JP2005169200A - 液滴吐出装置、液滴吐出方法、液滴吐出装置で製造した液晶表示装置、および液晶表示装置を搭載した電子機器 - Google Patents

Abstract

【課題】液滴吐出装置で塗布液を塗布する場合に、その塗布液中のイオン性不純物を除去することが可能な液滴吐出装置、液滴出方法、液滴吐出装置で製造した液晶表示装置、および液晶表示装置を搭載した電子機器を提供することを目的とする。
【解決手段】塗布液１１をノズル３７から吐出する吐出ヘッド本体３０を有する液滴吐出ユニット１２を備えた液滴吐出装置において、吐出ヘッドユニット１２内の塗布液１１の流路の少なくとも一部に、塗布液１１中のイオン性不純物を吸着するための吸着部材４１ｃを設けた。
【選択図】 図２−１

Description

本発明は、液滴吐出装置、液滴吐出方法、液滴吐出装置で製造した液晶表示装置、および液晶表示装置を搭載した電子機器に関し、詳細には、塗布液中のイオン性不純物を除去することが可能な液滴吐出装置、液滴吐出方法、その液滴吐出装置で製造した液晶表示装置、およびその液晶表示装置を搭載した電子機器に関する。

一般に、液晶表示パネルは、一対の透明基板（ガラス基板）を枠状のシールおよび前記シールの内側に配されるスペーサを介して重ね合わせ、この両基板を前記シールにより接着し、前記シールで囲まれる両基板間の間隙内に液晶を封入して構成される。アクティブマトリクス液晶表示パネル（Active Matrix Liquid Crystal Display）の場合は、ＴＦＴやＴＦＤ等のスイッチング素子が作り込まれたアレイ基板と、これに対向するカラーフィルター層が作り込まれたカラーフィルター基板とを備え、対向する両基板間に液晶を封入した構造を有する。

液晶表示パネルにおいては、液晶の内部にイオン性不純物が含まれていると、このイオン性不純物が配向膜や基板にトラップされてしまう。イオン性不純物がトラップされてイオンが偏在した部分は、液晶表示パネルの駆動時に電圧保持率が低下するため、その他の部分とは表示が同一にならならず、表示不良が発生してしまうという問題がある（特許文献１参照）。これらイオン性不純物は、いったん液晶表示パネル内に混入すると外部へ取り除くことは不可能であり、液晶表示パネルの歩留まりを落とす原因になっていた。従って、液晶表示パネルの製造工程において、イオン性不純物の影響を極力なくすことが必要となっている。

液晶表示パネルを製造する方法には、液晶注入方式と液晶滴下方式とがある。液晶注入方式は比較的古い技術で長い間実施されているものである。一方、液晶滴下方式は、液晶注入方式に対して、液晶封入時間を大幅に短縮することができる技術として、比較的最近提案され、近時その実施が広まりつつある。液晶滴下方式で液晶を滴下する場合に、インクジェット装置が使用することができる。

かかるインクジェット装置は、近時、各種電子機器の成膜に利用されている。インクジェット装置は、吐出ヘッドと呼ばれる液滴吐出機構を有している。この吐出ヘッドには、規則的に複数のノズルが形成されている。インクジェット装置では、これらのノズルから吐出材料（インク）の液滴を吐出することにより、何等かの製品の構成要素となる基板上に吐出材料からなるパターンの描画を行う。インクジェット装置で液晶を吐出する場合に、液晶自体は、純度が保証された状態でインクジェット装置に投入されることが多いが、インクタンクに収納された液晶が、吐出ヘッドのノズルから吐出されるまでの液晶の流路には、チューブ、シール、パッキング等のプラスチックやゴム部品が使用されるため、これらのプラスチックやゴム部品からイオン性不純物が液晶に溶出してしまうという問題がある。

特開２００１−１８３６８３号公報

本発明は、上記に鑑みてなされたものであり、液滴吐出装置で塗布液を塗布する場合に、その塗布液中のイオン性不純物を除去することが可能な液滴吐出装置、液滴吐出方法、液滴吐出装置で製造した液晶表示装置、および液晶表示装置を搭載した電子機器を提供することを目的とする。

上述した課題を解決し、目的を達成するために、本発明は、塗布液をノズルから吐出する吐出ヘッド本体を有する液滴吐出ユニットを備えた液滴吐出装置において、前記吐出ヘッドユニット内の前記塗布液の流路の少なくとも一部に、前記塗布液中のイオン性不純物を吸着するための吸着部材を設けたことを特徴とする。

