JP2005150823A - ダミーロード - Google Patents
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Abstract
【解決手段】対向配置された抵抗器10と外導体40Aとを有する。抵抗器10は、一列に配置された複数の平板抵抗部材10A〜10Cから構成される。平板抵抗部材10A〜10Cのそれぞれは、第1のセラミックス基板11と、抵抗体12とを有する。隣り合う平板抵抗部材の抵抗体12は、互いに電気的に接続される。ダミーロードの特性インピーダンスは、入力端5から終端6に向かって小さくなっている。
【選択図】 図1
Description
大電力ダミーロードとしては、従来、油冷や水冷など液冷式のものが広く使用されている。図12は、従来の液冷式大電力ダミーロードの一構成例を示す斜視図である。このダミーロードは、円筒形のセラミックスの表面に抵抗被膜が形成された抵抗器191と、円錐台状の内部空間を有し補償管と称する外導体192とを有し、外導体192の内部空間に抵抗器191が挿入された同軸形ダミーロードである。抵抗器191には、入力同軸管101の内導体102が接続され、外導体192には、入力同軸管101の外導体103が接続されている。外導体192の内部空間を形成する内壁面が指数関数的な曲率をもつ指数関数形(exponential type)にすることにより、広帯域にわたり良好な整合が可能となる。
従来の大電力ダミーロードは、抵抗器191を液冷するための構造が複雑になり、また液冷のためのメインテナンスが必要になるので取り扱いが必ずしも容易でない。
抵抗器110の寸法を大きくすると、厚み等がほぼ一定の絶縁基板111および膜状抵抗体112を形成するコストが高くなるので、低コストで形成できる抵抗器110の大きさには限りがある。しかし、抵抗器110の大きさに限りがあると、大電力に対しては単位面積当たりの発熱が大きくなり、ブロック131へ放熱する能力を超えると膜状抵抗体112が過熱され、焼損に至る。このため、乾式ダミーロードは大電力用には利用されてない。
蓮沼・高木共著、「マイクロ波基礎回路の設計」、オーム社、p.202−203
これに対し、乾式ダミーロードは、液冷のためのメインテナンスが不要であるから取り扱いが容易である。しかし、大電力用に利用するためには、膜状抵抗体112の過熱を防ぐために、高いコストをかけて抵抗器110の寸法を大きくする必要がある。
本発明はこのような課題を解決するためになされたものであり、その目的は、取り扱いが容易でかつ低価格で製造可能な大電力ダミーロードを提供することにある。
また、平板抵抗部材の抵抗体の幅は、幅方向と直交する長さ方向の一端から他端に向かって広くなり、抵抗器は、入力端から終端に向かって抵抗体の幅が広くなるように平板抵抗部材が配置される構成としてもよい。
また、外導体は、入力端から終端に向かう方向と直交する方向に複数に分割されていてもよい。
ここで、第1および第2のセラミックス基板の少なくとも一方は、ベリリア、窒化アルミニウム、アルミナまたはダイヤモンドで形成されていてもよい。
ここで、誘電体膜は、マイカで形成されていてもよい。
また、抵抗器を複数の平板抵抗部材から構成し、入力される電力に応じて抵抗器の寸法を大きくすることにより、単位面積当たりの発熱が大きくなることを抑え、抵抗体の過熱を抑制することができる。
また、この場合、同じ大きさの抵抗器を一枚のセラミックス基板で形成した場合と比較して、低コストでセラミックス基板および膜状抵抗体の厚み等をほぼ一定にすることができる。その結果、大電力に対しても反射がないダミーロードを低価格で製造することができる。
したがって、本発明によれば、取り扱いが容易な大電力ダミーロードを、低価格で製造することができる。
また、隣り合う平板抵抗部材の間に接続部材を介在させることにより、平板抵抗部材の接続部分で生じる熱が平板抵抗部材のセラミックス基板だけでなく、接続部材のセラミックス基板を介して放熱されるので、効率的な放熱が可能となり、安定な接続が確保でき、信頼性が向上する。
また、外導体を複数に分割することにより、外導体の抵抗体側壁面の切削作業が容易になる。その結果、外導体と抵抗体および内導体との間隔に基づくインピーダンス特性の調整が容易になる。場合によっては、さらに、外導体が分割された部材の抵抗体側壁面を部分的に切削することにより、インピーダンス特性の微調整が可能となる。
また、誘電率が大きく、熱に強いマイカを誘電体膜として用いることにより、たとえ外導体の抵抗体側壁面に切削による凹凸があったとしても、破れることなく抵抗体と外導体との間を絶縁することができ、高い整合性が得られる。
