JP2005209966A - 固体撮像装置及びその製造方法 - Google Patents
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Abstract
【課題】 固体撮像素子の表面を保護し、信頼性、耐環境性の高い固体撮像装置及び固体撮像装置の製造方法を提供する。
【解決手段】 シリコンウェハ10上に形成された複数の固体撮像素子3,3のそれぞれの周囲に熱硬化性樹脂からなる凸部6,6を周設し、凸部6,6が周設されたシリコンウェハ10に複数の固体撮像素子3,3に対向する大きさの蓋部4を搭載して真空チャンバに投入する。また、真空チャンバにおいて所定の圧力まで減圧した状態で凸部6,6が硬化する程度の温度にシリコンウェハ10を加熱し、凸部6,6を介して蓋部4とシリコンウェハ10とを接着させる。
【選択図】 図2
【解決手段】 シリコンウェハ10上に形成された複数の固体撮像素子3,3のそれぞれの周囲に熱硬化性樹脂からなる凸部6,6を周設し、凸部6,6が周設されたシリコンウェハ10に複数の固体撮像素子3,3に対向する大きさの蓋部4を搭載して真空チャンバに投入する。また、真空チャンバにおいて所定の圧力まで減圧した状態で凸部6,6が硬化する程度の温度にシリコンウェハ10を加熱し、凸部6,6を介して蓋部4とシリコンウェハ10とを接着させる。
【選択図】 図2
Description
本発明は、例えば携帯電話機に搭載されて撮像を行なうときに用いる固体撮像装置及びその製造方法に関する。
CCDなどの固体撮像素子を用いたエリアセンサやリニアセンサは、セラミックやプラスチックを用いた中空パッケージ内に固体撮像素子を密封状態で収納したもので、外部から湿気やゴミなどが侵入しない構造となっている。このような中空パッケージを用いたエリアセンサやリニアセンサなどの固体撮像装置としては、例えば特許文献1、特許文献2及び特許文献3により開示されているものがある。
図3は従来の固体撮像装置の製造方法を示す概略断面図である。従来の固体撮像装置31は、図3(a)に示すように、半導体基板であるシリコンウェハ30の表面に、所定のチップ分離領域37,37を適宜設けて複数の固体撮像素子33を形成し、それぞれの固体撮像素子33の周囲に所定数のアルミパッド(ボンディングパッド)35,35…を形成する。このようにシリコンウェハ30上に形成された複数の固体撮像素子33を、チップ分離領域37,37においてダイシングソー等により分離し、図3(b)に示すようなチップ32に個片化する。個片化したチップ32は、図3(c)に示すようなセラミック又はプラスチック等からなるパッケージ基板38に搭載され、パッケージ基板38に設けられている所定数のパッケージ端子38a,38aと、それぞれに対応するアルミパッド35,35とがボンディングワイヤ39,39を介して電気的に接続される。更に、パッケージ基板38に搭載されたチップ32及びボンディングワイヤ39,39を覆うように透光性を有するキャップガラス34を装着する。
このように製造された固体撮像装置31は、キャップガラス34を介して外部から光を取り込み、この光を固体撮像素子33において受光する。固体撮像素子33は、受光した光を所定の電気信号に変換し、ボンディングワイヤ39を介して電気信号を外部へ送出する。また、図3(c)に示すように、固体撮像素子33とキャップガラス34との間の空間を密封状態にすることにより、固体撮像素子33に対して外部から湿気及びゴミ等が侵入しない構造を構成している。
しかし、上述した固体撮像装置31では、シリコンウェハ30に固体撮像素子33を形成してからキャップガラス34を装着するまでの間に、シリコンウェハ30を複数のチップ32にダイシングする工程、チップ32をパッケージ基板38に搭載するマウンティング工程、チップ32に形成されたアルミパッド35,35とパッケージ基板38に形成されたパッケージ端子38a,38aとをボンディングワイヤ39,39で接続するボンディング工程、キャップガラス34をパッケージ基板38に装着する工程等があり、これらの各工程において固体撮像素子33はむき出しの状態となっているため表面に損傷及びダストの付着が起こりやすく、固体撮像素子33における画素欠陥となり歩留まりの低下の原因となっていた。