これにより、吐出ヘッドユニットの塗布液の流路内にイオン性不純物を吸着するための吸着部材を設けているので、塗布液の流路中でこの吸着部材によりイオン性不純物を吸着でき、塗布液中のイオン性不純物を簡単な構成で効率良く除去することができる。この結果、液滴吐出装置で塗布液を塗布する場合に、その塗布液中のイオン性不純物を除去することが可能な液滴吐出装置を提供することができる。したがって、本発明の液滴吐出装置を使用して塗布液を基板等に塗布した場合には、イオン性不純物が混在していない塗布液を塗布することができる。

また、本発明の好ましい態様によれば、前記吐出ヘッド本体において、前記ノズルが複数形成されるノズルプレートを前記吸着部材で形成することが望ましい。これにより、ノズルプレートは、吐出ヘッドユニットにおいて塗布液と接触する最終の部材であるので、塗布液中のイオン性不純物をここで吸着すると、これ以降では、イオン性不純物に汚染されることはなく、効果的にイオン性不純物を除去することができる。

また、本発明の好ましい態様によれば、前記吐出ヘッドユニットは、前記塗布液を前記吐出ヘッド本体に導入する塗布液導入部と、前記塗布液の流路の少なくとも一部に前記吸着部材が形成されており、かつ、外部から供給される前記塗布液を前記塗布液導入部に導入するフィルタ部材と、を備えることが望ましい。これにより、吐出ヘッドユニットの外部で混入したイオン性不純物を吸着部材で吸着して除去することができる。

また、本発明の好ましい態様によれば、前記フィルタ部材は、着脱可能に形成されていることが望ましい。これにより、吸着部材のイオン性不純物の吸着能力が低下した場合に、フィルタ部材ごと新品と交換することができる。

また、本発明の好ましい態様によれば、前記吐出ヘッドユニットは、前記塗布液の流路の少なくとも一部に前記吸着部材が形成されており、かつ、前記塗布液を前記吐出ヘッド本体に導入する塗布液導入部を備えることが望ましい。これにより、吐出ヘッドユニットの構成を簡素化できるとともに、吐出ヘッドユニットの外部で混入したイオン性不純物を吸着部材で吸着して除去することができる。

また、本発明の好ましい態様によれば、前記吸着部材は、酸化アルミで形成されていることが望ましい。これにより、Ｎａ⁺等のイオン性不純物を効率的に吸着することができる。

また、本発明の好ましい態様によれば、前記塗布液は、液晶材料であることが望ましい。これにより、液晶材料中のイオン性不純物を吸着部材で吸着して除去することができる。

また、本発明の好ましい態様によれば、本発明の液滴吐出装置を使用して液晶表示装置を製造することが望ましい。これにより、イオン性不純物が混在していない液晶が滴下された液晶表示装置を提供でき、イオン性不純物が原因で発生する表示不良を防止した液晶表示装置を提供することができる。

また、本発明の好ましい態様によれば、本発明の液晶表示装置を電子機器に搭載することが望ましい。これにより、イオン性不純物が原因で発生する表示不良を防止した液晶表示装置を搭載した電子機器を提供することができる。

上記した課題を解決し、目的を達成するために、本発明は、吐出ヘッドユニット内の吐出ヘッド本体のノズルから塗布液を吐出させる液滴吐出方法において、前記吐出ヘッドユニット内の前記塗布液の流路の少なくとも一部で、当該塗布液中のイオン性不純物を吸着部材で吸着する工程を含むことを特徴とする。

これにより、吐出ヘッドユニットの塗布液の流路内にイオン性不純物を吸着するための吸着部材を設けているので、塗布液の流路中でこの吸着部材によりイオン性不純物を吸着でき、塗布液中のイオン性不純物を簡単な構成で効率良く除去することができる。この結果、液滴吐出装置で塗布液を塗布する場合に、その塗布液中のイオン性不純物を除去することが可能な液滴吐出方法を提供することができる。したがって、本発明の液滴吐出方法を使用して塗布液を基板等に塗布した場合には、イオン性不純物が混在していない塗布液を塗布することができる。

