JP2005189238A - ガスセンサ - Google Patents
ガスセンサ Download PDFInfo
- Publication number
- JP2005189238A JP2005189238A JP2004348190A JP2004348190A JP2005189238A JP 2005189238 A JP2005189238 A JP 2005189238A JP 2004348190 A JP2004348190 A JP 2004348190A JP 2004348190 A JP2004348190 A JP 2004348190A JP 2005189238 A JP2005189238 A JP 2005189238A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- gas
- wiring board
- gas detection
- detection element
- gas sensor
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Landscapes
- Investigating Or Analyzing Materials By The Use Of Fluid Adsorption Or Reactions (AREA)
Abstract
【解決手段】保護キャップ3の天井部30には、被測定ガスがガスセンサ1の内部(ガス測定空間)に入るための平面視、略円形の通気孔31〜39が穿設されている。この通気孔31〜39をガス検出素子8,9の表面を水平に延設した平面に正射影した場合に、これら通気孔31〜39の正射影像がガス検出部12,13に重ならないように、通気孔31〜39が配置されている。従って、異物が環境気体中を落下してきて、通気孔31〜39を通過しても、異物が直接的にガス検出部12,13(ダイアフラム構造部6B,6D)に衝突することがない。
【選択図】 図1
Description
体)において、キャビティが形成され、ガス検知素子8,9が搭載される側を表面とし、その反対側を底面1Aとする。尚、積層構造体の第一層4〜第三層6の表面には、図示外の内部配線が形成され、内部配線層を構成している。また、図1及び図4に示すように、配線基板2の長手方向外側面2P及び2Qには、第一層4〜第四層7を貫通して、配線基板2の積層方向に平面視、略円弧状の凹部2C,2D,2E,2F,2G,2H,2I,2J,2K,2L,2M,2Nが各々設けられている。また、配線基板2の短手方向の一方の側面(図1における左側面)2Sには、第一層4〜第四層7を貫通して、案内凹部2Aが設けられ、側面2Sと対向する他方の側面(図1における右側面)2Rにも、第一層4〜第四層7を貫通して案内凹部2Bが設けられている。
内の内圧の上昇を防止できる。
次いで、本発明の別実施の形態にかかるガスセンサ100の説明を、図12及び図13を参照して行う。このガスセンサ100は、図1及び図2に示す保護キャップ3の通気孔31〜39の形態のみが異なり、他の部分は上述した実施の形態にかかるガスセンサ1と同様である。従って、異なる部分のみを説明し、同様な部分の説明は省略あるいは簡略化する。
例えば、ガスセンサ1の配線基板2は4層の積層構造となっているが、必ずしも4層構造に限られず、2層、3層、5層、6層等の複数層の積層構造であれば良い。また、ガスセンサ1は、ガス検出素子を2つ組み込んでいるが、これは、1つでも、3つでも良い。さらに、ガス検出素子8,9に形成されるガス検出部12,13は被測定ガス中の特定ガスを検出することができればその材質は特に限定されず、また厚膜形成されたものであっても薄膜形成されたものであっても良い。
2 配線基板
3,103 保護キャップ
4 第一層
5 第二層
5A 内圧調整用窪み
6 第三層
6B,6D ダイアフラム構造部
6E,6F,6G 内圧放出孔
7 第四層
8,9ガス検出素子
12,13 ガス検出部
12A 検知電極
14A〜14D 接続電極
15A〜15D 接続電極
16A,16B,18A,18B 接続電極
17 コモン電極
20A〜20D Auワイヤ
21A〜21D Auワイヤ
30 天井部
31〜39 通気孔(ガス取入れ口)
51A〜51F 外部電極
131〜137 通気口(ガス取入れ口)
131A〜137A 爪状部
S ガス測定空間
Claims (8)
- ガス検出素子と、
前記ガス検出素子を搭載する配線基板と、
前記ガス検出素子を覆うように配線基板に装着される保護キャップであって、
前記配線基板に装着されたときに、当該配線基板とでガス測定空間を形成すると共に、外部から前記ガス測定空間に被測定ガスを導くための通気孔を有する保護キャップと、
を備えるガスセンサであって、
前記ガス検出素子は、ダイアフラム構造部を有し、当該ダイアフラム構造部にガス検出部を備えており、
前記通気孔及び前記ダイアフラム構造部を前記ガス検出素子の表面を水平に延設した平面に正射影した場合に、前記通気孔の正射影像が前記ダイアフラム構造部の正射影像に重ならないように、前記通気孔が配置されている
ことを特徴とするガスセンサ。 - 前記ガス検出素子には、素子側電極が設けられ、
前記配線基板には、基板側電極が設けられ、
さらに、前記素子側電極と前記基板側電極とを接続する接続部が設けられ、
前記ガス検出素子の表面を水平に延設した平面に前記通気孔及び前記接続部を正射影した場合に、前記通気孔の正射影像が前記接続部の正射影像に重ならないように、前記通気孔が配置されていることを特徴とする請求項1に記載のガスセンサ。 - ガス検出素子と、
前記ガス検出素子を搭載する配線基板と、
