JP2005174948A - Manufacturing system of xenon discharge tube, manufacturing method of xenon discharge tube, and manufacturing tool of xenon discharge tube - Google Patents

Manufacturing system of xenon discharge tube, manufacturing method of xenon discharge tube, and manufacturing tool of xenon discharge tube Download PDF

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英明 竹内
Tsutomu Hida
勉 飛田
Tatsuya Isomura
竜矢 磯村
Shoji Nishida
昭二 西田
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  • Manufacture Of Electron Tubes, Discharge Lamp Vessels, Lead-In Wires, And The Like (AREA)

Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To realize full automation of a manufacturing process of a xenon discharge tube to achieve improvement of production efficiency of the xenon discharge tube. <P>SOLUTION: A primary sealed product is produced by fusing the one end part of a glass tube to the rear end part of an electrode rod fixed to an anode side lead in an anode side assembly process S1; and a cathode body is produced by fixing the cathode of ring shape to the front end part of the electrode rod fixed to the front end of the cathode side lead by means of caulking in a cathode side assembly process S2. The xenon discharge tube is produced by fusing the other end part of the glass tube in the primary sealed product to the rear end part of the electrode rod fixed to the cathode side lead in the cathode body in an assembly process S3. An anode side tool is used for producing the primary sealed product in the anode side assembly process S1, and a cathode side tool is used for secondary sealing in the assembly process S3. <P>COPYRIGHT: (C)2005,JPO&NCIPI

Description

本発明は、キセノン放電管の製造方法に関し、特に、製造工程の全自動化を図る上で好適なキセノン放電管の製造方法に関する。   The present invention relates to a method for manufacturing a xenon discharge tube, and in particular, to a method for manufacturing a xenon discharge tube suitable for achieving full automation of the manufacturing process.

一般に、キセノン放電管は、キセノンガスのアーク放電を利用した放電管であり、キセノンガスが封入されたガラス管内に陰極と陽極とが互いに対向配置された構成を有する。このキセノン放電管は、ガラス管へのキセノンガスの封入ガス圧が0.5〜15atm前後であり、そのエネルギー分布はキセノンガスによる輝線を除けばほとんど太陽光のエネルギー分布と近似している。即ち、点光源で輝度が高く、自然昼光色に近い特性を有し、紫外線から可視光線、赤外線付近までほぼ連続したスペクトルが得られる。   In general, a xenon discharge tube is a discharge tube using arc discharge of xenon gas, and has a configuration in which a cathode and an anode are arranged to face each other in a glass tube filled with xenon gas. In this xenon discharge tube, the gas pressure of the xenon gas in the glass tube is around 0.5 to 15 atm, and its energy distribution is almost similar to the energy distribution of sunlight except for the emission line due to xenon gas. That is, a point light source has high brightness and has characteristics close to natural daylight color, and a substantially continuous spectrum from ultraviolet rays to visible rays and near infrared rays can be obtained.

また、このキセノン放電管は、電気エネルギーから光エネルギーへの変換効率が高く、封入圧力5atmで変換効率は50%を越える。100Wのキセノン放電管で2500cd/mm2、25kWのキセノン放電管で最大10000cd/mm2が得られる。 Further, this xenon discharge tube has a high conversion efficiency from electric energy to light energy, and the conversion efficiency exceeds 50% at a sealing pressure of 5 atm. A 100 W xenon discharge tube gives 2500 cd / mm 2 and a 25 kW xenon discharge tube gives a maximum of 10,000 cd / mm 2 .

用途としては、白色光源として用いられるほかに、近赤外線並びに紫外線用光源としても用いられる。また、製版用、複写等写真撮影用、焼付け用、映画やスライドの映写用としても実用に供されている。   In addition to being used as a white light source, it is also used as a light source for near infrared rays and ultraviolet rays. It is also practically used for photoengraving, photo-taking such as copying, printing, movie and slide projection.

特に、極めて短時間だけ発光するような構造にしたキセノン閃光ランプは、キセノン放電管に対して、コンデンサに蓄えられた直流電圧を印加しておき、トリガー電極への超高圧印加によって達成される。即ち、前記高電圧印加によって放電管内のキセノンガスがイオン化し、これにより、管内抵抗が破れて放電し、極めて短時間(数100分の1〜数10000分の1秒)に昼光に近い光(エレクトロニック閃光)を出すこととなる。この閃光は、ストロボとも呼ばれる。   In particular, a xenon flash lamp having a structure that emits light for a very short time is achieved by applying a DC voltage stored in a capacitor to a xenon discharge tube and applying an ultrahigh voltage to a trigger electrode. That is, the xenon gas in the discharge tube is ionized by the application of the high voltage, whereby the resistance in the tube is broken and discharged, and light close to daylight in a very short time (a few hundredths to a few hundredths of a second). (Electronic flash) will be emitted. This flash is also called a strobe.

ところで、従来においては、前記キセノン放電管を製造する際、キセノン放電管自体が非常に小さいことと、ガラス管内にキセノンガスと共に陰極や陽極を封入する必要から、全体の製造工程を細分化し、その細分化された各工程での作業を人手によって行うようにしている。そのため、キセノン放電管の生産効率の向上には自ずから限界が生じるという問題があった。   By the way, conventionally, when manufacturing the xenon discharge tube, since the xenon discharge tube itself is very small and the cathode and anode together with the xenon gas need to be sealed in the glass tube, the entire manufacturing process is subdivided. The work in each subdivided process is performed manually. For this reason, there has been a problem in that the production efficiency of the xenon discharge tube is naturally limited.

本発明はこのような課題を考慮してなされたものであり、キセノン放電管の製造工程の全自動化を実現することができ、キセノン放電管の生産効率の改善を達成させることができるキセノン放電管の製造方法を提供することを目的とする。   The present invention has been made in view of such problems, and can realize the full automation of the manufacturing process of the xenon discharge tube, and can improve the production efficiency of the xenon discharge tube. It aims at providing the manufacturing method of.

請求項1記載の本発明に係るキセノン放電管の製造方法は、多数の孔が設けられた陽極側治具の前記多数の孔にそれぞれ多数本の陽極側リードを挿入する陽極側振込み工程と、多数のガラス管の一端部を、それぞれ対応する陽極側リードの陽極を囲むように前記陽極側治具に挿入する陽極側ガラス管挿入工程と、前記陽極側治具を通電加熱して前記多数のガラス管をそれぞれ対応する前記陽極側リードに融着することにより、一次封止品を作製する一次封止工程と、多数の孔が設けられた陰極側治具の前記多数の孔にそれぞれ多数本の陰極側リードを挿入する陰極側振込み工程と、前記一次封止品の前記ガラス管の他端部を、それぞれ対応する陰極側リードの陰極を囲むように前記陰極側治具に挿入する陰極側ガラス管挿入工程と、キセノンガス雰囲気で前記陰極側治具を通電加熱して、前記一次封止品のガラス管をそれぞれ対応する前記陰極側リードに融着する二次封止工程とを有することを特徴とする。   A method of manufacturing a xenon discharge tube according to the present invention as set forth in claim 1 includes: an anode side transfer step of inserting a plurality of anode side leads into the plurality of holes of the anode side jig provided with a number of holes, An anode side glass tube insertion step of inserting one end portions of a large number of glass tubes into the anode side jig so as to surround the anodes of the corresponding anode side leads, A glass tube is fused to the corresponding anode side lead to produce a primary sealing product, and a large number of holes are provided in the numerous holes of the cathode side jig provided with a large number of holes. A cathode-side transfer step of inserting the cathode-side lead and a cathode side of inserting the other end portion of the glass tube of the primary sealed product into the cathode-side jig so as to surround the cathode of the corresponding cathode-side lead. Glass tube insertion process and xenon It energized heating the cathode-side jig in scan atmosphere, and having a secondary sealing step of fusing the glass tube of the primary sealing products to the corresponding said cathode-side lead.

これにより、陽極側においては、まず、陽極側振込み工程において、陽極側治具の多数の孔(陽極側リード挿通孔)にそれぞれ多数本の陽極側リードが挿入され、次の陽極側ガラス管挿入工程において、多数のガラス管の一端部が、それぞれ対応する陽極側リードの陽極を囲むように陽極側治具に挿入される。その後、次の一次封止工程において、陽極側治具が通電加熱され、これにより、多数のガラス管がそれぞれ対応する陽極側リードに融着された一次封止品が作製される。   Thus, on the anode side, first, in the anode side transfer step, a large number of anode side leads are inserted into a large number of holes (anode side lead insertion holes) of the anode side jig, and the next anode side glass tube is inserted. In the process, one end portions of a large number of glass tubes are inserted into the anode side jig so as to surround the anodes of the corresponding anode side leads. Thereafter, in the next primary sealing step, the anode side jig is energized and heated, thereby producing a primary sealed product in which a number of glass tubes are fused to the corresponding anode side leads.

一方、陰極側では、陰極側振込み工程において、陰極側治具の多数の孔(陰極側リード挿通孔)にそれぞれ多数本の陰極側リードが挿入される。   On the other hand, on the cathode side, a large number of cathode side leads are inserted into a large number of holes (cathode side lead insertion holes) in the cathode side jig in the cathode side transfer step.

そして、次の陰極側ガラス管挿入工程において、一次封止品におけるガラス管の他端部が、それぞれ対応する陰極側リードの陰極を囲むように陰極側治具に挿入され、次の二次封止工程において、キセノンガス雰囲気で陰極側治具が通電加熱される。この通電加熱によって、一次封止品のガラス管がそれぞれ対応する陰極側リードに融着されて、ガラス管内にキセノンガスが封入されたキセノン放電管が完成する。   Then, in the next cathode side glass tube insertion step, the other end portion of the glass tube in the primary sealed product is inserted into the cathode side jig so as to surround the cathode of the corresponding cathode side lead, and the next secondary sealing is performed. In the stopping process, the cathode side jig is energized and heated in the xenon gas atmosphere. By this energization heating, the glass tube of the primary sealing product is fused to the corresponding cathode side lead, and the xenon discharge tube in which the xenon gas is sealed in the glass tube is completed.

この場合、前記陽極側治具が、多数の陽極側リード(ワーク)をまとめて次の陽極側ガラス管挿入工程に搬送するための搬送部材として、また、多数の一次封止品(ワーク)をまとめて次の陰極側ガラス管挿入工程に搬送するための搬送部材として機能すると共に、多数の陽極側リードにそれぞれ対応するガラス管の一端部を融着させるための支持部材としても機能することになる。   In this case, the anode side jig collects a large number of anode side leads (workpieces) together as a conveying member for conveying to the next anode side glass tube insertion step, and a large number of primary sealed products (workpieces). In addition to functioning as a transport member for transporting to the next cathode-side glass tube insertion step, it also functions as a support member for fusing one end of the glass tube corresponding to each of a number of anode-side leads. Become.

同様に、前記陰極側治具が、多数の陰極側リード(ワーク)をまとめて次の陰極側ガラス管挿入工程に搬送するための搬送部材として機能すると共に、多数の陰極側リードにそれぞれ対応するガラス管の他端部を融着させるための支持部材としても機能することになる。   Similarly, the cathode side jig functions as a transport member for collectively transporting a large number of cathode side leads (workpieces) to the next cathode side glass tube insertion step, and corresponds to each of the large number of cathode side leads. It also functions as a support member for fusing the other end of the glass tube.

即ち、陽極側ワーク(多数の陽極側リード及び多数の一次封止品)の搬送をすべて陽極側治具で行うことができ、陰極側ワーク(多数の陰極側リード)の搬送をすべて陰極側治具で行うことができることから、キセノン放電管の製造工程における各工程のワークの受け渡しが治具(陽極側治具及び陰極側治具)の移動だけで済み、オペレータの作業を簡素化させることができる。   That is, all the anode side workpieces (many anode side leads and many primary encapsulated products) can be transported with the anode side jig, and all the cathode side workpieces (many cathode side leads) are transported on the cathode side. Since it can be performed with tools, the transfer of workpieces in each process in the manufacturing process of the xenon discharge tube can be performed only by moving the jigs (anode side jig and cathode side jig), and the operator's work can be simplified. it can.

また、前記陽極側治具及び陰極側治具を通電加熱してガラス管と各種リードとの融着を行うようにしているため、一次封止及び二次封止について共用できる設備を構築することができ、製造設備の製作効率や稼働効率を高めることができる。   Moreover, since the anode side jig and the cathode side jig are energized and heated so that the glass tube and various leads are fused, a facility that can be used for both primary sealing and secondary sealing is constructed. It is possible to increase the production efficiency and operation efficiency of the manufacturing facility.

このように、本発明に係るキセノン放電管の製造方法においては、各種ワークの搬送作業並びにガラス融着作業を治具を通じて一貫して行うことができるため、製造ラインの全自動化を実現させることができ、キセノン放電管の生産効率の改善を達成させることができる。   As described above, in the method for manufacturing a xenon discharge tube according to the present invention, since the work of conveying various workpieces and the glass fusing work can be performed consistently through the jig, it is possible to realize full automation of the production line. It is possible to improve the production efficiency of the xenon discharge tube.

そして、前記製造方法において、前記二次封止工程から排出された二次工程品の前記陽極側リードと前記陰極側リードをそれぞれ所定の長さに切断するリード切断工程を含むようにしてもよい(請求項2記載の発明)。このリード切断工程を経ることによって、実質的にキセノン放電管が完成することとなる。   The manufacturing method may include a lead cutting step of cutting each of the anode side lead and the cathode side lead of the secondary process product discharged from the secondary sealing step into a predetermined length. Item 2). Through this lead cutting step, the xenon discharge tube is substantially completed.

前記陽極側治具としては、例えばその一主面に前記ガラス管の一端部が挿入可能とされた多数の凹部を有し、前記各凹部の底部中央に、前記陽極側治具の他主面まで貫通し、かつ、前記陽極側リードが挿通可能とされた陽極側リード挿通孔が設けられた構成のものを使用することができる(請求項3記載の発明)。この場合、前記陽極側振込み工程において、前記陽極側治具の多数の陽極側リード挿通孔にそれぞれ陽極側リードが挿入され、次の陽極側ガラス管挿入工程において、前記陽極側治具の多数の凹部にそれぞれガラス管の一端部が挿入される。これによって、多数のガラス管の一端部が、それぞれ対応する陽極側リードの陽極を囲むように前記陽極側治具に挿入されることになる。   The anode-side jig has, for example, a large number of recesses into which one end of the glass tube can be inserted on one main surface thereof, and the other main surface of the anode-side jig at the center of the bottom of each recess. And an anode side lead insertion hole through which the anode side lead can be inserted can be used (invention of claim 3). In this case, in the anode-side transfer step, anode-side leads are respectively inserted into a number of anode-side lead insertion holes of the anode-side jig, and in the next anode-side glass tube insertion step, a large number of anode-side jigs are inserted. One end of the glass tube is inserted into each of the recesses. Thus, one end portions of a large number of glass tubes are inserted into the anode side jig so as to surround the anodes of the corresponding anode side leads.

また、前記陰極側治具としては、例えばその一主面に前記ガラス管の他端部が挿入可能とされた多数の凹部を有し、前記各凹部の底部中央に、前記陰極側治具の他主面まで貫通し、かつ、前記陰極側リードが挿通可能とされた陰極側リード挿通孔が設けられた構成のものを使用することができる(請求項4記載の発明)。この場合、前記陰極側振込み工程において、前記陰極側治具の多数の陰極側リード挿通孔にそれぞれ陰極側リードが挿入され、次の陰極側ガラス管挿入工程において、前記陰極側治具の多数の凹部にそれぞれガラス管の他端部が挿入される。これによって、多数のガラス管の他端部が、それぞれ対応する陰極側リードの陰極を囲むように前記陰極側治具に挿入されることになる。   Further, as the cathode side jig, for example, it has a large number of recesses into which the other end portion of the glass tube can be inserted on one main surface, and the cathode side jig is provided at the center of the bottom of each recess. The thing of the structure penetrated to the other main surface and provided with the cathode side lead insertion hole which the said cathode side lead was able to be inserted can be used (invention of Claim 4). In this case, the cathode side lead is inserted into the cathode side lead insertion holes of the cathode side jig in the cathode side transfer step, and the cathode side glass tube insertion step is followed by a number of cathode side jigs. The other end of the glass tube is inserted into the recess. Accordingly, the other end portions of the multiple glass tubes are inserted into the cathode side jig so as to surround the cathodes of the corresponding cathode side leads.

そして、前記製造方法において、前記陽極側振込み工程に、前記陽極側リードへのガラスビーズの挿通工程を含むようにしてもよい(請求項5記載の発明)。これにより、その後の一次封止工程において、陽極側リードにガラス管の一端部を融着させる際に、ガラスビーズが介在することとなるため、陽極側リードへのガラス管の一端部の融着が迅速に、かつ確実に行われることになる。   And in the said manufacturing method, you may make it include the insertion process of the glass bead to the said anode side lead in the said anode side transfer process (invention of Claim 5). Thereby, in the subsequent primary sealing process, when one end of the glass tube is fused to the anode side lead, the glass bead is interposed, so the one end of the glass tube is fused to the anode side lead. Will be done quickly and reliably.

一方、前記陰極側振込み工程において、陰極側リードを陰極側治具に挿入する前に、前記陰極側リードにガラスビーズを取り付けるようにしてもよい(請求項6記載の発明)。   On the other hand, in the cathode side transfer step, glass beads may be attached to the cathode side lead before the cathode side lead is inserted into the cathode side jig (the invention according to claim 6).

また、前記ガラスビーズを挿入させる場合においては、前記陽極側治具を通電加熱して前記陽極側リードに前記ガラスビーズを融着するビーズ付け工程を含むことが好ましい(請求項7記載の発明)。これによって、ガラスビーズが陽極側リードに仮止めされることから、ガラスビーズの不測の落下やガラスビーズがリードから外れるということが有効に防止され、ガラスビーズを用いたキセノン放電管の信頼性の向上を図ることができる。   In addition, in the case of inserting the glass beads, it is preferable to include a beading step of energizing and heating the anode side jig to fuse the glass beads to the anode side lead (the invention according to claim 7). . As a result, since the glass beads are temporarily fixed to the anode side lead, it is effectively prevented that the glass beads are accidentally dropped or the glass beads are detached from the lead, and the reliability of the xenon discharge tube using the glass beads is improved. Improvements can be made.

また、前記製造方法において、リード線の先端部分に陰極を挿入してかしめ固定する陰極かしめ工程を含むようにしてもよい(請求項8記載の発明)。リード線の先端部分に陰極がかしめ固定されることによって、前記陰極側リードとされる。   Further, the manufacturing method may include a cathode caulking step in which a cathode is inserted and fixed to a tip portion of a lead wire (the invention according to claim 8). The cathode side lead is obtained by caulking and fixing the cathode to the leading end portion of the lead wire.

この場合、前記陰極かしめ工程として、先端部分に予めガラスビーズを取り付け、その後、リード線の前記先端部分に陰極をかしめ固定することが好ましい(請求項9記載の発明)。   In this case, it is preferable that, as the cathode caulking step, glass beads are previously attached to the tip portion, and then the cathode is caulked and fixed to the tip portion of the lead wire (the invention according to claim 9).

また、前記製造方法において、前記二次封止工程に、陰極側治具の通電加熱に先立って負圧雰囲気にさらすことにより、少なくともガラス管内の不純物を除去するクリーン化工程と、負圧雰囲気及びキセノンガス雰囲気にて前記陰極側治具を通電加熱する封止工程と、負圧雰囲気で少なくとも前記陰極側治具を冷却する冷却工程を含めるようにしてもよい(請求項10記載の発明)。   In the manufacturing method, the secondary sealing step is exposed to a negative pressure atmosphere prior to energization heating of the cathode side jig, thereby removing at least impurities in the glass tube, a negative pressure atmosphere, and A sealing step of energizing and heating the cathode side jig in a xenon gas atmosphere and a cooling step of cooling at least the cathode side jig in a negative pressure atmosphere may be included (invention according to claim 10).

これにより、まず、一次封止品の前記ガラス管が挿入された陰極側治具は、クリーン化工程に投入される。このクリーン化工程では、陰極側治具への通電加熱に先立って、該陰極側治具が負圧雰囲気にさらされることから、陰極側治具に挿入されたガラス管の内部に存する不純物は、前記負圧によって外方に除去されることになる。   Thereby, first, the cathode side jig | tool in which the said glass tube of the primary sealing product was inserted is thrown into the cleaning process. In this cleaning process, prior to energization heating to the cathode side jig, the cathode side jig is exposed to a negative pressure atmosphere, so impurities present in the glass tube inserted into the cathode side jig are It will be removed outward by the negative pressure.

その後、前記ガラス管が挿入された陰極側治具は、次の封止工程に投入される。この封止工程において、陰極側治具が負圧雰囲気及びキセノンガス雰囲気にて通電加熱され、該加熱によって、一次封止品のガラス管がそれぞれ対応する陰極側リードに融着されて、ガラス管内にキセノンガスが封入されたキセノン放電管とされる。   Thereafter, the cathode side jig into which the glass tube is inserted is put into the next sealing step. In this sealing process, the cathode side jig is energized and heated in a negative pressure atmosphere and a xenon gas atmosphere, and by the heating, the glass tubes of the primary sealed product are fused to the corresponding cathode side leads, respectively, The xenon discharge tube is filled with xenon gas.

そして、前記封止工程から排出されたキセノン放電管は、次の冷却工程において、負圧雰囲気下で冷却される。   Then, the xenon discharge tube discharged from the sealing step is cooled in a negative pressure atmosphere in the next cooling step.

このように、本発明に係るキセノン放電管の製造方法においては、二次封止工程の初段において、クリーン化処理を行うようにしているため、完成されたキセノン放電管は、ガラス管内に不要な不純物がほとんどないものとなり、高輝度で、かつ、高品質のキセノン放電管を得ることができる。また、負圧雰囲気下で陰極側治具を通電加熱するようにしているため、陰極側治具からの熱発散分布が、陰極側治具にセットされた多数の一次封止品に関してほぼ均一となり、ガラス融着に関する放電管単位のばらつきを小さくすることができ、キセノン放電管の歩留まりの向上を効率よく実現させることができる。   As described above, in the method for manufacturing a xenon discharge tube according to the present invention, since the cleaning process is performed in the first stage of the secondary sealing step, the completed xenon discharge tube is unnecessary in the glass tube. There is almost no impurity, and a high-quality and high-quality xenon discharge tube can be obtained. In addition, since the cathode side jig is energized and heated in a negative pressure atmosphere, the heat divergence distribution from the cathode side jig is almost uniform for many primary sealed products set in the cathode side jig. In addition, it is possible to reduce the variation of discharge tube units related to glass fusion, and to efficiently improve the yield of xenon discharge tubes.

また、次の冷却工程では、負圧雰囲気にてキセノン放電管を冷却するようにしているため、多数のキセノン放電管に対する冷却度合いのばらつきもほとんどなくなり、局部的な過冷却や未冷却状態を有効に防止できる。これは、キセノン放電管の高品質化、高信頼性化につながる。   In the next cooling process, the xenon discharge tube is cooled in a negative pressure atmosphere, so there is almost no variation in the degree of cooling for a large number of xenon discharge tubes, and local overcooling and uncooled conditions are effective. Can be prevented. This leads to higher quality and higher reliability of the xenon discharge tube.

以上説明したように、本発明に係るキセノン放電管の製造方法によれば、多数の孔が設けられた陽極側治具の前記多数の孔にそれぞれ多数本の陽極側リードを挿入する陽極側振込み工程と、多数のガラス管の一端部を、それぞれ対応する陽極側リードの陽極を囲むように前記陽極側治具に挿入する陽極側ガラス管挿入工程と、前記陽極側治具を通電加熱して前記多数のガラス管をそれぞれ対応する前記陽極側リードに融着することにより、一次封止品を作製する一次封止工程と、多数の孔が設けられた陰極側治具の前記多数の孔にそれぞれ多数本の陰極側リードを挿入する陰極側振込み工程と、前記一次封止品の前記ガラス管の他端部を、それぞれ対応する陰極側リードの陰極を囲むように前記陰極側治具に挿入する陰極側ガラス管挿入工程と、キセノンガス雰囲気で前記陰極側治具を通電加熱して、前記一次封止品のガラス管をそれぞれ対応する前記陰極側リードに融着する二次封止工程とを有することを特徴としている。   As described above, according to the method of manufacturing a xenon discharge tube according to the present invention, anode side transfer in which a large number of anode side leads are inserted into the numerous holes of the anode side jig provided with a large number of holes, respectively. A step of inserting an anode side glass tube into the anode side jig so that one end of each glass tube surrounds the anode of the corresponding anode side lead; A plurality of glass tubes are fused to the corresponding anode-side leads to form a primary sealing product, and a plurality of holes in the cathode-side jig provided with a large number of holes. The cathode side transfer step for inserting a large number of cathode side leads and the other end of the glass tube of the primary sealed product are inserted into the cathode side jig so as to surround the cathodes of the corresponding cathode side leads. Cathode side glass tube insertion process , By energizing heating the cathode-side jig in a xenon gas atmosphere, and characterized by having a secondary sealing step of fusing the glass tube of the primary sealing products to the corresponding said cathode-side lead.

このため、キセノン放電管の製造工程の全自動化を実現することができ、キセノン放電管の生産効率の改善を達成させることができるという効果が得られる。   For this reason, it is possible to achieve full automation of the manufacturing process of the xenon discharge tube, and the effect of improving the production efficiency of the xenon discharge tube can be obtained.

以下、本発明に係るキセノン放電管の製造方法の実施の形態例(以下、単に実施の形態に係る製造方法と記す)を図1〜図71を参照しながら説明する。   Hereinafter, an embodiment of a method for manufacturing a xenon discharge tube according to the present invention (hereinafter simply referred to as a manufacturing method according to an embodiment) will be described with reference to FIGS.

図1に示すように、本実施の形態に係る製造方法にて製造されるキセノン放電管10は、キセノンガスが封入されたガラス管12内に陰極14と陽極16とが互いに対向配置された構成を有する。   As shown in FIG. 1, a xenon discharge tube 10 manufactured by the manufacturing method according to the present embodiment has a configuration in which a cathode 14 and an anode 16 are arranged to face each other in a glass tube 12 filled with xenon gas. Have

陽極16は、金属製の陽極側リード18の先端部分にて構成され、あるいは陽極側リード18の先端に固着された別の金属部材、即ち陽極棒(電極棒)20にて構成されている。陰極14は、リング状の形状を有し、陰極側リード22の先端部分にかしめによって固着されている。   The anode 16 is composed of a tip portion of a metal anode-side lead 18 or another metal member fixed to the tip of the anode-side lead 18, that is, an anode rod (electrode rod) 20. The cathode 14 has a ring shape and is fixed to the tip portion of the cathode side lead 22 by caulking.

特に、この実施の形態では、陽極側リード18及び陰極側リード22は共に、ニッケルにて構成されており、前記陽極側リード18のインナー側端部24(溶接部分)は、その径が当該陽極側リード18におけるアウターリード26の径よりもわずかに大に設定され、その端面には陽極16を構成する金属製(例えばタングステン製)の陽極棒20が固着されている。   In particular, in this embodiment, both the anode side lead 18 and the cathode side lead 22 are made of nickel, and the inner side end portion 24 (welded portion) of the anode side lead 18 has a diameter of the anode side lead 24. The diameter of the outer lead 26 in the side lead 18 is set to be slightly larger, and a metal (for example, tungsten) anode rod 20 constituting the anode 16 is fixed to the end face thereof.

陰極側リード22においても、そのインナー側端部28(溶接部分)は、その径が当該陰極側リード22におけるアウターリード30の径よりもわずかに大に設定され、その端面には、陰極14を支持するための例えばタングステン製の電極棒(陰極棒)32が固着され、更に、該陰極棒32の先端部にリング状の陰極14が例えばかしめによって固着されている。   Also in the cathode side lead 22, the inner side end portion 28 (welded portion) is set to have a diameter slightly larger than the diameter of the outer lead 30 in the cathode side lead 22, and the cathode 14 is provided on the end surface. An electrode rod (cathode rod) 32 made of, for example, tungsten for supporting is fixed, and a ring-shaped cathode 14 is fixed to the tip of the cathode rod 32 by caulking, for example.

そして、ガラス管12の一端部12aが、前記陽極側リード18に固着された陽極棒20の後端部分に融着され、ガラス管12の他端部12bが、前記陰極側リード22に固着された陰極棒32の後端部分に融着されて、本実施の形態に係るキセノン放電管10が構成される。   Then, one end portion 12 a of the glass tube 12 is fused to the rear end portion of the anode rod 20 fixed to the anode side lead 18, and the other end portion 12 b of the glass tube 12 is fixed to the cathode side lead 22. The xenon discharge tube 10 according to the present embodiment is configured by being fused to the rear end portion of the cathode bar 32.

次に、本実施の形態に係るキセノン放電管の製造方法について図2の工程ブロック図を参照しながら説明する。   Next, a method for manufacturing a xenon discharge tube according to the present embodiment will be described with reference to the process block diagram of FIG.

本実施の形態に係る製造方法は、図2に示すように、陽極側組立工程S1において、ガラス管12の一端部12aを、陽極側リード18に固着された前記陽極棒20の後端部分に融着して一次封止品72(図4B参照)を作製し、陰極側組立工程S2において、陰極側リード22の先端に固着された陰極棒32の先端部にリング状の陰極14をかしめにより固着することによってカソード体74(図6参照)を作製し、組付け工程S3において、前記一次封止品72におけるガラス管12の他端部12bを、前記カソード体74における陰極側リード22に固着された前記陰極棒32の後端部分に融着することによって二次封止品80が作製され、その後、該二次封止品80に対して種々の検査を行って最終的にキセノン放電管10が作製される。   In the manufacturing method according to the present embodiment, as shown in FIG. 2, in the anode side assembly step S1, one end portion 12a of the glass tube 12 is attached to the rear end portion of the anode rod 20 fixed to the anode side lead 18. The primary sealed product 72 (see FIG. 4B) is manufactured by fusing, and in the cathode side assembly step S2, the ring-shaped cathode 14 is caulked to the tip of the cathode bar 32 fixed to the tip of the cathode side lead 22. The cathode body 74 (see FIG. 6) is manufactured by fixing, and the other end portion 12b of the glass tube 12 in the primary sealing product 72 is fixed to the cathode side lead 22 in the cathode body 74 in the assembling step S3. A secondary sealed product 80 is manufactured by fusing to the rear end portion of the cathode bar 32, and then various inspections are performed on the secondary sealed product 80 to finally form a xenon discharge tube. 10 made That.

特に、本実施の形態に係る製造方法においては、陽極側組立工程S1における一次封止品72の作製にあたって図3に示す陽極側封止用治具40が用いられ、組付け工程S3における二次封止品80の作製にあたって図4に示す陰極側封止用治具42が用いられる。   In particular, in the manufacturing method according to the present embodiment, the anode-side sealing jig 40 shown in FIG. 3 is used for producing the primary sealing product 72 in the anode-side assembly step S1, and the secondary-side in the assembly step S3. In producing the sealed product 80, the cathode side sealing jig 42 shown in FIG. 4 is used.

陽極側封止用治具40及び陰極側封止用治具42は共に、板状のヒータ本体44と、該ヒータ本体44を製造設備のステーション等に位置決め設置させるための取付け部材46と、ヒータ本体44を支持する複数本(例えば4本)の脚48を有して構成されている。前記取付け部材46は、ヒータ本体44の両端部に設けられ、これら封止用治具40及び42の端部を挟持する上下の支持板50及び52を有する。これら支持板50及び52並びにヒータ本体44には、上下方向にボルト54を挿通させるためのボルト挿通孔56が設けられている。そして、ボルト54をボルト挿通孔56に挿通して脚48にねじ込むことにより、前記ヒータ本体44が4本の脚48で支持されたそれぞれ1つの封止用治具40及び42として構成されることになる。   Both the anode side sealing jig 40 and the cathode side sealing jig 42 are a plate-shaped heater body 44, a mounting member 46 for positioning and installing the heater body 44 at a station of a manufacturing facility, and the heater. A plurality of (for example, four) legs 48 that support the main body 44 are provided. The attachment member 46 is provided at both ends of the heater body 44 and has upper and lower support plates 50 and 52 that sandwich the ends of the sealing jigs 40 and 42. The support plates 50 and 52 and the heater main body 44 are provided with bolt insertion holes 56 through which the bolts 54 are inserted in the vertical direction. The bolts 54 are inserted into the bolt insertion holes 56 and screwed into the legs 48 so that the heater main body 44 is configured as one sealing jig 40 and 42 supported by the four legs 48, respectively. become.

陽極側封止用治具40のヒータ本体44は、図5Bにも示すように、その一主面に、ガラス管12の一端部12aが挿入可能とされた凹部58が多数(例えば500個)、例えばマトリクス状に設けられ、これら凹部58の底部中央に、前記ヒータ本体44の他主面まで貫通し、かつ、陽極側リード18のアウターリード26が挿通可能とされたリード挿通孔60が設けられている。   As shown in FIG. 5B, the heater main body 44 of the anode-side sealing jig 40 has a large number (for example, 500) of recesses 58 in which one end portion 12a of the glass tube 12 can be inserted. For example, a lead insertion hole 60 that is provided in a matrix and penetrates to the other main surface of the heater main body 44 and into which the outer lead 26 of the anode-side lead 18 can be inserted is provided at the center of the bottom of the recess 58. It has been.

また、陰極側封止用治具42のヒータ本体44も、その一主面に、図5Aにも示すように、ガラス管12の他端部12bが挿入可能とされた凹部62が多数(例えば500個)、例えばマトリクス状に設けられ、これら凹部62の底部中央に、前記ヒータ本体44の他主面まで貫通し、かつ、陰極側リード22のアウターリード30が挿通可能とされたリード挿通孔64が設けられている。   Further, the heater main body 44 of the cathode side sealing jig 42 also has a large number of recesses 62 in which the other end 12b of the glass tube 12 can be inserted, as shown in FIG. 500), for example, in the form of a matrix, and lead insertion holes through which the outer main leads 30 of the cathode side lead 22 can be inserted through the center of the bottom of the recesses 62 up to the other main surface of the heater body 44. 64 is provided.

ここで、具体的に、本実施の形態に係る製造方法について説明する。まず、陽極側組立工程S1について説明すると、最初の陽極側振込み工程S11において、後述する振込みシステムを通じて、図6Aに示すように、陽極側封止用治具40の各リード挿通孔60にそれぞれ陽極側リード18を挿入する。   Here, the manufacturing method according to the present embodiment will be specifically described. First, the anode-side assembly step S1 will be described. In the first anode-side transfer step S11, through the transfer system described later, as shown in FIG. 6A, each anode is inserted into each lead insertion hole 60 of the anode-side sealing jig 40. The side lead 18 is inserted.

このとき、陽極側リード18の溶接部分24の径がアウターリード26よりも太く加工されて、リード挿通孔60の径よりも大とされているため、陽極側リード18の先端部分(溶接部分)24に固着されている陽極棒20は、必ず凹部58内に位置することになり、しかも、各陽極側リード18はその軸方向が鉛直方向に沿った状態となる。   At this time, the diameter of the welded portion 24 of the anode-side lead 18 is processed to be thicker than the outer lead 26 and larger than the diameter of the lead insertion hole 60. The anode rods 20 fixed to 24 are necessarily located in the recesses 58, and each anode lead 18 is in a state in which the axial direction thereof is along the vertical direction.

陽極側リード18の挿入方式としては、例えば2つの方式が挙げられ、1つは、例えば多数の陽極側リード18を例えばパーツフィーダにより、陽極側振込み工程S11に整列供給し、これら整列供給された多数の陽極側リード18を挿入機構を通じて順次陽極側封止用治具40の各リード挿通孔60に挿入する方式であり、他の1つは、トレイに入れられた多数の陽極側リード18を陽極側封止用治具40の各リード挿通孔60に挿入させる方式である。   For example, there are two methods for inserting the anode-side lead 18. One is, for example, a large number of anode-side leads 18 are aligned and supplied to the anode-side transfer step S 11 by, for example, a parts feeder, and these are supplied in alignment. In this method, a large number of anode-side leads 18 are sequentially inserted into each lead insertion hole 60 of the anode-side sealing jig 40 through an insertion mechanism, and the other is a method in which a large number of anode-side leads 18 placed in a tray are inserted. This is a method of inserting into each lead insertion hole 60 of the anode side sealing jig 40.

前記方式のいずれかによって、多数の陽極側リード18を陽極側封止用治具40の各リード挿通孔60に挿入した後、これら陽極側リード18を挿入した状態で、各陽極側リード18の陽極棒20にリング状のガラスビーズ70を挿入する。ガラスビーズ70は、その径が、陽極棒20の径よりも大で、かつ、陽極側リード18の先端部分24の径よりも小に設定されているため、陽極棒20の根元部分を囲むかたちで陽極側リード18の先端部分24に載置される。ガラスビーズ70を陽極棒20に挿入する方式としては、陽極側リード18を陽極側封止用治具40のリード挿通孔60に挿通する方式と同様の方式を採用することができる。   After inserting a large number of anode-side leads 18 into the lead insertion holes 60 of the anode-side sealing jig 40 by any of the above methods, the anode-side leads 18 are inserted in the state where the anode-side leads 18 are inserted. A ring-shaped glass bead 70 is inserted into the anode rod 20. Since the glass beads 70 have a diameter larger than the diameter of the anode rod 20 and smaller than the diameter of the tip portion 24 of the anode-side lead 18, the glass beads 70 surround the root portion of the anode rod 20. Is placed on the tip portion 24 of the anode lead 18. As a method of inserting the glass beads 70 into the anode rod 20, a method similar to the method of inserting the anode side lead 18 into the lead insertion hole 60 of the anode side sealing jig 40 can be adopted.

次に、図7〜図9を参照しながら陽極側リード18、陰極側リード22、ガラスビーズ70及びガラス管12の形状について説明する。   Next, the shapes of the anode-side lead 18, the cathode-side lead 22, the glass beads 70, and the glass tube 12 will be described with reference to FIGS.

陽極側リード18及び陰極側リード22における陽極棒20及び陰極棒32の径をdw、アウターリード26及び30の径をdn、溶接部分24及び28の径をdyとしたとき、
dw<dn<dy 又は dw=dn<dy
の関係を満足し、例えば、(dw,dn,dy)=(0.6mm,0.8mm,1.1mm)とすることが好ましい。
When the diameter of the anode rod 20 and the cathode rod 32 in the anode side lead 18 and the cathode side lead 22 is dw, the diameter of the outer leads 26 and 30 is dn, and the diameter of the welded portions 24 and 28 is dy,
dw <dn <dy or dw = dn <dy
For example, it is preferable that (dw, dn, dy) = (0.6 mm, 0.8 mm, 1.1 mm).

陰極棒32は、その先端部に陰極14が固着されるため、図7A及び図7Bに示すように、一般に、陽極棒20よりも長く形成される。つまり、陽極棒20の長さをLwa、陰極棒32の長さをLwcとするとき、Lwa<Lwcの関係を満足する。陽極側リード18及び陰極側リード22における各アウターリード26及び30の長さLna及びLncは、それぞれほぼ同一の長さ(Lna=Lnc)とされている。なお、陽極側リード18及び陰極側リード22における各溶接部分24及び28の長さLya及びLycもそれぞれほぼ同一とされている。   The cathode bar 32 is generally formed longer than the anode bar 20 as shown in FIGS. 7A and 7B because the cathode 14 is fixed to the tip portion thereof. That is, when the length of the anode rod 20 is Lwa and the length of the cathode rod 32 is Lwc, the relationship Lwa <Lwc is satisfied. The lengths Lna and Lnc of the outer leads 26 and 30 in the anode side lead 18 and the cathode side lead 22 are substantially the same length (Lna = Lnc). Note that the lengths Lya and Lyc of the welded portions 24 and 28 in the anode side lead 18 and the cathode side lead 22 are also substantially the same.

ガラスビーズ70は、図8Aに示すように、リング状に形成され、その外径dBoはガラス管12の中空部に挿入可能な大きさで、内径dBiは陽極棒20及び陰極棒32が挿入可能な大きさに設定されている。図8Aにおいて、ガラスビーズ70の高さをhBで示し、図8Bにおいて、ガラスビーズ70におけるその軸を中心とした縦断面の対角線の長さをLdで示す。 As shown in FIG. 8A, the glass bead 70 is formed in a ring shape, and its outer diameter d Bo is a size that can be inserted into the hollow portion of the glass tube 12, and the inner diameter d Bi is determined by the anode rod 20 and the cathode rod 32. It is set to a size that can be inserted. In FIG. 8A, the height of the glass bead 70 is indicated by h B , and in FIG. 8B, the length of the diagonal line of the vertical cross section around the axis of the glass bead 70 is indicated by Ld.

ガラス管12は、図9に示すように、ほぼ円筒形状に形成され、その長さLGはキセノン放電管10の使用目的に応じて任意に設定される。ガラス管12の内径dGiは、ガラスビーズ70及び陰極14が挿入可能な大きさとされる。ガラス管12の外径をdGoで示す。 The glass tube 12, as shown in FIG. 9, is formed in a substantially cylindrical shape, the length L G is optionally set depending on the intended use of the xenon discharge tube 10. The inner diameter d Gi of the glass tube 12 is set such that the glass beads 70 and the cathode 14 can be inserted. The outer diameter of the glass tube 12 is indicated by d Go .

次に、陽極側振込み工程S11(並びに後述する陰極側振込み工程S21)で使用される振込みシステムについて説明する。   Next, the transfer system used in the anode transfer step S11 (and the cathode transfer step S21 described later) will be described.

この振込みシステムは、上述した陽極側封止用治具40と陰極側封止用治具42のほかに、多数本の陽極側リード18又は多数本の陰極側リード22が貯えられるリード線用トレイ90(図10参照)と、多数個のガラスビーズ70が貯えられるビーズ用トレイ92(図11参照)と、該リード線用トレイ90から必要な本数の陽極側リード18又は陰極側リード22を受け取って前記陽極側封止用治具40又は陰極側封止用治具42に振り込むためのリード線振込み治具94(図12参照)と、前記ビーズ用トレイ92から必要な個数のガラスビーズ70を受け取って陽極側封止用治具40又は陰極側封止用治具42に振り込むためのビーズ振込み治具96(図13参照)が使用される。   In this transfer system, in addition to the anode side sealing jig 40 and the cathode side sealing jig 42 described above, a lead wire tray for storing a large number of anode side leads 18 or a large number of cathode side leads 22 is stored. 90 (see FIG. 10), a bead tray 92 (see FIG. 11) in which a large number of glass beads 70 are stored, and the required number of anode-side leads 18 or cathode-side leads 22 are received from the lead wire tray 90. A lead wire transfer jig 94 (see FIG. 12) for transferring to the anode side sealing jig 40 or the cathode side sealing jig 42, and a required number of glass beads 70 from the bead tray 92. A bead transfer jig 96 (see FIG. 13) is used for receiving and transferring it to the anode side sealing jig 40 or the cathode side sealing jig.

リード線用トレイ90は、図10に示すように、両側にフランジ部100を有する箱形に構成され、その内部には上面開口で平面矩形状のリード線収容部102が形成されている。このリード線収容部102は、縦横に配列された多数の仕切板104及び106によって多数の升108がマトリクス状に配列されたかたちを有する。各升108のサイズは、陽極側封止用治具40及び陰極側封止用治具42の各ヒータ本体44に設けられた凹部58及び62が4つ入る程度の大きさを有し、各升108の中には、複数本(例えば25本)の陽極側リード18あるいは陰極側リード22が陽極棒20あるいは陰極棒32を上方に向けて挿入、蓄積されている。   As shown in FIG. 10, the lead wire tray 90 is configured in a box shape having flange portions 100 on both sides, and a lead wire accommodating portion 102 having a flat rectangular shape with an opening on the upper surface is formed therein. The lead wire accommodating portion 102 has a shape in which a large number of ridges 108 are arranged in a matrix by a large number of partition plates 104 and 106 arranged vertically and horizontally. The size of each rod 108 has such a size that four recesses 58 and 62 provided in each heater body 44 of the anode side sealing jig 40 and the cathode side sealing jig 42 can be inserted. A plurality of (for example, 25) anode-side leads 18 or cathode-side leads 22 are inserted and stored in the cage 108 with the anode rod 20 or the cathode rod 32 facing upward.

ビーズ用トレイ92も、図11に示すように、両側にフランジ部110を有する箱形に構成され、その内部には上面開口で平面矩形状のビーズ収納部112が形成されている。このビーズ収納部112には、前記リード線用トレイ90に配設されているような仕切板104及び106は形成されておらず、1つの収容空間が展開されたかたちとなっている。   As shown in FIG. 11, the bead tray 92 is also configured in a box shape having flange portions 110 on both sides, and a flat rectangular bead storage portion 112 is formed in the inside thereof with an upper surface opening. The bead storage portion 112 is not formed with the partition plates 104 and 106 that are disposed in the lead wire tray 90, and is formed in a single storage space.

リード線振込み治具94は、図12に示すように、内部に空所120が形成された匣体122を有する。この匣体122の下面には、陽極側封止用治具40及び陰極側封止用治具42のリード挿通孔60及び64に対応した箇所に、断面ほぼ円形状の大孔124が形成されており、この大孔124の底部には前記空所120に連通するように断面ほぼ円形状の小孔126が形成されている。即ち、前記大孔124と小孔126は、同軸状に互いに連通し、匣体122の下面から空所120に達する1つの連通孔128を構成する。   As shown in FIG. 12, the lead wire transfer jig 94 has a housing 122 in which a void 120 is formed. A large hole 124 having a substantially circular cross section is formed on the lower surface of the housing 122 at locations corresponding to the lead insertion holes 60 and 64 of the anode side sealing jig 40 and the cathode side sealing jig 42. A small hole 126 having a substantially circular cross section is formed at the bottom of the large hole 124 so as to communicate with the void 120. In other words, the large hole 124 and the small hole 126 are coaxially connected to each other to form one communication hole 128 that reaches the space 120 from the lower surface of the housing 122.

前記匣体122の上部には、内部の空所120まで連通する真空引きのための孔130が形成され、この孔130は、真空ポンプ2352(図21参照)に第1の電磁弁2354(図21参照)を介して連結されたホース132が結合されている。   In the upper part of the housing 122, a hole 130 for evacuation communicating with the internal space 120 is formed. This hole 130 is connected to a vacuum pump 2352 (see FIG. 21) and a first electromagnetic valve 2354 (see FIG. 21) are connected to each other.

また、このリード線振込み治具94は、後述するように、リード線用トレイ90又は陽極側封止用治具40あるいは陰極側封止用治具42をチャッキング爪140(図3、図4、図10等参照)で抱え込んで当該リード線振込み治具94と密着させるためのチャッキング機構2314(図21参照)が設けられている。   Further, as will be described later, the lead wire transfer jig 94 includes a lead wire tray 90, an anode side sealing jig 40, or a cathode side sealing jig 42 as a chucking claw 140 (FIGS. 3 and 4). 10), a chucking mechanism 2314 (see FIG. 21) for holding the lead wire transfer jig 94 and bringing it into close contact with the lead wire transfer jig 94 is provided.

大孔124と小孔126は、以下のような条件を満足するように各サイズが設定されている。即ち、小孔126の径は、陽極棒20及び陰極棒32は挿入可能で、アウターリード26及び30は挿入不可とされたサイズを有し、大孔124の径は、2本以上の陽極側リード18又は陰極側リード22が挿入できない程度のサイズを有する。   Each size of the large hole 124 and the small hole 126 is set so as to satisfy the following conditions. That is, the diameter of the small hole 126 is such that the anode rod 20 and the cathode rod 32 can be inserted, and the outer leads 26 and 30 cannot be inserted, and the diameter of the large hole 124 is two or more anode sides. The lead 18 or the cathode side lead 22 has a size that cannot be inserted.

具体的には、前記大孔124の径をD、小孔126の径をdとしたとき、陽極側リード18及び陰極側リード22における陽極棒20及び陰極棒32の径dw、溶接部分24及び28の径dyとの関係は、
dw<d<dy
dy<D<2dw
とされる。
Specifically, when the diameter of the large hole 124 is D and the diameter of the small hole 126 is d, the diameter dw of the anode rod 20 and the cathode rod 32 in the anode side lead 18 and the cathode side lead 22, the welded portion 24 and The relationship between the diameter dy of 28 and
dw <d <dy
dy <D <2dw
It is said.

そして、リード線用トレイ90に蓄積されている多数本の陽極側リード18若しくは陰極側リード22をリード線振込み治具94の各連通孔128にそれぞれ1本ずつ挿入させる場合は、リード線振込み治具94に設けられたチャッキング機構2314(図21参照)のチャッキング爪140(図10参照)でリード線用トレイ90のフランジ部100を引っかけて該リード線用トレイ90を抱え込むことにより、該リード線用トレイ90とリード線振込み治具94とを互いにリード線収容部102と連通孔128とが対向するように密着させた後、これらリード線用トレイ90とリード線振込み治具94を反転させて、リード線振込み治具94を下側に位置させることにより行われる。更に、この状態で両者を密着させたまま揺動させることにより、確実性が増す。   When a large number of anode-side leads 18 or cathode-side leads 22 accumulated in the lead wire tray 90 are inserted into the communication holes 128 of the lead wire transfer jig 94 one by one, the lead wire transfer treatment is performed. By holding the lead wire tray 90 by hooking the flange portion 100 of the lead wire tray 90 with the chucking claws 140 (see FIG. 10) of the chucking mechanism 2314 (see FIG. 21) provided in the tool 94, After the lead wire tray 90 and the lead wire transfer jig 94 are brought into close contact with each other so that the lead wire receiving portion 102 and the communication hole 128 face each other, the lead wire tray 90 and the lead wire transfer jig 94 are reversed. The lead wire transfer jig 94 is positioned on the lower side. Further, the certainty is increased by swinging the two in close contact in this state.

このとき、リード線用トレイ90のリード線収容部102に蓄積されている多数本の陽極側リード18あるいは陰極側リード22がリード線振込み治具94に向かって自由落下し、そのうち、リード線振込み治具94の各連通孔128に対応する位置にあった陽極側リード18あるいは陰極側リード22がそのまま連通孔128に挿入されることとなる。この時点で、リード線振込み治具94の空所120を真空引きすることによって、各連通孔128に挿入された陽極側リード18あるいは陰極側リード22は該連通孔128内に保持される。つまり、各連通孔128と空所120は、リード線保持部142として機能することになる。   At this time, a large number of anode-side leads 18 or cathode-side leads 22 accumulated in the lead wire accommodating portion 102 of the lead wire tray 90 fall freely toward the lead wire transfer jig 94, and among them, the lead wire transfer The anode side lead 18 or the cathode side lead 22 located at the position corresponding to each communication hole 128 of the jig 94 is inserted into the communication hole 128 as it is. At this time, the void 120 of the lead wire transfer jig 94 is evacuated, whereby the anode side lead 18 or the cathode side lead 22 inserted into each communication hole 128 is held in the communication hole 128. That is, each communication hole 128 and the space 120 function as the lead wire holding portion 142.