そこで、シリコンウェハをチップに分離するダイシング処理を行なう前にシリコンウェハ上の固体撮像素子にキャップガラスを装着する方法が例えば特許文献1、特許文献2及び特許文献3等で開示されている。図4は従来の固体撮像装置の製造方法を示す概略断面図である。特許文献1で開示されている従来の固体撮像装置41の製造方法では、図4(a)に示すように、所定のチップ分離領域47,47を設けて複数の固体撮像素子43及び所定数のアルミパッド45,45…が形成されたシリコンウェハ40において、図4(b)に示すように、それぞれの固体撮像素子43にキャップガラス44を貼り付けた後、チップ分離領域47,47において分離し、図4(c)に示すようなチップ42に個片化する。
また個片化したチップ42は、図4(d)に示すようなパッケージ基板48に搭載され、パッケージ基板48に設けられている所定数のパッケージ端子48a,48aと、それぞれに対応するアルミパッド45,45とがボンディングワイヤ49,49を介して電気的に接続される。
一方、特許文献2で開示されている従来の固体撮像装置の製造方法では、図5(b)に示すように、シリコンウェハ50に形成された固体撮像素子53の周囲を囲むように、アルミパッド55,55の内側に凸部56を周設し、この凸部56にキャップガラス54を装着させている。このように凸部56を介してキャップガラス54が装着されたシリコンウェハ50をチップ分離領域57,57において分離し、図5(c)に示すようなチップ52に個片化する。
このような構成により、固体撮像素子53の直上に空間53aを設けることができ、この空間53aを凸部56により密封状態にすることにより、固体撮像装置51の製造工程において固体撮像素子53に対して外部から湿気及びゴミ等の侵入を防止することができる。また個片化したチップ52は、図5(d)に示すようなパッケージ基板58に搭載され、パッケージ基板58に設けられている所定数のパッケージ端子58a,58aと、それぞれに対応するアルミパッド55,55とがボンディングワイヤ59,59を介して電気的に接続される。
図4及び図5に示す製造方法によれば、シリコンウェハ40,50を個々のチップ42,52に個片化する工程以降において、固体撮像素子43,53の表面に損傷及びダストの付着が起こりにくくなる。しかし、固体撮像装置41では、固体撮像素子43とキャップガラス44とが直に接するため、固体撮像素子43のマイクロレンズが損傷しやすくなるという欠点がある。また、固体撮像装置51では、複数の固体撮像素子33のそれぞれにキャップガラス54を貼り付ける必要があり、生産性が悪い。
そこで、特許文献3で開示されている製造方法によれば、図6に示すように、シリコンウェハ60に形成された固体撮像素子63の形成表面よりも所定領域だけ大きい領域を除いたシリコンウェハ60の表面に凸部66を形成する。具体的には、シリコンウェハ60に形成されたアルミパッド65,65及びそれぞれの固体撮像素子63を隔てるチップ分離領域67,67上に凸部66を形成する。また、この凸部66に、図6(b)に示すように複数の固体撮像素子63を覆うことが可能な大きさのキャップガラス64を装着させる。更に、このようなキャップガラス64が装着されたシリコンウェハ60をチップ分離領域67,67において分離し、図6(c)に示すようなチップ62に個片化する。また、チップ62における凸部66の側面をエッチングして図6(d)に示すようにアルミパッド65,65をむき出しにする。
このような構成により、固体撮像素子63の直上に空間63aを設けることができ、この空間63aを凸部66により密封状態にすることにより、固体撮像装置61の製造工程において固体撮像素子63に対して外部から湿気及びゴミ等の侵入を防止することができる。また個片化したチップ62は、図6(e)に示すようなパッケージ基板68に搭載され、パッケージ基板68に設けられている所定数のパッケージ端子68a,68aと、それぞれに対応するアルミパッド65,65とがボンディングワイヤ69,69を介して電気的に接続される。このように、複数の固体撮像素子63,63に対して1枚のキャップガラス64を装着することにより、キャップガラス64の装着工程を短縮することができる。
