12a, there is a risk that the flight of the ejected ink will be bent. Therefore, after the nozzle 18 of the head 34 is sucked, the ink ejection surface 12a is wiped in order to remove the ink 54a attached to the ink ejection surface 12a.

具体的には、図7の左側に示すように、吸引後のヘッド34をワイプユニット90の上方まで移動させる。次に、図示しないモータ等により巻き取りローラ96を回転させ、各ローラに沿ってワイピングシート92を移動させる。また、洗浄液塗布装置98からワイピングシート92に対して洗浄液を塗布する。そして、ワイプユニット90を上昇させ、ガイドローラ94の上端部に配置されたワイピングシート92をインク吐出面12aに押し当てる。すると、インク吐出面12aに付着したインクが、ワイピングシート92に塗布された洗浄液に溶解されつつ、ワイピングシート92に吸収される。また、ワイピングシート92をインク吐出面12aに当接させつつ移動させるので、フレッシュなワイピングシート92によりインク吐出面12aが払拭される。なお、ワイピングシート92と逆方向にヘッドキャリッジ73を移動させてもよい。以上により、インク吐出面12aに付着したインクが除去される。   Specifically, as shown on the left side of FIG. 7, the sucked head 34 is moved to above the wipe unit 90. Next, the winding roller 96 is rotated by a motor or the like (not shown), and the wiping sheet 92 is moved along each roller. Further, the cleaning liquid is applied to the wiping sheet 92 from the cleaning liquid application device 98. Then, the wipe unit 90 is raised, and the wiping sheet 92 disposed at the upper end of the guide roller 94 is pressed against the ink discharge surface 12a. Then, the ink adhering to the ink discharge surface 12 a is absorbed by the wiping sheet 92 while being dissolved in the cleaning liquid applied to the wiping sheet 92. Further, since the wiping sheet 92 is moved while being in contact with the ink discharge surface 12a, the ink discharge surface 12a is wiped by the fresh wiping sheet 92. The head carriage 73 may be moved in the direction opposite to the wiping sheet 92. As described above, the ink attached to the ink discharge surface 12a is removed.

図8は、ワイピングシートの展開図である。なお、ワイピングシート92の巻き取り方向は図8の下方向である。また破線100は、ワイピングシート92におけるヘッドとの対向位置であって、図7に示すガイドローラ94の上端部に配置されたワイピングシート92の位置を示している。図8に示すように、ワイピングシート92の使用済み部分(破線100の下側)には、ヘッドと当接した領域(以下、ヘッド当接領域と呼ぶ)110が存在している。なおヘッド当接領域110は、ヘッドキャリッジにおけるヘッド配置に対応して階段状に分布している。これらのヘッド当接領域110には、ヘッドのインク吐出面に付着していたインクが吸着されている。なお、ワイピングシート92に吸着されたインクが、ヘッド当接領域110の周囲に拡散することにより、インク拡散領域120が形成されている。   FIG. 8 is a development view of the wiping sheet. The winding direction of the wiping sheet 92 is the downward direction in FIG. A broken line 100 indicates a position of the wiping sheet 92 facing the head and the position of the wiping sheet 92 disposed at the upper end of the guide roller 94 shown in FIG. As shown in FIG. 8, an area (hereinafter referred to as a head contact area) 110 that is in contact with the head exists in the used portion of the wiping sheet 92 (below the broken line 100). The head contact area 110 is distributed stepwise corresponding to the head arrangement in the head carriage. Ink adhering to the ink ejection surface of the head is adsorbed in these head contact areas 110. Note that the ink adsorbed on the wiping sheet 92 diffuses around the head contact area 110, thereby forming the ink diffusion area 120.

ここで、ワイピングシート92におけるインク拡散領域120を使用して新たなワイピングを行うと、ヘッドに付着したインクが吸着不能となるだけでなく、インクが付着していないヘッドに新たなインクを付着させてしまうおそれがある。そのため、ワイピングシート92におけるインク拡散領域120以外の領域を使用して新たなワイピングを行う必要がある。
しかしながら、ワイピングシートの未使用部分(破線100の上側)を使用して、ノズル詰まりが検出された一部のヘッドのみをワイピングするのは非効率的である。この場合、幅方向全体が未使用のワイピングシート92の一部のみに、当該ヘッドとの当接領域13が設定されるので、ワイピングシートの消費量が多くなり、製造コストが増加するからである。
そこで、ワイピングシート92におけるヘッドとの対向位置100からワイピングシート92の移動方向とは逆方向(図8における破線100の下側)に存在する領域であって、インクが付着していないワイピングシート92未使用領域を使用して、ワイピングを行う。すなわち、ワイピングシート92の使用済み部分であって、インク拡散領域120以外の領域を使用する。
Here, when new wiping is performed using the ink diffusion region 120 in the wiping sheet 92, not only the ink adhering to the head cannot be adsorbed, but also new ink is attached to the head to which no ink is attached. There is a risk that. Therefore, it is necessary to perform new wiping using an area other than the ink diffusion area 120 in the wiping sheet 92.
However, it is inefficient to use only an unused portion of the wiping sheet (the upper side of the broken line 100) to wipe only a part of the head in which nozzle clogging is detected. In this case, since the contact area 13 with the head is set only in a part of the wiping sheet 92 that is not used in the entire width direction, the amount of consumption of the wiping sheet is increased and the manufacturing cost is increased. .
Therefore, the wiping sheet 92 is an area that exists in a direction opposite to the moving direction of the wiping sheet 92 from the position 100 facing the head in the wiping sheet 92 (below the broken line 100 in FIG. 8) and has no ink attached thereto. Wiping is performed using the unused area. That is, an area other than the ink diffusion area 120 that is a used part of the wiping sheet 92 is used.