リード線振込み治具94の各連通孔128に挿入された陽極側リード18あるいは陰極側リード22を陽極側封止用治具40あるいは陰極側封止用治具42の各凹部58あるいは62内に挿入する場合は、図12に示すように、真空引きによって各連通孔128に陽極側リード18あるいは陰極側リード22を保持した状態で上下反転し、その後、リード線振込み治具94に設けられたチャッキング機構2314(図21参照)のチャッキング爪140(図3、図4参照)で陽極側封止用治具40あるいは陰極側封止用治具42の下支持板52を引っかけて陽極側封止用治具40あるいは陰極側封止用治具42を抱え込むことにより、リード線振込み治具94と陽極側封止用治具40あるいは陰極側封止用治具42とを互いに連通孔128と凹部58あるいは62とが対向するように密着させ、更に前記真空引きを停止することにより行われる。更に、揺動を加えることによって確実性が増す。   The anode side lead 18 or the cathode side lead 22 inserted into each communication hole 128 of the lead wire transfer jig 94 is inserted into each recess 58 or 62 of the anode side sealing jig 40 or the cathode side sealing jig 42. In the case of insertion, as shown in FIG. 12, the anode side lead 18 or the cathode side lead 22 is held upside down by evacuation and the anode side lead 18 or cathode side lead 22 is held, and then the lead wire transfer jig 94 is provided. The anode side sealing jig 40 or the cathode side sealing jig 42 is hooked by the chucking claw 140 (see FIGS. 3 and 4) of the chucking mechanism 2314 (see FIG. 21) to catch the anode side. By holding the sealing jig 40 or the cathode side sealing jig 42, the lead wire transfer jig 94 and the anode side sealing jig 40 or the cathode side sealing jig 42 are connected to each other through the communication hole 128. When And parts 58 or 62 is adhered to face, is performed by further stop the evacuation. Furthermore, certainty is increased by adding rocking.

このとき、リード線振込み治具94の各連通孔128に挿入されていた陽極側リード18あるいは陰極側リード22が陽極側封止用治具40あるいは陰極側封止用治具42の凹部58あるいは62に向かって自由落下し、そのまま、陽極側リード18あるいは陰極側リード22のアウターリード26あるいは30が陽極側封止用治具40あるいは陰極側封止用治具42のリード挿通孔60あるいは64に挿入されることになる。   At this time, the anode side lead 18 or the cathode side lead 22 inserted into each communication hole 128 of the lead wire transfer jig 94 is replaced with the recess 58 or the anode side sealing jig 40 or the cathode side sealing jig 42. The outer lead 26 or 30 of the anode side lead 18 or the cathode side lead 22 is directly dropped toward the lead 62 and the lead insertion hole 60 or 64 of the anode side sealing jig 40 or the cathode side sealing jig 42 as it is. Will be inserted.

この場合、リード線振込み治具94の大孔124の軸線方向の深さをL1、陽極側リード18及び陰極側リード22における各アウターリード26及び30の長さをLn、溶接部分24及び28の長さをLy、並びに陽極側封止用治具40及び陰極側封止用治具42における各凹部58及び62の深さをLia及びLicとし、Ln+Ly−L1=Aとしたとき、
A<Lia
A<Lic
の関係を満足するように設定されている。つまり、リード線振込み治具94と陽極側封止用治具40あるいは陰極側封止用治具42とが密着したとき、陽極側リード18あるいは陰極側リード22の先端で陽極側封止用治具40あるいは陰極側封止用治具42の凹部58あるいは62を擦らないように、前記リード線振込み治具94の大孔124の深さL1が設定されている。
In this case, the depth in the axial direction of the large hole 124 of the lead wire transfer jig 94 is L1, the lengths of the outer leads 26 and 30 in the anode side lead 18 and the cathode side lead 22 are Ln, and the welding portions 24 and 28 When the length is Ly, and the depths of the recesses 58 and 62 in the anode side sealing jig 40 and the cathode side sealing jig 42 are Lia and Lic, and Ln + Ly−L1 = A,
A <Lia
A <Lic
It is set to satisfy the relationship. That is, when the lead wire transfer jig 94 and the anode side sealing jig 40 or the cathode side sealing jig 42 are in close contact with each other, the tip of the anode side lead 18 or the cathode side lead 22 is in contact with the anode side sealing jig. The depth L1 of the large hole 124 of the lead wire transfer jig 94 is set so as not to rub the recess 58 or 62 of the tool 40 or the cathode side sealing jig 42.

一方、ビーズ振込み治具96は、図13に示すように、内部に空所150が形成され、下面に周壁152が形成されて、該下面に開口面積の大きい例えば矩形状の凹部154が形成された匣体156を有する。前記凹部154の底部には、陽極側封止用治具40及び陰極側封止用治具42の凹部58及び62に対応した箇所に、断面ほぼ円形状の大孔158が形成されており、この大孔158の底部には、図14にも示すように、前記空所150に連通する断面ほぼ円形状の複数(例えば3つ)の小孔160が形成されている。即ち、前記大孔158と複数の小孔160は、互いに連通し、匣体156の下面から空所150に達する1つの連通孔162を構成する。   On the other hand, as shown in FIG. 13, the bead transfer jig 96 has a void 150 formed therein, a peripheral wall 152 formed on the lower surface, and a rectangular recess 154 having a large opening area formed on the lower surface. It has a housing 156. A large hole 158 having a substantially circular cross section is formed at the bottom of the recess 154 at a location corresponding to the recesses 58 and 62 of the anode side sealing jig 40 and the cathode side sealing jig 42. As shown in FIG. 14, a plurality of (for example, three) small holes 160 having a substantially circular cross section are formed at the bottom of the large hole 158 and communicate with the void 150. That is, the large hole 158 and the plurality of small holes 160 communicate with each other to form one communication hole 162 that reaches the space 150 from the lower surface of the housing 156.

また、前記匣体156の上部には、内部の空所150まで連通する真空引きのための孔164が形成され、この孔164は、真空ポンプ2352(図21参照)に第2の電磁弁2356(図21参照)を介して連結されたホース166が結合されている。   Further, a hole 164 for evacuation communicating with the internal space 150 is formed in the upper part of the housing 156, and this hole 164 is provided in the vacuum pump 2352 (refer to FIG. 21) to the second electromagnetic valve 2356. The hose 166 connected through (see FIG. 21) is coupled.

また、このビーズ振込み治具96は、後述するように、ビーズ用トレイ92あるいは陽極側封止用治具40あるいは陰極側封止用治具42をチャッキング爪140(図3、図4、図11参照)で抱え込んで当該ビーズ振込み治具96と密着させるためのチャッキング2機構2338(図21参照)が設けられている。   Further, as will be described later, the bead transfer jig 96 chucks the bead tray 92, the anode side sealing jig 40, or the cathode side sealing jig 42 with the chucking claws 140 (FIGS. 3, 4, and 5). 11)), a chucking 2 mechanism 2338 (see FIG. 21) is provided for holding it in close contact with the bead transfer jig 96.

大孔158の径は、ガラスビーズ70が必ず縦向き(軸が縦向き)に挿入されるような大きさに設定される。具体的には、大孔158の径をDFとしたとき、ガラスビーズ70の外径dBoと、ガラスビーズ70におけるその軸を中心とした縦断面の対角線の長さLd(図8B参照)との関係は、
Bo<DF<Ld
とされる。大孔158の径DFを前記対角線の長さLdより小さくすることにより、ガラスビーズ70が横向き(軸が横向き)になって大孔158内に挿入されることがない。ここで、前記対角線の長さLdは、ガラスビーズ70の高さをhBとすると、Ld2=dBo 2+hB 2である。
The diameter of the large hole 158 is set to such a size that the glass beads 70 are always inserted in the vertical direction (the axis is vertical). Specifically, when the diameter of the large hole 158 is DF , the outer diameter d Bo of the glass bead 70 and the length Ld of the diagonal line of the vertical cross section around the axis of the glass bead 70 (see FIG. 8B). The relationship with
d Bo <D F <Ld
It is said. By making the diameter DF of the large hole 158 smaller than the length Ld of the diagonal line, the glass beads 70 are not inserted into the large hole 158 in the horizontal direction (the axis is horizontal). Here, the length Ld of the diagonal line is Ld 2 = d Bo 2 + h B 2, where h B is the height of the glass beads 70.

また、小孔160の径dFは、ガラスビーズ70の外径dBoより小さいサイズに設定される。なお、周壁152の高さついては後述する。 The diameter d F of the small hole 160 is set to be smaller than the outer diameter d Bo of the glass bead 70. The height of the peripheral wall 152 will be described later.

そして、ビーズ用トレイ92に蓄積されている多数個のガラスビーズ70をビーズ振込み治具96の各連通孔162にそれぞれ1個ずつ挿入させる場合は、ビーズ振込み治具96に設けられたチャッキング機構2338(図21参照)のチャッキング爪140(図11参照)でビーズ用トレイ92のフランジ部110を引っかけて該ビーズ用トレイ92を抱え込むことにより、該ビーズ用トレイ92とビーズ振込み治具96とを互いにビーズ収納部112と連通孔162とが対向するように密着させた後、ビーズ振込み治具96を下側に位置させることにより行われる。更に、この状態で両者を密着させたまま揺動させると、確実性が増す。   When a large number of glass beads 70 accumulated in the bead tray 92 are inserted one by one into each communication hole 162 of the bead transfer jig 96, a chucking mechanism provided in the bead transfer jig 96 is used. The bead tray 92 and the bead transfer jig 96 are held by holding the bead tray 92 by hooking the flange portion 110 of the bead tray 92 with the chucking claws 140 (see FIG. 11) of 2338 (see FIG. 21). Are placed in close contact with each other so that the bead storage portion 112 and the communication hole 162 face each other, and then the bead transfer jig 96 is positioned on the lower side. Furthermore, if the two are swung in close contact with each other in this state, the reliability increases.

このとき、ビーズ用トレイ92のビーズ収納部112に蓄積されている多数個のガラスビーズ70がビーズ振込み治具96に向かって自由落下し、そのうち、ビーズ振込み治具96の各連通孔162に対応する位置にあったガラスビーズ70が軸を鉛直方向に向けた状態で連通孔162に挿入されることとなる。この時点で、ビーズ振込み治具96の空所150を真空引きすることによって、各連通孔162に挿入されたガラスビーズ70は該連通孔162内に保持される。つまり、各連通孔162と空所150は、ビーズ保持部168として機能することになる。   At this time, a large number of glass beads 70 accumulated in the bead storage portion 112 of the bead tray 92 freely fall toward the bead transfer jig 96, and among them, correspond to each communication hole 162 of the bead transfer jig 96. The glass beads 70 in the position to be inserted are inserted into the communication hole 162 with the axis directed in the vertical direction. At this time, the empty space 150 of the bead transfer jig 96 is evacuated, whereby the glass beads 70 inserted into the respective communication holes 162 are held in the communication holes 162. That is, each communication hole 162 and void 150 function as a bead holding portion 168.

ビーズ振込み治具96の各連通孔162に挿入されたガラスビーズ70を陽極側封止用治具40あるいは陰極側封止用治具42の各凹部58あるいは62内に挿入されている陽極側リード18あるいは陰極側リード22の陽極棒20あるいは陰極棒32に挿入する場合は、図13に示すように、真空引きによって各連通孔162にガラスビーズ70を保持した状態でビーズ振込み治具96を上下反転し、その後、ビーズ振込み治具96に設けられたチャッキング機構2338(図21参照)のチャッキング爪140(図3、図4参照)で陽極側封止用治具40あるいは陰極側封止用治具42の下支持板52を引っかけて陽極側封止用治具40あるいは陰極側封止用治具42を抱え込むことにより、該ビーズ振込み治具96と陽極側封止用治具40あるいは陰極側封止用治具42とを互いに連通孔162と凹部58あるいは62とが対向するように密着させ、更に前記真空引きを停止することにより行われる。更に、揺動を加えることによって確実性が増す。   The glass lead 70 inserted into each communication hole 162 of the bead transfer jig 96 is inserted into the respective recess 58 or 62 of the anode side sealing jig 40 or the cathode side sealing jig 42. 18 or when inserted into the anode rod 20 or cathode rod 32 of the cathode side lead 22, as shown in FIG. 13, the bead transfer jig 96 is moved up and down with the glass beads 70 held in the communicating holes 162 by evacuation. Then, the anode side sealing jig 40 or the cathode side sealing is performed by the chucking claw 140 (see FIGS. 3 and 4) of the chucking mechanism 2338 (see FIG. 21) provided in the bead transfer jig 96. By hooking the lower support plate 52 of the jig 42 and holding the anode-side sealing jig 40 or the cathode-side sealing jig 42, the bead transfer jig 96 and the anode-side sealing jig 0 or the the communication hole 162 and the recess 58 or 62 to each other cathode side sealing jig 42 is brought into close contact so as to face, is performed by further stop the evacuation. Furthermore, certainty is increased by adding rocking.

このとき、ビーズ振込み治具96の各連通孔162に挿入されていたガラスビーズ70が陽極側封止用治具40あるいは陰極側封止用治具42の凹部58あるいは62に向かって自由落下し、そのまま、陽極側リード18あるいは陰極側リード22の陽極棒20あるいは陰極棒32に挿入されることになる。   At this time, the glass beads 70 inserted into the respective communication holes 162 of the bead transfer jig 96 freely fall toward the recesses 58 or 62 of the anode side sealing jig 40 or the cathode side sealing jig 42. As it is, it is inserted into the anode rod 20 or the cathode rod 32 of the anode side lead 18 or the cathode side lead 22.

ここで、ビーズ振込み治具96の寸法関係、特に、大孔158の深さをHFとしたとき、ガラスビーズ70の高さhBとの関係は、
0.9hb<HF <1.2hB
とすることが好ましい。これは、大孔158は、挿入されているガラスビーズ70を落下させる際に、該ガラスビーズ70をその軸がほぼ鉛直に向くように案内するガイドとしても機能することから、大孔158の深さHFが浅いと、陽極側リード18あるいは陰極側リード22の陽極棒20あるいは陰極棒32にガラスビーズ70を挿入する際のガイドが十分に行われなくなり、ガラスビーズ70の挿入率が低下するおそれがある。反対に、大孔158の深さHFが深いと、1つの大孔158内に複数のガラスビーズ70が入り込んで重なって吸着されるおそれがある。
Here, the dimensional relationship of the bead transfer jig 96, in particular, when the depth of the large hole 158 and the H F, the relationship between the height h B of the glass bead 70,
0.9hb <H F <1.2h B
It is preferable that This is because the large hole 158 also functions as a guide for guiding the glass bead 70 so that its axis is substantially vertical when the inserted glass bead 70 is dropped. When the height HF is shallow, the guide for inserting the glass beads 70 into the anode rod 20 or the cathode rod 32 of the anode side lead 18 or the cathode side lead 22 is not sufficiently performed, and the insertion rate of the glass beads 70 is lowered. There is a fear. Conversely, if the depth H F of the large hole 158 is deep, there is a possibility that the adsorbed overlap enters a plurality of glass beads 70 in a single large hole 158.

従って、上述のような関係を保つことにより、ガラスビーズ70の挿入率が低下することや、1つの大孔158内に複数のガラスビーズ70が入り込んでしまうような不都合は生じない。   Therefore, by maintaining the relationship as described above, there is no inconvenience that the insertion rate of the glass beads 70 is reduced and a plurality of glass beads 70 enter into one large hole 158.

また、ビーズ振込み治具96における匣体156の下面に形成された周壁152の高さHSは、該ビーズ振込み治具96と陽極側封止用治具40あるいは陰極側封止用治具42とを互いに連通孔162と凹部58あるいは62とが対向するように密着させた場合に、連通孔162内に保持されたガラスビーズ70の下端と陽極側封止用治具40あるいは陰極側封止用治具42の凹部58あるいは62内に挿入されている陽極側リード18あるいは陰極側リード22の陽極棒20あるいは陰極棒32の先端との離間幅をCとし、ガラスビーズ70の高さをhBとしたとき、
0≪C<hB/2
の関係を満足するように設定される。
Further, the height H S of the peripheral wall 152 formed on the lower surface of the housing 156 in the bead transfer jig 96 is equal to the bead transfer jig 96 and the anode side sealing jig 40 or the cathode side sealing jig 42. Are closely contacted with each other so that the communication hole 162 and the recess 58 or 62 face each other, the lower end of the glass beads 70 held in the communication hole 162 and the anode side sealing jig 40 or the cathode side sealing. The distance between the anode side lead 18 or the cathode side lead 22 inserted into the recess 58 or 62 of the jig 42 and the tip of the anode bar 20 or the cathode bar 32 is C, and the height of the glass beads 70 is h. When B
0 << C <h B / 2
Is set to satisfy the relationship.

前記寸法Cがあまり小さいと、陽極棒20あるいは陰極棒32とガラスビーズ70が干渉(衝突等)して、ガラスビーズ70の欠けにつながる。反対に寸法Cが大きすぎると、ビーズ振込み治具96による真空引きを停止したとき、落下過程にあるガラスビーズ70の孔が陽極棒20あるいは陰極棒32への挿入ガイドにならなくなり、ガラスビーズ70の陽極棒20あるいは陰極棒32への挿入率が悪くなる。理想としては、前記寸法Cは、できるだけ0に近く、部品規格、製作誤差等を考慮しても陽極棒20あるいは陰極棒32とガラスビーズ70が干渉しない寸法であることが望ましい。   If the dimension C is too small, the anode rod 20 or the cathode rod 32 and the glass bead 70 interfere (impact) and lead to chipping of the glass bead 70. On the other hand, if the dimension C is too large, when the evacuation by the bead transfer jig 96 is stopped, the hole of the glass bead 70 in the dropping process does not become an insertion guide to the anode rod 20 or the cathode rod 32, and the glass bead 70 The insertion rate into the anode rod 20 or the cathode rod 32 becomes worse. Ideally, the dimension C is as close to 0 as possible, and it is desirable that the anode bar 20 or the cathode bar 32 and the glass beads 70 do not interfere with each other even in consideration of component standards, manufacturing errors, and the like.

ところで、ガラス管12の長さLGは、キセノン放電管10が使われる機種により一義的に決まる。キセノン放電管10の性能、例えば耐久性保証のためにアーク長LA(図1参照)を長くすることがある。陰極棒32は、陰極14を固着しなければならないため、ある程度の長さが必要であるのに対し、陽極棒20は、挿入されたガラスビーズ70の上端から陽極棒20が僅かに突出していればよく、その分長さを短縮することができる。 Incidentally, the length L G of the glass tube 12 is uniquely determined by the model xenon discharge tube 10 is used. In order to guarantee the performance of the xenon discharge tube 10, for example, durability, the arc length L A (see FIG. 1) may be increased. The cathode bar 32 needs to have a certain length because the cathode 14 has to be fixed, whereas the anode bar 20 has the anode bar 20 slightly protruding from the upper end of the inserted glass bead 70. The length can be shortened accordingly.

更に、陽極側封止用治具40と陰極側封止用治具42とでは、各凹部58及び62の形状が異なる。即ち、図5Aに示すように、陰極側封止用治具42は、凹部62に挿入された陰極側リード22の陰極棒32に固着されている陰極14に対して、ガラス封止のための熱をできるだけ伝達させないように、凹部62の深さLicは浅く設定されている。一方、陽極側封止用治具40は、図5Bに示すように、完成したキセノン放電管10を次工程で組み立てやすい形状にするためには、どうしても凹部58の深さLiaを大きくする必要がある。   Furthermore, the shapes of the concave portions 58 and 62 are different between the anode side sealing jig 40 and the cathode side sealing jig 42. That is, as shown in FIG. 5A, the cathode side sealing jig 42 is used for glass sealing with respect to the cathode 14 fixed to the cathode bar 32 of the cathode side lead 22 inserted into the recess 62. The depth Lic of the recess 62 is set to be shallow so that heat is not transmitted as much as possible. On the other hand, as shown in FIG. 5B, the anode-side sealing jig 40 needs to increase the depth Lia of the concave portion 58 in order to make the completed xenon discharge tube 10 easy to assemble in the next process. is there.

上述のことから、図5A及び図5Bに示すように、陽極側封止用治具40と陰極側封止用治具42を各ヒータ本体44の上面を基準にして図示しない基台等に載置したとき、陽極棒20の先端位置と陰極棒32の先端位置で大きな差ΔACができる。この差ΔACがガラスビーズ70の高さhBの1/2(=hB/2)より小さいときは、前記寸法Cの関係、即ち、0≪C<hB/2の関係から、ビーズ振込み治具96は、寸法Cの設定により、陽極側封止用治具40と陰極側封止用治具42に対して共通に使用することができる。しかし、前記差ΔACが大きくなると、特に高さhBより大きくなると、ビーズ振込み治具96の共通使用は不可能となり、設備の増設を余儀なくされる。 From the above, as shown in FIGS. 5A and 5B, the anode-side sealing jig 40 and the cathode-side sealing jig 42 are mounted on a base (not shown) or the like with reference to the upper surface of each heater body 44. when location, it is a big difference delta AC at the tip position of the distal end position and cathode rod 32 of the anode rod 20. When the difference delta AC is smaller than 1/2 (= h B / 2) of the height h B of the glass bead 70, the relation of the dimensions C, ie, the relationship 0«C <h B / 2, the beads The transfer jig 96 can be used in common for the anode side sealing jig 40 and the cathode side sealing jig 42 by setting the dimension C. However, when the difference delta AC increases, especially greater than the height h B, common use of the bead transfer jig 96 becomes impossible, are forced to expansion of facilities.

そこで、本実施の形態では、前記誤差ΔACをできるだけなくすために、図15A及び図15B並びに図3及び図4に示すように、陰極側封止用治具42のヒータ本体44に被せるための上アダプタ180と、該陰極側封止用治具42が載置される陰極側下アダプタ182と、該陽極側封止用治具40が載置される陽極側下アダプタ184を用意する。 Therefore, in the present embodiment, in order to eliminate as much as possible the error delta AC, as shown in FIGS. 15A and 15B as well as FIGS. 3 and 4, for covering the heater body 44 of the cathode-side sealing jig 42 An upper adapter 180, a cathode-side lower adapter 182 on which the cathode-side sealing jig 42 is placed, and an anode-side lower adapter 184 on which the anode-side sealing jig 40 is placed are prepared.

前記上アダプタ180は、図4及び図15Aに示すように、金属製あるいは合成樹脂製で平面ほぼ矩形状を有し、両端が下方向に屈曲され、中央に開口186が形成されている。そして、この上アダプタ180は、両側の屈曲部180aがヒータ本体44の長辺に対応するようにヒータ本体44に被せられる。この場合、両屈曲部180a間の距離はヒータ本体44の短辺とほぼ同じとされ、開口186の大きさは、ヒータ本体44に形成されているすべての凹部62を上方に臨ませる程度の大きさとされている。   As shown in FIGS. 4 and 15A, the upper adapter 180 is made of metal or synthetic resin, has a substantially rectangular plane, has both ends bent downward, and an opening 186 is formed in the center. The upper adapter 180 is placed on the heater body 44 so that the bent portions 180 a on both sides correspond to the long sides of the heater body 44. In this case, the distance between the two bent portions 180a is substantially the same as the short side of the heater main body 44, and the size of the opening 186 is large enough to allow all the concave portions 62 formed in the heater main body 44 to face upward. It is said.

陰極側下アダプタ182は、図4及び図15Aに示すように、金属製あるいは合成樹脂製でほぼ直方体状を有し、陰極側封止用治具42の脚48が位置する箇所に有底のU字状の切欠き188が形成されている。陽極側下アダプタ184も、図3及び図15Bに示すように、金属製あるいは合成樹脂製でほぼ直方体状を有し、陽極側封止用治具40の脚48が位置する箇所に有底のU字状の切欠き190が形成されている。   As shown in FIGS. 4 and 15A, the cathode-side lower adapter 182 has a substantially rectangular parallelepiped shape made of metal or synthetic resin, and has a bottomed portion where the leg 48 of the cathode-side sealing jig 42 is located. A U-shaped notch 188 is formed. As shown in FIGS. 3 and 15B, the anode-side lower adapter 184 also has a substantially rectangular parallelepiped shape made of metal or synthetic resin, and has a bottomed portion where the leg 48 of the anode-side sealing jig 40 is located. A U-shaped notch 190 is formed.

ここで、上アダプタ180、陰極側下アダプタ182及び陽極側下アダプタ184は、以下のような条件を満足するように各サイズが設定されている。   Here, each size is set so that the upper adapter 180, the cathode side lower adapter 182 and the anode side lower adapter 184 may satisfy the following conditions.

(1)ヒータ本体44に載せる上アダプタ180の有無で、ビーズ振込み治具96の基準面96a(図13参照)に接する面(上アダプタ180の上面又はヒータ本体44の上面)よりも上方に突出する陽極棒20及び陰極棒32の先端位置を揃えるようにする。   (1) Projects upward from the surface (the upper surface of the upper adapter 180 or the upper surface of the heater main body 44) in contact with the reference surface 96a (see FIG. 13) of the bead transfer jig 96 with or without the upper adapter 180 mounted on the heater main body 44. The tip positions of the anode rod 20 and the cathode rod 32 to be aligned are aligned.

(2)ヒータ本体44の脚48を載せる下アダプタ182及び184の切欠き188及び190の深さ(即ち、切欠き188及び190の底部の厚みt1及びt2)で、ビーズ振込み治具96の基準面96aに接する面(上アダプタ180の上面又はヒータ本体44の上面)の高さを揃えるようにする。   (2) The reference of the bead transfer jig 96 at the depth of the notches 188 and 190 of the lower adapters 182 and 184 on which the legs 48 of the heater body 44 are placed (that is, the thicknesses t1 and t2 of the bottoms of the notches 188 and 190). The height of the surface (the upper surface of the upper adapter 180 or the upper surface of the heater body 44) in contact with the surface 96a is made uniform.

具体的には、図15Aに示すように、上アダプタ180の厚みをtu、陰極側封止用治具42におけるヒータ本体44の各凹部62に挿入された陰極側リード22の陰極棒32のうち、ヒータ本体44の上面より上方に突出する長さをtc、図15Bに示すように、陽極側封止用治具40におけるヒータ本体44の各凹部58に挿入された陽極側リード18の陽極棒20のうち、ヒータ本体44の上面より上方に突出する長さをtaとしたとき、
tc−tu=ta
の関係を満足するようにする。
Specifically, as shown in FIG. 15A, the thickness of the upper adapter 180 is tu, and among the cathode rods 32 of the cathode side lead 22 inserted into the respective recesses 62 of the heater body 44 in the cathode side sealing jig 42. The length protruding upward from the upper surface of the heater body 44 is tc, and as shown in FIG. 15B, the anode rod of the anode side lead 18 inserted in each recess 58 of the heater body 44 in the anode side sealing jig 40. 20, when the length protruding upward from the upper surface of the heater body 44 is ta,
tc-tu = ta
To satisfy the relationship.

また、図15Aに示すように、陰極側下アダプタ182における切欠き188の底部の厚みをt1、陽極側下アダプタ184における切欠き190の底部の厚みをt2としたとき、
t2−t1=ΔAC
の関係を満足するようにする。
As shown in FIG. 15A, when the thickness of the bottom of the notch 188 in the cathode-side lower adapter 182 is t1, and the thickness of the bottom of the notch 190 in the anode-side lower adapter 184 is t2,
t2−t1 = Δ AC
To satisfy the relationship.

また、前記陰極側封止用治具42には、図4及び図15Aに示すように、ヒータ本体44の両側に設けられた各下支持板52の互いに対向する面の両側に、それぞれ矩形状の切欠き192が形成されている。この場合、切欠き192の深さをt3とし、上アダプタ180の上面から下支持板52の下面までの厚みをt4とし、図15Bに示すように、陽極側封止用治具40におけるヒータ本体44の上面から下支持板52の下面までの厚みをt5としたとき、
t4−t3=t5
の関係を満足するように前記切欠き192が形成される。
4 and 15A, the cathode side sealing jig 42 has a rectangular shape on both sides of the opposing surfaces of the lower support plates 52 provided on both sides of the heater body 44, respectively. A notch 192 is formed. In this case, the depth of the notch 192 is t3, the thickness from the upper surface of the upper adapter 180 to the lower surface of the lower support plate 52 is t4, and the heater body in the anode side sealing jig 40 as shown in FIG. 15B. When the thickness from the upper surface of 44 to the lower surface of the lower support plate 52 is t5,
t4-t3 = t5
The notch 192 is formed so as to satisfy this relationship.

更に、本実施の形態では、図3、図4、図10及び図11に示すように、リード線振込み治具94又はビーズ振込み治具96に設けられるチャッキング爪140は、少なくともリード線用トレイ90のフランジ部100の下面並びにビーズ用トレイ92のフランジ部110の下面に接触する爪本体200と、該爪本体200の横方向に一体に張り出して設けられ、かつ、陰極側封止用治具42の下支持板52に設けられた前記切欠き192の底部あるいは陽極側封止用治具40の下支持板52の下面に接触する張出し部202を有して構成されている。   Furthermore, in this embodiment, as shown in FIGS. 3, 4, 10 and 11, the chucking claw 140 provided in the lead wire transfer jig 94 or the bead transfer jig 96 is at least a lead wire tray. A claw main body 200 that contacts the lower surface of the flange portion 100 of the 90 and the lower surface of the flange portion 110 of the bead tray 92; 42 has an overhanging portion 202 that contacts the bottom of the notch 192 provided on the lower support plate 52 of the 42 or the lower surface of the lower support plate 52 of the anode side sealing jig 40.

これにより、リード線振込み治具94とリード線用トレイ90又はビーズ振込み治具96とビーズ用トレイ92を密着させる場合は、前記チャッキング爪140の爪本体200でリード線用トレイ90のフランジ部100又はビーズ用トレイ92のフランジ部110を引っかけて、前記リード線用トレイ90又はビーズ用トレイ92を抱き込むことによって行われ、リード線振込み治具94又はビーズ振込み治具96と陰極側封止用治具42を密着させる場合は、前記チャッキング爪140の張出し部202で切欠き192の底部を引っかけて、前記陰極側封止用治具42を抱き込むことによって行われる。   Accordingly, when the lead wire transfer jig 94 and the lead wire tray 90 or the bead transfer jig 96 and the bead tray 92 are brought into close contact with each other, the claw body 200 of the chucking claw 140 uses the flange portion of the lead wire tray 90. 100 or the bead tray 92 is hooked and the lead wire tray 90 or the bead tray 92 is held and the lead wire transfer jig 94 or the bead transfer jig 96 and the cathode side sealing are performed. When the working jig 42 is brought into close contact, the bottom portion of the notch 192 is hooked by the overhanging portion 202 of the chucking claw 140 and the cathode side sealing jig 42 is held.

また、リード線振込み治具94又はビーズ振込み治具96と陽極側封止用治具40を密着させる場合は、前記チャッキング爪140の張出し部202で下支持部52を引っかけて、前記陽極側封止用治具40を抱き込むことによって行われる。   When the lead wire transfer jig 94 or the bead transfer jig 96 and the anode side sealing jig 40 are brought into close contact with each other, the lower support portion 52 is hooked by the overhanging portion 202 of the chucking claw 140 and the anode side This is performed by embedding the sealing jig 40.

このように、陰極側封止用治具42と陽極側封止用治具40とで、リード線振込み治具94の基準面94a又はビーズ振込み治具96の基準面96aが接触する面(上アダプタ180の上面又はヒータ本体44の上面)からチャッキング爪140が接触する面までの距離dCHが同じであり、しかも、前記基準面96aが接触する面から陽極棒20及び陰極棒32が突出する長さも同じになるため、ビーズ振込み治具96に設けられたチャッキング機構2338(図21参照)の構造や匣体156の構造を封止用治具40、42ごとに変更する必要がなくなり、両封止用治具40及び42に対してビーズ振込み治具96を共通して使用することができる。 In this way, the surface on which the reference surface 94a of the lead wire transfer jig 94 or the reference surface 96a of the bead transfer jig 96 comes into contact with the cathode side sealing jig 42 and the anode side sealing jig 40 (upper surface). The distance d CH from the upper surface of the adapter 180 or the upper surface of the heater main body 44) to the surface with which the chucking claw 140 contacts is the same, and the anode rod 20 and the cathode rod 32 protrude from the surface with which the reference surface 96a contacts. Therefore, it is not necessary to change the structure of the chucking mechanism 2338 (see FIG. 21) provided in the bead transfer jig 96 or the structure of the housing 156 for each of the sealing jigs 40 and 42. The bead transfer jig 96 can be used in common for both the sealing jigs 40 and 42.

次に、リード線用トレイ90に対して陽極側リード18(あるいは陰極側リード22)を投入するためのリード線投入システム1000について図16〜図20Cを参照しながら説明する。   Next, a lead wire loading system 1000 for loading the anode side lead 18 (or cathode side lead 22) into the lead wire tray 90 will be described with reference to FIGS. 16 to 20C.

このリード線投入システム1000は、図16に示すように、基台1202上に、リード線用トレイ90のリード線収容部102に対して多数本の陽極側リード18あるいは陰極側リード22(以下、単にリード線Lと記す)を縦向きに投入するためのリード線投入装置1204が設置されて構成されている。   As shown in FIG. 16, the lead wire insertion system 1000 includes a plurality of anode-side leads 18 or cathode-side leads 22 (hereinafter referred to as “lead-side leads” 18) on the base 1202 with respect to the lead-line accommodating portions 102 of the lead-line tray 90. A lead wire feeding device 1204 for placing the lead wire L in the vertical direction is installed.

このリード線投入装置1204は、リード線Lを順次縦向きに搬送する搬送機構1206と、それぞれ所定本数のリード線Lを縦向きに収容可能とされた複数の孔部1208a及び1208bを有するストッカ1210と、前記搬送機構1206によって搬送されたリード線Lをストッカ1210の複数の孔部1208a及び1208bのうち、1つの孔部(1208a又は1208b)に投入する投入機構1212と、ストッカ1210における複数の孔部1208a及び1208bのうちの1つの孔部を選択的に投入機構1212によるリード線Lの投入位置に位置させる位置決め機構1214と、ストッカ1210に設けられた複数の孔部1208a及び1208bにおける前記リード線用トレイ90のリード線収容部102と対向する各開口面を選択的に開放/遮蔽するシャッタ機構1216と、リード線用トレイ90をXY方向に移動させて、リード線収容部102を構成する多数の升108のうち、空状態とされた升108をストッカ1210によるリード線Lの投入位置に位置決めさせるXYテーブル1218と、これら各機構を制御する制御装置1220(図17参照)とを有して構成されている。   The lead wire feeding device 1204 has a transport mechanism 1206 for sequentially transporting the lead wires L in the vertical direction, and a stocker 1210 having a plurality of holes 1208a and 1208b each capable of accommodating a predetermined number of lead wires L in the vertical direction. A feeding mechanism 1212 that feeds the lead wire L transported by the transport mechanism 1206 into one hole (1208a or 1208b) of the plurality of holes 1208a and 1208b of the stocker 1210, and a plurality of holes in the stocker 1210. A positioning mechanism 1214 that selectively positions one of the holes 1208a and 1208b at a loading position of the lead wire L by the loading mechanism 1212; and the lead wires in the plurality of holes 1208a and 1208b provided in the stocker 1210 Opposite to the lead wire receiving portion 102 of the tray 90 The shutter mechanism 1216 that selectively opens / shields each opening surface and the lead wire tray 90 are moved in the X and Y directions, and the empty cage out of the numerous cages 108 constituting the lead wire accommodating portion 102. An XY table 1218 for positioning 108 at the insertion position of the lead wire L by the stocker 1210 and a control device 1220 (see FIG. 17) for controlling these mechanisms are configured.

前記基台1202は、ほぼ水平方向に延びる上面部1202aとほぼ鉛直方向に延びる正面部1202bとにかけてテーパ面1202cが形成されている。このテーパ面1202cは、水平方向に対して所定角度θ、例えばθ=30°傾斜されて形成されている。   The base 1202 has a tapered surface 1202c extending from an upper surface portion 1202a extending in a substantially horizontal direction and a front surface portion 1202b extending in a substantially vertical direction. The tapered surface 1202c is formed to be inclined at a predetermined angle θ, for example, θ = 30 ° with respect to the horizontal direction.

そして、このリード線投入システム1000においては、搬送機構1206が基台1202の上面部1202aに設置され、XYテーブル1218が基台1202のテーパ面1202cに設置され、該XYテーブル1218上にリード線用トレイ90が載置されたかたちとなっている。従って、リード線用トレイ90は、そのリード線収容部102の開口面が水平方向に対して所定角度θ(=30°)だけ傾斜された状態で設置されることになる。   In this lead wire insertion system 1000, the transport mechanism 1206 is installed on the upper surface portion 1202a of the base 1202, and the XY table 1218 is installed on the tapered surface 1202c of the base 1202, and the lead wire is placed on the XY table 1218. The tray 90 is placed. Therefore, the lead wire tray 90 is installed in a state where the opening surface of the lead wire accommodating portion 102 is inclined by a predetermined angle θ (= 30 °) with respect to the horizontal direction.

また、ストッカ1210は、例えば合成樹脂にてほぼ矩形状に成形されている。図示の例では、直方体とされたストッカ本体1230の側面から矩形状の突出部1232が一体に形成されて、平面ほぼT字状の形状を有している。そして、このストッカ1210は、その上面が水平方向に対して所定角度θだけ傾斜するように設置され、その下面が前記XYテーブル1218上に固定されているリード線用トレイ90の開口面と平行で、かつ、該開口面に対して近接するように配置されている。また、前記ストッカ1210のストッカ本体1230には、その両側に上面から下面に貫通する上述した2つの円形の孔部1208a及び1208bがそれぞれ形成されている。   In addition, the stocker 1210 is formed in a substantially rectangular shape using, for example, a synthetic resin. In the illustrated example, a rectangular protrusion 1232 is integrally formed from a side surface of a stocker body 1230 that is a rectangular parallelepiped, and has a substantially T-shaped shape in plan view. The stocker 1210 is installed such that its upper surface is inclined by a predetermined angle θ with respect to the horizontal direction, and its lower surface is parallel to the opening surface of the lead wire tray 90 fixed on the XY table 1218. And it arrange | positions so that it may adjoin with respect to this opening surface. The stocker body 1230 of the stocker 1210 is formed with the above-described two circular holes 1208a and 1208b penetrating from the upper surface to the lower surface on both sides thereof.

一方、搬送機構1206は、供給された多数本のリード線Lをそれぞれ縦向きに、かつ、1列に整列させるパーツフィーダ1240と、該パーツフィーダ1240によって整列されたリード線Lをそれぞれ縦向きの状態で順次搬送する整列搬送機構1242と、これらパーツフィーダ1240と整列搬送機構1242を制御装置1220からの指令に基づいて制御するコントローラ1244(図17参照)とを有する。   On the other hand, the transport mechanism 1206 has a parts feeder 1240 that aligns a large number of supplied lead wires L in a vertical direction and in a row, and a lead wire L that is aligned by the parts feeder 1240 in a vertical direction. An alignment transport mechanism 1242 that sequentially transports in a state, and a controller 1244 (see FIG. 17) that controls the parts feeder 1240 and the alignment transport mechanism 1242 based on a command from the control device 1220.

また、この搬送機構1206には、整列搬送機構1242の下流側に、搬送過程にあるリード線Lを計数する計数手段1246と、該計数手段1246による計数結果が所定本数を示す場合に、搬送過程にある多数本のリード線Lのうち、所定本数以降の上流側のリード線Lの搬送を一時的に停止させる停止機構1248を有する。   The transport mechanism 1206 includes a counting unit 1246 for counting the lead wire L in the transport process on the downstream side of the alignment transport mechanism 1242, and a transport process when the count result by the count unit 1246 indicates a predetermined number. Among the large number of lead wires L, a stop mechanism 1248 for temporarily stopping the transport of the lead wires L on the upstream side after the predetermined number is provided.

図17に示すように、前記計数手段1246は、例えば搬送過程にあるリード線Lを検知する光センサ1250と、該光センサ1250からの検出信号に含まれる検出パルス(リード線Lを検知したことを示すパルス)を計数するカウンタ1252を有する。   As shown in FIG. 17, the counting means 1246 has, for example, an optical sensor 1250 that detects a lead wire L in the transport process, and a detection pulse (detected that the lead wire L is included in a detection signal from the optical sensor 1250. And a counter 1252 for counting the number of pulses).

前記停止機構1248は、リード線Lの搬送路に対して進入/後退するロッド1254と、カウンタ1252の計数値と所定値(所定本数に相当する値)とを比較する比較器1256と、該比較器1256からの比較結果に基づいて、前記ロッド1254をリード線Lの搬送路に対して進入/後退駆動するエアシリンダ1258とを有する。   The stop mechanism 1248 includes a rod 1254 that enters / retreats with respect to the conveyance path of the lead wire L, a comparator 1256 that compares a count value of the counter 1252 with a predetermined value (a value corresponding to a predetermined number), and the comparison And an air cylinder 1258 for driving the rod 1254 into / from the lead path L based on the comparison result from the container 1256.

エアシリンダ1258は、比較器1256からの一致信号(カウンタ1252での計数値が所定本数になったことを示す信号)に基づいて、ロッド1254をリード線Lの搬送路に対して進入駆動させる。これによって、所定本数以降の上流側のリード線Lの搬送が一時的に停止されることになる。また、前記エアシリンダ1258は、制御装置1220からの例えば解除指令に基づいて、前記ロッド1254をリード線Lの搬送路に対して後退駆動させる。これによって、停止状態にあった前記所定本数以降のリード線Lの搬送が再開されることになる。   The air cylinder 1258 drives the rod 1254 to enter the conveyance path of the lead wire L based on a coincidence signal from the comparator 1256 (a signal indicating that the count value of the counter 1252 has reached a predetermined number). As a result, the transport of the upstream lead wires L after the predetermined number is temporarily stopped. Further, the air cylinder 1258 drives the rod 1254 backward with respect to the conveyance path of the lead wire L based on, for example, a release command from the control device 1220. As a result, conveyance of the lead wires L after the predetermined number in the stopped state is resumed.

なお、前記カウンタ1252は、比較器1256から出力される一致信号がリセット端子に入力されるように配線接続されており、前記一致信号の出力に基づいて計数値が初期値=「0」にリセットされるようになっている。   The counter 1252 is wired so that the coincidence signal output from the comparator 1256 is input to the reset terminal, and the count value is reset to the initial value = “0” based on the output of the coincidence signal. It has come to be.

前記搬送機構1206における整列搬送機構1242の下流端は自由端とされている。これにより、整列搬送機構1242を通じて1列順次に搬送されたリード線Lは、この下流端から自由落下して投入機構1212を介してストッカ1210のいずれかの孔部1208a又は1208b内に収容されることとなる。   The downstream end of the alignment transport mechanism 1242 in the transport mechanism 1206 is a free end. As a result, the lead wires L transported sequentially in one row through the alignment transport mechanism 1242 fall freely from the downstream end and are accommodated in any one of the holes 1208a or 1208b of the stocker 1210 via the loading mechanism 1212. It will be.

前記投入機構1212は、この例では、内部が中空とされた円筒状のガイド部材1270で構成され、その上面開口が整列搬送機構1242の下流端に近接するように配置されている。また、このガイド部材1270の少なくとも下端部は、鉛直方向に対して所定の角度(例えば、30°)傾斜されており、前記位置決め機構1214によってストッカ1210が位置決めされた状態のとき、該ガイド部材1270の下面開口が、前記ストッカ1210の1つの孔部1208a又は1208bと対向するように位置されるようになっている。   In this example, the loading mechanism 1212 is constituted by a cylindrical guide member 1270 having a hollow inside, and the upper surface opening thereof is disposed close to the downstream end of the alignment transport mechanism 1242. Further, at least the lower end portion of the guide member 1270 is inclined at a predetermined angle (for example, 30 °) with respect to the vertical direction, and when the stocker 1210 is positioned by the positioning mechanism 1214, the guide member 1270 The lower surface opening is positioned so as to face one hole 1208a or 1208b of the stocker 1210.

従って、搬送機構1206の整列搬送機構1242によって搬送された所定本数のリード線Lは、それぞれ縦向きの状態で整列搬送機構1242の下流端から下方に自由落下し、途中のガイド部材1270によってそれぞれ落下方向が修正されてストッカ1210の1つの孔部1208a又は1208bに収容されることになる。   Accordingly, the predetermined number of lead wires L conveyed by the alignment conveyance mechanism 1242 of the conveyance mechanism 1206 freely fall downward from the downstream end of the alignment conveyance mechanism 1242 in a vertically oriented state, and fall by the guide member 1270 in the middle. The direction is corrected and the stocker 1210 is accommodated in one hole 1208a or 1208b.

位置決め機構1214は、ストッカ1210を回転駆動するロータリアクチュエータ1280と、制御装置1220からの起動信号に基づいてロータリアクチュエータ1280に駆動信号を供給する駆動回路1282とを有する。このロータリアクチュエータ1280は、その外筐が例えば基台1202から延びる図示しないアームに固定され、ストッカ1210を上述した位置に配置できるようになっている。また、このロータリアクチュエータ1280は、その回転軸がストッカ本体1230の中心に取り付けられ、これにより、駆動回路1282からの駆動信号に基づいてロータリアクチュエータ1280が駆動すると、ストッカ1210がその中心軸を中心に180°回転して、投入機構1212のガイド部材1270の直下に位置していた1つの孔部1208a又は1208bがリード線用トレイ90のリード線収容部102における1つの升108上に位置し、1つの升108上に位置していた別の孔部1208b又は1208aが今度は前記ガイド部材1270の直下に位置することになる。   The positioning mechanism 1214 includes a rotary actuator 1280 that rotationally drives the stocker 1210 and a drive circuit 1282 that supplies a drive signal to the rotary actuator 1280 based on an activation signal from the control device 1220. The rotary actuator 1280 is fixed to an arm (not shown) whose outer casing extends from the base 1202, for example, and the stocker 1210 can be disposed at the above-described position. The rotary actuator 1280 has a rotation axis attached to the center of the stocker main body 1230, so that when the rotary actuator 1280 is driven based on a drive signal from the drive circuit 1282, the stocker 1210 is centered on the center axis. One hole 1208a or 1208b, which has been rotated 180 ° and located immediately below the guide member 1270 of the input mechanism 1212, is positioned on one ridge 108 in the lead wire accommodating portion 102 of the lead wire tray 90. Another hole 1208b or 1208a that has been located on one of the collars 108 is now located directly below the guide member 1270.

シャッタ機構1216は、ストッカ1210に設けられた2つの孔部1208a及び1208bの各下面開口を選択的に遮蔽/開放する2つのシャッタ(第1及び第2のシャッタ1290a及び1290b)と、これら第1及び第2のシャッタ1290a及び1290bを個別に開閉駆動する2つのシャッタ開閉機構(第1及び第2のシャッタ開閉機構1292a及び1292b)とを有する。各シャッタ開閉機構1292a及び1292bは、制御装置1220からの開放指令信号に基づいて、対応するシャッタ1290a及び1290bを開動作させ、制御装置1220からの遮蔽指令信号に基づいて、対応するシャッタ1290a及び1290bを閉動作させる。   The shutter mechanism 1216 includes two shutters (first and second shutters 1290a and 1290b) that selectively shield / open the respective lower surface openings of the two holes 1208a and 1208b provided in the stocker 1210, and the first And two shutter opening / closing mechanisms (first and second shutter opening / closing mechanisms 1292a and 1292b) for individually opening and closing the second shutters 1290a and 1290b. The shutter opening / closing mechanisms 1292a and 1292b open the corresponding shutters 1290a and 1290b based on the opening command signal from the control device 1220, and the corresponding shutters 1290a and 1290b based on the shielding command signal from the control device 1220. Is closed.

XYテーブル1218は、リード線用トレイ90が載置固定されるテーブル本体1300と、該テーブル本体1300を移動駆動させる駆動モータ1302と、制御装置1220からの制御コード(起動信号及びアドレスコード)をデコードして、駆動モータ1302に供給すべき駆動電流を制御するコントローラ1304を有する。そして、このコントローラ1304は、動作開始時点においては、リード線用トレイ90を矢印X方向及びY方向に移動させて、ストッカ1210の2つの孔部1208a及び1208bのうち、リード線用トレイ90のリード線収容部102側に位置する例えば孔部1208bの直下に、リード線収容部102における1行1列目の升108を位置させる。   The XY table 1218 decodes a table main body 1300 on which the lead wire tray 90 is placed and fixed, a drive motor 1302 for moving and driving the table main body 1300, and a control code (activation signal and address code) from the control device 1220. The controller 1304 controls the drive current to be supplied to the drive motor 1302. At the start of operation, the controller 1304 moves the lead wire tray 90 in the arrow X direction and the Y direction, and reads the lead wire tray 90 out of the two holes 1208a and 1208b of the stocker 1210. For example, the ridge 108 in the first row and the first column in the lead wire accommodating portion 102 is positioned directly below the hole portion 1208b located on the wire accommodating portion 102 side.

その後、制御装置1220から出力される制御コードが入力されるたびに、リード線用トレイ90を矢印X方向及び/又はY方向に移動させて、リード線用トレイ90のリード線収容部102側に位置する孔部(1208a又は1208b)の直下に、前記送られた制御コードに含まれるアドレスコードが示す座標(行と列で表される座標)の升108が位置するようにする。   Thereafter, each time a control code output from the control device 1220 is input, the lead wire tray 90 is moved in the arrow X direction and / or the Y direction so that the lead wire tray 90 moves toward the lead wire accommodating portion 102 side. Just below the hole (1208a or 1208b), the ridge 108 of the coordinates (coordinates represented by rows and columns) indicated by the address code included in the sent control code is positioned.

特に、本実施の形態においては、ストッカ1210の孔部1208a及び1208bにおける開口面積が、リード線用トレイ90のリード線収容部102における各升108の開口面積よりも小に設定されている。具体的には、例えば図18に示すように、前記孔部1208a又は1208bの直径dが、升108における開口の側面方向の投影長さDよりも短く設定され、XYテーブル1218にて1つの升108とストッカ1210の孔部1208a又は1208bとを対向させたとき、升108の一部、特に、当該升108を構成する2つの横罫に関する2つの仕切板104a及び104bのうち、上方に位置する仕切板104a寄りに、前記孔部1208a又は1208bが位置されるようになっている。   In particular, in the present embodiment, the opening areas in the holes 1208a and 1208b of the stocker 1210 are set to be smaller than the opening areas of the flanges 108 in the lead wire accommodating portion 102 of the lead wire tray 90. Specifically, for example, as shown in FIG. 18, the diameter d of the hole 1208 a or 1208 b is set to be shorter than the projection length D in the side surface direction of the opening in the flange 108, and one ridge is formed on the XY table 1218. 108 and the hole 1208a or 1208b of the stocker 1210 are positioned above a part of the ridge 108, in particular, the two partition plates 104a and 104b related to the two horizontal rules constituting the ridge 108. The hole 1208a or 1208b is positioned closer to the partition plate 104a.

また、このリード線投入システム1000においては、前記各種機構に加えて、シャッタ機構1216にて下部開口が開放状態とされた孔部1208a又は1208bに対して、該孔部1208a又は1208bに収容されている所定本数のリード線Lをリード線用トレイ90のリード線収容部102側に押し出す押出し機構1310と、投入機構1212を通じて孔部1208a又は1208bに投入された所定本数のリード線Lを揃えるため、あるいは孔部1208a又は1208bに投入された所定本数のリード線Lをスムーズにリード線用トレイ90の1つの升108内に落下させるためにストッカ1210を振動させるストッカ振動機構1312とを有する。   Further, in this lead wire insertion system 1000, in addition to the various mechanisms described above, the hole 1208a or 1208b whose lower opening is opened by the shutter mechanism 1216 is accommodated in the hole 1208a or 1208b. In order to align the extrusion mechanism 1310 that pushes the predetermined number of lead wires L to the lead wire accommodating portion 102 side of the lead wire tray 90 and the predetermined number of lead wires L that are input to the holes 1208a or 1208b through the input mechanism 1212, Alternatively, a stocker vibration mechanism 1312 that vibrates the stocker 1210 to smoothly drop a predetermined number of lead wires L inserted into the holes 1208a or 1208b into one cage 108 of the lead wire tray 90 is provided.

前記押出し機構1310は、孔部1208a又は1208b内を挿通可能な形状を有するヘッド1314と、該ヘッド1314を孔部1208a又は1208b内に進入/後退させるエアシリンダ1316を有する。   The pushing mechanism 1310 includes a head 1314 having a shape that can be inserted into the hole 1208a or 1208b, and an air cylinder 1316 that moves the head 1314 into / from the hole 1208a or 1208b.

このリード線投入システム1000は、基本的には以上のように構成されるものであり、次に、その動作並びに作用効果について図19A〜図20Cの工程ブロック図も参照しながら説明する。   The lead wire insertion system 1000 is basically configured as described above. Next, its operation and effects will be described with reference to the process block diagrams of FIGS. 19A to 20C.