以下、この発明につき図面を参照しつつ詳細に説明する。なお、この実施例によりこの発明が限定されるものではない。また、下記実施例における構成要素には、当業者が容易に想定できるもの或いは実質的に同一のものが含まれる。

［液滴吐出装置］
図１は、本発明に係る液滴吐出装置１の全体構成を示す概略斜視図である。液滴吐出装置１は、図１に示すように、基板１０の表面に塗布液１１を吐出する吐出ヘッドユニット１２を有する液滴吐出手段１３と、吐出ヘッドユニット１２と基板１０との位置を相対的に移動させる移動手段１４と、液滴吐出手段１３および移動手段１４を制御する制御手段１５とを具備している。

移動手段１４は、ステージ１６上に載置された基板１０の上方に、吐出ヘッドユニット１２の吐出ヘッドを下方側に向けて支持すると共に移動自在の基板ステージ１８によりＸ軸方向に移動自在のヘッド支持部（キャリッジ）１７と、上方の吐出ヘッドユニット１２に対してステージ１６と共に基板１０をＹ軸方向に移動させるステージ駆動部１９とから構成されている。

ヘッド支持部１７は、吐出ヘッドユニット１２を基板１０に対してその鉛直軸方向（Ｚ軸）に任意の移動速度で移動可能且つ位置決め可能な例えばリニアモータ等の機構と、鉛直軸を中心に吐出ヘッドユニット１２を回転させることによって下方の基板１０に対して任意な角度に設定可能なステッピングモータ等の機構とを備えたものである。

ステージ駆動部１９は、鉛直軸を中心にステージ１６を回転させて上方の吐出ヘッド１ユニット１２に対して任意な角度に設定可能なθ軸ステージ２０と、ステージ１６を吐出ヘッドユニット１２に対して水平方向（Ｙ方向）に移動させ且つ位置決めするステージ２１とを備えている。なお、θ軸ステージ２０は、ステッピングモータ等から構成され、ステージ２１はリニアモータ等から構成されている。

液滴吐出手段１３は、吐出ヘッドユニット１２とこれにチューブ２２を介して接続されたタンク２３とを備えている。タンク２３は塗布液１１を貯留し、チューブ２２を介してこの塗布液１１を吐出ヘッドユニット１２に供給するものとなっている。塗布液１１としては、例えば、液晶材料を用いることができる。このような構成によって液滴吐出手段１３は、タンク２３に貯留された塗布液１１を吐出ヘッドユニット１２から吐出し、これを基板１０上に塗布するようにしている。

上記制御手段１５は、装置全体の制御を行うマイクロプロセッサ等のＣＰＵや、各種信号の入出力機能を有するコンピュータ等によって構成されたものであり、液滴吐出手段１３および移動手段１４にそれぞれ電気的に接続されたことにより、液滴吐出手段１３による吐出動作、および移動手段１４による移動動作を制御する。そして、このような構成により、塗布液１１の吐出条件を調整し、形成する薄膜の塗布量を制御するようにしている。

すなわち、制御手段１５は、上記塗布量を制御する機能として、基板に対する液状吐出液の吐出間隔を調整する制御機能と、１ドットあたりの塗布液１１の吐出量を調整する制御機能と、ノズルの配列方向と移動機構による移動方向との角度（θ）を調整する制御機能と、基板上を複数の領域に分けて各領域に吐出条件を設置する制御機能とを備えている。

さらに、制御手段１５は、上記吐出間隔を調整する制御機能として、基板１０と吐出ヘッドユニット１２との相対的な移動の速度を調整して吐出間隔を調整する制御機能と、移動手段１４における吐出の時間間隔を調整して吐出間隔を調整する制御機能と、複数のノズルのうち同時に塗布液を吐出させるノズルを任意に設定して吐出間隔を調整する制御機能とを備えている。

図２は、図１の吐出ヘッドユニット１２の構成を説明するための図であり、図２−１は、吐出ヘッドユニット１２の概略の断面図、図２−２は、カートリッジ型フィルタ部材４１のフィルタ４１ｃの構成を示す平面図、図２−３は、吐出ヘッドユニット１２の吐出ヘッド本体３０の分解斜視図、図２−４は、吐出ヘッドユニット１２の吐出ヘッド本体３０の断面図である。なお、図２−３および図２−４においては、圧電素子３８の高さ方向を縮小して図示している。

