JP2005207864A - エンコーダ検査装置 - Google Patents

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Abstract

【課題】 小型かつ安価に実願可能であり、かつ検査対象のエンコーダのZ相信号を使用しなくてもA相信号及びB相信号(インクリメンタル信号)の欠相や誤カウントの検査が可能なエンコーダ検査装置を提供することを目的とする。
【解決手段】 エンコーダ検査装置1を、検査対象であるエンコーダ51の出力する絶対位置信号(アプソデータ)と、エンコーダ51のインクリメンタル信号のカウント値とを比較する比較部7を備えて構成する。
【選択図】 図1

Description

本発明は、回転量及び回転角を測定する光学式エンコーダやロータリーエンコーダ等を検査するエンコーダ検査装置に関し、特にACサーボモータの制御に使用され、又はACサーボモータに内蔵されるエンコーダ素子の検査装置に関する。
従来、ACサーボモータは、CPUやDSPの著しい進歩により、信頼性、安定性及び精度が進化し、製造ラインに急激に取り入れられている。ACロボット等の位置検出に関する不具合の一つとして、使用されるACサーボモータのロータリーエンコーダ(例えば、光学式ロータリーエンコーダなど、以下「エンコーダ」という)の故障がある。
ここで、エンコーダには、主に、入力回転軸の単位角変位ごとにパルスを出力するインクリメンタル形と、スケール上の符号パターンを読み取ってその絶対位置を検出するアブソリュート形とがあるが、アブソリュート形のエンコーダにおいては必要とする分解能に応じた数の符号パターンを設ける必要があるため、エンコーダ自体が大きく高価になる。
このため、近年では内部にインクリメンタル信号をカウントするカウンタを設け、絶対位置信号を出力することができるインクリメンタル形エンコーダも考案されている(例えば、下記特許文献1)。
ところで、インクリメンタル信号を出力するエンコーダの不具合の一つに、インクリメンタル信号出力用の増幅回路や波形成形回路の不具合による欠相や、ノイズ混入による誤カウントがある。
このため、従来では、インクリメンタル信号であるA相信号、及びA相信号と90°位相がずれたB相信号の2相パルス信号、並びにZ相信号(モータ1回転毎に1個のパルスを出力するZ相信号)を使用して、モータ1回転あたりのインクリメンタル信号のパルス数をカウントし、そのパルス数と規定値とを比較してA相信号及びB相信号の欠相やノイズによる誤カウントの検査が行われている。
また、インクリメンタル信号のパルスのON及びOFFの期間長であるデューティを測定及び検査して、エンコーダ内部の回転円板の偏心の検査が行われている。
特開平4−305118号公報
しかし、上記ACサーボモータの位置検出に関しては、現場(ACロボット等を使用する製造ライン等)でその不具合を診断する手段が提供されていないのが現状である。又はモータ製造メーカから提供されるモータ検査装置を使用すれば上記不具合の検査が可能であるが、高価かつ大型であり現場に導入することが困難であるのが現状である。
したがって現在、ACロボット等の位置検出の不具合の診断に際しては、位置検出に関する全ての要因(例えば、ACサーボモータの機内配線)など、一つ一つ交換して良否判断を行うことにより故障箇所を特定している。このために、ACロボットの故障復旧に長時間を要している。
また、上述のA相信号、B相信号及びZ相信号を使用する検査手法(Z相検査法)では、モータ1回転毎にしかインクリメンタル信号のカウント値の比較ができないため、検査結果を高速に得ることができない。さらに、検査対象のモータが1回転することなく反転を繰り返すように設けられている場合には、Z相検査法を使用することができない。また、現在入手可能なエンコーダの中には、Z相信号を外部に出力するためのコネクタが設けられていないものもあり、このような場合にも、Z相検査法を使用することができない。