なお、インク拡散領域120の面積はばらつきが大きく、それ以外の領域を一般的に求めるのは困難である。また、インク拡散領域120の面積を実測して、それ以外の領域を具体的に求めるのは迂遠である。そこで簡易的に、ヘッド当接領域110からヘッド1個の長さ以上離れた未使用領域を、ワイピングシート92の使用可能領域に設定する。一般に、ヘッド当接領域110からヘッド1個の長さ以上離れた領域までインクが拡散することはほとんどないからである。
これを図8において具体的に説明する。図8では、ワイピングシート92の巻き取り方向に、ヘッド当接領域111a,111bが隣接している。なお、ヘッドの長さをLとすれば、ヘッド当接領域111a,111bの長さもLとなる。そこで、ヘッド当接領域111a,111bから、長さL以上に離間した領域を、ワイピングシート92の使用可能領域130に設定する。なお、この使用可能領域130は、インク拡散領域121a,121bの外側の領域であることに注意されたい。
Note that the area of the ink diffusion region 120 varies greatly, and it is difficult to generally obtain other regions. Further, it is a detour that the area of the ink diffusion region 120 is actually measured and other regions are specifically obtained. Therefore, an unused area that is separated from the head contact area 110 by one head or more is set as an available area of the wiping sheet 92. This is because, in general, ink hardly diffuses from the head contact region 110 to a region separated by one head or more.
This will be specifically described with reference to FIG. In FIG. 8, head contact areas 111 a and 111 b are adjacent to each other in the winding direction of the wiping sheet 92. If the length of the head is L, the lengths of the head contact areas 111a and 111b are also L. Therefore, an area that is separated from the head contact areas 111 a and 111 b by a length L or more is set as the usable area 130 of the wiping sheet 92. It should be noted that the usable area 130 is an area outside the ink diffusion areas 121a and 121b.

ここでは、ヘッドキャリッジの端部から3番目のヘッドにおけるノズル詰まりを解消するため、当該ヘッドのワイピングを行う場合を例にして説明する。この場合、ワイピングシート92における使用可能領域130の内側に、新たなヘッド当接領域113を設定する。具体的には、図7に示す記憶部142に、あらかじめワイピングシート92におけるすべてのヘッド当接領域の位置を記憶させておく。次に、そのヘッド当接領域の位置を演算部144が読み出して、ワイピングシート92における使用可能領域の位置を算出する。そして演算部144は、図8に示す使用可能領域130の内部であって、ワイピングシート92におけるヘッドとの対向位置(以下、ワイピングシート92の現在位置と呼ぶ)100から最も近い位置に、新たなヘッド当接領域113を設定する。   Here, in order to eliminate nozzle clogging in the third head from the end of the head carriage, a case where the head is wiped will be described as an example. In this case, a new head contact area 113 is set inside the usable area 130 in the wiping sheet 92. Specifically, the positions of all the head contact areas in the wiping sheet 92 are stored in advance in the storage unit 142 shown in FIG. Next, the calculation unit 144 reads the position of the head contact area, and calculates the position of the usable area on the wiping sheet 92. Then, the calculation unit 144 has a new position within the usable area 130 shown in FIG. 8 at a position closest to the position facing the head in the wiping sheet 92 (hereinafter referred to as the current position of the wiping sheet 92) 100. The head contact area 113 is set.

次に、ワイピングシート92の現在位置100を、新たなヘッド当接領域113の端部110aまで移動させる。具体的には、まず演算部が、ワイピングシート92の現在位置100から新たなヘッド当接領域113の端部110aまでの距離を算出する。次に、図7に示す演算部144は、その距離に相当するワイピングシート92の巻き戻し信号を、繰り出しローラ93の駆動手段146に出力する。モータ等の駆動手段146は、演算部144からの信号にしたがって、繰り出しローラ93を逆方向に回転させてワイピングシート92を繰り出しローラ93に巻き取る。これにより、図8に示す新たなヘッド当接領域113の端部110aが、ワイピングシート92の現在位置となる。その後は、上記と同様に、ヘッド当接領域113をヘッドに当接させてワイピングを行えばよい。   Next, the current position 100 of the wiping sheet 92 is moved to the end 110a of the new head contact area 113. Specifically, the calculation unit first calculates the distance from the current position 100 of the wiping sheet 92 to the end 110a of the new head contact area 113. Next, the calculation unit 144 shown in FIG. 7 outputs a rewinding signal of the wiping sheet 92 corresponding to the distance to the driving unit 146 of the feeding roller 93. The driving means 146 such as a motor rotates the feeding roller 93 in the reverse direction in accordance with a signal from the calculation unit 144 and winds the wiping sheet 92 around the feeding roller 93. Thereby, the end 110a of the new head contact area 113 shown in FIG. 8 becomes the current position of the wiping sheet 92. Thereafter, similarly to the above, wiping may be performed by bringing the head contact region 113 into contact with the head.

なお、図7に示す洗浄液塗布装置98は、ヘッドキャリッジにおけるヘッド配置に対応して、複数設けることが望ましい。この場合、ワイピングを行うヘッドに対応する洗浄液塗布装置から洗浄液を吐出し、それ以外の洗浄液塗布装置から洗浄液を吐出しないように構成する。これにより、ワイピングシート92におけるヘッド当接領域に対して選択的に洗浄液を吐出することが可能になり、洗浄液の消費量を低減することができる。   Note that it is desirable to provide a plurality of cleaning liquid application devices 98 shown in FIG. 7 corresponding to the head arrangement in the head carriage. In this case, it is configured such that the cleaning liquid is discharged from the cleaning liquid coating apparatus corresponding to the head that performs wiping, and the cleaning liquid is not discharged from other cleaning liquid coating apparatuses. Accordingly, the cleaning liquid can be selectively discharged to the head contact area in the wiping sheet 92, and the consumption of the cleaning liquid can be reduced.