本実施例では、塗布液１１中のイオン性不純物（例えば、Ｎａ⁺やＫ⁺等）を除去するために、吐出ヘッドユニット１２内の塗布液１１の流路の少なくとも一部に、塗布液１１中のイオン性不純物を吸着するための吸着部材を設けている。吐出ヘッドユニット１２は、図２−１に示すように、チューブ２２が接続されるインク供給口４１ａを有するカートリッジ型フィルタ部材４１と、カートリッジ型フィルタ部材４１と塗布液導入部４３とを結合するためのゴム製のジョイント４２と、塗布液１１を吐出ヘッド本体３０に導入する塗布液導入部４３と、圧電素子を保護するための保護部４４と、塗布液導入部４３の下方に連なり、内部に塗布液１１で満たされるヘッド内流路が形成された吐出ヘッド本体３０と、を備えている。なお、圧電素子等が露出しないように、吐出ヘッドユニット１２を不図示のフードで覆うことにしても良い。

カートリッジ型フィルタ部材４１は、外装がプラスチックで構成されており、着脱可能に構成されている。カートリッジ型フィルタ部材４１は、チューブ２２が接続される供給口４１ａと、供給口４１ａの下方に形成された断面視略矩形の内部空間４１ｂと、内部空間４１ｂを上下方向に仕切るように形成され、塗布液１１中のイオン性不純物を吸着するための吸着部材で形成されたメッシュ型のフィルタ４１ｃ（図２−２参照）とを有している。この吸着部材としては、例えば、酸化アルミ（Ａｌ₂Ｏ₃）、酸化チタン（Ｔｉ₂Ｏ₅）、酸化ケイ素（ＳｉＯ₂）、酸化タルタル（Ｔａ₂Ｏ₅）等を使用することができ、イオン性不純物の吸着性、耐久性、加工性、製造コスト等の観点から酸化アルミ（Ａｌ₂Ｏ₃）が最も好ましい。メッシュ型のフィルタ４１ｃは、上述したように、内部空間４２ｂを仕切るように形成されているので、インク供給口４１ａから導入される塗布液１１との接触面積が大きくなり、塗布液１１中のイオン性不純物を効率良く除去することができる。フィルタ４１ｃは、イオン性不純物の吸着が進むと、吸着能力が低下するため、その吸着能力が低下した場合には、カートリッジ型フィルタ部材４１ごと新品と交換する。

吐出ヘッド本体３０は、図２−３および図２−４に示すように、ノズルプレート３１と、振動版３２とを備え、仕切り部材（リザーバプレート）３３を介して両者を接合した構成である。ノズルプレート３１は、塗布液１１中のイオン性不純物を吸着するための吸着部材で形成されている。この吸着部材としては、フィルタ４１ｃと同様に、例えば、酸化アルミ（Ａｌ₂Ｏ₃）、酸化チタン（Ｔｉ₂Ｏ₅）、酸化ケイ素（ＳｉＯ₂）、酸化タルタル（Ｔａ₂Ｏ₅）、シリカゲル等を使用することができ、イオン性不純物の吸着性、耐久性、加工性、製造コスト等の観点から酸化アルミ（Ａｌ₂Ｏ₃）が最も好ましい。ノズルプレート３１は、塗布液１１と接触する最終の部材であるので、塗布液１１中のイオン性不純物をここで吸着すると、これ以降では、イオン性不純物に汚染されることはなく、効果的にイオン性不純物を吸着することができる。

ノズルプレート３３と振動板３２との間には、仕切り部材によって複数の空間（圧力室）３４と液溜まり（リザーバ）３５とが形成されている。各空間３４と液溜まり３５の内部は塗布液１１(図示せず)で満たされており、各空間３４と液溜まり３５とは供給口３６を介して連通したものとなっている。また、ノズルプレート３１には、各空間３４から塗布液２を噴射するための微小孔のノズル３７が形成されている。一方、振動板３２には、液溜まり３５に塗布液２を供給するための孔３７ａが形成されている。