まず、図1および図2を参照し、本発明の第1の実施の形態に係るダミーロードの全体構成について説明する。図1は、ダミーロードの全体構成を示す断面図である。この図において、(a)は横断面図、(b)は(a)におけるA−A′線方向の縦断面図、(c)は(b)におけるB−B′線方向の縦断面図である。図2は、図1においてC方向からみたダミーロードの背面図である。
このダミーロードは、膜状抵抗体12を液冷するめの構造が不要であり、また液冷のためのメインテナンスが不要であるから取り扱いが容易である。
図1に示すように、抵抗器10は、複数の平板抵抗部材を有している。本実施の形態では、3つの平板抵抗部材10A,10B,10Cを有している。平板抵抗部材10A〜10Cは、一列に配置されかつ互いに電気的に接続されている。
平板抵抗部材10A〜10Cのそれぞれは、平面視長方形で厚みがほぼ一定の第1のセラミックス基板11と、セラミックス基板11の一方の面に形成された膜状抵抗体12と、膜状抵抗体12の両端にそれぞれ配置された端子13,14とを有している。
端子13,14には、隣の平板抵抗部材との電気的接続をとるための接続金具(23,24)が接続される。端子13,14は、抵抗損失が極めて少ない良導体で形成される。
また、この場合、同じ寸法の抵抗器を一枚のセラミックス基板で形成した場合と比較して、低コストでセラミックス基板11および膜状抵抗体12の厚み等をほぼ一定にすることができる。セラミックス基板11および膜状抵抗体12それぞれの厚み等がほぼ一定であれば、ダミーロードの高周波インピーダンス特性を設計どおりに実現することが容易になる。したがって、整合条件を満たすように設計することにより、反射がないダミーロードを低価格かつ容易に製造することができる。
したがって、本実施の形態によれば、取り扱いが容易な大電力ダミーロードを、低価格で製造することができる。
このような平板抵抗部材10A〜10Cを、図1(a)に示すように、それぞれの膜状抵抗体12の幅が、ダミーロードの入力端5から終端6に向かって次第に広くなるように配置する。その結果、ダミーロード全体でみて、膜状抵抗体12の幅は入力端5から終端6に向かって次第に広くなり、膜状抵抗体12の単位長さあたりの抵抗は逆に次第に小さくなる。
図4は、接続部材20A,20Bの一構成例を示す図である。この図において、(a)は平面図、(b)は(a)におけるD−D′線方向の断面図である。接続部材20A,20Bのそれぞれは、平面視長方形の第2のセラミックス基板21と、セラミックス基板21の一方の面に形成された膜状内導体22と、膜状内導体22の両端部にそれぞれ固定された接続金具23,24とを有している。
膜状内導体22は、抵抗損失が極めて少ない良導体で形成される。なお、膜状内導体22の幅は、図4(a)に示すように一定にしてもよいし、図1(a)に示すように一端(入力端5側)から他端(終端6側)に向かって次第に広くしてもよい。
接続金具24もまた、接続金具23と同様の構成を有している。すなわち、接続金具24は、基部24Aと複数の接続バネ部24Bとからなる。ただし、基部24Aは、膜状内導体22の他端側縁部に固定される。この際、接続バネ部24Bの先端が、膜状内導体22の一端側とは反対側の方向に向くように固定される。
さらに、2つの平板抵抗部材10B,10Cの膜状抵抗体12が接続部材20Bの膜状内導体22等を介して電気的に接続されることにより、すべての平板抵抗部材10A〜10Cの膜状抵抗体12が電気的に直列接続される。
本実施の形態では、上述した厚み等の差異に起因する高周波インピーダンス特性の変化を、膜状抵抗体12および膜状内導体22と外導体40Aの内壁面との間隔によって調整する。具体的には、外導体40Aの内壁面を切削して、上記間隔を調整する。
図1(b)に示す外導体40Aのような連続的(直線的)な内壁面を切削すると、図6に示す外導体40Bのような不連続な内壁面となる。膜状抵抗体12および膜状内導体22と外導体40Bの内壁面との間隔は、全体として入力端5から終端6に向かって次第に狭くなるが、部分的には逆に広くなる箇所もある。これは、ダミーロードの高周波インピーダンス特性を調整した結果である。
外導体については、図1(b)に内壁面の断面形状を直線的にした例を示したが、曲線的にしてもよい。
また、図7に示す外導体40Cのように、内壁面の断面形状を不連続なステップ状にしてもよい。外導体40Cは、各ステップを構成する複数の部材41C,42C,43C,44C,45C,46C,47Cからなる。
