JP2014029860A - 電源装置および測定用デバイス - Google Patents
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Abstract
【解決手段】プラズマ発生器は、容器10と、容器10に取り付けられ互いに対向するアンテナ(第一電極)22および下部ステージ(第二電極)32とを有し、アンテナ22に所定の周波数の電圧が印加されて下部ステージ32に交流バイアス電圧が印加されることにより、容器10内にプラズマ1が発生する。プラズマ発生器内の下部ステージ(第二電極)32にウェハ2が載せられており、測定装置4がウェハ2に載せられている。測定装置4は、電源装置41、センサ42、マイクロコンピュータ(測定結果処理器)44を有する。センサ42は、プラズマ発生器の内部の状態を測定する。電源装置41は、交流バイアス電圧の印加に伴う磁界の変化により共振を起こす共振回路410を有し、センサ42は共振回路から電力を受けて作動する。
【選択図】図6
Description
図4は、第一の実施形態にかかる測定装置4の平面図(図4(a))、斜視図(図4(b))である。図5は、第一の実施形態にかかる測定装置4の機能ブロック図である。
第二の実施形態にかかる測定装置4は、太陽電池(光電変換部)41aにかえて、共振回路410を使用した点が第一の実施形態と異なる。なお、共振回路410は、第二電源30による交流バイアス電圧の印加に伴う磁界の変化により共振を起こすものである。
第三の実施形態にかかる測定装置4は、共振回路410にかえて、共振回路420を使用した点が第二の実施形態と異なる。なお、共振回路420は、第一電源20による所定の周波数の電圧の印加により生じる電磁波により共振を起こすものである。
2 ウェハ
4 測定装置
41 電源装置
41a 太陽電池(光電変換部)
410、420 共振回路
410a、420a インダクタ
410b、420b キャパシタ
41b 増幅回路
41c、41d 安定回路
41e ブリッジ整流回路
41f キャパシタ
42 センサ
44 マイクロコンピュータ(測定結果処理器)
10 容器
12 パイプ
20 第一電源
21 アンテナ収容体
22 アンテナ(第一電極)
24 フランジ
25 ガラス蓋
25a 孔
26 パイプ
30 第二電源
31 接続部材
32 下部ステージ(第二電極)
34、36 セラミック部
38 台
Claims (9)
- 容器と、該容器に取り付けられ互いに対向する第一電極および第二電極とを有し、前記第一電極に所定の周波数の電圧が印加されて前記第二電極に交流バイアス電圧が印加されることにより、前記容器内にプラズマが発生するプラズマ発生器の内部の状態を測定するセンサの電源となる電源装置であって、
インダクタと、該インダクタに接続されたキャパシタとを有する共振回路を備え、
該共振回路が、前記交流バイアス電圧の印加に伴う磁界の変化により、共振を起こし、
前記センサは前記共振回路から電力を受けて作動し、
前記センサおよび前記電源装置が前記容器内に配置される、
電源装置。 - 請求項1に記載の電源装置であって、
前記インダクタがコイルであり、
前記交流バイアス電圧を印加する交流バイアス電圧源および前記第二電極を接続する接続部材の延伸方向と、前記コイルの軸方向とが直交する、
電源装置。 - 容器と、該容器に取り付けられ互いに対向する第一電極および第二電極とを有し、前記第一電極に所定の周波数の電圧が印加されて前記第二電極に交流バイアス電圧が印加されることにより、前記容器内にプラズマが発生するプラズマ発生器の内部の状態を測定するセンサの電源となる電源装置であって、
インダクタと、該インダクタに接続されたキャパシタとを有する共振回路を備え、
該共振回路が、前記所定の周波数の電圧の印加により生じる電磁波により、共振を起こし、
前記センサは前記共振回路から電力を受けて作動し、
前記センサおよび前記電源装置が前記容器内に配置される、
電源装置。 - 請求項1ないし3のいずれか一項に記載の電源装置であって、
前記共振回路において、前記インダクタと前記キャパシタとが直列または並列に接続されている、
電源装置。 - 請求項1ないし4のいずれか一項に記載の電源装置であって、
前記第二電極にウェハが載せられており、
前記センサが前記ウェハに載せられている、
電源装置。 - 請求項1ないし4のいずれか一項に記載の電源装置であって、
前記センサは、電圧または電流を測定することにより、前記プラズマ発生器の内部の状態を測定する、
電源装置。 - 請求項6に記載の電源装置であって、
前記センサにバイアス電圧が印加される、
電源装置。 - 請求項1ないし4のいずれか一項に記載の電源装置であって、
前記センサから測定結果を受ける測定結果処理器が前記容器内に配置され、
前記測定結果処理器は前記共振回路から前記電力を受けて作動する、
電源装置。 - 請求項8に記載の電源装置と、前記センサと、前記測定結果処理器とを有する測定装置と、
該測定装置が載せられたウェハと、
を備えた測定用デバイス。
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