振動板３２の空間に対向する面と反対側の面上には、図２−３および図２−４に示すように、圧電素子（ピエゾ素子）３８が接合されている。この圧電素子３８は、図２−４に示すように、一対の電極３９、３９の間に位置し、通電するとこれが外側に突出するように撓曲するようになっている。そして、このような構成のもとに圧電素子３８が接合されている振動板３２は、圧電素子３８と一体になって同時に外側へ撓曲するようになっており、これによって空間３４の内部容積が増大するようになっている。したがって、空間３４内に増大した容積分に相当する塗布液２が液溜まり３５から供給口３６を介して流入する。また、このような状態から圧電素子３８への通電を解除すると、圧電素子３８と振動板３２とは共に元の形状に戻る。したがって、空間３４も元の容積に戻ることから、空間内部の塗布液２の圧力が上昇し、ノズル３７から基板１０に向けて塗布液２の噴霧状液滴が吐出される。

なお、吐出ヘッドの駆動方式としては、上述したような圧電素子を用いたピエゾジェットタイプ以外の方式でもよく、超音波モータ、リニアモータ等により、振動を付与し、またはタンク内に圧力を印加することにより、上記微小穴から塗布液１１を吐出させるようにしてもよい。

以上説明したように、上記実施例によれば、吐出ヘッドユニット１２の塗布液１１の流路内に塗布液１１中のイオン性不純物を吸着するための吸着部材を設けているので、塗布液１１中のイオン性不純物を簡単な構成で効率良く除去することができる。

また、上記実施例によれば、吐出ヘッド本体３０のノズルプレート３１を、塗布液１１中のイオン性不純物を吸着するための吸着部材で構成しているので、塗布液１１と接触する最終の部材であるので、塗布液１１中のイオン性不純物をここで吸着すると、これ以降では、イオン性不純物に汚染されることはなく、効果的にイオン性不純物を吸着することができる。

また、上記実施例によれば、吐出ヘッド本体３０にインクを導入する塗布液導入部４３の前段に、塗布液１１中のイオン性不純物を吸着するための吸着部材で形成されたメッシュ型のフィルタ４１ｃを有するカートリッジ型フィルタ部材４１を設けているので、チューブ２１を介して供給されるインクのイオン性不純物を吸着することができる。この場合は、チューブ２１で溶出されたイオン性不純物を除去する場合に効果的である。また、カートリッジ型フィルタ部材４１は、着脱可能に構成されているので、フィルタ４１ｃのイオン性不純物の吸着能力が低下した場合に、カートリッジ型フィルタ部材４１ごと新品と交換することができる。また、本実施例によれば、吸着部材として、酸化アルミ（Ａｌ₂Ｏ₃）を用いているので、Ｎａ⁺等のイオン性不純物を効率的に吸着することができる。

なお、上記実施例では、カートリッジ型フィルタ部材４１のフィルタ４１と、ノズルプレート３１とにイオン性不純物を吸着するための吸着部材を使用することとしたが、本発明はこれに限られるものではなく、吐出ヘッドユニット１２の塗布液１１の流路内の少なくとも一部に吸着部材を設けていれば、塗布液１１中のイオン性不純物を除去することができ、本発明の目的を達成することができる。

（変形例）
図３は、変形例に係る吐出ヘッドユニット１２の概略の断面図である。変形例では、上記実施例のカートリッジ型フィルタ部材４１を使用しないで、塗布液導入部４３の塗布液１１の流路中に吸着部材で形成されたフィルタ４３ｃを設けた構成である。塗布液導入部４３は、図３に示すように、チューブ２２が接続される供給口４３ａと、供給口４３ａの下方に形成された断面視略菱形の内部空間４３ｂと、内部空間４３ｂを上下方向に仕切るように形成され、塗布液１１中のイオン性不純物を吸着するための吸着部材で形成されたメッシュ型のフィルタ４３ｃとを有している。

変形例に係る吐出ヘッドユニット１２においても、上記実施例と同様に、メッシュ型のフィルタ４３ｃの塗布液１１との接触面積が大きくなり、塗布液１１中のイオン性不純物を効率良く除去することができる。また、塗布液導入部４３に吸着部材を設けた構成であるので、上記実施例に比して、カートリッジ型フィルタ部材４１が不要となり、吐出ヘッドユニット１２の構成を簡素化することができる。