以上に詳述したように、本実施形態の液滴吐出装置の整備方法では、ワイピングシートにおけるヘッドとの対向位置からワイピングシートの移動方向とは逆方向に存在する領域であって、インクが付着していないワイピングシートの未使用領域を使用して、ワイピングを行う構成とした。この構成によれば、ノズル詰まりが検出された一部のヘッドのみをワイピングする場合でも、幅方向全体が未使用の新たなワイピングシートを使用する必要がないので、ワイピングシートの消費量を低減することが可能になる。したがって、効率的なワイピングを行うことができる。   As described in detail above, in the method for preparing a droplet discharge device according to the present embodiment, ink is attached to an area that exists in a direction opposite to the moving direction of the wiping sheet from the position facing the head in the wiping sheet. Wiping is performed using an unused area of the wiping sheet that has not been performed. According to this configuration, even when wiping only a part of the head in which nozzle clogging is detected, it is not necessary to use a new wiping sheet that is not used in the entire width direction, thereby reducing the consumption of the wiping sheet. It becomes possible. Therefore, efficient wiping can be performed.

なお以上には、ワイピングシートの移動方向とは逆方向に存在するワイピングシートの未使用領域を使用するため、ワイピングシートの移動方向とは逆方向にワイピングシートを巻き取る場合について説明したが、ワイピングシートがエンドレスシートである場合には、ワイピングシートの移動方向と同じ方向にワイピングシートを巻き取ってもよい。この場合でも、ワイピングシートの使用済み領域近傍の未使用領域を使用してワイピングを行うことが可能になり、ワイピングシートの消費量を低減することが可能になって、効率的なワイピングを行うことができる。   In the above description, since the unused area of the wiping sheet that exists in the direction opposite to the moving direction of the wiping sheet is used, the case where the wiping sheet is wound in the direction opposite to the moving direction of the wiping sheet has been described. When the sheet is an endless sheet, the wiping sheet may be wound in the same direction as the movement direction of the wiping sheet. Even in this case, it is possible to perform wiping using an unused area near the used area of the wiping sheet, and it is possible to reduce the consumption of the wiping sheet, and to perform efficient wiping. Can do.

図9は、X方向にワイピングを行う場合の説明図である。以上には、ヘッドの液滴吐出面をY方向にワイピングする場合について述べたが、X方向にワイピングすることも可能である。この場合、キャップユニットの配列方向の側方にワイプユニット90を配置する。そして、各ヘッドのキャッピング終了後に、キャップキャリッジとともにワイプユニット90をX方向に移動させてワイピングを行う。そして、図9(a)に示すように、複数のヘッドキャリッジ73と同等の長さにワイプユニット90を形成した場合や、図9(b)に示すように、一つのヘッドキャリッジ73に複数列のヘッド34を配置した場合にも、第1実施形態と同様の構成を採用することにより、ワイピングシートの消費量を低減することが可能になる。したがって、効率的なワイピングを行うことができる。   FIG. 9 is an explanatory diagram for wiping in the X direction. Although the case where the droplet discharge surface of the head is wiped in the Y direction has been described above, it is possible to wipe in the X direction. In this case, the wipe unit 90 is arranged on the side in the arrangement direction of the cap units. Then, after the capping of each head is completed, the wiping unit 90 is moved in the X direction together with the cap carriage to perform wiping. Then, as shown in FIG. 9A, when the wipe unit 90 is formed to the same length as the plurality of head carriages 73, or as shown in FIG. Even when the head 34 is arranged, the consumption of the wiping sheet can be reduced by adopting the same configuration as in the first embodiment. Therefore, efficient wiping can be performed.

[液滴吐出装置の変形例]
次に、第1実施形態に係る液滴吐出装置の変形例につき、図10ないし図12を用いて説明する。
図10は、液滴吐出装置の第1変形例の説明図である。第1変形例は、各ヘッドキャリッジ173に対応して複数の整備ユニット180を設けたものである。各整備ユニット180は、それぞれキャップユニット181およびワイプユニット190を備えている。なお、各整備ユニット180の間には、ヘッドキャリッジ173の交換作業エリア160が設けられている。この構成によれば、各ヘッドの整備時間を短縮することが可能になる。また、各ヘッドキャリッジ173に搭載されたヘッドのキャッピングからワイピングまでの時間を統一することが可能になり、各ヘッドを同じ状態で使用することができる。
[Modified example of droplet discharge device]
Next, a modification of the droplet discharge device according to the first embodiment will be described with reference to FIGS.
FIG. 10 is an explanatory diagram of a first modification of the droplet discharge device. In the first modification, a plurality of maintenance units 180 are provided corresponding to each head carriage 173. Each maintenance unit 180 includes a cap unit 181 and a wipe unit 190, respectively. A replacement work area 160 for the head carriage 173 is provided between the maintenance units 180. According to this configuration, it is possible to shorten the maintenance time of each head. Further, the time from capping to wiping of the heads mounted on each head carriage 173 can be unified, and each head can be used in the same state.

