JP2005203299A - マイクロ波焼成炉 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 マイクロ波を透過する断熱性隔壁3によって焼成室5を画成したブランケット7と、このブランケット7を収容すると共にマイクロ波空間11を画成する筐体9と、マイクロ波空間11内にマイクロ波を放射するマイクロ波発生手段13とを備えるマイクロ波焼成炉11であって、前記筐体9と前記ブランケット7との間に、マイクロ波の透過を許容する真空断熱壁15を装備する。
【選択図】 図1
Description
図示のマイクロ波焼成炉31は、マイクロ波を透過する断熱性隔壁33aによって焼成室35を画成したブランケット33と、ブランケット33の外周囲にマイクロ波空間39を画成する金属製の筐体壁37aで囲って、ブランケット33を収容した筐体37と、マイクロ波空間39内にマイクロ波を放射するマイクロ波発生手段41とを備えて、焼成室35内に設置される被焼成体43をマイクロ波加熱によって焼成する。
なお、従来では、焼成室35内の温度勾配の発生を更に抑止するために、外部からの給電によってマイクロ波空間内を加熱するヒータを追加装備した構成のもの(例えば、特許文献1参照)、或いは、マイクロ波空間内のブランケットを二重に装備した構成のもの(例えば、特許文献2参照)が提案されている。
筐体壁37aの高温化は、筐体壁37aの外面側に画成される部品実装スペース47に組み込んだ電装部品や電気回路を昇温させて、これらの電装部品や電気回路の性能低下等を招く虞があり、好ましくない。
また、電動ファン45の組み込みのために、部品実装スペース47を大きくしなければならず、これが装置の大型化を招くという問題もあった。
(1) マイクロ波を透過する断熱性隔壁によって焼成室を画成したブランケットと、前記ブランケットの外周囲をマイクロ波空間を画成する金属製の筐体壁で囲う筐体と、前記マイクロ波空間内にマイクロ波を放射するマイクロ波発生手段とを備えて、前記焼成室内に設置される被焼成体をマイクロ波加熱によって焼成するマイクロ波焼成炉であって、
前記筐体壁と前記ブランケットとの間に、マイクロ波の透過を許容する真空断熱壁を装備したことを特徴とするマイクロ波焼成炉。
また、真空断熱壁によって、ブランケットから外部への熱伝達が防止される結果、ブランケット内の保温性が向上し、焼成室内における温度勾配の発生も十分に抑止することができる。
従って、断熱性隔壁の壁厚の縮減によって焼成室容積の増大を図ることができる。
従って、部品実装スペースの昇温を防止するための冷却用の電動ファンを省略することが可能になり、冷却用の電動ファンの削減によって、装置消費電力の低減や、装置のコンパクト化を図ることもできる。
図1は、本発明に係るマイクロ波焼成炉の一実施の形態の概略構成を示したものである。
なお、本発明者等が実験した結果、現行の中実の断熱性隔壁は、壁厚寸法が約75mm厚の場合、炉内温度1300℃のとき外壁温度が約150〜250℃となって、上記の真空断熱壁15の取り付けが可能であるが、一方、断熱性隔壁の壁厚寸法を約60mm厚に縮減した場合には外壁温度が約600℃程度となり、この壁厚寸法が上記の真空断熱壁15の取り付けの実力限界となることが判った。
また、真空断熱壁15は、焼成室5内の温度制御時のオーバーシュートを防止するために、図示はしていないが、ブランケット7の外面全域を完全に覆う形態ではなく、一部にブランケット7の外面が露出した部分が残るように、装備される。
また、真空断熱壁15によって、ブランケット7の断熱性隔壁3から外部への熱伝達が防止される結果、ブランケット7内の保温性が向上し、焼成室5内における温度勾配の発生も十分に抑止することができる。
従って、断熱性隔壁3の壁厚の縮減によって焼成室5容積の増大を図ることができる。
従って、部品実装スペース19の昇温を防止するための冷却用の電動ファンを省略することが可能になり、冷却用の電動ファンの削減によって、装置消費電力の低減や、装置のコンパクト化を図ることもできる。
さらに、真空断熱壁15による断熱性及び保温性によって、マイクロ波加熱による焼成室5内の温度応答性の向上を図ることができる。
また、真空断熱壁15を構成するガラス板は、熱的な負荷が小さくなることが明らかな部分には、前述した超耐熱結晶化ガラスではなく、一般的な耐熱ガラスを使用することも考えられる。
3 断熱性隔壁
3a 内殻
3b 外殻
5 焼成室
7 ブランケット
9 筐体
9a 筐体壁
11 マイクロ波空間
13 マイクロ波発生手段
15 真空断熱壁
17 被焼成体
19 部品実装スペース
Claims (2)
- マイクロ波を透過する断熱性隔壁によって焼成室を画成したブランケットと、前記ブランケットの外周囲をマイクロ波空間を画成する金属製の筐体壁で囲った筐体と、前記マイクロ波空間内にマイクロ波を放射するマイクロ波発生手段とを備えて、前記焼成室内に設置される被焼成体をマイクロ波加熱によって焼成するマイクロ波焼成炉であって、
前記筐体壁と前記ブランケットとの間に、マイクロ波の透過を許容する真空断熱壁を装備したことを特徴とするマイクロ波焼成炉。 - 前記真空断熱壁を前記ブランケットの外壁面に取り付けたことを特徴とする請求項1記載のマイクロ波焼成炉。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2004010286A JP2005203299A (ja) | 2004-01-19 | 2004-01-19 | マイクロ波焼成炉 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2004010286A JP2005203299A (ja) | 2004-01-19 | 2004-01-19 | マイクロ波焼成炉 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
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JP2005203299A true JP2005203299A (ja) | 2005-07-28 |
Family
ID=34823061
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
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JP2004010286A Withdrawn JP2005203299A (ja) | 2004-01-19 | 2004-01-19 | マイクロ波焼成炉 |
Country Status (1)
Country | Link |
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JP (1) | JP2005203299A (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2006199571A (ja) * | 2004-10-21 | 2006-08-03 | Nippon Steel Chem Co Ltd | 炭素材料焼成炉および炭素材料の焼成方法 |
-
2004
- 2004-01-19 JP JP2004010286A patent/JP2005203299A/ja not_active Withdrawn
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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JP2006199571A (ja) * | 2004-10-21 | 2006-08-03 | Nippon Steel Chem Co Ltd | 炭素材料焼成炉および炭素材料の焼成方法 |
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