JP2005168225A - モータ制御装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】位置指令を出力する指令出力装置1と、指令出力装置1からのパルス指令21から振動成分を除去した指令を作成する制振フィルタ3と、制振フィルタ3からの指令にモータ7を追従させる制御手段5と、制御手段5からの指令を受けモータ7を駆動する電力変換手段6からなり、指令出力装置1からのパルス指令21からモータ7を回転させる方向を検出する指令方向検出手段4と、指令方向22aから第一の制振フィルタ3aと第二の制振フィルタ3bを切替えるフィルタ切替え手段9とを具備している。
【選択図】図1
Description
2 モータ制御装置
3 制振フィルタ
3a 第一の制振フィルタ
3b 第二の制振フィルタ
4 指令方向検出手段
5 制御手段
6 電力変換手段
7 モータ
8 エンコーダ
9 フィルタ切替え手段
10 2慣性系負荷
11 回転方向検出手段
21 パルス指令
22a 指令方向
22b モータ回転方向
23a 第一のパルス指令
23b 第二のパルス指令
Claims (6)
- 位置指令を出力する指令出力装置と、指令出力装置からの指令から振動成分を除去した指令を作成する制振フィルタと、制振フィルタからの指令にモータを追従させる制御手段と、制御手段からの指令を受けモータを駆動する電力変換手段からなり、指令出力装置からの指令からモータを回転させる方向を検出する指令方向検出手段と、指令方向から第一の制振フィルタと第二の制振フィルタを切替えるフィルタ切替え手段とを具備したことを特徴とするモータ制御装置。
- 位置指令を出力する指令出力装置と、指令出力装置からの指令から振動成分を除去した指令を作成する制振フィルタと、制振フィルタからの指令にモータを追従させる制御手段と、制御手段からの指令を受けモータを駆動する電力変換手段からなり、モータの回転方向を検出する回転方向検出手段と、モータの回転方向から第一の制振フィルタと第二の制振フィルタを切替えるフィルタ切替え手段とを具備したことを特徴とするモータ制御装置。
- 請求項1と請求項2に記載のモータ制御装置を用いた半導体製造装置。
- 請求項1と請求項2に記載のモータ制御装置を用いたロボット。
- 請求項1と請求項2に記載のモータ制御装置を用いた工作機械。
- 請求項1と請求項2に記載のモータ制御装置を用いた搬送装置。
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