特開平3−151666号公報
特開2001−185657号公報
特開2001−257334号公報
上述したような図5及び図6に示した各方法において、凸部56,66は、シリコンウェハ50,60及びキャップガラス54,64との接着力が強く、加工し易いことから合成樹脂材料を用いる場合が多い。しかし、キャップガラス54,64は、シリコンウェハ50,60を加熱して熱硬化により凸部56,66に接着されるため、凸部56,66を構成する合成樹脂材料に含まれる水分及び有機溶剤が揮発して接着不良を生じる場合がある。特に、図6に示した方法においては、ダイシング処理時に、シリコンウェハ60及び凸部66、凸部66及びキャップガラス64のそれぞれの間の接着力が不足するため、キャップガラス64の凸部66からの位置ずれ及び剥離を生じてしまうおそれがあるという問題がある。
本発明は斯かる問題に鑑みてなされたものであり、半導体基板上に形成された複数の固体撮像素子のそれぞれに対向して設けられる蓋部を、固体撮像素子のそれぞれの周囲に周設された凸部を介して確実に接着させることにより固体撮像素子の表面への外部からの湿気及びダスト等の侵入を防止し、固体撮像素子の表面を確実に保護することができ、信頼性、耐環境性の高い固体撮像装置及びその製造方法を提供することを目的とする。
本発明に係る固体撮像装置の製造方法は、複数の固体撮像素子を半導体基板上に形成する工程と、前記半導体基板上の固体撮像素子のそれぞれの周囲に熱硬化性樹脂からなる凸部を周設する工程と、減圧状態で前記半導体基板を加熱し、前記固体撮像素子に対向する蓋部を前記凸部に接着させる工程と、前記蓋部が接着された半導体基板上の固体撮像素子を個々の固体撮像素子に分割する工程とを備えることを特徴とする。
本発明による場合は、複数の固体撮像素子を形成した半導体基板上の固体撮像素子のそれぞれの周囲に熱硬化性樹脂からなる凸部を周設し、減圧状態で加熱しながらそれぞれの固体撮像素子に対向する蓋部を前記凸部に接着させることにより、凸部を介した蓋部と半導体基板との接着力を向上させることが可能である。
本発明に係る固体撮像装置の製造方法は、前記蓋部が、前記半導体基板上の複数の固体撮像素子と対向する大きさを有していることを特徴とする。
本発明による場合は、半導体基板上に形成された固体撮像素子に対向する蓋部が、複数の固体撮像素子に対向できる大きさを有していることにより、複数の固体撮像素子に対向させる蓋部のそれぞれの位置決めを高精度に行なう必要がない。
本発明に係る固体撮像装置の製造方法は、前記凸部を介して蓋部が接着された半導体基板上の固体撮像素子を、前記蓋部と共に個々の固体撮像素子に分割することを特徴とする。
本発明による場合は、凸部を介して蓋部が接着された半導体基板上の固体撮像素子を、凸部及び蓋部と共に個々の固体撮像素子に分割することにより、半導体基板から個々の固体撮像素子に個片化する処理を簡略化することが可能である。
本発明に係る固体撮像装置の製造方法は、前記半導体基板を加熱する温度が、前記凸部が硬化する温度であることを特徴とする。
本発明による場合は、半導体基板上に形成された固体撮像素子のそれぞれの周囲に周設された凸部に蓋部を接着させる際に、前記凸部が硬化する温度に前記半導体基板を加熱することにより、蓋部と半導体基板とを効率よく接着させることが可能である。
本発明に係る固体撮像装置の製造方法は、前記半導体基板を加熱する温度が、30℃から100℃までの範囲の温度であることを特徴とする。
本発明による場合は、半導体基板上に形成された固体撮像素子のそれぞれの周囲に周設された凸部に蓋部を接着させる際に、30℃から100℃までの範囲の温度に前記半導体基板を加熱することにより、蓋部と半導体基板とを効率よく接着させることが可能となる。
本発明に係る固体撮像装置の製造方法は、前記減圧状態における圧力が、40hpaから150hpaまでの範囲の圧力であることを特徴とする。
本発明による場合は、半導体基板上に形成された固体撮像素子のそれぞれの周囲に周設された凸部に蓋部を接着させる際に、40hpaから150hpaまでの範囲の圧力に減圧することにより、蓋部と半導体基板との接着時において、固体撮像素子と蓋部との間の領域へのダストの侵入を軽減することが可能である。
本発明に係る固体撮像装置は、半導体基板上に形成された固体撮像素子と、該固体撮像素子の周囲に周設された熱硬化性樹脂からなる凸部と、該凸部を介して前記固体撮像素子に対向して配置される蓋部とを備えることを特徴とする。
本発明による場合は、半導体基板上に形成された固体撮像素子と、該固体撮像素子に対向して配置される蓋部とを、前記固体撮像素子の周囲に周設された熱硬化性樹脂からなる凸部を介して接着させることにより、固体撮像素子と蓋部との間の領域へのダストの侵入を防止することが可能である。
本発明によれば、半導体基板上に形成された複数の固体撮像素子のそれぞれに対向する蓋部を、固体撮像素子のそれぞれの周囲に周設された熱硬化性樹脂からなる凸部を介して接着させることにより、固体撮像素子と蓋部との間に形成される空間を密封することができ、固体撮像素子の表面への外部からの湿気及びダスト等の侵入を防止することができるため、固体撮像素子の表面を確実に保護することができ、信頼性、耐環境性の高い固体撮像装置を製造することができる。
また、固体撮像素子と蓋部との間に空間を設けることにより、固体撮像素子の表面に物理的ストレスの負荷を防止することができる。更に、半導体基板に形成された複数の固体撮像素子を個片化する前に蓋部が形成されるため、個片化工程以降の工程におけるダストの付着、引っかき傷等の発生を防止でき、また半導体基板状態での保管、搬送を容易、安全に行うことができる。
本発明によれば、半導体基板上に形成された固体撮像素子に対応する蓋部が複数の固体撮像素子に対向できる大きさを有していることにより、蓋部を固体撮像素子のそれぞれに対する精度のよい位置合わせを行なう必要がなく、製造工程における時間短縮を図ることができる。
本発明によれば、凸部を介して蓋部が接着された半導体基板上の固体撮像素子を、凸部及び蓋部と共に個々の固体撮像素子に分割することにより、半導体基板を分離して個々の固体撮像素子を形成するダイシング処理における処理負担を軽減することができ、生産性を向上させることができる。
本発明によれば、半導体基板上に形成された固体撮像素子のそれぞれの周囲に周設された凸部に蓋部を接着させる場合に、前記半導体基板を前記凸部が硬化する温度に加熱することにより、不純物を除去することができると共に、凸部の硬化に伴って凸部を介して半導体基板と蓋部とを強固に接着させることができ、蓋部を接着された半導体基板を個々の固体撮像素子に分離する場合でも蓋部の半導体基板からの位置ずれ及び剥離を防止することができる。また、凸部が硬化する温度としては、30℃から100℃までの範囲の温度に半導体基板を加熱してもよい。
本発明によれば、半導体基板上に形成された固体撮像素子のそれぞれの周囲に周設された凸部に蓋部を接着させる場合に、前記半導体基板に40hpaから150hpaまでの範囲の圧力に減圧することにより、凸部に蓋部を接着させる工程において、固体撮像素子への外部からの湿気及びダスト等の侵入をより防止することができる。
以下に、本発明をその実施の形態を示す図面に基づいて詳述する。図1は本発明に係る固体撮像装置の概略構成を示す模式図であり、(a)は固体撮像装置を一面(上面)からみた平面図、(b)は(a)の矢符AAにおける断面図である。図中1は固体撮像装置であり、シリコンウェハ10(図2参照)に平面視矩形状に形成された固体撮像素子3と、固体撮像素子3の表面を外部の湿気、ダスト(ゴミ、切りくず)などから保護するために固体撮像素子3に対向して配置された透光性を有するキャップガラス(蓋部)4と、キャップガラス4及び固体撮像素子3を接着するための凸部6とを主要構成としている。固体撮像装置1はキャップガラス4を通して外部からの光を内部に取り込み、固体撮像素子3の表面に配置された受光素子により受光(光検出)をする。キャップガラス4は、ガラスなどの透光性材料からなり、凸部6を介して固体撮像素子3に対向して配置されることにより固体撮像素子3の表面を外部から保護する。
固体撮像素子3とキャップガラス4とを凸部6により接着する場合に、固体撮像素子3の表面とキャップガラス4との間に空間3aを構成することが望ましく、このような構成により、キャップガラス4を介して取り込んだ外部からの光はそのまま固体撮像素子3へ入射されることになり、光路途中での光損失を生じることがない。また、凸部6(キャップガラス4)と固体撮像素子3の外周端(チップ2の端)との間には固体撮像素子3と外部回路(不図示)とを接続するための端子としてボンディングパッド5,5が所定数形成されている。
凸部6においては、相互に対向して配置される固体撮像素子3及びキャップガラス4の間に形成される空間3aの外周部を接着剤により完全に密封することが望ましい。固体撮像素子3とキャップガラス4との間に形成される空間3aの外周部を完全に密封することにより、固体撮像素子3の表面への湿気の進入、ダストの進入付着、ひっかき傷などによる固体撮像素子3の表面における不良の発生を防ぐことができ、製造歩留まりの良い、信頼性の高い固体撮像装置1を実現することができる。
図1(c)はパッケージ基板に搭載した固体撮像装置1の概略構成を示す断面図であり、固体撮像素子3に対向して配置されるキャップガラス4が凸部6を介して取り付けられてなるチップ2は、キャップガラス4を上面としてパッケージ基板8に搭載される。また、パッケージ基板8には、チップ2に形成されるボンディングパッド5,5のそれぞれに対応するパッケージ端子8a,8aが形成されており、チップ2のボンディングパッド5,5は、対応するパッケージ端子8a,8aにボンディングワイヤ9,9を介して電気的に接続される。
以下に、上述した構造の固体撮像装置1の製造方法について詳述する。図2は本発明に係る固体撮像装置1の製造方法を示す概略断面図である。本発明に係る固体撮像装置1を製造する場合、図2(b)に示すように、シリコンウェハ10に所定の領域からなるチップ分離領域7を隔てて複数の固体撮像素子3及び固体撮像素子3のそれぞれの周囲に所定数のボンディングパッド5,5…を形成する。次に図2(a)及び(c)に示すように、それぞれの固体撮像素子3の周囲であって、ボンディングパッド5,5…の形成位置よりも内側に、熱硬化性樹脂からなる凸部6を周設する。
凸部6は、シリコンウェハ10及びキャップガラス4との密着性が高いアクリル、エポキシ、ポリイミド系の熱硬化性樹脂により構成することが望ましい。また、凸部6は、熱硬化性樹脂を塗布し、公知のフォトリソグラフ及びエッチング技術によって形成してもよく、樹脂テープを貼り付け、フォトリソグラフ及びエッチング技術によって形成してもよく、熱硬化性樹脂からなるワニスを印刷して形成してもよい。
次に、凸部6が形成されたシリコンウェハ10に、厚さが0.5mm程度で複数の固体撮像素子3,3に対向できる大きさを有するキャップガラス4を、複数の固体撮像素子3の周囲に周設された複数の凸部6に亘って搭載して真空チャンバに投入する。このようなシリコンウェハ10が投入された真空チャンバにおいて、圧力を下げた状態で、凸部6が硬化を始める温度、例えば、30℃から100℃までの範囲の所定の温度に加熱し、凸部6を構成する樹脂に含まれる有機溶剤等の不純物を揮発させる。なお、凸部6にアクリル系の樹脂を用いた場合には100℃以下に加熱することが望ましいが、30℃から110℃までの範囲の温度でもよい。また、真空チャンバによりシリコンウェハ10に負荷する圧力は、100hpa以下が望ましいが、40hpaから150hpaまでの範囲の圧力でもよい。
これにより、図2(d)に示すように、シリコンウェハ10上の複数の固体撮像素子3,3に対して1つのキャップガラス4を凸部6を介して接着することができる。このように凸部6を介してキャップガラス4が装着されたシリコンウェハ10を、チップ分離領域7において個々のチップ2,2に分離し、エッチング処理等によりキャップガラス4の不要な部分、例えばボンディングパッド5,5…の直上箇所を削ることにより、図1(b)で示す形状のチップ2を製造する。なお、シリコンウェハ10を個々のチップ2,2に分離する処理としては、公知のダイシング技術によって分離することもでき、また公知のフォトリソグラフ及びエッチング技術によって分離することもできる。