図11は、液滴吐出装置の第2変形例の説明図である。第2変形例は、各ヘッドキャリッジ273のグループごとに整備ユニット280を設けたものである。例えば、第1整備ユニット280aには3個のキャップキャリッジ283が配置され、第2整備ユニット280bおよび第3整備ユニット280cにはそれぞれ2個のキャップキャリッジ283が配置されている。また各整備ユニットには、それぞれヘッドキャリッジ273の交換作業用(メンテナンス作業用)の作業エリアとしての凹部260a〜260cと、ワイプユニット290とが設けられている。この構成によっても、各ヘッドの整備時間を短縮することができる。また、図10の変形例と比べて、ヘッドキャリッジ273の移動距離を短くすることが可能になり、液滴吐出装置の製造コストを低減することができる。   FIG. 11 is an explanatory diagram of a second modification of the droplet discharge device. In the second modification, a maintenance unit 280 is provided for each group of head carriages 273. For example, three cap carriages 283 are arranged in the first maintenance unit 280a, and two cap carriages 283 are arranged in the second maintenance unit 280b and the third maintenance unit 280c, respectively. Each maintenance unit is provided with recesses 260a to 260c as work areas for replacement work (for maintenance work) of the head carriage 273, and a wipe unit 290. Also with this configuration, the maintenance time of each head can be shortened. In addition, the moving distance of the head carriage 273 can be shortened compared to the modification of FIG. 10, and the manufacturing cost of the droplet discharge device can be reduced.

図12は、液滴吐出装置の第3変形例の説明図である。第3変形例は、各ヘッドキャリッジを2列に配置するとともに、列間で整備ユニットを共用可能としたものである。例えば、第1列には3個のヘッドキャリッジ373が配置され、第2列には4個のヘッドキャリッジ373が配置されている。なお、各ヘッドキャリッジをY方向にずらして配置することにより、各ヘッドのノズルがY方向に等ピッチで配置されている。また、第1整備ユニット380aないし第4整備ユニット380dと第1列および第2列との交点には、それぞれ1個のキャップキャリッジが配置されている。さらに、各整備ユニットにはワイプユニット390が設けられている。これにより、各列に属するヘッドキャリッジ373が整備ユニットを共用しうるようになっている。この構成によっても、各ヘッドの整備時間を短縮することができる。また、上記各変形例と比べて、ヘッドキャリッジ373の移動距離を短くすることが可能になり、液滴吐出装置の製造コストを低減することができる。   FIG. 12 is an explanatory diagram of a third modification of the droplet discharge device. In the third modification, the head carriages are arranged in two rows, and the maintenance unit can be shared between the rows. For example, three head carriages 373 are arranged in the first row, and four head carriages 373 are arranged in the second row. Note that the nozzles of each head are arranged at equal pitches in the Y direction by disposing the head carriages in the Y direction. In addition, one cap carriage is disposed at the intersection of the first maintenance unit 380a to the fourth maintenance unit 380d and the first row and the second row. Further, a wipe unit 390 is provided for each maintenance unit. Thereby, the head carriage 373 belonging to each row can share the maintenance unit. Also with this configuration, the maintenance time of each head can be shortened. In addition, the moving distance of the head carriage 373 can be shortened compared to the above modifications, and the manufacturing cost of the droplet discharge device can be reduced.

[カラーフィルタの製造方法]
次に、本実施形態のカラーフィルタ製造装置1を用いたカラーフィルタの製造方法の一例を説明する。図13は、基板Sにおけるカラーフィルタ領域51の説明図である。上記カラーフィルタ製造装置を用いたカラーフィルタの製造方法は、生産性を高める観点から長方形状の基板S上に、複数個のカラーフィルタ領域51をマトリクス状に形成する際に適用することができる。これらのカラーフィルタ領域51は、後で基板Sを切断することにより、液晶表示装置に適合する個々のカラーフィルタとして用いることができる。なお、各カラーフィルタ領域51においては、図13に示したように、Rのインク、Gのインク、およびBのインクをそれぞれ所定のパターン、本例では従来公知のストライプ型で形成して配置する。なお、この形成パターンとしては、ストライプ型のほかに、モザイク型やデルタ型あるいはスクウェア型等としてもよい。
[Color filter manufacturing method]
Next, an example of a color filter manufacturing method using the color filter manufacturing apparatus 1 of the present embodiment will be described. FIG. 13 is an explanatory diagram of the color filter region 51 in the substrate S. The color filter manufacturing method using the color filter manufacturing apparatus can be applied when a plurality of color filter regions 51 are formed in a matrix on the rectangular substrate S from the viewpoint of increasing productivity. These color filter regions 51 can be used as individual color filters suitable for a liquid crystal display device by cutting the substrate S later. In each color filter region 51, as shown in FIG. 13, the R ink, the G ink, and the B ink are each formed in a predetermined pattern, in this example, a conventionally known stripe type. . In addition to the stripe type, the formation pattern may be a mosaic type, a delta type, or a square type.

図14は、カラーフィルタの製造方法の説明図である。このようなカラーフィルタ領域51を形成するには、まず、図14(a)に示すように、透明の基板Sの一方の面に対し、ブラックマトリクス52を形成する。このブラックマトリクス52を形成する際には、光透過性のない樹脂(好ましくは黒色樹脂)を、スピンコート等の方法で所定の厚さ(例えば2μm程度)に塗布し、フォトリソグラフィ技術を用いてパターニングする。このブラックマトリクス52の格子で囲まれる最小の表示要素、すなわちフィルタエレメント53については、例えばX軸方向の幅を30μm、Y軸方向の長さを100μm程度とする。このブラックマトリクスは充分な高さを有しており、インク吐出時の隔壁として機能する。   FIG. 14 is an explanatory diagram of a color filter manufacturing method. In order to form such a color filter region 51, first, a black matrix 52 is formed on one surface of a transparent substrate S as shown in FIG. When the black matrix 52 is formed, a non-light-transmitting resin (preferably a black resin) is applied to a predetermined thickness (for example, about 2 μm) by a method such as spin coating, and photolithography technology is used. Pattern. For the minimum display element surrounded by the grid of the black matrix 52, that is, the filter element 53, for example, the width in the X-axis direction is set to 30 μm and the length in the Y-axis direction is set to about 100 μm. This black matrix has a sufficient height and functions as a partition wall during ink ejection.