まず、制御装置1220に接続されている制御卓(図示せず)の例えば開始スイッチ(図示せず)が操作されて動作開始指示が制御装置1220に入力されると、制御装置1220は、搬送機構1206のコントローラ1244に起動信号Saを出力する。コントローラ1244は、搬送機構1206のパーツフィーダ1240及び整列搬送機構1242を駆動する。パーツフィーダ1240は、供給されている多数本のリード線Lをそれぞれ縦向きに、かつ、1列に整列させて後段の整列搬送機構1242に1本ずつ順次送り出し(図19AのステップS1)、整列搬送機構1242は、パーツフィーダ1240から1本ずつ送られてきたリード線Lをそれぞれ縦向きの状態で搬送する(図19AのステップS2)。   First, when, for example, a start switch (not shown) of a control console (not shown) connected to the control device 1220 is operated and an operation start instruction is input to the control device 1220, the control device 1220 receives the transport mechanism. The activation signal Sa is output to the controller 1244 of 1206. The controller 1244 drives the parts feeder 1240 and the alignment transport mechanism 1242 of the transport mechanism 1206. The parts feeder 1240 aligns a large number of supplied lead wires L in the vertical direction and in one row, and sends them one by one to the subsequent-stage alignment transport mechanism 1242 (step S1 in FIG. 19A). The transport mechanism 1242 transports each lead wire L sent from the parts feeder 1240 one by one in a vertically oriented state (step S2 in FIG. 19A).

動作開始時点においては、シャッタ機構1216における各シャッタ1290a及び1290bは、対応する孔部1208a及び1208bの下部開口を遮蔽する位置にあり、各孔部1208a及び1208bは、シャッタ1290a及び1290bと共にそれぞれリード線Lを収容するための空間を構成している。   At the start of the operation, the shutters 1290a and 1290b in the shutter mechanism 1216 are in positions that block the lower openings of the corresponding holes 1208a and 1208b, and the holes 1208a and 1208b are lead wires together with the shutters 1290a and 1290b, respectively. A space for accommodating L is formed.

また、動作開始時点においては、制御装置1220は、XYテーブル1218のコントローラ1304に初期状態を示す制御コードを出力する。コントローラ1304は、入力された初期状態を示す制御コードをデコードして、駆動モータ1302に供給される駆動電流idを制御することにより、リード線用トレイ90をX方向及びY方向に移動させて、ストッカ1210の2つの孔部1208a及び1208bのうち、リード線用トレイ90のリード線収容部102側に位置する孔部1208a又は1208bの直下に、リード線収容部102における1行1列目の升108を位置させる。このとき、ストッカ1210の他の孔部1208b又は1208aが投入機構1212のガイド部材1270の直下に位置することとなる。   At the start of operation, the control device 1220 outputs a control code indicating an initial state to the controller 1304 of the XY table 1218. The controller 1304 decodes the input control code indicating the initial state and controls the drive current id supplied to the drive motor 1302, thereby moving the lead wire tray 90 in the X direction and the Y direction, Of the two holes 1208a and 1208b of the stocker 1210, the first row and first column in the lead wire accommodating portion 102 is located directly below the hole 1208a or 1208b located on the lead wire accommodating portion 102 side of the lead wire tray 90. 108 is located. At this time, the other hole 1208b or 1208a of the stocker 1210 is positioned directly below the guide member 1270 of the loading mechanism 1212.

以下の説明では、前記動作開始時点において、ストッカ1210の2つの孔部1208a及び1208bのうち、ガイド部材1270の直下に位置している孔部を第1の孔部1208aと記し、1つの升108上に位置されている孔部を第2の孔部1208bと記す。   In the following description, of the two holes 1208a and 1208b of the stocker 1210 at the time of starting the operation, a hole located immediately below the guide member 1270 is referred to as a first hole 1208a, and one ridge 108 is provided. The hole located above is referred to as a second hole 1208b.

整列搬送機構1242の搬送路上を整列搬送する多数本のリード線Lは、該整列搬送機構1242の下流端からそれぞれ縦向きの状態で自由落下し、途中の投入機構1212におけるガイド部材1270を通過することによって、その落下方向が修正されて、ストッカ1210の第1の孔部1208a内に投入されることになる(図19BのステップS101)。   A large number of lead wires L that are aligned and conveyed on the conveyance path of the alignment and conveyance mechanism 1242 fall freely from the downstream end of the alignment and conveyance mechanism 1242 in the vertical direction, and pass through the guide member 1270 in the insertion mechanism 1212 on the way. Thus, the dropping direction is corrected, and it is inserted into the first hole 1208a of the stocker 1210 (step S101 in FIG. 19B).

そして、このリード線Lのストッカ1210への投入段階においては、整列搬送機構1242の下流側に設置された計数手段1246によって、搬送過程にあるリード線Lが順次計数される(図19AのステップS3)。この計数は、搬送過程にあるリード線Lを光センサ1250にて検知し、該光センサ1250から出力される検知信号Sbに含まれる検知パルスをカウンタ1252にて計数することにより行われる。該カウンタ1252の計数値は、停止機構1248における比較器1256において所定値と比較される。カウンタ1252の計数値と前記所定値とが一致した時点で、比較器1256から一致信号Scが出力されてエアシリンダ1258及びカウンタ1252にそれぞれ供給される。   Then, at the stage of loading the lead wire L into the stocker 1210, the lead wire L in the transport process is sequentially counted by the counting means 1246 installed on the downstream side of the alignment transport mechanism 1242 (step S3 in FIG. 19A). ). This counting is performed by detecting the lead L in the conveyance process by the optical sensor 1250 and counting the detection pulse included in the detection signal Sb output from the optical sensor 1250 by the counter 1252. The count value of the counter 1252 is compared with a predetermined value in a comparator 1256 in the stop mechanism 1248. When the count value of the counter 1252 coincides with the predetermined value, the coincidence signal Sc is output from the comparator 1256 and supplied to the air cylinder 1258 and the counter 1252, respectively.

エアシリンダ1258は、前記比較器1256からの一致信号Scの入力に基づいて、ロッド1254をリード線Lの搬送路に対して進入駆動させる。これによって、所定本数以降の上流側のリード線Lの搬送が一時的に停止され(図19AのステップS4)、所定本数のリード線Lのみがガイド部材1270を通じてストッカ1210の第1の孔部1208aに投入されることになる(図19BのステップS102)。   The air cylinder 1258 drives the rod 1254 to enter the conveyance path of the lead wire L based on the input of the coincidence signal Sc from the comparator 1256. As a result, the transport of the upstream lead wires L after the predetermined number is temporarily stopped (step S4 in FIG. 19A), and only the predetermined number of lead wires L pass through the guide member 1270 to the first hole 1208a of the stocker 1210. (Step S102 in FIG. 19B).

カウンタ1252は、前記一致信号Scの入力に基づいて、現在の計数値を初期値=「0」にする。即ち、計数値をリセットする(図19AのステップS5)。   The counter 1252 sets the current count value to an initial value = “0” based on the input of the coincidence signal Sc. That is, the count value is reset (step S5 in FIG. 19A).

また、制御装置1220は、ストッカ1210の第1の孔部1208a内への所定本数のリード線Lの投入が完了した時点で、ストッカ振動機構1312に対して駆動信号Sdを出力する。ストッカ振動機構1312は、前記駆動信号Sdの入力に基づいてストッカ1210に振動を所定時間付与する(図19BのステップS103)。このストッカ1210への振動付与によって第1の孔部1208a内に投入された所定本数のリード線Lが縦向きの状態で揃えられる。この所定時間としては、例えば3〜5秒である。   In addition, the control device 1220 outputs a drive signal Sd to the stocker vibration mechanism 1312 when the predetermined number of lead wires L have been inserted into the first hole 1208a of the stocker 1210. The stocker vibration mechanism 1312 applies vibration to the stocker 1210 for a predetermined time based on the input of the drive signal Sd (step S103 in FIG. 19B). By applying vibration to the stocker 1210, a predetermined number of lead wires L introduced into the first hole 1208a are aligned in a vertical state. The predetermined time is, for example, 3 to 5 seconds.

制御装置1220は、前記振動付与が終了した段階で、今度は、位置決め機構1214の駆動回路1282に起動信号Seを出力する。駆動回路1282は、前記起動信号Seの入力に基づいてロータリアクチュエータ1280に駆動信号Sfを出力し、ストッカ1210をその中心軸を中心に180°回転させる(図19BのステップS104)。   The control device 1220 outputs a start signal Se to the drive circuit 1282 of the positioning mechanism 1214 at this stage when the application of vibration is completed. The drive circuit 1282 outputs a drive signal Sf to the rotary actuator 1280 based on the input of the start signal Se, and rotates the stocker 1210 by 180 ° around its central axis (step S104 in FIG. 19B).

ストッカ1210が180°回転して、前回、投入機構1212のガイド部材1270の直下にあった第1の孔部1208a(所定本数のリード線Lが収容されている)がリード線用トレイ90のリード線収容部102における1つの升108上に位置した段階で、制御装置1220は、シャッタ機構1216における第1のシャッタ開閉機構1292aに開放指令信号Sg1を出力する。第1のシャッタ開閉機構1292aは、前記開放指令信号Sg1の入力に基づいて第1のシャッタ1290aを開動作させる(図19BのステップS105)。これによって、第1の孔部1208aに収容されていた所定本数のリード線Lがその直下の升108内に落下する。   When the stocker 1210 is rotated by 180 °, the first hole 1208a (which stores a predetermined number of lead wires L) that was immediately below the guide member 1270 of the loading mechanism 1212 last time is the lead of the lead wire tray 90. At the stage where it is positioned on one ridge 108 in the line housing unit 102, the control device 1220 outputs an opening command signal Sg1 to the first shutter opening / closing mechanism 1292a in the shutter mechanism 1216. The first shutter opening / closing mechanism 1292a opens the first shutter 1290a based on the input of the opening command signal Sg1 (step S105 in FIG. 19B). As a result, a predetermined number of lead wires L housed in the first hole 1208a drop into the cage 108 immediately below.

また、制御装置1220は、ストッカ振動機構1312に対して駆動信号Sdを出力する。ストッカ振動機構1312は、前記駆動信号Sdの入力に基づいて、ストッカ1210に振動を所定時間付与する(図19BのステップS106)。このストッカ1210への振動付与によって、第1の孔部1208a内のリード線Lはその直下の升108内にスムーズに落下することとなる。   Further, the control device 1220 outputs a drive signal Sd to the stocker vibration mechanism 1312. The stocker vibration mechanism 1312 applies vibration to the stocker 1210 for a predetermined time based on the input of the drive signal Sd (step S106 in FIG. 19B). By applying vibration to the stocker 1210, the lead wire L in the first hole portion 1208a smoothly falls into the flange 108 immediately below.

更に、制御装置1220は、押出し機構1310のエアシリンダ1316に押出しを示す制御信号Shを出力する。エアシリンダ1316は、前記制御信号Shの入力に基づいて、ヘッド1314を正方向に移動駆動させることにより、該ヘッド1314を第1の孔部1208a内に挿入する(図19BのステップS107)。これによって、例えば第1の孔部1208a内に落下せずに残っていたリード線Lも前記ヘッド1314の移動駆動によって下方に押し出されることになり、この段階で第1の孔部1208a内にあった所定本数のリード線Lがすべて対応する升108内に収容されることになる(図19BのステップS108)。前記エアシリンダ1316は、前記ヘッド1314の正方向への移動後、すぐにヘッド1314を元の位置に復帰させる。   Further, the control device 1220 outputs a control signal Sh indicating extrusion to the air cylinder 1316 of the extrusion mechanism 1310. The air cylinder 1316 inserts the head 1314 into the first hole 1208a by driving the head 1314 in the forward direction based on the input of the control signal Sh (step S107 in FIG. 19B). As a result, for example, the lead wire L that has not fallen into the first hole 1208a is pushed downward by the movement drive of the head 1314, and at this stage, the lead wire L is pushed into the first hole 1208a. The predetermined number of lead wires L are all accommodated in the corresponding cage 108 (step S108 in FIG. 19B). The air cylinder 1316 returns the head 1314 to its original position immediately after the head 1314 moves in the positive direction.

その後、制御装置1220は、シャッタ機構1216における第1のシャッタ開閉機構1292aに遮蔽指令信号Si1を出力する。第1のシャッタ開閉機構1292aは、前記遮蔽指令信号Si1の入力に基づいて第1のシャッタ1290aを閉動作させる(図19BのステップS109)。これによって、第1の孔部1208aの下面開口が遮蔽され、該第1の孔部1208aによってリード線Lの収容空間が形成(区画)されることになる。   Thereafter, the control device 1220 outputs a shielding command signal Si1 to the first shutter opening / closing mechanism 1292a in the shutter mechanism 1216. The first shutter opening / closing mechanism 1292a closes the first shutter 1290a based on the input of the shielding command signal Si1 (step S109 in FIG. 19B). Accordingly, the lower surface opening of the first hole 1208a is shielded, and the accommodation space for the lead wire L is formed (partitioned) by the first hole 1208a.

次に、制御装置1220は、XYテーブル1218のコントローラ1304に制御コード(起動信号及び次の升目を示すアドレスコード(例えば1行2列の升目を示すアドレスコード))を出力する。コントローラ1304は、前記制御コードの入力に基づいてリード線用トレイ90を動かし、リード線用トレイ90の升目のうち、アドレスコードが示すアドレスの升目(この例では1行2列の升目)をストッカ1210の孔部(この段階では第1の孔部1208a)の直下に位置決めさせる(図20BのステップS110)。   Next, the control device 1220 outputs a control code (an activation signal and an address code indicating the next cell (for example, an address code indicating the cell in the first row and the second column)) to the controller 1304 of the XY table 1218. The controller 1304 moves the lead wire tray 90 based on the input of the control code, and among the squares of the lead wire tray 90, the square of the address indicated by the address code (in this example, the square of 1 row and 2 columns) is stored. Positioning is performed immediately below the hole 1210 (the first hole 1208a at this stage) (step S110 in FIG. 20B).

一方、前記ステップS104でのストッカ1210の180°回転に伴って、投入機構1212におけるガイド部材1270の直下に第2の孔部1208bが位置決めされる(図19CのステップS201)。この段階で、制御装置1220は、停止機構1248のエアシリンダ1258に解除信号Sjを出力する。エアシリンダ1258は、前記解除信号Sjの入力に基づいて、ロッド1254をリード線Lの搬送路から後退させて、前記整列搬送の一時停止状態を解除する(図19AのステップS6)。これによって、上流側のリード線Lの整列搬送が再開される。   On the other hand, the second hole 1208b is positioned immediately below the guide member 1270 in the closing mechanism 1212 as the stocker 1210 rotates 180 ° in the step S104 (step S201 in FIG. 19C). At this stage, the control device 1220 outputs a release signal Sj to the air cylinder 1258 of the stop mechanism 1248. Based on the input of the release signal Sj, the air cylinder 1258 retracts the rod 1254 from the transport path of the lead wire L and cancels the alignment transport pause state (step S6 in FIG. 19A). Thereby, the alignment conveyance of the upstream lead wire L is resumed.

整列搬送機構1242の搬送路上を整列搬送する多数本のリード線Lは、該整列搬送機構1242の下流端からそれぞれ縦向きの状態で自由落下し、途中の投入機構1212におけるガイド部材1270を通過することによって、その落下方向が修正されて、今度はストッカ1210の第2の孔部1208b内に投入されることになる。   A large number of lead wires L that are aligned and conveyed on the conveyance path of the alignment and conveyance mechanism 1242 fall freely from the downstream end of the alignment and conveyance mechanism 1242 in the vertical direction, and pass through the guide member 1270 in the insertion mechanism 1212 on the way. As a result, the dropping direction is corrected, and this time, it is inserted into the second hole 1208b of the stocker 1210.

この場合も、前記第1の孔部1208aに対するリード線Lの投入と同様に、搬送過程にあるリード線Lが計数手段1246によって計数される(図19AのステップS7)。そして、カウンタ1252の計数値と前記所定値とが一致した時点で、エアシリンダ1258は、ロッド1254をリード線Lの搬送路に対して進入駆動させて、所定本数以降の上流側のリード線Lの搬送を一時的に停止させ(図19AのステップS8)、カウンタ1252は現在の計数値をリセットする(図19AのステップS9)。これによって、所定本数のリード線Lのみがガイド部材1270を通じてストッカ1210の第2の孔部1208bに投入されることになる(図19CのステップS202)。   Also in this case, the lead wire L in the transport process is counted by the counting means 1246, similarly to the insertion of the lead wire L into the first hole 1208a (step S7 in FIG. 19A). When the count value of the counter 1252 coincides with the predetermined value, the air cylinder 1258 drives the rod 1254 to enter the conveyance path of the lead wire L, and the upstream lead wire L after the predetermined number. Is temporarily stopped (step S8 in FIG. 19A), and the counter 1252 resets the current count value (step S9 in FIG. 19A). As a result, only a predetermined number of lead wires L are inserted into the second hole 1208b of the stocker 1210 through the guide member 1270 (step S202 in FIG. 19C).

ストッカ1210の第2の孔部1208b内への所定本数のリード線Lの投入が完了した時点で、前記ステップS106でのタイミングで、ストッカ振動機構1312を通じてストッカ1210に振動が所定時間付与される(図19CのステップS203)。このストッカ1210への振動付与によって前記第2の孔部1208b内に投入された所定本数のリード線Lが縦向きの状態で揃えられる。   When the predetermined number of lead wires L are inserted into the second hole 1208b of the stocker 1210, vibration is applied to the stocker 1210 through the stocker vibration mechanism 1312 for a predetermined time at the timing in step S106. Step S203 in FIG. 19C). By applying vibration to the stocker 1210, the predetermined number of lead wires L introduced into the second hole 1208b are aligned in a vertical state.

前記振動付与が終了した段階で、前記ステップS104と同様に、位置決め機構1214を通じてストッカ1210はその中心軸を中心に180°回転する(図20CのステップS204)。   At the stage where the application of vibration is completed, the stocker 1210 rotates through the positioning mechanism 1214 about the central axis by 180 ° as in step S104 (step S204 in FIG. 20C).

ストッカ1210が180°回転して、第2の孔部1208b(所定本数のリード線Lが収容されている)がリード線用トレイ90のリード線収容部102における1つの升108上に位置した段階で、制御装置1220は、シャッタ機構1216における第2のシャッタ開閉機構1292bに開放指令信号Sg2を出力する。第2のシャッタ開閉機構1292bは、前記開放指令信号Sg2の入力に基づいて第2のシャッタ1290bを開動作させる(図20CのステップS205)。これによって、第2の孔部1208bに収容されていた所定本数のリード線Lがその直下の升108内に落下する。   The stocker 1210 rotates 180 °, and the second hole 1208b (a predetermined number of lead wires L is accommodated) is positioned on one flange 108 in the lead wire accommodating portion 102 of the lead wire tray 90. Thus, the control device 1220 outputs the opening command signal Sg2 to the second shutter opening / closing mechanism 1292b in the shutter mechanism 1216. The second shutter opening / closing mechanism 1292b opens the second shutter 1290b based on the input of the opening command signal Sg2 (step S205 in FIG. 20C). As a result, a predetermined number of lead wires L accommodated in the second hole 1208b fall into the cage 108 immediately below.

このとき、前記ステップS106と同様に、ストッカ振動機構1312を通じてストッカ1210に振動が所定時間付与される(図20CのステップS206)。このストッカ1210への振動付与によって、第2の孔部1208b内のリード線Lはその直下の升108内にスムーズに落下することとなる。   At this time, as in step S106, vibration is applied to the stocker 1210 through the stocker vibration mechanism 1312 for a predetermined time (step S206 in FIG. 20C). By applying vibration to the stocker 1210, the lead wire L in the second hole 1208b smoothly falls into the flange 108 immediately below.

更に、前記ステップS107と同様に、押出し機構1310を通じてヘッド1314を第2の孔部1208b内に挿入する(図20CのステップS207)。これによって、例えば第2の孔部1208b内に落下せずに残っていたリード線Lも前記ヘッド1314の移動駆動によって下方に押し出されることになり、この段階で第2の孔部1208b内にあった所定本数のリード線Lがすべて対応する升88内に収容されることになる(図20CのステップS208)。   Further, as in step S107, the head 1314 is inserted into the second hole 1208b through the push-out mechanism 1310 (step S207 in FIG. 20C). As a result, for example, the lead wire L remaining without falling into the second hole 1208b is pushed downward by the movement drive of the head 1314, and at this stage, the lead wire L is pushed into the second hole 1208b. The predetermined number of lead wires L are all accommodated in the corresponding collars 88 (step S208 in FIG. 20C).

その後、制御装置1220は、シャッタ機構1216における第2のシャッタ開閉機構1292bに遮蔽指令信号Si2を出力する。第2のシャッタ開閉機構1292bは、前記遮蔽指令信号Si2の入力に基づいて第2のシャッタ1290bを閉動作させる(図20CのステップS209)。これによって、第2の孔部1208bの下面開口が遮蔽され、該第2の孔部1208bによってリード線Lの収容空間が形成(区画)されることになる。   Thereafter, the control device 1220 outputs a shielding command signal Si2 to the second shutter opening / closing mechanism 1292b in the shutter mechanism 1216. The second shutter opening / closing mechanism 1292b closes the second shutter 1290b based on the input of the shielding command signal Si2 (step S209 in FIG. 20C). As a result, the lower surface opening of the second hole 1208b is shielded, and the accommodation space for the lead wire L is formed (partitioned) by the second hole 1208b.

その後、XYテーブル1218によってリード線用トレイ90が移動駆動されて、リード線用トレイ90の升目のうち、制御装置1220からのアドレスコードが示すアドレスの升目(例えば1行3列の升目)がストッカ1210の第2の孔部1208bの直下に位置決めされる(図20CのステップS210)。   Thereafter, the lead wire tray 90 is moved and driven by the XY table 1218, and among the cells of the lead wire tray 90, the cell of the address indicated by the address code from the control device 1220 (for example, the cell of the first row and the third column) is the stocker. Positioned just below the second hole 1208b of 1210 (step S210 in FIG. 20C).

そして、ストッカ1210が位置決め機構1214によって180°回転された後、前記ステップS201〜ステップS210が順次繰り返されることによって、所定本数のリード線Lの前記第2の孔部1208bへの供給、及びXYテーブル1218にて位置決めされた升目への所定本数のリード線Lの供給がサイクリックに行われることになる。   Then, after the stocker 1210 is rotated by 180 ° by the positioning mechanism 1214, the steps S201 to S210 are sequentially repeated to supply a predetermined number of lead wires L to the second hole 1208b, and the XY table. A predetermined number of lead wires L are cyclically supplied to the meshes positioned at 1218.

一方、前記ステップS204でのストッカ1210の180°回転に伴って、投入機構1212におけるガイド部材1270の直下に第1の孔部1208aが位置決めされる(図20BのステップS111)。この段階で、停止機構1248のエアシリンダ1258を通じて、前記整列搬送の一時停止状態が解除される(図20AのステップS10)。   On the other hand, with the rotation of the stocker 1210 by 180 ° in the step S204, the first hole 1208a is positioned immediately below the guide member 1270 in the input mechanism 1212 (step S111 in FIG. 20B). At this stage, the temporarily stopped state of the alignment conveyance is released through the air cylinder 1258 of the stop mechanism 1248 (step S10 in FIG. 20A).

その後、ステップS102〜ステップS111が順次繰り返されることによって、所定本数のリード線Lの第1の孔部1208aへの供給、及びXYテーブル1218にて位置決めされた升目への所定本数のリード線Lの供給がサイクリックに行われることになる。   Thereafter, step S102 to step S111 are sequentially repeated to supply a predetermined number of lead wires L to the first hole 1208a and to supply a predetermined number of lead wires L to the cells positioned by the XY table 1218. Supply will be done cyclically.

なお、搬送機構1206においては、ステップS7〜ステップS10での処理がサイクリックに繰り返されることになる。   In the transport mechanism 1206, the processes in steps S7 to S10 are cyclically repeated.

上述のようにして、リード線用トレイ90のすべての升目にそれぞれ所定本数のリード線Lが投入されると、該リード線用トレイ90は、次の製造工程に搬送されて、リード線振込み治具94へのリード線Lの自動供給(自動振込み)に使用されることになる。   As described above, when a predetermined number of lead wires L are inserted into all the cells of the lead wire tray 90, the lead wire tray 90 is transported to the next manufacturing process, and lead wire transfer treatment is performed. It is used for automatic supply (automatic transfer) of the lead wire L to the tool 94.

ところで、リード線振込み治具94へのリード線Lの自動供給は、リード線用トレイ90の各升108内に収容されているリード線Lがすべてなくなるまで行うようにしてもよいが、残り10本程度からリード線振込み治具94への供給が良好に行われない場合がある。このような場合には、各升108内に収容されているリード線Lの本数が例えば10本程度となったときに、リード線振込み治具94へのリード線Lの自動供給を停止して、再びリード線用トレイ90をXYテーブル1218にセットし、上述のリード線投入システム1000を使用してリード線用トレイ90の各升108内に所定本数のリード線Lを収容するようにする。   By the way, the automatic supply of the lead wire L to the lead wire transfer jig 94 may be performed until all the lead wires L accommodated in each cage 108 of the lead wire tray 90 are exhausted, but the remaining 10 From this level, the supply to the lead wire transfer jig 94 may not be performed satisfactorily. In such a case, when the number of the lead wires L accommodated in each cage 108 becomes about 10, for example, the automatic supply of the lead wires L to the lead wire transfer jig 94 is stopped. Then, the lead wire tray 90 is set again on the XY table 1218, and a predetermined number of lead wires L are accommodated in each cage 108 of the lead wire tray 90 using the above-described lead wire loading system 1000.

このときは、停止機構1248における比較器1256での比較処理に使用される所定値を変更するようにしてもよいし、所定本数にある程度の幅(10本程度の幅)を持たせる場合は、前記所定値を変更せずに上述の一連の処理を行うようにしてもよい。   At this time, the predetermined value used for the comparison process in the comparator 1256 in the stop mechanism 1248 may be changed. When the predetermined number has a certain width (about 10 width), The series of processes described above may be performed without changing the predetermined value.

このように、前記リード線投入システム1000においては、リード線用トレイ90のリード線収容部102に形成されている多数の升108内に、それぞれ所定本数のリード線L(陽極側リード18あるいは陰極側リード22)を縦向きに投入することができるため、その後の工程、例えばリード線振込み治具94へのリード線Lの供給処理、並びにリード線振込み治具94を通じて陽極側封止用治具40の各凹部58にリード線Lを供給するという処理の自動化を促進させることが可能となり、キセノン放電管10の生産効率の改善を達成させることができる。   As described above, in the lead wire loading system 1000, a predetermined number of lead wires L (the anode side lead 18 or the cathode lead 18 or the cathode side) are respectively placed in the large number of eaves 108 formed in the lead wire accommodating portion 102 of the lead wire tray 90. Side lead 22) can be inserted vertically, so that the anode side sealing jig can be provided through subsequent processes, for example, the supply process of the lead wire L to the lead wire transfer jig 94 and the lead wire transfer jig 94. Automation of the process of supplying the lead wire L to each of the 40 recesses 58 can be promoted, and the production efficiency of the xenon discharge tube 10 can be improved.

特に、リード線用トレイ90のリード線収容部102に対して多数本のリード線Lを縦向きに投入する作業、例えばリード線用トレイ90におけるリード線収容部102の各升108内にそれぞれ所定本数のリード線Lを投入する作業を自動的に行わせることが可能となり、リード線用トレイ90内へのリード線Lの投入作業の効率化及び迅速化を実現させることができる。   In particular, an operation of throwing a large number of lead wires L vertically into the lead wire accommodating portion 102 of the lead wire tray 90, for example, predetermined in each hook 108 of the lead wire accommodating portion 102 in the lead wire tray 90, respectively. It is possible to automatically perform the operation of inputting the number of lead wires L, and the efficiency and speed of the operation of inputting the lead wires L into the lead wire tray 90 can be realized.

次に、リード線用トレイ90内の陽極側リード18あるいは陰極側リード22並びにビーズ用トレイ92内のガラスビーズ70を陽極側封止用治具40あるいは陰極側封止用治具42に振り込む振込みシステム2000について図21〜図24Bを参照しながら説明する。   Next, the anode side lead 18 or the cathode side lead 22 in the lead wire tray 90 and the glass beads 70 in the bead tray 92 are transferred to the anode side sealing jig 40 or the cathode side sealing jig 42. The system 2000 will be described with reference to FIGS.

この振込みシステム2000は、陽極側封止用治具40及び陰極側封止用治具42をリード線挿入位置P1とビーズ挿入位置P2に搬送する搬送機構2302と、リード線用トレイ90を収容するための複数の棚2304が縦方向に配列されたリード線用トレイ受入れ部2306と、該リード線用トレイ受入れ部2306に配列されている前記複数の棚2304を上下方向に移動させて、指定された棚2304を投入口2308に搬送し、位置決めする第1の上下移動機構2310と、投入口2308に位置決めされた棚2304に載置されているリード線用トレイ90をリード線振込み治具94の設置位置まで搬送する、あるいはリード線用トレイ90を投入口2308まで戻すリード線用トレイ搬送機構2312と、リード線振込み治具94に設けられ、かつ、リード線振込み治具94とリード線用トレイ90を密着させる又はリード線振込み治具94と陽極側封止用治具40あるいは陰極側封止用治具42を密着させるチャッキング機構2314と、初期状態においてリード線振込み治具94を各連通孔128を下方に向けて支持し、前記チャッキング機構2314にて互いに密着させられた前記リード線用トレイ90とリード線振込み治具94、又は互いに密着させられた前記リード線振込み治具94と陽極側封止用治具40あるいは陰極側封止用治具42を反転する第1の反転機構2316と、前記チャッキング機構2314にて互いに密着させられた前記リード線用トレイ90とリード線振込み治具94、又は互いに密着させられた前記リード線振込み治具94と陽極側封止用治具40あるいは陰極側封止用治具42に対して回転揺動及び直進揺動を行う第1の揺動機構2318と、リード線振込み治具94の各連通孔128内に挿入された陽極側リード18あるいは陰極側リード22を真空吸着するための第1の吸着機構2320と、陽極側リード18あるいは陰極側リード22を真空吸着しているリード線振込み治具94を搬送機構2302上のリード線挿入位置P1まで搬送する第1の前後搬送機構2322とを有する。   This transfer system 2000 accommodates a transport mechanism 2302 that transports the anode-side sealing jig 40 and the cathode-side sealing jig 42 to the lead wire insertion position P1 and the bead insertion position P2, and the lead wire tray 90. A plurality of shelves 2304 for the lead wire tray receiving unit 2306 arranged in the vertical direction, and the plurality of shelves 2304 arranged in the lead wire tray receiving unit 2306 are moved up and down to be designated. The first vertical movement mechanism 2310 for transporting and positioning the shelf 2304 to the insertion port 2308 and the lead wire tray 90 placed on the shelf 2304 positioned at the insertion port 2308 are connected to the lead wire transfer jig 94. Lead wire tray transport mechanism 2312 that transports the lead wire tray 90 to the installation position or returns the lead wire tray 90 to the insertion port 2308, and lead wire transfer jig 4 and the lead wire transfer jig 94 and the lead wire tray 90 are brought into close contact with each other, or the lead wire transfer jig 94 and the anode side sealing jig 40 or the cathode side sealing jig 42 are brought into close contact with each other. In the initial state, the chucking mechanism 2314 and the lead wire transfer jig 94 are supported with the respective communication holes 128 facing downward, and the lead wire tray 90 and the lead wire transfer are brought into close contact with each other by the chucking mechanism 2314. The jig 94 or the lead wire transfer jig 94 and the anode side sealing jig 40 or the cathode side sealing jig 42 which are brought into close contact with each other, and the chucking mechanism 2314, the lead wire tray 90 and the lead wire transfer jig 94 brought into close contact with each other at 2314, or the lead wire transfer jig 94 and the anode brought into close contact with each other. Inserted into each communication hole 128 of the first swing mechanism 2318 that performs rotational swing and straight swing with respect to the sealing jig 40 or the cathode side sealing jig 42 and the lead wire transfer jig 94. The first suction mechanism 2320 for vacuum-sucking the anode-side lead 18 or the cathode-side lead 22 and the lead wire transfer jig 94 that vacuum-sucks the anode-side lead 18 or the cathode-side lead 22 are transported. A first front and rear transport mechanism 2322 that transports the lead wire to the upper lead insertion position P1.

前記第1の上下移動機構2310は、この振込みシステム2000に陽極側封止用治具40が投入された場合は、複数の棚2304に載置されているリード線用トレイ90のうち、陽極側リード18が入っているリード線用トレイ90を選択して投入口2308に搬送し、陰極側封止用治具42が投入された場合は、複数の棚2304に載置されているリード線用トレイ90のうち、陰極側リード22が入っているリード線用トレイ90を選択して投入口2308に搬送するように制御されることになる。   When the anode side sealing jig 40 is inserted into the transfer system 2000, the first vertical movement mechanism 2310 has an anode side among the lead wire trays 90 placed on the plurality of shelves 2304. When the lead wire tray 90 containing the lead 18 is selected and transported to the insertion port 2308 and the cathode side sealing jig 42 is inserted, the lead wire tray 90 placed on the plurality of shelves 2304 is selected. Control is performed so that the lead wire tray 90 containing the cathode side lead 22 is selected from the tray 90 and conveyed to the insertion port 2308.

また、この振込みシステム2000は、前記各種機構のほかに、ビーズ用トレイ92を収容するための複数の棚2330が縦方向に配列されたビーズ用トレイ受入れ部2332と、該ビーズ用トレイ受入れ部2332に配列されている前記複数の棚2330を上下方向に移動させて、指定された棚2330を投入口2334に搬送し、位置決めする第2の上下移動機構2358と、投入口2334に位置決めされた棚2330に載置されているビーズ用トレイ92をビーズ振込み治具96の設置位置まで搬送する、あるいはビーズ用トレイ92を投入口2334まで戻すビーズ用トレイ搬送機構2336と、ビーズ振込み治具96に設けられ、かつ、ビーズ振込み治具96とビーズ用トレイ92を密着させる又はビーズ振込み治具96と陽極側封止用治具40あるいは陰極側封止用治具42を密着させるチャッキング機構2338と、初期状態においてビーズ振込み治具96を各連通孔162を下方に向けて支持し、前記チャッキング機構2338にて互いに密着させられた前記ビーズ用トレイ92とビーズ振込み治具96、又は互いに密着させられた前記ビーズ振込み治具96と陽極側封止用治具40あるいは陰極側封止用治具42を反転する第2の反転機構2340と、前記チャッキング機構2338にて互いに密着させられた前記ビーズ用トレイ92とビーズ振込み治具96、又は前記ビーズ振込み治具96と陽極側封止用治具40あるいは陰極側封止用治具42に対して回転揺動及び直進揺動を行う第2の揺動機構2342と、ビーズ振込み治具96の各連通孔162内に挿入されたガラスビーズ70を真空吸着するための第2の吸着機構2344と、ガラスビーズ70を真空吸着しているビーズ振込み治具96を搬送機構2302上のビーズ挿入位置P2まで搬送する第2の前後搬送機構2346とを有する。   In addition to the various mechanisms, the transfer system 2000 includes a bead tray receiving portion 2332 in which a plurality of shelves 2330 for accommodating bead trays 92 are arranged in the vertical direction, and the bead tray receiving portion 2332. The plurality of shelves 2330 arranged in the vertical direction are moved in the vertical direction, the designated shelf 2330 is transported to the loading port 2334, and the second vertical movement mechanism 2358 for positioning is positioned, and the shelf positioned at the loading port 2334 Provided in the bead transfer jig 96 and the bead tray transfer mechanism 2336 for transporting the bead tray 92 placed on 2330 to the installation position of the bead transfer jig 96 or returning the bead tray 92 to the insertion port 2334 The bead transfer jig 96 and the bead tray 92 are in close contact with each other, or the bead transfer jig 96 and the anode A chucking mechanism 2338 for closely attaching the sealing jig 40 or the cathode side sealing jig 42 and a bead transfer jig 96 in the initial state are supported with the communication holes 162 facing downward, and the chucking mechanism 2338 is supported. The bead tray 92 and the bead transfer jig 96 which are brought into close contact with each other, or the bead transfer jig 96 and the anode side sealing jig 40 or the cathode side sealing jig 42 which are brought into close contact with each other. A second reversing mechanism 2340 for reversing and the bead tray 92 and bead transfer jig 96 brought into close contact with each other by the chucking mechanism 2338, or the bead transfer jig 96 and the anode side sealing jig 40. Alternatively, in the second swing mechanism 2342 that rotates and swings linearly with respect to the cathode side sealing jig 42, and in each communication hole 162 of the bead transfer jig 96. A second suction mechanism 2344 for vacuum-sucking the glass bead 70 that has been inserted; and a second transfer mechanism 96 for vacuum-sucking the glass bead 70 to the bead insertion position P2 on the transport mechanism 2302 A front-rear transport mechanism 2346.

また、この振込みシステム2000は、前記各種機構による動作タイミングをとるための図示しない各種センサと、各種センサからの検出信号や外部からの操作に従って予め設定されたシーケンスに基づいて各種機構を制御する制御装置2348を有する。   In addition, the transfer system 2000 is a control that controls various mechanisms based on various sensors (not shown) for taking the operation timing of the various mechanisms and a sequence set in advance according to detection signals from the various sensors and external operations. Device 2348.

次に、前記振込みシステム2000の処理動作を図22A〜図24Bの工程ブロック図も参照しながら説明する。   Next, the processing operation of the transfer system 2000 will be described with reference to the process block diagrams of FIGS. 22A to 24B.

まず、停止状態とされている搬送機構2302の搬送ベルト2350上の治具投入位置P0に例えば陽極側封止用治具40を載置し(図22AのステップS1)、リード線用トレイ受入れ部2306に複数のリード線用トレイ90を収容する(図22AのステップS2)。この1つのリード線用トレイ90には陽極側リード18がそれぞれ陽極棒20を上方に向けて収納され、他のリード線用トレイ90には例えば陰極側リード22がそれぞれ陰極棒32を上方に向けて収納されている。一方、ビーズ用トレイ受入れ部2332にも複数のビーズ用トレイ92を収容する(図22BのステップS101)。各ビーズ用トレイ92には多数個のビーズが収納されている。   First, for example, the anode side sealing jig 40 is placed at the jig loading position P0 on the conveyance belt 2350 of the conveyance mechanism 2302 in the stopped state (step S1 in FIG. 22A), and the lead wire tray receiving unit is placed. A plurality of lead wire trays 90 are accommodated in 2306 (step S2 in FIG. 22A). The anode lead 18 is accommodated in one lead wire tray 90 with the anode rod 20 facing upward, and the cathode lead 22 has, for example, the cathode rod 32 facing upward in the other lead wire tray 90. Are stored. On the other hand, a plurality of bead trays 92 are also accommodated in the bead tray receiving portion 2332 (step S101 in FIG. 22B). Each bead tray 92 stores a large number of beads.

前記搬送ベルト2350上に陽極側封止用治具40を載置する場合は、まず、搬送ベルト2350上に陽極側下アダプタ184が載置され、続いて該下アダプタ184上に陽極側封止用治具40が載置される。   When placing the anode-side sealing jig 40 on the transport belt 2350, first, the anode-side lower adapter 184 is placed on the transport belt 2350, and then the anode-side sealing is performed on the lower adapter 184. A jig 40 is placed.

次に、制御装置2348に接続されている制御卓(図示せず)の例えば振込み開始スイッチ(図示せず)が操作されて振込みの開始指示が制御装置2348に入力されると、制御装置2348は搬送機構2302に起動信号Saを出力すると同時に第1及び第2の上下移動機構2310及び2358にそれぞれ起動信号(Sb1,Sb2)と棚番号を示すコードデータ(Dt1,Dt2)を出力する。   Next, when, for example, a transfer start switch (not shown) of a control console (not shown) connected to the control device 2348 is operated and a transfer start instruction is input to the control device 2348, the control device 2348 The activation signal Sa is output to the transport mechanism 2302, and simultaneously, the activation signal (Sb1, Sb2) and code data (Dt1, Dt2) indicating the shelf number are output to the first and second vertical movement mechanisms 2310 and 2358, respectively.

搬送機構2302は、前記起動信号Saの入力に基づいて搬送ベルト2350を一方向に駆動する。これによって、該搬送ベルト2350上に載置されている陽極側封止用治具40はリード線挿入位置P1に向けて搬送されることになる。この搬送機構2302による前記搬送駆動によって陽極側封止用治具40がリード線挿入位置P1に到達した時点で図示しないセンサから検出信号が出力されて制御装置2348に入力される。制御装置2348は、前記センサからの検出信号の入力に基づいて搬送機構2302に停止信号を出力して該搬送機構2302による陽極側封止用治具40の搬送を停止させる。これによって、陽極側封止用治具40が搬送ベルト2350上のリード線挿入位置P1に位置決めされる(図22AのステップS3)。このとき、搬送ベルト2350上の治具投入位置P0に別の陽極側封止用治具40が載置される。この別の陽極側封止用治具40は、次のサイクルでリード挿入位置P1まで搬送されて陽極側リード18が挿入されることになる。   The transport mechanism 2302 drives the transport belt 2350 in one direction based on the input of the activation signal Sa. As a result, the anode side sealing jig 40 placed on the transport belt 2350 is transported toward the lead wire insertion position P1. When the anode side sealing jig 40 reaches the lead wire insertion position P <b> 1 by the transport driving by the transport mechanism 2302, a detection signal is output from a sensor (not shown) and input to the control device 2348. The control device 2348 outputs a stop signal to the transport mechanism 2302 based on the input of the detection signal from the sensor, and stops the transport of the anode side sealing jig 40 by the transport mechanism 2302. Thereby, the anode side sealing jig 40 is positioned at the lead wire insertion position P1 on the transport belt 2350 (step S3 in FIG. 22A). At this time, another anode-side sealing jig 40 is placed at the jig loading position P0 on the transport belt 2350. This other anode side sealing jig 40 is transported to the lead insertion position P1 in the next cycle, and the anode side lead 18 is inserted.

第1の上下移動機構2310は、前記制御装置2348からの起動信号Sb1の入力に基づいて複数の棚2304の上下方向への移動駆動を開始し、入力されたコードデータDt1が示す棚番号に対応する棚2304を投入口2308まで搬送して位置決めする(図22AのステップS4)。   The first vertical movement mechanism 2310 starts to move the plurality of shelves 2304 in the vertical direction based on the input of the activation signal Sb1 from the control device 2348, and corresponds to the shelf number indicated by the input code data Dt1. The shelf 2304 to be carried is conveyed to the insertion port 2308 and positioned (step S4 in FIG. 22A).

一方、第2の上下移動機構2358においても、前記制御装置2348からの起動信号Sb2の入力に基づいて複数の棚2330の上下方向への移動駆動を開始し、入力されたコードデータDt2が示す棚番号に対応する棚2330を投入口2334まで搬送して位置決めする(図22BのステップS102)。   On the other hand, the second vertical movement mechanism 2358 also starts moving the plurality of shelves 2330 in the vertical direction based on the input of the activation signal Sb2 from the control device 2348, and the shelf indicated by the input code data Dt2 The shelf 2330 corresponding to the number is conveyed to the insertion port 2334 and positioned (step S102 in FIG. 22B).

制御装置2348は、第1の上下移動機構2310による前記棚2304の位置決めが完了した時点でリード線用トレイ搬送機構2312に起動信号Sc1を出力し、第2の上下移動機構2358による前記棚2330の位置決めが完了した時点でビーズ用トレイ搬送機構2336に起動信号Sc2を出力する。   When the positioning of the shelf 2304 by the first vertical movement mechanism 2310 is completed, the control device 2348 outputs an activation signal Sc1 to the lead wire tray transport mechanism 2312, and the second vertical movement mechanism 2358 outputs the shelf 2330. When the positioning is completed, an activation signal Sc2 is output to the bead tray transport mechanism 2336.

リード線用トレイ搬送機構2312は、前記起動信号Sc1の入力に基づいて、前記リード線用トレイ90をリード線振込み治具94の設置位置に向けて搬送し、リード線用トレイ90を該設置位置に位置決めする(図22AのステップS5)。これによって、連通孔128を下方に向けて設置されているリード線振込み治具94の直下に、リード線用トレイ90がリード線収容部102を上方に向けて対向することになる。   The lead wire tray transport mechanism 2312 transports the lead wire tray 90 toward the installation position of the lead wire transfer jig 94 based on the input of the activation signal Sc1, and the lead wire tray 90 is moved to the installation position. (Step S5 in FIG. 22A). As a result, the lead wire tray 90 faces the lead wire receiving portion 102 upward, directly below the lead wire transfer jig 94 installed with the communication hole 128 facing downward.

一方、ビーズ用トレイ搬送機構2336は、前記起動信号Sc2の入力に基づいて、前記ビーズ用トレイ92をビーズ振込み治具96の設置位置に向けて搬送し、ビーズ用トレイ92を該設置位置に位置決めする(図22BのステップS103)。これによって、連通孔162を下方に向けて設置されているビーズ振込み治具96の直下に、ビーズ用トレイ92がビーズ収納部112を上方に向けて対向することになる。   On the other hand, the bead tray transport mechanism 2336 transports the bead tray 92 toward the installation position of the bead transfer jig 96 based on the input of the activation signal Sc2, and positions the bead tray 92 at the installation position. (Step S103 in FIG. 22B). As a result, the bead tray 92 faces the bead storage portion 112 upward directly below the bead transfer jig 96 installed with the communication hole 162 facing downward.

続いて、制御装置2348は、リード線振込み治具94に取り付けられているチャッキング機構2314とビーズ振込み治具96に取り付けられているチャッキング機構2338にそれぞれ保持指令信号Sd1及びSd2を出力する。   Subsequently, the control device 2348 outputs holding command signals Sd1 and Sd2 to the chucking mechanism 2314 attached to the lead wire transfer jig 94 and the chucking mechanism 2338 attached to the bead transfer jig 96, respectively.

リード線振込み治具94のチャッキング機構2314は、前記保持指令信号Sd1の入力に基づいて、チャッキング爪140(図10参照)を駆動し、該チャッキング爪140でリード線用トレイ90のフランジ部100を引っかけて、該リード線用トレイ90を抱え込むことにより、該リード線用トレイ90とリード線振込み治具94とを互いにリード線収容部102と連通孔128とが対向するように密着させる(図22AのステップS6)。   The chucking mechanism 2314 of the lead wire transfer jig 94 drives the chucking claw 140 (see FIG. 10) based on the input of the holding command signal Sd1, and the chucking claw 140 uses the flange of the lead wire tray 90. By hooking the portion 100 and holding the lead wire tray 90, the lead wire tray 90 and the lead wire transfer jig 94 are brought into close contact with each other so that the lead wire accommodating portion 102 and the communication hole 128 face each other. (Step S6 in FIG. 22A).

一方、ビーズ振込み治具96のチャッキング機構2338は、前記保持指令信号Sd2の入力に基づいて、チャッキング爪140(図11参照)を駆動し、該チャッキング爪140でビーズ用トレイ92のフランジ部110を引っかけて、該ビーズ用トレイ92を抱え込むことにより、該ビーズ用トレイ92とビーズ振込み治具96とを互いにビーズ収納部112と連通孔162とが対向するように密着させる(図22BのステップS104)。   On the other hand, the chucking mechanism 2338 of the bead transfer jig 96 drives the chucking claw 140 (see FIG. 11) based on the input of the holding command signal Sd2, and the chucking claw 140 uses the flange of the bead tray 92. By hooking the portion 110 and holding the bead tray 92, the bead tray 92 and the bead transfer jig 96 are brought into close contact with each other so that the bead storage portion 112 and the communication hole 162 face each other (FIG. 22B). Step S104).

次いで、制御装置2348は、第1及び第2の反転機構2316及び2340にそれぞれ起動信号Se1及びSe2を出力する。第1の反転機構2316は、前記起動信号Se1の入力に基づいて、前記リード線振込み治具94のチャッキング機構2314にて互いに密着させられた前記リード線用トレイ90とリード線振込み治具94を反転して、該リード線振込み治具94を下側に位置させる(図22AのステップS7)。   Next, the control device 2348 outputs activation signals Se1 and Se2 to the first and second reversing mechanisms 2316 and 2340, respectively. The first reversing mechanism 2316 is based on the input of the activation signal Se1, and the lead wire tray 90 and the lead wire transfer jig 94 that are brought into close contact with each other by the chucking mechanism 2314 of the lead wire transfer jig 94. And the lead wire transfer jig 94 is positioned on the lower side (step S7 in FIG. 22A).

この段階で、リード線用トレイ90のリード線収容部102に蓄積されている多数本の陽極側リード18がリード線振込み治具94に向かって自由落下し、そのうち、リード線振込み治具94の各連通孔128に対応する位置にあった陽極側リード18がそのまま連通孔128に挿入されることとなる。   At this stage, a large number of anode-side leads 18 accumulated in the lead wire accommodating portion 102 of the lead wire tray 90 freely fall toward the lead wire transfer jig 94, and among them, the lead wire transfer jig 94 The anode-side lead 18 at the position corresponding to each communication hole 128 is inserted into the communication hole 128 as it is.

この場合、陽極側リード18の挿入側においては、図12に示すように、小孔126の径d、大孔124の径D、陽極側リード18における陽極棒20の径dw、溶接部分76の径dyの関係が、
dw<d<dy
dy<D<2dw
とされていることから、小孔126には、陽極棒20は挿入されるが、アウターリード26は挿入不可とされ、更に、大孔124には、2本以上の陽極側リード18は挿入されないこととなる。即ち、各連通孔128にはそれぞれ1本ずつ陽極側リード18がアウターリード26を大孔124内に位置させて挿入されることになる。
In this case, on the insertion side of the anode side lead 18, as shown in FIG. 12, the diameter d of the small hole 126, the diameter D of the large hole 124, the diameter dw of the anode rod 20 in the anode side lead 18, The relationship of the diameter dy is
dw <d <dy
dy <D <2dw
Therefore, the anode rod 20 is inserted into the small hole 126, but the outer lead 26 cannot be inserted, and more than two anode-side leads 18 are not inserted into the large hole 124. It will be. That is, one anode side lead 18 is inserted into each communication hole 128 with the outer lead 26 positioned in the large hole 124.

一方、第2の反転機構2340は、前記起動信号Se2の入力に基づいて、前記ビーズ振込み治具96のチャッキング機構2338にて互いに密着させられた前記ビーズ用トレイ92とビーズ振込み治具96を反転して、該ビーズ振込み治具96を下側に位置させる(図22BのステップS105)。   On the other hand, the second reversing mechanism 2340 causes the bead tray 92 and the bead transfer jig 96 to be brought into close contact with each other by the chucking mechanism 2338 of the bead transfer jig 96 based on the input of the activation signal Se2. The bead transfer jig 96 is inverted and positioned on the lower side (step S105 in FIG. 22B).

この段階で、ビーズ用トレイ92のビーズ収納部112に蓄積されている多数個のガラスビーズ70がビーズ振込み治具96に向かって自由落下し、そのうち、ビーズ振込み治具96の各連通孔162に対応する位置にあったガラスビーズ70が軸を鉛直方向に向けた状態で各連通孔162に挿入されることとなる。   At this stage, a large number of glass beads 70 accumulated in the bead storage portion 112 of the bead tray 92 freely fall toward the bead transfer jig 96, and among these, the respective holes 162 in the bead transfer jig 96. The glass beads 70 at the corresponding positions are inserted into the respective communication holes 162 with their axes directed in the vertical direction.