また、前記デューティの測定では、検査対象のモータの回転速度を変化するとインクリメンタル信号のパルス幅も変化してしまうため、デューティの正確な確認ができない。
上記問題点を鑑みて、本発明は、ACサーボモータ等の位置検出に使用されるエンコーダの、小型、安価な検査装置を提供することを目的とする。
上記目的を達成するために、本発明に係るエンコーダ検査装置は、上述の絶対位置信号を出力可能なインクリメンタル形エンコーダの検査を行う際に、インクリメンタル信号であるパルス信号のパルス数をカウントしてエンコーダの入力回転軸の絶対回転位置を求め、このカウント値とエンコーダ側から出力される絶対位置信号とを比較することとした。
すなわち、本発明の第1形態に係るエンコーダ検査装置は、入力回転軸の所定の回転角度毎にパルス信号を出力するパルス信号出力部と、入力回転軸の絶対回転位置を示す絶対位置信号を出力する絶対位置信号出力部とを備えるエンコーダを、検査するためのエンコーダ検査装置において、パルス信号出力部に接続されてパルス信号が入力されるパルス信号入力部と、絶対位置信号出力部に接続されて絶対位置信号が入力される絶対位置信号入力部と、入力されたパルス信号をカウントするカウンタ部と、入力された絶対位置信号と、カウンタ部によりカウントされたパルス信号の数と、を比較する比較部とを備える。
また、本発明に係るエンコーダ検査装置では、インクリメンタル信号のデューティを検査する際に、入力回転軸の回転速度の変動量を検出して、この変動量が所定量以下のときにパルス信号のデューティを測定することとする。
すなわち、本発明の第2形態に係るエンコーダ検査装置は、入力回転軸の所定の回転角度毎に交番するパルス信号を出力するパルス信号出力部を備えるエンコーダを、検査するためのエンコーダ検査装置において、パルス信号出力部に接続されてパルス信号が入力されるパルス信号入力部と、パルス信号に基づいて入力回転軸の回転速度の変動量を検出する回転速度変動量検出部と、変動量が所定量以下のとき、パルス信号のデューティを測定するデューティ測定部とを備える。
絶対位置信号を利用してインクリメンタル信号の欠相及び誤カウントの検査を行うことにより、エンコーダの回転速度に関係なく絶対位置信号の出力タイミングで検査を行うことが可能となる。したがって、絶対位置信号の出力頻度を高めることにより、従来のZ相信号を使用する検査手法に比べて高速に検査結果を取得することが可能となる。
また、入力回転軸が反転を繰り返すように使用される場合にも検査を行うことが可能となる。またZ相信号を外部に出力するためのコネクタが設けられていないエンコーダでも検査を行うことが可能となる。
また、入力回転軸の回転速度の変動量が小さいときにパルス信号のデューティを測定することにより、正確なデューティ測定及び検査が可能となる。
さらに、本発明に係る検査装置により、エンコーダを原因とするACロボットの検査時間が短縮化され、ロボットの稼働停止時間の短縮化に資する。また、本発明に係る検査装置は、FPGA(Field Programmable Gate Array)などのロジックICを使用して作製することにより、従来のモータのメーカ製検査装置に比べて非常に小型かつ安価に構成することが可能であり、コスト削減に資する。
図1は、本発明の実施例に係るエンコーダ検査装置1の基本構成図である。図1においてエンコーダ検査装置1は、インクリメンタル形のエンコーダ51に接続されて使用されている。エンコーダ51は、入力回転軸52と、これを回転軸として回転するよう設けられた回転円板53を備えている。
回転円板53には、AB相パルス信号パターンが記憶される。AB相パルス信号パターンは、例えばエンコーダ51が光学式ロータリーエンコーダの場合には、分解能(360°/N)に応じた数であるN個のスリットを円板面の円周に沿って等間隔に設けて実現され、磁気式ロータリーエンコーダの場合には、円板の周面部にSNの磁極を交互にN個ずつ等間隔に配して実現される。