次に、本実施形態のカラーフィルタ製造装置におけるインク受容層形成装置の液滴吐出ヘッドから、図14(b)に示すようにインク受容層となる樹脂組成物を含有するインク滴54(液状体)を吐出し、これを基板S上に着弾させる。吐出するインク滴54の量については、加熱工程におけるインクの体積減少を考慮した十分な量とする。次いで、インク受容層形成装置の焼成部においてインク滴の焼成を行い、図14(c)に示すようなインク受容層60とする。   Next, from the droplet discharge head of the ink receiving layer forming apparatus in the color filter manufacturing apparatus of this embodiment, as shown in FIG. ) Is discharged and landed on the substrate S. The amount of ink droplets 54 to be ejected is a sufficient amount in consideration of a decrease in ink volume in the heating process. Next, ink droplets are baked in the baking portion of the ink receiving layer forming apparatus to form an ink receiving layer 60 as shown in FIG.

次に、R着色層形成装置の液滴吐出ヘッド34から、図14(d)に示すようにRのインク滴54R(液状体)を吐出し、これを基板S上に着弾させる。吐出するインク滴54の量については、加熱工程におけるインクの体積減少を考慮した十分な量とする。次いで、R着色層形成装置の仮焼成部においてインクの仮焼成を行い、図14(e)に示すようなR着色層34Rとする。以上の工程を、G着色層形成装置、B着色層形成装置においても繰り返し、図14(f)に示すように、G着色層34G、B着色層34Bを順次形成する。R着色層34R、G着色層34G、B着色層34Bを全て形成した後、本焼成装置においてこれら着色層34R,34G,34Bを一括して焼成する。   Next, as shown in FIG. 14D, R ink droplets 54 </ b> R (liquid material) are ejected from the droplet ejection head 34 of the R colored layer forming apparatus, and landed on the substrate S. The amount of ink droplets 54 to be ejected is a sufficient amount in consideration of a decrease in ink volume in the heating process. Next, the ink is temporarily fired in the temporary firing portion of the R colored layer forming apparatus to obtain an R colored layer 34R as shown in FIG. The above steps are repeated in the G colored layer forming apparatus and the B colored layer forming apparatus, and the G colored layer 34G and the B colored layer 34B are sequentially formed as shown in FIG. After all of the R colored layer 34R, the G colored layer 34G, and the B colored layer 34B are formed, these colored layers 34R, 34G, and 34B are collectively baked in the baking apparatus.

次いで、基板Sを平坦化し、かつ着色層34R,34G,34Bを保護するため、図14(g)に示すように各着色層34R,34G,34Bやブラックマトリクス52を覆うオーバーコート膜(保護膜)56を形成する。このオーバーコート膜56の形成にあたっては、スピンコート法、ロールコート法、リッピング法等の方法を採用することもできるが、着色層34R,34G,34Bの場合と同様に液滴吐出装置を用いることもできる。   Next, in order to flatten the substrate S and protect the colored layers 34R, 34G, and 34B, as shown in FIG. 14G, an overcoat film (protective film) that covers the colored layers 34R, 34G, and 34B and the black matrix 52 is formed. ) 56 is formed. In forming the overcoat film 56, a spin coating method, a roll coating method, a ripping method, or the like can be employed. However, a droplet discharge device is used as in the case of the colored layers 34R, 34G, and 34B. You can also.

ところで、図1に示す本実施形態のカラーフィルタ製造装置1は、給材部61と除材部66とを結ぶ直線状の基板搬送ラインの途中に描画部63を備え、基板Sの搬送方向と交差する方向に配列された液滴吐出ヘッドからインクを吐出することで、所望形状のパターンを形成するものである。つまり、描画前の基板Sを描画部63の一端から供給し、描画後の基板Sを描画部63の他端から排出する構成であるから、基板Sを描画部63内に連続的に流すことができ、一方向のみの搬送中に複数の液滴吐出ヘッド34を用いて一気に描画を行うことができる。そのため、1枚の基板を処理するのに必要なタクトタイムを短縮でき、生産性に優れた装置を実現することができる。また、給材部61、描画部63、および除材部66が直線状に配列されているため、装置の占有スペースを縮小することができる。さらに、基板の搬送方向を変える機能を持つ搬送装置が不要となるので、装置構成を簡略化することができる。   By the way, the color filter manufacturing apparatus 1 of the present embodiment shown in FIG. 1 includes a drawing unit 63 in the middle of a linear substrate transport line that connects the material supply unit 61 and the material removal unit 66, and includes the transport direction of the substrate S. A pattern having a desired shape is formed by ejecting ink from droplet ejection heads arranged in intersecting directions. That is, since the substrate S before drawing is supplied from one end of the drawing unit 63 and the substrate S after drawing is discharged from the other end of the drawing unit 63, the substrate S is continuously flowed into the drawing unit 63. It is possible to perform drawing at once using a plurality of droplet discharge heads 34 during conveyance in only one direction. Therefore, the tact time required for processing one substrate can be shortened, and an apparatus with excellent productivity can be realized. In addition, since the material supply unit 61, the drawing unit 63, and the material removal unit 66 are arranged in a straight line, the space occupied by the apparatus can be reduced. Furthermore, since a transport device having a function of changing the transport direction of the substrate is not necessary, the device configuration can be simplified.