この場合、ビーズ振込み治具96の大孔158の深さHFとガラスビーズ70の高さhBとの関係を0.9hb<HF<1.2hBとして、ほぼ同一にするようにしているため、1つの大孔158に2つ以上のガラスビーズ70が挿入されるような不都合は生じない。 In this case, the relationship between the height h B of the depth H F and glass beads 70 in the large hole 158 of the bead transfer jig 96 as 0.9hb <H F <1.2h B, so as to substantially the same Therefore, there is no inconvenience that two or more glass beads 70 are inserted into one large hole 158.

更に、この例では、陽極側リード18の前記連通孔128への挿入並びにガラスビーズ70の前記連通孔162への挿入をそれぞれ確実とするために、前記リード線振込み治具94のチャッキング機構2314にて互いに密着させられた前記リード線用トレイ90とリード線振込み治具94、並びに前記ビーズ振込み治具96のチャッキング機構2338にて互いに密着させられた前記ビーズ用トレイ92とビーズ振込み治具96をそれぞれ揺動するようにしている。   Further, in this example, in order to ensure insertion of the anode-side lead 18 into the communication hole 128 and insertion of the glass beads 70 into the communication hole 162, the chucking mechanism 2314 of the lead wire transfer jig 94 is ensured. And the bead transfer jig 94 and the bead transfer jig 94 which are brought into close contact with each other by the chucking mechanism 2338 of the bead transfer jig 96. Each 96 is swung.

即ち、制御装置2348は、前記第1及び第2の反転機構2316及び2340による反転処理が終了した時点で、第1及び第2の揺動機構2318及び2342にそれぞれ起動信号Sf1及びSf2を出力する。第1の揺動機構2318は、前記起動信号Sf1の入力に基づいて、前記密着させられたリード線用トレイ90とリード線振込み治具94に対して回転揺動及び直進揺動を行う(図22AのステップS8)。これによって、リード線振込み治具94の各連通孔128に対して陽極側リード18がそれぞれ1本ずつ確実に挿入されることになる。   That is, the control device 2348 outputs the start signals Sf1 and Sf2 to the first and second swing mechanisms 2318 and 2342, respectively, when the reversing process by the first and second reversing mechanisms 2316 and 2340 is completed. . Based on the input of the start signal Sf1, the first swing mechanism 2318 performs rotational swing and straight swing with respect to the lead wire tray 90 and the lead wire transfer jig 94 that are in close contact with each other (FIG. 22A, step S8). As a result, one anode-side lead 18 is reliably inserted into each communication hole 128 of the lead wire transfer jig 94.

一方、第2の揺動機構2342は、前記起動信号Sf2の入力に基づいて、前記ビーズ振込み治具96のチャッキング機構2338にて互いに密着させられた前記ビーズ用トレイ92とビーズ振込み治具96に対して回転揺動及び直進揺動を行う(図22BのステップS106)。これによって、ビーズ振込み治具96の各連通孔162に対してガラスビーズ70がそれぞれ1個ずつ確実に挿入されることになる。   On the other hand, the second swing mechanism 2342 receives the bead tray 92 and the bead transfer jig 96 that are brought into close contact with each other by the chucking mechanism 2338 of the bead transfer jig 96 based on the input of the activation signal Sf2. Rotation swing and straight swing are performed (step S106 in FIG. 22B). As a result, one glass bead 70 is surely inserted into each communication hole 162 of the bead transfer jig 96.

その後、制御装置2348は、第1及び第2の吸着機構2320及び2344にそれぞれ吸着指令信号Sg1及びSg2を出力する。第1の吸着機構2320は、前記吸着指令信号Sg1の入力に基づいて、真空ポンプ2352とリード線振込み治具94間に設置された第1の電磁弁2354を開操作することにより、リード線振込み治具94の空所120を真空引きして各連通孔128に挿入された陽極側リード18を該連通孔128内に保持させる。即ち、陽極側リード18を真空吸着によってリード線保持部142に保持させる(図22AのステップS9)。   Thereafter, the control device 2348 outputs suction command signals Sg1 and Sg2 to the first and second suction mechanisms 2320 and 2344, respectively. The first suction mechanism 2320 opens the first electromagnetic valve 2354 installed between the vacuum pump 2352 and the lead wire transfer jig 94 based on the input of the suction command signal Sg1, thereby transferring the lead wire. The void 120 of the jig 94 is evacuated to hold the anode-side lead 18 inserted into each communication hole 128 in the communication hole 128. That is, the anode side lead 18 is held by the lead wire holding unit 142 by vacuum suction (step S9 in FIG. 22A).

一方、第2の吸着機構2344は、前記吸着指令信号Sg2の入力に基づいて、真空ポンプ2352とビーズ振込み治具96間に設置された第2の電磁弁2356を開操作することにより、ビーズ振込み治具96の空所150を真空引きして各連通孔162に挿入されたガラスビーズ70を該連通孔162内に保持させる。即ち、ガラスビーズ70を真空吸着によってビーズ保持部168に保持させる(図22BのステップS107)。   On the other hand, the second suction mechanism 2344 opens the second electromagnetic valve 2356 installed between the vacuum pump 2352 and the bead transfer jig 96 based on the input of the suction command signal Sg2, thereby transferring the beads. The void 150 of the jig 96 is evacuated to hold the glass beads 70 inserted into the communication holes 162 in the communication holes 162. That is, the glass beads 70 are held by the bead holding unit 168 by vacuum suction (step S107 in FIG. 22B).

次に、制御装置2348は、第1及び第2の揺動機構2318及び2342にそれぞれ停止信号Sf3及びSf4を出力すると同時に第1及び第2の反転機構2316及び2340にそれぞれ反転信号Se3及びSe4を出力する。第1の揺動機構2318は、前記停止信号Sf3の入力に基づいて、前記密着状態にあるリード線用トレイ90とリード線振込み治具94に対する揺動駆動を停止し(図23AのステップS10)、第1の反転機構2316は、前記反転信号Se3の入力に基づいて、前記密着状態にあるリード線用トレイ90とリード線振込み治具94を反転して、リード線用トレイ90を下側に位置させる(図23AのステップS11)。   Next, the control device 2348 outputs stop signals Sf3 and Sf4 to the first and second oscillating mechanisms 2318 and 2342, respectively, and simultaneously outputs inverted signals Se3 and Se4 to the first and second inverting mechanisms 2316 and 2340, respectively. Output. Based on the input of the stop signal Sf3, the first swing mechanism 2318 stops swing drive for the lead wire tray 90 and the lead wire transfer jig 94 in the contact state (step S10 in FIG. 23A). The first reversing mechanism 2316 reverses the lead wire tray 90 and the lead wire transfer jig 94 in the close contact state based on the input of the reversal signal Se3, and moves the lead wire tray 90 downward. (Step S11 in FIG. 23A).

一方、第2の揺動機構2342は、前記停止信号Sf4の入力に基づいて、前記密着状態にあるビーズ用トレイ92とビーズ振込み治具96に対する揺動駆動を停止し(図23BのステップS108)、第2の反転機構2340は、前記反転信号Se4の入力に基づいて、前記密着状態にあるビーズ用トレイ92とビーズ振込み治具96を反転して、ビーズ用トレイ92を下側に位置させる(図23BのステップS109)。   On the other hand, based on the input of the stop signal Sf4, the second swing mechanism 2342 stops the swing drive for the bead tray 92 and the bead transfer jig 96 in the close contact state (step S108 in FIG. 23B). The second reversing mechanism 2340 reverses the bead tray 92 and the bead transfer jig 96 in the close contact state based on the input of the reversal signal Se4 and positions the bead tray 92 on the lower side ( Step S109 in FIG. 23B).

続いて、制御装置2348は、各チャッキング機構2314及び2338に解除指令信号Sd3及びSd4を出力する。リード線振込み治具94のチャッキング機構2314は、前記解除指令信号Sd3の入力に基づいて、チャッキング爪140によるリード線用トレイ90のチャッキングを解除して(図23AのステップS12)、該リード線用トレイ90をリード線用トレイ搬送機構2312の搬送路上に載置する。   Subsequently, the control device 2348 outputs release command signals Sd3 and Sd4 to the chucking mechanisms 2314 and 2338, respectively. The chucking mechanism 2314 of the lead wire transfer jig 94 releases the chucking of the lead wire tray 90 by the chucking claw 140 based on the input of the release command signal Sd3 (Step S12 in FIG. 23A), The lead wire tray 90 is placed on the transport path of the lead wire tray transport mechanism 2312.

一方、ビーズ振込み治具96のチャッキング機構2338は、前記解除指令信号Sd4の入力に基づいて、チャッキング爪140によるビーズ用トレイ92のチャッキングを解除して(図23BのステップS110)、該ビーズ用トレイ92をビーズ用トレイ搬送機構2336の搬送路上に載置する。この段階から、ガラスビーズ70の振込み側は待機状態とされる。   On the other hand, the chucking mechanism 2338 of the bead transfer jig 96 releases the chucking of the bead tray 92 by the chucking claw 140 based on the input of the release command signal Sd4 (step S110 in FIG. 23B). The bead tray 92 is placed on the transport path of the bead tray transport mechanism 2336. From this stage, the transfer side of the glass beads 70 is in a standby state.

次に、制御装置2348は、第1の前後搬送機構2322に起動信号Sh1を出力する。第1の前後搬送機構2322は、前記起動信号Sh1の入力に基づいて、陽極側リード18を各連通孔128に真空吸着しているリード線振込み治具94を搬送ベルト2350上のリード線挿入位置P1まで搬送し、位置決めする(図23AのステップS13)。これによって、リード線振込み治具94の各連通孔128と陽極側封止用治具40の各凹部58とが対向したかたちとなる。   Next, the control device 2348 outputs an activation signal Sh1 to the first front-rear transport mechanism 2322. Based on the input of the start signal Sh1, the first back-and-forth transport mechanism 2322 uses the lead wire transfer jig 94 that vacuum-sucks the anode-side lead 18 in each communication hole 128 to the lead wire insertion position on the transport belt 2350. It is transported to P1 and positioned (step S13 in FIG. 23A). As a result, the communication holes 128 of the lead wire transfer jig 94 and the recesses 58 of the anode side sealing jig 40 face each other.

次に、制御装置2348は、前記チャッキング機構2314に保持指令信号Sd1を出力する。チャッキング機構2314は、前記保持指令信号Sd1の入力に基づいて、前記チャッキング爪140を駆動し、該チャッキング爪140で陽極側封止用治具40の下支持板52を引っかけて、該陽極側封止用治具40を抱え込むことにより、該リード線振込み治具94と陽極側封止用治具40とを互いに各連通孔128と各凹部58とが対向するように密着させる(図23AのステップS14)。   Next, the control device 2348 outputs a holding command signal Sd1 to the chucking mechanism 2314. The chucking mechanism 2314 drives the chucking claw 140 based on the input of the holding command signal Sd1, hooks the lower support plate 52 of the anode-side sealing jig 40 with the chucking claw 140, and By holding the anode-side sealing jig 40, the lead wire transfer jig 94 and the anode-side sealing jig 40 are brought into close contact with each other so that the communication holes 128 and the recesses 58 face each other (see FIG. 23A, step S14).

その後、制御装置2348は、第1の吸着機構2320に吸着解除信号Sg3を出力する。第1の吸着機構2320は、前記吸着解除信号Sg3の入力に基づいて、前記第1の電磁弁2354を閉操作することにより、リード線振込み治具94の空所120を大気圧に戻す(図23AのステップS15)。   Thereafter, the control device 2348 outputs a suction release signal Sg3 to the first suction mechanism 2320. The first suction mechanism 2320 returns the void 120 of the lead wire transfer jig 94 to atmospheric pressure by closing the first electromagnetic valve 2354 based on the input of the suction release signal Sg3 (see FIG. 23A, step S15).

これによって、リード線振込み治具94の各連通孔128に挿入されていた陽極側リード18が陽極側封止用治具40の凹部58に向かって自由落下し、そのまま、陽極側リード18のアウターリード26が陽極側封止用治具40のリード挿通孔60に挿入されることになる。   As a result, the anode-side lead 18 inserted into each communication hole 128 of the lead wire transfer jig 94 freely falls toward the recess 58 of the anode-side sealing jig 40, and the outer lead of the anode-side lead 18 is left as it is. The lead 26 is inserted into the lead insertion hole 60 of the anode side sealing jig 40.

更に、この例では、前記陽極側リード18の挿入を確実とするために、前記チャッキング機構2314にて互いに密着させられた前記リード線振込み治具94と陽極側封止用治具40を揺動するようにしている。即ち、制御装置2348は、前記第1の吸着機構2320による第1の電磁弁2354の閉操作が終了した時点で、第1の揺動機構2318に起動信号Sf1を出力する。第1の揺動機構2318は、前記起動信号Sf1の入力に基づいて、前記密着させられたリード線振込み治具94と陽極側封止用治具40に対して回転揺動及び直進揺動を行う(図23AのステップS16)。これによって、陽極側封止用治具40の各凹部58に対して陽極側リード18がそれぞれ1本ずつ確実に挿入されることになる。   Further, in this example, in order to ensure the insertion of the anode side lead 18, the lead wire transfer jig 94 and the anode side sealing jig 40 which are brought into close contact with each other by the chucking mechanism 2314 are shaken. I try to move. That is, the control device 2348 outputs the activation signal Sf1 to the first swing mechanism 2318 when the closing operation of the first electromagnetic valve 2354 by the first adsorption mechanism 2320 is completed. Based on the input of the start signal Sf 1, the first swing mechanism 2318 rotates and swings the lead wire transfer jig 94 and the anode side sealing jig 40 that are in close contact with each other. This is performed (step S16 in FIG. 23A). As a result, one anode-side lead 18 is reliably inserted into each recess 58 of the anode-side sealing jig 40.

次に、制御装置2348は、第1の揺動機構2318に停止信号Sf3を出力した後、前記チャッキング機構2314に解除指令信号Sd3を出力する。第1の揺動機構2318は、前記停止信号Sf3の入力に基づいて、前記密着状態にあるリード線振込み治具94と陽極側封止用治具40に対する揺動駆動を停止する(図23AのステップS17)。チャッキング機構2314は、前記解除指令信号Sd3の入力に基づいてチャッキング爪140による陽極側封止用治具40のチャッキングを解除して(図23AのステップS18)、該陽極側封止用治具40を搬送機構2302の搬送ベルト2350上に載置する。   Next, the control device 2348 outputs a stop signal Sf3 to the first swing mechanism 2318 and then outputs a release command signal Sd3 to the chucking mechanism 2314. Based on the input of the stop signal Sf3, the first swing mechanism 2318 stops the swing drive for the lead wire transfer jig 94 and the anode side sealing jig 40 in the contact state (in FIG. 23A). Step S17). The chucking mechanism 2314 releases the chucking of the anode side sealing jig 40 by the chucking claw 140 based on the input of the release command signal Sd3 (step S18 in FIG. 23A), and performs the anode side sealing. The jig 40 is placed on the conveyance belt 2350 of the conveyance mechanism 2302.

その後、制御装置2348は、第1の前後搬送機構2322に復帰信号Sh3を出力すると同時に搬送機構2302に搬送再開信号Saを出力する。第1の前後搬送機構2322は、前記復帰信号Sh3の入力に基づいて、リード線振込み治具94を元の位置に復帰させる(図24AのステップS19)。   Thereafter, the control device 2348 outputs a return signal Sh3 to the first front-rear transport mechanism 2322 and simultaneously outputs a transport restart signal Sa to the transport mechanism 2302. The first front / rear transport mechanism 2322 returns the lead wire transfer jig 94 to the original position based on the input of the return signal Sh3 (step S19 in FIG. 24A).

搬送機構2302は、前記搬送再開信号Saの入力に基づいて陽極側封止用治具40の搬送を再開する。これによって、該搬送ベルト2350上に載置されている陽極側封止用治具40は今度はビーズ挿入位置P2に向けて搬送され、該ビーズ挿入位置P2に位置決めされる(図24AのステップS20)。   The transport mechanism 2302 restarts transport of the anode-side sealing jig 40 based on the input of the transport restart signal Sa. Thus, the anode side sealing jig 40 placed on the transport belt 2350 is transported toward the bead insertion position P2 and is positioned at the bead insertion position P2 (step S20 in FIG. 24A). ).

このとき、搬送ベルト2350上の治具投入位置P0に載置されていた別の陽極側封止用治具40がリード線挿入位置P1に位置決めされ、上述した一連の処理(図22AのステップS6〜図24のステップS20の処理)が繰り返されることによって、当該別の陽極側封止用治具40の各凹部58に陽極側リード18が陽極棒20を上方に向けて挿入されることになる。   At this time, another anode-side sealing jig 40 placed at the jig insertion position P0 on the conveyor belt 2350 is positioned at the lead wire insertion position P1, and the series of processes described above (step S6 in FIG. 22A). 24 to step S20 in FIG. 24 is repeated, the anode-side lead 18 is inserted into each recess 58 of the other anode-side sealing jig 40 with the anode rod 20 facing upward. .

前記制御装置2348は、前記陽極側封止用治具40がビーズ挿入位置P2に位置決めされた時点で、今度は、第2の前後搬送機構2346に起動信号Sh2を出力する。第2の前後搬送機構2346は、前記起動信号Sh2の入力に基づいて、ガラスビーズ70を各連通孔162に真空吸着しているビーズ振込み治具96を搬送ベルト2350上のビーズ挿入位置P2まで搬送し、位置決めする(図24BのステップS111)。これによって、ビーズ振込み治具96の各連通孔162と陽極側封止用治具40の各凹部58とが対向したかたちとなる。   When the anode side sealing jig 40 is positioned at the bead insertion position P2, the control device 2348 outputs an activation signal Sh2 to the second front / rear transport mechanism 2346. The second back-and-forth transport mechanism 2346 transports the bead transfer jig 96 that vacuum-adsorbs the glass beads 70 to the respective communication holes 162 to the bead insertion position P2 on the transport belt 2350 based on the input of the start signal Sh2. Then, positioning is performed (step S111 in FIG. 24B). As a result, the communication holes 162 of the bead transfer jig 96 and the concave portions 58 of the anode side sealing jig 40 face each other.

次に、制御装置2348は、前記チャッキング機構2338に保持指令信号Sd2を出力する。チャッキング機構2338は、前記保持指令信号Sd2の入力に基づいて、前記チャッキング爪140を駆動し、該チャッキング爪140で陽極側封止用治具40の下支持板52を引っかけて、該陽極側封止用治具40を抱え込むことにより、該ビーズ振込み治具96と陽極側封止用治具40とを互いに各連通孔162と各凹部58とが対向するように密着させる(図24BのステップS112)。   Next, the control device 2348 outputs a holding command signal Sd2 to the chucking mechanism 2338. The chucking mechanism 2338 drives the chucking claw 140 based on the input of the holding command signal Sd2, hooks the lower support plate 52 of the anode-side sealing jig 40 with the chucking claw 140, and By holding the anode-side sealing jig 40, the bead transfer jig 96 and the anode-side sealing jig 40 are brought into close contact with each other so that the communication holes 162 and the recesses 58 face each other (FIG. 24B). Step S112).

その後、制御装置2348は、第2の吸着機構2344に吸着解除信号Sg4を出力する。第2の吸着機構2344は、前記吸着解除信号Sg4の入力に基づいて、前記第2の電磁弁2356を閉操作することにより、ビーズ振込み治具96の空所150を大気圧に戻す(図24BのステップS113)。   Thereafter, the control device 2348 outputs a suction release signal Sg4 to the second suction mechanism 2344. The second suction mechanism 2344 closes the second electromagnetic valve 2356 based on the input of the suction release signal Sg4, thereby returning the void 150 of the bead transfer jig 96 to atmospheric pressure (FIG. 24B). Step S113).

これによって、ビーズ振込み治具96の各連通孔162に挿入されていたガラスビーズ70が陽極側封止用治具40の凹部58に向かって自由落下し、そのまま、陽極側リード18の陽極棒20に挿入されることになる。   As a result, the glass beads 70 inserted into the respective communication holes 162 of the bead transfer jig 96 freely fall toward the concave portion 58 of the anode side sealing jig 40, and the anode rod 20 of the anode side lead 18 is left as it is. Will be inserted.

更に、この例では、前記ガラスビーズ70の挿入を確実とするために、前記ビーズ振込み治具96のチャッキング機構2338にて互いに密着させられた前記ビーズ振込み治具96と陽極側封止用治具40を揺動するようにしている。即ち、制御装置2348は、前記第2の吸着機構2344による第2の電磁弁2356の閉操作が終了した時点で、第2の揺動機構2342に起動信号Sf2を出力する。   Furthermore, in this example, in order to ensure the insertion of the glass beads 70, the bead transfer jig 96 and the anode side sealing jig that are brought into close contact with each other by the chucking mechanism 2338 of the bead transfer jig 96 are used. The tool 40 is swung. That is, the control device 2348 outputs the activation signal Sf2 to the second swing mechanism 2342 when the closing operation of the second electromagnetic valve 2356 by the second adsorption mechanism 2344 is completed.

第2の揺動機構2342は、前記起動信号Sf2の入力に基づいて、前記密着させられた前記ビーズ振込み治具96と陽極側封止用治具40に対して回転揺動及び直進揺動を行う(図24BのステップS114)。これによって、陽極側封止用治具40の各凹部58に挿入されている陽極側リード18の陽極棒20に対してガラスビーズ70がそれぞれ確実に挿入されることになる。   Based on the input of the start signal Sf2, the second swing mechanism 2342 rotates and swings the bead transfer jig 96 and the anode-side sealing jig 40 that are in close contact with each other. This is performed (step S114 in FIG. 24B). As a result, the glass beads 70 are surely inserted into the anode rod 20 of the anode side lead 18 inserted into each recess 58 of the anode side sealing jig 40.

次に、制御装置2348は、第2の揺動機構2342に停止信号Sf4を出力した後、前記チャッキング機構2338に解除指令信号Sd4を出力する。第2の揺動機構2342は、前記停止信号Sf4の入力に基づいて、前記密着状態にあるビーズ振込み治具96と陽極側封止用治具40に対する揺動駆動を停止する(図24BのステップS115)。チャッキング機構2338は、前記解除指令信号Sd4の入力に基づいてチャッキング爪140による陽極側封止用治具40のチャッキングを解除して(図24BのステップS116)、該陽極側封止用治具40を搬送機構2302の搬送ベルト2350上に載置する。   Next, the control device 2348 outputs a stop signal Sf4 to the second swing mechanism 2342 and then outputs a release command signal Sd4 to the chucking mechanism 2338. Based on the input of the stop signal Sf4, the second swing mechanism 2342 stops the swing drive for the bead transfer jig 96 and the anode side sealing jig 40 in the close contact state (step of FIG. 24B). S115). The chucking mechanism 2338 releases the chucking of the anode side sealing jig 40 by the chucking claw 140 based on the input of the release command signal Sd4 (step S116 in FIG. 24B), and performs the anode side sealing. The jig 40 is placed on the conveyance belt 2350 of the conveyance mechanism 2302.

その後、制御装置2348は、第2の前後搬送機構2346に復帰信号Sh4を出力すると同時に搬送機構2302に搬送再開信号Saを出力する。第2の前後搬送機構2346は、前記復帰信号Sh4の入力に基づいて、ビーズ振込み治具96を元の位置に復帰させる(図24BのステップS117)。   Thereafter, the control device 2348 outputs a return signal Sh4 to the second front / rear transport mechanism 2346 and simultaneously outputs a transport restart signal Sa to the transport mechanism 2302. Based on the input of the return signal Sh4, the second front / rear transport mechanism 2346 returns the bead transfer jig 96 to the original position (step S117 in FIG. 24B).

搬送機構2302は、前記搬送再開信号Saの入力に基づいて、陽極側封止用治具40の搬送を再開する。これによって、該搬送ベルト2350上に載置されている陽極側封止用治具40は今度は次の工程に向けて搬送される。このとき、リード線挿入位置P1に位置決めされていた別の陽極側封止用治具40がビーズ挿入位置P2に搬送され、上述した一連の処理(図24BのステップS111〜ステップS117の処理)が繰り返されることによって、当該別の陽極側封止用治具40の各凹部58に挿入されている陽極側リード18の陽極棒20にそれぞれガラスビーズ70が挿入されることになる。   The transport mechanism 2302 restarts transport of the anode-side sealing jig 40 based on the input of the transport restart signal Sa. As a result, the anode-side sealing jig 40 placed on the conveyor belt 2350 is now conveyed toward the next step. At this time, another anode-side sealing jig 40 positioned at the lead wire insertion position P1 is transported to the bead insertion position P2, and the series of processes described above (the processes of steps S111 to S117 in FIG. 24B) are performed. By repeating, the glass beads 70 are respectively inserted into the anode rods 20 of the anode side leads 18 inserted into the respective recesses 58 of the other anode side sealing jig 40.

前記一連の処理(図22AのステップS6〜図24AのステップS20並びに図22BのステップS101〜図24BのステップS117)を例えば数サイクル行った後、今度は、搬送機構2302における搬送ベルト2350上の治具投入位置P0に陰極側封止用治具42を載置して、陰極側封止用治具42への陰極側リード22の挿入処理を行う。この場合、搬送ベルト2350上に陰極側下アダプタ182が載置され、続いて該下アダプタ182上に陰極側封止用治具42が載置され、更に該陰極側封止用治具42のヒータ本体44に上アダプタ180が載せられる。   After the series of processing (step S6 in FIG. 22A to step S20 in FIG. 24A and step S101 in FIG. 22B to step S117 in FIG. 24B), for example, several cycles, this time, the process on the conveyor belt 2350 in the conveyor mechanism 2302 is performed. The cathode side sealing jig 42 is placed at the tool insertion position P0, and the cathode side lead 22 is inserted into the cathode side sealing jig 42. In this case, the cathode-side lower adapter 182 is placed on the conveyor belt 2350, and then the cathode-side sealing jig 42 is placed on the lower adapter 182. Further, the cathode-side sealing jig 42 An upper adapter 180 is placed on the heater body 44.

そして、多数本の陽極側リード18が収納されたリード線用トレイ90をリード線用トレイ搬送機構2312を通じて投入口2308に戻し、第1の上下移動機構2310を通じて、今度は、多数本の陰極側リード22が収納されたリード線用トレイ90を投入口2308に位置決めさせ、更に、リード線用トレイ搬送機構2312を通じて、該リード線用トレイ90をリード線振込み治具94の設置位置まで搬送させる。   Then, the lead wire tray 90 in which a large number of anode-side leads 18 are housed is returned to the insertion port 2308 through the lead wire tray transport mechanism 2312, and this time through the first vertical movement mechanism 2310, a large number of cathode-side leads The lead wire tray 90 storing the leads 22 is positioned at the insertion port 2308, and further, the lead wire tray 90 is transported to the installation position of the lead wire transfer jig 94 through the lead wire tray transport mechanism 2312.

その後、図22AのステップS6〜図24AのステップS20の処理を行うことによって、陰極側封止用治具42の各凹部62に陰極側リード22がそれぞれ1本ずつ挿入され、図24BのステップS111〜ステップS117の処理を行うことによって、陰極側封止用治具42の各凹部62に挿入されている陰極側リード22の陰極棒32にガラスビーズ70が挿入されることになる。   Thereafter, by performing the processing from step S6 in FIG. 22A to step S20 in FIG. 24A, one cathode-side lead 22 is inserted into each recess 62 of the cathode-side sealing jig 42, and step S111 in FIG. The glass beads 70 are inserted into the cathode bar 32 of the cathode side lead 22 inserted into the respective recesses 62 of the cathode side sealing jig 42 by performing the process of step S117.

このように、前記振込みシステム2000においては、キセノン放電管10の製造工程の全自動化、特に、ガラス管封止の前段階で行われるリード線(陽極側リード18及び陰極側リード22)の整列工程と、整列されたリード線にガラスビーズ70を挿入させる工程の自動化を実現することができ、キセノン放電管10の生産効率の改善を達成させることができる。   As described above, in the transfer system 2000, the manufacturing process of the xenon discharge tube 10 is fully automated, particularly the lead wire (anode-side lead 18 and cathode-side lead 22) alignment step performed before the glass tube sealing. Thus, the automation of the process of inserting the glass beads 70 into the aligned lead wires can be realized, and the production efficiency of the xenon discharge tube 10 can be improved.

次に、図2のビーズ融着工程S12において、ビーズ融着機を通じて、図6Bに示すように、前記陽極側リード18が挿入された陽極側封止用治具40を不活性ガス雰囲気中で通電加熱して、ガラスビーズ70を電極棒20に熱融着させる。   Next, in the bead fusion step S12 of FIG. 2, the anode side sealing jig 40 with the anode side lead 18 inserted is placed in an inert gas atmosphere through a bead fusion machine as shown in FIG. 6B. The glass beads 70 are thermally fused to the electrode rod 20 by energization heating.

次に、ガラス管挿入工程S13において、ガラス管挿入機を通じて、図25Aに示すように、前記陽極側封止用治具40の各凹部48にそれぞれガラス管12の一端部12aを挿入する。このとき、ガラス管12の一端部12aと陽極側リード18の先端面とが高さ方向においてほぼ一致した状態で、ガラス管12の一端部12aが凹部58内に挿入固定される。   Next, in glass tube insertion step S13, one end portion 12a of glass tube 12 is inserted into each recess 48 of anode side sealing jig 40 through a glass tube insertion machine, as shown in FIG. 25A. At this time, the one end portion 12a of the glass tube 12 is inserted and fixed in the recess 58 in a state where the one end portion 12a of the glass tube 12 and the tip surface of the anode-side lead 18 substantially coincide with each other in the height direction.

ガラス管12を挿入する方式としては、例えば多数本のガラス管12をトレイに整列させた後、ガラス管12をトレイから1本ずつ取り出して、陽極側封止用治具40の各凹部58に挿入する方式か、あるいは多数本のガラス管12をホッパと称される容器に入れておき、該ホッパの底からガラス管12を1本ずつ取り出して、陽極側封止用治具40の各凹部48に挿入する方式を採用することができる。   As a method for inserting the glass tube 12, for example, after arranging a large number of glass tubes 12 on the tray, the glass tubes 12 are taken out from the tray one by one and placed in each recess 58 of the anode-side sealing jig 40. Either a method of insertion or a large number of glass tubes 12 are put in a container called a hopper, the glass tubes 12 are taken out one by one from the bottom of the hopper, and each concave portion of the anode side sealing jig 40 is A method of inserting into 48 can be adopted.

次に、図2の一次封止工程S14において、一次封止機を通じて、図25Bに示すように、各凹部58内にそれぞれガラス管12の一端部12aが挿入された陽極側封止用治具40を不活性ガス雰囲気中で通電加熱する。この加熱によって、ガラスビーズ70とガラス管12の一端部12aとが熱融着され、ガラス管12の一端部12aが陽極側リード18における電極棒20に封止される。この段階で、ガラス管12の一端部12aが封止され、かつ、ガラス管12の他端部12bが開放状態とされた一次封止品72が作製される。   Next, in the primary sealing step S14 of FIG. 2, the anode side sealing jig in which the one end portion 12a of the glass tube 12 is inserted into each recess 58 as shown in FIG. 25B through the primary sealing machine. 40 is energized and heated in an inert gas atmosphere. By this heating, the glass beads 70 and the one end portion 12 a of the glass tube 12 are heat-sealed, and the one end portion 12 a of the glass tube 12 is sealed with the electrode rod 20 in the anode side lead 18. At this stage, a primary sealed product 72 in which one end portion 12a of the glass tube 12 is sealed and the other end portion 12b of the glass tube 12 is opened is manufactured.

一方、図2の前記陰極側組立工程S2においては、最初の陰極側振込み工程S21において、図21に示す振込みシステム2000を通じて、図26Aに示すように、陰極側封止用治具42の各リード挿通孔56にそれぞれ陰極側リード22を挿入する。   On the other hand, in the cathode side assembly step S2 of FIG. 2, in the first cathode side transfer step S21, as shown in FIG. 26A, each lead of the cathode side sealing jig 42 is transferred through the transfer system 2000 shown in FIG. The cathode side leads 22 are inserted into the insertion holes 56, respectively.

この場合も、前記陽極側リード18と同様に、陰極側リード22の先端部分28(電極棒32が固着されている部分)の径がアウターリード30よりも太く加工されて、リード挿通孔56の径よりも大とされているため、陰極側リード22の先端部分28に固着されている電極棒32は、必ず凹部64内に位置することになり、しかも、各陰極側リード22はその軸方向が鉛直方向に沿った状態となる。   Also in this case, like the anode side lead 18, the diameter of the tip portion 28 of the cathode side lead 22 (the portion to which the electrode bar 32 is fixed) is processed to be thicker than that of the outer lead 30. Since the diameter is larger than the diameter, the electrode bar 32 fixed to the tip portion 28 of the cathode side lead 22 is always located in the recess 64, and each cathode side lead 22 is in the axial direction thereof. Is in a state along the vertical direction.

陰極側リード22の挿入方式として、上述した2つの陽極側リード18の挿入方式を採用することができる。   As the insertion method of the cathode side lead 22, the above-described insertion method of the two anode side leads 18 can be adopted.

前記方式のいずれかによって、多数の陰極側リード22を陰極側封止用治具42の各リード挿通孔64に挿入した後、これら陰極側リード22を挿入した状態で、各陰極側リード22の電極棒32にリング状のガラスビーズ70を挿入する。ガラスビーズ70は、その径が、電極棒32の径よりも大で、かつ、陰極側リード22の先端部分28の径よりも小に設定されているため、電極棒32の根元部分を囲むかたちで陰極側リード22の先端部分28に載置される。ガラスビーズ70を電極棒32に挿入する方式としては、陽極側リード18を陽極側封止用治具40のリード挿通孔64に挿通する方式と同様の方式を採用することができる。   After any number of cathode-side leads 22 are inserted into the lead insertion holes 64 of the cathode-side sealing jig 42 by any of the above-described methods, the cathode-side leads 22 are inserted into the cathode-side leads 22. A ring-shaped glass bead 70 is inserted into the electrode rod 32. Since the diameter of the glass beads 70 is set larger than the diameter of the electrode rod 32 and smaller than the diameter of the tip portion 28 of the cathode side lead 22, the glass beads 70 surround the root portion of the electrode rod 32. Is placed on the tip portion 28 of the cathode side lead 22. As a method of inserting the glass beads 70 into the electrode rod 32, a method similar to the method of inserting the anode side lead 18 into the lead insertion hole 64 of the anode side sealing jig 40 can be employed.

即ち、陰極側封止用治具42の各挿通孔64への陰極側リード22の振込み並びに陰極側リード22へのガラスビーズ70の挿通は、図16及び図21に示すリード線投入システム1000及び振込みシステム2000を使用することができる。   That is, the transfer of the cathode-side lead 22 into each insertion hole 64 of the cathode-side sealing jig 42 and the insertion of the glass beads 70 into the cathode-side lead 22 are performed as shown in FIG. 16 and FIG. A transfer system 2000 can be used.

次に、図2のビーズ融着工程S22において、ビーズ融着機を通じて、図26Bに示すように、陰極側リード22が挿入された陰極側封止用治具42を不活性ガス雰囲気中で通電加熱して、ガラスビーズ70を電極棒32に熱融着させる。   Next, in the bead fusion step S22 of FIG. 2, the cathode side sealing jig 42 into which the cathode side lead 22 is inserted is energized in an inert gas atmosphere through a bead fusion machine as shown in FIG. 26B. The glass beads 70 are heat-sealed to the electrode rod 32 by heating.

次に、陰極かしめ工程S23において、自動かしめ機を通じて、図27に示すように、リング状の陰極14を電極棒32に挿入し、その後、陰極14を電極棒32の先端部分にかしめることによって、陰極14を電極棒32の先端部分に固着し、カソード体74を作製する。   Next, in the cathode caulking step S23, as shown in FIG. 27, the ring-shaped cathode 14 is inserted into the electrode rod 32 through an automatic caulking machine, and then the cathode 14 is caulked to the tip portion of the electrode rod 32. Then, the cathode 14 is fixed to the tip portion of the electrode rod 32 to produce the cathode body 74.

そして、次の図2に示す組付け工程S3においては、最初の反転工程S31において、反転機を通じて、図28Aに示すように、前記陽極側組立工程S1の一次封止工程S14によって作製された一次封止品72(図25B参照)を反転させて、各一次封止品72のガラス管12の他端部12b(開放端)を下方に向ける。   Then, in the assembly step S3 shown in FIG. 2, the primary produced by the primary sealing step S14 in the anode side assembly step S1 as shown in FIG. The sealed product 72 (see FIG. 25B) is inverted, and the other end portion 12b (open end) of the glass tube 12 of each primary sealed product 72 is directed downward.

その後、カソード体74が挿入された陰極側封止用治具42の各凹部62にそれぞれ一次封止品72におけるガラス管12の他端部12bを挿入する。このとき、ガラス管12の他端部12bと陰極側リード22の先端面とが高さ方向においてほぼ一致した状態で、ガラス管12の他端部12bが凹部62内に挿入固定される。   Thereafter, the other end portion 12b of the glass tube 12 in the primary sealing product 72 is inserted into each recess 62 of the cathode side sealing jig 42 into which the cathode body 74 is inserted. At this time, the other end portion 12b of the glass tube 12 is inserted and fixed in the recess 62 in a state where the other end portion 12b of the glass tube 12 and the tip surface of the cathode side lead 22 substantially coincide with each other in the height direction.

次に、二次封止工程S32において、後述する二次封止処理装置3000を通じて、図28Bに示すように、各凹部62内にそれぞれガラス管12の他端部12bが挿入された陰極側封止用治具42をキセノンガス雰囲気中で通電加熱して、ガラスビーズ70とガラス管12の他端部12bとをガラス融着する。   Next, in the secondary sealing step S32, through the secondary sealing processing device 3000 described later, as shown in FIG. 28B, the cathode side sealing in which the other end portion 12b of the glass tube 12 is inserted into each recess 62, respectively. The fixing jig 42 is energized and heated in a xenon gas atmosphere, and the glass beads 70 and the other end portion 12b of the glass tube 12 are fused.

この二次封止工程S32は、図2に示すように、更に細分化された少なくとも3つの工程を有し、具体的には、陰極側封止用治具42の通電加熱に先立ってワーク(各凹部62内にそれぞれガラス管12の他端部12bが挿入された陰極側封止用治具42)を負圧雰囲気にさらすことにより、少なくともガラス管12内の不純物を除去するクリーン化工程S301と、負圧雰囲気及びキセノンガス雰囲気にて前記陰極側封止用治具42を通電加熱する封止工程S302と、負圧雰囲気で少なくとも前記陰極側封止用治具42を冷却する冷却工程S303を含む。   As shown in FIG. 2, this secondary sealing step S32 has at least three further subdivided steps. Specifically, prior to energization heating of the cathode side sealing jig 42, the workpiece ( A cleaning step S301 for removing at least impurities in the glass tube 12 by exposing the cathode side sealing jig 42) in which the other end portion 12b of the glass tube 12 is inserted into each recess 62 to a negative pressure atmosphere. A sealing step S302 in which the cathode side sealing jig 42 is energized and heated in a negative pressure atmosphere and a xenon gas atmosphere, and a cooling step S303 in which at least the cathode side sealing jig 42 is cooled in a negative pressure atmosphere. including.

これにより、まず、前記一次封止品72のガラス管12が挿入された陰極側封止用治具42は、クリーン化工程S301に投入される。このクリーン化工程S301では、陰極側封止用治具42への通電加熱に先立って、該陰極側封止用治具42が負圧雰囲気にさらされることから、陰極側封止用治具42に挿入されたガラス管12の内部に存する不純物は、前記負圧によって外方に除去されることになる。   Thereby, first, the cathode side sealing jig 42 in which the glass tube 12 of the primary sealing product 72 is inserted is put into the cleaning step S301. In this cleaning step S301, the cathode side sealing jig 42 is exposed to a negative pressure atmosphere prior to energization heating of the cathode side sealing jig 42. Impurities existing inside the glass tube 12 inserted into the are removed to the outside by the negative pressure.

その後、前記ガラス管12が挿入された陰極側封止用治具42は、次の封止工程S302に投入される。この封止工程S302においては、陰極側封止用治具42が負圧雰囲気及びキセノンガス雰囲気にて通電加熱され、該加熱によって、ガラスビーズ70とガラス管12の一端部12aとが熱融着され、ガラス管12の他端部12bがカソード体74の電極棒32に封止される。この段階で、一次封止品72のガラス管12の他端部12bがそれぞれ対応する陰極側リード22に融着されて、ガラス管12内にキセノンガスが封入された二次封止品80とされる。そして、前記封止工程S302から排出された二次封止品80は、次の冷却工程S303において、負圧雰囲気下で冷却される。なお、封着槽に残ったキセノンガスは、回収されて再使用される。   Thereafter, the cathode side sealing jig 42 in which the glass tube 12 is inserted is put into the next sealing step S302. In this sealing step S302, the cathode side sealing jig 42 is energized and heated in a negative pressure atmosphere and a xenon gas atmosphere, and the glass beads 70 and the one end portion 12a of the glass tube 12 are thermally fused by the heating. Then, the other end 12 b of the glass tube 12 is sealed with the electrode rod 32 of the cathode body 74. At this stage, the other end 12b of the glass tube 12 of the primary sealed product 72 is fused to the corresponding cathode side lead 22, and the secondary sealed product 80 in which the xenon gas is sealed in the glass tube 12; Is done. The secondary sealed product 80 discharged from the sealing step S302 is cooled in a negative pressure atmosphere in the next cooling step S303. The xenon gas remaining in the sealing tank is recovered and reused.

ここで、二次封止処理装置3000の構成について図29〜図45を参照しながら説明する。   Here, the configuration of the secondary sealing processing device 3000 will be described with reference to FIGS. 29 to 45.

この二次封止処理装置3000は、図29に示すように、陰極側封止用治具42が投入・載置される治具受入れ部3102と、該治具受入れ部3102に投入された陰極側封止用治具42の治具番号及びIDを読み取るID読取り装置3104と、陰極側封止用治具42の通電加熱に先立って該陰極側封止用治具42の各凹部64内にガラス管12の他端部12bが挿入されたワークを負圧雰囲気にさらすことにより、少なくともガラス管12内の不純物を除去するクリーン化装置3106と、負圧雰囲気及びキセノンガス雰囲気にて前記陰極側封止用治具42を通電加熱する封止装置3108と、負圧雰囲気で少なくとも陰極側封止用治具42を冷却する冷却装置3110と、図2の二次封止工程S32を終えた陰極側封止用治具42を一時収容するバッファ部3112とを有する。   As shown in FIG. 29, the secondary sealing processing device 3000 includes a jig receiving portion 3102 into which the cathode side sealing jig 42 is put and placed, and a cathode put into the jig receiving portion 3102. Prior to energization heating of the cathode side sealing jig 42, the ID reading device 3104 for reading the jig number and ID of the side sealing jig 42, and in each recess 64 of the cathode side sealing jig 42. A cleaning device 3106 that removes at least impurities in the glass tube 12 by exposing the work in which the other end 12b of the glass tube 12 is inserted to a negative pressure atmosphere, and the cathode side in the negative pressure atmosphere and the xenon gas atmosphere A sealing device 3108 for energizing and heating the sealing jig 42, a cooling device 3110 for cooling at least the cathode-side sealing jig 42 in a negative pressure atmosphere, and the cathode after the secondary sealing step S32 of FIG. One side sealing jig 42 And a buffer unit 3112 for accommodating.

前記クリーン化装置3106は、後述する制御装置3136からのレコードデータの内容を解読して、該クリーン化装置3106に含まれる各種機器3114a、3114b、3114c・・・を駆動制御するためのシーケンスデータを作成し、出力する第1のコントローラ3116を有する。   The cleaning device 3106 decodes the contents of record data from the control device 3136, which will be described later, and generates sequence data for driving and controlling various devices 3114a, 3114b, 3114c,... Included in the cleaning device 3106. It has a first controller 3116 that creates and outputs.

前記封止装置3108も、制御装置3136からのレコードデータの内容を解読して、該封止装置3108に含まれる各種機器3118a、3118b、3118c・・・を駆動制御するためのシーケンスデータを作成し、出力する第2のコントローラ3120を有する。   The sealing device 3108 also decodes the content of the record data from the control device 3136 and creates sequence data for driving and controlling the various devices 3118a, 3118b, 3118c,... Included in the sealing device 3108. And a second controller 3120 for outputting.

前記冷却装置3110も、制御装置3136からのレコードデータの内容を解読して、該冷却装置3110に含まれる各種機器3122a、3122b、3122c・・・を駆動制御するためのシーケンスデータを作成し、出力する第3のコントローラ3124を有する。   The cooling device 3110 also decodes the content of the record data from the control device 3136, creates sequence data for driving and controlling the various devices 3122a, 3122b, 3122c,. A third controller 3124.

また、この二次封止処理装置3000は、前記各種装置に加えて、キー入力装置3130や座標入力装置3132及びモニタ3134等を通じて設定されたパターン情報をクリーン化処理、封止処理及び冷却処理に応じて適応的に前記第1〜第3のコントローラ3116、3120及び3124を制御して、二次封止処理を最適に行わせる制御装置3136と、該制御装置3136内で作成された各種テーブルやパターン情報等が格納されるデータベース3138と、後述する検査システム3140からの検査結果(製造履歴テーブル)に基づいて陰極側封止用治具42の適用判定を行う判定装置3142とを有する。   In addition to the various devices, the secondary sealing processing device 3000 uses the pattern information set through the key input device 3130, the coordinate input device 3132, the monitor 3134, and the like for the cleaning processing, sealing processing, and cooling processing. In response, the first to third controllers 3116, 3120 and 3124 are adaptively controlled to optimally perform the secondary sealing process, and various tables created in the control device 3136 A database 3138 for storing pattern information and the like, and a determination device 3142 for determining application of the cathode side sealing jig 42 based on an inspection result (manufacturing history table) from an inspection system 3140 described later.

ところで、図2の二次封止工程S32において、陰極側封止用治具42の経時変化、特に図4に示すように、ヒータ本体44と上下支持板50及び52(銅板)の接触面の変化によりヒータ本体44の温度分布が変化することから、一定品質のキセノン放電管10を一定の封止条件で生産するのは困難である。   By the way, in the secondary sealing step S32 of FIG. 2, the time-dependent change of the cathode side sealing jig 42, particularly the contact surface of the heater main body 44 and the upper and lower support plates 50 and 52 (copper plate) as shown in FIG. Since the temperature distribution of the heater body 44 changes due to the change, it is difficult to produce the xenon discharge tube 10 having a constant quality under a constant sealing condition.

そこで、予め陰極側封止用治具42に治具番号を刻印しておき、前記二次封止処理装置3000に陰極側封止用治具42を投入する際に、刻印されている治具番号をID読取り装置3104を通じて読み取って、その治具番号で特定される封止用治具42にとって最適な封止条件を自動設定する。   Therefore, a jig number is engraved in advance on the cathode side sealing jig 42, and the jig that is engraved when the cathode side sealing jig 42 is put into the secondary sealing processing device 3000. The number is read through the ID reader 3104, and the optimum sealing condition for the sealing jig 42 specified by the jig number is automatically set.

陰極側封止用治具42は、上述したように経時変化することから、封止条件を変更しないと、良品率が極端に悪化するという問題がある。そこで、できあがった二次封止品80を作業者自身が観察し、封止の過不足を判断して封止条件を設定し直す方法が考えられるが、二次封止品80を観察するためには陰極側封止用治具42から強制的に二次封止品80を引き抜かなければならない。この場合、観察後に二次封止品80を陰極側封止用治具42に戻すとき、周辺の二次封止品80のリード線を曲げてしまい、該二次封止品80を不良品にしてしまうおそれがある。   Since the cathode side sealing jig 42 changes with time as described above, there is a problem that the yield rate is extremely deteriorated unless the sealing conditions are changed. Therefore, a method in which the operator himself / herself observes the completed secondary sealed product 80, determines whether sealing is excessive or insufficient, and resets the sealing conditions is considered. In order to observe the secondary sealed product 80, In this case, the secondary sealing product 80 must be forcibly pulled out from the cathode side sealing jig 42. In this case, when the secondary sealed product 80 is returned to the cathode side sealing jig 42 after observation, the lead wire of the peripheral secondary sealed product 80 is bent, and the secondary sealed product 80 is replaced with a defective product. There is a risk of making it.

そこで、この二次封止処理装置3000では、図2に示すように、リード切断工程S33において、二次封止品80のガラス管12の両端から導出されている陽極側リード18及び陰極側リード22の各アウターリード26及び30をそれぞれ所定の長さに切断し、その後、管径検査・発光検査工程S34において、二次封止品80の管径を計測し、更に二次封止品80が発光するかどうかの検査を行う。   Therefore, in the secondary sealing processing device 3000, as shown in FIG. 2, in the lead cutting step S33, the anode side lead 18 and the cathode side lead led out from both ends of the glass tube 12 of the secondary sealed product 80. Each outer lead 26 and 30 is cut into a predetermined length, and then the tube diameter of the secondary sealed product 80 is measured in the tube diameter inspection / light emission inspection step S34. Check whether or not the light is emitted.

キセノン放電管10の品質データとしては、特に封止部融着の良否が重要なデータである。封止が過度の場合は、図28Aに示すように、ガラス融着部(ガラス管の一端部12a及び他端部12b)付近の温度が高くなり、図28Bに示す正常の二次封止品80と比して、融着部(12a及び12b)以外のガラスが軟化して自重により膨らみ82を生ずる。また、封止が不足すると、図28Cに示すように、融着部(12a及び12b)が完全に融着されず、その結果、キセノンガスが抜けて発光しない。   As the quality data of the xenon discharge tube 10, the quality of sealing part fusion is particularly important data. When the sealing is excessive, as shown in FIG. 28A, the temperature in the vicinity of the glass fusion part (one end 12a and the other end 12b of the glass tube) becomes high, and the normal secondary sealed product shown in FIG. 28B. Compared to 80, the glass other than the fused portions (12a and 12b) is softened, and a bulge 82 is generated by its own weight. Further, if the sealing is insufficient, as shown in FIG. 28C, the fused portions (12a and 12b) are not completely fused, and as a result, the xenon gas escapes and does not emit light.

従って、二次封止品80のガラス管12におけるガラス封止部分(例えば他端部12b)の径(管径)を測定することにより、封止が過度かどうかを検査することができ、二次封止品80の発光の有無を測定することにより、封止が不足しているか否かを検査することができる。   Therefore, by measuring the diameter (tube diameter) of the glass sealing portion (for example, the other end portion 12b) in the glass tube 12 of the secondary sealing product 80, it is possible to inspect whether the sealing is excessive. By measuring the presence or absence of light emission of the next sealed product 80, it can be inspected whether or not the sealing is insufficient.

そして、この二次封止処理装置3000においては、予め陰極側封止用治具42ごとに、通常の二次封止条件、発光不良とされた場合の二次封止条件及び管径不良とされた場合の二次封止条件をパターン番号として記憶しておき、検査システム3140からの検査結果に基づいて二次封止条件を変更するというフィードバック処理を行うようにしている。   And in this secondary sealing processing apparatus 3000, for each cathode side sealing jig 42, the secondary sealing condition and the tube diameter defect in the case of normal secondary sealing conditions, light emission failure. In this case, the secondary sealing condition is stored as a pattern number, and feedback processing is performed in which the secondary sealing condition is changed based on the inspection result from the inspection system 3140.

次に、二次封止品80のリード線カット、管径検査・発光検査を行う検査システム3140について図31〜図43を参照しながら説明する。なお、この検査システム3140にて処理される二次封止品80をワーク80と記し、陽極側リード18及び陰極側リード22を一括してリード線18及び22と記す。   Next, an inspection system 3140 that performs lead wire cutting, tube diameter inspection / light emission inspection of the secondary sealed product 80 will be described with reference to FIGS. 31 to 43. The secondary sealed product 80 processed by the inspection system 3140 is referred to as a workpiece 80, and the anode side lead 18 and the cathode side lead 22 are collectively referred to as lead wires 18 and 22.