入力回転軸52はACモータ等のモータ(図示せず)の回転軸に接続され、又はモータの回転軸を兼ねており、モータの回転によって回転円板53が回転する。このときA相パルス信号検出センサ54及びB相パルス信号検出センサ55は、回転円板53のAB相パルス信号パターンを検出し、入力回転軸52の所定の回転角度(360°/N)毎を1周期TとするA相パルス信号及びB相パルス信号を出力する。すなわち、入力回転軸52の回転変位(回転角度)に比例した数のパルス信号となる。
そして、A相パルス信号検出センサ54及びB相パルス信号検出センサ55から出力されたA相パルス信号及びB相パルス信号は、A相パルス信号及びB相パルス信号出力端子58、59を介して外部へと出力される。ここにA相パルス信号及びB相パルス信号は、回転方向の検出も可能とするために互いに90°位相がずれている。図2(A)及び図2(B)にそれぞれA相パルス信号及びB相パルス信号を示す。
なお、図2(C)に、上述のZ相信号のタイムチャートを記載する。図示するとおりZ相信号は、入力回転軸52が1回転する毎に1つのパルスが発生するパルス信号であるが、図1に示す通り、エンコーダ51の例ではZ相信号を外部に出力する端子が設けられていないとする。
エンコーダ内カウンタ回路56は、互いに90°位相がずれたA相パルス信号及びB相パルスに基づいて正転パルス及び逆転パルスを生成させて、これをそれぞれアップカウント及びダウンカウントして入力回転軸52の回転絶対位置データを求める。
エンコーダ内カウンタ回路56によって求められた回転絶対位置データは、絶対位置信号出力部57において絶対位置信号であるRx相信号に符号化され、絶対位置信号出力端子60からシリアルデータとして出力される。図2(D)に示すようにRx相信号の出力タイミングは、入力回転軸52に回転変位に関わりなく、一定時間Δtr間隔で出力される。
図3(A)〜図3(D)に絶対位置信号(Rx相信号)の例を示す。この例ではエンコーダの分解能は、360°/2048(N=211)であり、絶対位置信号は、入力回転軸52の1回転分の変位を0〜2047までの1回転内位置信号(1回転内アプソデータ)で示す。図3(A)に示とおりRx相信号は、第1フレーム及び第2フレームからなるフィールド単位に送信される。第1フレーム及び第2フレームは、各々25ビットのデータ部分と、17ビット分のアイドル部分からなる。
また、図3(B)に示すとおり、第1フレーム及び第2フレームのデータ部分は、所定のビット列の組合せである3ビットのスタート信号と、2ビットのモデムアドレス(00)と、15ビットの送信データと、第1フレーム及び第2フレームであることを示すフレームビットと、3ビットのCRCコードと、1ビットのストップ信号(0)とから成り立っている。
図3(C)に第1フレームの送信データ構造を、図3(D)に第1フレームの送信データ構造をそれぞれ示す。図示するとおり第1フレームの15ビットの送信データの下位11ビットは、入力回転軸52の1回転分の変位を示す1回転内位置信号(1回転内アプソデータ)を示す。
第1フレームの送信データの上位4ビットは、多回転信号(多回転データ)の下位4ビットを示し、第2フレームの送信データの下位9ビットは、多回転データの上位9ビットを示す。ここに多回転データとは、エンコーダ内カウンタ回路56がリセットされた時点から現在までの入力回転軸52の回転数を示すデータ(13ビット)である。また、第2フレームの送信データの下位6ビットは、エンコーダ51の状態を示す6ビットのステータスフラグを示す。
一方、エンコーダ検査装置1は、A相パルス信号を出力するエンコーダ51の出力端子58に接続されるA相パルス信号入力端子2と、B相パルス信号を出力するエンコーダ51の出力端子59に接続されるB相パルス信号入力端子3と、入力されたA相パルス信号及びB相パルス信号をカウントしてエンコーダ51の回転絶対位置をカウントするカウンタ部5とを備える。