前記ガス検出素子を覆うように配線基板に装着される保護キャップであって、
前記配線基板に装着されたときに、当該配線基板とでガス測定空間を形成すると共に、外部から前記ガス測定空間に被測定ガスを導くための通気孔を有する保護キャップと、
を備えるガスセンサであって、
前記ガス検出素子は、ダイアフラム構造部を有し、当該ダイアフラム構造部にガス検出部を備える一方、
前記保護キャップは、前記配線基板のうちで前記ガス検出素子が搭載される搭載面に向かい合う天井部に複数の前記ガス取入れ口を有しており、
前記複数のガス取入れ口は、いずれも、上記天井部外部から前記搭載面に直交する方向に沿って見たとき、当該ガス取入れ口を通じて前記ガス検出素子のダイアフラム構造部が視認できない関係を満たすよう形成されている
ことを特徴とするガスセンサ。 - 前記ガス検出素子には、素子側電極が設けられ、
前記配線基板には、基板側電極が設けられ、
さらに、前記素子側電極と前記基板側電極とを接続する接続部が設けられ、
前記複数のガス取入れ口は、いずれも、上記天井部外部から前記搭載面に直交する方向に沿って見たとき、当該ガス取入れ口を通じて前記接続部が視認できない関係を満たすよう形成されていることを特徴とする請求項3に記載のガスセンサ。 - 前記配線基板は、複数の絶縁層の間に内部配線層が形成された積層構造体であり、
前記複数の絶縁層のうち前記ガス検出素子が搭載される絶縁層の前記ダイアフラム構造部に対面する部位に窪みが形成されていることを特徴とする請求項1乃至請求項4の何れか1項に記載のガスセンサ。 - 前記配線基板の底面は略平面に形成され、
当該底面には当該ガスセンサが固着される回路基板に接続される外部電極が設けられ、
前記保護キャップの上面には、平面部が形成されていることを特徴とする請求項1乃至請求項5の何れか1項に記載のガスセンサ。 - 前記接続部を保護する封止部材を設けたことを特徴とする請求項2又は請求項4に記載のガスセンサ。
- 異なるガス種に反応する複数の前記ガス検出素子が前記配線基板に搭載されていることを特徴とする請求項1乃至請求項7の何れか1項に記載のガスセンサ。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2004348190A JP4280705B2 (ja) | 2003-12-01 | 2004-12-01 | ガスセンサ |
Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2003401386 | 2003-12-01 | ||
JP2004348190A JP4280705B2 (ja) | 2003-12-01 | 2004-12-01 | ガスセンサ |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2005189238A true JP2005189238A (ja) | 2005-07-14 |
JP4280705B2 JP4280705B2 (ja) | 2009-06-17 |
Family
ID=34797455
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2004348190A Expired - Fee Related JP4280705B2 (ja) | 2003-12-01 | 2004-12-01 | ガスセンサ |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP4280705B2 (ja) |
Cited By (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2006337110A (ja) * | 2005-05-31 | 2006-12-14 | Ngk Spark Plug Co Ltd | ガスセンサ |
JP2008292344A (ja) * | 2007-05-25 | 2008-12-04 | Ngk Spark Plug Co Ltd | ガスセンサ |
JP2012002721A (ja) * | 2010-06-18 | 2012-01-05 | Ngk Spark Plug Co Ltd | ガスセンサ |
JP2014074720A (ja) * | 2013-12-16 | 2014-04-24 | Fis Inc | ガス検出装置 |
JP2014081367A (ja) * | 2012-09-25 | 2014-05-08 | Hokuriku Electric Ind Co Ltd | ガスセンサ |
Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2022020159A (ja) | 2020-07-20 | 2022-02-01 | Tdk株式会社 | センサーモジュール |
-
2004
- 2004-12-01 JP JP2004348190A patent/JP4280705B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2006337110A (ja) * | 2005-05-31 | 2006-12-14 | Ngk Spark Plug Co Ltd | ガスセンサ |
JP4732804B2 (ja) * | 2005-05-31 | 2011-07-27 | 日本特殊陶業株式会社 | ガスセンサ及びその製造方法 |
JP2008292344A (ja) * | 2007-05-25 | 2008-12-04 | Ngk Spark Plug Co Ltd | ガスセンサ |
