|
US7839124B2
(en)
*
|
2006-09-29 |
2010-11-23 |
Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. |
Wireless power storage device comprising battery, semiconductor device including battery, and method for operating the wireless power storage device
|
|
US8853995B2
(en)
|
2009-06-12 |
2014-10-07 |
Qualcomm Incorporated |
Devices for conveying wireless power and methods of operation thereof
|
|
US8547057B2
(en)
*
|
2009-11-17 |
2013-10-01 |
Qualcomm Incorporated |
Systems and methods for selective wireless power transfer
|
|
KR101356623B1
(ko)
|
2011-11-10 |
2014-02-03 |
주식회사 스파콘 |
전력전송코일 및 무선 전력전송장치
|
|
US9548621B2
(en)
*
|
2012-05-28 |
2017-01-17 |
Panasonic Intellectual Property Management Co., Ltd. |
Contactless connector system tolerant of position displacement between transmitter coil and receiver coil and having high transmission efficiency
|
|
US9356822B2
(en)
*
|
2012-10-30 |
2016-05-31 |
Kla-Tencor Corporation |
Automated interface apparatus and method for use in semiconductor wafer handling systems
|
|
JP5954788B2
(ja)
*
|
2012-12-28 |
2016-07-20 |
セイコーインスツル株式会社 |
電子部品、受電装置、及び給電システム
|
|
JP2014029860A
(ja)
*
|
2013-08-27 |
2014-02-13 |
Advantest Corp |
電源装置および測定用デバイス
|
|
JP6855774B2
(ja)
*
|
2016-12-13 |
2021-04-07 |
Tdk株式会社 |
ウエハ搬送容器内雰囲気計測装置、ウエハ搬送容器、ウエハ搬送容器内清浄化装置及びウエハ搬送容器内清浄化方法
|
|
US20180366354A1
(en)
*
|
2017-06-19 |
2018-12-20 |
Applied Materials, Inc. |
In-situ semiconductor processing chamber temperature apparatus
|
|
CN114466728B
(zh)
*
|
2019-07-26 |
2025-05-27 |
朗姆研究公司 |
用于自动化晶片搬运机械手教导与健康检查的整合适应性定位系统及例程
|
|
JP7467152B2
(ja)
|
2020-02-13 |
2024-04-15 |
東京エレクトロン株式会社 |
収容容器及び基板状センサの充電方法
|
|
KR102584512B1
(ko)
*
|
2020-12-31 |
2023-10-05 |
세메스 주식회사 |
버퍼 유닛 및 온도 변화가 수반되는 기판 지지 부재의 수평 측정용 기판형 센서의 보관 방법
|
|
KR102594075B1
(ko)
*
|
2021-05-31 |
2023-10-24 |
세메스 주식회사 |
용기 및 기판 처리 시스템
|
|
KR102650610B1
(ko)
*
|
2021-05-31 |
2024-03-26 |
세메스 주식회사 |
기판 처리 장치 및 기판 처리 시스템
|
|
KR102858235B1
(ko)
*
|
2021-07-15 |
2025-09-09 |
삼성전자주식회사 |
웨이퍼 이송 시스템 및 이를 이용한 반도체 소자 제조 방법
|
|
TWI899491B
(zh)
|
2021-08-04 |
2025-10-01 |
日商東京威力科創股份有限公司 |
收容容器及基板狀感測器之充電方法
|
|
WO2023089795A1
(ja)
*
|
2021-11-22 |
2023-05-25 |
三菱電機株式会社 |
送電装置、無線電力伝送システム及び電圧制御装置
|
|
US11817724B2
(en)
*
|
2022-03-02 |
2023-11-14 |
Applied Materials, Inc. |
Enclosure system with charging assembly
|
|
WO2024166739A1
(ja)
*
|
2023-02-09 |
2024-08-15 |
東京エレクトロン株式会社 |
基板処理装置
|
|
WO2026034228A1
(ja)
*
|
2024-08-06 |
2026-02-12 |
東京エレクトロン株式会社 |
充電システム、容器、及び充電方法
|