この検査システム3140では、上述した陰極側封止用治具42に加えて、図32に示すトレイ3070が使用される。このトレイ3070は、図32に示すように、平面ほぼ長方形状で四方に側壁3072A〜3072Dを有する有底箱状の匣体3074を有する。この匣体3074の底部3076には、多数の凹部3078が、それぞれの長手方向を匣体3074の長手方向と一致された状態でマトリクス状に形成されている。各凹部3078は、後述するキセノン放電管10の二次封止品80がそれぞれ横向きに、かつ互いに独立して載置できるようなサイズとされ、具体的には、曲率が二次封止品80のガラス管12よりも僅かに大とされ、ガラス管12の長さとほぼ同じ長さを有する。   In this inspection system 3140, in addition to the cathode side sealing jig 42 described above, a tray 3070 shown in FIG. 32 is used. As shown in FIG. 32, the tray 3070 has a bottomed box-shaped housing 3074 having a substantially rectangular shape in a plane and having side walls 3072A to 3072D in four directions. A large number of recesses 3078 are formed in a matrix in the bottom portion 3076 of the housing 3074 so that the longitudinal directions thereof coincide with the longitudinal direction of the housing 3074. Each concave portion 3078 is sized so that the secondary sealed product 80 of the xenon discharge tube 10 to be described later can be placed sideways and independently of each other. Specifically, the curvature is the secondary sealed product 80. The glass tube 12 is slightly larger than the glass tube 12 and has substantially the same length as the glass tube 12.

また、匣体3074は、その上部にフランジ部3080が一体に形成されている。該フランジ部3080の各コーナー部C1〜C4のうち、同一辺の両端に存する2つのコーナー部C2及びC3がそれぞれ同一の曲率を有するやや湾曲形状に形成され、残りの2つのコーナー部C1及びC4がそれぞれ斜め方向に面取りされて、テーパー面3082として形成されている。この面取りによるテーパ面3082によって、該トレイ3070の方向を特定できることになり、トレイ3070の自動搬送におけるいわゆる原点出しとしての機能を持たせることができ、搬送工程の自動化をより促進させることが可能となる。   The housing 3074 has a flange portion 3080 formed integrally therewith. Of the corner portions C1 to C4 of the flange portion 3080, the two corner portions C2 and C3 existing at both ends of the same side are formed in a slightly curved shape having the same curvature, and the remaining two corner portions C1 and C4. Are chamfered obliquely to form a tapered surface 3082. The direction of the tray 3070 can be specified by the taper surface 3082 by this chamfering, so that a function as a so-called origin search in the automatic conveyance of the tray 3070 can be provided, and automation of the conveyance process can be further promoted. Become.

また、前記フランジ部3080は、その内側に矩形環状の段差3084が形成され、この段差3084にて区画形成される形状は、匣体3074の底部外形とほぼ同じか僅かに大とされている。そのため、1つのトレイ3070上に別のトレイ3070を載せる場合、上に位置するトレイ3070の底部3076を、下に位置するトレイ3070のフランジ部3080の段差3084内に挿入することによって、複数のトレイ3070を安定して積載することが可能となる。   Further, the flange portion 3080 has a rectangular annular step 3084 formed therein, and the shape defined by the step 3084 is substantially the same as or slightly larger than the bottom shape of the housing 3074. Therefore, when another tray 3070 is placed on one tray 3070, the bottom 3076 of the upper tray 3070 is inserted into the step 3084 of the flange 3080 of the lower tray 3070. It becomes possible to load 3070 stably.

そして、この検査システム3140は、図31に示すように、陰極側封止用治具42ごとにワーク80の品質データを収集することができ、陰極側封止用治具42単位での品質データの管理を行うことができるようにしたものであり、陰極側封止用治具42が投入・載置される治具受入れ部3152と、該治具受入れ部3152に載置された陰極側封止用治具42のIDを読み取るID読取り機構3154と、前記陰極側封止用治具42から複数本のワーク80を同時に取り出して搬送機構3156に移送し、複数本のワーク80を搬送機構3156の搬送台3158(図34参照)に横向きに載置するワーク取出し機構3160と、該ワーク取出し機構3160によって移送された複数本のワーク80をそれぞれ横方向に載置させた状態で一方向に順次搬送する前記搬送機構3156と、1つのワーク80ごとにリード線18及び22を所定長さに切断するリード線切断機構3162と、切断された後のリード線18及び22の長さが所定長さの範囲内にあるかどうかを検査するリード線検査機構3164と、ワーク80のガラス封止部(他端部12b付近)におけるガラス管12の径を検査する管径検査機構3166と、ワーク80の発光状態を検査する発光検査機構3168と、発光検査を終えたワーク80のうち、良品として認定されたワーク80をトレイ3070に集積する集積機構3170とを有して構成されている。   Then, as shown in FIG. 31, the inspection system 3140 can collect the quality data of the workpiece 80 for each cathode side sealing jig 42, and the quality data in the cathode side sealing jig 42 unit. The jig receiving portion 3152 into which the cathode side sealing jig 42 is placed and placed, and the cathode side sealing placed on the jig receiving portion 3152 The ID reading mechanism 3154 for reading the ID of the stop jig 42 and the plurality of workpieces 80 are simultaneously taken out from the cathode side sealing jig 42 and transferred to the transfer mechanism 3156, and the plurality of workpieces 80 are transferred to the transfer mechanism 3156. The workpiece take-out mechanism 3160 placed horizontally on the transfer table 3158 (see FIG. 34) and a plurality of works 80 transferred by the work take-out mechanism 3160 are respectively placed in the horizontal direction. The length of the lead wires 18 and 22 after being cut, the lead wire cutting mechanism 3162 for cutting the lead wires 18 and 22 into a predetermined length for each workpiece 80, A lead wire inspection mechanism 3164 for inspecting whether or not it is within a predetermined length range, a tube diameter inspection mechanism 3166 for inspecting the diameter of the glass tube 12 at the glass sealing portion (near the other end portion 12b) of the workpiece 80, A light emission inspection mechanism 3168 for inspecting the light emission state of the work 80 and a stacking mechanism 3170 for stacking the work 80 certified as a non-defective product among the works 80 that have been subjected to the light emission inspection are provided on a tray 3070.

リード線切断機構3162によってリード線18及び22を所定長さに切断するとは、切断後のリード線18及び22の長さが所定の長さとなるように、両側の余分な部分を切断除去することをいう。   Cutting the lead wires 18 and 22 to a predetermined length by the lead wire cutting mechanism 3162 is to cut off and remove excess portions on both sides so that the length of the lead wires 18 and 22 after cutting becomes a predetermined length. Say.

前記リード線検査機構3164は、切断された後のリード線18及び22の長さを測定してその測定値をリード線長として出力すると共に、そのリード線長が所定長さの範囲内にあるかどうかを判定し、その判定結果をビット情報(1/0=良/不良)として出力する。   The lead wire inspection mechanism 3164 measures the length of the lead wires 18 and 22 after being cut and outputs the measured value as the lead wire length, and the lead wire length is within a predetermined length range. And the result of the determination is output as bit information (1/0 = good / bad).

前記管径検査機構3166は、ワーク80のガラス封止部(他端部12b付近)におけるガラス管12の径を測定してその測定値を管径として出力すると共に、その管径が所定径の範囲内にあるかどうかを判定し、その判定結果をビット情報(1/0=良/不良)として出力する。   The tube diameter inspection mechanism 3166 measures the diameter of the glass tube 12 at the glass sealing portion (near the other end portion 12b) of the workpiece 80 and outputs the measured value as a tube diameter. The tube diameter is a predetermined diameter. It is determined whether it is within the range, and the determination result is output as bit information (1/0 = good / bad).

前記発光検査機構3168は、ワーク80の発光の有無を例えば電圧で測定し、その発光回数が所定回数以上あるかどうかを判定し、その判定結果をビット情報(1/0=良/不良)として出力する。または、ワーク80の発光強度を例えば光電管等により電圧変換して測定し、その測定値を発光強度として出力すると共に、その発光強度が所定の範囲内にあるかどうかを判定し、その判定結果をビット情報(1/0=良/不良)として出力する。   The light emission inspection mechanism 3168 measures the presence / absence of light emission of the workpiece 80 by, for example, voltage, determines whether the number of light emission is equal to or greater than a predetermined number, and uses the determination result as bit information (1/0 = good / bad). Output. Alternatively, the luminescence intensity of the workpiece 80 is measured by converting the voltage with, for example, a phototube, and the measured value is output as the luminescence intensity, and it is determined whether the luminescence intensity is within a predetermined range, and the determination result is Output as bit information (1/0 = good / bad).

また、この検査システム3140は、前記各種機構のほかに、前記リード線検査機構3164にてNG判定されたワーク80を搬送機構3156の搬送経路から排除する第1の排除機構3172と、前記管径検査機構3166にてNG判定されたワーク80を搬送機構3156の搬送経路から排除する第2の排除機構3174と、前記発光検査機構3168にてNG判定されたワーク80を搬送機構3156の搬送経路から排除する第3の排除機構3176とを有する。これら第1〜第3の排除機構3172〜3176のうち、いずれかの排除機構にて排除された不良品のワーク80は、別に設置されたステーションに搬送される。   In addition to the various mechanisms, the inspection system 3140 includes a first exclusion mechanism 3172 that excludes the workpiece 80 that has been determined to be NG by the lead wire inspection mechanism 3164 from the conveyance path of the conveyance mechanism 3156, and the pipe diameter. A second rejection mechanism 3174 that excludes the workpiece 80 determined as NG by the inspection mechanism 3166 from the conveyance path of the conveyance mechanism 3156, and the workpiece 80 determined as NG by the light emission inspection mechanism 3168 from the conveyance path of the conveyance mechanism 3156. And a third exclusion mechanism 3176 for exclusion. Of these first to third exclusion mechanisms 3172 to 3176, the defective workpiece 80 removed by any one of the exclusion mechanisms is conveyed to a separately installed station.

この検査システム3140を構成する各種機構のうち、リード線切断機構3162の具体的構成例としては、例えば図33に示すように、基台3180に設置、固定された下刃ブロック3182と、この下刃ブロック3182に対して昇降(矢印A方向)自在な上刃ブロック3184と、上刃ブロック3184の昇降駆動源である例えばエアシリンダ3186とを有して構成されている。   Among various mechanisms constituting the inspection system 3140, as a specific configuration example of the lead wire cutting mechanism 3162, for example, as shown in FIG. 33, a lower blade block 3182 installed and fixed on a base 3180, An upper blade block 3184 that can be moved up and down (in the direction of arrow A) with respect to the blade block 3182 and an air cylinder 3186 that is a lifting drive source of the upper blade block 3184 are configured.

下刃ブロック3182の上部には、上方に向かって植立する2本の下刃3188a及び3188bが取り付けられ、上刃ブロック3184には下方に向かって垂下する2本の上刃3190a及び3190bが取り付けられている。2本の下刃3188a及び3188bの間には搬送機構3156が設置され、該搬送機構3156によって順次搬送されたワーク80は、各リード線18及び22がそれぞれ下刃3188a及び3188bに載置されるようになっている。   Two lower blades 3188a and 3188b planted upward are attached to the upper portion of the lower blade block 3182, and two upper blades 3190a and 3190b hanging downward are attached to the upper blade block 3184. It has been. A conveyance mechanism 3156 is installed between the two lower blades 3188a and 3188b, and the lead wires 18 and 22 are placed on the lower blades 3188a and 3188b of the workpiece 80 sequentially conveyed by the conveyance mechanism 3156, respectively. It is like that.

一方、2本の上刃3190a及び3190bの間には、押さえ部材3192が設けられており、この押さえ部材3192は、上刃ブロック3184に設けられた圧縮コイルばね等の弾性部材3194によって常時下方に付勢されている。   On the other hand, a pressing member 3192 is provided between the two upper blades 3190a and 3190b, and this pressing member 3192 is always lowered downward by an elastic member 3194 such as a compression coil spring provided in the upper blade block 3184. It is energized.

次に、前記リード線切断機構3162の動作について説明する。まず、搬送機構3156によって図面(図33)の手前側から搬送されたワーク80がこのリード線切断機構3162に投入されると、前記ワーク80のリード線18及び22はそれぞれ下刃3188a及び3188bに乗った状態とされる。この段階からエアシリンダ3186の駆動によって上刃ブロック3184が下方に移動し、まず、押さえ部材3192が下刃3188a及び3188bの上に乗っているリード線18及び22を押さえる。更に上刃ブロック3184は、前記エアシリンダ3186の駆動によって下方に移動するが、前記押さえ部材3192は、弾性部材3194によって下方に押さえ付けられているだけであるため、前記上刃3190a及び3190bの下方移動に対して相対的に上方に移動することになる。即ち、リード線18及び22を押さえつつ相対的に上方に逃げるかたちとなる。   Next, the operation of the lead wire cutting mechanism 3162 will be described. First, when the workpiece 80 conveyed from the front side of the drawing (FIG. 33) by the conveying mechanism 3156 is put into the lead wire cutting mechanism 3162, the lead wires 18 and 22 of the workpiece 80 are respectively moved to the lower blades 3188a and 3188b. It is assumed that it is on the board. From this stage, the upper blade block 3184 moves downward by driving the air cylinder 3186, and first, the pressing member 3192 presses the lead wires 18 and 22 on the lower blades 3188a and 3188b. Further, the upper blade block 3184 moves downward by the driving of the air cylinder 3186, but the pressing member 3192 is only pressed downward by the elastic member 3194, so that the upper blade blocks 3190a and 3190b are below. It moves upward relative to the movement. That is, the lead wires 18 and 22 are pressed and escaped relatively upward.

前記上刃3190a及び3190bの下方への移動によって、上刃(3190a及び3190b)と下刃(3188a及び3188b)とが噛み合った時点でリード線18及び22が切断され、両側の不要な部分が除去されることになる。   When the upper blades 3190a and 3190b move downward, the lead wires 18 and 22 are cut when the upper blades (3190a and 3190b) and the lower blades (3188a and 3188b) mesh with each other, and unnecessary portions on both sides are removed. Will be.

リード線18及び22の切断が終了した段階で、今度は、エアシリンダ3186による上方駆動によって上刃ブロック3184が上方に移動する。上刃3190a及び3190bが下刃3188a及び3188bから離れて所定距離ほど上方に移動する間、リード線18及び22は、押さえ部材3192によって下刃3188a及び3188bに押さえ付けられた状態となる。   At the stage where the cutting of the lead wires 18 and 22 is completed, the upper blade block 3184 is moved upward by the upward drive by the air cylinder 3186. While the upper blades 3190a and 3190b move away from the lower blades 3188a and 3188b and move upward by a predetermined distance, the lead wires 18 and 22 are pressed against the lower blades 3188a and 3188b by the pressing member 3192.

エアシリンダ3186の駆動によって上刃ブロック3184が更に上方に移動すると、前記上刃3190a及び3190bが下刃3188a及び3188bから所定距離以上離れた段階から、押さえ部材3192によるリード線18及び22の押圧が解除され、押さえ部材3192は上刃3190a及び3190bと一緒に上方に移動し、最終的に初期状態に復帰することになる。   When the upper blade block 3184 further moves upward by driving the air cylinder 3186, the pressing members 3192 press the lead wires 18 and 22 from the stage where the upper blades 3190a and 3190b are separated from the lower blades 3188a and 3188b by a predetermined distance or more. The holding member 3192 is released together with the upper blades 3190a and 3190b, and finally returns to the initial state.

このリード線切断機構3162においては、押さえ部材3192でリード線18及び22を下刃3188a及び3188bに押さえ付けながらリード線18及び22を上刃(3190a及び3190b)と下刃(3188a及び3188b)との噛み合いで切断するようにしているため、リード線18及び22を確実に、かつ所望の長さに切断することができる。   In the lead wire cutting mechanism 3162, the lead wires 18 and 22 are held by the upper blades (3190a and 3190b) and the lower blades (3188a and 3188b) while pressing the lead wires 18 and 22 against the lower blades 3188a and 3188b by the pressing member 3192. Therefore, the lead wires 18 and 22 can be reliably cut to a desired length.

次に、管径検査機構3166について図34〜図35Bを参照しながら説明する。この管径検査機構3166は、図34に示すように、管径検査機構本体3200を鉛直方向に対して所定角度ほど傾斜させて支持する支持部材3202を有する。   Next, the pipe diameter inspection mechanism 3166 will be described with reference to FIGS. 34 to 35B. As shown in FIG. 34, the pipe diameter inspection mechanism 3166 includes a support member 3202 that supports the pipe diameter inspection mechanism main body 3200 so as to be inclined at a predetermined angle with respect to the vertical direction.

管径検査機構本体3200は、図35A及び図35Bに示すように、搬送機構3156(図34参照)による搬送途中のワーク80のガラス管12を挟むように動作する基準爪3204及び測定爪3206と、基準爪3204を所定の基準位置に位置決めさせるための位置決め板3208と、基準爪3204を測定爪3206に対して接近する方向及び離反する方向に平行に移動させるエアチャッキング機構3210と、前記位置決め板3208をエアチャッキング機構3210の第1の爪3210aに固定するためのボルト部材3212aと、基準爪3204をエアチャッキング機構210の第2の爪210bに固定するためのボルト部材3212bと、測定爪3206の回転変位を直線方向の変位に変換して測定爪3206の変位量を測定する円筒形のセンサ3214とを有して構成されている。   As shown in FIGS. 35A and 35B, the tube diameter inspection mechanism main body 3200 includes a reference claw 3204 and a measurement claw 3206 that operate so as to sandwich the glass tube 12 of the workpiece 80 being transferred by the transfer mechanism 3156 (see FIG. 34). A positioning plate 3208 for positioning the reference claw 3204 at a predetermined reference position, an air chucking mechanism 3210 for moving the reference claw 3204 in a direction approaching and separating from the measurement claw 3206, and the positioning Bolt member 3212a for fixing plate 3208 to first claw 3210a of air chucking mechanism 3210, bolt member 3212b for fixing reference claw 3204 to second claw 210b of air chucking mechanism 210, and measurement The rotational displacement of the claw 3206 is converted into a linear displacement, and the amount of displacement of the measurement claw 3206 is measured. It is configured to include a cylindrical sensor 3214 for.

ほぼL字状の形状を有する測定爪3206は、一端部が基準爪3204に対向し、他端部がセンサ3214に対向し、その屈曲部分に支点3216が設けられた構成を有する。また、この測定爪3206は、円筒形のセンサ3214を包むように取り付けられた圧縮コイルばね3218によって一端部が常時基準爪3204に対向するように付勢されている。   The measuring claw 3206 having a substantially L shape has a configuration in which one end portion faces the reference claw 3204, the other end portion faces the sensor 3214, and a fulcrum 3216 is provided at a bent portion thereof. The measurement claw 3206 is urged so that one end thereof is always opposed to the reference claw 3204 by a compression coil spring 3218 attached so as to wrap the cylindrical sensor 3214.

前記管径検査機構本体3200は、図34に示すように、支持部材3202に設けられたエアシリンダ3220によって搬送機構3156に対して接近する方向及び離反する方向に移動可能とされている。   As shown in FIG. 34, the pipe diameter inspection mechanism main body 3200 can be moved in a direction toward and away from the transport mechanism 3156 by an air cylinder 3220 provided on the support member 3202.

次に、前記管径検査機構3166の動作について説明する。まず、搬送機構3156によってワーク80が管径検査機構本体3200の近傍に搬送されると、エアシリンダ3220の駆動によって管径検査機構本体3200が斜め下方に移動し、それと同時に、エアチャッキング機構3210の駆動によって基準爪3204が測定爪3206から離反する方向に平行に移動する。これによって、図35Bに示すように、基準爪3154と測定爪3156との間にワーク80のガラス管12を十分に挟み込むだけの空間が形成されることになる。   Next, the operation of the pipe diameter inspection mechanism 3166 will be described. First, when the workpiece 80 is transported to the vicinity of the pipe diameter inspection mechanism main body 3200 by the transport mechanism 3156, the pipe diameter inspection mechanism main body 3200 is moved obliquely downward by driving the air cylinder 3220. At the same time, the air chucking mechanism 3210 is moved. The reference claw 3204 moves parallel to the direction away from the measurement claw 3206 by the driving of. As a result, as shown in FIG. 35B, a space sufficient to sandwich the glass tube 12 of the workpiece 80 between the reference claw 3154 and the measurement claw 3156 is formed.

エアシリンダ3220の駆動によって管径検査機構本体3200が更に下方に移動して、基準爪3204と測定爪3206との間にワーク80のガラス管12が入り込んだ段階で、今度は、エアチャッキング機構3210の駆動によって基準爪3204が前記とは逆方向に移動し、該基準爪3204が位置決め板3208によって所定の基準位置に位置決めされると、測定爪3206は、圧縮コイルばね3218の付勢に抗して、ワーク80のガラス管12の径の大小に従って支点3216を中心に回転変位する。この回転変位は、センサ3214によって直動変位に変換されて測定されることになる。   At the stage where the tube diameter inspection mechanism main body 3200 is further moved downward by driving the air cylinder 3220 and the glass tube 12 of the workpiece 80 enters between the reference claw 3204 and the measurement claw 3206, this time, the air chucking mechanism. When the reference claw 3204 is moved in the opposite direction by the driving of 3210 and the reference claw 3204 is positioned at a predetermined reference position by the positioning plate 3208, the measurement claw 3206 resists the bias of the compression coil spring 3218. Then, the workpiece 80 is rotationally displaced about the fulcrum 3216 according to the diameter of the glass tube 12 of the workpiece 80. This rotational displacement is converted into a linear displacement by the sensor 3214 and measured.

この管径検査機構3166においては、基準爪3204と測定爪3206によってワーク80のガラス管12を挟み込み、そのときのガラス管12の径に従った測定爪3206の回転変位をセンサ3214にて直動変位に変換してガラス管12の径を計測するようにしたので、搬送機構3156中の1ステーションで搬送過程にあるワーク80のガラス管12の径を容易に計測することができる。   In the tube diameter inspection mechanism 3166, the glass tube 12 of the workpiece 80 is sandwiched between the reference claw 3204 and the measurement claw 3206, and the rotational displacement of the measurement claw 3206 according to the diameter of the glass tube 12 at that time is linearly moved by the sensor 3214. Since the diameter of the glass tube 12 is measured by converting the displacement, the diameter of the glass tube 12 of the workpiece 80 in the transport process can be easily measured at one station in the transport mechanism 3156.

次に、発光検査機構3168について図36〜図40を参照しながら説明する。この発光検査機構3168は、図36に示すように、搬送機構3156を通じて搬送された8本のワーク80を同時に載置することができる受け台3230(図37参照)と、受け台3230に載置されたワーク80を発光させるための検査ヘッド3232と、受け台3230に載置されたワーク80に対して前記検査ヘッド3232を接近する方向及び離反する方向に移動させるエアシリンダ3234と、検査ヘッド3232を駆動制御するための回路基板が設置された収納ボックス3236とを有して構成されている。   Next, the light emission inspection mechanism 3168 will be described with reference to FIGS. As shown in FIG. 36, the light emission inspection mechanism 3168 is placed on the cradle 3230 (see FIG. 37) on which the eight workpieces 80 transported through the transport mechanism 3156 can be placed at the same time. An inspection head 3232 for causing the workpiece 80 to emit light, an air cylinder 3234 for moving the inspection head 3232 toward and away from the workpiece 80 placed on the cradle 3230, and an inspection head 3232. And a storage box 3236 on which a circuit board for driving and controlling is installed.

検査ヘッド3232は受け台3230に載置されるワーク80の本数に合わせて8チャンネル分が用意されている。8チャンネル分の検査ヘッド3232は、支持板3238と側板3240及び下板3242とから構成された筐体3244に収容され、該筐体3244の支持板3238の中央上部にエアシリンダ3234のピストンロッド3246が種々のリンク機構を介して連結されている。   The inspection head 3232 is prepared for eight channels according to the number of workpieces 80 placed on the cradle 3230. The inspection heads 3232 for eight channels are accommodated in a housing 3244 composed of a support plate 3238, a side plate 3240, and a lower plate 3242, and a piston rod 3246 of an air cylinder 3234 is provided at the upper center of the support plate 3238 of the housing 3244. Are connected via various link mechanisms.

1チャンネル分の検査ヘッド3232は、図38に示すように、ワーク80の陽極側リード18に接触される+電極3248と、陰極側リード22に接触される−電極3250と、ワーク80のガラス管12に接触されるトリガー電極3252を有して構成され、各電極3248、3250及び3252は、例えば圧縮コイルばね3254を介して支持板3238の内壁面に連結され、これら圧縮コイルばね3254によって常時下方に付勢されている。   As shown in FIG. 38, the inspection head 3232 for one channel includes a + electrode 3248 that is in contact with the anode side lead 18 of the work 80, a − electrode 3250 that is in contact with the cathode side lead 22, and a glass tube of the work 80. 12, each electrode 3248, 3250, and 3252 is connected to the inner wall surface of the support plate 3238 via, for example, a compression coil spring 3254, and is always below by the compression coil spring 3254. Is being energized.

前記筐体3244の構成部材の1つである下板3242には、+電極3248、−電極3250及びトリガー電極3252が挿通する開口3256、3258及び3260をそれぞれ有し、各電極3248、3250及び3252の電極面が下板3242から下方に露出するようになっている。   The lower plate 3242 which is one of the constituent members of the housing 3244 has openings 3256, 3258 and 3260 through which the + electrode 3248, the −electrode 3250 and the trigger electrode 3252 are inserted, respectively. The electrode surface is exposed downward from the lower plate 3242.

1チャンネル分の検査ヘッド3232を駆動制御するための回路3270は、例えば図39に示すように、4つの入力端子(−入力端子φi1、+入力端子φi2並びに2つのリレースイッチ端子φi3及びφi4)と3つの出力端子(−出力端子φo1、+出力端子φo2及びトリガー出力端子φo3)を有し、−入力端子φi1と+入力端子φi2間の初段にメインコンデンサCmが接続され、2段目に抵抗r1とコンデンサCの直列回路が接続され、抵抗r1とコンデンサCの接点aと+出力端子φo2との間に一次側トリガーコイル3272a、抵抗r2及びリレースイッチR1が直列接続され、トリガー出力端子φo3と一次側トリガーコイル3272aの+側端子(共通接点b)との間に二次側トリガーコイル3272bが接続されている。前記一次側トリガーコイル3272aと二次側トリガーコイル3272bとで、一次側電圧を昇圧するためのトランス3272が構成されている。   For example, as shown in FIG. 39, a circuit 3270 for driving and controlling the inspection head 3232 for one channel includes four input terminals (−input terminal φi1, + input terminal φi2 and two relay switch terminals φi3 and φi4). It has three output terminals (−output terminal φo1, + output terminal φo2 and trigger output terminal φo3), the main capacitor Cm is connected to the first stage between the −input terminal φi1 and the + input terminal φi2, and the resistor r1 is connected to the second stage. And a capacitor C are connected in series, and a primary side trigger coil 3272a, a resistor r2 and a relay switch R1 are connected in series between the resistor r1, a contact point a of the capacitor C, and the + output terminal φo2, and the trigger output terminal φo3 and the primary are connected. The secondary trigger coil 3272b is connected between the + side terminal (common contact b) of the side trigger coil 3272a. The The primary side trigger coil 3272a and the secondary side trigger coil 3272b constitute a transformer 3272 for boosting the primary side voltage.

前記4つの入力端子φi1〜φi4はコントローラ3274と接続されており、−入力端子φi1と+入力端子φi2間にはコントローラ3274から所定時間、所定電圧が供給され、該所定時間が経過した時点で、2つのリレースイッチ端子φi3及びφi4にコントローラ3274からスイッチング信号が供給されるようになっている。   The four input terminals φi1 to φi4 are connected to a controller 3274, and a predetermined voltage is supplied between the −input terminal φi1 and the + input terminal φi2 from the controller 3274 for a predetermined time, and when the predetermined time has elapsed, A switching signal is supplied from the controller 3274 to the two relay switch terminals φi3 and φi4.

次に、前記発光検査機構3168の動作を説明する。まず、搬送機構3156を通じて8本のワーク80が搬送されて、受け台3230に同時に8本のワーク80が載置された時点で、エアシリンダ3234の駆動によって筐体3244が下方に移動し、図40に示すように、ワーク80の陽極側リード18に+電極3248が接触し、ワーク80の陰極側リード22に−電極3250が接触し、ワーク80のガラス管12にトリガー電極3252が接触し、電極3248、3250及び3252が下板3242より浮いた段階で、エアシリンダ3234による筐体3244の下方への移動が停止する。   Next, the operation of the light emission inspection mechanism 3168 will be described. First, when the eight workpieces 80 are transported through the transport mechanism 3156 and the eight workpieces 80 are simultaneously placed on the cradle 3230, the housing 3244 moves downward by driving the air cylinder 3234. 40, the positive electrode 3248 is in contact with the anode-side lead 18 of the workpiece 80, the negative electrode 3250 is in contact with the cathode-side lead 22 of the workpiece 80, the trigger electrode 3252 is in contact with the glass tube 12 of the workpiece 80, When the electrodes 3248, 3250, and 3252 float from the lower plate 3242, the downward movement of the housing 3244 by the air cylinder 3234 stops.

その後、コントローラ3274から−入力端子φi1と+入力端子φi2間に所定時間、所定電圧が印加され、これによって、メインコンデンサCmが充電される。充電完了後、コントローラ3274から2つのリレースイッチ端子φi3及びφi4にスイッチング信号を供給して、リレースイッチR1をオンにすると、トリガー出力端子φo3を通じてトリガー電極3252に非常に高い電圧が短時間印加される。   Thereafter, a predetermined voltage is applied from the controller 3274 between the −input terminal φi1 and the + input terminal φi2 for a predetermined time, whereby the main capacitor Cm is charged. After charging is completed, when a switching signal is supplied from the controller 3274 to the two relay switch terminals φi3 and φi4 and the relay switch R1 is turned on, a very high voltage is applied to the trigger electrode 3252 through the trigger output terminal φo3 for a short time. .

トリガー電極3252を通じて高い電圧がガラス管12に印加されることによって、ワーク80が励起され、メインコンデンサCmに蓄えられていた電荷が瞬時に放電され、その結果、ワーク80が発光することとなる。ワーク80が発光すると、メインコンデンサCmの電圧は急激に下がるため、メインコンデンサCmの両端電圧をコントローラ3274で測定することによって発光の有無を知ることができる。   When a high voltage is applied to the glass tube 12 through the trigger electrode 3252, the workpiece 80 is excited, and the electric charge stored in the main capacitor Cm is instantaneously discharged. As a result, the workpiece 80 emits light. When the work 80 emits light, the voltage of the main capacitor Cm rapidly decreases. Therefore, by measuring the voltage across the main capacitor Cm with the controller 3274, the presence or absence of light emission can be known.

そして、この検査システム3140においては、図31に示すように、各検査機構でのワーク80の検査結果を陰極側封止用治具42単位に判定装置3142(図29参照)に送出するコンピュータ3300を有し、この判定装置3142には、上述したようにワーク80の検査結果が陰極側封止用治具42単位に登録される製造履歴テーブルが送出されるようになっている。   In this inspection system 3140, as shown in FIG. 31, a computer 3300 for sending the inspection result of the workpiece 80 in each inspection mechanism to the determination device 3142 (see FIG. 29) in units of cathode side sealing jigs 42. As described above, a manufacturing history table in which the inspection result of the workpiece 80 is registered in units of the cathode side sealing jig 42 is sent to the determination device 3142.

製造履歴テーブルは、例えば図41に示すように、陰極側封止用治具42に収容されたワーク80の数に対応したレコード数を有し、各レコードには、リード線長、リード線長の有効/無効の判定ビット、管径、管径の有効/無効の判定ビット、発光の有無又は発光強度(電圧値)、発光の有効/無効の判定ビットが格納されるようになっている。レコードアドレスとワーク80との関係は、搬送機構3106で搬送されるワーク80の順番に従ってアクセスのためのレコードインデックスが更新するようになっている。   For example, as shown in FIG. 41, the manufacturing history table has the number of records corresponding to the number of workpieces 80 accommodated in the cathode side sealing jig 42. Each record includes a lead wire length and a lead wire length. The valid / invalid determination bit, the tube diameter, the valid / invalid determination bit of the tube diameter, the presence / absence of light emission or light emission intensity (voltage value), and the determination bit of light emission valid / invalid are stored. As for the relationship between the record address and the work 80, the record index for access is updated in accordance with the order of the work 80 conveyed by the conveyance mechanism 3106.

次に、前記検査システム3140を用いてワーク80を検査する方法について、図42の工程ブロック図と図43のフローチャートを参照しながら説明する。   Next, a method for inspecting the workpiece 80 using the inspection system 3140 will be described with reference to the process block diagram of FIG. 42 and the flowchart of FIG.

まず、多数のワーク80が収容された陰極側封止用治具42が検査システム3140に投入されて治具受入れ部3152に載置されると(図42のステップS101)、ID読取り機構3154を通じて陰極側封止用治具42のIDが読み取られる(図42のステップS102)。   First, when the cathode-side sealing jig 42 containing a large number of workpieces 80 is put into the inspection system 3140 and placed on the jig receiving portion 3152 (step S101 in FIG. 42), the ID reading mechanism 3154 is used. The ID of the cathode side sealing jig 42 is read (step S102 in FIG. 42).

この読み取られたIDは、コンピュータ3300に受け取られる(図43のステップS201)。このIDの受取りと同時に製造履歴テーブルの各種レコードインデックスi、j及びkが初期化される(図43のステップS202)。   This read ID is received by the computer 3300 (step S201 in FIG. 43). Simultaneously with receipt of this ID, various record indexes i, j, and k in the manufacturing history table are initialized (step S202 in FIG. 43).

その後、図43のステップS203において、リード線検査機構3164からのデータの入力割込みがあったか否かの判別が行われ、入力割込みがある場合は、次のステップS204に進み、入力割込みがない場合はステップS206に進む。   Thereafter, in step S203 of FIG. 43, it is determined whether or not there has been an input interrupt of data from the lead wire inspection mechanism 3164. If there is an input interrupt, the process proceeds to the next step S204, and if there is no input interrupt. Proceed to step S206.

このステップS206においては、今度は、管径検査機構3166からのデータの入力割込みがあったか否かの判別が行われ、入力割込みがある場合は、次のステップS207に進み、入力割込みがない場合はステップS209に進む。   In this step S206, it is determined whether or not there has been an input interrupt of data from the pipe diameter inspection mechanism 3166. If there is an input interrupt, the process proceeds to the next step S207, and if there is no input interrupt. Proceed to step S209.

このステップS209においては、発光検査機構3168からのデータの入力割込みがあったか否かの判別が行われ、入力割込みがある場合は、次のステップS210に進み、入力割込みがない場合はステップS213に進んで、今度は、陰極側封止用治具42に収容されていたすべてのワーク80について処理が完了したかどうかの判別が行われ、処理が完了していない場合は、前記ステップS203に戻って該ステップS203以降の処理を繰り返し、処理が完了している場合は、次のステップS214に進み、製造履歴テーブルが陰極側封止用治具42のID(ID番号及び治具番号)と共に判定装置3142に出力されて一連の処理が終了することになる。   In this step S209, it is determined whether or not there is an input interrupt of data from the light emission inspection mechanism 3168. If there is an input interrupt, the process proceeds to the next step S210, and if there is no input interrupt, the process proceeds to step S213. This time, it is determined whether or not the processing has been completed for all the workpieces 80 accommodated in the cathode side sealing jig 42. If the processing has not been completed, the process returns to step S203. If the processing after step S203 is repeated and the processing is completed, the process proceeds to the next step S214, where the manufacturing history table is determined together with the ID (ID number and jig number) of the cathode side sealing jig 42. The data is output to 3142, and the series of processing ends.

前記ステップS102によるIDの読取り処理が終了すると、次に、ワーク取出し機構3160を通じて、陰極側封止用治具42から複数本のワーク80が同時に取り出されて搬送機構3156に移送され、これら複数本のワーク80が搬送機構3156の搬送台3158に横向きに載置される(図42のステップS103)。この陰極側封止用治具42からの複数本のワーク80の取出しは所定間隔で行われ、具体的には、後段のリード線切断機構3162による複数本のワーク80に対する処理が終了する際に、陰極側封止用治具42から複数本のワーク80が取り出されて搬送機構3156に投入されることになる。   When the ID reading process in step S102 is completed, a plurality of workpieces 80 are simultaneously taken out from the cathode side sealing jig 42 through the workpiece take-out mechanism 3160 and transferred to the transport mechanism 3156. 42 is placed sideways on the transfer table 3158 of the transfer mechanism 3156 (step S103 in FIG. 42). The plurality of workpieces 80 are taken out from the cathode side sealing jig 42 at predetermined intervals. Specifically, when the processing of the plurality of workpieces 80 by the lead wire cutting mechanism 3162 at the subsequent stage is completed. Then, a plurality of workpieces 80 are taken out from the cathode side sealing jig 42 and put into the transport mechanism 3156.

前記ワーク取出し機構3160を通じて、搬送機構3156に投入された複数本のワーク80は、それぞれ横向きに載置された状態で一方向に順次搬送される(図42のステップS104)。   Through the workpiece take-out mechanism 3160, the plurality of workpieces 80 input to the conveyance mechanism 3156 are sequentially conveyed in one direction while being placed sideways (step S104 in FIG. 42).

最初に、ワーク80は1本ずつリード線切断機構3162に投入される。リード線切断機構3162に投入されたワーク80は、その両側に導出されたリード線18及び22が所定長さに切断される(図42のステップS105)。   First, the workpieces 80 are put into the lead wire cutting mechanism 3162 one by one. In the workpiece 80 put into the lead wire cutting mechanism 3162, the lead wires 18 and 22 led out on both sides thereof are cut to a predetermined length (step S105 in FIG. 42).

リード線18及び22が切断されたワーク80は次のリード線検査機構3164に投入され、切断された後のリード線18及び22の長さが所定長さの範囲内にあるかどうかが検査される(図42のステップS106)。このとき、切断された後のリード線18及び22の長さが測定されてリード線長として出力されると共に、そのリード線長が所定長さの範囲内にあるかどうかが判定されて、その判定結果がビット情報(1/0=良/不良)として出力される。   The workpiece 80 from which the lead wires 18 and 22 have been cut is put into the next lead wire inspection mechanism 3164, and it is inspected whether the lengths of the lead wires 18 and 22 after being cut are within a predetermined length range. (Step S106 in FIG. 42). At this time, the lengths of the lead wires 18 and 22 after being cut are measured and output as lead wire lengths, and it is determined whether or not the lead wire lengths are within a predetermined length range. The determination result is output as bit information (1/0 = good / bad).

出力されたリード線長と判定ビットは、コンピュータ3300に受け取られ、製造履歴テーブルのうち、第1のレコードインデックスiで示すレコード(iレコード目)に格納される(図43のステップS204)。その後、図41のステップS205において、第1のレコードインデックスiが+1更新される。   The output lead wire length and determination bit are received by the computer 3300 and stored in the record (i-th record) indicated by the first record index i in the manufacturing history table (step S204 in FIG. 43). Thereafter, in step S205 of FIG. 41, the first record index i is updated by +1.

前記判定ビットは第1の排除機構3172にも供給され、不良と判定されたワーク80が搬送機構3156の搬送経路から除去される(図42のステップS107)。   The determination bit is also supplied to the first rejection mechanism 3172, and the work 80 determined to be defective is removed from the conveyance path of the conveyance mechanism 3156 (step S107 in FIG. 42).

前記リード線切断機構3162及びリード線検査機構3164での処理を終え、かつ、良判定を受けたワーク80は、搬送機構3156によって搬送されて次の管径検査機構3166に投入され、そのガラス封止部(他端部12b付近)におけるガラス管12の径が検査される(図42のステップS108)。このとき、ワーク80のガラス封止部におけるガラス管12の径が測定されて管径として出力されると共に、その管径が所定径の範囲内にあるかどうかが判定されて、その判定結果がビット情報(1/0=良/不良)として出力される。   The workpiece 80 that has finished the processing in the lead wire cutting mechanism 3162 and the lead wire inspection mechanism 3164 and has received a good judgment is conveyed by the conveyance mechanism 3156 and put into the next tube diameter inspection mechanism 3166, and the glass sealing is performed. The diameter of the glass tube 12 at the stop (near the other end 12b) is inspected (step S108 in FIG. 42). At this time, the diameter of the glass tube 12 in the glass sealing portion of the workpiece 80 is measured and output as the tube diameter, and it is determined whether or not the tube diameter is within a predetermined diameter range. It is output as bit information (1/0 = good / bad).

出力された管径と判定ビットは、コンピュータ3300に受け取られ、製造履歴テーブルのうち、第2のレコードインデックスjで示すレコード(jレコード目)に格納される(図43のステップS207)。その後、ステップS208において、第2のレコードインデックスjが+1更新される。   The output pipe diameter and determination bit are received by the computer 3300 and stored in the record (jth record) indicated by the second record index j in the manufacturing history table (step S207 in FIG. 43). Thereafter, in step S208, the second record index j is updated by +1.

前記判定ビットは第2の排除機構3174にも供給され、不良と判定されたワーク80が搬送機構3156の搬送経路から除去される(図42のステップS109)。   The determination bit is also supplied to the second exclusion mechanism 3174, and the work 80 determined to be defective is removed from the conveyance path of the conveyance mechanism 3156 (step S109 in FIG. 42).

前記管径検査機構3166での処理を終え、かつ、良判定を受けたワーク80は、搬送機構3156によって搬送されて次の発光検査機構3168に投入される。この発光検査機構3168に投入されるワーク80の本数は一度に例えば8本とされ、これら8本のワーク80に対して複数回(例えば8回)の発光検査が行われる(図42のステップS110)。   The workpiece 80 that has finished the processing in the tube diameter inspection mechanism 3166 and has received the good determination is transported by the transport mechanism 3156 and is input to the next light emission inspection mechanism 3168. The number of workpieces 80 put into the light emission inspection mechanism 3168 is, for example, eight at a time, and the light emission inspection is performed a plurality of times (for example, eight times) on these eight workpieces 80 (step S110 in FIG. 42). ).

この場合、8本のワーク80におけるそれぞれ8回の発光の有無(図39に示すメインコンデンサCmの両端電圧が充電電圧より大きく下がった場合は発光有り、充電電圧とあまり変らない場合は発光無し)がコントローラ3274を通じてチャンネル単位に読み取られ、各チャンネル毎の発光回数が出力される。更に、予め設定された回数以上発光があるかどうかで良否が判定され、各判定結果がそれぞれビット情報(1/0=良/不良)として出力される。ここでは発光の有無をメインコンデンサCmの電圧で判定したが、ワーク80の発光を光電管等で検出しその発光強度を直接測定してもよい。   In this case, the presence or absence of light emission 8 times in each of the eight workpieces 80 (light emission occurs when the voltage across the main capacitor Cm shown in FIG. 39 is significantly lower than the charging voltage, and there is no light emission when the charging voltage does not change much) Is read in units of channels through the controller 3274, and the number of times of light emission for each channel is output. Further, whether or not light is emitted for a predetermined number of times or not is determined, and each determination result is output as bit information (1/0 = good / bad). Here, the presence or absence of light emission is determined based on the voltage of the main capacitor Cm.

出力された8本分のワーク80の発光の有無又は発光強度と判定ビットは、コンピュータ3300にチャンネル単位で受け取られ、製造履歴テーブルのうち、第3のレコードインデックスkで示すレコード(kレコード目)に格納される(図43のステップS210)。その後、ステップS211において、第3のレコードインデックスkが+1更新される。その後、ステップS212において、8チャンネル分の処理が終了したかどうかの判別が行われ、処理が終了していなければステップS210に戻って、次のチャンネルの発光の有無又は発光強度の受取り処理と第3のレコードインデックスkの更新処理を行い、8チャンネル分の処理が終了するまで繰り返される。   The output of whether or not the eight workpieces 80 emit light or the light intensity and the determination bit are received by the computer 3300 in units of channels, and the record (kth record) indicated by the third record index k in the manufacturing history table. (Step S210 in FIG. 43). Thereafter, in step S211, the third record index k is updated by +1. Thereafter, in step S212, it is determined whether or not the processing for eight channels has been completed. If the processing has not been completed, the process returns to step S210, and whether or not the next channel emits light or is received. The update process of the record index k of 3 is performed, and the process is repeated until the process for 8 channels is completed.

前記判定ビットは第3の排除機構3176にも供給され、不良と判定されたワーク80が搬送機構3156の搬送経路から除去される(図42のステップS111)。   The determination bit is also supplied to the third exclusion mechanism 3176, and the work 80 determined to be defective is removed from the conveyance path of the conveyance mechanism 3156 (step S111 in FIG. 42).

前記発光検査機構3168での処理を終え、かつ、良判定を受けたワーク80は、次の集積機構3170を通じてトレイ3070の空いたところに順次横向きに収容される。そして、トレイ3070が満杯になった段階で、該トレイ3070はこの検査システム3140から排出されて次の工程に搬送される。   The work 80 which has finished the processing in the light emission inspection mechanism 3168 and has received the good determination is sequentially accommodated in the horizontal direction in the empty space of the tray 3070 through the next stacking mechanism 3170. When the tray 3070 is full, the tray 3070 is ejected from the inspection system 3140 and conveyed to the next process.

次に、二次封止処理装置3000においての二次封止処理に関する最適条件のパターン登録と、治具番号と登録されたパターンとの関係等について説明する。   Next, a description will be given of pattern registration under optimum conditions for the secondary sealing process in the secondary sealing processing apparatus 3000, the relationship between the jig number and the registered pattern, and the like.

まず、パターン登録について説明すると、二次封止処理を制御するためのデータとしては、制御装置3136において実行される制御ステップに従って、各装置に含まれる種々の機器の動作状態(ポンプ、バルブ、ヒータ等)、制御量(真空度、ガス圧、ヒータ温度等)及び時間が設定される。   First, pattern registration will be described. As data for controlling the secondary sealing process, according to control steps executed in the control device 3136, operation states (pumps, valves, heaters) of various devices included in each device. Etc.), control amount (degree of vacuum, gas pressure, heater temperature, etc.) and time are set.

この二次封止処理に必要な一連の制御動作データは通常シーケンスデータと称されるが、このシーケンスデータを1つのパターンデータ(パターン番号を含む)として登録しておく方が記憶容量の点、プログラム(特に検索処理)の動作速度の点、転送速度の点等で有利である。   A series of control operation data necessary for the secondary sealing process is usually referred to as sequence data, but it is more storage capacity to register this sequence data as one pattern data (including pattern number). This is advantageous in terms of operation speed of the program (particularly search processing), transfer speed, and the like.

このパターンデータやパターン番号の設定は、制御装置3136に接続されているモニタ3134のグラフィック画面を通じて行うことができる。この場合、マウス等のポインティングデバイスやキーボードを使用してポイントを指示したり、タッチパネル機能付きモニタであれば、操作者がモニタの画面に直接手で触れてポイントを指示することによって、即ち、GUI(グラフィカル・ユーザー・インターフェース)によって入力位置を特定することにより行うことができる。   The setting of the pattern data and the pattern number can be performed through the graphic screen of the monitor 3134 connected to the control device 3136. In this case, a pointing device such as a mouse or a keyboard is used to indicate a point, or in the case of a monitor with a touch panel function, the operator directly touches the screen of the monitor with a hand to indicate the point, that is, a GUI. This can be done by specifying the input position by (graphical user interface).

その一例として、まず、例えば、図44に示すように、モニタ3134の画面にメニュー画面を表示させる。このメニュー画面では、例えばシーケンスデータの元となるパターンデータを作成するための設定(1.詳細設定)と、作成された多数のパターンデータを各種装置(クリーン化装置3106、封止装置3108及び冷却装置3110)に振り分け、更に種々のパターンに組み合わせて総合的なパターンを設定するための設定(2.総合パターン番号設定)と、封止用治具と総合パターン番号との対応関係を設定するための設定(3.治具−パターン対応設定)及び通常の総合パターン番号にリセットするための設定(4.属性リセット)がある。   As an example, first, for example, as shown in FIG. 44, a menu screen is displayed on the screen of the monitor 3134. In this menu screen, for example, settings for creating pattern data that is the basis of sequence data (1. Detailed settings), and a large number of created pattern data are stored in various devices (cleaning device 3106, sealing device 3108, and cooling device). In order to set the correspondence between the device 3110) and the setting for setting the overall pattern in combination with various patterns (2. overall pattern number setting) and the sealing jig and the overall pattern number. (3. Jig-pattern correspondence setting) and a setting for resetting to a general total pattern number (4. attribute reset).

そして、例えば「1.詳細設定」を選択すると、画面が切り替わり、図45に示すように、二次封止処理装置3000の構成を模式的に示した図が表示され、クリーン化装置3106、封止装置3108及び冷却装置3110のうち、いずれかの装置の1つの機器を選択すると、パターンデータの設定に必要な項目が自動的に表示される。図45では、装置1(クリーン化装置3106)のうち、機器1を選択することによって、パターン番号、レコード番号、制御量及び時間を入力するための入力欄が表示された例を示す。   For example, when “1. Detailed setting” is selected, the screen is switched, and as shown in FIG. 45, a diagram schematically showing the configuration of the secondary sealing processing device 3000 is displayed. When one device of any one of the stop device 3108 and the cooling device 3110 is selected, items necessary for setting the pattern data are automatically displayed. FIG. 45 shows an example in which an input field for inputting a pattern number, a record number, a control amount, and a time is displayed by selecting the device 1 among the devices 1 (cleaning device 3106).

そして、このパターン登録においては、入力データの適否判別を行う確認機能が働くようになっている。つまり、入力データは、設定可能範囲内にあるか否かが判別されるようになっており、設定可能範囲内であれば、その入力欄に入力データが表示されると同時に必要なテーブルに登録され、設定可能範囲外であれば、その入力欄への入力データの表示並びに必要なテーブルへの登録も行われない。また、このパターン登録は、制御ステップを途中に挿入したり、削除する編集機能(修正機能)やパターンデータを複写する編集機能(複写機能)も働くようになっている。   In this pattern registration, a confirmation function for determining the suitability of input data is activated. In other words, it is determined whether or not the input data is within the settable range. If it is within the settable range, the input data is displayed in the input field and registered in the necessary table at the same time. If it is out of the settable range, the input data is not displayed in the input column and is not registered in the necessary table. This pattern registration also has an editing function (correction function) for inserting or deleting control steps in the middle and an editing function (copying function) for copying pattern data.

前記パターン登録においては、1つの機器に対して複数のシーケンスデータ、つまり、複数のパターンデータを登録できるようになっており、しかも、これらパターンデータはそれぞれパターン番号が設定されて容易に識別できるようになっている。   In the pattern registration, a plurality of sequence data, that is, a plurality of pattern data can be registered for one device, and the pattern data is set with a pattern number and can be easily identified. It has become.

従って、このパターン登録においては、視覚的に入力ミスのない設定が可能になり、専門的な知識がなくてもパターン登録や設定等のメンテナンスを容易に行うことが可能となる。   Therefore, in this pattern registration, setting without visual input errors is possible, and it is possible to easily perform maintenance such as pattern registration and setting without specialized knowledge.

一方、治具番号と登録されたパターンデータとの関係付けは、治具番号ごとに設定された総合パターン番号設定(パターン対応テーブルに登録された総合パターン番号)によって実施されるようになっている。   On the other hand, the association between the jig number and the registered pattern data is performed by the general pattern number setting (the general pattern number registered in the pattern correspondence table) set for each jig number. .