また、エンコーダ検査装置1は、絶対位置信号(Rx相信号)を出力するエンコーダ51の絶対位置信号出力端子60に接続される絶対位置信号入力端子4と、シリアルデータである入力Rx相信号からパラレルデータの回転絶対位置データに変換する絶対位置信号入力部6と、この回転絶対位置データをカウンタ部5のカウント値に設定するためのカウンタ設定部8と、カウンタ部5のカウント値と絶対位置信号入力部6から出力される回転絶対位置データと比較する比較部7とを備える。
図4は、カウンタ部5によるA相信号及びB相信号のカウントを説明する図である。カウンタ部5によるA相信号及びB相信号のカウント方法は、エンコーダ51のエンコーダ内カウンタ回路56のカウント方法と同様である。すなわち、図4(A)及び(B)にそれぞれ示すA相信号及びB相信号が入力されると、カウンタ部5は、B相信号のパルスがA相信号に対して90°進んでいる場合には、図4(C)に示すように正転パルスを発生させ、B相信号のパルスがA相信号に対して90°遅れている場合には、図4(D)に示すように逆転パルスを発生させる。
カウンタ部5は、エンコーダ51の回転絶対位置をカウントするためのマスタカウンタを備え、マスタカウンタは正転パルスでアップカウントし逆転パルスでダウンカウントする(図4(E)参照)。このマスタカウンタのカウント値は比較部7に出力されて、比較部7はマスタカウンタのカウント値と絶対位置信号入力部6から出力される回転絶対位置データとを比較する。なお、カウンタ部5は正転パルスでアップカウントされる正転カウンタ(図4(F))及び逆転パルスでアップカウントされる逆転カウンタ(図)4(G)も備えている。
図5に、このように入力A相及びB相パルス信号をカウントしたマスタカウンタのカウント値(図5(A))と、Rx相信号から取り出した回転絶対位置データ(図5(B))のタイムチャートを示す。
図5(A)及び(B)に示すとおり、マスタカウンタのカウント値もRx相信号から取り出した回転絶対位置データも、エンコーダ51の入力回転軸52の絶対位置を示す。すなわち、一度カウンタ設定部8によりRx相信号から取り出した回転絶対位置データをマスタカウンタのカウント値に設定すれば、エンコーダ51に異常がない限り両者は常に同じカウント値となる。
したがって、エンコーダ検査装置1は、入力回転軸52がある回転位置(第1の回転位置)にあるときの、Rx相信号から取り出した回転絶対位置データ(第1の絶対位置信号)を、カウンタ設定部8によって前記カウンタ部5のマスタカウントのカウント値に設定する。
その後、入力回転軸52を回転させて、第1の回転位置と異なる第2の回転位置となるまでカウンタ部5のマスタカウントによりカウントし、かつ絶対位置信号入力部6から第2の回転位置となったときの回転絶対位置データ(第2の絶対位置信号)をRx相信号から取り出す。
そして比較部7により、マスタカウンタのカウント値と絶対位置信号入力部6から出力される第2の絶対位置信号とを比較してその差を検出し、比較結果をカウント比較検査出力端子11から出力する。
以上により、エンコーダ51のA相及びB相信号の増幅回路や波形成形回路(図示せず)の不具合によるA相信号及びB相信号の欠相や、ノイズ混入による誤カウントを検出することが可能となる。
このように、Rx相信号から取り出した絶対位置信号を利用することにより、Rx相信号の送信タイミングでA相及びB相信号の欠相及び誤カウントの検査を行うことにより、エンコーダの回転速度に関係なくRx相信号の出力タイミングで検査を行うことが可能となる。したがって、Rx相信号の出力頻度を高めることにより、従来のZ相検査法に比べて高速に検査結果を取得することが可能となる。
また、入力回転軸52が反転を繰り返すように使用される場合にも検査を行うことが可能となる。また図1のエンコーダ51の例のようにZ相信号を外部に出力する端子が設けられていない場合でも検査を行うことが可能となる。
