JP2005219946A5 - - Google Patents

Description

実施例２は熱流束制御板および熱流束遮断板の取り付け構造に関するものである。
図３は実施例２に係る単結晶製造装置の主要部を示す概略図であり、図示しない部分については実施例１の装置と同一である。実施例２では、カップ状部材からなる熱流束遮断板２５は、断熱部材としてのカーボンフェルト２１を介してルツボ支持棒６に固定される。また熱流束制御板１８を構成する円錐状の板状部材はカーボン材からなる段付き棒２２によって熱流束遮断板２５に固定される。

１：加熱炉、３：上部ヒーター、４：下部ヒーター、５：ルツボ、６：ルツボ支持棒、７：熱流束遮断板、８：熱流束制御板、９：加熱炉上部、１０：仕切部、１１：加熱炉下部、１２：断熱部材、１３：仕切板、１８：熱流束制御板、２１：カーボンフェルト、２３：熱流束遮断板、２４：断熱材、２２：段付き棒

Claims (9)

1. 仕切部によって上部と下部とに仕切られた加熱炉と、該加熱炉内に配置された上部が円筒形で下部が円錐形のルツボと、該ルツボの円錐形部分を囲んで配置された熱流束制御板と、該ルツボの円錐形部分の下端に配置された熱流束遮断板とを備え、
   前記熱流束制御板は、前記ルツボの円錐形部分が前記加熱炉の仕切部を通過する際に、該加熱炉の上部から該ルツボの円錐形部分への熱流束を透過させ、かつ該ルツボの円錐形部分から該加熱炉の下部への熱流束を遮断する構造を有し、
   前記熱流束遮断板は、前記ルツボが前記加熱炉の上部に位置する際に、該加熱炉の上部から該加熱炉の下部への熱流束を遮断する構造を有することを特徴とする垂直ブリッジマン法によるフッ化物単結晶の製造装置。
2. 仕切部によって上部と下部とに仕切られた加熱炉と、該加熱炉内に配置された上部が円筒形で下部が円錐形のルツボと、該ルツボの円錐形部分を囲んで配置された、上方に開いた円錐状の板状部材と、該ルツボの下端部に配置された円板状またはカップ状の部材とを有し、
   前記上方に開いた円錐状の板状部材および、前記円板状またはカップ状の部材の外径は、前記ルツボの円筒形部分の外径とほぼ等しいことを特徴とする垂直ブリッジマン法によるフッ化物単結晶の製造装置。
3. 前記上方に開いた円錐状の板状部材を複数備え、該複数の板状部材は円錐の頂角が互いに等しく、かつ鉛直方向に積層して配置されたことを特徴とする請求項２に記載の垂直ブリッジマン法によるフッ化物単結晶の製造装置。
4. 前記上方に開いた円錐状の板状部材および／または、前記円板状またはカップ状の部材と、前記ルツボとの間が、熱絶縁されていることを特徴とする請求項２または請求項３に記載の垂直ブリッジマン法によるフッ化物単結晶の製造装置。
5. 前記上方に開いた円錐状の板状部材および／または、前記円板状またはカップ状の部材と、前記ルツボとの間が、断熱材を介して接続されていることを特徴とする請求項２ないし請求項４のいずれか一項に記載の垂直ブリッジマン法によるフッ化物単結晶の製造装置。
6. 前記断熱材がカーボンフェルトであることを特徴とする請求項５に記載の垂直ブリッジマン法によるフッ化物単結晶の製造装置。
7. 前記上方に開いた円錐状の板状部材および／または、前記円板状またはカップ状の部材が、カーボン材で構成されたことを特徴とする請求項２ないし請求項６のいずれか一項に記載の垂直ブリッジマン法によるフッ化物単結晶の製造装置。
8. 前記上方に開いた円錐状の板状部材の頂角は、前記ルツボの円錐形部分の頂角よりも大きいかまたは等しいことを特徴とする請求項２ないし請求項７のいずれか一項に記載の垂直ブリッジマン法によるフッ化物単結晶の製造装置。
9. 請求項１ないし請求項８のいずれか一項に記載の製造装置を用いることを特徴とする垂直ブリッジマン法によるフッ化物単結晶の製造方法。