ID読取り装置3104にて読み取られた治具番号は、最初に「0」か「それ以外」かの判別が行われる。治具番号が「0」の場合は、総合パターン番号の自動設定は行われず、操作盤に設置された総合パターン番号を選択するための図示しない選択スイッチによる設定番号が用いられる。その理由は、実際の生産段階で使用されるパターン対応テーブルの内容が、テストの自動設定で容易に変更されるのを防ぐためである。これは、テスト後の復元忘れ(テスト後にパターン対応テーブルの内容を復元することを忘れること)等を防止する上で非常に効果がある。   The jig number read by the ID reader 3104 is first discriminated whether it is “0” or “other”. When the jig number is “0”, the general pattern number is not automatically set, and a setting number by a selection switch (not shown) for selecting the general pattern number installed on the operation panel is used. The reason is to prevent the contents of the pattern correspondence table used in the actual production stage from being easily changed by automatic test setting. This is very effective in preventing forgetting restoration after the test (forgetting to restore the contents of the pattern correspondence table after the test).

従って、テストを行う場合は、治具番号が形成されていない陰極側封止用治具42を使用したり、治具番号が形成されている部分をマスクした陰極側封止用治具42を使用して、該治具番号を強制的に「0」にすることによって簡単に行うことができる。   Therefore, when performing the test, the cathode side sealing jig 42 in which the jig number is not formed is used, or the cathode side sealing jig 42 in which the portion where the jig number is formed is masked. It can be done simply by forcing the jig number to "0".

総合パターン番号設定は、二次封止処理装置3000に投入される陰極側封止用治具42に対して何番の総合パターン番号を実施させるかをパターン対応テーブルに登録するものであり、この場合も、マウス等のポインティングデバイスやキーボードを使用してポイントを指示したり、タッチパネル機能付きモニタであれば、操作者がモニタの画面に直接手で触れてポイントを指示することによって登録することが可能である。なお、この総合パターン番号設定においても、入力データの適否判別を行う確認機能が働くようになっている。   The total pattern number setting is for registering, in the pattern correspondence table, what total pattern number is to be performed on the cathode side sealing jig 42 put into the secondary sealing processing device 3000. In some cases, a pointing device such as a mouse or a keyboard can be used to indicate a point, or in the case of a monitor with a touch panel function, the operator can directly register the point by touching the monitor screen with his / her hand. Is possible. It should be noted that a confirmation function for determining the suitability of input data also works in this overall pattern number setting.

二次封止処理装置3000は、キセノン放電管10の量産化のために、陰極側封止用治具42をクリーン化装置3106→封止装置3108→冷却装置3110で移動させるようにしている。従って、総合パターン番号の内訳としては、各装置3106、3108及び3110ごとの機器に対するパターンデータを示すパターン番号(機器別パターン番号)が複数含まれた形態であり、その変換テーブルとしてパターン番号テーブルが組み込まれている。   In the secondary sealing processing device 3000, the cathode side sealing jig 42 is moved by the cleaning device 3106 → the sealing device 3108 → the cooling device 3110 for mass production of the xenon discharge tube 10. Accordingly, the breakdown of the total pattern number is a form in which a plurality of pattern numbers (pattern numbers for each device) indicating pattern data for devices for each of the devices 3106, 3108 and 3110 are included, and a pattern number table is used as the conversion table. It has been incorporated.

これによって、二次封止処理装置3000に投入された陰極側封止用治具42の治具番号に対応する総合パターン番号を検索し、更に、検索された総合パターン番号に対応する各機器ごとの機器別パターン番号を検索し、これら機器別パターン番号に対応するパターンデータをそれぞれのコントローラ3116、3120及び3124に出力することによって、その陰極側封止用治具42に応じた処理条件で二次封止処理が行われることになる。   As a result, a comprehensive pattern number corresponding to the jig number of the cathode side sealing jig 42 put in the secondary sealing processing apparatus 3000 is searched, and each device corresponding to the searched general pattern number is searched. The device-specific pattern numbers are retrieved, and the pattern data corresponding to these device-specific pattern numbers are output to the respective controllers 3116, 3120 and 3124, so that the processing conditions corresponding to the cathode-side sealing jig 42 can be obtained. The next sealing process is performed.

このように、前記二次封止処理装置3000においては、複数本のワーク80がそれぞれ個別に挿入される複数の孔が形成されたヒータ本体44を有し、かつ、ワーク80のガラス管12を封止するために用いられる陰極側封止用治具42と、使用される陰極側封止用治具42に応じた二次封止処理条件に基づいて前記陰極側封止用治具42を二次封止処理して陰極側封止用治具42に投入された複数のガラス管12を封止する二次封止処理装置3000と、ワーク80におけるガラス管12の封止状態を検査する検査システム3140と、該検査システム3140からの検査結果に基づいて二次封止処理装置3000での二次封止処理条件の適否を判定する判定装置3142とを設けて構成するようにしている。   As described above, the secondary sealing processing device 3000 includes the heater main body 44 in which a plurality of holes into which a plurality of workpieces 80 are individually inserted are formed, and the glass tube 12 of the workpiece 80 is disposed. The cathode side sealing jig 42 used for sealing, and the cathode side sealing jig 42 based on the secondary sealing processing conditions according to the cathode side sealing jig 42 used. The secondary sealing processing device 3000 that seals the plurality of glass tubes 12 that have been subjected to the secondary sealing treatment and placed in the cathode side sealing jig 42 and the sealing state of the glass tube 12 in the workpiece 80 are inspected. An inspection system 3140 and a determination device 3142 for determining the suitability of secondary sealing processing conditions in the secondary sealing processing device 3000 based on the inspection result from the inspection system 3140 are provided and configured.

これにより、まず、二次封止処理装置3000において、使用される陰極側封止用治具42に応じた二次封止処理条件に基づいて、陰極側封止用治具42が処理(通電加熱等)されることにより、陰極側封止用治具42に投入された複数のガラス管12が封止される。その後、検査システム3140において、個々のガラス管12の封止状態が検査される。   Thereby, first, in the secondary sealing processing apparatus 3000, the cathode side sealing jig 42 is processed (energized) based on the secondary sealing processing conditions corresponding to the cathode side sealing jig 42 to be used. The plurality of glass tubes 12 put in the cathode side sealing jig 42 are sealed. Thereafter, in the inspection system 3140, the sealing state of the individual glass tubes 12 is inspected.

次の判定装置3142において、前記検査システム3140からの検査結果に基づいて、二次封止処理装置3000での二次封止処理条件の適否が治具単位に判定される。この適否の判定は、ワーク単位でもよい。   In the next determination device 3142, based on the inspection result from the inspection system 3140, the suitability of the secondary sealing processing conditions in the secondary sealing processing device 3000 is determined for each jig. This determination of suitability may be in units of work.

そして、この二次封止処理装置3000においては、この判定結果を利用することによって、ワーク80における二次封止工程S32(図2参照)での二次封止処理条件の最適化を図ることができ、キセノン放電管10の生産効率の改善を達成させることができる。   And in this secondary sealing processing apparatus 3000, the optimization of the secondary sealing process conditions in the secondary sealing process S32 (refer FIG. 2) in the workpiece | work 80 is aimed at by utilizing this determination result. The production efficiency of the xenon discharge tube 10 can be improved.

特に、この例では、前記判定装置3142からの判定結果に基づいて、当該判定対象の陰極側封止用治具42に対応する二次封止処理条件を変更(更新)するようにしている。   In particular, in this example, based on the determination result from the determination device 3142, the secondary sealing process condition corresponding to the determination target cathode side sealing jig 42 is changed (updated).

これにより、判定装置3142での判定結果が不適合(「発光不良」又は「管径不良」)の場合に、自動的に二次封止処理条件が更新されて、現在の不良に最も適した二次封止処理条件に設定されるため、条件設定作業の簡略化を有効に図ることができ、工数の低減、製造コストの低廉化を実現させることができる。   As a result, when the determination result in the determination device 3142 is nonconforming (“light emission failure” or “tube diameter failure”), the secondary sealing process condition is automatically updated, and the most suitable for the current failure. Since the next sealing process condition is set, it is possible to effectively simplify the condition setting operation, and to realize reduction in man-hours and reduction in manufacturing cost.

次に、図2の下地半田・洗浄工程S35において、下地半田・洗浄機4000(図46参照)を通じて、前記所定長さに切断された陽極側リード18及び陰極側リード22にそれぞれ下地用として半田めっきを行う。この下地半田めっきは、キセノン放電管10を例えばカメラセットのストロボユニットに組み込んで、陽極側リード18及び陰極側リード22を回路基板の配線に半田付けする際に半田が付き易くするために行う。前記下地半田処理においてフラックスを行うため、フラックスによる汚れを洗浄して取り除く。   Next, in the base solder / cleaning step S35 of FIG. 2, the base-side solder / cleaning machine 4000 (see FIG. 46) is used to solder the anode-side lead 18 and the cathode-side lead 22 cut into the predetermined lengths as base-use solders. Plating is performed. The base solder plating is performed so that the xenon discharge tube 10 is incorporated in a strobe unit of a camera set, for example, and soldering is easily performed when the anode side lead 18 and the cathode side lead 22 are soldered to the wiring of the circuit board. In order to perform flux in the base solder process, dirt due to the flux is washed away.

ここで、前記下地半田・洗浄機4000について図46〜図54を参照しながら説明する。この下地半田・洗浄機4000は、図46に示すように、二次封止品80の陽極側リード18及び陰極側リード22の端部を揃える端部揃え機構4014、フラックス付け機構4016、半田付け機構4018、洗浄機構4020、水切り機構4022及び乾燥機構4024と、各機構間に二次封止品80を搬送するための第1〜第3のワーク把持搬送機構4026a〜4026cとを有している。   Here, the base solder / cleaning machine 4000 will be described with reference to FIGS. As shown in FIG. 46, the base solder / cleaning machine 4000 includes an end aligning mechanism 4014, a flux applying mechanism 4016, and a soldering unit that align the ends of the anode side lead 18 and the cathode side lead 22 of the secondary sealed product 80. A mechanism 4018, a cleaning mechanism 4020, a draining mechanism 4022, a drying mechanism 4024, and first to third workpiece gripping and conveying mechanisms 4026a to 4026c for conveying the secondary sealed product 80 between the mechanisms are provided. .

また、この下地半田・洗浄機4000は、前記各種機構に加えて、半田付けされていない(以下、未半田という)二次封止品80を前記端部揃え機構4014に供給するために、予め複数の未半田の二次封止品80を収納したトレイ3070を段済みして準備しておく未半田ワークトレイ供給ステーション4028と、前記未半田ワークトレイ供給ステーション4028から1枚のトレイ3070を取りだして前記端部揃え機構4014に供給するための未半田ワーク取出しステーション4030と、未半田の二次封止品80が全て前記端部揃え機構4014に供給されて空となったトレイ3070を段済みするための空トレイ段積みステーション4032とを有する。   Further, in addition to the various mechanisms, the base solder / cleaning machine 4000 is provided in advance to supply a secondary sealing product 80 that is not soldered (hereinafter referred to as unsoldered) to the end alignment mechanism 4014. A tray 3070 containing a plurality of unsoldered secondary sealing products 80 is stepped and prepared, and a single tray 3070 is taken out from the unsoldered work tray supply station 4028. The unsoldered workpiece take-out station 4030 for supplying to the edge aligning mechanism 4014 and the unsoldered secondary sealed product 80 are all supplied to the edge aligning mechanism 4014 and the tray 3070 that has become empty is stepped. And an empty tray stacking station 4032.

更に、この下地半田・洗浄機4000は、前記各種機構に加えて、乾燥機構4024から半田付けされた(以下、半田済みという)二次封止品80を受け取り収納するための1枚の空トレイを配置した半田済みワーク収納ステーション4034と、半田済みの二次封止品80で一杯になったトレイ3070を段積みするための半田済みワーク段積みステーション4036と、新たな空のトレイ3070を半田済みワーク収納ステーション4034に配置するための空のトレイ3070を準備する空トレイ供給ステーション4038とを有する。   Further, the base solder / cleaning machine 4000 includes one empty tray for receiving and storing the secondary sealed product 80 soldered from the drying mechanism 4024 (hereinafter referred to as soldered) in addition to the various mechanisms described above. Soldered work storage station 4034 in which is placed, soldered work stacking station 4036 for stacking tray 3070 filled with soldered secondary sealing product 80, and new empty tray 3070 are soldered. And an empty tray supply station 4038 for preparing an empty tray 3070 for placement in the finished workpiece storage station 4034.

ここで、フラックス付け機構4016、半田付け機構4018、洗浄機構4020及び乾燥機構4024は、市販の浸漬法による半田付け装置のパーツを用いることができ、これらは、フラックス等を満たしてこれに二次封止品80の陽極側リード18及び陰極側リード22を浸漬するための各槽及び各付属機器で構成される。この下地半田・洗浄機4000においては、後述する水切り機構4022が乾燥機能を有している場合には、乾燥機構4024を省略することもできる。   Here, as the fluxing mechanism 4016, the soldering mechanism 4018, the cleaning mechanism 4020, and the drying mechanism 4024, it is possible to use parts of a soldering apparatus that is commercially available by a dipping method. Each tank and each accessory device for immersing the anode side lead 18 and the cathode side lead 22 of the sealed product 80 are configured. In the base solder / cleaning machine 4000, the drying mechanism 4024 can be omitted when a draining mechanism 4022 described later has a drying function.

次に、前記下地半田・洗浄機4000の主要部の構成について更に詳しく説明する。まず、図47に示す二次封止品80の陽極側リード18及び陰極側リード22の端部揃え機構4014は、二次封止品80の幅方向の動きを規制するように開口端部が拡大したU状溝を形成した二次封止品80の受け部4040と、押圧手段4043である一対のプッシャ4042a、4042b及び空気圧シリンダ等の駆動手段4044a、4044bとを有する。更に、二次封止品80を前記受け部4040に配置する手段として上述したワーク把持搬送機構4026a〜4026cが用いられる(図46参照)。   Next, the configuration of the main part of the base solder / cleaning machine 4000 will be described in more detail. First, the end alignment mechanism 4014 of the anode-side lead 18 and the cathode-side lead 22 of the secondary sealed product 80 shown in FIG. 47 has an opening end so as to restrict the movement of the secondary sealed product 80 in the width direction. It has a receiving portion 4040 of the secondary sealed product 80 in which an enlarged U-shaped groove is formed, a pair of pushers 4042a and 4042b which are pressing means 4043, and driving means 4044a and 4044b such as pneumatic cylinders. Furthermore, the above-described workpiece gripping and conveying mechanisms 4026a to 4026c are used as means for arranging the secondary sealed product 80 in the receiving portion 4040 (see FIG. 46).

また、前記プッシャ4042a、4042bによる押圧限界を規制するために駆動手段4044a、4044bにリミッタ4046が設けられており、前記駆動手段4044a、4044bを付勢して二次封止品80を挟む方向に移動するプッシャ4042a、4042b間の距離が二次封止品80の全長より僅かに大きく設定された所定の値に至った時点でプッシャ4042a、4042bの移動が停止される。   In addition, a limiter 4046 is provided in the driving means 4044a and 4044b to restrict the pressing limit by the pushers 4042a and 4042b, and the driving means 4044a and 4044b are energized to sandwich the secondary sealed product 80 therebetween. The movement of the pushers 4042a and 4042b is stopped when the distance between the moving pushers 4042a and 4042b reaches a predetermined value set slightly larger than the total length of the secondary sealed product 80.

従って、例えば、通常、単にトレイ3070上に配列されている状態では二次封止品80の端部の位置に約2mm程度のばらつきがあるが、端部揃え機構4014によりばらつきが約0.2mm程度に小さくなり、次工程の半田付け作業を好適に行うことができる。   Therefore, for example, normally, there is a variation of about 2 mm in the position of the end of the secondary sealing product 80 in the state where it is simply arranged on the tray 3070, but the variation is about 0.2 mm by the end alignment mechanism 4014. The soldering work of the next process can be suitably performed.

図47中、二次封止品80の受け部4040は合成樹脂等を材料として形成され、底板部材の両端に2枚の板状体4040a及び4040bが離間して立設され、該板状体4040a及び4040bのU状溝に二次封止品80の両端部が保持される。プッシャ4042a及び4042bは受け部4040に保持された6本の二次封止品80を押圧するために十分な面積を有する凹凸のない平滑な押圧面を有している。   In FIG. 47, the receiving portion 4040 of the secondary sealing product 80 is made of synthetic resin or the like, and two plate-like bodies 4040a and 4040b are provided upright at both ends of the bottom plate member. Both ends of the secondary sealing product 80 are held in the U-shaped grooves 4040a and 4040b. The pushers 4042a and 4042b have a smooth pressing surface without unevenness having a sufficient area for pressing the six secondary sealing products 80 held by the receiving portion 4040.

ここで、前記一対のプッシャ4042a及び4042bのうちの1つに代えて、プッシャ4042aにより押圧され移動した二次封止品80を受け止める支持部を設けてもよく、また、前記受け部4040の構造を、二次封止品80を縦に配置することにより、プッシャを省略することもできる。   Here, instead of one of the pair of pushers 4042a and 4042b, a support portion for receiving the secondary sealed product 80 that is pressed and moved by the pusher 4042a may be provided, and the structure of the receiving portion 4040 The pusher can be omitted by arranging the secondary sealed product 80 vertically.

図48に示すように、二次封止品80を移送するためのワーク把持搬送機構4026a〜4026cは、二次封止品80を把持するための複数のチャック4052が支持部材4054に固設されており、支持部材4054は、チャック4052が二次封止品80を保持する方向を少なくとも、図48中、Y軸を中心として90°及びX軸を中心として180°回転自在とするロボット等の駆動手段4056に接続されている。   As shown in FIG. 48, the workpiece gripping and conveying mechanisms 4026a to 4026c for transferring the secondary sealed product 80 include a plurality of chucks 4052 for gripping the secondary sealed product 80 fixed to the support member 4054. The support member 4054 is a robot or the like that can rotate at least 90 ° about the Y axis and 180 ° about the X axis in FIG. 48 in the direction in which the chuck 4052 holds the secondary sealing product 80. Connected to driving means 4056.

図48中、左側に位置するワーク把持搬送機構4026a〜4026cの状態は、水平方向に置かれたトレイ3070上の一列分に相当する6本の二次封止品80を6本のチャック4052により把持して搬送作業に向けて動作する姿勢、あるいは半田付け装置中の所定の位置に保持する姿勢を示している。具体的には第1のワーク把持搬送機構4026aが前記未半田ワーク取出しステーション4030の1枚のトレイ3070上の一列分の未半田の二次封止品80を取り出して端部揃え機構4014に供給するために二次封止品80を把持する姿勢、第3のワーク把持搬送機構4026cが前記洗浄機構4020において洗浄液中に半田済み二次封止品80を浸漬して配置する姿勢、同じく第3のワーク把持搬送機構4026cが前記半田済みの二次封止品80を半田済みワーク収納ステーション4034上の空トレイ3070に収納する姿勢等を示すものである。   In FIG. 48, the state of the workpiece gripping and conveying mechanisms 4026a to 4026c located on the left side is such that six secondary sealed products 80 corresponding to one row on the tray 3070 placed in the horizontal direction are moved by the six chucks 4052. It shows a posture in which it is gripped and operated toward the carrying work, or a posture in which it is held at a predetermined position in the soldering apparatus. Specifically, the first workpiece gripping and conveying mechanism 4026a takes out a row of unsoldered secondary sealed products 80 on one tray 3070 of the unsoldered workpiece removal station 4030 and supplies it to the end alignment mechanism 4014. In order to grip the secondary sealed product 80, the posture in which the third workpiece gripping and conveying mechanism 4026c immerses and arranges the soldered secondary sealed product 80 in the cleaning liquid in the cleaning mechanism 4020, and the third The workpiece gripping and conveying mechanism 4026c shows a posture in which the soldered secondary sealed product 80 is stored in the empty tray 3070 on the soldered workpiece storage station 4034, and the like.

一方、図48中、ワーク把持搬送機構4026a〜4026cの左側から右側への移行状態は、水平方向にチャック4052に把持された二次封止品80を図中Y軸を中心として90°回転して垂直方向に立てる動作姿勢を示している。具体的には、第2のワーク把持搬送機構4026bが水平に配置された二次封止品80を把持して垂直方向に立てながらフラックス付け機構4016、半田付け機構4018において二次封止品80の、図48中、下側に位置する陽極側リード18又は陰極側リード22をフラックス等に浸漬、保持する姿勢等を示すものである。   On the other hand, in FIG. 48, the workpiece gripping and conveying mechanisms 4026a to 4026c are shifted from the left side to the right side by rotating the secondary sealed product 80 held by the chuck 4052 in the horizontal direction by 90 ° about the Y axis in the drawing. The figure shows the posture of the operation standing in the vertical direction. Specifically, the second workpiece gripping and conveying mechanism 4026b grips the secondary sealing product 80 arranged horizontally and stands in the vertical direction while the flux sealing mechanism 4016 and the soldering mechanism 4018 use the secondary sealing product 80. 48 shows an attitude in which the anode-side lead 18 or the cathode-side lead 22 positioned on the lower side in FIG. 48 is immersed and held in a flux or the like.

また、図48中、右側に位置するワーク把持搬送機構4026は、垂直方向に立てた二次封止品80を更に、図48中、X軸を中心として180°回転して、二次封止品80を上下反転する動作姿勢を示している。具体的には、第2のワーク把持搬送機構4026bが二次封止品80の一方の電極リード(例えば陽極側リード18)の半田付けを行った後、この反転動作を行って、引き続き他方の電極リード(例えば陰極側リード22)の半田付けを行う際の姿勢を示すものである。   48, the workpiece gripping and conveying mechanism 4026 located on the right side further rotates the secondary sealing product 80 standing in the vertical direction by 180 ° about the X axis in FIG. An operation posture in which the product 80 is turned upside down is shown. Specifically, after the second workpiece gripping / conveying mechanism 4026b solders one electrode lead (for example, the anode-side lead 18) of the secondary sealed product 80, this reversal operation is performed, and the other of the other leads continues. This shows the posture when soldering an electrode lead (for example, the cathode side lead 22).

ワーク把持搬送機構4026は、基本的には、図46中、X、Z各方向に移動自在に設けられている。生産効率を上げるために、未半田ワーク取出しステーション4030と端部揃え機構4014との間を移動して二次封止品80を搬送する作業を分担する第1のワーク把持搬送機構4026a、二次封止品80の一方の電極リード(例えば陽極側リード18)の端部をフラックス付け及び半田付けした後引き続き二次封止品80の長さ方向を反転させて二次封止品80の他方の電極リード(例えば陰極側リード22)にフラックス付け及び半田付けする作業を分担する第2のワーク把持搬送機構4026b及び洗浄機構4020以降の搬送作業を分担する第3のワーク把持搬送機構4026cの3基が設けられている。この場合、第1と第3のワーク把持搬送機構4026a、4026cについては二次封止品80をY軸を中心に90°回転する機構及びX軸を中心に180°反転する機構は特に必要としないために設けられていない(図48参照)。   The workpiece gripping and conveying mechanism 4026 is basically provided so as to be movable in each of the X and Z directions in FIG. In order to increase the production efficiency, the first work gripping and transporting mechanism 4026a, which performs the work of transporting the secondary sealed product 80 by moving between the unsoldered work picking station 4030 and the end alignment mechanism 4014, the secondary After the end portion of one electrode lead (for example, the anode side lead 18) of the sealed product 80 is fluxed and soldered, the length direction of the secondary sealed product 80 is continuously reversed and the other side of the secondary sealed product 80 is reversed. 3 of the second work gripping and transporting mechanism 4026b for sharing the work of fluxing and soldering to the electrode lead (for example, the cathode side lead 22) and the third work gripping and transporting mechanism 4026c for sharing the transporting work after the cleaning mechanism 4020. A group is provided. In this case, with respect to the first and third workpiece gripping and conveying mechanisms 4026a and 4026c, a mechanism that rotates the secondary sealed product 80 by 90 ° around the Y axis and a mechanism that reverses 180 ° around the X axis are particularly necessary. It is not provided in order to avoid (see FIG. 48).

更に、生産効率を上げるためには、各処理工程中クリチカルパス部分の基数を増加して各工程間で二次封止品80を受け渡しし、あるいは同一工程について重複して作業可能な態様としてもよく、また逆に、工程能力上問題の少ない部分については1つのワーク把持搬送機構4026の分担範囲を拡げてワーク把持搬送機構4026の設置基数を減少することもできる。   Furthermore, in order to increase production efficiency, it is possible to increase the cardinal number of the critical path portion during each processing step and deliver the secondary sealing product 80 between the respective steps, or as an aspect in which the same step can be duplicated. On the other hand, on the other hand, the number of installation bases of the work gripping and transporting mechanism 4026 can be reduced by expanding the shared range of one work gripping and transporting mechanism 4026 for a part with less problem in process capability.

次に、図49に示す水切り機構4022は、上述した受け部4040と同一構成の受け部4062と、複数のスプレーノズル4064が設けられた、図49中、矢印方向に移動可能なスプレー装置4066とで構成され、スプレー装置4066は好適には圧縮空気を用いる圧縮流体供給機構4068に接続されている。また、受け部4062には図示しない押圧部材が設けられており、圧縮空気の圧力により受け部4062上の二次封止品80が飛び出さないように、回転自在な程度の間隙を持ってこの二次封止品80を押圧している。   Next, a draining mechanism 4022 shown in FIG. 49 includes a receiving portion 4062 having the same configuration as the receiving portion 4040 described above, and a spray device 4066 that is provided with a plurality of spray nozzles 4064 and is movable in the direction of the arrow in FIG. The spray device 4066 is preferably connected to a compressed fluid supply mechanism 4068 that uses compressed air. In addition, the receiving portion 4062 is provided with a pressing member (not shown), and has a rotatable gap so that the secondary sealing product 80 on the receiving portion 4062 does not pop out due to the pressure of compressed air. The secondary sealed product 80 is pressed.

ここで、スプレー装置4066自体を移動可能とする代わりに、首振り機能を有するスプレーノズル4064を設けてもよく、また、揺動機能を有する受け部4062を設けてもよい。   Here, instead of making the spray device 4066 itself movable, a spray nozzle 4064 having a swing function may be provided, and a receiving portion 4062 having a swing function may be provided.

以上説明した下地半田・洗浄機4000を用いて二次封止品80を下地半田付け及び洗浄処理する方法について、図50〜図54の装置構成のブロック図を参照して説明する。   A method of performing the base soldering and cleaning process on the secondary sealed product 80 using the base solder / cleaning machine 4000 described above will be described with reference to the block diagrams of the apparatus configuration of FIGS.

まず、図50に示す未半田ワークトレイステーション部のブロック図において、光検出手段4070により未半田ワーク取出しステーション4030にトレイ3070のないことを確認した後、未半田ワークトレイ供給ステーション4028に段積みされたトレイ3070の1つがトレイ搬送手段4072により未半田ワーク取出しステーション4030に搬送される(M1)。 First, in the block diagram of the unsoldered work tray station section shown in FIG. 50, the light detection means 4070 confirms that there is no tray 3070 in the unsoldered work takeout station 4030, and then stacks in the unsoldered work tray supply station 4028. One of the trays 3070 is transferred to the unsoldered workpiece removal station 4030 by the tray transfer means 4072 (M 1 ).

次いで、未半田ワーク取出しステーション4030のトレイ3070上に水平に4列×6個並べられた未半田の二次封止品80の一列分が端部揃え機構4014に搬送される。これを4列分繰り返し、トレイ3070上に二次封止品80の空き列がなくなると、図示しないシーケンサ等の制御手段により取出し列数がトレイ3070の所定の配列数(4列)になったことがカウントされ、未半田ワーク取出しステーション4030の空のトレイ3070がトレイ搬送手段4072により空トレイ段積みステーション4032に搬送される(M2)。以後、(M1)〜(M2)の動作が反復される。 Next, one row of the unsoldered secondary sealed products 80 arranged in a row of 4 rows × 6 horizontally on the tray 3070 of the unsoldered workpiece removal station 4030 is conveyed to the end alignment mechanism 4014. This is repeated for four rows, and when there are no empty rows of secondary sealed products 80 on the tray 3070, the number of take-out rows has reached the predetermined number of rows (four rows) of the tray 3070 by control means such as a sequencer (not shown). The empty tray 3070 of the unsoldered workpiece removal station 4030 is transferred to the empty tray stacking station 4032 by the tray transfer means 4072 (M 2 ). Thereafter, the operations (M 1 ) to (M 2 ) are repeated.

一方、図51に示すように、二次封止品80の一列分6個は第1のワーク把持搬送機構4026aにより把持され、端部揃え機構4014へ搬送され、受け部4040に配置される(M3)。以後、(M3)の動きが反復されて、順次二次封止品80の他の一列分を搬送する。 On the other hand, as shown in FIG. 51, six of the secondary sealed products 80 for one row are gripped by the first workpiece gripping and transporting mechanism 4026a, transported to the end aligning mechanism 4014, and arranged in the receiving portion 4040 ( M 3). Thereafter, the movement of (M 3 ) is repeated to sequentially convey another row of the secondary sealed product 80.

次に、図51に示す端部揃え機構4014のブロック図において、光検出手段4076により受け部4040の二次封止品80の存在が確認された後、駆動手段4044a、4044bである空気圧シリンダに付勢されたプッシャ4042a、4042bにより前記受け部4040に配置された二次封止品80は長さ方向(図47中矢印方向)に押圧される(M4)。 Next, in the block diagram of the end alignment mechanism 4014 shown in FIG. 51, after the presence of the secondary sealed product 80 of the receiving portion 4040 is confirmed by the light detection means 4076, the pneumatic cylinders that are the drive means 4044a and 4044b are applied. The secondary sealed product 80 disposed in the receiving portion 4040 is pressed in the length direction (the arrow direction in FIG. 47) by the biased pushers 4042a and 4042b (M 4 ).

次いで、前記プッシャ4042a、4042bが所定の位置まで移動すると駆動手段4044a、4044bのリミッタ4046が作動してプッシャ4042a、4042bの移動が停止され、二次封止品80の端部が揃えられる。その後、プッシャ4042a、4042bは原状位置に復帰して待機する(M5)。 Next, when the pushers 4042a and 4042b move to a predetermined position, the limiter 4046 of the driving means 4044a and 4044b is actuated to stop the movement of the pushers 4042a and 4042b, and the ends of the secondary sealed product 80 are aligned. Thereafter, the pushers 4042a and 4042b return to the original positions and wait (M 5 ).

次に、図52に示すフラックス付け機構4016及び半田付け機構4018のブロック図において、リミッタ4046からの別の信号を受けた第2のワーク把持搬送機構4026bにより、端部の揃えられた二次封止品80が把持され、チャック4052により90°回転して垂直方向に立てられながらフラックス付け機構4016へ搬送される(M6)。 Next, in the block diagram of the fluxing mechanism 4016 and the soldering mechanism 4018 shown in FIG. 52, the secondary sealing with the ends aligned by the second workpiece gripping and conveying mechanism 4026b that receives another signal from the limiter 4046. The stationary article 80 is gripped and conveyed to the fluxing mechanism 4016 while being rotated 90 ° by the chuck 4052 and standing in the vertical direction (M 6 ).

次いで、二次封止品80は第2のワーク把持搬送機構4026bによりフラックス付け機構4016のフラックス槽4078に搬送位置決めされた後、フラックス槽4078のフラックス内に微動駆動され(M7)、二次封止品80の下方側の電極リード(例えば陽極側リード18)が所定時間浸漬処理されてフラックス付けされる。 Next, the secondary sealed product 80 is transported and positioned in the flux tank 4078 of the fluxing mechanism 4016 by the second workpiece gripping and transporting mechanism 4026b, and then finely driven into the flux in the flux tank 4078 (M 7 ). An electrode lead (for example, anode-side lead 18) on the lower side of the sealed product 80 is dipped for a predetermined time and fluxed.

次いで、第2のワーク把持搬送機構4026bに把持された二次封止品80が垂直方向に立てられた姿勢のまま引き続き半田付け機構4018の半田槽4080へと搬送され(M8)、引き続き半田槽4080の半田内に微動駆動され(M9)、二次封止品80の一方の電極リード(例えば陽極側リード18)が浸漬処理されて半田付けが終了する。 Next, the secondary sealed product 80 gripped by the second workpiece gripping and transporting mechanism 4026b is continuously transported to the solder bath 4080 of the soldering mechanism 4018 while maintaining the vertical position (M 8 ), and subsequently soldered. Finely driven in the solder of the bath 4080 (M 9 ), one electrode lead (for example, the anode side lead 18) of the secondary sealed product 80 is dipped and the soldering is completed.

次いで、第2のワーク把持搬送機構4026bのチャック4052により二次封止品80の上下が反転されて、未半田の他方の電極リード(例えば陰極側リード22)を下方にして垂直方向に立てられた二次封止品80が再度フラックス付け及び半田付けされる(M10)。 Next, the secondary sealed product 80 is turned upside down by the chuck 4052 of the second workpiece gripping and conveying mechanism 4026b, and the other unsoldered electrode lead (for example, the cathode side lead 22) is set downward to stand vertically. The secondary sealed product 80 is again fluxed and soldered (M 10 ).

次いで、両電極リード(陽極側リード18及び陰極側リード22)への下地半田付けが終了した半田済みの二次封止品80は、第2のワーク把持搬送機構4026bにより把持方向を90°旋回して水平方向に倒されながら洗浄機構4020の洗浄槽4082に搬送され、洗浄槽4082内の端部揃え機構4014の受け部4040と同一構成の受け部(図示せず)に配置される(M11)。第2のワーク把持搬送機構4026bは原状位置に復帰して(M6)〜(M11)の動作を反復する。 Next, the soldered secondary sealed product 80 for which the base soldering to both electrode leads (the anode-side lead 18 and the cathode-side lead 22) has been finished is turned 90 ° by the second workpiece holding / conveying mechanism 4026b. Then, it is transported to the cleaning tank 4082 of the cleaning mechanism 4020 while being tilted in the horizontal direction, and disposed in a receiving part (not shown) having the same configuration as the receiving part 4040 of the end aligning mechanism 4014 in the cleaning tank 4082 (M 11 ). The second workpiece holding transport mechanism 4026b repeats the operation of returning to its original state position (M 6) ~ (M 11 ).

次に、図53に示す洗浄機構4020、水切り機構4022及び乾燥機構4024のブロック図において、所定時間経過して洗浄の終了した二次封止品80は、第3のワーク把持搬送機構4026cに把持されて水平位置の姿勢のままで水切り機構4022の受け部4062に搬送され配置される(M12)。 Next, in the block diagram of the cleaning mechanism 4020, draining mechanism 4022 and drying mechanism 4024 shown in FIG. 53, the secondary sealed product 80 that has been cleaned after a predetermined time has been gripped by the third workpiece gripping and transporting mechanism 4026c. Then, it is transported to the receiving portion 4062 of the draining mechanism 4022 and placed in the horizontal position (M 12 ).

次いで、光検出手段4084により受け部4062上の二次封止品80の存在が確認された後、圧縮流体供給機構4068に付勢されたスプレー装置4066のスプレーノズル4064により圧縮空気が二次封止品80に所定時間吹き付けられる(M13)。生産効率が高いためにスプレー装置4066は連続稼働状態としてもよい。スプレー装置4066が図示しない空気圧シリンダー等の駆動手段により、図49中、矢印方向に往復動することにより圧縮空気の吹き付け角度が変わって、受け部4062上の二次封止品80が揺動して全表面がまんべんなく水切りされる。 Next, after the presence of the secondary sealed product 80 on the receiving portion 4062 is confirmed by the light detection means 4084, the compressed air is secondarily sealed by the spray nozzle 4064 of the spray device 4066 urged by the compressed fluid supply mechanism 4068. blown predetermined time stop article 80 (M 13). Since the production efficiency is high, the spray device 4066 may be continuously operated. The spray device 4066 is reciprocated in the direction of the arrow in FIG. 49 by a driving means such as a pneumatic cylinder (not shown) to change the angle of compressed air blowing, and the secondary sealed product 80 on the receiving portion 4062 is swung. The entire surface is drained evenly.

水切り処理を所定時間行った後、二次封止品80は再度第3のワーク把持搬送機構4026cにより把持されて乾燥機構4024に搬送され(M14)、乾燥機構4024の受け部4086に配置された後熱風吹き付け手段4088により乾燥される(M15)。なお、前述した水切り機構4022自体を高温雰囲気下に置き、あるいはスプレー装置4066により高温の圧縮空気を吹き付ける等の手段を用いることにより、乾燥機構4024を省略することもできる。 After the draining process predetermined time, the secondary sealing article 80 is conveyed to the drying mechanism 4024 is gripped again by the third workpiece holding transport mechanism 4026c (M 14), disposed in the receiving portion 4086 of the drying mechanism 4024 After that, it is dried by hot air blowing means 4088 (M 15 ). Note that the drying mechanism 4024 can be omitted by placing the above-described draining mechanism 4022 itself in a high-temperature atmosphere or by using means such as spraying high-temperature compressed air by the spray device 4066.

次いで、所定時間乾燥処理された二次封止品80は第3のワーク把持搬送機構4026cにより半田済みワーク収納ステーション4034に搬送されて、半田済みワーク収納ステーション4034のトレイ3070の所定の空き列に配置される(M16)。第3のワーク把持搬送機構4026cは原状位置に復帰し、(M12)〜(M16)の動作を反復する。 Next, the secondary sealed product 80 that has been dried for a predetermined time is transported to the soldered work storage station 4034 by the third work gripping transport mechanism 4026c, and placed in a predetermined empty row of the tray 3070 of the soldered work storage station 4034. Placed (M 16 ). The third workpiece holding transport mechanism 4026c is restored to its original condition position, repeating the operation of the (M 12) ~ (M 16 ).

次に、図54に示す半田済みトレイステーション部のブロック図において、半田済みの二次封止品80が順次配列された結果、半田済みワーク収納ステーション4034のトレイ3070に空き列がなくなると、図示しないシーケンサ等の制御手段により収納列数がトレイ3070の所定の配列数(4列)になったことがカウントされ、トレイ搬送手段4090により二次封止品80を全列に収納したトレイ3070が半田済みワーク段積みステーション4036に移され(M17)、空トレイ供給ステーション4038から新たな空のトレイ3070が半田済みワーク収納ステーション4034に搬送される(M18)。 Next, in the block diagram of the soldered tray station section shown in FIG. 54, when the secondary sealed products 80 that have been soldered are sequentially arranged, there is no empty row in the tray 3070 of the soldered work storage station 4034. It is counted by the control means such as a sequencer that the number of storage rows has reached the predetermined number (4 rows) of trays 3070, and the tray 3070 storing the secondary sealed products 80 in all rows is received by the tray transport means 4090. It is transferred to the soldered work stacking station 4036 (M 17 ), and a new empty tray 3070 is conveyed from the empty tray supply station 4038 to the soldered work storage station 4034 (M 18 ).

半田済みワーク段積みステーション4036の半田済みの二次封止品80が配列された各トレイ3070は適当な手段で検査工程に送られて、二次封止品80の半田付け処理の良否が検査される(M19)。 Each tray 3070 on which the soldered secondary sealing product 80 of the soldered work stacking station 4036 is arranged is sent to an inspection process by an appropriate means, and the quality of the soldering processing of the secondary sealing product 80 is inspected. (M 19 ).

この下地半田・洗浄機4000は、基本的には以上のように構成されるものであり、その作用効果は以下の通りである。   The base solder / cleaning machine 4000 is basically configured as described above, and its operational effects are as follows.

まず、二次封止品80の寸法の短い電極リード(陽極側リード18又は陰極側リード22)の端部が揃えられた後半田付けされることにより、二次封止品80の電極リード毎の半田付け量のばらつきが少ない。   First, each end of the electrode lead (anode side lead 18 or cathode side lead 22) having a short dimension of the secondary sealed product 80 is aligned and soldered, whereby each electrode lead of the secondary sealed product 80 is soldered. There is little variation in the amount of soldering.

更に、半田付けした後洗浄処理された二次封止品80を水切りする際に、二次封止品80の全表面にわたって水切りされるため、半田付け後の製品検査時にウオーターマークの存在により不良品と誤判断されることがない。   Further, when draining the secondary sealed product 80 that has been subjected to the cleaning process after soldering, the entire surface of the secondary sealed product 80 is drained. It is not mistaken for a good product.

更に、また、二次封止品80を把持してその上下を反転させることのできるワーク把持搬送機構4026a〜4026cを用いて二次封止品80の両電極リード(陽極側リード18又は陰極側リード22)を連続して半田付けすることにより、1つの作業工程で二次封止品80を下半田付けして製造することが可能となり、二次封止品80の生産効率を向上させることができる。   Furthermore, both electrode leads (the anode side lead 18 or the cathode side) of the secondary sealed product 80 are used by using the workpiece gripping and conveying mechanisms 4026a to 4026c that can grip the secondary sealed product 80 and reverse the top and bottom. By continuously soldering the leads 22), the secondary sealed product 80 can be manufactured by lower soldering in one work process, and the production efficiency of the secondary sealed product 80 can be improved. Can do.

次に、図2の外観検査工程S36において、外観検査システム5000を通じて、完成したキセノン放電管10の形状や封止状態、汚れやひび等の外観欠陥を画像処理等で調べ、不良品を除去する。   Next, in the appearance inspection step S36 of FIG. 2, through the appearance inspection system 5000, the shape and sealing state of the completed xenon discharge tube 10, appearance defects such as dirt and cracks are examined by image processing and the like, and defective products are removed. .

ここで、外観検査システム5000について図55〜図70を参照しながら説明する。なお、この外観検査システム5000にて検査処理される完成前のキセノン放電管10をワーク10と記す。   Here, the appearance inspection system 5000 will be described with reference to FIGS. The unfinished xenon discharge tube 10 to be inspected by the appearance inspection system 5000 is referred to as a workpiece 10.

この外観検査システム5000は、図55に示すように、多数本のワーク10が収容されたトレイ3070から外観検査すべきワーク10を取り出して後述する回転搬送部5102に投入するワーク投入部5104と、該回転搬送部5102での搬送過程にあるワーク10に対して実質的な外観検査を行う外観検査部5106と、外観検査を終えたワーク10のうち、良品として認定されたワーク10をトレイ3070に集積させるワーク集積部5108とを有して構成されている。   As shown in FIG. 55, the appearance inspection system 5000 takes out a workpiece 10 to be inspected from a tray 3070 in which a large number of workpieces 10 are accommodated, and inputs the workpiece 10 into a rotary conveyance unit 5102 to be described later. An appearance inspection unit 5106 that performs a substantial appearance inspection on the workpiece 10 that is in the process of being conveyed by the rotary conveyance unit 5102, and a workpiece 10 that is certified as a non-defective product among the workpieces 10 that have undergone the appearance inspection is placed on the tray 3070. And a work stacking unit 5108 for stacking.

ワーク投入部5104は、図56に示すように、多数本のワーク10が収容された多数枚のトレイ3070が段積み状態で収納されるトレイ受入れ部5110と、該トレイ受入れ部5110に収納された多数枚のトレイ3070を1段ごとに分離して供給部5112に位置決めする供給側トレイチェンジャ機構5114と、供給部5112に位置決めされた1枚のトレイ3070から一度に複数本のワーク10を取り出して供給側直線搬送機構5116に投入するワーク供給機構5118と、該ワーク供給機構5118によって投入された複数本のワーク10をそれぞれ横方向に載置させた状態で一方向に順次搬送する前記供給側直線搬送機構5116と、該供給側直線搬送機構5116の終端付近に配置され、かつ、該供給側直線搬送機構5116にて搬送されたワーク10を1本ずつ取り出して回転搬送部5102(図55参照)に投入するワーク投入機構5120(図57参照)とを有して構成されている。   As shown in FIG. 56, the workpiece input unit 5104 is stored in the tray receiving unit 5110 in which a large number of trays 3070 in which a large number of workpieces 10 are stored are stored in a stacked state, and in the tray receiving unit 5110. A plurality of workpieces 10 are taken out at a time from a supply side tray changer mechanism 5114 that separates a large number of trays 3070 one by one and positions the supply unit 5112 and one tray 3070 positioned by the supply unit 5112. A workpiece supply mechanism 5118 that is input to the supply-side linear conveyance mechanism 5116, and the supply-side straight line that sequentially conveys a plurality of workpieces 10 input by the workpiece supply mechanism 5118 in one direction while being horizontally placed. The supply mechanism 5116 and the supply-side linear conveyance mechanism 5116 are arranged near the terminal end, and the supply-side linear conveyance mechanism 116 is configured to include a work piece introducing mechanism 5120 to be introduced into the rotating part 5102 a work 10 which is conveyed removed one by one (see FIG. 55) (see FIG. 57) at.

ワーク集積部5108は、図58に示すように、外観検査部5106にて外観検査されたワーク10のうち、良品として認定されたワーク10を1本ずつ取り出して後述する集積側直線搬送機構5130に投入するワーク取出し機構5132と、該ワーク取出し機構5132によって投入されたワーク10を横方向に載置させた状態で一方向に順次搬送する前記集積側直線搬送機構5130と、供給部5112(図56参照)に位置決めされている供給用のトレイ3070が空になった段階で、該供給部5112にあるトレイ3070を集積部5134側に搬送するトレイ搬送機構5136と、該トレイ搬送機構5136にて搬送されたトレイ3070を控えのトレイ3070として一時収容するトレイバッファ部5138と、トレイバッファ部5138に収容されているトレイ3070を取り出して集積部5134に位置決めさせるトレイ取出し機構5140と、前記集積側直線搬送機構5130によって搬送されたワーク10を取り出して前記集積部5134に位置決めされているトレイ3070に収容するワーク集積機構5142と、集積部5134に位置決めされているトレイ3070がワーク10で満杯になった段階で、該トレイ3070をトレイ排出部5144に搬送して段積み状態で収容させる集積側トレイチェンジャ機構5146と、トレイ3070が予め決められた段数ほど積まれた段階で、複数枚のトレイ3070を段積み状態で次の工程に搬送するトレイ排出機構5148とを有して構成されている。   As shown in FIG. 58, the work stacking unit 5108 takes out one work 10 certified as a non-defective product from the work 10 inspected by the appearance inspection unit 5106 one by one and supplies it to the stacking-side linear transport mechanism 5130 described later. The workpiece take-out mechanism 5132 to be loaded, the stacking-side linear conveyance mechanism 5130 that sequentially conveys the workpiece 10 loaded by the workpiece take-out mechanism 5132 in one direction while being horizontally placed, and a supply unit 5112 (FIG. 56). When the supply tray 3070 positioned at the reference position is empty, the tray 3070 in the supply unit 5112 is transported to the stacking unit 5134 side, and is transported by the tray transport mechanism 5136. A tray buffer 5138 for temporarily storing the tray 3070 as a reserved tray 3070, and a tray buffer A tray take-out mechanism 5140 for taking out the tray 3070 accommodated in the part 5138 and positioning it in the stacking part 5134; and a tray in which the work 10 transported by the stacking-side linear transport mechanism 5130 is taken out and positioned in the stacking part 5134 When the work stacking mechanism 5142 accommodated in 3070 and the tray 3070 positioned in the stacking part 5134 are filled with the work 10, the stack 3070 is transported to the tray discharge part 5144 and stored in a stacked state. The side tray changer mechanism 5146 and a tray discharge mechanism 5148 that conveys a plurality of trays 3070 to the next process in a stacked state when the tray 3070 is stacked in a predetermined number of stages are configured. Yes.

前記供給側直線搬送機構5116及び集積側直線搬送機構5130は、例えば図66に示すように、いずれも、多数本のワーク10が等ピッチで横向きに並べられる固定レール5150と、該固定レール5150に沿って回転駆動される送り竿5152にて構成され、送り竿5152が矢印に示すように矩形に回転することにより、固定レール5150の上部に形成された溝5154に載置されたワーク10をそれぞれ次の溝5154に移動させるように構成されている。送り竿5152は円運動の回転によりワーク10を次の溝5154に移動させてもよい。なお前述のように供給側直線搬送機構5116及び集積側直線搬送機構5130を介してワーク10を横向きに並べたが、機械の構成によっては縦向きに並べても差支えない。   As shown in FIG. 66, for example, the supply-side linear conveyance mechanism 5116 and the accumulation-side linear conveyance mechanism 5130 are both fixed rails 5150 in which a large number of workpieces 10 are arranged horizontally at an equal pitch, The workpiece 10 placed in the groove 5154 formed in the upper part of the fixed rail 5150 is formed by a feed rod 5152 that is rotationally driven along, and the feed rod 5152 rotates in a rectangular shape as indicated by an arrow. It is configured to move to the next groove 5154. The feed rod 5152 may move the workpiece 10 to the next groove 5154 by rotation of a circular motion. As described above, the workpieces 10 are arranged in the horizontal direction via the supply-side linear conveyance mechanism 5116 and the accumulation-side linear conveyance mechanism 5130. However, depending on the configuration of the machine, the workpieces 10 may be arranged in the vertical direction.

回転搬送部5102は、平面ほぼ円形のテーブル5160と、該テーブル5160を一方向に間欠的に回転させる回転駆動機構5162(図57参照)とを有して構成され、前記テーブル5160における外周部分に、複数のワーク保持部(円形の枠で示す)5164がほぼ同一円周上に、ほぼ等ピッチで配置されている。ワーク保持部5164については後で詳述する。   The rotary transport unit 5102 includes a table 5160 having a substantially circular plane and a rotation drive mechanism 5162 (see FIG. 57) that intermittently rotates the table 5160 in one direction. A plurality of work holding portions (indicated by circular frames) 5164 are arranged on substantially the same circumference at substantially equal pitches. The work holding unit 5164 will be described in detail later.

外観検査部5106は、ワーク10の外観を検査するための多数のステーションを有して構成されている。具体的には、図56に示すように、供給側直線搬送機構5116の搬送経路の途中に、高圧・高周波による発光検査を行うためのテスラ検査ステーション5170と、図57に示すように、テスラ検査の結果、不良品として認定されたワーク10を排除する第1の排除ステーション5172が設置され、回転搬送部5102の周りには、図59に示すように、4つの外観検査ステーション(第1〜第4の外観検査ステーション5174A〜5174D)と、ワーク10をその軸を中心としてほぼ180°回転させる旋回ステーション5176と、ワーク10をその軸と直交する軸を中心に180°反転させる反転ステーション5178と、第1〜第4の外観検査ステーション5174A〜5174Dでの検査の結果、不良品として認定されたワーク10を不良の種別ごとに振り分け排除する第2の排除ステーション5180が設置されている。   The appearance inspection unit 5106 includes a number of stations for inspecting the appearance of the workpiece 10. Specifically, as shown in FIG. 56, a Tesla inspection station 5170 for performing a light emission inspection by high pressure and high frequency in the middle of the conveyance path of the supply side linear conveyance mechanism 5116, and a Tesla inspection as shown in FIG. As a result, a first exclusion station 5172 that excludes the workpiece 10 that has been certified as a defective product is installed, and around the rotary conveyance unit 5102, as shown in FIG. 4 appearance inspection stations 5174A to 5174D), a turning station 5176 for rotating the workpiece 10 about its axis about 180 °, a reversing station 5178 for reversing the workpiece 10 about 180 ° about an axis orthogonal to the axis, As a result of inspection at the first to fourth appearance inspection stations 5174A to 5174D, A second exclusion station 5180 is arranged to sort and exclude the work piece 10 for each type of failure.

前記第1の排除ステーション5172には、ワーク10がテスラ検査不良として認定された場合に、供給側直線搬送機構5116での搬送過程にある当該ワーク10を取り出して別のステーションに搬送、排除する第1の排除機構5190を有して構成されている。   In the first removal station 5172, when the workpiece 10 is recognized as a Tesla inspection defect, the workpiece 10 in the conveyance process by the supply-side linear conveyance mechanism 5116 is taken out and conveyed to another station and excluded. 1 exclusion mechanism 5190 is provided.

前記旋回ステーション5176には、ワーク10を一旦ワーク保持部5164でワーク10の軸を中心にほぼ180°回転させる旋回機構5192が設置され、反転ステーション5178には、ワーク10を一旦ワーク保持部5164から取り出してワーク10の軸と直交する軸を中心に180°反転させる反転機構5194が設置されている。   The turning station 5176 is provided with a turning mechanism 5192 for temporarily rotating the workpiece 10 about the axis of the workpiece 10 by the workpiece holding portion 5164, and the reversing station 5178 temporarily removes the workpiece 10 from the workpiece holding portion 5164. A reversing mechanism 5194 that is taken out and reversed by 180 ° about an axis orthogonal to the axis of the workpiece 10 is installed.