一方、Rx相信号からの回転絶対位置データを取り出しが可能となるのは、Rx相信号の受信が完了した時点である。また、上述のようにRx相信号がシリアル伝送される場合にはRx相信号の送信に一定の時間を要する。したがって、エンコーダ51のエンコーダ内カウンタ回路56がカウントし終えてから、エンコーダ検査装置1の絶対位置信号入力部6がRx相信号からの回転絶対位置データを取り出し終わるまでには時間差が生じ、この時間差の間に、Rx相信号からの回転絶対位置データとカウンタ部5のマスタカウンタのカウント値が不一致を生ずる恐れがある。
したがって、エンコーダ検査装置1の絶対位置信号入力部6による回転絶対位置データの取り出しは、エンコーダ51の停止期間中に行うことが好適である。
このため、エンコーダ検査装置1は、入力回転軸52の所定の回転角度毎に発生するパルス信号であるA相及びB相信号に基づき入力回転軸51の回転速度を検出する回転速度検出部9を備える。
図6に示すように、カウンタ設定部8は、検査を行うオペレータが検査開始スイッチ(図示せず)を操作したことを検出すると、回転速度検出部9により入力回転軸51が静止状態にあることを検出して、入力回転軸51が静止状態にあるとき入力回転軸51の回転位置(第1の回転位置)の回転絶対位置データを絶対位置信号入力部6から入力して前記カウンタ5のカウント値に設定する(1)。
その後、カウンタ部5のマスタカウントは、入力回転軸52が回転し第1の回転位置と異なる第2の回転位置となるまでA相及びB相信号をカウントする(2)。
そして、入力回転軸51が第2の回転位置となりオペレータが判定スイッチ(図示せず)を操作すると、比較部7はこれを検出して、回転速度検出部9により入力回転軸51の静止状態を検出してから、絶対位置信号入力部6から回転絶対位置データ(第2の絶対位置信号)をRx相信号から取り出して判定を行う(3)。
このように、エンコーダ51の停止期間中にRx相信号から取り出した回転絶対位置データを使用することにより、上述のRx相信号の伝送時間により生じるカウント値が不一致の問題を解消することが可能となる。
また、上述のRx相信号の伝送時間により生じるカウント値が不一致の問題を回避するために、エンコーダ検査装置1は、絶対位置信号であるRx相信号の受信を開始したときのカウント値を一時的に記憶するためのカウンタメモリ10を備え、上述のRx相信号の伝送時間の間に生じたカウント値の分を補正することとしてもよい。
絶対位置信号入力部6は、オペレータが検査開始スイッチ(図示せず)を操作すると、その直後に発生する第1のRx相信号(第1の絶対位置信号)の受信を開始したことを検知して、カウンタメモリ10にRx相信号受信開始信号を出力する。カウンタメモリ10はRx相信号受信開始信号を入力すると、カウンタ部5のマスタカウントのカウント値を記憶する。
絶対位置信号入力部6は、第1のRx相信号の受信を完了すると、回転絶対位置データをRx相信号から取り出してカウンタ設定部8に出力する。カウンタ設定部8は、回転絶対位置データが入力されると、現在のマスタカウンタのカウント値とカウンタメモリ10に記憶されるカウント値との差に、第1のRx相信号から取り出した回転絶対位置データを加えた値をマスタカウンタのカウント値に設定する。
これにより、第1のRx相信号の伝送時間の間に生じたカウント値を加えてマスタカウンタのカウント値に設定することが可能となる。
その後、カウンタ部5のマスタカウントは、入力回転軸52が回転し第1の回転位置と異なる第2の回転位置となるまでA相及びB相信号をカウントする。
そして、入力回転軸51が第2の回転位置となりオペレータが判定スイッチ(図示せず)を操作すると、絶対位置信号入力部6は、その直後に発生する第2のRx相信号(第2の絶対位置信号)の受信を開始したことを検知して、カウンタメモリ10にRx相信号受信開始信号を出力する。カウンタメモリ10はRx相信号受信開始信号を入力すると、カウンタ部5のマスタカウントのカウント値を記憶する。
絶対位置信号入力部6は、第2のRx相信号の受信を完了すると、回転絶対位置データをRx相信号から取り出して比較部7に出力する。比較部7は、回転絶対位置データが入力されると、カウンタメモリ10に記憶されるカウント値と第2のRx相信号から取り出した回転絶対位置データとを比較し比較結果を、カウント比較検査出力端子11から出力する。