［液晶表示装置の製造方法］
つぎに、図４〜図６を参照して、上記液滴吐出装置１を使用して液晶表示装置を製造する場合について説明する。図４は、本実施例の液晶表示装置の断面概略図を示している。図４に示すように、液晶表示装置１００の液晶パネル１００ａは、ガラス基板を主体として対向面に透明導電膜（ＩＴＯ膜）１０３ａ、１０３ｂおよび配向膜１０４ａ、１０４ｂを形成した上基板１０１および下基板１０２と、この上下両基板１０１、１０２間に介在する多数のスペーサ１０５と、上下両基板１０１、１０２間を封止するシール材１０６と、上下両基板１０１、１０２間に充填した液晶１０７とで構成される。さらに、液晶表示装置１００は、この液晶パネル１００ａの上基板１０１の背面に位相基板１０８および偏光板１０９ａを積層し、さらに、その下基板１０２の背面に偏光板１０９ｂおよびバックライト１１０を積層して構成されている。

本実施例では、多面取りを行う大判のガラス基板（以下、「マザー基板」と称する）に、複数の液晶パネル１００ａを一度に大量に製造する例を説明する。図５は、液晶パネル１００ａの製造工程図、図６は液晶パネル１００ａの製造工程を説明するための説明図を示している。図５および図６を参照して、液晶パネル１００ａの製造方法を説明する。本実施例では、図６−１および図６−２に示す第１および第２マザー基板２０１、２０２から２６枚の液晶パネル１００ａを得る場合について説明する。第１および第２マザー基板２０１、２０２において、液晶パネル１００ａが形成される領域をセル形成領域Ｉ１〜Ｉ２６と称する。

図５において、図６−１に示す第１マザー基板２０１の表面の各セル形成領域Ｉ１〜Ｉ２６に、透明電極１０３ｂを形成した後（透明電極形成工程：Ｓ１）、透明電極１０３ｂ上に配向膜１０４ｂを形成する（配向膜形成工程：Ｓ２）。この後、図６−３に示すように、第１マザー基板２０１の電極形成側の表面に光硬化性樹脂からなるシール材１０６を各セル形成領域Ｉ１〜Ｉ２６の周縁に沿って枠状に印刷する（シール印刷工程：Ｓ３）。
このシール材の印刷には、図１の液滴吐出装置１を使用することにしてもよい。

次に、図１の液滴吐出装置１のテーブル１６上に、第１マザー基板２０１をシール材１０５を設けた表面を上に向けて水平に載置して支持する。そして、図６−４に示すように、液滴吐出装置１の吐出ヘッド本体３０から第１マザー基板２０１の表面の各セル形成領域Ｉ１〜Ｉ２６のシール材１０５の内側の領域に向けて順次、液晶１０７を吐出させる（液晶塗布工程：Ｓ４）。この場合、液滴吐出装置１の吐出ヘッドユニット１２のインク流路中に設けられた吸着部材で液晶１０７中のイオン性不純物が吸着され、吐出ヘッド本体３１からは、イオン性不純物が除去された液晶１０７が吐出される。吐出ヘッド本体３０から吐出された液晶１０７は、シール材１０６の内側の領域の全体に広がって一定の層厚で一様に分布する。

他方、第２マザー基板２０２の表面の各セル形成領域Ｉ１〜Ｉ２６に、透明電極１０３ａを形成した後（透明電極形成工程：Ｓ５）、透明電極１０３ａ上に配向膜１０４ａを形成する（配向膜形成工程：Ｓ６）。そして、配向膜１０４ａ上の所定位置に、スペーサ１０５を散布して固着する（スペーサ塗布工程：Ｓ７）。そして、第１マザー基板２０１の上に第２マザー基板２０１を電極が形成された表面を下に向けて対向させて重ね合わせる。そして、第２マザー基板２０２に下方に一定の圧力を加え、両マザー基板２０１、２０２間の間隔をスペーサ１０５により均一に保ち、この状態でシール材１０６に紫外線を照射して硬化させ、このシール材１０６により両マザー基板２０１、２０２を接合して、２６個の液晶パネル１００ａを含む大判パネル構造を形成する（接合工程：Ｓ８）。この接合工程は、液晶１０７内への気泡の混入を防止する点から真空チャンバー内において行なうことが望ましい。この後、大判パネル構造を切断して２６個の液晶パネル１００ａを得る（切断工程：Ｓ９）。

また、上記実施例では、液晶１０７を塗布する第１マザー基板２０１に、シール材１０６を形成することとしたが、第２マザー基板２０２側に形成してもよく、また両基板に形成することにしてもよい。また、スペーサ１０５を第２マザー基板２０２側に散布することとしたが、液晶１０７を塗布する第１マザー基板２０１側に散布することにしてもよい。また、本実施例では、第１マザー基板２０１側に液晶１０７を塗布することとしたが、第２マザー基板２０２側に液晶１０７を塗布することにしてもよい。