また、第2の排除ステーション5180には、不良の種類に応じて配列された複数の回収箱5196A〜5196Dと、ワーク10が不良として認定された場合に、ワーク保持部5164に保持されているワーク10を取り出してその不良の種類に対応する回収箱5196A〜5196Dに収容させる第2の排除機構5198を有して構成されている。   The second removal station 5180 also has a plurality of collection boxes 5196A to 5196D arranged according to the type of defect, and a work held by the work holding unit 5164 when the work 10 is recognized as defective. 10 is taken out and accommodated in the collection boxes 5196A to 5196D corresponding to the type of failure.

なお、図57に示すように、ワーク投入機構5120を含み、ワーク10を回転搬送部5102のワーク保持部5164に保持させるためのワーク保持ステーション5200が設置され、図58に示すように、ワーク取出し機構5132を含み、ワーク10を回転搬送部5102のワーク保持部5164から取り出すためのワーク取出しステーション5202が設置されている。   As shown in FIG. 57, a work holding station 5200 that includes a work loading mechanism 5120 and holds the work 10 on the work holding unit 5164 of the rotary conveyance unit 5102 is installed. As shown in FIG. A work take-out station 5202 is provided which includes a mechanism 5132 and takes out the work 10 from the work holding unit 5164 of the rotary conveyance unit 5102.

図59に示すように、第1〜第4の外観検査ステーション5174A〜5174Dは、それぞれ2つのビデオカメラ5204及び5206が設置されており、各外観検査ステーション5174A〜5174Dにおいて、それぞれ2つのビデオカメラ5204及び5206を通じてワーク10を撮像し、更に画像処理して、ガラス管12の内面・外面の汚れやガラス管12及び機能部品の機械的欠陥(欠品、欠け、ヒビ等)、ガラス管12の封止状態(封止部の融着状態、封止部近傍の寸法変化等)並びにリード線18、22の曲がり、長さ等を検査するようにしている。   As shown in FIG. 59, the first to fourth appearance inspection stations 5174A to 5174D are provided with two video cameras 5204 and 5206, respectively, and each of the appearance inspection stations 5174A to 5174D has two video cameras 5204, respectively. The workpiece 10 is imaged through 5206 and 5206, and further image processing is performed, dirt on the inner surface and outer surface of the glass tube 12, mechanical defects of the glass tube 12 and functional parts (out of stock, chipping, cracks, etc.), sealing of the glass tube 12 The stopped state (sealed state of the sealing portion, dimensional change in the vicinity of the sealing portion, etc.) and the bending and length of the lead wires 18 and 22 are inspected.

前記4つの外観検査ステーション5174A〜5174Dのうち、第1〜第3の外観検査ステーション5174A〜5174Cが陰極側のガラス管12の部分や機能部品、陰極側リード22等の外観を検査するために使用され、第4の外観検査ステーション5174Dが陽極側のガラス管12の部分や機能部品、陽極側リード18等の外観を検査するために使用される。   Among the four appearance inspection stations 5174A to 5174D, the first to third appearance inspection stations 5174A to 5174C are used for inspecting the appearance of the cathode-side glass tube 12 portion, the functional component, the cathode-side lead 22, and the like. The fourth appearance inspection station 5174D is used to inspect the appearance of the anode side glass tube 12 portion, functional parts, anode side lead 18 and the like.

一方、ワーク保持部5164は、図60及び図61に示すように、ワーク10の軸方向が鉛直方向に沿うように位置決めして、ワーク10の全長の約半分以下を保持するクランプ機構5210と、該クランプ機構5210をその軸(又はワーク10の中心軸)を中心として回転角90°の範囲で回転(旋回)させるクランプ旋回機構5212とを有する。   On the other hand, as shown in FIGS. 60 and 61, the workpiece holding unit 5164 is positioned so that the axial direction of the workpiece 10 is along the vertical direction, and holds a clamp mechanism 5210 that holds about half or less of the entire length of the workpiece 10; A clamp turning mechanism 5212 is provided for rotating (turning) the clamp mechanism 5210 around the axis (or the center axis of the workpiece 10) within a range of a rotation angle of 90 °.

クランプ旋回機構5212は、テーブル5160に対して固定され、かつ、内側にベアリング5214が取り付けられた固定部5216と、該固定部5216に対して回転自在に取り付けられた旋回テーブル5218と、外部に取り付けられたアクチュエータ5220(図60参照)を有して構成されている。   The clamp turning mechanism 5212 is fixed to the table 5160 and has a fixed portion 5216 with a bearing 5214 attached to the inside thereof, a turning table 5218 rotatably attached to the fixed portion 5216, and an external attachment. The actuator 5220 (see FIG. 60) is configured.

固定部5216は、テーブル5160の外周部分にほぼ等ピッチで形成された貫通穴5222に挿通固着された筒部5224と、該筒部5224の上部に一体に形成された円形のフランジ部5226とを有して構成され、前記フランジ部5226は、旋回テーブル5218の回転をガイドするためのガイド部材として機能し、その側壁には、後述するボールプランジャ5228のボール5230が挿入される噛み合い溝5232(図60参照)が形成されている。また、前記フランジ部5226の上面には、旋回テーブル5218の回転範囲を規制するための2本のストッパピン5234が設けられている。   The fixed portion 5216 includes a cylindrical portion 5224 inserted and fixed in a through-hole 5222 formed at substantially the same pitch on the outer peripheral portion of the table 5160, and a circular flange portion 5226 formed integrally on the upper portion of the cylindrical portion 5224. The flange portion 5226 functions as a guide member for guiding the rotation of the swivel table 5218, and a meshing groove 5232 (see FIG. 5) into which a ball 5230 of a ball plunger 5228, which will be described later, is inserted. 60). Further, two stopper pins 5234 for restricting the rotation range of the turntable 5218 are provided on the upper surface of the flange portion 5226.

前記旋回テーブル5218は、平面ほぼ長方形状の水平片5236と、該水平片5236の一端部(固定部5216のフランジ部5226よりも外方の一端部)から下方に垂下するように一体に形成された垂下片5238と、前記水平片5236の他端部近傍の位置(固定部5216の中心と対応する位置)に下方に垂下するように一体に形成され、かつ、固定部5216のベアリング5214内に挿通される中空軸5240を有して構成されている。   The swivel table 5218 is integrally formed so as to hang downward from a horizontal piece 5236 having a substantially rectangular plane and one end of the horizontal piece 5236 (one end outside the flange portion 5226 of the fixed portion 5216). The hanging piece 5238 and the horizontal piece 5236 are integrally formed so as to hang downward at a position in the vicinity of the other end of the horizontal piece 5236 (a position corresponding to the center of the fixing portion 5216), and in the bearing 5214 of the fixing portion 5216. It has a hollow shaft 5240 to be inserted.

前記垂下片5238は、その中央部分に、固定部5216のフランジ部5226の周面に前記ボール5230が押圧されるように取り付けられた前記ボールプランジャ5228が設けられ、水平片5236の上部(投影上、固定部5216におけるフランジ部5226の外周の位置よりも僅かに内方の位置)には、この旋回テーブル5218を回転操作するためのカムフォロア5242が設けられている。   The hanging piece 5238 is provided with the ball plunger 5228 attached to the center surface of the hanging piece 5238 so that the ball 5230 is pressed against the circumferential surface of the flange portion 5226 of the fixing portion 5216, and the upper portion (on the projection side) of the horizontal piece 5236. A cam follower 5242 for rotating the turning table 5218 is provided at a position slightly inward of the outer periphery of the flange portion 5226 in the fixed portion 5216.

従って、旋回テーブル5218のカムフォロア5242をアクチュエータ5220で直線上に押圧あるいは引っ張ることにより、旋回テーブル5218は中空軸5240を中心に回転し、ボールプランジャ5228のボール5230がフランジ部5226に設けられた噛み合い溝5232に挿入されることによって、それ以上の回転が阻止されることになる。   Accordingly, when the cam follower 5242 of the turning table 5218 is pressed or pulled linearly by the actuator 5220, the turning table 5218 rotates around the hollow shaft 5240, and the ball 5230 of the ball plunger 5228 is engaged with the engagement groove provided in the flange portion 5226. By being inserted into 5232, further rotation is prevented.

特に、この外観検査システム5000では、2つの噛み合い溝5232を旋回テーブル5218の回転中心を基準としてほぼ中心角90°の位置に設けるようにしているため、旋回テーブル5218の回転範囲はほぼ中心角90°の範囲となっている。更に、この外観検査システム5000では、フランジ部5226の上面に2本のストッパピン5234を設けるようにしているため、前記ボールプランジャ5228とストッパピン5234によって、旋回テーブル5218の回転範囲をほぼ中心角90°の範囲に確実に規制することができる。   In particular, in this appearance inspection system 5000, since the two meshing grooves 5232 are provided at a position with a substantially central angle of 90 ° with respect to the rotational center of the turning table 5218, the rotation range of the turning table 5218 is approximately the central angle 90. It is in the range of °. Further, in this appearance inspection system 5000, since two stopper pins 5234 are provided on the upper surface of the flange portion 5226, the rotation range of the swivel table 5218 is set to approximately the central angle 90 by the ball plunger 5228 and the stopper pin 5234. It can be reliably regulated within the range of °.

前記旋回テーブル5218の中空軸5240の内部には、該中空軸5240に沿ってロッド5244が挿入されている。このロッド5244の上部には、外径が中空軸5240の内径よりも大とされた係止用リング5246が一体に設けられて、該ロッド5244の落下が防止されている。   A rod 5244 is inserted into the hollow shaft 5240 of the turning table 5218 along the hollow shaft 5240. A locking ring 5246 having an outer diameter larger than the inner diameter of the hollow shaft 5240 is integrally provided on the upper portion of the rod 5244 to prevent the rod 5244 from dropping.

この旋回テーブル5218の回転中心の上部には、上述したクランプ機構5210が取り付けられている。このクランプ機構5210は、縦断面ほぼL字状の一対のチャック爪5250a及び5250bと、ハウジング5252に内蔵され、かつ、前記一対のチャック爪5250a及び5250bを互いに接近させる方向に付勢するばね(図示せず)を主体としたチャック機構5254とを有して構成されている。   The clamp mechanism 5210 described above is attached to the upper part of the rotation center of the turning table 5218. The clamp mechanism 5210 includes a pair of chuck claws 5250a and 5250b having a substantially L-shaped longitudinal section, and a spring built in the housing 5252 and biasing the pair of chuck claws 5250a and 5250b toward each other (see FIG. And a chuck mechanism 5254 mainly composed of (not shown).

ここで、一対のチャック爪5250a及び5250bの構造について、旋回テーブルの他の構成例を示す図62を参照しながら説明すると、一対のチャック爪5250a及び5250bは、各先端部が互いに対向するように屈曲され、それぞれの先端には三角形状の切欠き5256が形成されている。各切欠き5256の大きさは、一対のチャック爪5250a及び5250bが互いに近づいた際に、一対のチャック爪5250a及び5250bの屈曲部分でワーク10のガラス管12を保持できる程度の大きさとされている。   Here, the structure of the pair of chuck claws 5250a and 5250b will be described with reference to FIG. 62 showing another configuration example of the swivel table. The pair of chuck claws 5250a and 5250b are arranged so that their tip portions face each other. It is bent and a triangular notch 5256 is formed at each tip. The size of each notch 5256 is such that the glass tube 12 of the workpiece 10 can be held by the bent portion of the pair of chuck claws 5250a and 5250b when the pair of chuck claws 5250a and 5250b approach each other. .

また、このクランプ機構5210における前記ハウジング5252の上部には、図63にも示すように、ワーク10のクランプ時の高さを規定するための高さ基準板5258が設けられている。この外観検査システム5000では、ワーク10をクランプ機構5210にて保持したとき、ワーク10の全長の半分以上の部分(ワーク10の上半分+下半分の上部)が一対のチャック爪5250a及び5250bの上端よりも上方に位置して外部に露出され、ワーク10の下半分のうち、上部を除く部分が一対のチャック爪5250a及び5250bにて隠れたかたちとなる。   Further, as shown in FIG. 63, a height reference plate 5258 for defining the height when the workpiece 10 is clamped is provided on the upper portion of the housing 5252 in the clamp mechanism 5210. In this appearance inspection system 5000, when the workpiece 10 is held by the clamp mechanism 5210, a portion more than half of the entire length of the workpiece 10 (the upper half of the workpiece 10 + the upper half of the lower half) is the upper end of the pair of chuck claws 5250a and 5250b. The portion of the lower half of the workpiece 10 except the upper portion is hidden by the pair of chuck claws 5250a and 5250b.

前記一対のチャック爪5250a及び5250bによる保持を解放する、即ち、一対のチャック爪5250a及び5250bを開くには、図61に示すように、旋回テーブル5218の中空軸5240内を挿通するロッド5244を上方に持ち上げることによって行われる。   To release the holding by the pair of chuck claws 5250a and 5250b, that is, to open the pair of chuck claws 5250a and 5250b, as shown in FIG. 61, the rod 5244 inserted through the hollow shaft 5240 of the turning table 5218 is moved upward. Done by lifting to.

テーブル5160の下方の空間のうち、ワーク保持部5164によるワーク10の保持を一時的に解放することが必要なステーション{例えば、ワーク保持ステーション5200(図57参照)、旋回ステーション5176(図59参照)、反転ステーション5178(図59参照)、第2の排除ステーション5180(図59参照)及びワーク取出しステーション5202(図58参照)}に対応する位置に、アンクランプ用のエアシリンダ5260が設置され、該エアシリンダ5260の駆動によってピストンロッド5262が上方に移動することによって、該エアシリンダ5260の上方に位置している旋回テーブル5218のロッド5244が上方に持ち上がり、これによって、一対のチャック爪5250a及び5250bによるワーク10の保持が解放されることになる。   Of the space below the table 5160, a station that needs to temporarily release the work 10 held by the work holding unit 5164 (for example, the work holding station 5200 (see FIG. 57), the turning station 5176 (see FIG. 59)). , An unclamping air cylinder 5260 is installed at a position corresponding to the reversing station 5178 (see FIG. 59), the second exclusion station 5180 (see FIG. 59), and the workpiece unloading station 5202 (see FIG. 58). When the piston rod 5262 moves upward by driving the air cylinder 5260, the rod 5244 of the swivel table 5218 located above the air cylinder 5260 is lifted upward, whereby the pair of chuck claws 5250a and 5250b Wa So that the holding of the click 10 is released.

そして、前記ワーク保持部5164がテーブル5160の回転によって第1〜第4の外観検査ステーション5174A〜5174Dのいずれかに到着すると、ワーク保持部5164にて保持されているワーク10が2つのビデオカメラ5204及び5206で撮像されることになる。2つのビデオカメラ5204及び5206は、例えば図64Aに示すように、互いの撮像面がワーク保持部5164における中心軸の方向に向けられ、かつ、前記中心軸を平面中心としたとき中心角が{(nπ/2)+45°}(n=0,1,2,3)の位置にそれぞれ配置されている。図64Aの例では、n=0で、中心角45°の場合を示している。   When the work holding unit 5164 arrives at one of the first to fourth appearance inspection stations 5174A to 5174D by the rotation of the table 5160, the work 10 held by the work holding unit 5164 is two video cameras 5204. And 5206. For example, as shown in FIG. 64A, the two video cameras 5204 and 5206 have a center angle of {0} when their imaging surfaces are directed in the direction of the central axis of the work holding unit 5164 and the central axis is the plane center. (Nπ / 2) + 45 °} (n = 0, 1, 2, 3). The example in FIG. 64A shows a case where n = 0 and the central angle is 45 °.

このように2つのビデオカメラ5204及び5206を配置することで、ワーク保持部5164の90°回転とも相俟って、ワーク10の全周を検査することが可能となる。なお、図64A及び図64Bは、ワーク保持部5164における特に旋回テーブル5218の構成を簡略して示してある。   By arranging the two video cameras 5204 and 5206 in this way, it becomes possible to inspect the entire circumference of the work 10 in combination with the 90 ° rotation of the work holding unit 5164. 64A and 64B show a simplified configuration of the turning table 5218, particularly in the work holding unit 5164.

上記構成について、具体的に図65A及び図65Bを参照しながら説明すると、図65Aの初期状態で、ワーク10のうち、2つのビデオカメラ5204及び5206に対向する面(P1を中心とした面M1及びP2を中心とした面M2)の90°範囲が撮像され、次に、2つのビデオカメラ5204及び5206の各焦点距離を調整することで、ワーク10のうち、前記90°範囲の点対称となる範囲(P1’を中心とした面M1’及びP2’を中心とした面M2’の90°範囲)が撮像されることになる。   The above configuration will be specifically described with reference to FIG. 65A and FIG. 65B. In the initial state of FIG. 65A, the surface of the workpiece 10 that faces the two video cameras 5204 and 5206 (surface M1 centered on P1) And 90 ° range of the plane M2) centering on P2, and then adjusting the focal lengths of the two video cameras 5204 and 5206, so that the work 10 has point symmetry of the 90 ° range. A range (90 ° range of the surface M1 ′ centered on P1 ′ and the surface M2 ′ centered on P2 ′) is imaged.

次に、アクチュエータ5220(図64A参照)によって旋回テーブル5218が中空軸を中心として90°回転することから、ワーク10もその軸を中心として90°回転し、図65Bに示すように、ワーク10のうち、2つのビデオカメラ5204及び5206と対向する前記面(P1を中心とした面M1及びP2を中心とした面M2)が90°回転移動し、新たな面(P3を中心とした面M3及びP4を中心とした面M4)が2つのビデオカメラ5204及び5206の前に現れることになる。   Next, since the turning table 5218 is rotated 90 ° around the hollow axis by the actuator 5220 (see FIG. 64A), the workpiece 10 is also rotated 90 ° around the axis, and as shown in FIG. Of these, the surfaces facing the two video cameras 5204 and 5206 (the surface M1 centered on P1 and the surface M2 centered on P2) are rotated 90 °, and a new surface (the surface M3 centered on P3 and the surface M3 A plane M4) centered on P4 will appear in front of the two video cameras 5204 and 5206.

そして、上述と同様に、ワーク10のうち、2つのビデオカメラ5204及び5206に対向する新たな面(P3を中心とした面M3及びP4を中心とした面M4)の90°範囲が撮像され、次に、2つのビデオカメラ5204及び5206の各焦点距離を調整することで、ワーク10のうち、前記新たな90°範囲の点対称となる範囲(P3’を中心とした面M3’及びP4’を中心とした面M4’の90°範囲)が撮像されることになる。   Similarly to the above, a 90 ° range of a new surface (a surface M3 centered on P3 and a surface M4 centered on P4) facing the two video cameras 5204 and 5206 of the workpiece 10 is imaged. Next, by adjusting the focal lengths of the two video cameras 5204 and 5206, a range (points M 3 ′ and P 4 ′ centered on P 3 ′) of the workpiece 10 that is point-symmetric with respect to the new 90 ° range. The 90 ° range of the surface M4 ′ centered on the image is captured.

つまり、この外観検査システム5000においては、2つのビデオカメラ5204及び5206によってワーク10の全周にわたって外観を検査することが可能となる。上記の説明では2つのビデオカメラ5204及び5206の各焦点距離を調整することで点対称となる範囲を撮像しているが、カメラの設定(レンズ焦点距離、絞り等)によっては焦点距離を調整することなく点対称の範囲も撮像することが可能である。   That is, in this appearance inspection system 5000, the appearance can be inspected over the entire circumference of the workpiece 10 by the two video cameras 5204 and 5206. In the above description, a point-symmetrical range is imaged by adjusting the focal lengths of the two video cameras 5204 and 5206, but the focal length is adjusted depending on the camera settings (lens focal length, aperture, etc.). It is also possible to image a point-symmetrical range without any problem.

前記テーブル5160のうち、第1〜第4の外観検査ステーション5174A〜5174Dに対応する場所には、ワーク保持部5164における旋回テーブル5218を90°回転(旋回)させるためのアクチュエータ5220(駆動源として例えばエアシリンダ)が設けられている。例えば、奇数番目の外観検査ステーション5174A及び5174Cに対応する場所には、旋回テーブル5218を例えば時計回りに回転させるようにアクチュエータ5220が設置され、偶数番目の外観検査ステーション5174B及び5174Dに対応する場所には、旋回テーブル5218を例えば反時計回りに回転させるようにアクチュエータ5220が設置されている。   Of the table 5160, an actuator 5220 for rotating (turning) the turning table 5218 in the work holding unit 5164 by 90 ° is provided at a place corresponding to the first to fourth appearance inspection stations 5174A to 5174D (for example, as a driving source). Air cylinder) is provided. For example, an actuator 5220 is installed at a place corresponding to the odd-numbered appearance inspection stations 5174A and 5174C so that the turning table 5218 is rotated, for example, clockwise, and is placed at a place corresponding to the even-numbered appearance inspection stations 5174B and 5174D. Is provided with an actuator 5220 to rotate the turning table 5218, for example, counterclockwise.

即ち、1つの外観検査ステーションでは、ワーク保持部5164の90°回転(旋回)は1回だけ行い、元に戻さない。次の外観検査ステーションで反対方向から90°回転(旋回)させることによって、第1〜第4の外観検査ステーション5174A〜5174Dのそれぞれにおいてワーク10に対する全周の外観検査が可能となる。   That is, in one appearance inspection station, the work holder 5164 is rotated 90 ° (turned) only once and is not restored. By rotating (turning) 90 ° from the opposite direction at the next appearance inspection station, it is possible to inspect the entire periphery of the workpiece 10 in each of the first to fourth appearance inspection stations 5174A to 5174D.

テスラ検査ステーション5170は、図66に示すように、供給側直線搬送機構5116によって搬送過程にあるワーク10のうち、テスラ検査すべき1本のワーク10が載置された台5270を上下させる上下移動機構5272(図56参照)と、該上下移動機構5272によって上方に移動された台5270に載置されている1本のワーク10に対して高圧及び高周波の信号を与えるテスラコイル5274と、前記テスラコイル5274にて高圧及び高周波の信号が印加されているワーク10を3方向から撮像する3つのビデオカメラ(第1〜第3のビデオカメラ5276A〜5276C)を有して構成されている。   As shown in FIG. 66, the Tesla inspection station 5170 moves up and down to move up and down a table 5270 on which one work 10 to be inspected is placed among the works 10 that are being transported by the supply-side linear transport mechanism 5116. A mechanism 5272 (see FIG. 56), a Tesla coil 5274 that applies high-voltage and high-frequency signals to one workpiece 10 placed on a table 5270 moved upward by the up-and-down moving mechanism 5272, and the Tesla coil 5274. 3 includes three video cameras (first to third video cameras 5276A to 5276C) that image the workpiece 10 to which high-voltage and high-frequency signals are applied from three directions.

このテスラ検査ステーション5170は、テスラコイル5274から高圧及び高周波の信号をワーク10に与えて放電させ、そのときにワーク10が発光するのを検査する。なお、上下移動機構5272によって上下する台5270は、他の外観検査の信号伝達系にノイズを重畳させないように、機械本体(上下移動機構)と電気的に絶縁してある。   The Tesla inspection station 5170 applies a high-voltage and high-frequency signal from the Tesla coil 5274 to the work 10 to discharge it, and inspects that the work 10 emits light at that time. The base 5270 that is moved up and down by the vertical movement mechanism 5272 is electrically insulated from the machine main body (vertical movement mechanism) so as not to superimpose noise on the signal transmission system of other visual inspections.

テスラコイル5274は、通常、図67に示すように、電灯線電圧100Vを変圧器5280により昇圧し、火花間隔の調節によって回路に高周波振動を発生し、更に放電筒(高周波用変圧器)5282によって高周波高圧を発生するものである。この場合、火花間隔により高周波を出すため、周波数が安定しないという問題がある。   As shown in FIG. 67, the Tesla coil 5274 normally boosts the power line voltage 100V by a transformer 5280, generates high frequency vibrations in the circuit by adjusting the spark interval, and further generates high frequency by a discharge cylinder (high frequency transformer) 5282. It generates high pressure. In this case, there is a problem that the frequency is not stable because a high frequency is generated by the spark interval.

しかし、この外観検査システム5000においては、図68に示すように、電灯線電圧100Vをノイズフィルタ5290を通じて高周波発振回路5292に供給し、該高周波発振回路5292から出力される信号を一次昇圧回路5294にて昇圧させ、更に、後段の高周波昇圧回路5296にて昇圧してプローブ5298を通じてワーク10に高圧及び高周波の信号を印加するように構成している。この場合、高周波発振回路5292は、電子回路で構成されているため、図67のテスラコイル5274と比べて周波数が安定するという効果を奏する。   However, in this appearance inspection system 5000, as shown in FIG. 68, the lamp voltage 100V is supplied to the high frequency oscillation circuit 5292 through the noise filter 5290, and the signal output from the high frequency oscillation circuit 5292 is supplied to the primary booster circuit 5294. Further, the voltage is boosted by a high-frequency booster circuit 5296 at a subsequent stage, and high-voltage and high-frequency signals are applied to the workpiece 10 through the probe 5298. In this case, since the high-frequency oscillation circuit 5292 is composed of an electronic circuit, the frequency is stabilized as compared with the Tesla coil 5274 in FIG.

また、第1〜第3のビデオカメラ5276A〜5276Cのうち、発色光を検査するための第2のビデオカメラ(カラーCCDカメラ)5276Bは、ワーク10を真上から撮像できるように、撮像面を下方に向けて設置され、発光の放電経路を検査するための第1及び第3のビデオカメラ(共に白黒CCDカメラ)5276A及び5276Cは、各光軸が第2のビデオカメラ5276Bの光軸に対してそれぞれ45°の角度となるように設置されている。   Of the first to third video cameras 5276A to 5276C, the second video camera (color CCD camera) 5276B for inspecting the colored light has an imaging surface so that the workpiece 10 can be imaged from directly above. The first and third video cameras (both black and white CCD cameras) 5276A and 5276C, which are installed downward and inspect the discharge path of light emission, have optical axes relative to the optical axes of the second video camera 5276B. Are installed at an angle of 45 °.

この外観検査システム5000の制御系は、図69に示すように、各種機構の群から構成される機構部(ビデオカメラを含む)5300と、該機構部5300に含まれる各種機構を制御する制御装置5302と、前記機構部5300における各種ビデオカメラから送出される画像信号を受け取って外観検査のための画像処理を行って判定を行う画像処理装置5304を有して構成されている。   As shown in FIG. 69, the control system of the appearance inspection system 5000 includes a mechanism unit (including a video camera) 5300 composed of a group of various mechanisms, and a control device that controls the various mechanisms included in the mechanism unit 5300. 5302 and an image processing device 5304 that receives image signals sent from various video cameras in the mechanism unit 5300, performs image processing for appearance inspection, and makes a determination.

制御装置5302は、画像処理装置5304に検査指令を示す信号を出力し、機構部5300からのセンサ等の信号の入力や画像処理装置5304からの判定結果を示す信号の入力に基づいて、機構部5300に含まれる各種機構に対して動作等させるための制御信号を出力する。   The control device 5302 outputs a signal indicating an inspection command to the image processing device 5304, and based on the input of a signal such as a sensor from the mechanism unit 5300 or the input of a signal indicating the determination result from the image processing device 5304, the mechanism unit Control signals for operating various mechanisms included in 5300 are output.

この外観検査システム5000は、基本的には以上のように構成されるものであり、次に、前記外観検査システム5000の使用例について図70の工程ブロック図をも参照しながら説明する。   The appearance inspection system 5000 is basically configured as described above. Next, a usage example of the appearance inspection system 5000 will be described with reference to a process block diagram of FIG.

まず、図56に示すように、制御装置5302に接続されている制御卓(図示せず)の例えば検査開始スイッチ(図示せず)が操作されて外観検査の開始指示が制御装置5302に入力されると、制御装置5302は、供給側トレイチェンジャ機構5114に起動信号Saを出力する。供給側トレイチェンジャ機構5114は、前記起動信号Saの入力に基づいて、トレイ受入れ部5110に収納されている多数枚のトレイ3070(外観検査前のワーク10が多数収容されたトレイ)を1段ごとに分離して供給部5112に位置決めする(図70のステップS1)。   First, as shown in FIG. 56, for example, an inspection start switch (not shown) of a control console (not shown) connected to the control device 5302 is operated, and an appearance inspection start instruction is input to the control device 5302. Then, the control device 5302 outputs an activation signal Sa to the supply side tray changer mechanism 5114. Based on the input of the activation signal Sa, the supply-side tray changer mechanism 5114 receives a large number of trays 3070 (trays in which a number of workpieces 10 before appearance inspection are stored) stored in the tray receiving unit 5110 one by one. And is positioned on the supply unit 5112 (step S1 in FIG. 70).

供給部5112に設置されているセンサから位置決め完了信号が出力されて制御装置5302に入力されると、制御装置5302はワーク供給機構5118に起動信号Sbを出力する。ワーク供給機構5118は、前記起動信号Sbの入力に基づいて、前記供給部5112に位置決めされている1枚のトレイ3070から一度に複数本(例えば8本)のワーク10を取り出して供給側直線搬送機構5116に投入する(図70のステップS2)。   When a positioning completion signal is output from a sensor installed in the supply unit 5112 and input to the control device 5302, the control device 5302 outputs an activation signal Sb to the work supply mechanism 5118. Based on the input of the start signal Sb, the workpiece supply mechanism 5118 takes out a plurality of (for example, eight) workpieces 10 at a time from one tray 3070 positioned in the supply unit 5112 and supplies the supply side linear conveyance. The mechanism 5116 is loaded (step S2 in FIG. 70).

ワーク供給機構5118に設置されたセンサから投入完了信号が出力されて制御装置5302に入力されると、制御装置5302は供給側直線搬送機構5116に起動信号Scを出力する。供給側直線搬送機構5116は、前記起動信号Scの入力に基づいて、前記ワーク供給機構5118によって投入された複数本のワーク10をそれぞれ横方向に載置させた状態で一方向に順次搬送する(図70のステップS3)。即ち、複数本のワーク10は、順次回転搬送部5102に向かって搬送される。   When a loading completion signal is output from a sensor installed in the workpiece supply mechanism 5118 and is input to the control device 5302, the control device 5302 outputs an activation signal Sc to the supply-side linear transport mechanism 5116. Based on the input of the activation signal Sc, the supply-side linear conveyance mechanism 5116 sequentially conveys the plurality of workpieces 10 input by the workpiece supply mechanism 5118 in one direction in a state where the workpieces 10 are respectively placed in the horizontal direction ( Step S3 in FIG. That is, the plurality of workpieces 10 are sequentially conveyed toward the rotation conveyance unit 5102.

そして、例えば1本目のワーク10が供給側直線搬送機構5116の途中に設置されたテスラ検査ステーション5170に差し掛かった段階で、該ワーク10に対するテスラ検査が行われる(図70のステップS4)。   Then, for example, when the first workpiece 10 reaches the Tesla inspection station 5170 installed in the middle of the supply-side linear transport mechanism 5116, the Tesla inspection for the workpiece 10 is performed (step S4 in FIG. 70).

具体的には、該テスラ検査ステーション5170に設置されたセンサからワーク10の検出信号が出力され、制御装置5302に入力される。制御装置5302は、前記検出信号の入力に基づいて、供給側直線搬送機構5116に一時停止信号S1を出力すると同時に上下移動機構5272に起動信号Sdを出力する。供給側直線搬送機構5116は、前記一時停止信号S1の入力に基づいてワーク10の順次搬送を一時停止させる。   Specifically, a detection signal of the workpiece 10 is output from a sensor installed in the Tesla inspection station 5170 and input to the control device 5302. Based on the input of the detection signal, the controller 5302 outputs a temporary stop signal S1 to the supply-side linear transport mechanism 5116 and simultaneously outputs an activation signal Sd to the vertical movement mechanism 5272. The supply-side linear conveyance mechanism 5116 temporarily stops the sequential conveyance of the workpieces 10 based on the input of the temporary stop signal S1.

一方、上下移動機構5272は、前記起動信号Sdの入力に基づいてテスラ検査ステーション5170における所定の台5270(図66参照)を上方に移動させて該台5270に載置されているワーク10を規定のテスラ検査ポイントに位置決めさせる。テスラ検査ステーション5170に設置されたセンサからワーク10がテスラ検査ポイントに位置決めされたことを示す検出信号が出力されて制御装置5302に入力されると、制御装置5302はテスラコイル5274に電源電圧を供給する。   On the other hand, the vertical movement mechanism 5272 moves a predetermined table 5270 (see FIG. 66) in the Tesla inspection station 5170 upward based on the input of the activation signal Sd, thereby defining the workpiece 10 placed on the table 5270. Position at the Tesla inspection point. When a detection signal indicating that the workpiece 10 has been positioned at the Tesla inspection point is output from a sensor installed in the Tesla inspection station 5170 and is input to the control device 5302, the control device 5302 supplies a power supply voltage to the Tesla coil 5274. .

これによって、ワーク10に対するテスラ検査が行われ、ワーク10の放電経路が第1及び第3のビデオカメラ5276A及び5276Cにて撮像され、ワーク10の発光色が第2のビデオカメラ5276Bにて撮像される。これらの撮像信号Sv1〜Sv3は画像処理装置5304に入力される。画像処理装置5304は、入力された撮像信号Sv1〜Sv3を画像処理して、テスラ検査上、必要な色成分や放電経路のベクトル成分を抽出して規定の範囲と比較し、判定を行うという処理を行う。この判定結果SCは制御装置5302に入力される。   Thus, a Tesla inspection is performed on the workpiece 10, the discharge path of the workpiece 10 is imaged by the first and third video cameras 5276A and 5276C, and the emission color of the workpiece 10 is imaged by the second video camera 5276B. The These imaging signals Sv1 to Sv3 are input to the image processing device 5304. The image processing apparatus 5304 performs image processing on the input imaging signals Sv1 to Sv3, extracts necessary color components and vector components of the discharge path for Tesla inspection, compares them with a specified range, and performs determination. I do. This determination result SC is input to the control device 5302.

このとき、画像処理装置5304は、同時に前記撮像信号Sv1〜Sv3を映像信号に変換してモニタ(図示せず)に出力し、再生画像としてモニタに表示させるという処理を行う。   At this time, the image processing device 5304 performs a process of simultaneously converting the imaging signals Sv1 to Sv3 into video signals, outputting them to a monitor (not shown), and displaying them on the monitor as reproduced images.

制御装置5302は、画像処理装置5304から判定結果SCが入力された時点で、テスラコイル5274への電源電圧の供給を停止すると同時に、上下移動機構5272に復帰信号を出力する。上下移動機構5272は、前記復帰信号S2の入力に基づいて、前記台5270を下方に移動させて元の位置に復帰させる。   When the determination result SC is input from the image processing device 5304, the control device 5302 stops supplying the power supply voltage to the Tesla coil 5274 and simultaneously outputs a return signal to the vertical movement mechanism 5272. The vertical movement mechanism 5272 moves the table 5270 downward based on the input of the return signal S2 to return it to the original position.

テスラ検査ステーション5170に設置されたセンサから台5270が復帰されたことを示す検出信号が出力されて制御装置5302に入力されると、制御装置5302は、供給側直線搬送機構5116に搬送再開信号S2を出力する。供給側直線搬送機構5116は、前記搬送再開信号S2の入力に基づいてワーク10の順次搬送を再開させ、複数本のワーク10を回転搬送部5102の方向へ搬送する。2本目のワーク10が前記台5270に差し掛かると、再び上述と同様の処理が行われて2本目のワーク10に対するテスラ検査が行われる。   When a detection signal indicating that the table 5270 has been returned is output from the sensor installed in the Tesla inspection station 5170 and is input to the control device 5302, the control device 5302 sends a transport resumption signal S2 to the supply side linear transport mechanism 5116. Is output. The supply-side linear conveyance mechanism 5116 resumes sequential conveyance of the workpieces 10 based on the input of the conveyance resumption signal S <b> 2 and conveys a plurality of workpieces 10 in the direction of the rotary conveyance unit 5102. When the second workpiece 10 reaches the platform 5270, the same processing as described above is performed again, and a Tesla inspection for the second workpiece 10 is performed.

そして、例えば2本目のワーク10に対してテスラ検査が行われている間に、1本目のワーク10に対して回転搬送部5102への投入処理(図70のステップS5)あるいは別ステップへの排除処理(図70のステップS6)が行われる。即ち、制御装置5302は、入力された1本目のワーク10に対するテスラ検査の判定結果SCが「良」を示す場合、図57に示すように、ワーク投入機構5120に起動信号Seを出力し、前記判定結果SCが「不良」を示す場合は、第1の排除機構5190に起動信号Sfを出力する。   Then, for example, while the Tesla inspection is performed on the second workpiece 10, the first workpiece 10 is put into the rotary conveyance unit 5102 (step S 5 in FIG. 70) or excluded to another step. Processing (step S6 in FIG. 70) is performed. That is, when the determination result SC of the Tesla inspection for the input first workpiece 10 indicates “good”, the control device 5302 outputs a start signal Se to the workpiece input mechanism 5120 as shown in FIG. When the determination result SC indicates “defective”, the activation signal Sf is output to the first exclusion mechanism 5190.

第1の排除機構5190に前記起動信号Sfが入力された場合は、供給側直線搬送機構5116から1本目のワーク10を取り出し、この供給側直線搬送機構5116による搬送経路から前記1本目のワーク10を排除する。   When the activation signal Sf is input to the first removal mechanism 5190, the first workpiece 10 is taken out from the supply-side linear conveyance mechanism 5116, and the first workpiece 10 is extracted from the conveyance path by the supply-side linear conveyance mechanism 5116. Eliminate.

一方、ワーク投入機構5120に前記起動信号Seが入力された場合は、該ワーク投入機構5120は、前記制御装置5302からの前記起動信号Seの入力のほかに、ワーク保持ステーション5200に設置されたセンサからの検出信号(テーブル5160上に配置されたワーク保持部5164の1つが該ワーク保持ステーション5200に位置決めされたことを示す検出信号)が入力された時点で動作を開始し、前記1本目のワーク10を供給側直線搬送機構5116から取り出して前記ワーク保持ステーション5200に位置決めされているワーク保持部5164に投入する。   On the other hand, when the activation signal Se is input to the workpiece input mechanism 5120, the workpiece input mechanism 5120 receives a sensor installed in the workpiece holding station 5200 in addition to the input of the activation signal Se from the control device 5302. Operation is started when a detection signal (a detection signal indicating that one of the workpiece holding units 5164 arranged on the table 5160 is positioned at the workpiece holding station 5200) is input, and the first workpiece is 10 is taken out from the supply-side linear conveyance mechanism 5116 and loaded into the work holding unit 5164 positioned at the work holding station 5200.

前記センサからの検出信号は、制御装置5302にも入力され、制御装置5302は、該検出信号の入力に基づいてワーク保持ステーション5200の下部に設置されたエアシリンダ5260に駆動信号Sd1を出力する。前記エアシリンダ5260は、前記駆動信号Sd1の入力に基づいてピストンロッド5262(図60参照)を上方に移動駆動し、これによって、当該ワーク保持部5164の一対のチャック爪5250a及び5250bは開くこととなる。   The detection signal from the sensor is also input to the control device 5302, and the control device 5302 outputs the drive signal Sd1 to the air cylinder 5260 installed at the lower part of the work holding station 5200 based on the input of the detection signal. The air cylinder 5260 moves and drives the piston rod 5262 (see FIG. 60) upward based on the input of the drive signal Sd1, thereby opening the pair of chuck claws 5250a and 5250b of the work holding unit 5164. Become.

この状態で、ワーク投入機構5120によって1本目のワーク10が前記ワーク保持部5164に投入されて、開状態にある一対のチャック爪5250a及び5250b間に挿入される。この場合、陰極側リード22(図1参照)が上方に位置するように挿入される。陽極側リード18の先端が高さ基準板5258(図63参照)に当接した時点で例えば近接スイッチからオン信号が出力され、制御装置5302に入力される。   In this state, the first workpiece 10 is loaded into the workpiece holding unit 5164 by the workpiece loading mechanism 5120 and inserted between the pair of chuck claws 5250a and 5250b in the open state. In this case, the cathode-side lead 22 (see FIG. 1) is inserted so as to be positioned above. When the tip of the anode-side lead 18 comes into contact with the height reference plate 5258 (see FIG. 63), for example, an ON signal is output from the proximity switch and is input to the control device 5302.

制御装置5302は、前記オン信号の入力に基づいて前記エアシリンダ5260に復帰信号Sd2を出力する。エアシリンダ5260は、前記復帰信号Sd2の入力に基づいてピストンロッド5262を下方に移動させ、これにより、一対のチャック爪5250a及び5250bが閉方向に移動して、該一対のチャック爪5250a及び5250bによって前記ワーク10が保持されることになる。   The control device 5302 outputs a return signal Sd2 to the air cylinder 5260 based on the input of the ON signal. The air cylinder 5260 moves the piston rod 5262 downward based on the input of the return signal Sd2, thereby moving the pair of chuck claws 5250a and 5250b in the closing direction, and the pair of chuck claws 5250a and 5250b. The workpiece 10 is held.

このとき、図63に示すように、一対のチャック爪5250a及び5250bの上端5310より上の部分が検査対象となり、各外観検査ステーション5174A〜5174Dでの2つのビデオカメラ5204及び5206は、前記上端5310から上に出ている部分を撮像することになる。   At this time, as shown in FIG. 63, portions above the upper end 5310 of the pair of chuck claws 5250a and 5250b are to be inspected, and the two video cameras 5204 and 5206 at the respective appearance inspection stations 5174A to 5174D are connected to the upper end 5310. The part which is projected above from is picked up.

このようにして、1本目のワーク10がワーク保持ステーション5200に位置決めされているワーク保持部5164に保持されると、制御装置5302は、回転搬送部5102における回転駆動機構5162に駆動信号Sgを出力する。回転駆動機構5162は、前記駆動信号Sgの入力に基づいてテーブル5160を所定角度回転させる。   In this way, when the first workpiece 10 is held by the workpiece holding unit 5164 positioned at the workpiece holding station 5200, the control device 5302 outputs a drive signal Sg to the rotation drive mechanism 5162 in the rotation conveyance unit 5102. To do. The rotation drive mechanism 5162 rotates the table 5160 by a predetermined angle based on the input of the drive signal Sg.

この回転によって、1本目のワーク10を保持したワーク保持部5164の次のワーク保持部5164が前記ワーク保持ステーション5200に位置決めされることになり、前記次のワーク保持部5164に前記テスラ検査にて「良」判定を受けたワーク10(2本目のワーク10とは限らない)が保持されることになる。   By this rotation, the workpiece holding portion 5164 next to the workpiece holding portion 5164 holding the first workpiece 10 is positioned at the workpiece holding station 5200, and the next workpiece holding portion 5164 is subjected to the Tesla inspection. The workpiece 10 (not necessarily the second workpiece 10) that has received the “good” determination is held.

前記一連の動作が繰り返されることによって、テスラ検査で「良」判定を受けたワーク10がそれぞれ個別のワーク保持部5164に保持されていくこととなる。複数本(例えば8本)のワーク10が処理されると、供給部5112に位置決めされているトレイ3070から再び複数本のワーク10がワーク供給機構5118を通じて供給側直線搬送機構5116に投入され、前記動作が繰り返し行われる。   By repeating the above-described series of operations, the workpieces 10 that have been determined to be “good” in the Tesla inspection are held by the individual workpiece holding portions 5164, respectively. When a plurality of (e.g., eight) workpieces 10 are processed, a plurality of workpieces 10 are again input from the tray 3070 positioned in the supply unit 5112 to the supply-side linear transport mechanism 5116 through the workpiece supply mechanism 5118, The operation is repeated.

そして、図56に示すように、供給部5112に位置決めされているトレイ3070に収容されていたワーク10がすべて処理されると、制御装置5302は、トレイ搬送機構5136に起動信号Shを出力する。トレイ搬送機構5136は、前記起動信号Shの入力に基づいて、前記供給部5112に位置決めされている空のトレイ3070を図58に示す集積部5134側に搬送してトレイバッファ部5138に位置決めさせる(図70のステップS7)。   As shown in FIG. 56, when all the workpieces 10 accommodated in the tray 3070 positioned in the supply unit 5112 are processed, the control device 5302 outputs an activation signal Sh to the tray transport mechanism 5136. Based on the input of the activation signal Sh, the tray transport mechanism 5136 transports the empty tray 3070 positioned in the supply unit 5112 to the stacking unit 5134 shown in FIG. 58 and positions it in the tray buffer unit 5138 ( Step S7 in FIG.

制御装置5302は、前記トレイ搬送機構5136への起動信号Shの出力と同時に、供給側トレイチェンジャ機構5114に起動信号Saを出力する。これによって、前記空のトレイ3070のトレイバッファ部5138への搬送処理と同時に、トレイ受入れ部5110に収納されているトレイ群から1つのトレイ3070が取り出されて供給部5112に運ばれる(図70のステップS1)。そして、この供給部5112に位置決めされたトレイ3070に収容されているワーク10に対して上述した処理が行われることになる。   The control device 5302 outputs an activation signal Sa to the supply side tray changer mechanism 5114 simultaneously with the output of the activation signal Sh to the tray transport mechanism 5136. Thus, simultaneously with the process of transporting the empty tray 3070 to the tray buffer unit 5138, one tray 3070 is taken out from the tray group stored in the tray receiving unit 5110 and is transported to the supply unit 5112 (FIG. 70). Step S1). Then, the above-described processing is performed on the workpiece 10 accommodated in the tray 3070 positioned in the supply unit 5112.

一方、図59に示すように、ワーク保持ステーション5200にてワーク保持部5164に保持されたワーク10は、テーブル5160の一方向への間欠的な回転に伴って第1の外観検査ステーション5174Aに搬送されて第1の外観検査処理が行われる(図70のステップS8)。   On the other hand, as shown in FIG. 59, the workpiece 10 held by the workpiece holder 5164 at the workpiece holding station 5200 is conveyed to the first appearance inspection station 5174A along with the intermittent rotation of the table 5160 in one direction. Then, the first appearance inspection process is performed (step S8 in FIG. 70).

第1の外観検査ステーション5174Aにワーク10が搬送された時点で、該第1の外観検査ステーション5174Aに設置されたセンサから検出信号が出力され、制御装置5302に入力される。制御装置5302は、前記検出信号の入力に基づいて、第1の外観検査ステーション5174Aに設置された2つのビデオカメラ5204及び5206を駆動して陰極14及びその周辺部分(ガラス管12及び陰極側リード22)を撮像する。   When the workpiece 10 is conveyed to the first appearance inspection station 5174A, a detection signal is output from a sensor installed in the first appearance inspection station 5174A and input to the control device 5302. Based on the input of the detection signal, the control device 5302 drives the two video cameras 5204 and 5206 installed in the first appearance inspection station 5174A to drive the cathode 14 and its peripheral parts (the glass tube 12 and the cathode side lead). 22).

この撮像信号Sv11及びSv12は画像処理装置5304に入力される。画像処理装置5304は、入力された撮像信号Sv11及びSv12を画像処理して、第1の外観検査ステーション5174Aにて検査すべき項目に必要な輝度成分や色成分を抽出して規定の範囲と比較し、良否を判定するという処理を行う。この判定結果SC1は制御装置5302に入力される。   The imaging signals Sv11 and Sv12 are input to the image processing device 5304. The image processing device 5304 performs image processing on the input image pickup signals Sv11 and Sv12, extracts luminance components and color components necessary for items to be inspected in the first appearance inspection station 5174A, and compares them with a specified range. Then, a process of determining pass / fail is performed. The determination result SC1 is input to the control device 5302.

前記第1の外観検査ステーション5174Aでの第1の外観検査処理を終えたワーク10は、テーブル5160の回転に伴って次の第2の外観検査ステーション5174Bに搬送され、該第2の外観検査ステーション5174Bにおいて、前記第1の外観検査ステーション5174Aでの検査と同様の第2の外観検査処理が行われる(図70のステップS9)。   The workpiece 10 that has finished the first appearance inspection process at the first appearance inspection station 5174A is transferred to the second appearance inspection station 5174B as the table 5160 rotates, and the second appearance inspection station 5174B. In 5174B, a second appearance inspection process similar to the inspection in the first appearance inspection station 5174A is performed (step S9 in FIG. 70).

即ち、画像処理装置5304は、2つのビデオカメラ5204及び5206からの撮像信号Sv21及びSv22を画像処理して、第2の外観検査ステーション5174Bにて検査すべき項目に必要な輝度成分や色成分を抽出して規定の範囲と比較し、良否を判定するという処理を行う。この判定結果SC2は制御装置5302に入力される。   That is, the image processing device 5304 performs image processing on the imaging signals Sv21 and Sv22 from the two video cameras 5204 and 5206, and obtains luminance components and color components necessary for items to be inspected in the second appearance inspection station 5174B. A process of extracting and comparing with a specified range and determining pass / fail is performed. The determination result SC2 is input to the control device 5302.

該第2の外観検査ステーション5174Bでの第2の外観検査処理を終えたワーク10は、テーブル5160の回転に伴って次の旋回ステーション5176に搬送されてほぼ180°の回転(旋回)処理が行われる(図70のステップS10)。   The workpiece 10 that has finished the second appearance inspection process at the second appearance inspection station 5174B is transported to the next turning station 5176 as the table 5160 rotates, and is rotated (turned) by about 180 °. (Step S10 in FIG. 70).

ワーク保持部5164がこの旋回ステーション5176に搬送されて位置決めされると、まず、制御装置5302は、旋回機構5192に把持指令信号Siを出力する。旋回機構5192は、前記把持指令信号Siの入力に基づいて、ワーク保持部5164に保持されているワーク10を把持する。その後、制御装置5302は、前記ワーク保持ステーション5200の場合と同様にエアシリンダ5260(図66参照)を駆動して一旦ワーク保持部5164によるワーク保持を解除する。その後、制御装置5302は、旋回機構5192に旋回指令信号Sjを出力する。   When the work holding unit 5164 is conveyed to the turning station 5176 and positioned, the control device 5302 first outputs a grip command signal Si to the turning mechanism 5192. The turning mechanism 5192 grips the workpiece 10 held by the workpiece holder 5164 based on the input of the grip command signal Si. Thereafter, the control device 5302 drives the air cylinder 5260 (see FIG. 66) similarly to the case of the work holding station 5200, and once releases the work held by the work holding unit 5164. Thereafter, the control device 5302 outputs a turning command signal Sj to the turning mechanism 5192.

旋回機構5192は、前記旋回指令信号Sjの入力に基づいて、把持状態にあるワーク10をその軸を中心にほぼ180°回転させ、回転完了信号の入力に基づいて、エアシリンダ5260を復帰させてワーク10を再び一対のチャック爪5250a及び5250bで保持させると共に、ワーク10に対する把持を解除する。前記旋回機構5192でのワーク10に対する旋回角度は、この外観検査システム5000では、180°±(45°/2)としている。   Based on the input of the turning command signal Sj, the turning mechanism 5192 rotates the workpiece 10 in the gripping state about 180 ° around the axis, and returns the air cylinder 5260 based on the input of the rotation completion signal. The workpiece 10 is again held by the pair of chuck claws 5250a and 5250b, and the gripping of the workpiece 10 is released. In this appearance inspection system 5000, the turning angle of the turning mechanism 5192 with respect to the workpiece 10 is 180 ° ± (45 ° / 2).

前記旋回ステーション5176でのほぼ180°回転(旋回)処理を終えたワーク10は、テーブル5160の回転に伴って次の第3の外観検査ステーション5174Cに搬送され、該第3の外観検査ステーション5174Cにおいて、前記第1の外観検査ステーション5174Aでの検査と同様の第3の外観検査処理が行われる(図70のステップS11)。   The workpiece 10 that has been subjected to the rotation (turning) process of approximately 180 ° at the turning station 5176 is transported to the next third appearance inspection station 5174C as the table 5160 rotates, and at the third appearance inspection station 5174C. A third appearance inspection process similar to the inspection at the first appearance inspection station 5174A is performed (step S11 in FIG. 70).