これにより、第1のRx相信号の伝送時間の間に生じたカウント値を除去して、カウンタメモリ10に記憶されるカウント値と第2のRx相信号から取り出した回転絶対位置データとを比較することが可能となる。
以上により、エンコーダ51を停止させることなく、上述のRx相信号の伝送時間により生じるカウント値が不一致の問題を解消することが可能となる。
図1に示すエンコーダ検査装置1は、入力回転軸52が1回転する毎に1個のパルスを生じるZ相信号に相当する信号を、絶対位置信号であるRx相信号から生成するZ相パルス信号生成部31を備えることとしてもよい。これにより、Z相信号出力端子を有しないエンコーダに対しても、従来のZ相検査法と同様のエンコーダ検査を行うことが可能となる。
Z相パルス信号生成部31は、絶対位置信号入力部6から、Rx相信号から取り出された回転絶対位置データを入力される。図3(C)及び(D)に示すとおり、この回転絶対位置データには、入力回転軸52の1回転内の位置を示す1回転内位置信号(1回転内アプソデータ)と、入力回転軸52の回転数を示す多回転信号(多回転データ)とを含んでいる。Z相パルス信号生成部31は、この多回転データが変化したときこの変化を検出して前記Z相パルス信号を生成し、Z相出力端子32から出力する。
また上述の通り、エンコーダ51の入力回転軸52の回転速度の変動が大きいときには、A相信号及びB相信号のデューティを正確に測定することができない。そこで、図1に示すエンコーダ検査装置1は、入力回転軸52の所定の回転速度の変動量を検出して、この変動量が所定量以下のときにパA相信号及びB相信号のデューティを測定する。
このため、エンコーダ検査装置1は、エンコーダ51の入力回転軸52の所定の回転角度毎に交番するパルス信号であるA相及びB相信号に基づいて、入力回転軸52の回転速度を検出する回転速度検出部9と、回転速度検出部9から出力される回転速度信号の変動量を検出する回転速度変動量検出部21と、A相及びB相信号のデューティを測定するデューティ測定部22とを備える。
デューティ測定部22は、相互に位相が90°ずれたA相信号及びB相信号のパルスの立ち上がり及び立ち下がり(エッジ)を検出して、A相信号及びB相信号のパルス周期Tと、図7に示すA相信号のエッジとB相信号のエッジ間の時間であるt1、t2、t3及びt4の時間を測定する。そして、各時間t1、t2、t3及びt4とパルス周期Tの4分の1との差が所定の許容範囲内になっているか否かを判定して、その判定結果をデューティ判定端子23から出力する。
このときデューティ測定部22は、回転速度変動量検出部21から出力される回転速度変動量信号を監視して、前記パルス周期T、並びに各時間t1、t2、t3及びt4の検出中に回転速度の変動量が所定の許容変動量内であるか否かを判定し、前記パルス周期T、並びに各時間t1、t2、t3及びt4の検出中に前記許容変動量を超えて回転速度が変動した場合には、上述の測定を中止若しくは判定結果の出力を中止するか、判定結果に代えて又はこれに加えて判定エラー信号を出力する。
以上により、エンコーダ検査装置1は、入力回転軸51の回転速度の変動量が小さいときにパルス信号のデューティを測定して、正確なデューティの測定値及び検査が可能となる。
本発明に係るエンコーダ検査装置の基本構成図である。 A相信号、B相信号、Z相信号及びRx相信号のタイムチャートである。 絶対位置信号(Rx相信号)の構成図である。 カウンタ部によるA相信号及びB相信号のカウント値の説明図である。 A相信号及びB相信号のカウント値とRx相信号の回転絶対位置データの関係を示すタイムチャートである。 エンコーダの入力回転軸の回転及び停止時間と検査タイミングの関係を示すタイムチャートである。 デューティ測定で測定する各時間を説明する図である。
符号の説明
1…エンコーダ検査装置
2…A相パルス信号入力端子
3…B相パルス信号入力端子
4…絶対位置信号入力端子
5…カウンタ部
6…絶対位置信号入力部
