JP2005201775A - 共振型磁気センサとこれを用いた磁場検出装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】振動板を基板に形成した共振型磁気センサとし、振動板の励振手段と共振周波数の検出手段とを備え、強磁性体薄膜が、振動板と基板とに空隙を介して対向配置して形成してあり、これらの振動板に形成された強磁性体薄膜Aと基板側に形成された強磁性体薄膜Bとが外部被検出磁場により磁化し、これらの強磁性体薄膜Aと強磁性体薄膜Bとの磁極間に働く磁気的力で振動板の共振周波数が変化し、その共振周波数の変化に基づく出力の変化から外部被検出磁場を知るようにする。
【選択図】図1
Description
2 SOI層
3 下地層
10 振動板
11、11x、11y、11z カンチレバ
15 高濃度層
20、20x、20y、20z 強磁性体薄膜
21,22 強磁性体
25、25a、25b、25c ヨーク
30、30x、30y、30z ピエゾ抵抗素子
40、40x、40y、40z コイル
50、51、52 絶縁膜
60,61,62 磁極
70、70x、70y、70z 空洞部
80、80x、80y、80z 空隙
100 電極
101、101’ 励振用電極
102、102’ 振動検出用電極
103、103’、 103’’ コイル用電極
200 配線
300 穴
500 磁気ヘッド端面
600 導線
Claims (9)
- 振動板(10)を形成した基板(1)を用いた共振型磁気センサにおいて、前記振動板(10)の励振手段と共振周波数の検出手段とを備え、強磁性体薄膜(20)が、振動板(10)と基板(1)とに空隙(80)を介して対向配置して形成してあり、前記強磁性体薄膜(20)のうちの振動板(10)側の強磁性体薄膜Aと基板(1)側の強磁性体薄膜Bとが、外部被検出磁場により磁化して、これらの強磁性体薄膜Aと強磁性体薄膜Bとに前記空隙(80)を挟んで一対の磁極(61,62)が生じ、これらの磁極(61,62)の間に働く磁気的力により振動板(10)の共振周波数が変化し、その共振周波数の変化に基づく出力の変化から外部被検出磁場を知るようにしたことを特徴とする共振型磁気センサ。
- 強磁性体薄膜Aと強磁性体薄膜Bとが共に、軟磁性体材料から成る請求項1に記載の共振型磁気センサ。
- 強磁性体薄膜Aと強磁性体薄膜Bのうち、少なくとも一方が硬磁性体材料から成る請求項1に記載の共振型磁気センサ。
- 強磁性体薄膜Aと強磁性体薄膜Bのうち、少なくとも一方をコアとしてコイルを形成した請求項1から3のいずれかに記載の共振型磁気センサ。
- 振動板(10)をカンチレバ(11)とした請求項1から4のいずれかに記載の共振型磁気センサ。
- 強磁性体薄膜Aと強磁性体薄膜Bとを二次元もしくは三次元的に延在し、それぞれ二次元もしくは三次元的の磁場情報を得るようにした請求項1から5のいずれかに記載の共振型磁気センサ。
- 基板(1)を半導体基板とし、この基板(1)に周辺回路の少なくとも一部を集積化した請求項1から6のいずれかに記載の共振型磁気センサ。
- 振動板(10)の励振は、静電力駆動とし、共振周波数検出は、ピエゾ抵抗を利用した請求項1から7のいずれかに記載の共振型磁気センサ。
- 請求項1から8のいずれかに記載の共振型磁気センサと、電源部と出力表示部と、必要な周辺回路とを具備したことを特徴とする磁場検出装置。
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Cited By (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2007218760A (ja) * | 2006-02-17 | 2007-08-30 | Tokai Rika Co Ltd | 磁気センサ装置 |
WO2011068146A1 (ja) * | 2009-12-02 | 2011-06-09 | アルプス電気株式会社 | 磁気センサ |
US8315126B2 (en) | 2008-11-17 | 2012-11-20 | Casio Computer Co., Ltd. | Antenna device, reception device, and radio wave timepiece |
US8390524B2 (en) | 2008-12-10 | 2013-03-05 | Casio Computer Co., Ltd. | Antenna device, reception device and radio wave timepiece |
CN107329099A (zh) * | 2017-06-22 | 2017-11-07 | 东南大学 | 一种扭摆平移式微机电磁场传感器 |
CN107356889A (zh) * | 2017-06-22 | 2017-11-17 | 东南大学 | 一种扭摆式叉指微机电磁场传感器 |
CN113740784A (zh) * | 2021-07-30 | 2021-12-03 | 西安交通大学 | 超宽工作范围的铁磁共振矢量磁场传感器及应用 |
KR20230143778A (ko) * | 2022-04-06 | 2023-10-13 | 연세대학교 산학협력단 | 편심 공진기와 전자기 인덕터를 활용한 정전기력 구동 2축 mems 자기장 센서 및 이의 제조방법 |
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Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN103472410B (zh) * | 2013-09-30 | 2015-09-23 | 东南大学 | 一种双扭摆式微机电磁场传感器 |
Citations (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH04315477A (ja) * | 1991-04-15 | 1992-11-06 | Nissan Motor Co Ltd | 3次元加速度センサ |