[液晶装置]
次に、上記カラーフィルタを備えた液晶装置(電気光学装置)の一実施形態を示す。図15はパッシブマトリクス型の液晶装置の側面断面図であり、図15中の符号30は液晶装置である。この液晶装置30は透過型のもので、一対のガラス基板31、32の間にSTN(Super Twisted Nematic)液晶等からなる液晶層33が挟持されてなるものである。
[Liquid Crystal Device]
Next, an embodiment of a liquid crystal device (electro-optical device) including the color filter will be described. FIG. 15 is a side cross-sectional view of a passive matrix liquid crystal device. Reference numeral 30 in FIG. 15 denotes a liquid crystal device. The liquid crystal device 30 is of a transmissive type, and a liquid crystal layer 33 made of STN (Super Twisted Nematic) liquid crystal or the like is sandwiched between a pair of glass substrates 31 and 32.

一方のガラス基板31には、その内面に上記カラーフィルタ55が形成されている。カラーフィルタ55は、R、G、Bの各色からなる着色層34R、34G、34Bが規則的に配列されて構成されたものである。なお、これらの色素層34R(34G、34B)間には、ブラックマトリクス52が形成されている。そして、これらカラーフィルタ55およびブラックマトリクス52の上には、カラーフィルタ55やブラックマトリクス52によって形成される段差をなくしてこれを平坦化するため、オーバーコート膜(保護膜)56が形成されている。オーバーコート膜56の上には複数の電極37がストライプ状に形成され、さらにその上には配向膜38が形成されている。   One glass substrate 31 has the color filter 55 formed on the inner surface thereof. The color filter 55 is configured by regularly arranging colored layers 34R, 34G, and 34B made of R, G, and B colors. A black matrix 52 is formed between the dye layers 34R (34G, 34B). An overcoat film (protective film) 56 is formed on the color filter 55 and the black matrix 52 in order to eliminate the step formed by the color filter 55 and the black matrix 52 and to flatten the same. . A plurality of electrodes 37 are formed in a stripe shape on the overcoat film 56, and an alignment film 38 is further formed thereon.

他方のガラス基板32には、その内面に、カラーフィルタ55側の電極37と直交するようにして、複数の電極39がストライプ状に形成されており、これら電極39上には、配向膜40が形成されている。なお、前記カラーフィルタ55の各着色層34R、34G、34Bは、それぞれ各ガラス基板32上の電極39、37の交差する位置に配置されている。また、電極37、39は、ITO(Indium Tin Oxide)などの透明導電材料によって形成されている。さらに、ガラス基板32とカラーフィルタ55の外面側にはそれぞれ偏光板(図示せず)が設けられ、ガラス基板31、32間にはこれら基板31、32間の間隔(セルギャップ)を一定に保持するためスペーサ41が設けられている。さらに、これらガラス基板31、32間には液晶33を封入するためのシール材42が設けられている。   On the other glass substrate 32, a plurality of electrodes 39 are formed in stripes on the inner surface so as to be orthogonal to the electrodes 37 on the color filter 55 side. On these electrodes 39, an alignment film 40 is formed. Is formed. The colored layers 34R, 34G, and 34B of the color filter 55 are disposed at positions where the electrodes 39 and 37 intersect on the glass substrates 32, respectively. The electrodes 37 and 39 are made of a transparent conductive material such as ITO (Indium Tin Oxide). Further, polarizing plates (not shown) are provided on the outer surface sides of the glass substrate 32 and the color filter 55, respectively, and the space (cell gap) between the substrates 31, 32 is kept constant between the glass substrates 31, 32. For this purpose, a spacer 41 is provided. Further, a sealing material 42 for enclosing the liquid crystal 33 is provided between the glass substrates 31 and 32.

本実施形態の液晶装置30では、上記カラーフィルタ製造装置を用いて製造されるカラーフィルタ55を適用しているため、安価で品質の良いカラー液晶表示装置を実現することができる。   In the liquid crystal device 30 according to the present embodiment, the color filter 55 manufactured using the color filter manufacturing apparatus is applied, so that a color liquid crystal display device with low cost and high quality can be realized.

[第2実施形態]
次に、本発明の第2実施形態につき、図16を用いて説明する。図16は、第2実施形態のカラーフィルタ製造装置の概略構成図である。なお、第1実施形態と同様の構成となる部分については、その詳細な説明を省略する。
[Second Embodiment]
Next, a second embodiment of the present invention will be described with reference to FIG. FIG. 16 is a schematic configuration diagram of a color filter manufacturing apparatus according to the second embodiment. Note that detailed description of portions having the same configuration as in the first embodiment is omitted.