以上説明したように、上記実施例によれば、液滴吐出装置１により、イオン性不純物が混在していない液晶を基板に滴下することができ、液晶中のイオン性不純物が原因で発生する表示不良を防止した液晶表示装置を提供することができる。ところで、このように構成された液滴吐出装置１は、上記の液晶表示装置１００の他、各種の電気光学装置（デバイス）の製造に用いることが可能である。例えば、他の電気光学装置としては、金属配線形成、レンズ形成、レジスト形成および光拡散体形成等を包含する装置が考えられ、上記液晶表示装置や有機ＥＬエレクトロルミネッセンス装置の他、有機ＴＦＴ装置、プラズマディスプレイ装置、電気泳動表示装置、電子放出表示装置（Field Emission DisplayおよびSurface-Conduction Electoron-Emitter Display等）、ＬＥＤ（ライトエミッティングダイオード）表示装置、エレクトロミック調光ガラス装置、電子ペーパー装置等に広く適用することができる。

［電子機器への適用例］
次に、本発明に係る液晶表示装置を適用可能な電子機器の具体例について図７を参照して説明する。図７−１は、本発明に係る液晶表示装置を可搬型のパーソナルコンピュータ（いわゆるノート型パソコン）３０１の表示部に適用した例を示す斜視図である。同図に示すように、パーソナルコンピュータ３０１は、キーボード３０１を備えた本体部３０２と、本発明に係る液晶表示装置を適用した表示部３０３とを備えている。図７−２は、本発明に係る液晶表示装置を携帯電話機４００の表示部に適用した例を示す斜視図である。同図に示すように、携帯電話機４００は、複数の操作ボタン４０１のほか、受話口４０２、送話口４０３とともに、本発明に係る電気光学装置を適用した表示部４０４を備えている。

本発明に係る電子機器は、上述した携帯電話機やノートパソコン以外にも、ＰＤＡ（Personal Digital Assistants）と呼ばれる携帯型情報機器、パーソナルコンピュータ、ワークステーション、デジタルスチルカメラ、車載用モニタ、デジタルビデオカメラ、液晶テレビ、ビューファインダ型、モニタ直視型のビデオテープレコーダ、カーナビゲーション装置、ページャ、電子手帳、電卓、ワードプロセッサ、ワークステーション、テレビ電話機、およびＰＯＳ端末機などの電子機器に広く適用することができる。

本発明に係る液滴吐出装置は、工業上の各種分野の成膜に広く利用することができる。また、本発明に係る液晶表示装置は、透過型、反射型、および半透過型、モノクロ、カラーの液晶表示装置に利用することができる。また、本発明に係る液晶表示装置は、パッシブマトリクス型の液晶表示装置やアクティブマトリクス型の液晶表示装置（例えば、ＴＦＴ（薄膜トランジスタ）やＴＦＤ（薄膜ダイオード）をスイッチング素子として備えた液晶パネル）に利用することができる。また、本発明に係る液晶表示装置を搭載した電子機器は、携帯電話機、ＰＤＡ（Personal Digital Assistants）と呼ばれる携帯型情報機器、携帯型パーソナルコンピュータ、パーソナルコンピュータ、ワークステーション、デジタルスチルカメラ、車載用モニタ、デジタルビデオカメラ、液晶テレビ、ビューファインダ型、モニタ直視型のビデオテープレコーダ、カーナビゲーション装置、ページャ、電子手帳、電卓、ワードプロセッサ、ワークステーション、テレビ電話機、およびＰＯＳ端末機などの電子機器に広く利用することができる。

実施例に係る液滴吐出装置の全体構成を示す概略斜視図。 実施例に係る吐出ヘッドユニットの概略断面図。 実施例に係るカートリッジ型フィルタ部材のフィルタ部材の構成を示す平面図。 実施例に係る吐出ヘッドユニットのヘッド本体の分解斜視図。 実施例に係る吐出ヘッドユニットのヘッド本体の断面図。 変形例に係る吐出ヘッドユニットの概略断面図。 実施例に係る液晶表示装置の断面構造を示す図。 実施例に係る液晶パネルの製造工程図。 実施例に係る液晶パネルの製造工程を説明するための説明図。 実施例に係る液晶パネルの製造工程を説明するための説明図。 実施例に係る液晶パネルの製造工程を説明するための説明図。 実施例に係る液晶パネルの製造工程を説明するための説明図。 実施例に係る電気光学装置を備えたパソコンの斜視図。 実施例に係る電気光学装置を備えた携帯電話機の斜視図。