また、部材41C〜46Cのうちの少なくとも1つの部材の内壁面を、図8に示すように部分的に切削してもよい。これにより、場合によっては、高周波インピーダンス特性の微調整が可能となる。なお、図8において、(a)は部材41C〜46Cの内壁面を示す図、(b)は(a)におけるE−E′線方向の断面図、(c)は(a)におけるF−F′線方向の断面図である。
また、図10に示すように、ダミーロードの入力端5から終端6まで、膜状抵抗体12′の幅を一定にしてもよい。なお、図10において、10′は抵抗器、10A′,10B′,10C′は平板抵抗部材である。
次に、本発明の第2の実施の形態に係るダミーロードついて説明する。このダミーロードは、抵抗器と外導体の内壁面との間の空間の少なくとも一部に誘電体膜を配置したものである。
本実施の形態に係るダミーロードは、このような課題を解決するものである。以下、図11を参照して詳細に説明する。
このダミーロードでは、抵抗器は、一列に配置された4つの平板抵抗部材10A〜10Dと、隣り合う平板抵抗部材の間に配置された3つの接続部材20A〜20Cとから構成されている。平板抵抗部材10A〜10Dは、接続部材20A〜20Cを介して電気的に接続されている。外導体40Dは、9つの部材41D〜49Dから構成されている。
比誘電率εrの誘電体中では、高周波に対する距離は、空気中の距離の1/(εr)1/2になる。したがって、誘電体膜81,82を配置した終端6付近の領域では、膜状抵抗体12と内壁面との間隔が高周波的に狭くなる。その結果、誘電体膜81,82を配置しなかった場合よりも、特性インピーダンスが小さくなり0(ゼロ)に近づく。この際、膜状抵抗体12と外導体部材46D,48Dの内壁面とが直接接触することはない。
したがって、本実施の形態によれば、簡便な構成で、インピーダンス整合性を高め、反射の低減を図ることができる。
また、誘電体膜81,82のそれぞれに、比誘電率が異なる誘電体を用いてもよい。例えば、終端6に近い位置に配置される誘電体膜ほど、比誘電率が大きい誘電体を用いることにより、膜状抵抗体12と外導体40Dの内壁面との間隔がそれほど変えずに、特性インピーダンスを小さくしていくことができる。
Claims (9)
- 対向配置された抵抗器と外導体とを有し、入力された電力を吸収するダミーロードにおいて、
前記抵抗器は、一列に配置された複数の平板抵抗部材からなり、
前記平板抵抗部材は、第1のセラミックス基板と、この第1のセラミックス基板の前記外導体に対向する面に形成された抵抗体とを有し、
隣り合う平板抵抗部材の抵抗体は、互いに電気的に接続され、
前記ダミーロードの特性インピーダンスは、前記ダミーロードの入力端から前記ダミーロードの終端に向かって小さくなることを特徴とするダミーロード。 - 請求項1に記載されたダミーロードにおいて、
前記抵抗体と前記外導体との間隔は、全体として前記入力端から前記終端に向かって狭くなることを特徴とするダミーロード。 - 請求項1または2に記載されたダミーロードにおいて、
前記平板抵抗部材の抵抗体の幅は、幅方向と直交する長さ方向の一端から他端に向かって広くなり、
前記抵抗器では、前記入力端から前記終端に向かって前記抵抗体の幅が広くなるように前記平板抵抗部材が配置されていることを特徴とするダミーロード。 - 請求項1〜3のいずれか1項に記載されたダミーロードにおいて、
前記外導体は、前記入力端から前記終端に向かう方向と直交する方向に複数に分割されていることを特徴とするダミーロード。 - 請求項1〜4のいずれか1項に記載されたダミーロードにおいて、
隣り合う平板抵抗部材の間に配置された接続部材を備え、
この接続部材は、第2のセラミックス基板と、この第2のセラミックス基板の前記外導体に対向する面に形成されるとともに前記平板抵抗部材の抵抗体と電気的に接続された内導体とを有することを特徴とするダミーロード。 - 請求項1〜5のいずれか1項に記載されたダミーロードにおいて、
前記第1のセラミックス基板は、ベリリア、窒化アルミニウム、アルミナまたはダイヤモンドで形成されていることを特徴とするダミーロード。 - 請求項5に記載されたダミーロードにおいて、
前記第2のセラミックス基板は、ベリリア、窒化アルミニウム、アルミナまたはダイヤモンドで形成されていることを特徴とするダミーロード。 - 請求項1〜7のいずれか1項に記載されたダミーロードにおいて、
前記抵抗器と前記外導体との間の空間の少なくとも一部に配置された誘電体膜を備えたことを特徴とするダミーロード。 - 請求項8に記載されたダミーロードにおいて
誘電体膜は、マイカで形成されていることを特徴とするダミーロード。
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