即ち、画像処理装置5304は、2つのビデオカメラ5204及び5206からの撮像信号Sv31及びSv32を画像処理して、第3の外観検査ステーション5174Cにて検査すべき項目に必要な輝度成分や色成分を抽出して規定の範囲と比較し、良否を判定するという処理を行う。この判定結果SC3は制御装置5302に入力される。   That is, the image processing device 5304 performs image processing on the imaging signals Sv31 and Sv32 from the two video cameras 5204 and 5206, and obtains luminance components and color components necessary for items to be inspected in the third appearance inspection station 5174C. A process of extracting and comparing with a specified range and determining pass / fail is performed. The determination result SC3 is input to the control device 5302.

この第3の外観検査ステーション5174Cでの検査処理は、例えば図65Aに示すように、最初に、ワーク10のうち、2つのビデオカメラ5204及び5206に対向する面の90°範囲を撮像し、次に、2つのビデオカメラ5204及び5206の各焦点距離を調整して、ワーク10のうち、前記90°範囲の点対称となる範囲を撮像する場合において、該点対称の範囲の一部がワーク10のガラス管12内に封入された陰極14の陰に隠れて撮像できないおそれがあり、これを解決するために行われる。   In the inspection process at the third appearance inspection station 5174C, for example, as shown in FIG. 65A, first, the 90 ° range of the surface of the workpiece 10 facing the two video cameras 5204 and 5206 is imaged, and then In addition, when the focal lengths of the two video cameras 5204 and 5206 are adjusted to capture a point-symmetrical range of the 90 ° range of the workpiece 10, a part of the point-symmetrical range is the workpiece 10. In order to solve this, there is a possibility that the image cannot be captured behind the cathode 14 sealed in the glass tube 12.

前記旋回ステーション5176において、ワーク10を180°±(45°/2)ほど旋回させることから、例えば、第3の外観検査ステーション5174Cでの外観検査項目のうち、陰極14の外観検査においては、旋回前における陰極14の検査ポイントの点対称の位置のほか、両側に張り出す部分(リング状の陰極14に基づく)の外観も同時に検査することができ、陰極14の全周の外観を検査することができる。   In the swivel station 5176, the work 10 is swung by 180 ° ± (45 ° / 2). Therefore, for example, among the appearance inspection items in the third appearance inspection station 5174C, the swirl is performed in the appearance inspection of the cathode 14. In addition to the point-symmetrical position of the inspection point of the cathode 14 in the front, the appearance of the portion protruding from both sides (based on the ring-shaped cathode 14) can be inspected at the same time, and the appearance of the entire circumference of the cathode 14 is inspected Can do.

第3の外観検査ステーション5174Cでの第3の外観検査処理を終えたワーク10は、テーブル5160の回転に伴って次の反転ステーション5178に搬送されて180°の反転処理が行われる(図70のステップS12)。   The workpiece 10 that has completed the third appearance inspection process at the third appearance inspection station 5174C is conveyed to the next reversing station 5178 as the table 5160 rotates, and is subjected to 180 ° reversing processing (FIG. 70). Step S12).

ワーク保持部5164がこの反転ステーション5178に搬送されて位置決めされると、まず、制御装置5302は、反転機構5194に把持指令信号Skを出力する。反転機構5194は、前記把持指令信号Skの入力に基づいて、ワーク保持部5164に保持されているワーク10を把持する。その後、制御装置5302は、前記ワーク保持ステーション5200の場合と同様にエアシリンダ5260を駆動して一旦ワーク保持部5164によるワーク保持を解除する。   When the work holding unit 5164 is conveyed to the reversing station 5178 and positioned, the control device 5302 first outputs a grip command signal Sk to the reversing mechanism 5194. The reversing mechanism 5194 grips the workpiece 10 held by the workpiece holder 5164 based on the input of the grip command signal Sk. Thereafter, the control device 5302 drives the air cylinder 5260 similarly to the case of the work holding station 5200 to once release the work holding by the work holding unit 5164.

その後、制御装置5302は、反転機構5194に反転指令信号Slを出力する。反転機構5194は、前記反転指令信号Slの入力に基づいて、把持状態にあるワーク10をその軸と直交する軸を中心に180°回転させ、続いて、ワーク10を開状態にあるワーク保持部5164の一対のチャック爪5250a及び5250b間に挿入する。このとき、ワーク10は陰極側リード22を下方に向けて一対のチャック爪5250a及び5250b間に挿入される。   Thereafter, the control device 5302 outputs a reversal command signal S1 to the reversing mechanism 5194. Based on the input of the reversal command signal Sl, the reversing mechanism 5194 rotates the workpiece 10 in the gripping state by 180 ° around an axis orthogonal to the axis, and then the workpiece holding unit in the open state. 5164 is inserted between a pair of chuck claws 5250a and 5250b. At this time, the workpiece 10 is inserted between the pair of chuck claws 5250a and 5250b with the cathode side lead 22 facing downward.

制御装置5302は、ワーク保持部5164の高さ基準板5258にワーク10の陰極側リード22が当接したことを示す近接スイッチからのオン信号の入力に基づいて、エアシリンダ5260を復帰させてワーク10を再び一対のチャック爪5250a及び5250bで保持させる。   The control device 5302 returns the air cylinder 5260 based on the input of an ON signal from the proximity switch indicating that the cathode-side lead 22 of the work 10 is in contact with the height reference plate 5258 of the work holding unit 5164, and returns the work to the work cylinder 5260. 10 is again held by the pair of chuck claws 5250a and 5250b.

前記反転ステーション5178での180°の反転処理を終えたワーク10は、テーブル5160の回転に伴って次の第4の外観検査ステーション5174Dに搬送され、該第4の外観検査ステーション5174Dにおいて、前記第1の外観検査ステーション5174Aでの検査と同様の第4の外観検査処理が行われる(図70のステップS13)。   The workpiece 10 that has been subjected to the 180 ° reversal process at the reversing station 5178 is transported to the next fourth appearance inspection station 5174D as the table 5160 rotates, and the fourth appearance inspection station 5174D receives the first work. A fourth appearance inspection process similar to the inspection at the first appearance inspection station 5174A is performed (step S13 in FIG. 70).

即ち、画像処理装置5304は、2つのビデオカメラ5204及び5206からの撮像信号Sv41及びSv42を画像処理して、第4の外観検査ステーション5174Dにて検査すべき項目に必要な輝度成分や色成分を抽出して規定の範囲と比較し、良否を判定するという処理を行う。この判定結果SC4は制御装置5302に入力される。   That is, the image processing device 5304 performs image processing on the imaging signals Sv41 and Sv42 from the two video cameras 5204 and 5206, and obtains luminance components and color components necessary for items to be inspected in the fourth appearance inspection station 5174D. A process of extracting and comparing with a specified range and determining pass / fail is performed. The determination result SC4 is input to the control device 5302.

第4の外観検査ステーション5174Dでの第4の外観検査処理を終えたワーク10は、テーブル5160の回転に伴って次の第2の排除ステーション5180に搬送される。制御装置5302は、第1〜第4の外観検査ステーション5174A〜5174Dでの外観検査の結果(第1〜第4の判定結果SC1〜SC4)から当該ワーク10の良否を判別し、「良」として認定した場合には前記第2の排除ステーション5180に正常信号Smを出力する。   The workpiece 10 that has finished the fourth appearance inspection process at the fourth appearance inspection station 5174D is transported to the next second exclusion station 5180 as the table 5160 rotates. The control device 5302 determines pass / fail of the workpiece 10 from the results (first to fourth determination results SC1 to SC4) of the appearance inspections at the first to fourth appearance inspection stations 5174A to 5174D. If it is recognized, a normal signal Sm is output to the second exclusion station 5180.

一方、「不良」として認定した場合には、第1〜第4の判定結果SC1〜SC4から不良の種類を割り出し、前記第2の排除ステーション5180に対して不良信号Snとその不良の種類を示すコードデータDcを出力する。このとき、制御装置5302は、第2の排除ステーション5180の下方に設置されたエアシリンダ5260に駆動信号を出力して、ワーク保持部5164によるワーク保持を解除する。   On the other hand, when it is recognized as “defective”, the type of defect is determined from the first to fourth determination results SC1 to SC4, and the defect signal Sn and the type of defect are indicated to the second exclusion station 5180. Code data Dc is output. At this time, the control device 5302 outputs a drive signal to the air cylinder 5260 installed below the second exclusion station 5180 to release the work holding by the work holding unit 5164.

第2の排除ステーション5180は、制御装置5302から不良信号Snが入力された場合、第2の排除機構5198を動作させてワーク10を排除する(図70のステップS14)。第2の排除機構5198は、ワーク保持部5164からワーク10を取り出し、制御装置5302から入力されたコードデータDcが示す不良の種類に対応する回収箱5196A〜5196Dに搬送して収容させる。この実施の形態では、外観検査ステーション5174A〜5174Dと回収箱5196A〜5196Dが1対1に対応しているが、回収箱の数より検査ステーションの数が多くても構わない。この場合は不良の性質に応じ回収箱への振分けを制御すればよい。   When the defect signal Sn is input from the control device 5302, the second rejection station 5180 operates the second rejection mechanism 5198 to exclude the workpiece 10 (step S14 in FIG. 70). The second exclusion mechanism 5198 takes out the workpiece 10 from the workpiece holder 5164, and conveys and stores it in the collection boxes 5196A to 5196D corresponding to the type of failure indicated by the code data Dc input from the control device 5302. In this embodiment, the appearance inspection stations 5174A to 5174D and the collection boxes 5196A to 5196D have a one-to-one correspondence, but the number of inspection stations may be larger than the number of collection boxes. In this case, distribution to the collection box may be controlled according to the nature of the failure.

反対に、制御装置5302から正常信号Smが入力された場合、前記第2の排除ステーション5180は、搬送されたワーク10をワーク保持部5164から取り出して、集積側直線搬送機構5130に投入する(図70のステップS15)。   On the other hand, when the normal signal Sm is input from the control device 5302, the second exclusion station 5180 takes out the transferred workpiece 10 from the workpiece holder 5164 and puts it into the accumulation-side linear transfer mechanism 5130 (see FIG. 70 step S15).

即ち、「良」として認定されたワーク10は、図58に示すように、ワーク保持部5164にて保持された状態でテーブル5160の回転に伴って次のワーク取出しステーション5202に搬送される。ワーク保持部5164がこのワーク取出しステーション5202に搬送されて位置決めされると、制御装置5302は、ワーク取出し機構5132に起動信号Soを出力する。   That is, as shown in FIG. 58, the workpiece 10 that is recognized as “good” is conveyed to the next workpiece removal station 5202 as the table 5160 rotates while being held by the workpiece holder 5164. When the work holding unit 5164 is conveyed to the work take-out station 5202 and positioned, the control device 5302 outputs an activation signal So to the work take-out mechanism 5132.

ワーク取出し機構5132は、前記起動信号Soの入力に基づいて、まず、前記ワーク保持部5164にて保持されているワーク10を把持し、制御装置5302を通じてワーク取出しステーション5202の下方に設置されたエアシリンダ5260が駆動されてワーク保持部5164によるワーク保持が解除された段階で、ワーク10をワーク保持部5164から取り出して、集積側直線搬送機構5130に投入する。   Based on the input of the activation signal So, the workpiece removal mechanism 5132 first grips the workpiece 10 held by the workpiece holder 5164, and is installed in the air below the workpiece removal station 5202 through the controller 5302. At the stage where the cylinder 5260 is driven and the workpiece holding by the workpiece holding unit 5164 is released, the workpiece 10 is taken out from the workpiece holding unit 5164 and put into the accumulation-side linear transport mechanism 5130.

ワーク取出し機構5132に設置されたセンサから投入完了信号が出力されて制御装置5302に入力されると、制御装置5302は集積側直線搬送機構5130に起動信号Spを出力する。集積側直線搬送機構5130は、前記起動信号Spの入力に基づいて、前記ワーク取出し機構5132によって投入された1本のワーク10を横向きに載置させた状態で集積部5134の方向に1ピッチ分搬送する。   When a loading completion signal is output from a sensor installed in the workpiece removal mechanism 5132 and is input to the control device 5302, the control device 5302 outputs a start signal Sp to the accumulation-side linear transport mechanism 5130. On the basis of the input of the activation signal Sp, the stacking-side linear transport mechanism 5130 has a pitch of one pitch in the direction of the stacking unit 5134 in a state where the single workpiece 10 input by the workpiece take-out mechanism 5132 is placed sideways. Transport.

そして、上述した一連の動作が順次繰り返されることによって、「良」として認定されたワーク10のみが集積側直線搬送機構5130に順次投入されることになる。   Then, by repeating the above-described series of operations sequentially, only the workpieces 10 that are recognized as “good” are sequentially put into the accumulation-side linear transport mechanism 5130.

この集積側直線搬送機構5130の下流側の部分に複数本(例えば8本)のワーク10が搬送された段階で、制御装置5302はワーク集積機構5142に起動信号Sqを出力する。ワーク集積機構5142は、前記起動信号Sqの入力に基づいて、集積側直線搬送機構5130の下流側の部分に搬送された前記複数本のワーク10を一度に取り出して、集積部5134に位置決めされているトレイ3070の空いた箇所に搬送し、収容する(図70のステップS16)。   At the stage where a plurality of (for example, eight) workpieces 10 are conveyed to the downstream portion of the accumulation-side linear conveyance mechanism 5130, the control device 5302 outputs an activation signal Sq to the workpiece accumulation mechanism 5142. Based on the input of the activation signal Sq, the workpiece stacking mechanism 5142 takes out the plurality of workpieces 10 transported to the downstream portion of the stacking-side linear transport mechanism 5130 and positions them on the stacking unit 5134. The tray 3070 is transported to and accommodated in an empty location (step S16 in FIG. 70).

複数本のワーク10をトレイ3070に収容した後、再び前記下流側の部分に複数本のワーク10が搬送されてくると、前記ワーク集積機構5142を通じてその複数本のワーク10がトレイ3070の空いた箇所に搬送、収容される。   After the plurality of workpieces 10 are accommodated in the tray 3070, when the plurality of workpieces 10 are conveyed again to the downstream portion, the plurality of workpieces 10 are vacated in the tray 3070 through the workpiece stacking mechanism 5142. It is transported and housed in a place.

前記集積部5134に位置決めされているトレイ3070がワーク10で満杯になった段階で、制御装置5302は、集積側トレイチェンジャ機構5146に起動信号Srを出力する。集積側トレイチェンジャ機構5146は、前記起動信号Srの入力に基づいて、集積部5134から満杯のトレイ3070をトレイ排出部5144に搬送し、他のトレイ群と共に段積み状態で収容する(図70のステップS17)。   When the tray 3070 positioned in the stacking unit 5134 is filled with the workpiece 10, the control device 5302 outputs an activation signal Sr to the stacking-side tray changer mechanism 5146. Based on the input of the activation signal Sr, the stacking-side tray changer mechanism 5146 transports the full tray 3070 from the stacking unit 5134 to the tray discharge unit 5144 and stores it in a stacked state together with other tray groups (FIG. 70). Step S17).

その後、制御装置5302はトレイ取出し機構5140に起動信号Ssを出力する。トレイ取出し機構5140は、前記起動信号Ssの入力に基づいて、現在トレイバッファ部5138に位置決めされている控えのトレイ3070を集積部5134に搬送して該集積部5134に位置決めさせるという処理を行う(図70のステップS18)。   Thereafter, the control device 5302 outputs an activation signal Ss to the tray take-out mechanism 5140. Based on the input of the activation signal Ss, the tray take-out mechanism 5140 performs a process of transporting the reserved tray 3070 currently positioned in the tray buffer unit 5138 to the stacking unit 5134 and positioning it in the stacking unit 5134 ( Step S18 in FIG. 70).

そして、トレイ排出部5144に収容されているトレイ群が予め決められた段数ほど積まれた段階で、制御装置5302は、トレイ排出機構5148に起動信号Stを出力する。トレイ排出機構5148は、前記起動信号Stの入力に基づいて、複数枚のトレイ3070を段積み状態で前記トレイ排出部5144から取り出し、次の工程に搬送する(図70のステップS19)。   Then, when the tray group accommodated in the tray discharge unit 5144 is stacked by a predetermined number of stages, the control device 5302 outputs an activation signal St to the tray discharge mechanism 5148. Based on the input of the activation signal St, the tray discharge mechanism 5148 takes out a plurality of trays 3070 from the tray discharge unit 5144 in a stacked state and conveys them to the next process (step S19 in FIG. 70).

前記外観検査システム5000においては、キセノン放電管10の製造工程の全自動化、特に、完成前のキセノン放電管(ワーク)10の外観を検査する一連の工程の自動化を実現することができ、キセノン放電管10の生産効率の改善を達成させることができる。   In the appearance inspection system 5000, it is possible to realize the full automation of the manufacturing process of the xenon discharge tube 10, in particular, the automation of a series of steps for inspecting the appearance of the xenon discharge tube (work) 10 before completion. An improvement in the production efficiency of the tube 10 can be achieved.

このように、本実施の形態に係る製造方法においては、前記陽極側封止用治具40が、多数の陽極側リード18(ワーク)をまとめて次のガラス管挿入工程S13に搬送するための搬送部材として、また、多数の一次封止品72(ワーク)をまとめて次の組付け工程S3に搬送するための搬送部材として機能すると共に、多数の陽極側リード18にそれぞれ対応するガラス管12の一端部12aを融着させるための支持部材としても機能することになる。   Thus, in the manufacturing method according to the present embodiment, the anode-side sealing jig 40 collects a large number of anode-side leads 18 (workpieces) and transports them to the next glass tube insertion step S13. The glass tube 12 functions as a conveying member and also as a conveying member for collectively conveying a large number of primary sealed products 72 (workpieces) to the next assembling step S3 and corresponding to the large number of anode-side leads 18 respectively. It also functions as a support member for fusing the one end portion 12a of the.

同様に、前記陰極側封止用治具42が、多数のカソード体74(ワーク)をまとめて組付け工程S3における二次封止工程S32に搬送するための搬送部材として機能すると共に、多数のカソード体74にそれぞれ対応するガラス管12の他端部12bを融着させるための支持部材としても機能することになる。   Similarly, the cathode side sealing jig 42 functions as a conveying member for collectively conveying a large number of cathode bodies 74 (workpieces) to the secondary sealing step S32 in the assembling step S3. It also functions as a support member for fusing the other end portion 12b of the glass tube 12 corresponding to each of the cathode bodies 74.

即ち、陽極側組立工程S1におけるワーク(多数の陽極側リード18及び多数の一次封止品72)の搬送をすべて陽極側封止用治具40で行うことができ、陰極側組立工程S2におけるワーク(多数の陰極側リード22及び多数のカソード体74)の搬送をすべて陰極側封止用治具42で行うことができることから、キセノン放電管10の製造工程における各工程のワークの受け渡しが治具(陽極側封止用治具40及び陰極側封止用治具42)の移動だけで済み、オペレータの作業を簡素化させることができる。   That is, the workpieces in the anode-side assembly step S1 (a large number of anode-side leads 18 and a large number of primary sealed products 72) can all be transported by the anode-side sealing jig 40, and the workpiece in the cathode-side assembly step S2. Since all of the (a large number of cathode-side leads 22 and a large number of cathode bodies 74) can be transported by the cathode-side sealing jig 42, the transfer of workpieces in each process in the manufacturing process of the xenon discharge tube 10 is a jig. It is only necessary to move the (anode side sealing jig 40 and the cathode side sealing jig 42), and the operator's work can be simplified.

また、前記陽極側封止用治具40及び陰極側封止用治具42を通電加熱してガラス管12と各種リード18及び22との融着を行うようにしているため、一次封止及び二次封止について共用できる設備を構築することができ、製造設備の製作効率や稼働効率を高めることができる。   In addition, since the anode side sealing jig 40 and the cathode side sealing jig 42 are energized and heated to fuse the glass tube 12 and the various leads 18 and 22, primary sealing and Equipment that can be shared for secondary sealing can be constructed, and the production efficiency and operating efficiency of the production equipment can be increased.

その結果、本実施の形態に係るキセノン放電管の製造方法においては、各種ワークの搬送作業並びにガラス融着作業を治具を通じて一貫して行うことができるため、製造ラインの全自動化を実現させることができ、キセノン放電管10の生産効率の改善を達成させることができる。   As a result, in the method of manufacturing a xenon discharge tube according to the present embodiment, it is possible to consistently perform various workpiece transfer operations and glass fusion operations through a jig, thereby realizing full automation of the manufacturing line. The production efficiency of the xenon discharge tube 10 can be improved.

また、本実施の形態に係る製造方法においては、前記陽極側振込み工程S11の後に、前記陽極側リード18にガラスビーズ70を挿通して該ガラスビーズ70を電極棒20に融着するようにしたため、その後の一次封止工程S14において、陽極側リード18にガラス管12の一端部12aを融着させる際に、ガラスビーズ70が介在することとなり、その結果、陽極側リード18へのガラス管12の一端部12aの融着が迅速に、かつ確実に行われることになる。   Further, in the manufacturing method according to the present embodiment, the glass beads 70 are inserted into the anode lead 18 and fused to the electrode rod 20 after the anode transfer step S11. In the subsequent primary sealing step S <b> 14, when the one end 12 a of the glass tube 12 is fused to the anode side lead 18, the glass beads 70 are interposed, and as a result, the glass tube 12 to the anode side lead 18. The one end portion 12a is fused quickly and reliably.

また、前記陰極側振込み工程S21において、陰極側リード22に陰極14をかしめ固定する前に、前記陰極側リード22にガラスビーズ70を取り付けるようにしたので、その後の二次封止工程S32において、陰極側リード22にガラス管12の他端部12bを融着させる際に、ガラスビーズ70が介在することとなり、その結果、陰極側リード22へのガラス管12の他端部12bの融着が迅速に、かつ確実に行われることになる。   Further, since the glass beads 70 are attached to the cathode side lead 22 before the cathode 14 is caulked and fixed to the cathode side lead 22 in the cathode side transfer step S21, in the subsequent secondary sealing step S32, When the other end portion 12 b of the glass tube 12 is fused to the cathode side lead 22, the glass beads 70 are interposed. As a result, the other end portion 12 b of the glass tube 12 is fused to the cathode side lead 22. It will be done quickly and reliably.

また、本実施の形態に係る製造方法においては、前記陽極側リード18にガラスビーズ70を挿入した後にガラスビーズ70を電極棒20に熱融着して、ガラスビーズ70を陽極側リード18に仮止めするようにしたので、ガラスビーズ70の不測の落下やガラスビーズ70が陽極側リード18から外れるということが有効に防止され、ガラスビーズ70を用いたキセノン放電管10の信頼性の向上を図ることができる。   In the manufacturing method according to the present embodiment, the glass beads 70 are thermally fused to the electrode rods 20 after the glass beads 70 are inserted into the anode leads 18, and the glass beads 70 are temporarily attached to the anode leads 18. Since the glass beads 70 are stopped, it is effectively prevented that the glass beads 70 are accidentally dropped and the glass beads 70 are detached from the anode-side lead 18, and the reliability of the xenon discharge tube 10 using the glass beads 70 is improved. be able to.

また、本実施の形態に係る製造方法においては、二次封止工程S32の初段において、クリーン化処理を行うようにしているため、完成されたキセノン放電管10は、ガラス管12内に不要な不純物がほとんどないものとなり、高輝度で、かつ、高品質のキセノン放電管10を得ることができる。また、負圧雰囲気下で陰極側封止用治具42を通電加熱するようにしているため、陰極側封止用治具42からの熱発散分布が、陰極側封止用治具42にセットされた多数の一次封止品72に関してほぼ均一となり、ガラス融着に関する放電管単位のばらつきを小さくすることができ、キセノン放電管10の歩留まりの向上を効率よく実現させることができる。   In the manufacturing method according to the present embodiment, since the cleaning process is performed in the first stage of the secondary sealing step S32, the completed xenon discharge tube 10 is not required in the glass tube 12. The xenon discharge tube 10 having almost no impurities and having high brightness and high quality can be obtained. In addition, since the cathode side sealing jig 42 is energized and heated in a negative pressure atmosphere, the heat dissipation distribution from the cathode side sealing jig 42 is set in the cathode side sealing jig 42. It becomes almost uniform with respect to a large number of the primary sealed products 72, the variation of the discharge tube unit regarding the glass fusion can be reduced, and the improvement of the yield of the xenon discharge tube 10 can be efficiently realized.

また、次の冷却工程S303では、負圧雰囲気下にてキセノン放電管10を冷却するようにしているため、多数のキセノン放電管10に対する冷却度合いのばらつきもほとんどなくなり、局部的な過冷却や未冷却状態を有効に防止できる。これは、キセノン放電管10の高品質化、高信頼性化につながる。   In the next cooling step S303, since the xenon discharge tube 10 is cooled in a negative pressure atmosphere, there is almost no variation in the degree of cooling for a large number of xenon discharge tubes 10, and local overcooling or uncooled The cooling state can be effectively prevented. This leads to higher quality and higher reliability of the xenon discharge tube 10.

次に、本実施の形態に係る製造方法の変形例を図71を参照しながら説明する。   Next, a modification of the manufacturing method according to the present embodiment will be described with reference to FIG.

この変形例に係る製造方法は、前記実施の形態に係る製造方法とほぼ同じ工程を含むが、図71に示すように、陽極側組立工程S1のビーズ融着工程S12が省略されている点で異なる。これは、組付け工程S3の反転工程S31に入る前に、ガラス管12の一端部12aが陽極側リード18の電極棒20に封止されることから、ガラス管挿入工程S13の前において、前記電極棒20に挿入されたガラスビーズ70を必ずしも電極棒20に熱封着する必要がないことに基づくものである。   The manufacturing method according to this modification includes almost the same steps as the manufacturing method according to the above embodiment, but the bead fusion step S12 of the anode side assembly step S1 is omitted as shown in FIG. Different. This is because the one end 12a of the glass tube 12 is sealed by the electrode rod 20 of the anode-side lead 18 before entering the reversing step S31 of the assembling step S3. This is based on the fact that the glass beads 70 inserted into the electrode rod 20 do not necessarily need to be heat sealed to the electrode rod 20.

上述の実施の形態(変形例を含む)においては、本発明に係るキセノン放電管の製造方法を、キセノン放電管10におけるガラス管12の封止処理工程に適用した例を示したが、その他、ガラス管が封止されて構成される物品の製造工程にも応用させることが可能である。   In the above-described embodiment (including modifications), the example of applying the method for manufacturing a xenon discharge tube according to the present invention to the sealing process of the glass tube 12 in the xenon discharge tube 10 has been shown. The present invention can also be applied to a manufacturing process of an article configured by sealing a glass tube.

なお、この発明は上述の実施の形態に限らず、この発明の要旨を逸脱することなく、種々の構成を採り得ることはもちろんである。   Note that the present invention is not limited to the above-described embodiments, and various configurations can be adopted without departing from the gist of the present invention.

本実施の形態に係るキセノン放電管の製造方法において作製されるキセノン放電管を示す断面図である。It is sectional drawing which shows the xenon discharge tube produced in the manufacturing method of the xenon discharge tube which concerns on this Embodiment. 本実施の形態に係るキセノン放電管の製造方法を示す工程ブロック図である。It is a process block diagram which shows the manufacturing method of the xenon discharge tube which concerns on this Embodiment. 本実施の形態に係る製造方法において使用される陽極側封止用治具の構成を示す斜視図である。It is a perspective view which shows the structure of the jig | tool for anode side sealing used in the manufacturing method which concerns on this Embodiment. 本実施の形態に係る製造方法において使用される陰極側封止用治具の構成を示す斜視図である。It is a perspective view which shows the structure of the jig | tool for cathode side sealing used in the manufacturing method which concerns on this Embodiment. 図5Aは陰極側封止用治具に陰極側リードが振り込まれた状態を示す断面図であり、図5Bは陽極側封止用治具に陽極側リードが振り込まれた状態を示す断面図である。FIG. 5A is a cross-sectional view showing a state in which the cathode-side lead is transferred into the cathode-side sealing jig, and FIG. 5B is a cross-sectional view showing a state in which the anode-side lead is transferred into the anode-side sealing jig. is there. 図6Aは陽極側組立工程における陽極側振込み工程を示す製造工程図であり、図6Bはビーズ融着工程を示す製造工程図である。FIG. 6A is a manufacturing process diagram illustrating an anode side transfer process in the anode side assembly process, and FIG. 6B is a manufacturing process diagram illustrating a bead fusion process. 図7Aは陽極側リードの形状を示す側面図であり、図7Bは陰極側リードの形状を示す側面図である。FIG. 7A is a side view showing the shape of the anode side lead, and FIG. 7B is a side view showing the shape of the cathode side lead. 図8Aはガラスビーズの形状を示す斜視図であり、図8Bはガラスビーズにおけるその軸を中心とした縦断面図である。FIG. 8A is a perspective view showing the shape of a glass bead, and FIG. 8B is a longitudinal sectional view centering on the axis of the glass bead. ガラス管の形状を示す斜視図である。It is a perspective view which shows the shape of a glass tube. 本実施の形態に係る製造方法において使用されるリード線用トレイの構成を示す斜視図である。It is a perspective view which shows the structure of the tray for lead wires used in the manufacturing method which concerns on this Embodiment. 本実施の形態に係る製造方法において使用されるビーズ用トレイの構成を示す斜視図である。It is a perspective view which shows the structure of the tray for beads used in the manufacturing method which concerns on this Embodiment. 本実施の形態に係る製造方法において使用されるリード線振込み治具の構成を、封止用治具と共に示す一部省略断面図である。FIG. 5 is a partially omitted cross-sectional view showing the configuration of a lead wire transfer jig used in the manufacturing method according to the present embodiment together with a sealing jig. 本実施の形態に係る製造方法において使用されるビーズ振込み治具の構成を、封止用治具と共に示す一部省略断面図である。It is a partially abbreviated sectional view showing the configuration of the bead transfer jig used in the manufacturing method according to the present embodiment together with the sealing jig. ビーズ振込み治具の大孔と小孔の形状を示す図である。It is a figure which shows the shape of the large hole and small hole of a bead transfer jig | tool. 図15Aは陰極側封止用治具に上アダプタと下アダプタを取り付けた状態を示す断面図であり、図15Bは陽極側封止用治具に下アダプタを取り付けた状態を示す断面図である。15A is a cross-sectional view showing a state where the upper adapter and the lower adapter are attached to the cathode side sealing jig, and FIG. 15B is a cross-sectional view showing a state where the lower adapter is attached to the anode side sealing jig. . リード線投入システムの構成を示す斜視図である。It is a perspective view which shows the structure of a lead wire injection | throwing-in system. リード線投入システムの特に制御系の構成を示すブロック図である。It is a block diagram which shows especially the structure of a control system of a lead wire insertion system. リード線用トレイのリード線収容部における各升の開口面積とストッカの孔部の開口面積の大小関係を示す一部省略断面図である。FIG. 6 is a partially omitted cross-sectional view showing the magnitude relationship between the opening area of each ridge in the lead wire accommodating portion of the lead wire tray and the opening area of the hole of the stocker. 図19Aはリード線投入システムにおける搬送機構での処理動作を示す工程ブロック図(その1)であり、図19Bはリード線投入システムにおけるストッカの第1の孔部に対する処理動作を示す工程ブロック図(その1)であり、図19Cはリード線投入システムにおけるストッカの第2の孔部に対する処理動作を示す工程ブロック図(その1)である。FIG. 19A is a process block diagram (part 1) illustrating the processing operation in the transport mechanism in the lead wire insertion system, and FIG. 19B is a process block diagram illustrating the processing operation for the first hole of the stocker in the lead wire insertion system ( FIG. 19C is a process block diagram (part 1) showing the processing operation for the second hole of the stocker in the lead wire insertion system. 図20Aはリード線投入システムにおける搬送機構での処理動作を示す工程ブロック図(その2)であり、図20Bはリード線投入システムにおけるストッカの第1の孔部に対する処理動作を示す工程ブロック図(その2)であり、図20Cはリード線投入システムにおけるストッカの第2の孔部に対する処理動作を示す工程ブロック図(その2)である。FIG. 20A is a process block diagram (part 2) illustrating the processing operation in the transport mechanism in the lead wire insertion system, and FIG. 20B is a process block diagram illustrating the processing operation for the first hole of the stocker in the lead wire insertion system ( FIG. 20C is a process block diagram (No. 2) showing the processing operation for the second hole of the stocker in the lead wire insertion system. 振込みシステムの全体構成を示す構成図である。It is a block diagram which shows the whole structure of a transfer system. 図22Aは振込みシステムのリード線用トレイ、リード線振込み治具及び封止用治具に対する処理動作を示す工程ブロック図(その1)であり、図22Bは振込みシステムのビーズ用トレイ、ビーズ振込み治具及び封止用治具に対する処理動作を示す工程ブロック図(その1)である。FIG. 22A is a process block diagram (part 1) showing processing operations for the lead wire tray, lead wire transfer jig, and sealing jig of the transfer system, and FIG. 22B is a bead tray of the transfer system, bead transfer treatment. It is process block diagram (the 1) which shows the processing operation with respect to a tool and the jig | tool for sealing. 図23Aは振込みシステムのリード線用トレイ、リード線振込み治具及び封止用治具に対する処理動作を示す工程ブロック図(その2)であり、図23Bは振込みシステムのビーズ用トレイ、ビーズ振込み治具及び封止用治具に対する処理動作を示す工程ブロック図(その2)である。FIG. 23A is a process block diagram (part 2) showing processing operations for the lead wire tray, lead wire transfer jig, and sealing jig of the transfer system, and FIG. 23B is a bead tray of the transfer system, bead transfer treatment. It is process block diagram (the 2) which shows the processing operation with respect to a tool and the jig | tool for sealing. 図24Aは振込みシステムのリード線用トレイ、リード線振込み治具及び封止用治具に対する処理動作を示す工程ブロック図(その3)であり、図24Bは振込みシステムのビーズ用トレイ、ビーズ振込み治具及び封止用治具に対する処理動作を示す工程ブロック図(その3)である。FIG. 24A is a process block diagram (part 3) showing processing operations for the lead wire tray, lead wire transfer jig and sealing jig of the transfer system, and FIG. 24B is a bead tray and bead transfer treatment of the transfer system. It is process block diagram (the 3) which shows the processing operation with respect to a tool and the jig | tool for sealing. 図25Aは陽極側組立工程におけるガラス管挿入工程を示す製造工程図であり、図25Bは一次封止工程を示す製造工程図である。FIG. 25A is a manufacturing process diagram illustrating a glass tube insertion process in the anode side assembly process, and FIG. 25B is a manufacturing process diagram illustrating a primary sealing process. 図26Aは陰極側組立工程における陰極側振込み工程を示す製造工程図であり、図26Bはビーズ融着工程を示す製造工程図である。FIG. 26A is a manufacturing process diagram illustrating a cathode side transfer process in the cathode side assembly process, and FIG. 26B is a manufacturing process diagram illustrating a bead fusion process. 陰極かしめ工程を示す製造工程図である。It is a manufacturing-process figure which shows a cathode caulking process. 図28Aは陰極側封止用治具に挿入された陰極側リードの陽極棒にガラスビーズを挿入した後、陰極棒の先端部分に陰極をかしめてカソード体を作製し、更に、陽極側封止用治具の凹部内に一次封止品の他端部を挿入した状態を示す工程図であり、図28Bは一次封止品の他端部を陰極側リードの陰極棒に封止して二次封止品を作製した状態を示す工程図である。In FIG. 28A, after inserting glass beads into the anode rod of the cathode side lead inserted in the cathode side sealing jig, the cathode is caulked at the tip of the cathode rod to produce a cathode body. FIG. 28B is a process diagram showing a state in which the other end portion of the primary sealed product is inserted into the concave portion of the jig for use, and FIG. 28B shows a state where the other end portion of the primary sealed product is sealed with the cathode rod of the cathode side lead. It is process drawing which shows the state which produced the next sealing goods. 二次封止処理装置の構成を示すブロック図である。It is a block diagram which shows the structure of a secondary sealing processing apparatus. 図30Aはガラス管のガラス封止が過度の場合を示す説明図であり、図30Bはガラス管のガラス封止が正常な場合を示す説明図であり、図30Cはガラス管のガラス封止が不足している場合を示す説明図である。FIG. 30A is an explanatory view showing a case where glass sealing of the glass tube is excessive, FIG. 30B is an explanatory view showing a case where glass sealing of the glass tube is normal, and FIG. It is explanatory drawing which shows the case where it is insufficient. 検査システムを示す構成図である。It is a block diagram which shows an inspection system. 検査システムで使用されるトレイの構成を示す斜視図である。It is a perspective view which shows the structure of the tray used with an inspection system. リード線切断機構を示す構成図である。It is a block diagram which shows a lead wire cutting | disconnection mechanism. 管径検査機構を示す構成図である。It is a block diagram which shows a pipe diameter test | inspection mechanism. 図35Aは管径検査機構本体の構成、特に基準爪と測定爪とが互いに近接した状態を示す構成図であり、図35Bは基準爪が測定爪に対して離間した状態を示す構成図である。FIG. 35A is a configuration diagram showing the configuration of the tube diameter inspection mechanism main body, particularly a configuration in which the reference claw and the measurement claw are close to each other, and FIG. 35B is a configuration diagram showing a state in which the reference claw is separated from the measurement claw. . 発光検査機構を示す構成図である。It is a block diagram which shows a light emission test | inspection mechanism. 受け台を示す斜視図である。It is a perspective view which shows a cradle. 発光検査機構において、検査ヘッドを受け台から離間させた状態を示す断面図である。In a light emission test | inspection mechanism, it is sectional drawing which shows the state spaced apart from the receiving stand by the test | inspection head. 検査ヘッドを駆動制御する回路系を示す回路図である。It is a circuit diagram which shows the circuit system which drives and controls a test | inspection head. 発光検査機構において、検査ヘッドをワークに接触させた状態を示す断面図である。In a light emission inspection mechanism, it is sectional drawing which shows the state which made the inspection head contact the workpiece | work. 製造履歴テーブルの内訳を示す説明図である。It is explanatory drawing which shows the breakdown of a manufacture log | history table. 検査システムでの検査手順を示す工程ブロック図である。It is a process block diagram which shows the test | inspection procedure in a test | inspection system. コンピュータでの処理動作を示すフローチャートである。It is a flowchart which shows the processing operation in a computer. 二次封止処理装置のモニタに表示されるメニュー画面の一例を示す説明図である。It is explanatory drawing which shows an example of the menu screen displayed on the monitor of a secondary sealing processing apparatus. 二次封止処理装置のモニタに表示される構成図の一例を示す説明図である。It is explanatory drawing which shows an example of the block diagram displayed on the monitor of a secondary sealing processing apparatus. 下地半田・洗浄機の構成を示す概略配置図である。It is a schematic layout diagram showing the configuration of the base solder / cleaning machine. 陽極側リード及び陰極側リードの端部揃え機構の概略斜視図である。It is a schematic perspective view of the edge side alignment mechanism of an anode side lead and a cathode side lead. ワーク把持搬送機構の作動を説明する概略斜視図である。It is a schematic perspective view explaining the action | operation of a workpiece | work holding | grip conveyance mechanism. 水切り機構の概略立面図である。It is a schematic elevation view of the draining mechanism. 未半田ワークトレイステーション部の装置構成を示すブロック図である。It is a block diagram which shows the apparatus structure of an unsoldered work tray station part. 端部揃え機構の装置構成を示すブロック図である。It is a block diagram which shows the apparatus structure of an edge part alignment mechanism. フラックス付け機構及び半田付け機構の装置構成を示すブロック図である。It is a block diagram which shows the apparatus structure of a flux bonding mechanism and a soldering mechanism. 洗浄機構、水切り機構及び乾燥機構の装置構成を示すブロック図である。It is a block diagram which shows the apparatus structure of a washing | cleaning mechanism, a draining mechanism, and a drying mechanism. 半田済みトレイステーション部の装置構成を示すブロック図である。It is a block diagram which shows the apparatus structure of a soldered tray station part. 外観検査システムを示す構成図である。It is a block diagram which shows an external appearance inspection system. 外観検査システムにおけるトレイ供給部とワーク供給部並びにテスラ検査ステーションを示す構成図である。It is a block diagram which shows the tray supply part, workpiece | work supply part, and Tesla inspection station in an external appearance inspection system. 外観検査システムにおけるワーク保持ステーション及び第1の排除ステーションを示す構成図である。It is a block diagram which shows the workpiece | work holding station and 1st exclusion station in an external appearance inspection system. 外観検査システムにおけるワーク取出しステーション及びワーク集積機構並びにトレイ排出部を示す構成図である。It is a block diagram which shows the workpiece taking-out station in a visual inspection system, a workpiece | work stacking mechanism, and a tray discharge part. 外観検査システムにおける第1〜第4の外観検査ステーション、旋回ステーション、反転ステーション及び第2の排除ステーションを示す構成図である。It is a block diagram which shows the 1st-4th external appearance inspection station in a visual inspection system, a turning station, an inversion station, and a 2nd exclusion station. ワーク保持部の構成を示す平面図である。It is a top view which shows the structure of a workpiece holding part. ワーク保持部の構成を一部省略して示す断面図である。It is sectional drawing which abbreviate | omits and shows a part of structure of a workpiece holding part. ワーク保持部の旋回動作説明のための斜視図である。It is a perspective view for description of turning operation | movement of a workpiece | work holding | maintenance part. ワーク保持部の一対のチャック爪と高さ基準板を示す断面図である。It is sectional drawing which shows a pair of chuck nail | claw and height reference | standard board of a workpiece holding part. 図64Aはワーク保持部の初期状態を示す平面図であり、図64Bはワーク保持部を90°回転(旋回)させた状態を示す平面図である。64A is a plan view showing an initial state of the work holding unit, and FIG. 64B is a plan view showing a state in which the work holding unit is rotated (turned) by 90 °. 図65Aはワーク保持部を初期状態にしたときのワークの撮像範囲を示す説明図であり、図65Bはワーク保持部を90°回転(旋回)したときのワークの撮像範囲を示す説明図である。FIG. 65A is an explanatory diagram showing the imaging range of the workpiece when the workpiece holding unit is in the initial state, and FIG. 65B is an explanatory diagram showing the imaging range of the workpiece when the workpiece holding unit is rotated (turned) by 90 °. . テスラ検査ステーションの構成を一部省略して示す斜視図である。It is a perspective view which abbreviate | omits and shows a part of structure of a Tesla inspection station. 通常使用されるテスラ検査用の回路を示す図である。It is a figure which shows the circuit for Tesla inspection normally used. テスラ検査ステーションにて使用されるテスラ検査用の回路を示すブロック図である。It is a block diagram which shows the circuit for a Tesla test | inspection used in a Tesla test | inspection station. 本実施の形態に係る外観検査システムの制御系を示すブロック図である。It is a block diagram which shows the control system of the external appearance inspection system which concerns on this Embodiment. 本実施の形態に係る外観検査方法を示す工程ブロック図である。It is a process block diagram showing an appearance inspection method according to the present embodiment. 本実施の形態に係るキセノン放電管の製造方法における変形例を示す工程ブロック図である。It is a process block diagram which shows the modification in the manufacturing method of the xenon discharge tube which concerns on this Embodiment.

符号の説明Explanation of symbols

10…キセノン放電管 12…ガラス管
12a…ガラス管の一端部 12b…ガラス管の他端部
14…陰極 16…陽極
18…陽極側リード 20、32…電極棒
22…陰極側リード 40…陽極側封止用治具
42…陰極側封止用治具 58、62…凹部
60…陽極側リード挿通孔 64…陰極側リード挿通孔
70…ガラスビーズ 72…一次封止品
74…カソード体 80…二次封止品
1000…リード線投入システム 2000…振込みシステム
3000…二次封止処理装置 4000…下地半田・洗浄機
5000…外観検査システム

DESCRIPTION OF SYMBOLS 10 ... Xenon discharge tube 12 ... Glass tube 12a ... One end part of a glass tube 12b ... Other end part 14 of a glass tube ... Cathode 16 ... Anode 18 ... Anode side lead 20, 32 ... Electrode rod 22 ... Cathode side lead 40 ... Anode side Sealing jig 42 ... Cathode side sealing jig 58, 62 ... Recess 60 ... Anode side lead insertion hole 64 ... Cathode side lead insertion hole 70 ... Glass bead 72 ... Primary sealing product 74 ... Cathode body 80 ... Two Next sealing product 1000 ... Lead wire loading system 2000 ... Transfer system 3000 ... Secondary sealing processing device 4000 ... Base solder / cleaning machine 5000 ... Visual inspection system

Claims (10)

多数の孔が設けられた陽極側治具の前記多数の孔にそれぞれ多数本の陽極側リードを挿入する陽極側振込み工程と、
多数のガラス管の一端部を、それぞれ対応する陽極側リードの陽極を囲むように前記陽極側治具に挿入する陽極側ガラス管挿入工程と、
前記陽極側治具を通電加熱して前記多数のガラス管をそれぞれ対応する前記陽極側リードに融着することにより、一次封止品を作製する一次封止工程と、
多数の孔が設けられた陰極側治具の前記多数の孔にそれぞれ多数本の陰極側リードを挿入する陰極側振込み工程と、
前記一次封止品の前記ガラス管の他端部を、それぞれ対応する陰極側リードの陰極を囲むように前記陰極側治具に挿入する陰極側ガラス管挿入工程と、
キセノンガス雰囲気で前記陰極側治具を通電加熱して、前記一次封止品のガラス管をそれぞれ対応する前記陰極側リードに融着する二次封止工程とを有することを特徴とするキセノン放電管の製造方法。
An anode-side transfer step of inserting a large number of anode-side leads into the numerous holes of the anode-side jig provided with a large number of holes,
An anode side glass tube insertion step of inserting one end portions of a large number of glass tubes into the anode side jig so as to surround the anodes of the corresponding anode side leads,
A primary sealing step of producing a primary sealed product by energizing and heating the anode side jig and fusing the multiple glass tubes to the corresponding anode side leads,
A cathode-side transfer step of inserting a plurality of cathode-side leads into the plurality of holes of the cathode-side jig provided with a plurality of holes,
The cathode side glass tube insertion step of inserting the other end of the glass tube of the primary sealed product into the cathode side jig so as to surround the cathode of the corresponding cathode side lead,
A xenon discharge comprising: a secondary sealing step of energizing and heating the cathode side jig in a xenon gas atmosphere to fuse the glass tube of the primary sealed product to the corresponding cathode side lead. A method of manufacturing a tube.
請求項1記載のキセノン放電管の製造方法において、
前記二次封止工程から排出された二次工程品の前記陽極側リードと前記陰極側リードをそれぞれ所定の長さに切断するリード切断工程を有することを特徴とするキセノン放電管の製造方法。
In the manufacturing method of the xenon discharge tube of Claim 1,
A method of manufacturing a xenon discharge tube, comprising: a lead cutting step of cutting the anode side lead and the cathode side lead of the secondary process product discharged from the secondary sealing step into predetermined lengths.
請求項1又は2記載のキセノン放電管の製造方法において、
前記陽極側治具として、その一主面に前記ガラス管の一端部が挿入可能とされた凹部が多数設けられ、該各凹部の底部中央に、前記陽極側治具の他主面まで貫通し、かつ、前記陽極側リードが挿通可能とされた陽極側リード挿通孔が設けられた治具を用いることを特徴とするキセノン放電管の製造方法。
In the manufacturing method of the xenon discharge tube of Claim 1 or 2,
As the anode side jig, a large number of recesses in which one end of the glass tube can be inserted are provided on one main surface, and the other side of the anode side jig penetrates to the center of the bottom of each recess. And the manufacturing method of the xenon discharge tube characterized by using the jig | tool provided with the anode side lead insertion hole into which the said anode side lead was insertable.
請求項1〜3のいずれか1項に記載のキセノン放電管の製造方法において、
前記陰極側治具として、その一主面に前記ガラス管の他端部が挿入可能とされた凹部が多数設けられ、該各凹部の底部中央に、前記陰極側治具の他主面まで貫通し、かつ、前記陰極側リードが挿通可能とされた陰極側リード挿通孔が設けられた治具を用いることを特徴とするキセノン放電管の製造方法。
In the manufacturing method of the xenon discharge tube of any one of Claims 1-3,
The cathode side jig is provided with a large number of recesses into which the other end of the glass tube can be inserted on one main surface, and penetrates to the other main surface of the cathode side jig at the center of the bottom of each recess. And a xenon discharge tube manufacturing method using a jig provided with a cathode side lead insertion hole through which the cathode side lead can be inserted.
請求項1〜4のいずれか1項に記載のキセノン放電管の製造方法において、
前記陽極側振込み工程は、前記陽極側リードへのガラスビーズの挿通を含むことを特徴とするキセノン放電管の製造方法。
In the manufacturing method of the xenon discharge tube of any one of Claims 1-4,
The method of manufacturing a xenon discharge tube, wherein the anode transfer step includes insertion of glass beads into the anode lead.
請求項1〜5のいずれか1項に記載のキセノン放電管の製造方法において、
前記陰極側振込み工程にて陰極側治具に挿入される陰極側リードは、その挿入に先立ってガラスビーズが取り付けられることを特徴とするキセノン放電管の製造方法。
In the manufacturing method of the xenon discharge tube of any one of Claims 1-5,
A method for producing a xenon discharge tube, wherein glass beads are attached to a cathode side lead inserted into a cathode side jig in the cathode side transfer step before the insertion.
請求項5記載のキセノン放電管の製造方法において、
前記陽極側治具を通電加熱して前記陽極側リードに前記ガラスビーズを融着するビーズ付け工程を含むことを特徴とするキセノン放電管の製造方法。
In the manufacturing method of the xenon discharge tube of Claim 5,
A method of manufacturing a xenon discharge tube, comprising: a beading step of energizing and heating the anode side jig to fuse the glass beads to the anode side lead.
請求項1〜7のいずれか1項に記載のキセノン放電管の製造方法において、
リード線の先端部分に陰極を挿入してかしめ固定する陰極かしめ工程を含むことを特徴とするキセノン放電管の製造方法。
In the manufacturing method of the xenon discharge tube of any one of Claims 1-7,
A method of manufacturing a xenon discharge tube, comprising: a cathode caulking step in which a cathode is inserted and fixed at a tip portion of a lead wire.
請求項8記載のキセノン放電管の製造方法において、
前記陰極かしめ工程は、先端部分に予めガラスビーズが取り付けられたリード線の前記先端部分に前記陰極をかしめ固定することを特徴とするキセノン放電管の製造方法。
In the manufacturing method of the xenon discharge tube according to claim 8,
The method of manufacturing a xenon discharge tube, wherein the cathode caulking step includes caulking and fixing the cathode to the tip portion of a lead wire having glass beads attached to the tip portion in advance.
請求項1〜9のいずれか1項に記載のキセノン放電管の製造方法において、
前記二次封止工程は、陰極側治具の通電加熱に先立って負圧雰囲気にさらすことにより、少なくともガラス管内の不純物を除去するクリーン化工程と、
負圧雰囲気及びキセノンガス雰囲気にて前記陰極側治具を通電加熱する封止工程と、
負圧雰囲気で少なくとも前記陰極側治具を冷却する冷却工程を有することを特徴とするキセノン放電管の製造方法。

In the manufacturing method of the xenon discharge tube of any one of Claims 1-9,
The secondary sealing step is a cleaning step of removing at least impurities in the glass tube by exposing to a negative pressure atmosphere prior to energization heating of the cathode side jig,
A sealing step of energizing and heating the cathode side jig in a negative pressure atmosphere and a xenon gas atmosphere;
A method of manufacturing a xenon discharge tube, comprising a cooling step of cooling at least the cathode side jig in a negative pressure atmosphere.

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