符号の説明

１ 液滴吐出装置、１０ 基板、１１ 塗布液、１２ 吐出ヘッドユニット、１３ 液滴吐出手段、１４ 移動手段、１５ 制御手段、１６ ステージ、１７ ヘッド支持部 １８ 基板ステージ、１９ ステージ駆動部、２０ θ軸ステージ、２１ ステージ、２２ チューブ、２３ タンク、３０ 吐出ヘッド本体 ３１ ノズルプレート、３２ 振動版、３３ 仕切り部材（リザーバプレート）、３４ 空間（圧力室）、３５ 液溜まり（リザーバ）、３６ 供給口、３７ ノズル、３７ａ ノズル孔、３８ 圧電素子（ピエゾ素子）、３９ 電極、４１ カートリッジ型フィルタ部材、４１ａ 供給口、４１ｂ 内部空間、４１ｃ フィルタ、４２ ジョイント、４３ 塗布液導入部、４３ａ 供給口、４３ｂ 内部空間、４３ｃ フィルタ、４４ 保護部、１００ 液晶表示装置、１００ａ 液晶パネル、１０１ 上基板、１０２ 下基板、１０３ａ、１０３ｂ 透明導電膜（ＩＴＯ膜）、１０４ａ、１０４ｂ 配向膜、１０５ スペーサ、１０６ シール材、１０７ 液晶、１０８ 位相基板、１０９ａ、１０９ｂ 偏光板、１１０ バックライト、２０１第１マザー基板、２０２ 第２マザー基板 ３００ パーソナルコンピュータ、３０１ キーボード、３０２ 本体部、３０３ 表示部、４００ 携帯電話機、４０１ 操作ボタン、４０２ 受話口、４０３ 送話口、４０４ 表示部

Claims (10)

1. 塗布液をノズルから吐出する吐出ヘッド本体を有する吐出ヘッドユニットを備えた液滴吐出装置において、
   前記吐出ヘッドユニット内の前記塗布液の流路の少なくとも一部に、前記塗布液中のイオン性不純物を吸着するための吸着部材を設けたことを特徴とする液滴吐出装置。
2. 前記吐出ヘッド本体において、前記ノズルが複数形成されるノズルプレートを前記吸着部材で形成したことを特徴とする請求項１に記載の液滴吐出装置。
3. 前記吐出ヘッドユニットは、前記塗布液を前記吐出ヘッド本体に導入する塗布液導入部と、前記塗布液の流路の少なくとも一部に前記吸着部材が形成されており、かつ、外部から供給される前記塗布液を前記塗布液導入部に導入するフィルタ部材と、を備えたことを特徴とする請求項１また請求項２に記載の液滴吐出装置。
4. 前記フィルタ部材は、着脱可能に形成されていることを特徴とする請求項３に記載の液滴吐出装置。
5. 前記吐出ヘッドユニットは、前記塗布液の流路の少なくとも一部に前記吸着部材が形成されており、かつ、前記塗布液を前記吐出ヘッド本体に導入する塗布液導入部を備えたことを特徴とする請求項１または請求項２に記載の液滴吐出装置。
6. 前記吸着部材は、酸化アルミで形成されていることを特徴とする請求項１〜請求項５のいずれか１つに記載の液滴吐出装置。
7. 前記塗布液は、液晶材料であることを特徴とする請求項１〜請求項６のいずれか１つに記載の液滴吐出装置。
8. 請求項１〜請求項７のいずれか１つに記載の液滴吐出装置を使用して製造されたことを特徴とする液晶表示装置。
9. 請求項８に記載の液晶表示装置を搭載したことを特徴とする電子機器。
10. 吐出ヘッドユニット内の吐出ヘッド本体のノズルから塗布液を吐出させる液滴吐出方法において、
    前記吐出ヘッドユニット内の前記塗布液の流路の少なくとも一部で、当該塗布液中のイオン性不純物を吸着部材で吸着する工程を含むことを特徴とする液滴吐出方法。

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