JP2005190741A - セラミックヒータ - Google Patents
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Abstract
【解決手段】窒化物セラミックス中に導電性セラミックスからなる発熱抵抗体及び該発熱抵抗体に電力を供給するためのリード部が埋設されており、100V以上の高電圧を印加されるセラミックヒータにおいて、前記発熱抵抗体とリード部間隔を1mm以上としたものである。
【選択図】図2
Description
窒化珪素質焼結体としては、主成分の窒化珪素に対し、焼結助剤として3〜12重量%のY2O3、Yb2O3、Er2O3等の希土類元素酸化物と0.5〜3重量%のAl2O3、さらに焼結体に含まれるSiO2量として1.5〜5重量%となるようにSiO2を混合し、所定の形状に成形した後1650〜1780℃でホットプレス焼成することにより、焼結体を得ることができ、セラミック体2の熱膨張率を発熱抵抗体3の熱膨張率に近づけることにより、発熱抵抗体3の耐久性を向上させることが可能である。
ここでは、リード部4のパターン間距離Xを4水準変更してそれぞれについて発熱抵抗体3とリード部4の間隔Yを0.5〜3mmの間で変更して、各々の場合の通電耐久試験における抵抗変化率を評価した。通電耐久試験については、セラミックヒータ1に通電し、1300℃昇温保持1分後、通電を止めて外部冷却ファンにより1分強制冷却するサイクルを1サイクルとして、30000サイクルの耐久試験を実施した。
なお、1300℃に保持するための印加電圧は190V〜210Vになるようにセラミックヒータ1の抵抗値を調整している。
テスト品の寸法とし、セラミック部分の厚みを2mm、幅を6mm、全長を50mmとしたセラミックヒータ1を作製し、それぞれの通電耐久試験における抵抗変化率を評価した。抵抗変化率は、途中の10000サイクル及び30000サイクルにおいて測定している。測定数は各水準について10本評価して、その平均値をデータとした。
2:セラミック体
3:発熱抵抗体
4:リード部
5:電極引出部
6:電極金具
Claims (4)
- 窒化物セラミックス中に導電性セラミックスからなる発熱抵抗体及び該発熱抵抗体に電力を供給するためのリード部が埋設されており、100V以上の高電圧を印加されるセラミックヒータにおいて、前記発熱抵抗体が折り返しを有し、この折り返し部のリード部側端部とリード部との間隔を1mm以上としたことを特徴とするセラミックヒータ。
- 前記セラミックヒータの幅寸法が6mm以下であり、前記リード部のパターン間距離Xが1mm〜4mmであって、前記発熱抵抗体とリード部の間隔をYとしたときY≧3X−1となるように前記発熱体とリード部を配置したことを特徴とするセラミックヒータ。
- 前記発熱抵抗体の最高温度部を1100℃にした際、前記発熱抵抗体の折り返し部のリード部側端部とリード部端部の温度差が80℃以上であること特徴とする請求項1記載のセラミックヒータ。
- 前記発熱抵抗体において折り返し部のリード部側の一部に発熱抵抗体の他の部分に比べて断面積を大きくした第2発熱部を設けたことを特徴とする請求項1記載のセラミックヒータ。
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