第2実施形態のカラーフィルタ製造装置は、基板Sの搬送ラインの側方に描画部63を有しており、前工程側から後工程側に搬送される基板Sをメイン搬送ライン460から引き込んで描画を行い、描画後に再度メイン搬送ライン460に戻す構成である。そのため、メイン搬送ライン460から描画部63への分岐点に、基板の搬送方向を90°切り替える搬送装置Pが設けられている。なお、この搬送装置Pと描画部63との間に、表面改質部62が設けられている。本実施形態の構成とすることにより、基板Sをメイン搬送ライン460から引き込む過程でカラーフィルタの描画を行い、基板Sを再度メイン搬送ライン460に戻す過程で描画不良の補修を行うことができる。
そして、第2実施形態のカラーフィルタ製造装置における描画部63にも、第1実施形態と同様の液滴吐出装置を採用することが可能であり、第1実施形態と同様の効果を奏することができる。
The color filter manufacturing apparatus of the second embodiment has a drawing unit 63 on the side of the substrate S conveyance line, and draws the substrate S conveyed from the front process side to the rear process side from the main conveyance line 460. The drawing is performed, and the drawing is returned to the main transport line 460 after the drawing. Therefore, a transfer device P that switches the substrate transfer direction by 90 ° is provided at a branch point from the main transfer line 460 to the drawing unit 63. A surface modification unit 62 is provided between the transport device P and the drawing unit 63. With the configuration of the present embodiment, it is possible to perform color filter drawing in the process of drawing the substrate S from the main transport line 460 and repair the drawing defect in the process of returning the substrate S to the main transport line 460 again.
The drawing unit 63 in the color filter manufacturing apparatus of the second embodiment can employ the same droplet discharge device as that of the first embodiment, and can achieve the same effects as those of the first embodiment. it can.

[電子機器]
次に、上記液晶装置からなる表示手段を備えた電子機器の具体例について説明する。
図17は、液晶テレビジョンの一例を示した斜視図である。図17において、符号500は液晶テレビジョン本体を示し、符号501は上記実施形態の液晶装置を備えた液晶表示部を示している。このように、図17に示す電子機器は、上記実施形態の液晶装置を備えたものであるから、安価で表示品位に優れたカラー液晶表示を有する電子機器を実現することができる。
[Electronics]
Next, a specific example of an electronic apparatus provided with display means including the liquid crystal device will be described.
FIG. 17 is a perspective view showing an example of a liquid crystal television. In FIG. 17, reference numeral 500 denotes a liquid crystal television main body, and reference numeral 501 denotes a liquid crystal display unit including the liquid crystal device of the above embodiment. As described above, since the electronic apparatus shown in FIG. 17 includes the liquid crystal device of the above embodiment, an electronic apparatus having a color liquid crystal display that is inexpensive and excellent in display quality can be realized.

なお、本発明の技術範囲は上記実施の形態に限定されるものではなく、本発明の趣旨を逸脱しない範囲において種々の変更を加えることが可能である。例えば上記実施形態のカラーフィルタ製造装置の細部の具体的な構成等に関しては適宜変更が可能である。また、上記実施形態では本発明の描画装置をカラーフィルタの製造に応用する例を挙げたが、カラーフィルタのみならず、有機EL素子等のデバイス形成技術、あるいは各種配線形成技術に適用することも可能である。   The technical scope of the present invention is not limited to the above embodiment, and various modifications can be made without departing from the spirit of the present invention. For example, the specific configuration of details of the color filter manufacturing apparatus of the above embodiment can be changed as appropriate. Moreover, although the example which applies the drawing apparatus of this invention to manufacture of a color filter was given in the said embodiment, it can apply not only to a color filter but to device formation techniques, such as an organic EL element, or various wiring formation techniques. Is possible.

第1実施形態のカラーフィルタ製造装置の概略構成図である。It is a schematic block diagram of the color filter manufacturing apparatus of 1st Embodiment. 描画部の近傍のみを示す概略構成斜視図である。It is a schematic structure perspective view which shows only the vicinity of a drawing part. 描画部の側面断面図である。It is side surface sectional drawing of a drawing part. ヘッドユニットの底面図である。It is a bottom view of a head unit. 液滴吐出ヘッドの説明図である。It is explanatory drawing of a droplet discharge head. 整備ユニットの平面図である。It is a top view of a maintenance unit. 整備ユニットの正面断面図である。It is front sectional drawing of a maintenance unit. ワイプユニットの側面断面図である。It is side surface sectional drawing of a wipe unit. X方向にワイピングを行う場合の説明図である。It is explanatory drawing in the case of wiping in the X direction. 第1実施形態に係る液滴吐出装置の第1変形例の説明図である。It is explanatory drawing of the 1st modification of the droplet discharge apparatus which concerns on 1st Embodiment. 第1実施形態に係る液滴吐出装置の第2変形例の説明図である。It is explanatory drawing of the 2nd modification of the droplet discharge apparatus which concerns on 1st Embodiment. 第1実施形態に係る液滴吐出装置の第3変形例の説明図である。It is explanatory drawing of the 3rd modification of the droplet discharge apparatus which concerns on 1st Embodiment. 基板におけるカラーフィルタ領域の説明図である。It is explanatory drawing of the color filter area | region in a board | substrate. カラーフィルタの製造方法の説明図である。It is explanatory drawing of the manufacturing method of a color filter. パッシブマトリクス型の液晶装置の側面断面図である。It is side surface sectional drawing of a passive matrix type liquid crystal device. 液晶テレビジョンの一例を示した斜視図である。It is the perspective view which showed an example of the liquid crystal television. 第2実施形態のカラーフィルタ製造装置の概略構成図である。It is a schematic block diagram of the color filter manufacturing apparatus of 2nd Embodiment. 従来技術に係るワイピング方法の説明図である。It is explanatory drawing of the wiping method which concerns on a prior art.