JP2012002721A (ja) * | 2010-06-18 | 2012-01-05 | Ngk Spark Plug Co Ltd | ガスセンサ |
JP2014081367A (ja) * | 2012-09-25 | 2014-05-08 | Hokuriku Electric Ind Co Ltd | ガスセンサ |
JP2014074720A (ja) * | 2013-12-16 | 2014-04-24 | Fis Inc | ガス検出装置 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP4280705B2 (ja) | 2009-06-17 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
KR20060096517A (ko) | 가스센서 | |
EP1065476B1 (en) | Thermal airflow sensor | |
JP4732804B2 (ja) | ガスセンサ及びその製造方法 | |
JP4381117B2 (ja) | センサ素子実装パッケージ | |
JP2010068446A (ja) | 音響的トランスデューサユニット | |
JP2011511291A (ja) | Pcb圧力センサにおける一体型空洞 | |
JP5847385B2 (ja) | 圧力センサ装置及び該装置を備える電子機器、並びに該装置の実装方法 | |
JP4280705B2 (ja) | ガスセンサ | |
JP5971221B2 (ja) | 空気流量測定装置 | |
WO2006035626A1 (ja) | 発光体ユニット | |
JPH08320341A (ja) | 力学量検出装置 | |
JP6215783B2 (ja) | 配線基板、測温体および測温装置 | |
JP2008026080A (ja) | 圧力センサ | |
JP2007088194A (ja) | セラミックパッケージの製造方法 | |
JP2007081219A (ja) | 電子部品 | |
JP2011237220A (ja) | ガス検出装置 | |
JP7312708B2 (ja) | 電子部品収納用パッケージ、電子装置および電子モジュール | |
JP7471947B2 (ja) | センサーモジュール | |
JP2007048867A (ja) | 電子部品用セラミックパッケージおよび電子部品用セラミックパッケージの製造方法、電子部品の製造方法 | |
WO2023120354A1 (ja) | セラミック基板、セラミック基板の製造方法、配線基板、パッケージ、マイク装置、ガスセンサ装置 | |
EP4040476A1 (en) | Photodetector | |
JP7212783B2 (ja) | 電子素子実装用基板、電子装置、電子モジュールおよび電子素子実装用基板の製造方法 | |
CN218584256U (zh) | 气压计 | |
JP6605971B2 (ja) | センサ用パッケージおよびセンサ装置 | |
JP2010251516A (ja) | 多層セラミック基板の製造方法と、多層セラミック基板を用いた空気流量計 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20061115 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20080806 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20080826 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20081022 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20081209 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20090126 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20090224 |
|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20090316 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120319 Year of fee payment: 3 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120319 Year of fee payment: 3 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120319 Year of fee payment: 3 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130319 Year of fee payment: 4 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130319 Year of fee payment: 4 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20140319 Year of fee payment: 5 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |