JP2005208181A - 基板組立装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】上基板テーブル2に基板4を吸着する手段として少なくとも静電吸着手段5と、基板重量を保持する力より小さな保持力の粘着手段6とを設け、静電吸着手段5の印加電圧を制御するだけで上基板テーブル2に対する基板4の保持及び解放を行う。また、上基板テーブル2に設けた静電吸着手段5と粘着手段6とを千鳥状に配置し、基板を上基板テーブル2から解放するときには、上基板テーブルの周辺部に配置された静電吸着手段5に印加した電圧の低下よりも中央部に配置された静電吸着手段に印加した電圧の低下を遅らせるように制御する。
【選択図】図1
Description
Claims (6)
- 減圧雰囲気にするためのチャンバと、前記チャンバ内に一方の基板を保持する上基板テーブルと、前記上基板テーブルに保持された基板に対向して間隔をあけて他方の基板を保持する下基板テーブルとを設け、前記下基板テーブルを駆動して前記一方の基板と他方の基板の位置合わせを行い、前記上基板テーブルまたは下基板テーブルの一方を上下に駆動して基板間の間隔を狭め、前記基板のどちらか一方に設けた接着剤により減圧雰囲気中で貼り合わせを行う基板組立装置において、
前記上基板テーブルに基板を吸着する手段として少なくとも静電吸着手段と、基板重量を保持する力よりも小さな保持力の粘着手段とを備えたことを特徴とする基板組立装置。 - 請求項1記載の基板組立装置において、上基板テーブルに備えた静電吸着手段の印加電圧を制御する制御手段を備え、前記印加電圧を制御することで前記上基板テーブルに対して一方の基板の保持及び解放を行うことを特徴とする基板組立装置。
- 請求項1記載の基板組立装置において、上基板テーブルに備えた静電吸着手段を千鳥状に配置し、静電吸着手段に印加した電圧を低下せしめるときには、上基板テーブルの周辺部に配置された静電吸着手段に印加する電圧の低下よりも中央部に配置された静電吸着手段に印加する電圧の低下を遅らせるように制御する制御手段を設けたことを特徴とする基板組立装置。
- 請求項3記載の基板組立装置において、静電吸着手段に電圧を印加するときには上基板テーブルの中央部に配置された静電吸着手段への印加よりも周辺部に配置された静電吸着手段への印加を遅らせるように制御する制御手段を設けたことを特徴とする基板組立装置。
- 請求項3及び請求項4記載の基板組立装置において、静電吸着手段へ印加する電圧の時間遅れを制御する制御手段を静電吸着手段と抵抗素子を組み合わせた電気回路で構成としたことを特徴とする基板組立装置。
- 請求項5記載の基板組立装置において、
前記上基板テーブルに前記粘着保持手段、静電吸着手段に加えて真空吸着する吸引吸着手段を設け、大気中で吸引吸着手段を動作させて、吸引吸着保持すると共に、粘着保持手段も作用させ、その後、静電吸着手段を動作させて基板を保持することを特徴とする基板組立装置。
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