符号の説明Explanation of symbols

L液滴吐出ヘッド長さ 92ワイピングシート 100対向位置 110ヘッド当接領域 130使用可能領域   L droplet discharge head length 92 wiping sheet 100 facing position 110 head contact area 130 usable area

Claims (9)

液滴吐出装置の液滴吐出ヘッドにワイピングシートを当接させつつ、前記液滴吐出ヘッドと前記ワイピングシートとを相対移動させて、前記液滴吐出ヘッドをワイピングすることにより、前記液滴吐出装置の整備を行う方法であって、
前記ワイピングシートにおける前記液滴吐出ヘッドとの対向位置から移動方向とは逆方向に存在する領域であって、前記液滴が付着していない未使用領域を使用して、前記ワイピングを行うことを特徴とする液滴吐出装置の整備方法。
The liquid droplet ejection device is configured to wipe the liquid droplet ejection head by relatively moving the liquid droplet ejection head and the wiping sheet while bringing a wiping sheet into contact with the liquid droplet ejection head of the liquid droplet ejection device. A method of maintaining
The wiping is performed using an unused area in the wiping sheet that is present in a direction opposite to the moving direction from the position facing the liquid droplet ejection head, and in which the liquid droplets are not attached. A method of maintaining a characteristic droplet discharge device.
前記未使用領域は、前記液滴吐出ヘッドに当接した領域から前記液滴吐出ヘッドの長さ以上に離間した領域であることを特徴とする請求項1に記載の液滴吐出装置の整備方法。 2. The method of maintaining a droplet discharge device according to claim 1, wherein the unused region is a region separated from a region in contact with the droplet discharge head by a length longer than the length of the droplet discharge head. . 前記ワイピングは、前記ワイピングシートにおける前記各液滴吐出ヘッドとの当接領域に対して選択的に、前記液滴吐出ヘッドの洗浄液を塗布することによって行うことを特徴とする請求項1または請求項2に記載の液滴吐出装置。 The wiping is performed by selectively applying a cleaning liquid of the droplet discharge head to a contact area of the wiping sheet with each droplet discharge head. 3. A droplet discharge device according to 2. 液滴吐出ヘッドにワイピングシートを当接させつつ、前記液滴吐出ヘッドと前記ワイピングシートとを相対移動させて、前記液滴吐出ヘッドをワイピングする液滴吐出装置であって、
前記ワイピングシートは、移動方向と逆方向に移動可能とされていることを特徴とする液滴吐出装置。
A liquid droplet ejection apparatus for wiping the liquid droplet ejection head by relatively moving the liquid droplet ejection head and the wiping sheet while bringing a wiping sheet into contact with the liquid droplet ejection head,
The liquid droplet ejection apparatus, wherein the wiping sheet is movable in a direction opposite to a moving direction.
液滴吐出ヘッドにワイピングシートを当接させつつ、前記液滴吐出ヘッドと前記ワイピングシートとを相対移動させて、前記液滴吐出ヘッドをワイピングする液滴吐出装置であって、
前記ワイピングシートにおける前記各液滴吐出ヘッドとの当接領域を記憶する記憶部と、
前記ワイピングシートにおける前記液滴吐出ヘッドとの対向位置から前記移動方向とは逆方向に存在する領域であって、前記液滴が付着していない未使用領域を求める演算部と、
前記未使用領域の端部を前記液滴吐出ヘッドに対向配置させるべく、前記ワイピングシートを移動させる駆動手段と、
を有することを特徴とする液滴吐出装置。
A liquid droplet ejection apparatus for wiping the liquid droplet ejection head by relatively moving the liquid droplet ejection head and the wiping sheet while bringing a wiping sheet into contact with the liquid droplet ejection head,
A storage unit for storing a contact area with each droplet discharge head in the wiping sheet;
A calculation unit that obtains an unused area in which the liquid droplets are not adhered to an area that exists in a direction opposite to the moving direction from a position facing the liquid droplet ejection head in the wiping sheet;
Driving means for moving the wiping sheet so that the end of the unused area faces the droplet discharge head;
A droplet discharge apparatus comprising:
請求項4または請求項5に記載の液滴吐出装置を使用して製造したことを特徴とする電気光学装置。 An electro-optical device manufactured using the droplet discharge device according to claim 4. 請求項6に記載の電気光学装置を備えたことを特徴とする電子機器。 An electronic apparatus comprising the electro-optical device according to claim 6. 液滴吐出装置の液滴吐出ヘッドにワイピングシートを当接させつつ、前記液滴吐出ヘッドと前記ワイピングシートとを相対移動させて、前記液滴吐出ヘッドをワイピングすることにより、前記液滴吐出装置の整備を行う方法であって、
前記ワイピングシートにおける液滴が付着した使用領域近傍の前記液滴が付着していない未使用領域を使用して、前記ワイピングを行うことを特徴とする液滴吐出装置の整備方法。
The liquid droplet ejection device is configured to wipe the liquid droplet ejection head by relatively moving the liquid droplet ejection head and the wiping sheet while bringing a wiping sheet into contact with the liquid droplet ejection head of the liquid droplet ejection device. A method of maintaining
A maintenance method of a droplet discharge device, wherein the wiping is performed using an unused region where the droplets are not attached in the vicinity of a use region where the droplets are attached on the wiping sheet.
前記使用領域は、前記液滴吐出ヘッドと対向した前記ワイピングシートにおける幅方向の一部であることを特徴とする請求項8に記載の液滴吐出装置の整備方法。 The method for maintaining a droplet discharge device according to claim 8, wherein the use area is a part of a width direction of the wiping sheet facing the droplet discharge head.
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* Cited by examiner, † Cited by third party
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JP2007117963A (en) * 2005-10-31 2007-05-17 Kubota Matsushitadenko Exterior Works Ltd Coating apparatus for construction plate

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