上述した構成において、固体撮像素子3とキャップガラス4との間の空間3aは、凸部6により密閉されており、またシリコンウェハ10及びキャップガラス4の間を凸部6を介して強固に接着することができるため、チップ分離領域7,7において各チップ2,2に分離するダイシング処理において、キャップガラス4のシリコンウェハ10からの位置ずれ及び剥離を防止することができる。また、固体撮像素子3をキャップガラス4で保護した状態で、ダイシング処理以降の各処理を行なうことができるため、ダイシングの際に生じる切りくずの侵入を防止し、また、チップ2を個片化した後の工程において固体撮像素子3に対するダストの付着、傷の発生を防止でき、チップ2の実装工程、特に個片化以降の工程での不良率を低減することができる。
1 固体撮像装置
3 固体撮像素子
4 キャップガラス(蓋部)
5 ボンディングパッド
6 凸部
10 シリコンウェハ
3 固体撮像素子
4 キャップガラス(蓋部)
5 ボンディングパッド
6 凸部
10 シリコンウェハ
Claims (7)
- 複数の固体撮像素子を半導体基板上に形成する工程と、
前記半導体基板上の固体撮像素子のそれぞれの周囲に熱硬化性樹脂からなる凸部を周設する工程と、
減圧状態で前記半導体基板を加熱し、前記固体撮像素子に対向する蓋部を前記凸部に接着させる工程と、
前記蓋部が接着された半導体基板上の固体撮像素子を個々の固体撮像素子に分割する工程と
を備えることを特徴とする固体撮像装置の製造方法。 - 前記蓋部は、前記半導体基板上の複数の固体撮像素子と対向する大きさを有していることを特徴とする請求項1に記載の固体撮像装置の製造方法。
- 前記凸部を介して蓋部が接着された半導体基板上の固体撮像素子を、前記蓋部と共に個々の固体撮像素子に分割することを特徴とする請求項1又は2に記載の固体撮像装置の製造方法。
- 前記半導体基板を加熱する温度は、前記凸部が硬化する温度であることを特徴とする請求項1乃至3のいずれかひとつに記載の固体撮像装置の製造方法。
- 前記半導体基板を加熱する温度は、30℃から100℃までの範囲の温度であることを特徴とする請求項1乃至4のいずれかひとつに記載の固体撮像装置の製造方法。
- 前記減圧状態における圧力は、40hpaから150hpaまでの範囲の圧力であることを特徴とする請求項1乃至5のいずれかひとつに記載の固体撮像装置の製造方法。
- 半導体基板上に形成された固体撮像素子と、該固体撮像素子の周囲に周設された熱硬化性樹脂からなる凸部と、該凸部を介して前記固体撮像素子に対向して配置される蓋部とを備えることを特徴とする固体撮像装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2004016295A JP2005209966A (ja) | 2004-01-23 | 2004-01-23 | 固体撮像装置及びその製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
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Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2016203812A1 (ja) * | 2015-06-19 | 2016-12-22 | 株式会社フジクラ | 光学装置、及び光学装置の製造方法 |
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2004
- 2004-01-23 JP JP2004016295A patent/JP2005209966A/ja active Pending
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