JP2005210091A - Iii族窒化物半導体素子およびそれを用いた発光素子 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 基板上にIII族窒化物半導体単結晶のn型層、発光層およびp型層をこの順序で有し、n型層およびp型層に負極および正極がそれぞれ設けられた発光素子において、基板に接してシリコンドープのAlxGa1-xN(0≦x≦1)からなる層が存在することを特徴とするIII族窒化物半導体発光素子。
【選択図】 図5
Description
(1)基板上に複数のIII族窒化物半導体層を有するIII族窒化物半導体素子において、基板と接する第1層がシリコンドープのAlxGa1-xN(0≦x≦1)からなることを特徴とするIII族窒化物半導体素子。
この第二工程の後に、例えばアンドープGaN層等のIII族窒化物半導体単結晶を成長させる第三工程がある。
図5は本実施例で作製した本発明のIII族窒化物半導体発光素子の模式図である。1はサファイアからなる基板であり、半導体膜は基板の面方位方向に成長させた。この基板上にSiを5×1018原子/cm3ドープしたAl0.08Ga0.92Nからなる第1層2を積層した。この層の上に、アンドープのGaN単結晶膜からなる第2層3およびSiを1×1019原子/cm3ドープすることでn型としたGaN単結晶層4を順次積層した。SiドープGaN単結晶層の上にはGa0.98In0.02N層5を介して、発光層6を積層した。Ga0.98In0.02N層5はSiドープGaN層4からの結晶欠陥の伝播を防ぐために、SiドープGaN層4と発光層6の間に挿入してある。
10分経過後、6分かけて600℃から1040℃まで昇温した。1040℃に達した時点でTMAl、TMGaおよびSiH4を反応容器内に供給して、SiがドープされたAlとGaから構成されるIII族金属微粒子の堆積層を基板上に形成する第一工程を開始した。上記原料を供給しながら、1040℃から1120℃まで昇温し、1120℃に到達した時点で昇温を停止し、到達温度である1120℃に保持した。昇温時間および1120℃での保持時間は共に5分とした。第一工程の時間は1040℃から1120℃までの昇温過程および1120℃での保持時間を合わせた10分である。この間のSiH4の供給量を、TMGaとTMAlの供給濃度に対してガス組成での濃度比がモル比で、Si/(Ga+Al)=10-4となるように設定し、基板上に形成される第1層中にSiが所定の濃度でドープされるようにした(この設定は事前に検討してあり、前述のガス組成の比率で第1層中のSiドープ量が5×1018原子/cm3になることをSIMS分析による測定で確認してある)。
この後、温度が1040℃になっていることを確認して、TMGaを反応容器内に供給し、前記第1層の上にアンドープGaN層の成長を開始した。TMGa供給量はGaN層の成長速度が2.0μm/時となるように調整した。アンドープGaN層の成長を1時間行なった後、SiH4のバルブを開けてSiドープGaN層の成長を開始した。SiH4の供給濃度はモル比でSi/Ga=10-4となるように調整した。SiドープGaN層の成長を1時間行なった後、TMGaとSiH4のバルブを閉じて供給を停止し、SiドープGaN層の成長を停止した。なお、アンモニアの供給は継続した。この後、キャリアガスをすべて窒素ガスに変更し、温度を1040℃から755℃まで7分かけて下げた。この間に、GaInN層5の成長で使用するTMIn、TEGaの供給量を調整した。また、SiH4の供給量を、モル比でSi/Ga=10-5となるように調整した。
7分経過後、温度が755℃で安定していることを確認した後、TEGa、TMIn、およびSiH4のバルブを開けて、反応容器内に供給を行ない、Ga0.98In0.02N層の成長を開始した。キャリアガスはすべて窒素ガスを流通させた状態にある。50分経過後、TEGa、TMInおよびSiH4のバルブを閉じて、Ga0.98In0.02N層の成長を停止した。膜厚は25nmであり、Siドープ量は3×1018原子/cm3であった。
次にTEGaのバルブを開けて、アンドープGaN層からなる障壁層を成長する。その後、障壁層の厚みが75nmになった時点で、TMInのバルブを開けて、TMInを供給しGa0.92In0.08N層からなる井戸層を成長する。そして、Ga0.92In0.08N層の膜厚が25nmになった時点で、TMInのバルブを閉める。以上の操作を1組の操作として、この操作を5回おこなった。これにより障壁層+井戸層+障壁層+井戸層+・・・+井戸層の順で障壁層と井戸層をそれぞれ5層積層した。5回の繰り替えしのあと、さらに障壁層のみを成長した。