7…比較部
8…カウンタ設定部
9…回転速度検出部
10…カウンタメモリ
21…回転速度変動量検出部
22…デューティ測定部
31…Z相パルス生成部
51…エンコーダ
52…入力回転軸
53…回転円板
54…A相パルス信号検出センサ
55…B相パルス信号検出センサ
57…絶対位置信号出力部
58…A相パルス信号出力端子
59…B相パルス信号出力端子
60…絶対位置信号出力端子

Claims (6)

  1. 入力回転軸の所定の回転角度毎にパルス信号を出力するパルス信号出力部と、前記入力回転軸の絶対回転位置を示す絶対位置信号を出力する絶対位置信号出力部とを備えるエンコーダを、検査するためのエンコーダ検査装置において、
    前記パルス信号出力部に接続されて前記パルス信号が入力されるパルス信号入力部と、
    前記絶対位置信号出力部に接続されて前記絶対位置信号が入力される絶対位置信号入力部と、
    入力された前記パルス信号をカウントするカウンタ部と、
    入力された前記絶対位置信号と、前記カウンタ部によりカウントされた前記パルス信号の数と、を比較する比較部とを備えることを特徴とするエンコーダ検査装置。
  2. さらに、前記入力回転軸の第1の回転位置において、第1の前記絶対位置信号に基づき前記カウンタ部のカウント値を設定するカウンタ設定部を備え、
    前記比較部は、前記入力回転軸の第2の回転位置において、第2の前記絶対位置信号を読み取り、該第2の絶対位置信号と前記カウンタ部のカウント値とを比較することを特徴とする請求項1に記載のエンコーダ検査装置。
  3. さらに、前記パルス信号に基づき前記入力回転軸の回転速度を検出する回転速度検出部とを備え、
    前記カウンタ設定部は、前記回転速度検出部により前記入力回転軸の静止状態を検出して、前記第1の絶対位置信号を前記カウンタ部のカウント値に設定し、
    前記比較部は、前記回転速度検出部により前記入力回転軸の静止状態を検出して、前記第2の絶対位置信号を読み取ることを特徴とする請求項2に記載のエンコーダ検査装置。
  4. さらに、前記第1の絶対位置信号の入力を開始したときに前記カウンタ部のカウント値を記憶する第1のカウント値記憶手段と、
    前記第2の絶対位置信号の入力を開始したときに前記カウンタ部のカウント値を記憶する第2のカウント値記憶手段と、を備え、
    前記カウンタ設定部は、前記第1の絶対位置信号の入力を完了したときに、前記カウンタ部の現在のカウント値と前記第1のカウント値記憶手段に記憶されるカウント値との差に、前記第1の絶対位置信号を加えた値を前記カウント値に設定し、
    前記比較部は、前記第2の絶対位置信号の入力を完了したときに、該第2の絶対位置信号と、前記第2のカウント値記憶手段に記憶されるカウント値と、を比較することを特徴とする請求項2に記載のエンコーダ検査装置。
  5. 前記絶対位置信号に基づき、前記入力回転軸が1回転する毎にZ相パルス信号を生成するZ相パルス信号生成部を備え、
    前記絶対位置信号は、前記入力回転軸の1回転内の位置を示す1回転内位置信号と、前記入力回転軸の回転数を示す多回転信号とを含み、
    前記Z相パルス信号発生部は、前記多回転信号の変化を検出して、前記Z相パルス信号を出力することを特徴とする、請求項1に記載のエンコーダ検査装置。
  6. 入力回転軸の所定の回転角度毎に交番するパルス信号を出力するパルス信号出力部を備えるエンコーダを、検査するためのエンコーダ検査装置において、
    前記パルス信号出力部に接続されて前記パルス信号が入力されるパルス信号入力部と、
    前記パルス信号に基づいて前記入力回転軸の回転速度の変動量を検出する回転速度変動量検出部と、
    前記変動量が所定量以下のとき、前記パルス信号のデューティを測定するデューティ測定部と、を備えることを特徴とするエンコーダ検査装置。
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