JPH05203517A (ja) * | 1991-07-22 | 1993-08-10 | Landis & Gyr Betrieps Ag | センサ装置 |
JPH08181330A (ja) * | 1994-12-27 | 1996-07-12 | Nissan Motor Co Ltd | 半導体センサの製造方法 |
JPH10319103A (ja) * | 1997-05-21 | 1998-12-04 | Toyota Central Res & Dev Lab Inc | 積層型磁界検出素子 |
JP2000193728A (ja) * | 1998-12-25 | 2000-07-14 | Toyota Central Res & Dev Lab Inc | 磁界検出素子 |
JP2002116132A (ja) * | 2000-10-04 | 2002-04-19 | Canon Inc | 信号検出装置、該信号検出装置によって構成した走査型原子間力顕微鏡、および信号検出方法 |
JP2003207553A (ja) * | 2002-01-15 | 2003-07-25 | Nobuyoshi Sugitani | 磁気検知装置 |
-
2004
- 2004-01-16 JP JP2004008569A patent/JP4801881B2/ja not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH04315477A (ja) * | 1991-04-15 | 1992-11-06 | Nissan Motor Co Ltd | 3次元加速度センサ |
JPH05203517A (ja) * | 1991-07-22 | 1993-08-10 | Landis & Gyr Betrieps Ag | センサ装置 |
JPH08181330A (ja) * | 1994-12-27 | 1996-07-12 | Nissan Motor Co Ltd | 半導体センサの製造方法 |
JPH10319103A (ja) * | 1997-05-21 | 1998-12-04 | Toyota Central Res & Dev Lab Inc | 積層型磁界検出素子 |
JP2000193728A (ja) * | 1998-12-25 | 2000-07-14 | Toyota Central Res & Dev Lab Inc | 磁界検出素子 |
JP2002116132A (ja) * | 2000-10-04 | 2002-04-19 | Canon Inc | 信号検出装置、該信号検出装置によって構成した走査型原子間力顕微鏡、および信号検出方法 |
JP2003207553A (ja) * | 2002-01-15 | 2003-07-25 | Nobuyoshi Sugitani | 磁気検知装置 |
Cited By (14)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2007218760A (ja) * | 2006-02-17 | 2007-08-30 | Tokai Rika Co Ltd | 磁気センサ装置 |
US8315126B2 (en) | 2008-11-17 | 2012-11-20 | Casio Computer Co., Ltd. | Antenna device, reception device, and radio wave timepiece |
US8390524B2 (en) | 2008-12-10 | 2013-03-05 | Casio Computer Co., Ltd. | Antenna device, reception device and radio wave timepiece |
WO2011068146A1 (ja) * | 2009-12-02 | 2011-06-09 | アルプス電気株式会社 | 磁気センサ |
US9530957B2 (en) | 2009-12-02 | 2016-12-27 | Alps Electric Co., Ltd. | Magnetic sensor |
CN107356889A (zh) * | 2017-06-22 | 2017-11-17 | 东南大学 | 一种扭摆式叉指微机电磁场传感器 |
CN107329099A (zh) * | 2017-06-22 | 2017-11-07 | 东南大学 | 一种扭摆平移式微机电磁场传感器 |
CN107356889B (zh) * | 2017-06-22 | 2019-08-20 | 东南大学 | 一种扭摆式叉指微机电磁场传感器 |
CN107329099B (zh) * | 2017-06-22 | 2019-08-20 | 东南大学 | 一种扭摆平移式微机电磁场传感器 |
CN113740784A (zh) * | 2021-07-30 | 2021-12-03 | 西安交通大学 | 超宽工作范围的铁磁共振矢量磁场传感器及应用 |
CN113740784B (zh) * | 2021-07-30 | 2022-05-20 | 西安交通大学 | 超宽工作范围的铁磁共振矢量磁场传感器及应用 |
KR20230143778A (ko) * | 2022-04-06 | 2023-10-13 | 연세대학교 산학협력단 | 편심 공진기와 전자기 인덕터를 활용한 정전기력 구동 2축 mems 자기장 센서 및 이의 제조방법 |
KR102615083B1 (ko) | 2022-04-06 | 2023-12-19 | 연세대학교 산학협력단 | 편심 공진기와 전자기 인덕터를 활용한 정전기력 구동 2축 mems 자기장 센서 및 이의 제조방법 |
WO2024033464A1 (en) | 2022-08-12 | 2024-02-15 | Universität Stuttgart | Localization device and method |
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