バルブの切り替えにより、キャリアガスを窒素ガスから水素ガスに変更した。また温度を755℃から1020℃まで4分かけて昇温した。この間にTMGa、TMAlおよびCP2Mgのマスフローコントローラーの調整によりそれぞれの供給量の設定を行なった。ここではガス組成でのモル比がAl/Ga=0.2となるように設定した。Cp2Mgについてはモル比がMg/Ga=0.25となるように設定した。温度が1020℃で一定になり安定した時点でTMGa、TMAlおよびCp2Mgのバルブを開き、MgをドープさせたAlGaN層の成長を開始した。この状態で1分間保持した後、TMGa、TMAlおよびCp2Mgのバルブを閉じて成長を停止した。膜厚は10nmであった。また、Mgドープ量は3×1019原子/cm3であった。
次に、TMGaとCp2Mgのマスフローコントローラーの調整によりそれぞれの供給量の設定をおこなった。ここではガス組成においてMg/Ga=0.5となるように調整した。調整後に安定化するまで2分保持した。その後TMGaとCp2Mgのバルブを開けて、厚みが0.1μmのMgを6×1019原子/cm3ドープしたGaN層を成長させた。
第1層の形成における第一工程においてSiH4の供給を行なわなかったことを除いて、上記実施例と全く同様にして発光素子を作製した。
2 第1層
3 第2層(アンドープGaN層)
4 SiドープGaN層
5 GaInN層
6 発光層
7 MgドープAlGaN層
8 MgドープGaN層
9 正極
10 負極
21、22、23 各柱状結晶
Claims (10)
- 基板上に複数のIII族窒化物半導体層を有するIII族窒化物半導体素子において、基板と接する第1層がシリコンドープのAlxGa1-xN(0≦x≦1)からなることを特徴とするIII族窒化物半導体素子。
- 第1層のシリコン濃度が1×1016〜1×1019原子/cm3であることを特徴とする請求項1に記載のIII族窒化物半導体素子。
- 基板上に複数のIII族窒化物半導体層を有するIII族窒化物半導体素子において、基板と接する第1層がAlxGa1-xN(0≦x≦1)からなり、該第1層とその上の第2層との界面の凹凸の最大高低差が10nm以上該第1層の膜厚の99%以下であることを特徴とするIII族窒化物半導体素子。
- 第1層は柱状結晶が集合した構造であることを特徴とする請求項1〜3のいずれか一項に記載のIII族窒化物半導体素子。
- 柱状結晶の幅が10〜100nmであることを特徴とする請求項4に記載のIII族窒化物半導体素子。
- 第1層の厚みが20nm〜200nmであることを特徴とする請求項1〜5のいずれか一項に記載のIII族窒化物半導体素子。
- 基板上にIII族窒化物半導体単結晶のn型層、発光層およびp型層をこの順序で有し、n型層およびp型層に負極および正極がそれぞれ設けられた発光素子において、基板に接してシリコンドープのAlxGa1-xN(0≦x≦1)からなる層が存在することを特徴とするIII族窒化物半導体発光素子。
- 該シリコンドープのAlxGa1-xN(0≦x≦1)からなる層は柱状結晶が集合した構造であることを特徴とする請求項7に記載のIII族窒化物半導体発光素子。
- 基板表面にシリコンを含有するIII族金属の微粒子を含む層を堆積させる第一工程、窒素源を含む雰囲気中で該微粒子を窒化する第二工程および窒化された該微粒子上にIII族窒化物半導体単結晶を成長させる第三工程を含むIII族窒化物半導体素子の製造方法。
- 第一工程と第二工程との間に水素ガスおよび/または窒素ガス雰囲気中で加熱するアニール工程をさらに有する請求項9に記載のIII族窒化物半導体素子の製造方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2004368945A JP2005210091A (ja) | 2003-12-22 | 2004-12-21 | Iii族窒化物半導体素子およびそれを用いた発光素子 |
Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2003425240 | 2003-12-22 | ||
JP2004368945A JP2005210091A (ja) | 2003-12-22 | 2004-12-21 | Iii族窒化物半導体素子およびそれを用いた発光素子 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2005210091A true JP2005210091A (ja) | 2005-08-04 |
Family
ID=34913934
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2004368945A Pending JP2005210091A (ja) | 2003-12-22 | 2004-12-21 | Iii族窒化物半導体素子およびそれを用いた発光素子 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2005210091A (ja) |
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